KR20060034006A - Rotary power transmission device of wafer transfer robot - Google Patents

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KR20060034006A
KR20060034006A KR1020040083123A KR20040083123A KR20060034006A KR 20060034006 A KR20060034006 A KR 20060034006A KR 1020040083123 A KR1020040083123 A KR 1020040083123A KR 20040083123 A KR20040083123 A KR 20040083123A KR 20060034006 A KR20060034006 A KR 20060034006A
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pulley
transfer robot
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pulley shaft
electric
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최진희
신승필
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삼성전자주식회사
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    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices

Abstract

본 발명은 수평 회전에 의해 웨이퍼를 소정의 장소로 이송시키는 이송 암(Arm)이 구비된 웨이퍼 이송 로봇의 몸체 내부 하단부와 수직으로 체결되어 몸체의 외부로 봉 형상의 일단부가 노출되는 풀리 샤프트(Pully Shaft)와, 봉 형상의 일단부에 체결되고 회전구동 모터의 구동 풀리와 벨트로 연결되어 풀리 샤프트를 회전시키는 제 1 전동 풀리와, 관 형상의 일단부가 제 1 전동 풀리 하측의 봉 형상의 일단부에 체결되고 이송 암에 회전력을 부여하는 메인 로테이션 풀리(Main Rotation Pully)와 벨트로 연결되어 이송 암을 회전시키는 제 2 전동 풀리를 포함하는 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동(傳動) 장치로서, 제 2 전동 풀리는 관 형상의 일단부가 풀리 샤프트의 봉 형상의 일단부에 끼워진 후 풀리 샤프트에 압력이 가해지지 않고 고정 및 분리되도록 소정 형상의 스크류에 의해 고정되는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 제 2 전동 풀리가 소정 형상의 스크류에 의해 풀리 샤프트에 고정됨으로써, 이의 체결 및 분리 시 풀리 샤프트에 압력이 가해지지 않는다. 이에 풀리 샤프트가 휘는 등의 문제점이 발생되지 않는다. The present invention is a pulley shaft (Pully) that is fastened vertically with the lower end of the body of the wafer transfer robot having a transfer arm for transferring the wafer to a predetermined place by horizontal rotation to expose the rod-shaped one end to the outside of the body. Shaft), a first electric pulley fastened to one end of the rod shape and connected to a drive pulley and a belt of the rotary drive motor to rotate the pulley shaft, and one end of the rod shape below the first electric pulley under tubular shape A rotational transmission device of a wafer transfer robot, comprising: a main rotational pulley coupled to a belt and providing a rotational force to a transfer arm, and a second transmission pulley connected by a belt to rotate the transfer arm. The pulley has a predetermined shape such that one end of the tubular shape is fitted to one end of the rod shape of the pulley shaft and is fixed and separated without applying pressure to the pulley shaft. It characterized in that the fixing by keuryu. According to this, the second electric pulley is fixed to the pulley shaft by a screw of a predetermined shape, so that pressure is not applied to the pulley shaft during its fastening and detachment. This does not cause problems such as bending the pulley shaft.

이송 로봇, 이송 암, 회전 전동, 풀리, 풀리 샤프트, 스크류Transfer robot, transfer arm, rotary motor, pulley, pulley shaft, screw

Description

웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치{Rotary Power Transmission Device of Wafer Transfer Robot}Rotary Power Transmission Device of Wafer Transfer Robot

도 1은 종래 기술에 따른 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치를 개략적으로 나타낸 일부 구성도.1 is a view schematically illustrating some components of a rotational transmission apparatus of a wafer transfer robot according to the related art.

도 2는 종래 기술에 따른 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치가 구비된 웨이퍼 이송 로봇을 개략적으로 나타낸 일부 구성도.Figure 2 is a schematic view showing a portion of the wafer transfer robot with a rotational transmission device of the wafer transfer robot according to the prior art.

