KR100228524B1 - Word line driving circuit for semiconductor memory device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 서브 워드라인 구동회로와 그의 출력을 입력으로 하는 메인 워드라인 구동회로를 가지고 칩의 소모 전력을 감소하기 위한 반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로에 관한 것으로, 디코더로부터의 블럭선택신호와 디코딩된 로우어드레스 신호에 응답하여 인가되는 외부전원전압에 따라 논리 조합되어 제1전원라인과 제2전원라인으로 소비전력을 최소화하기 위하여 상기 외부전원전압을 제공하기 위한 워드라인 구동제어회로와, 상기 제1전원라인 또는 제2전원라인과 접속되어 상기 외부전원전압을 입력으로 하고, 인가되는 승압전원전압 또는 외부전원전압에 따라 논리 조합되어 각각의 셀어레이블럭의 워드라인과 접속된 SWD회로에 논리 조합된 상기 승압전원전압 또는 외부전원전압을 제공하여 워드라인의 저장 캐패시터를 구동하고 비트라인으로 풀데이타를 출력하기 위한 메인 워드라인 구동회로를 포함한다.The present invention relates to a word line driving circuit of a semiconductor memory device having a sub word line driving circuit and a main word line driving circuit for receiving an output of the sub word line driving circuit and for reducing the power consumption of the chip, A word line drive control circuit for providing the external power supply voltage in order to minimize power consumption of the first power supply line and the second power supply line by being logically combined according to an external power supply voltage applied in response to the row address signal, The power supply line is connected to the first power supply line or the second power supply line, and the external power supply voltage is input. Logically combined with the boosted power supply voltage or the external power supply voltage is applied to the SWD circuit connected to the word line of each cell array block. The boosted power supply voltage or the external power supply voltage to drive the storage capacitor of the word line, And a main word line driving circuit for outputting a full data line.

Description

반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로{WORD LINE DRIVING CIRCUIT FOR SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a word line driving circuit for a semiconductor memory device,

본 발명은 반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로에 관한 것으로, 특히 서브 워드라인 구동회로와 그의 출력을 입력으로 하는 메인 워드라인 구동회로를 가지고 칩의 소모 전력을 감소하기 위한 반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로에 관한 것이다.The present invention relates to a word line driver circuit of a semiconductor memory device, and more particularly to a word line driver circuit of a semiconductor memory device having a sub word line driver circuit and a main word line driver circuit, .

통상적으로, 반도체 메모리 장치의 고집적화 및 고속화 경향이 가속되면서 작은 면적에 보다 많은 정보를 저장하기 위한 노력들이 여러 가지 방향에서 이루어지고 있다. 특히 설계적인 측면에서 회로의 배치 및 배선 그리고, 새로운 개념의 회로 구현을 통해 반도체 메모리 장치의 고집적, 저전력, 그리고, 고속화의 목적을 이루어왔다. 반도체 메모리 장치의 개발 초기에는 주변회로들이 메모리 장치 내에서 차지하는 면적이 코아 영역내 셀 어레이에 비해 상대적으로 컸으나 상기한 반도체 장치의 개발 경향에 따라 점차적으로 셀 어레이 면적이 반도체 메모리 장치의 대부분을 차지하는 경향을 나타내고 있다. 이러한 경향은 기가 시대에는 한층 더 두드러질 것이다. 위와 같은 반도체 메모리 장치의 고집적화 경향에 따라 칩 신뢰도 향상 측면에서 메모리 장치의 전력 소모 감소가 중요한 설계요소로서 대두되고 있다.Efforts to store more information on a small area have been made in various directions, as acceleration of high integration and acceleration of semiconductor memory devices is generally accelerated. Especially, in terms of design, the purpose of high density, low power, and high speed of semiconductor memory devices has been achieved through arrangement and wiring of circuits and circuit implementation of new concept. The area occupied by the peripheral circuits in the memory device was relatively large compared to the cell array in the core region at the beginning of the development of the semiconductor memory device, but the cell array area gradually occupied most of the semiconductor memory device according to the development tendency of the semiconductor device described above . This trend will be even more prominent in the Giga era. In order to improve the reliability of the semiconductor memory device according to the tendency of high integration of the semiconductor memory device, reduction of power consumption of the memory device is an important design element.

