KR20060028872A

KR20060028872A - 웨이퍼 센터링 가이드장치

Info

Publication number: KR20060028872A
Application number: KR1020040077752A
Authority: KR
Inventors: 강창원
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2004-09-30
Filing date: 2004-09-30
Publication date: 2006-04-04

Abstract

본 발명은 웨이퍼 센터링 가이드장치에 관한 것으로서, 이를 위하여 본 발명은 웨이퍼(W)를 센터링 위치에 안내하도록 구비되는 웨이퍼 센터링 가이드장치에 있어서, 웨이퍼 스테이션(10)의 외주연부에 일정한 간격으로 고정축(41)을 복수개 삽입 고정하고, 상기 고정축(41)에는 베어링(42)이 축고정되며, 상기 베어링(42)에는 외주면이 커버(43)에 의해서 감싸지도록 하고, 상기 커버(43)는 상기 웨이퍼 스테이션(10)의 상부면으로부터 소정의 높이가 상향 돌출되도록 한 가이드수단(40)으로 이루어지게 함으로써 비록 웨이퍼(W)가 웨이퍼 스테이션(10)에 편심되어 유도되더라도 편심된 일단이 롤러 타입의 가이드수단(40)에 얹혀지는 동시에 웨이퍼(W)의 자중에 의해서 가이드수단(40)을 회전시키키게 되므로 웨이퍼(W)가 슬라이딩 이동되어 가이드수단(40)들 안쪽의 웨이퍼 스테이지(10)에 정확히 안치시키게 되고, 이로써 정확한 공정 수행에 따른 제품 신뢰성의 향상을 기대

웨이퍼, 센터링, 웨이퍼 스테이션, 가이드

Description

웨이퍼 센터링 가이드장치{Guide apparatus for centering wafer}

도 1은 종래의 웨이퍼 센터링 가이드장치를 도시한 평면도,

도 2 및 도 3은 종래의 웨이퍼 센터링 가이드장치에서의 웨이퍼를 안내하는 상태를 도시한 측면도와 가이드수단의 다른 예시도,

도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 센터링 가이드장치를 도시한 평면도,

도 5는 도 4의 측면도,

도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼의 센터링 작용을 도시한 작용 상태도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 웨이퍼 스테이지 20, 30, 40 : 가이드수단

41 : 고정축 42 : 베어링

43 : 커버

본 발명은 웨이퍼 센터링 가이드장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨 이퍼 스테이지의 외주연부에 복수로 구비되는 웨이퍼 가이드수단을 롤러 타입으로 형성하여 일측으로 편심되게 안내되는 웨이퍼가 자중에 의해서 원활하게 센터링 위치로 이동하면서 정확한 공정 수행이 이루어질 수 있도록 하는 웨이퍼 센터링 가이드장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체를 제조하는 과정에서 웨이퍼를 가공하는 공정의 수행을 위해 웨이퍼는 통상 평판의 플레이트에 안착이 되도록 한다.

웨이퍼가 안착되도록 구비되는 평판의 플레이트를 보통 척이라고 하며, 척은 진공압이나 정전기력을 이용하여 견고하게 고정되게 하는 구성인데 비해 웨이퍼 스테이션은 이러한 고정수단을 포함하여 단순히 웨이퍼가 안치되도록 하는 안치수단을 모두 포함하는 호칭으로 불리어지고 있다.

이렇게 웨이퍼를 안치되도록 하는 안치수단에는 공통적으로 안치되는 웨이퍼가 센터로부터 일정 범위를 벗어나지 않도록 안내하는 가이드가 구비되도록 하고 있다.

도 1은 이러한 웨이퍼를 가이드하는 가이드수단을 구비한 종래의 웨이퍼 스테이션을 도시한 것으로서, 도시한 바와 같이 웨이퍼 스테이션(10)에는 외주연부를 따라 일정한 간격으로 복수의 가이드수단(20)이 구비되도록 하고 있다.

이때의 가이드수단(20)은 대개 도 2에서와 같이 사다리꼴 형상으로 형성되게 하기도 하지만 도 3에서와 같이 직각 삼각형의 형상으로 가이드수단(30)을 형성되게 하기도 한다.