도 3은 도 2에 나타낸 회전 전동 장치의 제 2 롤 핀이 분리되는 상태를 개략적으로 도시한 상태도. 3 is a state diagram schematically showing a state in which the second roll pin of the rotary transmission device shown in FIG. 2 is separated;

도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치를 개략적으로 나타낸 일부 구성도. Figure 4 is a schematic view showing a part of the rotational transmission apparatus of the wafer transfer robot according to the present invention.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

100: 웨이퍼 이송 로봇 101, 401: 회전 전동 장치100: wafer transfer robot 101, 401: rotary transmission device

102, 402: 풀리 샤프트 102b, 402b: 봉 형상의 일단부102 and 402: pulley shafts 102b and 402b: rod-shaped one ends

103, 403: 진공 블럭 104, 404: 제 1 롤 핀103, 403: vacuum block 104, 404: first roll pin

105, 405: 제 1 전동 풀리 106, 406: 제 2 전동 풀리105, 405: first electric pulley 106, 406: second electric pulley

106a, 406a: 관 형상의 일단부 107: 제 2 롤 핀106a and 406a: one end of the tubular shape 107: second roll pin

108: 관통홀 109: 메인 로테이션 풀리 108: through hole 109: main rotation pulley                 

110: 벨트 111: 회전 구동축110: belt 111: rotary drive shaft

112: 몸체 113: 정112: body 113: tablet

114: 망치 402a: 고정 플레이트114: hammer 402a: fixed plate

407: 스크류 408: 스크류 홈407: screw 408: screw groove

본 발명은 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 회전에 의해 웨이퍼를 이송시키는 이송 암을 가진 웨이퍼 이송 로봇에 형성되어 이송 암에 회전력을 부여하는 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a rotational transmission apparatus of a wafer transfer robot, and more particularly, to a rotational transmission apparatus of a wafer transfer robot that is formed on a wafer transfer robot having a transfer arm for transferring wafers by rotation to impart rotational force to the transfer arm. It is about.

반도체 장치의 제조를 위한 여러 공정들은 청정한 조건하에서의 제품의 생산을 위하여 청정실 내에서 자동화된 제조 설비에 의해 진행된다. 특히, 식각 공정이나 증착 또는 산화 공정 등은 제조 설비 내의 공정조건이 엄격하고, 높은 청정도를 유지하여야 하기 때문에 통상 외부 공기와 격리된 공정 챔버 내에서 공정이 진행되도록 구성되며, 이러한 공정 챔버로의 웨이퍼의 출입은 자동화된 웨이퍼 이송 로봇에 의해 진행된다. Several processes for the manufacture of semiconductor devices are carried out by automated manufacturing equipment in clean rooms for the production of products under clean conditions. In particular, the etching process, the deposition process or the oxidation process is generally configured to proceed in a process chamber separated from the outside air because the process conditions in the manufacturing facility are strict and high cleanliness must be maintained. The entry and exit of the device is performed by an automated wafer transfer robot.

자동화된 웨이퍼 이송 로봇은 웨이퍼의 출입을 위하여 통상 벨트와, 리프터 및 이송 암 등이 일체화되어 동시적으로 또는 순차적으로 구동되도록 구성되며, 이미 상용화된 장치들이 널리 보급되어 있어 당해 기술분야에서 통상의 지식을 갖 는 자에게는 이를 용이하게 구입하여 사용할 수 있을 정도로 공지되어 있다.  The automated wafer transfer robot is generally configured to drive belts, lifters, transfer arms, and the like simultaneously or sequentially in order to enter and exit the wafer. It is well known to those having the ability to easily purchase and use it.

그 중 이송 암에는 웨이퍼를 지지하는 로봇 팬이 구비되어 있고, 로봇 팬은 구동 모터에 의하여 구동되는 이송 암을 통하여 Z축 방향으로 체결된 회전 구동축에 연결되어 있다. 또한, 회전 구동축 하단에는 메인 로테이션 풀리(Main Rotation Pully)가 체결되어 있고, 이에 메인 로테이션 풀리가 회전 전동 장치와 연결되어 회전 전동 장치에 의해 회전 구동축이 회전됨에 따라 로봇 팬에 지지된 웨이퍼가 원하는 장소로 이송되는 것이다. Among them, a transfer fan is provided with a robot fan for supporting a wafer, and the robot fan is connected to a rotation drive shaft fastened in the Z-axis direction through a transfer arm driven by a drive motor. In addition, the main rotation pulley (Main Rotation Pully) is fastened to the lower end of the rotation drive shaft, the main rotation pulley is connected to the rotary transmission device, as the rotation drive shaft is rotated by the rotary transmission device, the wafer supported by the robot fan in the desired place Is transferred to.

