KR20050113303A - Sub word line driver in semiconductor memory device - Google Patents

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KR20050113303A KR1020040037331A KR20040037331A KR20050113303A KR 20050113303 A KR20050113303 A KR 20050113303A KR 1020040037331 A KR1020040037331 A KR 1020040037331A KR 20040037331 A KR20040037331 A KR 20040037331A KR 20050113303 A KR20050113303 A KR 20050113303A
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Abstract

CMOS 타입 서브 워드 라인 드라이버를 구비한 메모리 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치는 서브 워드라인 드라이버의 게이트 노드가 비활성의 스테디 스테이트 상태일 때 그라운드 레벨 또는 네거티브 전압 레벨을 갖는다. 따라서, 워드 라인 인에이블 신호 라인과 다른 신호 라인 간의 누설 전류를 방지하여, 메모리 장치의 신뢰성을 향상시키고, 내부 승압 전원 전압 레벨을 유지시켜, 불필요한 내부 소모 전력의 낭비를 방지한다. A memory device having a CMOS type sub word line driver is disclosed. The semiconductor memory device according to the present invention has a ground level or a negative voltage level when the gate node of the sub wordline driver is in an inactive steady state state. Thus, leakage current between the word line enable signal line and another signal line is prevented, thereby improving the reliability of the memory device and maintaining the internal boosted power supply voltage level, thereby preventing unnecessary waste of internal power consumption.

Description

반도체 메모리 장치의 서브 워드 라인 드라이버{Sub word line driver in semiconductor memory device}Sub word line driver in semiconductor memory device

본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 구체적으로는, 반도체 메모리 장치의 CMOS 타입서브 워드 라인 드라이버에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a CMOS type sub word line driver of a semiconductor memory device.

이러한 종래의 CMOS 타입 서브 워드 라인 드라이버(200)는 상기 서브 워드 라인 드라이버가 비활성상태일 경우, 워드 라인 드라이버의 게이트 노드가 내부 승압 전원 전압 레벨을 갖는다. 따라서, 내부 승압 전원 전압으로 차지되어 있는 워드 라인 인에이블 신호(NWEB) 라인과 로직 로우 레벨로 차지되어 있는 다른 신호 라인간에 브리지(Bridge)나 디펙트(Defect)가 발생하여, 리키지 소스(leakage source)가 생기는 문제가 있다. 따라서, 이로 인해, 내부 승압 전원 전압의 레벨을 감소시키게 되며, 이를 감지한 내부 승압 전원 발생 회로가 계속 동작하여 내부 소모 전력이 증가하는 문제가 있다.In the conventional CMOS type sub word line driver 200, when the sub word line driver is inactive, the gate node of the word line driver has an internal boost power supply voltage level. Therefore, a bridge or defect is generated between the word line enable signal NWEB line occupied by the internal boost power supply voltage and another signal line occupied at a logic low level, resulting in a leakage source. source). Therefore, this causes the level of the internal boosted power supply voltage to be reduced, and the internal boosted power generation circuit which senses this continues to operate, thereby increasing the internal power consumption.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 상기 서브 워드 라인 드라이버가 비활성화 상태일 때, 상기 서브 워드 라인 드라이버로 입력되는 워드 라인 인에이블 신호 라인이 그라운드 전압 또는 네거티브 전압 레벨을 갖도록 하여, 메모리 장치 내의 여러 신호선 사이에 발생하는 브리지 도는 디펙트를 방지하는 반도체 메모리 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a signal line in a memory device such that a word line enable signal line input to the sub word line driver has a ground voltage or a negative voltage level when the sub word line driver is in an inactive state. It is to provide a semiconductor memory device that prevents bridge or defects occurring in between.

상술한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 반도체 메모리 장치는, 다수개의 서브 워드 라인 드라이버, 및 하나의 노말 워드라인 인에이블 신호(NWE)에 의해 상기 다수개의 워드라인 드라이버를 구동시키는 워드 라인 인에이블 신호 드라이버를 포함하고, 상기 서브 워드 라인 드라이버는 PMOS 타입의 트랜지스터와 NMOS 타입의 트랜지스터로 구성되며, 상기 PMOS 타입의 트랜지스터를 통해 상기 워드 라인을 활성화시키고, 상기 서브 워드 라인 드라이버의 PMOS 타입 트랜지스터와 NMOS 타입 트랜지스터의 게이트 노드에 공통으로 연결되어 상기 게이트 노드의 전극을 반전시키는 인버터를 포함한다.In order to achieve the object of the present invention as described above, according to an embodiment of the present invention, the semiconductor memory device, the plurality of sub word line driver, and one normal word line enable signal (NWE) by the plurality of A word line enable signal driver for driving two word line drivers, wherein the sub word line driver comprises a PMOS transistor and an NMOS transistor, and activates the word line through the PMOS transistor; And an inverter connected in common to the gate node of the PMOS type transistor and the NMOS type transistor of the sub word line driver to invert an electrode of the gate node.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 서브 워드 라인 드라이버는, 상기 워드 라인 인에이블 신호 드라이버에서 출력되는 노말 워드라인 인에이블 신호(NWE)를 반전시키는 제1 인버터, 게이트 단자로 상기 제1 인버터의 출력이 연결되고, 드레인 단자로 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD)가 연결되는 제1 PMOS 트랜지스터, 게이트 단자로 상기 제1 인버터의 출력이 연결되고, 드레인 단자로 상기 제1 PMOS 트랜지스터의 소스 단자의 출력이 연결되며, 소스 단자로 제2 전압이 연결되는 제1 NMOS 트랜지스터, 및 게이트 단자로 반전 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiB)가 연결되고, 드레인 단자가 상기 제1 PMOS 트랜지스터의 소스 단자, 상기 제1 NMOS 트랜지스터의 드레인 단자 및 상기 서브 워드 라인에 연결되며, 소스 단자로 제2 전압이 연결되는 제2 NMOS 트랜지스터를 포함한다.In one embodiment of the present invention, the sub word line driver, the first inverter to invert the normal word line enable signal (NWE) output from the word line enable signal driver, the output of the first inverter to the gate terminal Of the first PMOS transistor connected to the drain word terminal and the sub word line driver driving signal PXiD, and the output of the first inverter is connected to the gate terminal and the output terminal of the source terminal of the first PMOS transistor is connected to the drain terminal. Is connected, a first NMOS transistor having a second voltage connected to a source terminal, an inverted sub word line driver driving signal PXiB is connected to a gate terminal, and a drain terminal is a source terminal of the first PMOS transistor; A second NMOS transistor connected to the drain terminal of the first NMOS transistor and the sub word line, and having a second voltage connected to the source terminal. It includes.