이와 같은 복수의 가이드수단(20)(30)들은 웨이퍼 스테이션(10)에 맞닿는 안 쪽의 접촉면들간 상호 대응되는 거리가 웨이퍼의 직경보다는 큰 직경에 위치되도록 하여 이들 안쪽으로 웨이퍼(W)가 안치되도록 한다.

한편 웨이퍼 스테이션(10)에는 도시되지는 않았지만 판면 안쪽으로 복수의 리프트 핀이 구비되어 웨이퍼(W)를 로딩/언로딩시키게 될 때 웨이퍼 스테이션(10)으로부터 소정의 높이로 승강되도록 하고 있다.

따라서 웨이퍼 가공을 위해 웨이퍼(W)를 웨이퍼 스테이션(10)에 로딩시키고자 할 때에는 웨이퍼 스테이션(10)으로부터 소정의 높이로 리프트 핀들이 상승되어 있도록 하고, 이 리프트 핀들의 상단부에 웨이퍼(W)가 안치된 상태에서 리프트 핀들을 동시에 하향 이동시키게 되는데 이때 웨이퍼(W)들이 리프트 핀들에 제대로 안치되어 있으면 웨이퍼 스테이션(10)에 균일하게 면밀착되는 상태로 안치되나 만일 웨이퍼의 이송 오류 등에 의해 리프트 핀들에 일측으로 편심되게 안치되면 리프트 핀들의 하강에 의해 도 2 및 도 3에서와 같이 웨이퍼(W)의 일단이 가이드수단(20)(30)의 상단부에 얹혀지게 되고, 이 가이드수단(20)(30)의 경사면을 타고 자중에 의해서 정확히 센터링되면서 웨이퍼 스테이션(10)에 균일하게 면밀착되도록 하고 있다.

하지만 웨이퍼(W)가 가이드수단(20)(30)에 일단이 얹혀지게 되더라도 그 자체 중량에 의해서 미끄러져 내려오게 해야 하나 이러한 웨이퍼(W)의 슬라이딩을 위해서는 가이드수단(20)(30)의 경사각이 중요한 변수로 작용하게 되므로 실제 웨이퍼(W)의 슬라이딩이 원활하게 이루어지지 못하는 되고, 특히 웨이퍼(W)와의 면마찰이 심하여 공정에 치명적인 악영향을 미치는 파티클 발생의 원인을 제공하는 문제 점이 있다.

따라서 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 웨이퍼의 무게와 중량에 의해서 손쉽게 웨이퍼가 슬라이딩하면서 웨이퍼 스테이션에 안전하게 센터링되도록 하는 웨이퍼 센터링 가이드장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 웨이퍼를 센터링 위치에 안내하도록 구비되는 웨이퍼 센터링 가이드장치에 있어서, 웨이퍼 스테이션의 외주연부에 일정한 간격으로 고정축을 복수개 삽입 고정하고, 상기 고정축에는 베어링이 축고정되며, 상기 베어링에는 외주면이 커버에 의해서 감싸지도록 하고, 상기 커버는 상기 웨이퍼 스테이션의 상부면으로부터 소정의 높이가 상향 돌출되도록 하여 가이드수단이 구비되도록 하는 구성이다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 구성에서 종전과 동일한 구성에는 동일 부호를 적용하기로 한다.

도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 센터링 가이드장치를 도시한 평면도이고, 도 5는 본 발명의 요부 구성을 도시한 부분 확대도이다.

도시한 바와 같이 본 발명은 웨이퍼 스테이션(10)에 롤러 형상의 가이드수단(40)이 구비되도록 하는 구성이다.

즉 웨이퍼 스테이션(10)에서 외주연부로 일정한 간격이 되도록 가이드수단(40)이 수단이 구비되도록 하는 것은 종전과 마찬가지이나 웨이퍼(W)를 안내하는 구성이 회전 가능한 롤러 타입으로 이루어지도록 하는 것이 가장 두드러진 특징이다.

다시 말해 본 발명의 가이드수단(40)은 크게 고정축(41)과 베어링(42)과 커버(43)로서 이루어지는 구성이다.

고정축(41)은 웨이퍼 스테이지(10)에 견고하게 고정될 수 있도록 하는 수단이다.