한편, 전력 소모 감소 측면에서 64K 디램의 공급전원이 12V로부터 5V로 다운되었을 때 회로에서 노이즈로 기인한 셀 신호의 손실이 발생하였다. 셀 내의 전위가 12V에서 10V로 감소되는 것은 문제시되지 않지만, 5V에서 문턱전압으로 인한 3.5V의 감소는 심각한 문제점을 유발한다. 이러한 문턱전압 및 노이즈로 인한 공급전원전압의 감소를 해결하기 위하여 공급전원전압 이상의 워드라인 전압 구동 회로가 연구되고 있다. 이러한 회로의 구조 및 동작은 1987년 3월 10일자로 특허된 미합중국 특허번호 4,649,523에 제목 "SEMICONDUCTOR MEMORY BOOSTED WORD LINE"과 1990년 2월 23일자로 미합중국에서 특허된 특허번호 4,896,297에 제목 "CIRCUIT FOR GENERATING A BOOSTED SIGNAL FOR A WORD LINE"에 자세히 개시되어 있다.On the other hand, when the power supply of 64K DRAM is down from 12V to 5V in terms of power consumption reduction, a loss of cell signal due to noise occurs in the circuit. It is not a problem that the potential in the cell is reduced from 12V to 10V, but a reduction of 3.5V due to the threshold voltage at 5V causes serious problems. In order to solve the reduction of the supply voltage due to the threshold voltage and noise, a word line voltage drive circuit over the supply voltage is being studied. The structure and operation of such a circuit is described in U.S. Patent No. 4,649,523, entitled " SEMICONDUCTOR MEMORY BOOSTED WORD LINE ", issued March 10, 1987, and in U.S. Patent No. 4,896,297, entitled "CIRCUIT FOR GENERATING A BOOSTED SIGNAL FOR A WORD LINE ".

도 1은 종래 기술에 따른 디램 1메가의 서브 셀 어레이 블럭을 중심으로 하여 위치한 워드라인 구동회로들을 보인 도면이다. 도 1을 참조하면, 다이나믹 랜덤 억세스 메모리 즉, 디램은 로우와 컬럼 방향으로 배열된 메모리 셀 어레이를 가진다. 예를 들어, 256로우와 256컬럼 어레이는 65,536 메모리 셀들을 제공한다. 집적회로 칩이나 웨이퍼는 다수개의 메모리 셀 어레이들을 가지고, 그 각각의 어레이들은 다시 서브 메모리 셀 어레이들 M1∼M8로 나눌 수 있다. 그 메모리 셀 자체는 정보 저장 캐패시터와 억세스 트랜지스터를 가지며, 상기 정보 저장 캐패시터는 "하이" 레벨의 전압 또는 "로우" 레벨의 전압을 저장한다. 도 1상에 나타난 각각의 노드들은 서브 워드라인 드라이버(sub word line driver : SWD)회로를 나타낸다. 상기 SWD회로는 로우 디코더 102의 출력 라인인 제3전원라인 116의 전압과FIG. 1 is a diagram illustrating word line driving circuits disposed around a sub-cell array block of a 1-megahertz DRAM according to the related art. Referring to FIG. 1, a dynamic random access memory, that is, DRAM, has a memory cell array arranged in row and column directions. For example, 256 rows and 256 column arrays provide 65,536 memory cells. The integrated circuit chip or wafer has a plurality of memory cell arrays, each of which can be further divided into sub memory cell arrays M1 to M8. The memory cell itself has an information storage capacitor and an access transistor, and the information storage capacitor stores a voltage of a "high" level or a voltage of a "low" level. Each of the nodes shown in FIG. 1 represents a sub word line driver (SWD) circuit. The SWD circuit receives the voltage of the third power line 116, which is the output line of the row decoder 102,

