KR20060010561A - Liquid crystal display device and method of manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치에 관한 것이다. 본 발명의 액정표시장치는 신호선과 상기 신호선 상에 형성된 절연막을 갖는 제1 기판과, 상기 제1기판과 대향하며 상기 신호선에 대응하는 블랙매트릭스가 형성된 제2기판과, 상기 제1및 제2 기판 사이에 위치하는 액정층을 포함하며, 상기 절연막에는 상기 신호선을 따라 만곡부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 휘도가 향상된 액정표시장치가 제공된다. The present invention relates to a liquid crystal display device. The liquid crystal display of the present invention includes a first substrate having a signal line and an insulating film formed on the signal line, a second substrate facing the first substrate and having a black matrix corresponding to the signal line, and the first and second substrates. And a liquid crystal layer positioned between the curved lines, wherein the insulating layer is formed with a curved portion along the signal line. As a result, a liquid crystal display device having improved luminance is provided.

Description

액정표시장치와 그 제조방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME} Liquid crystal display and its manufacturing method {LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 박막트랜지스터 기판의 배치도이고,1 is a layout view of a thin film transistor substrate according to a first embodiment of the present invention,

도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ를 따른 본 발명의 제1실시예에 따른 액정패널의 단면도이고,2 is a cross-sectional view of a liquid crystal panel according to a first embodiment of the present invention according to II-II of FIG.

도 3a와 도3b는 각각 제1실시예와 제2실시예에 따른 만곡부를 설명하는 개념도이고,3A and 3B are conceptual views illustrating curved portions according to the first and second embodiments, respectively,

도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 제1실시예에 따른 박막트랜지스터 기판의 제조방법을 설명하는 단면도이고,4A to 4C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a thin film transistor substrate according to a first embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 박막트랜지스터 기판의 제조방법을 설명하는 단면도이다. 5 is a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing a thin film transistor substrate according to a third embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분의 부호에 대한 설명 *Explanation of Signs of Major Parts of Drawings

121 : 게이트선 131 : 데이터선 151 : 절연막 221, 222, 223 : 블랙매트릭스 121: gate line 131: data line 151: insulating film 221, 222, 223: black matrix

본 발명은, 액정표시장치와 그 제조방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 백라이트 유닛으로부터 게이트선과 데이터선에 인접하여 입사되는 빛을 휘도증가에 이용하는 액정표시장치와 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device and a manufacturing method thereof. More specifically, the present invention relates to a liquid crystal display device using a light incident from the backlight unit adjacent to the gate line and the data line for increasing the brightness, and a method of manufacturing the same.

액정표시장치는 박막트랜지스터가 형성되어 있는 박막트랜지스터 기판과 컬러필터층이 형성되어 있는 컬러필터 기판, 그리고 이들 사이에 액정층이 위치하고 있는 액정패널을 포함한다. 액정패널은 비발광소자이기 때문에 박막트랜지스터 기판의 후면에는 빛을 조사하기 위한 백라이트 유닛이 위치할 수 있다. 백라이트 유닛에서 조사된 빛은 액정층의 배열상태에 따라 투과량이 조절된다.  The liquid crystal display device includes a thin film transistor substrate on which a thin film transistor is formed, a color filter substrate on which a color filter layer is formed, and a liquid crystal panel on which a liquid crystal layer is positioned. Since the liquid crystal panel is a non-light emitting device, a backlight unit for irradiating light may be disposed on the rear surface of the thin film transistor substrate. Light transmitted from the backlight unit is controlled according to the arrangement of the liquid crystal layer.

이외에 액정패널의 각 화소를 구동하기 위해서, 구동회로와, 구동회로로부터 구동신호를 받아 표시영역내의 데이터선과 게이트선에 신호를 인가하는 데이터 드라이버와 게이트 드라이버가 마련되어 있다. In addition, in order to drive each pixel of the liquid crystal panel, a driving circuit, and a data driver and a gate driver for receiving a driving signal from the driving circuit and applying a signal to data lines and gate lines in the display area are provided.

컬러필터 기판에는 박막트랜지스터에 외부로부터의 빛이 입사되는 것을 방지하고 각 픽셀을 구분하기 위한 블랙매트릭스가 형성되어 있다. 블랙매트릭스는 박막트랜지스터, 게이트선, 그리고 데이터선을 따라 형성되어 있다. A black matrix is formed on the color filter substrate to prevent light from entering the thin film transistor and to distinguish each pixel. The black matrix is formed along thin film transistors, gate lines, and data lines.

여기서 게이트선과 데이터선의 폭은 통상 6 내지 7㎛ 정도인데 반해, 이에 대응하는 블랙매트릭스의 폭은 약 20㎛정도이다. 따라서 백라이트 유닛으로부터 게이트선과 데이터선에 인접하여 조사되는 빛은 블랙매트릭스에 의해 차단되어 액정표시장치의 휘도증가에 사용되지 못하는 문제가 있다.In this case, the width of the gate line and the data line is generally about 6 to 7 μm, whereas the corresponding black matrix is about 20 μm. Therefore, the light irradiated from the backlight unit adjacent to the gate line and the data line is blocked by the black matrix and thus cannot be used to increase the luminance of the liquid crystal display.