바람직하게는, 상기 서브 워드 라인 드라이버의 제1 인버터는, 게이트 단자로 상기 워드 라인 인에이블 신호 드라이버에서 출력되는 노말 워드 라인 인에이블 신호(NWE)가 연결되고, 드레인 단자로 제1 전원전압이 연결되는 제2 PMOS 트랜지스터, 및 게이트 단자로 상기 워드 라인 인에이블 신호 드라이버에서 출력되는 노말 워드 라인 인에이블 신호(NWE)가 연결되고, 드레인 단자로 상기 제2 PMOS 트랜지스터의 소스 단자가 연결되고, 소스 단자로 제2 전압이 연결되는 제3 NMOS 트랜지스터를 포함할 수 있다. Preferably, in the first inverter of the sub word line driver, a normal word line enable signal NWE output from the word line enable signal driver is connected to a gate terminal, and a first power supply voltage is connected to a drain terminal. A second PMOS transistor, a normal word line enable signal NWE output from the word line enable signal driver, is connected to a gate terminal, a source terminal of the second PMOS transistor is connected to a drain terminal, and a source terminal The third NMOS transistor may be connected to a second voltage.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 워드 라인 인에이블 신호 드라이버는, 게이트 단자가 프리차지 제어 신호에 연결되고, 소스 단자가 상기 전원 전압에 연결되는 제3 PMOS 트랜지스터, 게이트 단자는 어드레스 신호에 연결되고, 상기 제3 PMOS 트랜지스터에 직렬로 연결된 다수개의 NMOS 트랜지스터들, 및 상기 제3 PMOS 트랜지스터의 드레인 단자에 연결된 제2 인버터를 포함한다.In an embodiment, the word line enable signal driver may include a third PMOS transistor having a gate terminal connected to a precharge control signal, a source terminal connected to the power supply voltage, and a gate terminal connected to an address signal; And a plurality of NMOS transistors connected in series to the third PMOS transistor, and a second inverter connected to a drain terminal of the third PMOS transistor.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 서브 워드 라인 드라이버는, 상기 서브 워드 라인 드라이버들이 비활성되는 경우, 상기 워드 라인 인에이블 신호 드라이버에서 출력되는 상기 노말 워드라인 인에이블 신호(NWE)선의 레벨이 그라운드 레벨을 유지한다.In one embodiment of the present invention, when the sub word line drivers are inactive, the level of the normal word line enable signal NWE line output from the word line enable signal driver is ground level. Keep it.

본 발명과 본 발명의 동작성의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the advantages of the operability of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도 1은 종래의 서브 워드 라인을 갖는 메모리의 셀 블록 구조의 일부를 나타낸 도면이다. 1 is a diagram illustrating a part of a cell block structure of a memory having a conventional sub word line.

도 1 종래의 CMOS 타입의 서브 워드 라인(SWD) 구조를 갖는 메모리 셀 블록(100)은 다수개의 메모리 셀 어레이(101) 및 서브 워드 라인 드라이버(103) 및 워드 라인 인에이블 신호 드라이버(105)를 포함한다. 메모리 셀 어레이(101)는 서브 워드 라인 드라이버(103)에서 출력되는 워드 라인 신호에 응답하여 메모리 셀에 데이터를 저장하거나 판독한다. 서브 워드 라인 드라이버 블록(SWD BLK; 103)은 워드 라인 인에이블 신호 드라이버 블록(NWE Driver BLK; 105)에서 출력된 신호에 응답하여 해당 워드 라인을 로직 하이 레벨로 천이시킨다. 이에 따라 상기 해당 워드 라인에 연결된 메모리 셀의 데이터가 비트 라인에 실리게 된다. 워드 라인 인에이블 신호 드라이버 블록(105)은 외부에서 입력된 어드레스(Ai)를 수신하고, 상기 어드레스에 대응되는 워드 라인에 노말 워드 라인 인에이블 신호(NWE)를 인가한다.1 illustrates a memory cell block 100 having a sub word line (SWD) structure of a conventional CMOS type. The memory cell block 100 includes a plurality of memory cell arrays 101, a sub word line driver 103, and a word line enable signal driver 105. Include. The memory cell array 101 stores or reads data in a memory cell in response to a word line signal output from the sub word line driver 103. The sub word line driver block (SWD BLK) 103 transitions the word line to a logic high level in response to a signal output from the word line enable signal driver block (NWE Driver BLK) 105. As a result, data of the memory cell connected to the corresponding word line is loaded on the bit line. The word line enable signal driver block 105 receives an externally input address Ai and applies a normal word line enable signal NWE to a word line corresponding to the address.

워드 라인 인에이블 신호 드라이버 블록(105)에서 출력되는 신호선의 숫자는 반도체 메모리 장치의 셀 밀도(Cell Density)와 메모리 장치의 회로 구조에 따라 달라지며, 워드 라인 인에이블 신호 드라이버 블록(NWEB) 신호선 하나 당 워드 라인 4개가 차징(charging) 될 수 있다. 이때, 도 1의 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD, PXjD)의 코딩에 따라 하나의 신호선에 연결된 4개의 워드 라인 중 워드라인 1 개가 선택되어 차징된다. 일반적으로 512M 의 데이터 셀 크기를 갖는 메모리 장치의 경우 4K 개의 신호선을 갖는다. 또한, 워드 라인 인에이블 신호 드라이버 블록(NWEB)에서 출력되는 신호선은 반도체 메모리 장치의 셀 블록 전반에 걸쳐 배치되는 구조를 갖는다.The number of signal lines output from the word line enable signal driver block 105 depends on the cell density of the semiconductor memory device and the circuit structure of the memory device, and one word line enable signal driver block (NWEB) signal line. Four word lines per charge may be charged. At this time, one word line is selected and charged from four word lines connected to one signal line according to coding of the sub word line driver driving signals PXiD and PXjD of FIG. 1. Typically, a memory device with a data cell size of 512M has 4K signal lines. In addition, the signal line output from the word line enable signal driver block NWEB has a structure arranged throughout the cell block of the semiconductor memory device.

도 2는 도 1의 CMOS 타입의 서브 워드 라인 드라이버를 확대 도시한 회로도이다.FIG. 2 is an enlarged circuit diagram of a sub word line driver of the CMOS type of FIG. 1.

도 2를 참조하면, 서브 워드라인 드라이버(200)는 워드 라인 인에이블 신호 드라이버에서 출력되는 반전 워드 라인 인에이블 신호(NWEiB)와, 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD) 및 반전 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiB)를 입력받아 대응되는 워드 라인(WL)을 활성화 시킨다.Referring to FIG. 2, the sub word line driver 200 drives the inverted word line enable signal NWEiB, the sub word line driver drive signal PXiD, and the inverted sub word line driver output from the word line enable signal driver. The signal PXiB is input to activate the corresponding word line WL.

종래의 서브 워드 라인 드라이버(200)는, 게이트 단자는 반전 워드 라인 인에이블 신호(NWEiB)에 연결되고 드레인 단자는 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD)에 연결되는 제1 PMOS 트랜지스터(201), 게이트 단자는 반전 워드 라인 인에이블 신호(NWEiB)에 연결되고, 드레인 단자는 상기 제1 PMOS 트랜지스터(201)의 소스 단자에 연결되며 소스 단자는 접지 전압에 연결되는 제1 NMOS 트랜지스터(203), 및 게이트 단자는 반전 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiB)에 연결되고, 드레인 단자는 상기 제1 PMOS 트랜지스터(201)의 소스 단자에 연결되며 소스 단자는 접지 전압에 연결되는 제2 NMOS 트랜지스터(205)로 구성된다. 상기 제1 PMOS 트랜지스터(201)의 소스 단자, 상기 제1 NMOS 트랜지스터(203)의 드레인 단자 및 상기 제2 NMOS 트랜지스터(205)의 드레인 단자의 공통 연결 접점에서는 워드 라인(WL)이 출력된다. In the conventional sub word line driver 200, the gate of the first PMOS transistor 201, the gate terminal of which is connected to the inverted word line enable signal NWEiB and the drain terminal of the sub word line driver driving signal PXiD, A first NMOS transistor 203 whose terminal is connected to an inverted word line enable signal NWEiB, a drain terminal is connected to a source terminal of the first PMOS transistor 201, and a source terminal is connected to a ground voltage, and a gate The terminal is connected to the inverted sub word line driver driving signal PXiB, the drain terminal is connected to the source terminal of the first PMOS transistor 201 and the source terminal is composed of the second NMOS transistor 205 connected to the ground voltage. do. The word line WL is output from the common connection contact between the source terminal of the first PMOS transistor 201, the drain terminal of the first NMOS transistor 203, and the drain terminal of the second NMOS transistor 205.

