KR20060000278A - 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 제 1 도메인과 제 2 도메인이 상.하로 구성된 다수의 화소 영역이 정의된 기판과;상기 제 1 도메인과 제 2 도메인의 사이 영역에 일 방향으로 연장된 게이트 배선과;상기 게이트 배선과 수직한 방향으로 교차하는 데이터 배선과;상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 구성된 박막트랜지스터와;상기 제 1 도메인에 기울기를 가지고 구성된 다수의 제 1 수평부와, 상기 제 2 도메인에 구성되고 상기 제 1 수평부와 대칭되게 구성된 다수의 제 2 수평부와, 상기 제 1 및 제 2 수평부의 일 측에서 이를 하나로 연결하는 제 1 수직부와, 상기 제 1 및 제 2 수평부의 타측에서 이를 하나로 연결하는 제 2 수직부로 구성된 공통 전극과;상기 박막트랜지스터와 연결되고 상기 공통 전극의 수평부와 평행하게 이격하여 구성된 제 1 수평부와 제 2 수평부와, 상기 제 1 및 제 2 수평부의 일 측에서 이를 하나로 연결하는 제 1 수직부와, 상기 제 1 및 제 2 수평부의 타 측에서 이를 하나로 연결하는 제 2 수직부를 하나로 연결하는 화소 전극을 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 박막트랜지스터는 게이트 전극과 반도체층(액티브층, 오믹 콘택층)과 소스 전극과 드레인 전극으로 구성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 소스 전극은 "U"형상으로 구성되고, 상기 드레인 전극은 소스 전극의 내부에서 이와는 평행하게 이격된 막대 형상으로 구성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 화소 전극의 수평부는 상기 게이트 배선의 상부로 연장되어, 이를 제 1 전극으로 하고 그 하부의 게이트 배선을 제 2 전극으로 하는 스토리지 캐패시터를 형성하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 게이트 배선과 게이트 배선의 사이 영역에는 제 1 도메인 또는 제 2 도 메인 만으로 구성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 공통 전극은 상기 게이트 배선과 동일층에 구성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 화소 전극은 투명한 재질로 구성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 공통 전극과 화소 전극의 수평부의 간격은 10㎛이고, 상기 게이트 배선과 화소 전극의 수평부 사이의 간격은 9㎛인 것을 특징으로 하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
- 기판 상에 제 1 도메인과 제 2 도메인이 상.하로 구성된 다수의 화소 영역을 정의하는 단계와;상기 제 1 도메인과 제 2 도메인의 사이 영역에 일 방향으로 연장된 게이트 배선 형성하는 단계와;상기 게이트 배선과 수직한 방향으로 교차하는 데이터 배선을 형성하는 단계와;상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 구성된 박막트랜지스터를 형성하는 단계와;상기 제 1 도메인에 기울기를 가지고 구성된 다수의 제 1 수평부와, 상기 제 2 도메인에 구성되고 상기 제 1 수평부와 대칭되게 구성된 다수의 제 2 수평부와, 상기 제 1 및 제 2 수평부의 일 측에서 이를 하나로 연결하는 제 1 수직부와, 상기 제 1 및 제 2 수평부의 타측에서 이를 하나로 연결하는 제 2 수직부로 구성된 공통 전극을 형성하는 단계와;상기 박막트랜지스터와 연결되고, 상기 공통 전극의 수평부와 평행하게 이격하여 구성된 제 1 수평부와 제 2 수평부와, 상기 제 1 및 제 2 수평부의 일측에서 이를 하나로 연결하는 제 1 수직부와, 상기 제 1 및 제 2 수평부의 타측에서 이를 하나로 연결하는 제 2 수직부를 하나로 연결하는 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 박막트랜지스터는 게이트 전극과 반도체층(액티브층, 오믹 콘택층)과 소스 전극과 드레인 전극을 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 소스 전극은 "U"형상으로 형성되고, 상기 드레인 전극은 소스 전극의 내부에서 이와는 평행하게 이격된 막대 형상으로 형성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 화소 전극의 수평부는 상기 게이트 배선의 상부로 연장되어, 이를 제 1 전극으로 하고 그 하부의 게이트 배선을 제 2 전극으로 하는 스토리지 캐패시터를 형성하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 공통 전극은 상기 게이트 배선과 동일층 동일물질로 형성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 화소 전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함하는 투명한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나로 형성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 공통 전극과 화소 전극의 수평부의 간격은 10㎛이고, 상기 게이트 배선과 화소 전극의 수평부 사이의 간격은 9㎛인 것을 특징으로 하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 기판 상에 제 1 도메인과 제 2 도메인이 상.하로 구성된 다수의 화소 영역을 정의하는 단계와;상기 제 1 도메인과 제 2 도메인의 사이 영역에 일 방향으로 연장된 게이트 선과, 상기 게이트 배선과 연결된 게이트 전극과, 상기 제 1 도메인에 기울기를 가지는 다수의 제 1 수평부와, 상기 제 2 도메인에 상기 제 1 수평부와 대칭되게 구성된 다수의 제 2 수평부와, 상기 제 1 및 제 2 수평부의 일 측에서 이를 하나로 연결하는 제 1 수직부와, 상기 제 1 및 제 2 수평부의 타측에서 이를 하나로 연결 하는 제 2 수직부로 구성된 공통 전극을 형성하는 단계와;상기 게이트 전극의 상부에 게이트 절연막을 사이에 두고 순차 적층된 액티브층과 오믹 콘택층을 형성하는 단계와;상기 오믹 콘택층의 상부에 이격된 소스 전극과 드레인 전극을 형성하고, 상기 소스 전극과 연결되는 동시에 상기 게이트 배선과 수직하게 교차하는 데이터 배선을 형성하는 단계와;상기 드레인 전극과 접촉하고, 상기 공통 전극의 수평부와 평행하게 이격하여 구성된 제 1 수평부와 제 2 수평부와, 상기 제 1 및 제 2 수평부의 일측에서 이를 하나로 연결하는 제 1 수직부와, 상기 제 1 및 제 2 수평부의 타측에서 이를 하나로 연결하는 제 2 수직부를 하나로 연결하는 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 화소 전극의 수평부는 상기 게이트 배선의 상부로 연장되어, 이를 제 1 전극으로 하고 그 하부의 게이트 배선을 제 2 전극으로 하는 스토리지 캐패시터를 형성하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 화소 전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함하는 투명한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나로 형성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
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