그리고 베어링(42)은 고정축(41)에 결합되면서 회전 가능하게 구비되는 구성으로서, 내륜(42a)과 외륜(42b) 사이로 구름수단(42c)이 구비되도록 하여 외륜(42a)이 자유롭게 회전할 수 있도록 구비되는 것인 바 이러한 베어링(42)의 외륜(42b)에는 커버(43)에 의해서 외주면이 감싸지도록 한다.

이때의 커버(43)는 웨이퍼 스테이지(10)의 상부면으로부터 소정의 높이로 상향 돌출되는 직경으로 형성되도록 한다.

또한 커버(43)는 웨이퍼(W)와 접촉되면서 웨이퍼(W)가 슬라이딩하게 될 때 면간 마찰이 최소화될 수 있도록 하는 재질로서 이루어지도록 하는 것이 가장 바람직하다.

이와 같이 구성된 본 발명에 의한 작용에 대해서 설명하면 다음과 같다.

반도체를 제조하는 공정 수행 중에 웨이퍼(W)가 공정 챔버(미도시)의 내부로 로딩되어 이미 소정의 높이로 상승한 복수의 리프트 핀들 상부에 얹혀지게 되면 리프트 핀들이 하강하면서 상부에 얹혀져 있던 웨이퍼(W)를 웨이퍼 스테이지(10)에 안치되도록 한다.

이때 리프트 핀들에 얹혀지게 되는 웨이퍼(W)가 로딩되는 과정에서 웨이퍼(W)가 정위치로부터 미세하게 벗어나게 되면 리프트 핀들이 하강 시 웨이퍼(W)의 일단이 도 6에서와 같이 일측의 가이드수단(40)에 얹혀지게 되는 동시에 회전 가능하게 구비되는 가이드수단(40)에서 자중에 의해 가이드수단(40)을 회전시키면서 슬라이딩 이동을 하게 된다.

즉 웨이퍼(W)가 가이드수단(40)에 얹혀짐과 동시에 가이드수단(40)을 회전시키게 되고, 그와 함께 웨이퍼(W)가 슬라이딩 이동되게 하여 웨이퍼 스테이지(10)에서 자동으로 센터링이 이루어지도록 하는 것이다.

이렇게 비록 웨이퍼(W)가 로딩되는 과정에서 일측으로 편심되어 있게 되더라도 웨이퍼 스테이지(10)에 안치되는 과정에 본 발명의 롤러 타입의 가이드수단(40)에 의하여 보다 원활하게 웨이퍼(W)를 정위치시킬 수가 있게 되므로 정확한 공정 수행을 제공하게 된다.

한편 상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다는 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다.

따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특 허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 웨이퍼(W)를 웨이퍼 스테이지(10)에 로딩하는 과정에서 웨이퍼(W)가 편심되어 유도되더라도 편심된 일단이 롤러 타입의 가이드수단(40)에 얹혀지는 동시에 웨이퍼(W)의 자중에 의해서 가이드수단(40)을 회전시키면서 웨이퍼(W)를 슬라이딩 이동시켜 가이드수단(40)들 안쪽의 웨이퍼 스테이지(10)에 정확히 안치시키게 되고, 이로써 정확한 공정 수행에 따른 제품 신뢰성의 향상을 기대할 수가 있는 매우 유용한 효과가 있다.

Claims

웨이퍼를 센터링 위치에 안내하도록 구비되는 웨이퍼 센터링 가이드장치에 있어서,

웨이퍼 스테이션의 외주연부에 일정한 간격으로 고정축을 복수개 삽입 고정하고, 상기 고정축에는 베어링이 축고정되며, 상기 베어링에는 외주면이 커버에 의해서 감싸지도록 하고, 상기 커버는 상기 웨이퍼 스테이션의 상부면으로부터 소정의 높이가 상향 돌출되도록 하여 가이드수단이 구비되도록 하는 웨이퍼 센터링 가이드장치.
제 1 항에 있어서, 상기 베어링은 상기 고정축에 고정되는 내륜과 상기 커버를 결합한 외륜 및 상기 내륜과 외륜 사이의 구름수단으로 이루어지는 구성인 웨이퍼 센터링 가이드장치.
제 1 항에 있어서, 상기 커버는 웨이퍼와의 마찰이 최소화될 수 있도록 하는 재질로서 이루어지는 웨이퍼 센터링 가이드장치.