메인 워드라인 구동회로 105∼113의 PXiB, PXiD(여기서 i는 "0, 1, 2, 3"이며, 메인 워드라인 구동회로 105~113들은 한쌍으로 구성되어 있다.)신호를 입력으로 하고, 상기 서브 메모리 셀 어레이들 M1∼M8의 워드라인에 부스팅(승압)된 신호를 제공하여 비트라인을 통하여 상기 저장 캐패시터에 저장된 데이타를 풀 출력한다. 즉, 통상의 전원전압 VCC에다 억세스 트랜지스터의 문턱전압 만큼을 더한 전압 VPP을 워드라인으로 제공하는 것이다.PXiB and PXiD (where i is "0, 1, 2, 3" and the main word line driving circuits 105 to 113 are composed of a pair) of the main word line driving circuits 105 to 113 are input, (Boosted) signals to the word lines of the sub memory cell arrays M1 to M8 and outputs the data stored in the storage capacitor through the bit lines in a full output manner. That is, the voltage VPP obtained by adding the threshold voltage of the access transistor to the normal power supply voltage VCC is provided as a word line.

상기 메인 워드라인 구동회로 105∼113은 워드라인 구동제어회로 103, 104의 제1 또는 제2전원라인 114, 115와 접속되어 그의 출력신호 PXi(여기서 i는 0, 1, 2, 3이며, 워드라인 구동제어회로 103 및 104들은 한쌍으로 구성되어 있다.)를 입력으로 하고 상술한 바와 같이 상기 SWD회로에 PXiD 및 PXiB신호를 제공한다. 이때, PXiD는 승압전압 VPP이며, PXiB신호는 외부전원전압 EVC이다. 상기 워드라인 구동제어회로 103, 104들 각각은 내부전원전압 IVC의 레벨을 갖는 블럭선택신호 BLSXi 및 디코딩된 로우어드레스신호 DRA01, DRA01B, DRA02, DRA02B 101을 입력으로 하여 승압전압 VPP의 레벨을 가지는 구동신호 PXi를 상기 제1또는 제2전원라인 114, 115를 통하여 상기 메인 워드라인 구동회로 105∼113의 일측에 각각 제공한다.The main word line driving circuits 105 to 113 are connected to the first or second power supply lines 114 and 115 of the word line driving control circuits 103 and 104 to output an output signal PXi (where i is 0, 1, 2, Line drive control circuits 103 and 104 are configured as a pair), and provides the PXiD and PXiB signals to the SWD circuit as described above. At this time, PXiD is the boost voltage VPP and the PXiB signal is the external power supply voltage EVC. Each of the word line drive control circuits 103 and 104 receives a block select signal BLSXi having a level of the internal supply voltage IVC and decoded row address signals DRA01, DRA01B, DRA02 and DRA02B 101, And provides the signal PXi to one side of the main word line driving circuit 105 to 113 via the first or second power supply line 114 or 115, respectively.

도 2A 및 도 2B는 종래 기술에 따른 워드라인 구동제어회로 103, 104와 메인 워드라인 구동회로 105∼113들의 구성을 상세히 보인 도면이다.FIG. 2A and FIG. 2B are diagrams showing details of the configurations of the word line driving control circuits 103 and 104 and the main word line driving circuits 105 to 113 according to the related art.