서브 워드 라인 드라이버(200)로 입력되는 반전 워드 라인 인에이블 신호(NWEiB)가 로직 하이 레벨, 즉, 제1 PMOS 트랜지스터(201) 및 제1 NMOS 트랜지스터(203)의 게이트 단자가 내부 승압 전원 전압 레벨(VPP)를 갖는다면, 제1 PMOS 트랜지스터(201)는 턴 오프 되고, 제1 NMOS 트랜지스터(203)는 턴 온 된다. 따라서, 접지 전압과 워드 라인(WL)이 연결된다. 그리고, 상기 서브 워드 라인 드라이버(200)는 비활성 상태가 되고, 워드 라인(WL)은 로직 로우 레벨을 유지하고, 상기 워드 라인(WL)에 연결된 메모리 셀은 선택되지 않는다.The inverted word line enable signal NWEiB input to the sub word line driver 200 has a logic high level, that is, the gate terminals of the first PMOS transistor 201 and the first NMOS transistor 203 have an internal boosted power supply voltage level. (VPP), the first PMOS transistor 201 is turned off and the first NMOS transistor 203 is turned on. Therefore, the ground voltage and the word line WL are connected. The sub word line driver 200 is in an inactive state, the word line WL maintains a logic low level, and the memory cell connected to the word line WL is not selected.

서브 워드 라인 드라이버(200)로 입력되는 반전 워드 라인 인에이블 신호(NWEiB)가 로직 로우 레벨, 즉, 제1 PMOS 트랜지스터(201) 및 제1 NMOS 트랜지스터(203)의 게이트 단자가 그라운드 레벨 또는 네거티브 전압 레벨(VSS)을 갖는다면, 제1 PMOS 트랜지스터(201)는 턴 온 되고, 제1 NMOS 트랜지스터(203)는 턴 오프 된다. 이때, 선택된 서브 워드 라인 드라이버(200)의 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD)는 로직 하이 레벨을 갖고, 반전 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiB)는 로직 로우 레벨을 갖는다. 이에 따라, 제2 NMOS 트랜지스터(205)도 턴 오프를 유지한다. 따라서, 상기 로직 하이 레벨의 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD)가 워드 라인(WL)으로 출력된다. 그리고, 상기 서브 워드 라인 드라이버(200)는 활성 상태가 되고, 워드 라인(WL)은 로직 하이 레벨을 유지하고, 상기 워드 라인(WL)에 연결된 메모리 셀이 선택되어, 메모리 셀의 데이터가 비트 라인(BL)으로 출력된다.The inverted word line enable signal NWEiB input to the sub word line driver 200 is at a logic low level, that is, the gate terminals of the first PMOS transistor 201 and the first NMOS transistor 203 are ground level or negative voltage. If the level VSS is present, the first PMOS transistor 201 is turned on and the first NMOS transistor 203 is turned off. At this time, the sub word line driver driving signal PXiD of the selected sub word line driver 200 has a logic high level, and the inverted sub word line driver driving signal PXiB has a logic low level. Accordingly, the second NMOS transistor 205 also maintains turn off. Accordingly, the logic high level sub word line driver driving signal PXiD is output to the word line WL. In addition, the sub word line driver 200 becomes active, the word line WL maintains a logic high level, and a memory cell connected to the word line WL is selected so that data of the memory cell is a bit line. It is output as (BL).

도 3은 다수의 서브 워드 라인을 구동하는 워드 라인 인에이블 신호 드라이버를 나타낸 회로도이다. 3 is a circuit diagram illustrating a word line enable signal driver driving a plurality of sub word lines.

도 3에 도시된 워드 라인 인에이블 신호(NWE) 드라이버(300)는 외부에서 입력되는 어드레스 신호에 응답하여 도 2의 워드 라인 드라이버(200)로 입력되는 반전 워드 라인 인에이블 신호(NWEiB)를 생성하여 출력하는 기능을 한다. 워드 라인 인에이블 신호 드라이버(300)는 게이트 단자가 프리차지 제어 신호(PRE)에 연결되고 드레인 단자가 전원 전압에 연결되고 소스 단자는 다수개의 NMOS 트랜지스터(303 내지 309)에 직렬로 연결되는 PMOS 트랜지스터(301), 게이트 단자가 어드레스 신호(Ai)에 연결되고 상기 PMOS 트랜지스터(301)와 접지 전압(VSS) 사이에 직렬로 연결된 다수개의 NMOS 트랜지스터(303 내지 309), 상기 PMOS 트랜지스터(301)의 소스 단자에 연결된 제1 인버터(311) 및 상기 제1 인버터에 연결된 제2 인버터(313)를 포함한다.The word line enable signal NWE driver 300 shown in FIG. 3 generates an inverted word line enable signal NWEiB input to the word line driver 200 of FIG. 2 in response to an externally input address signal. Function to output The word line enable signal driver 300 includes a PMOS transistor having a gate terminal connected to a precharge control signal PRE, a drain terminal connected to a power supply voltage, and a source terminal connected in series to a plurality of NMOS transistors 303 to 309. 301, a plurality of NMOS transistors 303 to 309 and a source of the PMOS transistor 301 having a gate terminal connected to an address signal Ai and connected in series between the PMOS transistor 301 and a ground voltage VSS. A first inverter 311 connected to the terminal and a second inverter 313 connected to the first inverter.

PMOS 트랜지스터(301)의 게이트 단자에 연결된 프리차지 제어 신호(PRE)는 비활성 상태일 때 로직 로우 레벨을 유지하여 PMOS 트랜지스터(301)를 턴 온 시키고, 상기 워드 라인 인에이블 신호 드라이버(300)를 전원 전압(VPP) 상태로 프리차지 시킨다. 따라서, 반전 워드 라인 인에이블 신호(NWEiB)는 로직 하이 레벨을 유지한다.The precharge control signal PRE connected to the gate terminal of the PMOS transistor 301 maintains a logic low level when the PMOS transistor 301 is inactive, thereby turning on the PMOS transistor 301 and powering up the word line enable signal driver 300. Precharge to voltage (VPP). Thus, the inverted word line enable signal NWEiB maintains a logic high level.

직렬로 연결된 NMOS 트랜지스터들(303 내지 309)의 게이트 단자로 입력되는 어드레스 신호(Ai)들이 모두 로직 하이 레벨이 되고, 프리차지 제어 신호(PRE)가 로직 하이 레벨이 되면, 다수의 NMOS 트랜지스터들(303 내지 309)는 모두 턴 온 되고 PMOS 트랜지스터(301)는 턴 오프 된다. 따라서, 반전 워드 라인 인에이블 신호(NWEiB)는 로직 로우 레벨을 유지한다.When the address signals Ai inputted to the gate terminals of the NMOS transistors 303 to 309 connected in series are all at the logic high level, and the precharge control signal PRE is at the logic high level, the plurality of NMOS transistors ( 303 through 309 are all turned on and the PMOS transistor 301 is turned off. Thus, the inverted word line enable signal NWEiB maintains a logic low level.

도 4는 종래의 CMOS 타입 서브 워드 라인 드라이버의 타이밍도를 나타낸다.4 is a timing diagram of a conventional CMOS type sub word line driver.

도 2 내지 도 4를 참조하여, 서브 워드 라인 드라이버(200)의 동작 과정을 살펴보면, 서브 워드 라인 드라이버(200)가 비활성 상태인 경우에는, 어드레스 신호(Ai), 프리차지 제어 신호(PRE), 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD) 및 워드 라인(WL)은 로직 로우 레벨이며, 반전 워드 라인 인에이블 신호(NWEiB) 및 반전 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiB)는 로직 하이 레벨을 유지한다. 따라서, 워드 라인 인에이블 신호 드라이버(300)에서 워드 라인 드라이버(200)로 연결되는 신호선(NWEiB)은 워드 라인이 비활성 상태일 때, 로직 하이 레벨을 유지한다.Referring to FIGS. 2 to 4, when an operation of the sub word line driver 200 is described, when the sub word line driver 200 is in an inactive state, an address signal Ai, a precharge control signal PRE, The sub word line driver driving signal PXiD and the word line WL have a logic low level, and the inversion word line enable signal NWEiB and the inverting sub word line driver driving signal PXiB maintain a logic high level. Therefore, the signal line NWEiB connected from the word line enable signal driver 300 to the word line driver 200 maintains a logic high level when the word line is inactive.