따라서 본 발명의 목적은 백라이트 유닛으로부터 게이트선과 데이터선에 인접 하여 조사되는 빛을 휘도증가에 사용하는 액정표시장치를 제공하는 것이다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a liquid crystal display device that uses the light emitted from the backlight unit adjacent to the gate line and the data line to increase luminance.

본 발명의 또 다른 목적은 상기와 같은 액정표시장치의 제조방법을 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide a method of manufacturing the liquid crystal display device as described above.

상기의 목적은, 신호선과 상기 신호선 상에 형성된 절연막을 갖는 제1 기판과, 상기 제1기판과 대향하며 상기 신호선에 대응하는 블랙매트릭스가 형성된 제2기판과, 상기 제1및 제2 기판 사이에 위치하는 액정층을 포함하는 액정표시장치에 있어서, 상기 절연막에는 상기 신호선을 따라 만곡부가 형성되어 있는 것에 의하여 달성된다.The object is a first substrate having a signal line and an insulating film formed on the signal line, a second substrate facing the first substrate and having a black matrix corresponding to the signal line, and between the first and second substrates. A liquid crystal display device comprising a liquid crystal layer located therein, which is achieved by forming a curved portion in the insulating film along the signal line.

상기 절연막의 굴절율은 상기 액정층의 굴절율보다 큰 것이 바람직하다. The refractive index of the insulating film is preferably larger than the refractive index of the liquid crystal layer.

이 때 상기 만곡부는 상기 신호선을 향해 함몰되어 있는 것이 바람직하며, 상기 블랙매트릭스를 향해 외향만곡되어 있거나 상기 신호선을 향해 내향만곡되어 있을 수 있다.In this case, the curved portion is preferably recessed toward the signal line, and may be curved outward toward the black matrix or curved inward toward the signal line.

상기 절연막의 굴절율이 상기 액정층의 굴절율보다 작은 경우, 상기 만곡부는 상기 블랙매트릭스를 향해 돌출되어 있는 것이 바람직하다.When the refractive index of the insulating film is smaller than the refractive index of the liquid crystal layer, the curved portion preferably protrudes toward the black matrix.

상기 블랙매트릭스의 폭은 상기 신호선의 폭보다 큰 것이 바람직하다.The width of the black matrix is preferably larger than the width of the signal line.

상기 절연막은 유기 감광막인 것이 바람직하다.It is preferable that the said insulating film is an organic photosensitive film.

상기 본 발명의 다른 목적은 액정표시장치의 제조방법에 있어서, 기판 소재 상에 신호선을 형성하는 단계와, 상기 신호선 상에 절연막을 증착하는 단계와, 상기 절연막이 상기 신호선을 따라 만곡부를 갖도록 패터닝하는 단계를 포함하는 것 에 의하여 달성될 수 있다.Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a liquid crystal display device, the method comprising: forming a signal line on a substrate material; depositing an insulating film on the signal line; and patterning the insulating film to have a curved portion along the signal line. It can be achieved by including a step.

상기 절연막의 패터닝 단계는. 상기 절연막의 상부에 감광막을 도포하는 단계와, 상기 감광막을 슬릿을 가진 마스크를 이용하여 감광하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
The patterning step of the insulating film is. It is preferable to further include the step of applying a photosensitive film on top of the insulating film, the photosensitive film using a mask having a slit.

이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본발명을 더욱 상세히 설명하겠다. 이하에서 어떤 막(층)이 다른 막(층)의 '상부에'형성되어(위치하고) 있다는 것은, 두 막(층)이 접해 있는 경우뿐 아니라 두 막(층) 사이에 다른 막(층)이 존재하는 경우도 포함한다. 또한 이하에서 신호선이라 함은 게이트선 그리고/또는 데이터선을 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. In the following, a film is formed (located) on top of another film, not only when two films are in contact with each other but also when another film is between two layers. It also includes the case where it exists. In addition, hereinafter, a signal line indicates a gate line and / or a data line.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 박막트랜지스터 기판의 배치도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ를 따른 본 발명의 제1실시예에 따른 액정패널의 단면도이다.FIG. 1 is a layout view of a thin film transistor substrate according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of a liquid crystal panel according to a first embodiment of the present invention according to II-II of FIG. 1.

본 발명의 제1실시예에 따른 액정패널(10)은 박막트랜지스터 기판(100)과 이에 대면하고 있는 컬러필터 기판(200), 그리고 이들 사이에 위치하고 있는 액정층(300)을 포함한다.The liquid crystal panel 10 according to the first exemplary embodiment of the present invention includes a thin film transistor substrate 100, a color filter substrate 200 facing the thin film transistor substrate, and a liquid crystal layer 300 positioned therebetween.

액정표시장치는 도시하지 않았으나, 박막트랜지스터 기판(100)의 배면에 위치하는 백라이트 유닛과, 구동회로, 외부 케이싱 등을 더 포함한다.
Although not shown, the liquid crystal display further includes a backlight unit, a driving circuit, an external casing, and the like positioned on the rear surface of the thin film transistor substrate 100.