이하 첨부 도면을 참조하여 일반적인 웨이퍼 이송 로봇의 이송 암을 회전시키는 회전 전동 장치에 대해 간략하게 살펴보기로 한다.Hereinafter, a rotary transmission device for rotating a transfer arm of a general wafer transfer robot will be briefly described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래 기술에 따른 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치를 개략적으로 나타낸 일부 구성도이고, 도 2는 종래 기술에 따른 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치가 구비된 웨이퍼 이송 로봇을 개략적으로 나타낸 일부 구성도이며, 도 3은 도 2에 나타낸 회전 전동 장치의 제 2 롤 핀이 분리되는 상태를 개략적으로 도시한 상태도이다.1 is a partial configuration diagram schematically showing a rotational transmission apparatus of the wafer transfer robot according to the prior art, Figure 2 is a partial configuration diagram schematically showing a wafer transfer robot equipped with a rotational transmission apparatus of the wafer transfer robot according to the prior art. 3 is a state diagram schematically illustrating a state in which the second roll pin of the rotary transmission device illustrated in FIG. 2 is separated.

도 1 및 도 2를 참조하면, 종래 기술에 따른 웨이퍼 이송 로봇(100)의 회전 전동 장치(101)는 이송 암의 수평 회전에 의해 웨이퍼를 이송시키는 이송 로봇(100)의 몸체(112) 내부에 풀리 샤프트(Pully Shaft)(102)가 제 1 롤 핀(104)에 의해 고정되어 몸체(112) 하단부와 수직으로 체결되고, 그 몸체(112) 외부로 노출된 풀리 샤프트(102)의 봉 형상의 일단부(102b)에는 회전구동 모터와 연결되어 풀리 샤프트(102)를 회전시키는 제 1 전동 풀리(105)가 중앙에 형성된 삽입홀(105a)을 통해 삽입되며, 그 하측으로 이송 암(도시 되지 않음)에 회전력을 부여하는 메인 로테이션 풀리(109)와 벨트(110)로 연결되어 이송 암(도시 되지 않음)을 회전시키는 제 2 전동 풀리(106)가 체결된다. 여기서, 메인 로테이션 풀리(109)는 회전 구동축(111)과 수직으로 체결되어 있고, 회전 구동축(111)은 웨이퍼를 지지하는 로봇 팬이 구비된 이송 암(도시 되지 않음)과 수직으로 연결되어 있다. 1 and 2, the rotational transmission 101 of the wafer transfer robot 100 according to the prior art is inside the body 112 of the transfer robot 100 to transfer the wafer by the horizontal rotation of the transfer arm. The pulley shaft 102 is fixed by the first roll pin 104 and fastened perpendicularly to the lower end of the body 112, and has a rod shape of the pulley shaft 102 exposed outside of the body 112. One end portion (102b) is connected to the rotary drive motor is a first electric pulley 105 for rotating the pulley shaft 102 is inserted through the insertion hole 105a formed in the center, the transfer arm (not shown) ) Is connected to the main rotation pulley 109 to impart rotational force to the belt 110 and the second electric pulley 106 to rotate the transfer arm (not shown) is fastened. Here, the main rotation pulley 109 is vertically fastened to the rotation drive shaft 111, the rotation drive shaft 111 is vertically connected to a transfer arm (not shown) provided with a robot fan for supporting the wafer.