서브 워드 라인 드라이버(200)가 활성 상태가 될 때는, 어드레스 신호(Ai)와 프리차지 제어 신호(PRE)가 로직 하이 레벨로 천이한다. 그런 다음, 워드 라인 인에이블 신호 드라이버(300)에서 출력되는 반전 서브 워드 인에이블 신호(NWEiB)가 로직 로우 레벨로 천이되어 워드 라인 드라이버(200)로 출력된다. 이와 동시에, 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD)와 그 반전 신호(PXiB)는 각각 로직 하이 레벨과 로직 로우 레벨로 천이하여, 워드 라인 드라이버(200)를 구동한다. 그리고 나면, 워드 라인 드라이버(200)가 활성화되고, 워드 라인(WL)은 로직 하이 레벨로 천이한다.When the sub word line driver 200 becomes active, the address signal Ai and the precharge control signal PRE transition to a logic high level. Thereafter, the inverted sub-word enable signal NWEiB output from the word line enable signal driver 300 transitions to a logic low level and is output to the word line driver 200. At the same time, the sub word line driver driving signal PXiD and its inverting signal PXiB transition to a logic high level and a logic low level, respectively, to drive the word line driver 200. Thereafter, the word line driver 200 is activated, and the word line WL transitions to a logic high level.

이러한 종래의 서브 워드 라인 드라이버(200)는 상기 서브 워드 라인 드라이버가 비활성의 스테디 상태(Steady state) 일 경우, 워드 라인 드라이버의 게이트 노드, 즉 제1 PMOS 트랜지스터 및 제1 NMOS 트랜지스터의 게이트 노드가 내부 승압 전원 전압 레벨을 갖는다. 또한, 상기 서브 워드 라인 드라이버가 활성 상태 일 경우, 워드 라인 드라이버의 게이트 노드, 즉 제1 PMOS 트랜지스터 및 제1 NMOS 트랜지스터의 게이트 노드가 그라운드 레벨 또는 네거티브 전압 레벨을 갖는다.The conventional sub word line driver 200 has a gate node of a word line driver, that is, a gate node of a first PMOS transistor and a first NMOS transistor when the sub word line driver is in an inactive steady state. Has a boosted power supply voltage level. In addition, when the sub word line driver is active, the gate node of the word line driver, that is, the gate nodes of the first PMOS transistor and the first NMOS transistor has a ground level or a negative voltage level.

즉, 워드 라인 드라이버가 비활성 상태일 때, 워드 라인 인에이블 신호 드라이버에서 워드 라인 드라이버로 연결되는 워드 라인 인에이블 신호 라인이 내부 승압 전원 레벨(VPP)을 갖는 로직 하이 레벨을 유지하기 때문에, 상리 워드 라인 인에이블 신호 라인과 로직 로우 레벨을 갖는 다른 신호 라인 사이에 브리지(Bridge) 또는 디펙트(Defect)가 발생할 수 있다.That is, when the word line driver is inactive, the word line enable signal line from the word line enable signal driver to the word line driver maintains a logic high level with an internal boost power supply level (VPP). A bridge or defect may occur between the line enable signal line and another signal line having a logic low level.

도 5는 종래의 워드 라인 드라이버 구조를 갖는 메모리 장치에서의 누설 전류의 발생을 나타내는 도이다.Fig. 5 is a diagram showing generation of leakage current in a memory device having a conventional word line driver structure.

도 5에 도시된 반도체 메모리 장치 내의 금속 버스 라인 레이아웃(Metal Bussing layout)의 배치는, 워드 라인 인에이블 신호 드라이버에서 출력되는 신호 라인(NWEB line)과 다른 신호 라인 및 접지 전원 라인(VSS)가 교차로 배열되어 있다. In the arrangement of the metal bus line layout in the semiconductor memory device illustrated in FIG. 5, the signal line NWEB output from the word line enable signal driver and another signal line and the ground power line VSS cross each other. Are arranged.

메모리 장치의 소정의 워드 라인을 선택하기 위해서, 워드 라인 인에이블 신호 드라이버에서 출력되는 신호 라인 중 대응되는 워드 라인 드라이버와 연결된 워드 라인 인에이블 신호 라인은 로직 로우 레벨(VSS)로 천이시키고, 나머지 워드 라인 인에이블 신호 라인은 로직 하이 레벨(VPP)을 유지시킨다. 이 경우, 선택되지 않은 대부분의 워드 라인 인에이블 신호 라인은 로직 하이 레벨(VPP)로 설정되어 있기 때문에, 도 5에 도시된 바와 같이, 서로 교차로 연결된 로직 로우 레벨(VSS)을 갖는 다른 신호 라인간에 브리지 또는 디펙트가 발생하여 누설 전류의 원인이 된다. 또한, 이로 인해, 내부 승압 전원 전압(VPP)의 레벨을 감소시키게 되어, 내부 승압 전원 전압 발생회로가 계속해서 동작해야만 하고, 그 결과 내부 소모 전력이 증가하는 문제점이 있다. 이는 메모리 장치의 신뢰성을 떨어뜨리는 문제가 되기도 한다.In order to select a predetermined word line of the memory device, a word line enable signal line connected to a corresponding word line driver among the signal lines output from the word line enable signal driver transitions to a logic low level (VSS), and the remaining words Line Enable The signal line maintains a logic high level (VPP). In this case, since most of the unselected word line enable signal lines are set to a logic high level (VPP), as shown in FIG. 5, between other signal lines having logic low levels (VSS) connected to each other. A bridge or defect will occur and cause leakage current. In addition, this causes the level of the internal boosted power supply voltage VPP to be reduced, so that the internal boosted power supply voltage generation circuit must continue to operate, and as a result, the internal power consumption increases. This may be a problem of decreasing the reliability of the memory device.

본 발명은 CMOS 타입의 서브 워드라인 드라이버를 구비한 메모리 장치에서, 상기 서브 워드 라인 드라이버의 게이트 노드가 비활성 상태일 때 그라운드 레벨 또는 네거티브 전압 레벨을 갖도록 설정한다.According to the present invention, a memory device having a sub word line driver of CMOS type is set to have a ground level or a negative voltage level when a gate node of the sub word line driver is in an inactive state.

도 6은 본 발명에 따른 서브 워드 라인을 갖는 메모리의 셀 블록 구조의 일부를 나타낸 도면이다. 6 is a view illustrating a part of a cell block structure of a memory having a sub word line according to the present invention.

도 6에 도시된 메모리 셀 블록(600)은 본 발명에 따른 CMOS 타입의 서브 워드 라인 드라이버 블록(SWD BLK; 603)과 본 발명에 따른 워드 라인 인에이블 신호 드라이버 블록(NWE Drive BLK; 605)을 포함한다. 본 발명에 따른 서브 워드 라인 드라이버 블록(SWD BLK; 603)은 워드 라인 인에이블 신호 드라이버 블록(NWE Driver BLK; 605)에서 출력되는 워드 라인 인에이블 신호(NWEi)가 로직 로우 레벨에서 로직 하이 레벨로 천이되면 대응되는 워드 라인을 로직 하이 레벨로 천이시킨다. 이에 따라 상기 해당 워드 라인에 연결된 메모리 셀(601)의 데이터가 비트 라인에 실리게 된다.The memory cell block 600 illustrated in FIG. 6 includes a CMOS word sub word line driver block (SWD BLK) 603 and a word line enable signal driver block (NWE Drive BLK) 605 according to the present invention. Include. The sub word line driver block (SWD BLK) 603 according to the present invention has a word line enable signal (NWEi) output from the word line enable signal driver block (NWE Driver BLK) 605 from a logic low level to a logic high level. Transitioning causes the corresponding word line to transition to a logic high level. Accordingly, data of the memory cell 601 connected to the corresponding word line is loaded on the bit line.