우선 박막트랜지스터 기판(100)에 대하여 설명하면 다음과 같다. First, the thin film transistor substrate 100 will be described.

제1기판소재(110)위에 게이트 배선(121, 122, 123)이 형성되어 있다. 게이트 배선(121, 122, 123)은 금속 단일층 또는 다중층일 수 있다. 게이트 배선(121, 122, 123)은 가로 방향으로 뻗어 있는 게이트선(121) 및 게이트선(121)에 연결되어 있는 박막트랜지스터의 게이트 전극(122)을 포함한다. 여기서 표시영역 밖에 위치하는 게이트 패드(123)는 게이트선(121)의 한 쪽 끝부분으로써 외부 회로와의 연결을 위해 폭이 확장되어 있다.Gate wirings 121, 122, and 123 are formed on the first substrate material 110. The gate wirings 121, 122, and 123 may be a metal single layer or multiple layers. The gate lines 121, 122, and 123 include a gate line 121 extending in a horizontal direction and a gate electrode 122 of a thin film transistor connected to the gate line 121. Here, the gate pad 123 positioned outside the display area is one end of the gate line 121, and the width of the gate pad 123 is extended for connection with an external circuit.

제1기판소재(110)위에는 질화규소(SiNx) 등으로 이루어진 게이트 절연막(141)이 게이트 배선(121, 122, 123)을 덮고 있다.On the first substrate material 110, a gate insulating layer 141 made of silicon nitride (SiNx) or the like covers the gate lines 121, 122, and 123.

게이트 전극(122)의 게이트 절연막(141) 상부에는 비정질 규소 등의 반도체로 이루어진 반도체층(142)이 형성되어 있으며, 반도체층(142)의 상부에는 실리사이드 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 등의 물질로 만들어진 저항 접촉층(143)이 형성되어 있다. 저항 접촉층(143)은 게이트 전극(122)을 중심으로 2부분으로 나누어져 있다.A semiconductor layer 142 made of a semiconductor such as amorphous silicon is formed on the gate insulating layer 141 of the gate electrode 122, and n + is doped with silicide or n-type impurities at a high concentration on the semiconductor layer 142. An ohmic contact layer 143 made of a material such as hydrogenated amorphous silicon is formed. The ohmic contact layer 143 is divided into two parts around the gate electrode 122.

저항 접촉층(143) 및 게이트 절연막(141) 위에는 데이터 배선(131, 132, 133, 134)이 형성되어 있다. 데이터 배선(131, 132, 133, 134) 역시 금속층으로 이루어진 단일층 또는 다중층일 수 있다. 데이터 배선(131, 132, 133, 134)은 세로방향으로 형성되어 게이트선(121)과 교차하여 화소를 정의하는 데이터선(131), 데이터선(131)의 분지이며 저항 접촉층(143)의 상부까지 연장되어 있는 소스 전극(132), 소스전극(132)과 분리되어 있으며 게이트 전극(122)을 중심으로 소스전극(132)의 반대쪽 저항 접촉층(143) 상부에 형성되어 있는 드레인 전극(133)을 포함한다. 여기서 표시영역 밖에 위치하는 데이터 패드(134)는 데이터선(131)의 한 쪽 끝부분으로써 외부 회로와의 연결을 위해 폭이 확장되어 있다.Data lines 131, 132, 133, and 134 are formed on the ohmic contact layer 143 and the gate insulating layer 141. The data lines 131, 132, 133, and 134 may also be single layers or multiple layers of metal layers. The data wires 131, 132, 133, and 134 are formed in a vertical direction and intersect the gate line 121 to define a pixel to define a pixel and a branch of the data line 131 and the data line 131. A drain electrode 133 which is separated from the source electrode 132 and the source electrode 132 that extends to the top and is formed on the ohmic contact layer 143 opposite to the source electrode 132 with respect to the gate electrode 122. ). The data pad 134 positioned outside the display area is one end of the data line 131, and the width of the data pad 134 is extended for connection with an external circuit.

데이터 배선(131, 132, 133, 134) 및 이들이 가리지 않는 반도체층(142)의 상부에는 질화규소, PECVD(plasma-enhanced chemical vapor deposition) 방법에 의하여 증착된 a-Si:C:O 막 또는 a-Si:O:F막 및 아크릴계 유기절연막 또는 투명 감광막 등으로 이루어진 절연막(151)이 형성되어 있다. 절연막(151)에는 드레인 전극(133) 및 데이터 패드(134)를 각각 드러내는 접촉구(181, 183)가 형성되어 있으며, 게이트 절연막(141)과 함께 게이트 패드(123)를 드러내는 접촉구(182)도 형성되어 있다. 또한 절연막(151)에는 신호선(121, 131)을 따라 만곡부(191)가 형성되어 있다. 만곡부(191)에 대하여는 후술하겠다.On top of the data lines 131, 132, 133, and 134 and the semiconductor layer 142 which is not covered, silicon nitride, an a-Si: C: O film deposited by a plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method, or a- An insulating film 151 made of a Si: O: F film, an acrylic organic insulating film, a transparent photosensitive film, or the like is formed. The insulating layer 151 has contact holes 181 and 183 for exposing the drain electrode 133 and the data pad 134, respectively, and the contact hole 182 for exposing the gate pad 123 together with the gate insulating layer 141. Also formed. In addition, curved portions 191 are formed in the insulating layer 151 along the signal lines 121 and 131. The curved portion 191 will be described later.