따라서, 회전구동 모터가 구동됨에 따라 이와 연결된 제 1 전동 풀리(105)가 회전되어 풀리 샤프트(102)가 회전 구동되고, 이에, 풀리 샤프트(102) 하단에 체결된 제 2 전동 풀리(106)가 회전되어 이와 벨트(110)로 연결된 메인 로테이션 풀리(109)가 회전 구동된다. 다시 말해, 메인 로테이션 풀리(109)가 회전 전동 장치(101)에 의해 회전됨에 따라 메인 로테이션 풀리(109)와 체결된 회전 구동축(111)이 회전되어 이와 수직으로 연결된 이송 암(도시 되지 않음)이 회전된다.Accordingly, as the rotary drive motor is driven, the first electric pulley 105 connected thereto is rotated so that the pulley shaft 102 is driven to rotate. Thus, the second electric pulley 106 fastened to the lower end of the pulley shaft 102 is rotated. The main rotation pulley 109 which is rotated and connected to the belt 110 is driven to rotate. In other words, as the main rotation pulley 109 is rotated by the rotary transmission device 101, the rotation drive shaft 111 engaged with the main rotation pulley 109 is rotated so that a transfer arm (not shown) vertically connected thereto is rotated. Is rotated.

여기서, 실질적으로 이송 암(도시 되지 않음)과 연결된 회전 구동축(111)을 회전시키는 회전 전동 장치(101)의 제 2 전동 풀리(106)는 관 형상의 일단부(106a)가 풀리 샤프트(102)의 봉 형상의 일단부(102b)에 끼워진 후 고정됨에 따라 풀리 샤프트(102)에 체결되는데, 이 때 고정 수단으로는 제 2 롤 핀(107)이 사용된다. 즉, 겹쳐진 봉 형상의 일단부(102b) 및 관 형상의 일단부(106a)의 동일 위치에 놓여지게 된 관통홀(108)에 제 2 롤 핀(107)이 삽입됨에 따라, 제 2 전동 풀리(106)가 풀리 샤프트(102)에 고정된다. Here, the second electric pulley 106 of the rotary transmission device 101 which rotates the rotary drive shaft 111 substantially connected to the transfer arm (not shown) has a tubular end portion 106a of the pulley shaft 102. It is fastened to the pulley shaft 102 as it is fitted after being fixed to the rod-shaped end portion 102b of the rod shape, wherein the second roll pin 107 is used as the fixing means. That is, as the second roll pin 107 is inserted into the through hole 108 placed at the same position of the overlapped rod-shaped end portion 102b and the tubular end portion 106a, the second electric pulley ( 106 is fixed to the pulley shaft 102.

그러나, 제 1 전동 풀리(105) 및 제 2 전동 풀리(106)는 오랜 시간동안의 구동으로 인해 마모될 수 있고, 이에 작업자는 이들을 소정의 기간마다 해체시킨 후 교체시키고 있다. 따라서, 이들을 교체하기 위해 제 2 롤 핀(107)을 분리시키는 경우에는 도 3에 나타낸 바와 같이 정(113)과 망치(114)를 이용하여 제 2 롤 핀(107)을 가압하게 되는데, 이 때 풀리 샤프트(102)에도 그 힘이 전달되어 풀리 샤프트(102)가 휘는 등의 문제점이 발생하게 된다. However, the first electric pulley 105 and the second electric pulley 106 may be worn out due to the driving for a long time, so the worker dismantles them every predetermined period and then replaces them. Therefore, when the second roll pin 107 is removed to replace them, as shown in FIG. 3, the second roll pin 107 is pressed using the chisel 113 and the hammer 114. The force is also transmitted to the pulley shaft 102 to cause problems such as bending of the pulley shaft 102.

이와 같이, 종래 기술에 따른 웨이퍼 이송 로봇(100)의 회전 전동 장치(101)에서는 제 1 전동 풀리(105) 및 제 2 전동 풀리(106)를 교체시키기 위해 제 2 롤 핀(106)을 분리시키는 경우, 풀리 샤프트(102)가 손상되는 경우가 발생될 수 있고, 이에 제 1 전동 풀리(105) 및 제 2 전동 풀리(106) 뿐만 아니라 풀리 샤프트(102), 및 풀리 샤프트(102)에 형성되어 웨이퍼 이송 로봇(100)의 몸체(112) 내외부를 차단시키는 진공 블럭(103) 등과 같은 다른 부품들도 함께 교체시켜야 되는 경우가 발생될 수 있다. As described above, in the rotational transmission apparatus 101 of the wafer transfer robot 100 according to the related art, the second roll pin 106 is separated to replace the first transmission pulley 105 and the second transmission pulley 106. In this case, a case in which the pulley shaft 102 is damaged may occur, and thus, the pulley shaft 102 and the pulley shaft 102 are formed as well as the first and second electric pulleys 105 and 106. Other components, such as the vacuum block 103 that blocks the inside and outside of the body 112 of the wafer transfer robot 100, may need to be replaced together.