도 2A는 내부전원전압 IVC의 레벨을 가지는 블럭선택신호 BLSXi 및 디코딩된 로우어드레스신호 DRA01∼DRA02B 101을 입력으로 하고, 승압회로(도시하지 않았음)로부터 공급되는 승압전압 VPP에 따라 승압전압인 VPP PXi(여기서 i는 0, 1, 2, 3임)신호를 상기 제1또는 제2전원라인 114, 115을 통해 각각의 메인 워드라인 구동회로 105~113들로 각각 제공한다. 인버터 201과 낸드게이트 202는 상기 블럭선택신호 BLSXi 및 디코딩된 로우어드레스신호 DRA01∼DRAO2B 101을 입력으로 하고 피형 트랜지스터 203과 엔형 트랜지스터 204와 이에 대칭된 피형 및 엔형 트랜지스터 206, 209로 이루어진 인버터들과, 부하 트랜지스터 205, 인버터 207, 209의 구성에 의하여 내부전원전압 IVC의 레벨을 가지는 블록선택신호 BLSXi와 디코딩된 로우어드레스 DRA01∼DRO2B 101의 신호를 논리 조합하여 승압전압 VPP의 레벨로 변환된 구동신호 PXi를 출력한다. 상기 구동신호 PXi는 도 2B와 같이 구성된 메인 워드라인 구동회로 105~113내의 피형 트랜지스터 210 및 엔형 트랜지스터 211로 이루어진 인버터에 입력되고, 그 인버터는 승압전압 VPP의 레벨을 갖는 PXiD신호와 다시 피형 트랜지스터 212 및 엔형 트랜지스터 213에 의해 인버팅되어 외부전원전압 EVC를 갖는 PXiB신호로 레벨 변환되어 출력된다. 상기 VPP의 PXiD신호 및 EVC의 PXiB신호는 노드 즉, SWD회로들(도 1에서 노드로 표기됨)에 각각 입력된다.2A shows an example in which the block select signal BLSXi having the level of the internal power supply voltage IVC and the decoded row address signals DRA01 to DRA02B101 are inputted and the boost voltage VPP (not shown) supplied from the boost circuit PXi (where i is 0, 1, 2, 3) signals to the respective main word line driving circuits 105 to 113 through the first or second power supply lines 114 and 115, respectively. The inverter 201 and the NAND gate 202 receive the block selection signal BLSXi and the decoded row address signals DRA01 to DRAO2B 101 and receive the inverters composed of the transistor 203, the transistor 204 and the transistors 206 and 209, The block selection signal BLSXi having the level of the internal power supply voltage IVC and the decoded row addresses DRA01 to DR02B 101 are logically combined by the configuration of the load transistor 205 and the inverters 207 and 209 to generate the drive signal PXi . The drive signal PXi is input to an inverter composed of the transistor 210 and the transistor 210 in the main word line driving circuits 105 to 113 configured as shown in FIG. 2B. The inverter receives the PXiD signal having the level of the boosted voltage VPP, Type transistor 213 and converted into a PXiB signal having an external power supply voltage EVC and output. The PXiD signal of the VPP and the PXiB signal of the EVC are input to nodes, that is, SWD circuits (denoted by nodes in FIG. 1).

즉, 종래의 기술은 도 1에 도시된 워드라인 구동제어회로 103, 104로부터 제1 또는 제2전원라인 114, 115로 공급되는 구동신호 PXi의 전압이 승압전압 VPP로서 이 전압레벨은 칩내에서 변환되지 않는 외부전원전압을 사용하였을 때보다 큰 전류소비가 발생한다. 이에 부가하여, 통상적으로 회로를 구동하는 전압원의 레벨이 높을 경우 그 전류소모는 크게 되는데 칩 전체의 워드라인의 캐패시터의 캐패시턴스의 1/3에 해당하는 큰 값의 로딩 캐패시턴스를 감당해야 할 워드라인 구동제어회로의 출력전압을 승압전압 VPP로 채택하였을 경우 칩의 전력소모가 증가한다. 즉, 본 전력소모의 문제점으로 인하여 동작 전류측면에서도 경쟁력이 약화되는 문제점으로 발생한다.That is, in the conventional technique, the voltage of the drive signal PXi supplied from the word line drive control circuits 103 and 104 to the first or second power supply lines 114 and 115 is the boosted voltage VPP, A larger current consumption occurs than when an external power supply voltage is used. In addition, when the level of the voltage source driving the circuit is high, the current consumption is increased. In this case, the word line driving which has to take a large value of the loading capacitance corresponding to 1/3 of the capacitance of the capacitors of the word lines When the output voltage of the control circuit is adopted as the boosted voltage VPP, the power consumption of the chip increases. That is, the problem of power consumption causes a problem that the competitiveness is weakened in terms of operating current.

