KR100930363B1 - 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이 기판 제조방법 - Google Patents
횡전계 방식 액정표시장치용 어레이 기판 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (5)
- 기판 상에 다수의 화소 영역을 정의하는 단계와;상기 기판 상에 투명 전극층과 불투명 전극층을 적층한 후, 마스크 공정을 통해 패턴하여, 막대 형상의 투명 공통 전극을 형성하는 단계와;상기 화소 영역의 일 측에 게이트 배선과, 상기 게이트 배선과 연결된 게이트 전극과, 상기 투명한 공통 전극과 접촉하는 공통 배선을 형성하는 단계와;상기 게이트 절연막의 상부에 액티브층과 오믹 콘택층을 형성하는 단계와;상기 오믹 콘택층의 상부에 이격된 소스 전극과 드레인 전극과, 상기 소스 전극과 연결된 데이터 배선을 형성하는 단계와;상기 소스 및 드레인 전극이 형성된 기판의 전면에, 상기 드레인 전극의 일부를 노출하는 보호막을 형성하는 단계와;상기 드레인 전극과 접촉하면서, 상기 공통 전극과 이격하여 구성된 막대형상의 투명한 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 막대 형상의 투명한 공통 전극을 형성하는 단계는,상기 기판 상에 투명 전극층과 불투명 전극층을 적층하는 단계와;상기 불투명 전극층의 상부에 감광층을 적층하고, 마스크 공정을 이용한 노광 공정과 현상 공정을 진행하여, 막대 형상의 감광층을 형성하는 단계와;상기 감광층의 주변으로 노출된 불투명 전극층과 그 하부의 투명 전극층을 제거하여, 상기 감광층의 하부에 이와 동일한 형상으로 패턴된 투명 전극층과 불투명 전극층을 형성하는 단계와;상기 상부의 감광층을 제거한 후, 하부의 불투명 전극층을 제거하여, 막대 형상의 투명한 공통 전극을 형성하는 단계를 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 막대 형상의 투명 공통 전극은, 다수의 수평부와 수평부의 양측에 위치하여 상기 다수의 수평부를 하나로 연결하는 제 1 수직부와 제 2 수직부로 형성된 것을 특징으로 하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 3 항에 있어서,상기 투명한 화소 전극은, 상기 공통 전극의 수평부 사이에 위치하여 이와 평행하게 이격된 다수의 수평부와, 수평부의 양측에 위치하여 상기 다수의 수평부 를 하나로 연결하는 제 1 수직부와 제 2 수직부를 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 공통 전극과 화소 전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO)와, 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함하는 투명한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나로 형성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
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