절연막(151)의 상부에는 화소전극층(171)이 형성되어 있다. 화소전극층(171)은 통상 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide)등의 투명한 도전물질로 이루어진다.
The pixel electrode layer 171 is formed on the insulating layer 151. The pixel electrode layer 171 is usually made of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO).

이어 컬러필터 기판(200)에 대하여 설명하겠다. Next, the color filter substrate 200 will be described.

제2기판소재(210) 위에 블랙매트릭스(221, 222, 223)가 형성되어 있다. 박막트랜지스터의 상부에 위치한 블랙매트릭스(221)는 박막트랜지스터로의 직접적인 광조사를 차단하는 역할을 한다. 비정질 실리콘 박막트랜지스터는 빛에 의해 광누설 전류가 흐르기 쉽기 때문이다. 게이트선(121)의 상부에 위치하는 블랙매트릭스(222)와 데이터선(131)의 상부에 위치하는 블랙매트릭스(223)는 적색, 녹색 및 청색 필터 사이를 구분한다. 블랙매트릭스(221, 222, 223)는 검은색 안료 가 첨가된 감광성 유기물질을 포함하는 것일 수 있다. 상기 검은색 안료로는 카본블랙이나 티타늄 옥사이드 등을 사용한다. Black matrices 221, 222, and 223 are formed on the second substrate material 210. The black matrix 221 positioned on the top of the thin film transistor serves to block direct light irradiation to the thin film transistor. Amorphous silicon thin film transistor is because light leakage current easily flows by light. The black matrix 222 positioned above the gate line 121 and the black matrix 223 positioned above the data line 131 distinguish between red, green, and blue filters. The black matrices 221, 222, and 223 may include photosensitive organic materials to which black pigments are added. As the black pigment, carbon black or titanium oxide is used.

컬러필터층(231)은 블랙매트릭스(221, 222, 223)를 경계로 하여 적색, 녹색 및 청색 필터가 반복되어 형성된다. 컬러필터층(231)은 백라이트 유닛(도시하지 않음)으로부터의 조사되어 액정층(300)을 통과한 빛에 색상을 부여하는 역할을 한다. 컬러필터층(231)은 통상 감광성 유기물질을 포함한다.The color filter layer 231 is formed by repeating the red, green, and blue filters on the black matrices 221, 222, and 223. The color filter layer 231 serves to impart color to light emitted from the backlight unit (not shown) and passed through the liquid crystal layer 300. The color filter layer 231 generally includes a photosensitive organic material.

컬러필터층(231)과 컬러필터층(231)이 덮고 있지 않은 블랙매트릭스(221, 222, 223)의 상부에는 오버코트막(241)이 형성되어 있다. 오버코트막(241)은 컬러필터층(231)을 평탄화하면서, 컬러필터층(231)을 보호하는 역할을 하며 통상 아크릴계 에폭시 재료가 많이 사용된다.An overcoat layer 241 is formed on the black matrices 221, 222, and 223 not covered by the color filter layer 231 and the color filter layer 231. The overcoat layer 241 serves to protect the color filter layer 231 while planarizing the color filter layer 231, and an acrylic epoxy material is generally used.

오버코트막(241)의 상부에는 공통전극층(251)이 형성되어 있다. 공통전극층(251)은 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide)등의 투명한 도전물질로 이루어진다. 공통전극층(251)은 박막트랜지스터 기판의 화소전극층(171)과 함께 액정층(300)에 직접 전압을 인가한다.
The common electrode layer 251 is formed on the overcoat layer 241. The common electrode layer 251 is made of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO). The common electrode layer 251 directly applies a voltage to the liquid crystal layer 300 together with the pixel electrode layer 171 of the thin film transistor substrate.

이하 절연막(151)에 형성된 만곡부(191)에 대하여 각각 제1실시예와 제2실시예에 따른 만곡부(191)를 설명한 도 3a와 도3b를 참조하여 설명하겠다. 데이터선(131)에 대응하는 만곡부(191)만을 설명하였으나 이는 게이트선(131)에도 적용될 수 있다.Hereinafter, the curved portions 191 formed on the insulating film 151 will be described with reference to FIGS. 3A and 3B, which illustrate the curved portions 191 according to the first and second embodiments, respectively. Although only the curved portion 191 corresponding to the data line 131 has been described, this may also be applied to the gate line 131.