따라서, 상기한 바와 같은 문제점을 해소하기 위한 본 발명의 목적은 전력소모를 최소화 할 수 있는 반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a word line driving circuit of a semiconductor memory device capable of minimizing power consumption.

본 발명의 다른 목적은 칩면적을 줄이고 전력 소모를 최소화 할 수 있는 반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a word line driving circuit of a semiconductor memory device capable of reducing a chip area and minimizing power consumption.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따르면, 반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로에 있어서, 디코더로부터의 블럭선택신호와 디코딩된 로우어드레스 신호에 응답하고, 인가되는 외부전원전압에 따라 논리 조합되어 제1전원라인과 제2전원라인으로 상기 외부전원전압을 제공하기 위한 워드라인 구동제어회로와, 상기 제1전원라인 또는 제2전원라인과 접속되어 상기 외부전원전압을 입력으로 하고, 인가되는 승압전원전압 또는 외부전원전압에 따라 논리 조합되어 각각의 셀어레이블럭의 워드라인과 접속된 서브 워드라인 드라이버의 일측 및 타측에 논리 조합된 상기 승압전원전압 또는 외부전원전압을 제공하여 워드라인의 저장 캐패시터를 구동하고 비트라인으로 풀데이타를 출력하기 위한 메인 워드라인 구동회로를 가지는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a word line driving circuit for a semiconductor memory device, comprising: a word line driving circuit for receiving a block selection signal from a decoder and a decoded row address signal, A word line drive control circuit connected to the first power supply line or the second power supply line to supply the external power supply voltage to the first power supply line and the second power supply line, , The boosted power supply voltage or the external power supply voltage logically combined on one side and the other side of the sub word line driver connected to the word line of each cell array block are logically combined in accordance with an applied boosted power supply voltage or an external power supply voltage, A main word line driving circuit for driving the storage capacitor of the line and outputting full data to the bit line; .

도 1은 종래 기술에 따른 서브 셀 어레이 블럭을 중심으로 하여 위치한 워드라인 구동회로들을 보인 도면.FIG. 1 is a diagram illustrating word line driving circuits positioned around a sub-cell array block according to a related art. FIG.

도 2A 및 도 2B는 종래 기술에 따른 워드라인 구동제어회로와 메인 워드라인 구동회로를 각각 보인 도면.FIG. 2A and FIG. 2B are diagrams showing a word line drive control circuit and a main word line drive circuit according to the prior art, respectively.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 서브 셀 어레이 블럭을 중심으로 하여 위치한 워드라인 구동회로들을 보인 도면.FIG. 3 illustrates word line driving circuits positioned around a sub-cell array block according to an embodiment of the present invention. FIG.