따라서, 본 발명은 웨이퍼를 소정의 장소로 이송시키는 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치에서 이송 암에 회전력을 부여하는 제 1 전동 풀리 및 제 2 전동 풀리의 교체 시, 이들이 체결되어 있는 풀리 샤프트에 압력이 가해지지 않고 이들을 교체할 수 있는 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치를 제공함에 있다.Therefore, in the present invention, when the first electric pulley and the second electric pulley for applying rotational force to the transfer arm in the rotary transmission device of the wafer transfer robot for transferring the wafer to a predetermined place, pressure is applied to the pulley shaft to which they are fastened. It is to provide a rotational transmission device of the wafer transfer robot that can be replaced without being applied.

본 발명은 수평 회전에 의해 웨이퍼를 소정의 장소로 이송시키는 이송 암이 구비된 웨이퍼 이송 로봇의 몸체 내부 하단부와 수직으로 체결되어 몸체의 외부로 봉 형상의 일단부가 노출되는 풀리 샤프트와, 봉 형상의 일단부에 체결되고 회전구 동 모터의 구동 풀리와 벨트로 연결되어 풀리 샤프트를 회전시키는 제 1 전동 풀리와, 관 형상의 일단부가 제 1 전동 풀리 하측의 봉 형상의 일단부에 체결되고 이송 암에 회전력을 부여하는 메인 로테이션 풀리와 벨트로 연결되어 이송 암을 회전시키는 제 2 전동 풀리를 포함하는 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치로서, 제 2 전동 풀리는 관 형상의 일단부가 풀리 샤프트의 봉 형상의 일단부에 끼워진 후 풀리 샤프트에 압력이 가해지지 않고 고정 및 분리되도록 소정 형상의 스크류에 의해 고정되는 것을 특징으로 한다.The present invention is a pulley shaft that is vertically fastened to the lower end of the body of the wafer transfer robot having a transfer arm for transferring the wafer to a predetermined place by horizontal rotation to expose one end of the rod shape to the outside of the body, A first electric pulley fastened to one end and connected to the drive pulley of the rotational drive motor by a belt to rotate the pulley shaft, and one end of the tubular shape is fastened to one end of a rod shape below the first electric pulley, A rotational transmission device of a wafer transfer robot comprising a main rotational pulley for imparting rotational force and a second electric pulley connected to a belt to rotate a transfer arm, wherein the second electric pulley has a tubular one end at a rod-shaped end portion of the pulley shaft. It is fixed by a screw of a predetermined shape so that the pulley shaft is fixed and separated without being pressed after being inserted in the It shall be.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치를 개략적으로 나타낸 일부 구성도이다.4 is a schematic view illustrating some components of a rotational transmission apparatus of the wafer transfer robot according to the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치(401)는 이송 암의 수평 회전에 의해 웨이퍼를 이송시키는 웨이퍼 이송 로봇의 몸체 하단부와 수직으로 체결된 풀리 샤프트(402)와, 풀리 샤프트(402)에 체결되고 회전구동 모터와 연결되어 풀리 샤프트(402)를 회전시키는 제 1 전동 풀리(405)와, 풀리 샤프트(402)에 체결되고 이송 암에 회전력을 부여하는 메인 로테이션 풀리와 벨트로 연결되어 이송 암을 회전시키는 제 2 전동 풀리(406)를 포함한다. Referring to FIG. 4, the rotational transmission device 401 of the wafer transfer robot according to the present invention includes a pulley shaft 402 vertically fastened to a lower end of a body of the wafer transfer robot for transferring wafers by horizontal rotation of the transfer arm; A first electric pulley 405 fastened to the pulley shaft 402 and connected to the rotational drive motor to rotate the pulley shaft 402, and a main rotation pulley fastened to the pulley shaft 402 to impart rotational force to the transfer arm; And a second powered pulley 406 connected by a belt to rotate the transfer arm.