워드 라인 인에이블 신호 드라이버 블록(605)은 서브 워드 라인 드라이버(603)가 비활성 상태인 경우 로직 로우 레벨(VSS)의 워드 라인 인에이블 신호(NWEi)를 출력한다. 또한, 외부에서 상기 서브 워드 라인 드라이버(603)에 대응되는 어드레스(Ai)가 입력되면, 상기 어드레스에 대응되는 워드 라인 드라이버(603)에 로직 하이 레벨(VPP)의 워드 라인 인에이블 신호(NWEi)를 인가하여 대응되는 서브 워드 라인 드라이버(603)를 활성화 시키고, 워드 라인을 로직 하이 레벨로 천이시킨다.The word line enable signal driver block 605 outputs the word line enable signal NWEi of the logic low level VSS when the sub word line driver 603 is in an inactive state. In addition, when an address Ai corresponding to the sub word line driver 603 is externally input, the word line enable signal NWEi of the logic high level VPP is input to the word line driver 603 corresponding to the address. By applying the to activate the corresponding sub word line driver 603, the word line transitions to a logic high level.

도 7은 도 6의 CMOS 타입의 서브 워드 라인 드라이버를 확대 도시환 회로도이다.FIG. 7 is an enlarged circuit diagram of a sub word line driver of the CMOS type of FIG. 6.

도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 서브 워드 라인 드라이버(700)는 워드 라인 이에이블 신호 드라이버에서 출력되는 워드 라인 인에이블 신호(NWEi)와, 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD) 및 반전 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiB)를 입력받아 대응되는 워드 라인(WL)을 활성화시킨다.Referring to FIG. 7, the sub word line driver 700 according to the present invention includes a word line enable signal NWEi output from a word line enable signal driver, a sub word line driver drive signal PXiD, and an inverted sub word. The line driver driving signal PXiB is input to activate a corresponding word line WL.

본 발명에 따른 서브 워드 라인 드라이버(200)는, 게이트 단자로 노말 워드 라인 인에이블 신호(NWEi)가 연결되고 드레인 단자로 내부 승압 전원 전압(VPP)이 연결되는 제1 PMOS 트랜지스터(701)와, 게이트 단자로 상기 노말 워드 라인 인에이블 신호(NWE)가 연결되고 드레인 단자로 상기 제1 PMOS 트랜지스터(701)의 소스 단자가 연결되고 소스 단자로 접지 전압(VSS)이 연결되는 제1 NMOS 트랜지스터(703), 게이트 단자로 상기 제1 PMOS 트랜지스터(701)의 소스 단자가 연결되고 드레인 단자로 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD)가 연결되는 제2 PMOS 트랜지스터(705), 게이트 단자로 상기 제1 PMOS 트랜지스터(701)의 소스 단자가 연결되고 드레인 단자로 상기 제2 PMOS 트랜지스터(705)의 소스 단자가 연결되며 소스 단자로 접지 전압(VSS)이 연결되는 제2 NMOS 트랜지스터(707), 및 게이트 단자로 반전 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiB)에 연결되고, 드레인 단자로 상기 제2 PMOS 트랜지스터(705)의 소스 단자가 연결되며 소스 단자로 접지 전압(VSS)이 연결되는 제3 NMOS 트랜지스터(709)를 포함한다. 상기 제2 PMOS 트랜지스터(705)의 소스 단자, 상기 제2 NMOS 트랜지스터(707)의 드레인 단자 및 상기 제3 NMOS 트랜지스터(709)의 드레인 단자의 공통 연결 접점에는 워드 라인(WL)이 연결된다. The sub word line driver 200 according to the present invention includes a first PMOS transistor 701 having a normal word line enable signal NWEi connected to a gate terminal thereof, and an internal boosted power supply voltage VPP connected to a drain terminal thereof; A first NMOS transistor 703 in which the normal word line enable signal NWE is connected to a gate terminal, a source terminal of the first PMOS transistor 701 is connected to a drain terminal, and a ground voltage VSS is connected to a source terminal. ), A second PMOS transistor 705 having a source terminal of the first PMOS transistor 701 connected to a gate terminal, and a sub word line driver driving signal PXiD connected to a drain terminal thereof, and a first PMOS transistor connected to a gate terminal thereof; A second NMOS transistor 707 having a source terminal of 701 connected, a source terminal of the second PMOS transistor 705 connected to a drain terminal, and a ground voltage VSS connected to a source terminal; A third NMOS transistor connected to an inverted sub word line driver driving signal PXiB through a gate terminal, a source terminal of the second PMOS transistor 705 connected to a drain terminal, and a ground voltage VSS connected to a source terminal 709). A word line WL is connected to a common connection contact between a source terminal of the second PMOS transistor 705, a drain terminal of the second NMOS transistor 707, and a drain terminal of the third NMOS transistor 709.

상기 제1 PMOS 트랜지스터(701) 및 상기 제1 NMOS 트랜지스터(703)는 인버터가 되어, 상기 서브 워드 라인 드라이버(700)로 입력되는 노말 워드 라인 인에이블 신호(NWEi)를 반전시켜, 제2 PMOS 트랜지스터(705) 및 제2 NMOS 트랜지스터(707)의 게이트 노드로 출력한다.The first PMOS transistor 701 and the first NMOS transistor 703 serve as inverters, thereby inverting the normal word line enable signal NWEi input to the sub word line driver 700 to thereby invert the second PMOS transistor. 705 and the gate node of the second NMOS transistor 707.

서브 워드 라인 드라이버(700)로 입력되는 노말 워드 라인 인에이블 신호(NWEi)가 로직 로우 레벨, 즉 제1 PMOS 트랜지스터(701) 및 제1 NMOS 트랜지스터(703)의 게이트 단자로 그라운드 레벨 또는 네거티브 전압 레벨(VSS)이 인가되면, 제1 PMOS 트랜지스터(701)는 턴 온 되고 제1 NMOS 트랜지스터(703)는 턴 오프 된다. 따라서, 제1 PMOS 트랜지스터(701)의 드레인 단자로 입력되는 내부 승압 전원 전압(VPP)이 제2 PMOS 트랜지스터(705) 및 제2 NMOS 트랜지스터(707)의 게이트 단자로 연결된다. 그리고, 상기 로직 하이 레벨의 내부 승압 전원 전압(VPP)의 인가로 인해, 제2 PMOS 트랜지스터(705)는 턴 오프 되고, 제2 NMOS 트랜지스터(707)는 턴 온 된다. 따라서, 접지 전압(VSS)과 워드 라인(WL)이 연결된다. 그리고, 상기 서브 워드 라인 드라이버(700)는 비활성 상태가 되고, 워드 라인(WL)은 접지 전압(VSS)로 인해 로직 로우 레벨을 유지하고, 상기 워드 라인(WL)에 연결된 메모리 셀은 선택되지 않는다. The normal word line enable signal NWEi input to the sub word line driver 700 is at a logic low level, that is, a ground level or a negative voltage level to the gate terminals of the first PMOS transistor 701 and the first NMOS transistor 703. When VSS is applied, the first PMOS transistor 701 is turned on and the first NMOS transistor 703 is turned off. Accordingly, the internal boosted power supply voltage VPP input to the drain terminal of the first PMOS transistor 701 is connected to the gate terminal of the second PMOS transistor 705 and the second NMOS transistor 707. The second PMOS transistor 705 is turned off and the second NMOS transistor 707 is turned on due to the application of the logic high level internal boosted power supply voltage VPP. Therefore, the ground voltage VSS and the word line WL are connected. In addition, the sub word line driver 700 is in an inactive state, the word line WL maintains a logic low level due to the ground voltage VSS, and the memory cell connected to the word line WL is not selected. .