도 4A 및 도 4B는 본 발명의 일실시예에 따른 서브 워드라인 구동회로와 메인 워드라인 구동회로를 각각 보인 도면.4A and 4B are views showing a sub word line driving circuit and a main word line driving circuit according to an embodiment of the present invention, respectively.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 한편 본 발명에서 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도내에서 여러가지 변형이 가능함은 물론이다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the invention.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 서브 셀 어레이 블럭을 중심으로 하여 위치한 워드라인 구동회로들을 보인 도면이다. 도 3을 참조하면, 워드라인과 비트라인의 교차점에 접속된 억세스 트랜지스터와 정보 저장 캐패시터를 포함하는 다수의 서브 메모리 셀 어레이들 M1∼M8과, 노드로서 표시된 SWD회로들과, 각각 쌍으로 구성된 메인 워드라인 구동회로 305∼313, 각각 쌍으로 구성된 워드라인 구동제어회로들 303, 304, 로우 디코더 302, 디코딩된 어드레스 신호들(DRA01, DRA01B, DRA02, DRA02B) 301의 그 구성은 상술한 도 1의 구성과 동일하다. 그러므로, 여기서의 자세한 구성 설명은 생략한다. 간단히 말하자면, 본 발명은 제1 또는 제2전원라인 314, 315의 전압을 결정하는 워드라인 구동제어회로들 303, 304로부터 출력되는 구동신호 PXi를 비트라인 전원소오스와 동일한 외부전원전압 EVC로 채택하고, 그 출력신호 PXi를 입력으로 하는 메인 워드라인 구동회로 305∼313을 캐스코드 전압 스위칭 회로(cascode voltage switching logic)로 구성하여 그 출력신호 PXiD, PXiB(여기서 i는 0, 1, 2, 3임)를 각각 승압전압레벨 VPP와 외부전원전압 레벨 EVC로 하여 SWD회로 제공한다. 이를 구현하기 위한 회로구성은 도 4A 및 도 4B에 상세히 도시하였다.3 is a diagram illustrating word line driving circuits positioned around a sub-cell array block according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, a plurality of sub memory cell arrays M1 to M8 including an access transistor and an information storage capacitor connected to the intersections of word lines and bit lines, SWD circuits indicated as nodes, and main The structure of the word line drive circuits 305 to 313 and the pair of word line drive control circuits 303 and 304, the row decoder 302 and the decoded address signals DRA01, DRA01B, DRA02 and DRA02B 301, . Therefore, detailed description of the configuration is omitted here. In short, the present invention adopts the drive signal PXi output from the word line drive control circuits 303 and 304, which determine the voltages of the first or second power supply lines 314 and 315, as the external supply voltage EVC equal to the bit line power source And main word line driving circuits 305 to 313 which receive the output signal PXi as a cascode voltage switching circuit and output the output signals PXiD and PXiB (i = 0, 1, 2, 3 ) Are provided as a boost voltage level VPP and an external power supply voltage level EVC, respectively. Circuit configurations for implementing this are shown in detail in FIGS. 4A and 4B.

도 4A 및 도 4B는 본 발명의 일실시예에 따른 워드라인 구동제어회로와 메인 워드라인 구동회로를 상세히 각각 보인 도면이다. 도 4A를 참조하면, 내부전원전압 EVC의 레벨을 가지는 블럭선택신호 BLSXi 및 디코딩된 로우어드레스신호 DRA01∼DRAO2B 301을 입력으로 한다. 그리고, 인가되는 외부전원전압 EVC에 따라 EVC PXi신호를 상기 제1 또는 제2전원라인 314, 315로 제공한다. 인버터 401과 낸드게이트 402는 상기 블럭선택신호 BLSXi 및 디코딩된 로우어드레스신호 DRA01~DRA02B 301을 입력으로 한다. 피형 트랜지스터 403과 엔형 트랜지스터 404와 이에 대칭된 피형 및 엔형 트랜지스터 407, 408로 이루어진 인버터들과, 부하 트랜지스터 406, 인버터 405, 409의 구성에 의하여 EVC PXi신호를 제공한다.FIGS. 4A and 4B are diagrams showing details of a word line driving control circuit and a main word line driving circuit according to an embodiment of the present invention, respectively. Referring to FIG. 4A, a block select signal BLSXi having a level of the internal power supply voltage EVC and decoded row address signals DRA01 to DRAO2B 301 are input. The EVC PXi signal is supplied to the first or second power supply line 314 or 315 according to the applied external power supply voltage EVC. The inverter 401 and the NAND gate 402 receive the block selection signal BLSXi and the decoded row address signals DRA01 to DRA02B 301 as inputs. The EVC PXi signal is provided by the configuration of the load transistor 406, the inverters 405 and 409, and the inverters composed of the transistor 403 and the transistor 409 and the transistors 407 and 408, which are symmetrical to each other.