도 3a를 보면, 절연막(151)에 형성된 만곡부(191)는 데이터선(131)을 향하여 함몰되어 있다. 또한 만곡부(191)는 블랙매트릭스(222)를 향해 외향만곡되어 있다. 또한 이렇게 형성된 만곡부(191)는 백라이트 유닛으로부터 데이터선(191)에 인접하여 조사되는 빛을 바깥쪽으로 굴절시킨다. 즉 블랙매트릭스(222)에 의해 차단되지 아니하게 빛의 경로를 변경하는 것이다. 이에 의해 데이터선(131)에 의하여는 차단되지 않으나 블랙매트릭스(222)에 의하여 차단되던 빛, 즉 도 2의 'A'영역을 통과하는 빛도 액정층(300)과 컬러필터층(231)을 거쳐 액정패널(10)의 외부로 출사된다. 이에 의하여 액정표시장치의 휘도가 높아진다. 3A, the curved portion 191 formed in the insulating layer 151 is recessed toward the data line 131. In addition, the curved portion 191 is curved outward toward the black matrix 222. In addition, the curved portion 191 formed as described above refracts light irradiated adjacent to the data line 191 from the backlight unit to the outside. That is to change the path of the light not to be blocked by the black matrix 222. Accordingly, light that is not blocked by the data line 131 but blocked by the black matrix 222, that is, light that passes through the 'A' region of FIG. 2, also passes through the liquid crystal layer 300 and the color filter layer 231. It is emitted to the outside of the liquid crystal panel 10. As a result, the luminance of the liquid crystal display device is increased.

이 때 절연막(151)의 굴절율은 액정층(300)의 굴절율보다 커야 한다. 제1실시예에서 만곡부(191)는 백라이트 유닛으로부터의 빛에 대해 볼록렌즈로 작용하여 빛을 분산시킨다. 그런데 절연막(151)의 굴절율이 액정층(300)의 굴절율보다 작게 되면 만곡부(191)는 빛을 모으는 작용을 하게 된다. 따라서 빛은 블랙매트릭스(222) 쪽으로 굴절되어 액정표시장치의 휘도가 향상되지 않는다. In this case, the refractive index of the insulating layer 151 should be larger than that of the liquid crystal layer 300. In the first embodiment, the curved portion 191 acts as a convex lens to the light from the backlight unit to distribute the light. When the refractive index of the insulating layer 151 is smaller than the refractive index of the liquid crystal layer 300, the curved portion 191 may collect light. Therefore, light is refracted toward the black matrix 222 so that the brightness of the liquid crystal display is not improved.

도 3b를 보면, 제2실시예에서의 만곡부(191) 역시 데이터선(131)을 향하여 함몰되어 있다. 다만, 제1실시예에서와 달리 만곡부(191)는 데이터선(131)을 향하여 내향만곡되어 있다. 제2실시예에서의 만곡부(191) 역시 데이터선(131)에 인접하여 공급되는 빛을 분산시켜, 액정층(300)과 컬러필터층(231)을 거쳐 액정패널(10)의 외부로 출사시킨다. 3B, the curved portion 191 of the second embodiment is also recessed toward the data line 131. However, unlike the first embodiment, the curved portion 191 is curved inward toward the data line 131. The curved portion 191 of the second embodiment also disperses the light supplied adjacent to the data line 131 and exits the liquid crystal panel 10 through the liquid crystal layer 300 and the color filter layer 231.

이 때 제1실시예와 같이 절연막(151)의 굴절율은 액정층(300)의 굴절율보다 커야 한다. 제2실시예에서 만곡부(191)는 백라이트 유닛으로부터의 빛에 대해 오목렌즈로 작용하여 빛을 분산시킨다. 그런데 절연막(151)의 굴절율이 액정층(300)의 굴절율보다 작게 되면 만곡부(191)는 빛을 블랙매트릭스(222) 쪽으로 모으는 작용을 하게 된다. 따라서 액정표시장치의 휘도는 향상되지 않는 것이다.
At this time, as in the first embodiment, the refractive index of the insulating layer 151 should be larger than that of the liquid crystal layer 300. In the second embodiment, the curved portion 191 acts as a concave lens to the light from the backlight unit to distribute the light. However, when the refractive index of the insulating layer 151 is smaller than the refractive index of the liquid crystal layer 300, the curved portion 191 collects light toward the black matrix 222. Therefore, the luminance of the liquid crystal display device is not improved.

제1실시예 및 제2실시예와 달리 절연막(151)의 굴절율이 액정층(300)의 굴절율보다 작을 경우에는 만곡부(191)를 블랙매트릭스(222)를 향하도록 돌출시키면 된다. 이 경우에도 역시 만곡부(191)는 블랙매트릭스(222)를 향해 외향만곡되거나, 데이터선(131)을 향해 내향만곡되어 있을 수 있다.
Unlike the first and second embodiments, when the refractive index of the insulating layer 151 is smaller than the refractive index of the liquid crystal layer 300, the curved portion 191 may be protruded to face the black matrix 222. In this case, the curved portion 191 may also be curved outward toward the black matrix 222 or may be curved inward toward the data line 131.

이하에서는 본 발명의 제1실시예에 따른 박막트랜지스터 기판(100)의 제조방법에 대하여 설명하겠다.Hereinafter, a method of manufacturing the thin film transistor substrate 100 according to the first embodiment of the present invention will be described.

도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 박막트랜지스터 기판(100)의 제조방법을 나타내는 단면도이다.4A to 4C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the thin film transistor substrate 100 according to the embodiment of the present invention.