서브 워드 라인 드라이버(700)로 입력되는 노말 워드 라인 인에이블 신호(NWEi)가 로직 하이 레벨, 즉, 제1 PMOS 트랜지스터(701) 및 제1 NMOS 트랜지스터(703)의 게이트 단자로 내부 승압 전원 전압 레벨(VPP)이 인가되면, 제1 PMOS 트랜지스터(701)는 턴 오프 되고, 제1 NMOS 트랜지스터(703)는 턴 온 된다. 따라서, 제1 NMOS 트랜지스터(703)의 소스 단자로 연결된 접지 전압(VSS)이 제2 PMOS 트랜지스터(705) 및 제2 NMOS 트랜지스터(707)의 게이트 단자로 연결된다. 그리고, 상기 로직 로우 레벨의 접지 전압(VSS)의 인가로 인해, 제2 PMOS 트랜지스터(705)는 턴 온 되고, 제2 NMOS 트랜지스터(707)는 턴 오프 된다. 이때, 선택된 서브 워드 라인 드라이버(700)로 입력되는 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD)는 로직 하이 레벨을 갖고, 반전 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiB)는 로직 로우 레벨을 갖는다. 이에 따라, 제3 NMOS 트랜지스터(709)도 턴 오프를 유지한다. 그 결과, 상기 로직 하이 레벨의 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD)가 워드 라인(WL)으로 연결된다. 그리고, 상기 서브 워드 라인 드라이버(700)는 활성 상태가 되고, 워드 라인(WL)은 로직 하이 레벨을 유지하고, 상기 워드 라인(WL)에 연결된 메모리 셀이 선택되어, 메모리 셀의 데이터가 비트 라인(BL)으로 출력된다. The normal word line enable signal NWEi input to the sub word line driver 700 is at a logic high level, that is, an internal boosted power supply voltage level to the gate terminals of the first PMOS transistor 701 and the first NMOS transistor 703. When VPP is applied, the first PMOS transistor 701 is turned off and the first NMOS transistor 703 is turned on. Therefore, the ground voltage VSS connected to the source terminal of the first NMOS transistor 703 is connected to the gate terminal of the second PMOS transistor 705 and the second NMOS transistor 707. In addition, due to the application of the logic low level ground voltage VSS, the second PMOS transistor 705 is turned on and the second NMOS transistor 707 is turned off. At this time, the sub word line driver driving signal PXiD input to the selected sub word line driver 700 has a logic high level, and the inverted sub word line driver driving signal PXiB has a logic low level. Accordingly, the third NMOS transistor 709 also maintains turn off. As a result, the logic high level sub word line driver driving signal PXiD is connected to the word line WL. In addition, the sub word line driver 700 becomes active, the word line WL maintains a logic high level, and a memory cell connected to the word line WL is selected so that data of the memory cell is a bit line. It is output as (BL).

도 8은 본 발명에 따른 워드 라인 인에이블 신호 드라이버를 나타낸 회로도이다.8 is a circuit diagram illustrating a word line enable signal driver according to the present invention.

도 8에 도시된 워드 라인 인에이블 신호(NWE) 드라이버(800)는 외부에서 입력되는 어드레스 신호에 응답하여 도 7의 워드 라인 드라이버(700)로 입력되는 노말 워드 라인 인에이블 신호(NWEi)를 생성하여 출력하는 기능을 한다. 워드 라인 인에이블 신호 드라이버(800)는 게이트 단자로 프리차지 제어 신호(PRE)가 연결되고 드레인 단자로 전원 전압이 연결되고 소스 단자로는 다수개의 NMOS 트랜지스터(803 내지 809)가 직렬로 연결되는 PMOS 트랜지스터(801), 게이트 단자로 어드레스 신호(Ai)가 연결되고 상기 PMOS 트랜지스터(801)와 접지 전압(VSS) 사이에 직렬로 연결된 다수개의 NMOS 트랜지스터(803 내지 809), 및 상기 PMOS 트랜지스터(801)의 소스 단자에 연결된 인버터(811)를 포함한다.The word line enable signal NWE driver 800 illustrated in FIG. 8 generates a normal word line enable signal NWEi input to the word line driver 700 of FIG. 7 in response to an externally input address signal. Function to output The word line enable signal driver 800 is a PMOS having a precharge control signal PRE connected to a gate terminal, a power supply voltage connected to a drain terminal, and a plurality of NMOS transistors 803 to 809 connected in series to a source terminal. Transistor 801, a plurality of NMOS transistors 803 to 809 connected in series between the PMOS transistor 801 and the ground voltage VSS, and an address signal Ai connected to a gate terminal, and the PMOS transistor 801. Inverter 811 connected to the source terminal of the.

PMOS 트랜지스터(301)의 게이트 단자에 연결된 프리차지 제어 신호(PRE)는 비활성 상태일 때 로직 로우 레벨을 유지하여 PMOS 트랜지스터(801)를 턴 온 시키고, 상기 워드 라인 인에이블 신호 드라이버(800)를 내부 상승 전원 전압(VPP) 상태로 프리차지 시킨다. 따라서, PMOS 트랜지스터(801)의 소스 단자는 내부 상승 전원 전압(VPP) 레벨이 되고, 인버터(811)에서 출력되는 노말 워드 라인 인에이블 신호(NWEi)는 접지 전압 또는 네거티브 전압 레벨이 된다.The precharge control signal PRE connected to the gate terminal of the PMOS transistor 301 maintains a logic low level when the PMOS transistor 301 is inactive, thereby turning on the PMOS transistor 801 and internalizing the word line enable signal driver 800. Precharge to rising power supply voltage (VPP). Therefore, the source terminal of the PMOS transistor 801 becomes the internal rising power supply voltage VPP level, and the normal word line enable signal NWEi output from the inverter 811 becomes the ground voltage or the negative voltage level.

직렬로 연결된 NMOS 트랜지스터들(803 내지 809)의 게이트 단자로 입력되는 어드레스 신호(Ai)들이 모두 로직 하이 레벨이 되고, 프리차지 제어 신호(PRE)가 로직 하이 레벨이 되면, 다수의 NMOS 트랜지스터들(803 내지 809)는 모두 턴 온 되고 PMOS 트랜지스터(801)는 턴 오프 된다. 따라서, PMOS 트랜지스터(801)의 소스 단자는 접지 전압 레벨이 되고, 인버터(811)에서 출력되는 노말 워드 라인 인에이블 신호(NWEi)는 로직 하이 레벨 즉 내부 상승 전원 전압 레벨(VPP)을 유지한다.When the address signals Ai input to the gate terminals of the NMOS transistors 803 to 809 connected in series are all at the logic high level, and the precharge control signal PRE is at the logic high level, the plurality of NMOS transistors ( 803 to 809 are all turned on and the PMOS transistor 801 is turned off. Accordingly, the source terminal of the PMOS transistor 801 becomes the ground voltage level, and the normal word line enable signal NWEi output from the inverter 811 maintains a logic high level, that is, an internal rising power supply voltage level VPP.

도 9는 종래의 CMOS 타입 서브 워드 라인 드라이버의 타이밍도를 나타낸다.9 is a timing diagram of a conventional CMOS type sub word line driver.

오 7 내지 도 9를 참조하여, 서브 워드 라인 드라이버(7000의 동작 과정을 살펴보면, 서브 워드 라인 드라이버(700)가 비활성 상태인 경우에는, 어드레스 신호(Ai), 프리차지 제어 신호(PRE), 노말 워드 라인 인에이블 신호(NWE), 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD) 및 워드 라인(WL)은 로직 로우 레벨이다. 이때, 반전 서브 워드라인 드라이버 구동 신호(PXiB)는 로직 하이 레벨을 유지한다. 따라서, 워드 라인 인에이블 신호 드라이버(800)에서 워드 라인 드라이버(700)로 연결되는 신호 라인(NWEi)은 워드 라인이 비활성 상태일 때, 로직 로우 레벨을 유지한다. 7 to 9, when an operation of the sub word line driver 7000 is performed, when the sub word line driver 700 is in an inactive state, an address signal Ai, a precharge control signal PRE, and a normal state are described. The word line enable signal NWE, the sub word line driver drive signal PXiD, and the word line WL have a logic low level, and the inverted sub word line driver drive signal PXiB maintains a logic high level. Accordingly, the signal line NWEi connected from the word line enable signal driver 800 to the word line driver 700 maintains a logic low level when the word line is inactive.