또한, 제 1 전동 풀리(405) 및 제 2 전동 풀리(406)에는 소정 영역의 외주면에 V자 홈이 형성되어 있고, 이에 다른 풀리와 V벨트에 의해 연결되어 구동됨에 따라 동력 전달 유닛 역할을 수행하게 된다. 즉, 제 1 전동 풀리(405)는 회전 구동 모터와 체결된 구동 풀리와 벨트로 연결되어 회전구동 모터가 회전됨에 따라 풀리 샤프트(402)에 회전력을 부여한다. 그리고, 제 2 전동 풀리(406)는 웨이퍼 이송 로봇의 이송 암에 회전력을 부여하는 메인 로테이션 풀리와 벨트로 연결되어 풀리 샤프트(402)가 구동됨에 따라 메인 로테이션 풀리를 회전시켜 이송 암을 회전시킨다. In addition, the first electric pulley 405 and the second electric pulley 406 is formed with a V-shaped groove on the outer circumferential surface of a predetermined region, and acts as a power transmission unit by being connected and driven by another pulley and the V belt. Done. That is, the first electric pulley 405 is connected to the drive pulley and the belt fastened to the rotation drive motor to give a rotational force to the pulley shaft 402 as the rotation drive motor is rotated. Then, the second electric pulley 406 is connected to the main rotation pulley that imparts rotational force to the transfer arm of the wafer transfer robot with a belt to rotate the main rotation pulley by rotating the main rotation pulley as the pulley shaft 402 is driven.

여기서, 풀리 샤프트(402)는 제 1 롤 핀(404)에 의해 웨이퍼 이송 로봇의 몸체 내부에 고정되어 웨이퍼 이송 로봇의 몸체 하단부에 체결되는데, 이 때 봉 형상의 일단부(402b)가 몸체 외부로 노출되며, 고정 플레이트(402a)에 의해 고정되어 있는 진공 블럭(403)이 웨이퍼 이송 로봇의 몸체 내부와 외부 공기를 차단시킨다. Here, the pulley shaft 402 is fixed to the inside of the body of the wafer transfer robot by the first roll pin 404 is fastened to the lower end of the body of the wafer transfer robot, the rod-shaped end portion 402b to the outside of the body The vacuum block 403, which is exposed and fixed by the fixing plate 402a, blocks air inside and outside the body of the wafer transfer robot.

그리고, 제 1 전동 풀리(405)는 중심에 형성된 삽입홀(405a)을 통해 풀리 샤프트(402)에 삽입되고, 연이어 하측의 봉 형상의 일단부(402b)에 이보다 직경이 큰 제 2 전동 풀리(406)의 관 형상의 일단부(406a)가 끼워져 제 1 전동 풀리(405)와 맞물림으로써 제 1 전동 풀리(405)가 풀리 샤프트(402)에 고정된다. 여기서, 봉 형상의 일단부(402b) 및 관 형상의 일단부(406a)에는 동일한 위치에 스크류 홈(408)이 형성되어 있고, 이에 스크류 홈(408)에 소정 형상의 스크류(407)가 삽입되어 체결됨으로써 제 2 전동 풀리(406)가 풀리 샤프트(402)에 고정된다. The first electric pulley 405 is inserted into the pulley shaft 402 through an insertion hole 405a formed at the center thereof, and is subsequently connected to a second electric pulley having a larger diameter than the lower rod-shaped end portion 402b ( The tubular end portion 406a of 406 is fitted and engaged with the first electric pulley 405 to fix the first electric pulley 405 to the pulley shaft 402. Here, the screw groove 408 is formed at the same position in the rod-shaped end portion 402b and the tubular end portion 406a, and the screw 407 having a predetermined shape is inserted into the screw groove 408. The second electric pulley 406 is fixed to the pulley shaft 402 by being fastened.