먼저 도 4a와 같이 제1기판소재(110)상에 박막트랜지스터와 신호선(121, 131)을 형성한다. 자세한 과정은 다음과 같다.First, as shown in FIG. 4A, thin film transistors and signal lines 121 and 131 are formed on the first substrate material 110. The detailed process is as follows.

제1기판소재(110)상에 게이트 금속층을 증착한 후, 마스크를 이용한 사진 식각 공정으로 패터닝하여 게이트선(121), 게이트 전극(122), 게이트 패드(123) 등을 포함하는 게이트 배선(121, 122, 123)을 형성한다. 다음, 게이트 절연막(141), 반도체층(142), 저항 접촉층(143)의 삼층막을 연속하여 적층하고, 반도체층(142)과 저항 접촉층(143)을 사진 식각하여 게이트 전극(122) 상부의 게이트 절연막(141) 위에 섬 모양의 반도체층(142)과 저항 접촉층(143)을 형성한다. 다음, 데이터 금속 층을 증착한 후 마스크를 이용한 사진 식각 공정으로 패터닝하여 게이트선(121)과 교차하는 데이터선(131), 데이터선(131)과 연결되어 게이트 전극(122)의 상부까지 연장되어 있는 소스 전극(132)과, 이에 마주하는 드레인 전극(133)을 포함하는 데이터 배선(131, 132, 133, 134)을 형성한다. 이어 데이터 배선(131, 133, 134)으로 가리지 않은 저항 접촉층(143)을 식각하여 게이트 전극(122)을 중심으로 양쪽으로 분리시키는 한편, 반도체층(142)을 노출시킨다. 노출된 반도체층(142)의 표면을 안정화시키기 위하여 산소 플라즈마를 실시하는 것이 바람직하다.
After the gate metal layer is deposited on the first substrate material 110, the gate metal layer 121 includes a gate line 121, a gate electrode 122, a gate pad 123, and the like, patterned by a photolithography process using a mask. , 122, 123. Next, three layers of the gate insulating layer 141, the semiconductor layer 142, and the ohmic contact layer 143 are sequentially stacked, and the semiconductor layer 142 and the ohmic contact layer 143 are photo-etched to form an upper portion of the gate electrode 122. An island-shaped semiconductor layer 142 and an ohmic contact layer 143 are formed on the gate insulating layer 141. Next, the data metal layer is deposited and patterned by a photolithography process using a mask to be connected to the data line 131 and the data line 131 crossing the gate line 121 to extend to the upper portion of the gate electrode 122. Data lines 131, 132, 133, and 134 including a source electrode 132 and a drain electrode 133 facing the same are formed. Subsequently, the ohmic contact layer 143 that is not covered by the data wires 131, 133, and 134 is etched to be separated on both sides of the gate electrode 122, and the semiconductor layer 142 is exposed. In order to stabilize the surface of the exposed semiconductor layer 142, it is preferable to perform an oxygen plasma.

이어 도4b와 같이 절연막(151)을 형성하고 그 상부에 감광막(500)을 도포한다.이어 감광막(500)을 마스크(400)를 통해 자외선으로 노광한다. 이 때 사용되는 마스크(400)는 쿼츠 등으로 만들어진 마스크 기판(410)과, 마스크 기판(410)에 형성되어 있으며 노광패턴이 마련되어 있는 차광막(420)을 포함한다.Next, as shown in FIG. 4B, an insulating film 151 is formed and a photoresist film 500 is applied thereon. The photoresist film 500 is then exposed to ultraviolet rays through a mask 400. The mask 400 used at this time includes a mask substrate 410 made of quartz or the like, and a light shielding film 420 formed on the mask substrate 410 and provided with an exposure pattern.

차광막(420)에는 접촉구(181)를 형성하기 위한 노광패턴(B), 만곡부(191)를 형성하기 위한 노광패턴(C)이 형성되어 있다. 접촉구(181)를 형성하기 위한 노광패턴(B)에는 통상 접촉구(181)의 형상에 대응하도록 차광막(420)이 제거되어 있다. 반면 만곡부(191)를 형성하기 위한 노광패턴(C)은 자외선을 투과시키는 슬릿 패턴으로 되어 있다. 슬릿 패턴은 중앙부분에서 슬릿의 폭이 넓고, 주변 부분에서는 슬릿의 폭이 좁게 형성되어 있다. An exposure pattern B for forming the contact hole 181 and an exposure pattern C for forming the curved portion 191 are formed in the light blocking film 420. In the exposure pattern B for forming the contact hole 181, the light shielding film 420 is removed to correspond to the shape of the contact hole 181. On the other hand, the exposure pattern C for forming the curved portion 191 is a slit pattern that transmits ultraviolet rays. In the slit pattern, the width of the slit is wide at the center portion, and the width of the slit is narrow at the peripheral portion.