서브 워드 라인 드라이버(200)가 활성 상태가 될 때는 어드레스 신호(Ai)와 프리차지 제어 신호(PRE)가 로직 로우 레벨로 천이한다. 그러면, 워드 라인 인에이블 신호 드라이버(800)는 노말 서브 워드 라인 인에이블 신호(NWEi)를 로직 하이 레벨로 천이시킨다. 이와 동시에, 이와 동시에, 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD)와 그 반전 신호(PXiB)는 각각 로직 하이 레벨과 로직 로우 레벨로 천이하여, 워드 라인 드라이버(700)를 구동한다. 그리고 나면, 워드 라인 드라이버(700)가 활성화되고, 워드 라인(WL)은 로직 하이 레벨로 천이한다.When the sub word line driver 200 becomes active, the address signal Ai and the precharge control signal PRE transition to a logic low level. Then, the word line enable signal driver 800 transitions the normal sub word line enable signal NWEi to a logic high level. At the same time, at the same time, the sub word line driver drive signal PXiD and its inverted signal PXiB transition to a logic high level and a logic low level, respectively, to drive the word line driver 700. Thereafter, the word line driver 700 is activated and the word line WL transitions to a logic high level.

이러한 본 발명에 다른 서브 워드 라인 드라이버(700)는 상기 서브 워드 라인 드라이버가 비활성의 스테디 상태일 경우, 워드 라인 드라이버의 게이트 노드는 그라운드 레벨 또는 네거티브 전압 레벨(VSS)을 갖는다. 또한, 상기 서브 워드 라인 드라이버가 활성 상태 일 경우, 워드 라인 드라이버의 게이트 노드는 내부 승압 전원 전압 레벨(VPP)을 갖는다.In the sub word line driver 700 according to the present invention, when the sub word line driver is in an inactive steady state, the gate node of the word line driver has a ground level or a negative voltage level VSS. In addition, when the sub word line driver is active, the gate node of the word line driver has an internal boosted power supply voltage level VPP.

즉, 본 발명에 따른 워드 라인 드라이버 구조를 갖는 반도체 메모리 장치는, 상기 워드 라인 드라이버가 비활성 상태일 때, 워드 라인 인에이블 신호 드라이버(800)에서 워드 라인 드라이버(700)로 연결되는 워드 라인 인에이블 신호(NWE) 라인이 그라운드 레벨 또는 네거티브 전압 레벨(VSS)을 갖는 로직 로우 레벨을 유지하게 된다. 따라서, 그라운드 레벨 또는 네거티브 전압 레벨을 갖는 다른 신호 라인과 전압 차가 같기 때문에, 반도체 메모리 장치 내에 교차로 배열되는 신호 라인 간의 브리지 또는 디펙트 문제가 발생하지 않는다. That is, in the semiconductor memory device having the word line driver structure according to the present invention, when the word line driver is inactive, the word line enable is connected from the word line enable signal driver 800 to the word line driver 700. The signal NWE line maintains a logic low level with ground level or negative voltage level VSS. Therefore, since the voltage difference is the same as other signal lines having the ground level or the negative voltage level, there is no problem of bridges or defects between the signal lines arranged alternately in the semiconductor memory device.

즉, 워드 라인 인에이블 신호 라인과 교차로 배열되는 다른 신호 라인 및 접지 전원 라인(VSS)의 배치 상태에서, 대부분의 워드 라인 인에이블 신호 라인은 워드 라인 드라이버를 비활성 상태로 유지하기 위한 로직 로우 레벨을 갖는다. 따라서, 다른 신호 라인간에 브리지 또는 디펙트가 발생하여 누설 전류가 발생하지 않아, 메모리 장치의 신뢰성을 향상시키게 된다. 또한, 내부 승압 전원 전압(VPP)의 레벨을 유지시켜, 불필요한 내부 승압 전원 전압 발생회로의 동작을 중지시켜, 불필요한 내부 소모 전력의 낭비를 방지할 수 있게 된다.That is, in the arrangement of other signal lines and ground power lines (VSS) arranged intersecting with the word line enable signal lines, most word line enable signal lines maintain a logic low level to keep the word line driver inactive. Have Accordingly, bridges or defects occur between different signal lines so that no leakage current occurs, thereby improving the reliability of the memory device. In addition, by maintaining the level of the internal boosted power supply voltage VPP, the unnecessary operation of the internal boosted power supply voltage generation circuit can be stopped, and unnecessary waste of internal power consumption can be prevented.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. . Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

본 발명에 따른 반도체 메모리 장치에 따르면, 워드 라인 인에이블 신호 라인과 다른 신호 라인 간의 누설 전류를 방지하여, 메모리 장치의 신뢰성을 향상시키고, 내부 승압 전원 전압 레벨을 유지시켜, 불필요한 내부 소모 전력의 낭비를 방지한다. According to the semiconductor memory device according to the present invention, the leakage current between the word line enable signal line and another signal line is prevented, thereby improving the reliability of the memory device, maintaining the internal boosted power supply voltage level, and wasting unnecessary internal power consumption. To prevent.

도 1은 종래의 서브 워드 라인을 갖는 메모리의 셀 블록 구조의 일부를 나타낸 도면이다. 1 is a diagram illustrating a part of a cell block structure of a memory having a conventional sub word line.

도 2는 도 1의 CMOS 타입의 서브 워드 라인 드라이버를 확대 도시한 회로도이다.FIG. 2 is an enlarged circuit diagram of a sub word line driver of the CMOS type of FIG. 1.

도 3은 다수의 서브 워드 라인을 구동하는 워드 라인 인에이블 신호 드라이버를 나타낸 회로도이다. 3 is a circuit diagram illustrating a word line enable signal driver driving a plurality of sub word lines.

도 4는 종래의 CMOS 타입 서브 워드 라인 드라이버의 타이밍도를 나타낸다.4 is a timing diagram of a conventional CMOS type sub word line driver.

도 5는 종래의 CMOS 타입 서브 워드 라인 드라이버 구조를 갖는 메모리 장치에서의 누설 전류의 발생을 나타내는 도이다.Fig. 5 is a diagram showing generation of leakage current in a memory device having a conventional CMOS type sub word line driver structure.

도 6은 본 발명에 따른 서브 워드 라인을 갖는 메모리의 셀 블록 구조의 일부를 나타낸 도면이다. 6 is a view illustrating a part of a cell block structure of a memory having a sub word line according to the present invention.

도 7은 도 6의 CMOS 타입의 서브 워드 라인 드라이버를 확대 도시환 회로도이다.FIG. 7 is an enlarged circuit diagram of a sub word line driver of the CMOS type of FIG. 6.

도 8은 본 발명에 따른 워드 라인 인에이블 신호 드라이버를 나타낸 회로도이다. 8 is a circuit diagram illustrating a word line enable signal driver according to the present invention.

도 9는 종래의 CMOS 타입 서브 워드 라인 드라이버의 타이밍도를 나타낸다.9 is a timing diagram of a conventional CMOS type sub word line driver.