따라서, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치(401)는 종래 기술에 따른 웨이퍼 이송 로봇(도 2의 100)의 회전 전동 장치(도 2의 101)와는 달리, 롤 핀이 아닌 소정 형상의 스크류(407)에 의해 제 2 전동 풀리(406)가 풀리 샤프트(402)에 고정된다. 이에, 작업자가 큰 압력을 가하지 않고도 제 1 전동 풀리(405) 및 제 2 전동 풀리(406)를 풀리 샤프트(402)에 고정 및 분리시킬 수 있으므로, 풀 리 샤프트(402)에 소정의 압력이 가해지지 않는다. Therefore, the rotational transmission device 401 of the wafer transfer robot according to the present invention is different from the rotational transmission device (101 in FIG. 2) of the wafer transfer robot (100 in FIG. 2) according to the prior art. The second electric pulley 406 is fixed to the pulley shaft 402 by a screw 407. Thus, since the operator can fix and detach the first electric pulley 405 and the second electric pulley 406 to the pulley shaft 402 without applying a large pressure, a predetermined pressure is applied to the pulley shaft 402. I do not lose.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치는 소정 형상의 스크류에 의해 제 2 전동 풀리가 풀리 샤프트에 고정됨으로써, 작업자가 풀리 샤프트에 소정의 압력을 가하지 않고 손쉽게 제 1 전동 풀리 및 제 2 전동 풀리를 풀리 샤프트에 고정 및 분리시킬 수 있다. As described above, in the rotational transmission apparatus of the wafer transfer robot according to the present invention, the second transmission pulley is fixed to the pulley shaft by a screw having a predetermined shape, so that the first transmission is easily performed without the operator applying a predetermined pressure to the pulley shaft. The pulley and the second electric pulley can be fixed to and detached from the pulley shaft.

따라서, 종래의 제 1 및 제 2 전동 풀리 교체 시 풀리 샤프트에 소정의 압력이 가해짐으로써 발생된 풀리 샤프트의 휘어짐과 같은 문제점이 발생되지 않고, 이에 다른 부품들까지 교체시켜야 되는 경우가 발생되지 않는다. Therefore, a problem such as bending of the pulley shaft caused by applying a predetermined pressure to the pulley shaft when replacing the conventional first and second electric pulleys does not occur, and thus, other parts do not need to be replaced. .

Claims (1)

수평 회전에 의해 웨이퍼를 소정의 장소로 이송시키는 이송 암(Arm)이 구비된 웨이퍼 이송 로봇의 몸체 내부 하단부와 수직으로 체결되어 상기 몸체의 외부로 봉 형상의 일단부가 노출되는 풀리 샤프트(Pully Shaft)와, 상기 봉 형상의 일단부에 체결되고 회전구동 모터의 구동 풀리와 벨트로 연결되어 상기 풀리 샤프트를 회전시키는 제 1 전동 풀리와, 관 형상의 일단부가 상기 제 1 전동 풀리 하측의 상기 봉 형상의 일단부에 체결되고 상기 이송 암에 회전력을 부여하는 메인 로테이션 풀리(Main Rotation Pully)와 벨트로 연결되어 상기 이송 암을 회전시키는 제 2 전동 풀리를 포함하는 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동(傳動) 장치에 있어서, A pulley shaft in which a rod-shaped one end is exposed to the outside of the body by being vertically fastened vertically with the lower end of the body of the wafer transfer robot equipped with a transfer arm for transferring the wafer to a predetermined place by horizontal rotation. And a first electric pulley fastened to one end of the rod shape and connected to a drive pulley and a belt of a rotation drive motor to rotate the pulley shaft, and one end of the tubular shape of the rod shape below the first electric pulley. In the rotational transmission device of the wafer transfer robot including a main rotation pulley which is coupled to one end and imparts a rotational force to the transfer arm and a second transmission pulley connected by a belt to rotate the transfer arm. In 상기 제 2 전동 풀리는 상기 관 형상의 일단부가 상기 풀리 샤프트의 상기 봉 형상의 일단부에 끼워진 후 상기 풀리 샤프트에 압력이 가해지지 않고 고정 및 분리되도록 소정 형상의 스크류에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇의 회전 전동 장치. And the second electric pulley is fixed by a screw having a predetermined shape such that one end of the tubular shape is fitted to the one end of the rod shape of the pulley shaft and is fixed and detached without applying pressure to the pulley shaft. Rotary transmission of the transfer robot.
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