이와 같은 마스크(400)를 사용하여 감광막(500)에 자외선을 조사하면 빛에 직접 노출되는 부분에서는 고분자들이 완전히 분해되며, 슬릿 패턴이 형성된 부분 에서는 빛의 조사량이 적으므로 고분자들은 완전 분해 되지 않는다. 노광 후 현상을 통해 분해된 고분자들을 제거하면, 노광패턴(B)에 대응하는 'D'부분의 감광막(500)은 완전히 제거되며, 노광패턴(C)에 대응하는 'E'부분의 감광막(500)은 일부만이 제거되게 된다. 'E'부분의 감광막(500)을 자세히 설명하면 슬릿의 폭이 넓은 중앙부분에서는 상대적으로 감광막(500)의 두께가 얇고, 슬릿의 폭이 좁은 주변부분에서는 상대적으로 감광막(500)의 두께가 두껍게 된다.When the ultraviolet ray is irradiated on the photoresist film 500 using the mask 400, the polymers are completely decomposed at the portion directly exposed to the light, and the polymers are not completely decomposed at the portion where the slit pattern is formed. When the polymers decomposed through the post-exposure development are removed, the photosensitive film 500 of the 'D' portion corresponding to the exposure pattern B is completely removed, and the photosensitive film 500 of the 'E' portion corresponding to the exposure pattern C is completely removed. ) Will only be removed. When the photosensitive film 500 of the 'E' portion is described in detail, the thickness of the photosensitive film 500 is relatively thin in the central portion of the wide slit, and the thickness of the photosensitive film 500 is relatively thick in the peripheral portion of the narrow slit. do.

도 4c는 노광과 현상을 거쳐 형성된 감광막 패턴을 이용해 절연막(151)을 식각하여 패터닝한 것을 나타낸다. 절연막(151)에는 화소전극(171)과 드레인 전극(1133)을 연결하기 위한 접촉구(181)와 신호선(121, 131)의 상부에 형성된 만곡부(191)가 마련되어 있다. 만곡부(191)는 절연막(151)의 식각과정에서 감광막(500)이 얇은 중앙부분에서는 식각이 많이 되고, 감광막(500)이 두꺼운 주변영역에서는 식각이 조금 되어 형성된다.4C illustrates that the insulating film 151 is etched and patterned using the photosensitive film pattern formed through exposure and development. The insulating layer 151 is provided with a contact hole 181 for connecting the pixel electrode 171 and the drain electrode 1133 and a curved portion 191 formed on the signal lines 121 and 131. The curved portion 191 is formed by etching a lot in the central portion where the photoresist film 500 is thin during the etching process of the insulating layer 151, and a little etching in the peripheral region where the photoresist film 500 is thick.

이후 도 2와 같이 화소전극(171)을 증착하고 패터닝하면 박막트랜지스터 기판(100)이 완성된다.
Thereafter, when the pixel electrode 171 is deposited and patterned as shown in FIG. 2, the thin film transistor substrate 100 is completed.

위 실시예에서 만곡부(191) 형성을 위해 사용되는 마스크(400)의 슬릿 대신, 격자형태의 패턴이나 반투명막을 사용할 수도 있다. 반투명막을 이용하는 경우에는 마스크(400)를 제작할 때 투과율을 조절하기 위하여 다른 투과율을 가지는 박막을 이용하거나 두께가 다른 박막을 이용할 수도 있다.
Instead of the slit of the mask 400 used to form the curved portion 191 in the above embodiment, a grid pattern or a translucent film may be used. In the case of using the translucent film, a thin film having a different transmittance or a thin film may be used to control the transmittance when fabricating the mask 400.

도5는 본발명의 제3실시예에 따른 박막트랜지스터 기판(100)의 형성방법을 나타낸 단면도이다. 제3실시예에서의 절연막(151)은 투명 감광막이다. 따라서 제1실시예와 같이 감광막(500)을 도포, 노광, 현상하고 절연막(151)을 식각하는 과정이 필요하지 않다.5 is a cross-sectional view illustrating a method of forming a thin film transistor substrate 100 according to a third embodiment of the present invention. The insulating film 151 in the third embodiment is a transparent photosensitive film. Therefore, as in the first embodiment, the process of applying, exposing and developing the photoresist film 500 and etching the insulation film 151 is not necessary.

만곡부(191)를 형성하는 방법은 절연막(151) 도포 후 노광 시, 도 5와 같은 패턴이 형성되도록 노광영역을 조절하는 것이다. 도5와 같은 상태에서 열을 가하면 절연막(151)은 리플로우 되어 만곡부(191)가 형성되게 된다.A method of forming the curved portion 191 is to adjust the exposure area so that the pattern as shown in FIG. 5 is formed when the insulating film 151 is coated and then exposed. When heat is applied in the state as shown in FIG. 5, the insulating layer 151 is reflowed to form the curved portion 191.

도 5에서는 화소전극(171)과 드레인 전극(133)을 연결하기 위한 접촉구(181)를 도시하지 않았는데, 접촉구(181)은 별도의 노광을 통해 형성된다. 다만, 절연막(151)의 리플로우 과정에서 막히지 않도록 접촉구(181)를 설계하는 경우, 접촉구(181)가 형성된 상태에서 만곡부(191)의 형성을 위한 가열이 진행될 수도 있다.
In FIG. 5, the contact hole 181 for connecting the pixel electrode 171 and the drain electrode 133 is not illustrated, but the contact hole 181 is formed through a separate exposure. However, when the contact hole 181 is designed so as not to be blocked in the reflow process of the insulating layer 151, the heating for forming the curved portion 191 may be performed while the contact hole 181 is formed.