Claims (10)

반도체 메모리 장치에 있어서,In a semiconductor memory device, 다수개의 서브 워드 라인 드라이버; 및A plurality of sub word line drivers; And 하나의 노말 워드라인 인에이블 신호(NWE)에 의해 상기 다수개의 워드라인 드라이버를 구동시키는 워드 라인 인에이블 신호 드라이버를 포함하고,A word line enable signal driver for driving the plurality of word line drivers by one normal word line enable signal (NWE), 상기 서브 워드 라인 드라이버는 PMOS 타입의 트랜지스터와 NMOS 타입의 트랜지스터로 구성되며, 상기 PMOS 타입의 트랜지스터를 통해 상기 워드 라인을 활성화시키고, 상기 서브 워드 라인 드라이버의 PMOS 타입 트랜지스터와 NMOS 타입 트랜지스터의 게이트 노드에 공통으로 연결되어 상기 게이트 노드의 전극을 반전시키는 인버터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.The sub word line driver is configured of a PMOS type transistor and an NMOS type transistor, and activates the word line through the PMOS type transistor, and the gate node of the PMOS type transistor and the NMOS type transistor of the sub word line driver. And an inverter connected in common and inverting an electrode of the gate node. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 서브 워드 라인 드라이버는 The sub word line driver 상기 워드 라인 인에이블 신호 드라이버에서 출력되는 노말 워드라인 인에이블 신호(NWE)를 반전시키는 제1 인버터;A first inverter for inverting a normal word line enable signal (NWE) output from the word line enable signal driver; 게이트 단자로 상기 제1 인버터의 출력이 연결되고, 드레인 단자로 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD)가 연결되는 제1 PMOS 트랜지스터;A first PMOS transistor having a gate terminal connected to an output of the first inverter and a drain terminal connected to a sub word line driver driving signal PXiD; 게이트 단자로 상기 제1 인버터의 출력이 연결되고, 드레인 단자로 상기 제1 PMOS 트랜지스터의 소스 단자의 출력이 연결되며, 소스 단자로 제2 전압이 연결되는 제1 NMOS 트랜지스터; 및A first NMOS transistor connected to an output of the first inverter through a gate terminal, an output of a source terminal of the first PMOS transistor to a drain terminal, and a second voltage connected to a source terminal; And 게이트 단자로 반전 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiB)가 연결되고, 드레인 단자가 상기 제1 PMOS 트랜지스터의 소스 단자, 상기 제1 NMOS 트랜지스터의 드레인 단자 및 상기 서브 워드 라인에 연결되며, 소스 단자로 제2 전압이 연결되는 제2 NMOS 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.An inverted sub word line driver driving signal PXiB is connected to a gate terminal, and a drain terminal is connected to a source terminal of the first PMOS transistor, a drain terminal of the first NMOS transistor, and the sub word line, and a source terminal. And a second NMOS transistor coupled to two voltages. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제1 인버터는The first inverter 게이트 단자로 상기 워드 라인 인에이블 신호 드라이버에서 출력되는 노말 워드 라인 인에이블 신호(NWE)가 연결되고, 드레인 단자로 제1 전원전압이 연결되는 제2 PMOS 트랜지스터; 및A second PMOS transistor connected to a normal word line enable signal NWE output from the word line enable signal driver to a gate terminal, and a first power supply voltage to a drain terminal; And 게이트 단자로 상기 워드 라인 인에이블 신호 드라이버에서 출력되는 노말 워드 라인 인에이블 신호(NWE)가 연결되고, 드레인 단자로 상기 제2 PMOS 트랜지스터의 소스 단자가 연결되고, 소스 단자로 제2 전압이 연결되는 제3 NMOS 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.A normal word line enable signal NWE output from the word line enable signal driver is connected to a gate terminal, a source terminal of the second PMOS transistor is connected to a drain terminal, and a second voltage is connected to a source terminal. And a third NMOS transistor. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 서브 워드 라인 드라이버는, 상기 서브 워드 라인 드라이버들이 비활성되는 경우, 상기 워드 라인 인에이블 신호 드라이버에서 출력되는 상기 노말 워드라인 인에이블 신호(NWE)선의 레벨이 그라운드 레벨을 유지하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.The sub word line driver is a semiconductor, characterized in that when the sub word line drivers are inactive, the level of the normal word line enable signal (NWE) line output from the word line enable signal driver maintains a ground level. Memory device. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 서브 워드 라인 드라이버는, 상기 서브 워드 라인 드라이버들이 비활성되는 경우, 상기 워드 라인 인에이블 신호 드라이버에서 출력되는 상기 노말 워드라인 인에이블 신호(NWE)선의 레벨이 그라운드 레벨보다 더 낮은 전원전압 레벨을 유지하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.When the sub word line drivers are inactive, the sub word line driver maintains a power supply voltage level at which the level of the normal word line enable signal NWE output from the word line enable signal driver is lower than the ground level. A semiconductor memory device, characterized in that. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 워드 라인 인에이블 신호 드라이버는, The word line enable signal driver, 게이트 단자가 프리차지 제어 신호에 연결되고, 소스 단자가 상기 전원 전압에 연결되는 제3 PMOS 트랜지스터;A third PMOS transistor having a gate terminal connected to a precharge control signal and a source terminal connected to the power supply voltage; 게이트 단자는 어드레스 신호에 연결되고, 상기 제3 PMOS 트랜지스터에 직렬로 연결된 다수개의 NMOS 트랜지스터들; 및A gate terminal connected to the address signal, the plurality of NMOS transistors connected in series with the third PMOS transistor; And 상기 제3 PMOS 트랜지스터의 드레인 단자에 연결된 제2 인버터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And a second inverter connected to the drain terminal of the third PMOS transistor. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제2 전압은 접지 전압인 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And the second voltage is a ground voltage. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 제2 전압은 접지 전압인 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And the second voltage is a ground voltage. 메모리 장치의 서브 워드 라인 드라이버에 있어서,In the sub word line driver of a memory device, 워드 라인 인에이블 신호 드라이버에서 출력되는 노말 워드라인 인에이블 신호(NWE)를 반전시키는 제1 인버터;A first inverter for inverting the normal word line enable signal NWE output from the word line enable signal driver; 게이트 단자로 상기 제1 인버터의 출력이 연결되고, 드레인 단자로 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiD)가 연결되는 제1 PMOS 트랜지스터;A first PMOS transistor having a gate terminal connected to an output of the first inverter and a drain terminal connected to a sub word line driver driving signal PXiD; 게이트 단자로 상기 제1 인버터의 출력이 연결되고, 드레인 단자로 상기 제1 PMOS 트랜지스터의 소스 단자의 출력이 연결되며, 소스 단자로 제2 전압이 연결되는 제1 NMOS 트랜지스터; 및A first NMOS transistor connected to an output of the first inverter through a gate terminal, an output of a source terminal of the first PMOS transistor to a drain terminal, and a second voltage connected to a source terminal; And 게이트 단자로 반전 서브 워드 라인 드라이버 구동 신호(PXiB)가 연결되고, 드레인 단자가 상기 제1 PMOS 트랜지스터의 소스 단자, 상기 제1 NMOS 트랜지스터의 드레인 단자 및 상기 서브 워드 라인에 연결되며, 소스 단자로 제2 전압이 연결되는 제2 NMOS 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 서브 워드 라인 드라이버.An inverted sub word line driver driving signal PXiB is connected to a gate terminal, and a drain terminal is connected to a source terminal of the first PMOS transistor, a drain terminal of the first NMOS transistor, and the sub word line, and a source terminal. And a second NMOS transistor coupled to two voltages. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 서브 워드 라인 드라이버는, 상기 서브 워드 라인 드라이버들이 비활성되는 경우, 상기 워드 라인 인에이블 신호 드라이버에서 출력되는 상기 노말 워드라인 인에이블 신호(NWE)선의 레벨이 그라운드 레벨을 유지하는 것을 특징으로 하는 서브 워드 라인 드라이버.The sub word line driver, when the sub word line drivers are inactive, the level of the normal word line enable signal (NWE) line output from the word line enable signal driver maintains the ground level. Word line driver.
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