컬러필터 기판(200)의 제조방법을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the manufacturing method of the color filter substrate 200 as follows.

먼저 제2기판소재(210)상에 블랙매트릭스(221, 222, 223)를 형성한다. 블랙매트릭스(221, 222, 223)는 검은 색 안료가 첨가된 감광물질로 만들 수 있으며, 도포, 현상, 베이크 과정을 거쳐서 완성된다. 이후 컬러필터층(231)을 형성하는데 컬러필터층(231)은 화소마다 적색, 녹색 및 청색 필터를 번갈아가며 형성한다. First, black matrices 221, 222, and 223 are formed on the second substrate material 210. The black matrices 221, 222, and 223 may be made of a photosensitive material to which black pigments are added, and are completed by applying, developing, and baking. Thereafter, the color filter layer 231 is formed, and the color filter layer 231 is alternately formed with red, green, and blue filters for each pixel.

컬러필터층(231)이 완성되면 오버코트막(241)을 형성하여 컬러필터층(231)을 평탄화하고, 컬러필터층(231)을 보호한다. 오버코트막(241)의 상부에 공통전극층(251)을 스퍼터링 등의 방법을 통하여 증착시키면 컬러필터 기판(200)이 완성된다. When the color filter layer 231 is completed, the overcoat layer 241 is formed to planarize the color filter layer 231 and protect the color filter layer 231. When the common electrode layer 251 is deposited on the overcoat layer 241 by sputtering or the like, the color filter substrate 200 is completed.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 신호선 상부의 절연막에 만곡부를 형성함으로서 백라이트 유닛으로부터 게이트선과 데이터선 주위로 조사되는 빛을 휘도증가에 사용하는 액정표시장치가 제공된다. 또한 이러한 액정표시장치를 제조하는 방법이 제공된다. As described above, according to the present invention, there is provided a liquid crystal display device which uses the light emitted from the backlight unit around the gate line and the data line to increase the luminance by forming a curved portion in the insulating film on the signal line. Also provided is a method of manufacturing such a liquid crystal display device.

Claims (10)

신호선과 상기 신호선 상에 형성된 절연막을 갖는 제1 기판과, 상기 제1기판과 대향하며 상기 신호선에 대응하는 블랙매트릭스가 형성된 제2기판과, 상기 제1및 제2 기판 사이에 위치하는 액정층을 포함하는 액정표시장치에 있어서,A first substrate having a signal line and an insulating film formed on the signal line, a second substrate facing the first substrate and having a black matrix corresponding to the signal line, and a liquid crystal layer positioned between the first and second substrates; In the liquid crystal display device comprising: 상기 절연막에는 상기 신호선을 따라 만곡부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.And a curved portion is formed in the insulating film along the signal line. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 절연막의 굴절율은 상기 액정층의 굴절율보다 큰 것을 특징으로 하는 액정표시장치.The refractive index of the insulating film is greater than the refractive index of the liquid crystal layer. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 만곡부는 상기 신호선을 향해 함몰되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.And the curved portion is recessed toward the signal line. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 만곡부는 상기 블랙매트릭스를 향해 외향만곡된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.And the curved portion is curved outward toward the black matrix. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 만곡부는 상기 신호선을 향해 내향만곡된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.And the curved portion is curved inwardly toward the signal line. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 절연막의 굴절율은 상기 액정층의 굴절율보다 작으며,The refractive index of the insulating film is smaller than the refractive index of the liquid crystal layer, 상기 만곡부는 상기 블랙매트릭스를 향해 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.And the curved portion protrudes toward the black matrix. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 블랙매트릭스의 폭은 상기 신호선의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 액정표시장치.And the width of the black matrix is greater than the width of the signal line. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 절연막은 유기 감광막인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.And the insulating film is an organic photosensitive film. 액정표시장치의 제조방법에 있어서,In the manufacturing method of the liquid crystal display device, 기판 소재 상에 신호선을 형성하는 단계와;Forming a signal line on the substrate material; 상기 신호선 상에 절연막을 증착하는 단계와;Depositing an insulating film on the signal line; 상기 절연막이 상기 신호선을 따라 만곡부를 갖도록 패터닝하는 단계를 포함 하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법. And patterning the insulating layer to have a curved portion along the signal line. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 절연막의 패터닝 단계는.The patterning step of the insulating film is. 상기 절연막의 상부에 감광막을 도포하는 단계와;Applying a photoresist film on top of the insulating film; 상기 감광막을 슬릿을 가진 마스크를 이용하여 감광하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.The method of manufacturing a liquid crystal display device further comprising the step of photosensitive the photosensitive film using a mask having a slit.
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KR101313652B1 (en) * 2006-12-14 2013-10-02 엘지디스플레이 주식회사 Three dimensional image display device and manufacturing method thereof

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