상기 도 4A와 같은 구성을 가지는 워드라인 구동제어회로 303, 304로부터 각각 출력되는 EVC PXi신호는 도 4B의 메인 워드라인 구동회로의 일측에 입력된다. 도 4B를 참조하면, 즉, 승압전원전압단 VPP와 접지전원전압단에 직렬 접속되고, 상기 EVC PXi신호에 따라 게이팅되어 승압전원전압 EVC의 레벨로 입력되는 신호 PXi를 인버팅하기 위한 피형 트랜지스터 411 및 엔형 트랜지스터 412로 이루어진 인버터와, 이 인버터와 대칭되는 피형 트랜지스터 414 및 엔형 트랜지스터 415의 인버터로 이루어진다. 이때, 상기 엔형 트랜지스터 415의 게이트에는 상기 외부전원전압 EVC가 인가되는 인버터 413에 의하여 상기 EVC PXi신호의 반전신호 EVC PXiB가 입력되고, 그 반전신호 EVC PXiB를 출력하는 출력노드 N1을 가진다.The EVC PXi signals output from the word line drive control circuits 303 and 304 having the configuration as shown in FIG. 4A are input to one side of the main word line drive circuit of FIG. 4B. Referring to FIG. 4B, the transistor 411 is connected in series to the step-up power supply voltage terminal VPP and the ground power supply voltage terminal and is gated in accordance with the EVC PXi signal to invert a signal PXi inputted at the level of the step- And a transistor 414, and an inverter of a transistor 414 and a transistor 415 which are symmetrical to the inverter. At this time, the inverter 413 receives the inverted signal EVC PXiB of the EVC PXi signal by the inverter 413 to which the external power supply voltage EVC is applied, and has an output node N1 for outputting the inverted signal EVC PXiB.

상기 피형 트랜지스터 414의 게이트는 피형 트랜지스터 411의 드레인 및 엔형 트랜지스터 412의 드레인의 접속 노드에 접속되어 있으며, 이 노드에는 상기 피형 트랜지스터 414의 게이트로 입력되는 신호를 인버팅하여 반전된 승압전압 VPP PXiD를 출력하는 인버터 410이 접속되어 있다. 따라서, 외부전원전압 EVC의 레벨을 가지는 구동신호 EVC PXi가 엔형 트랜지스터 412의 게이트 및 인버터 413으로 입력되면, 상기 인버터 410과 413들로부터는 각각 반전된 승압전압 VPP PXiD 및 반전된 구동신호 EVC PXiB가 각각 출력된다. 이와 같은 동작에 의해 상기 출력노드 N1의 EVC PXiB와 VPP PXiD신호는 상술한 SWD회로에 각각 입력된다. 여기서, SWD회로의 타측은 도 3에 도시된 제3전원라인 316을 통하여 로우디코더 302의 출력신호에 응답하여 데이타 저장 캐패시터를 구동하여 비트라인으로 풀데이타를 출력한다.The gate of the transistor 414 is connected to the drain of the transistor to be coupled 411 and the connection node of the drain of the transistor 412 to which a signal input to the gate of the transistor 414 is inverted to output the inverted boosted voltage VPP PXiD And an inverter 410 for outputting is connected. Therefore, when the drive signal EVC PXi having the level of the external power supply voltage EVC is input to the gate of the transistor 412 and the inverter 413, the inverted boosted voltage VPP PXiD and the inverted drive signal EVC PXiB are respectively outputted from the inverters 410 and 413 Respectively. With this operation, the EVC PXiB and VPP PXiD signals of the output node N1 are respectively input to the above-described SWD circuit. Here, the other side of the SWD circuit drives the data storage capacitor in response to the output signal of the row decoder 302 through the third power supply line 316 shown in FIG. 3 to output the full data to the bit line.

본 발명의 실시예에서는 다이나믹 랜덤 억세스 장치의 경우를 예시하였으나, 유사분야에서 동일한 방법으로 적용이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정하져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구의 범위뿐만 아니라 이 특허청구의 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다. 즉, 상기한 본 발명은 도면을 중심으로 예를 들어 한정되었지만, 그 동일한 것은 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 변화와 변형이 가능함이 본 분야의 숙련된 자에게 있어 명백할 것이다.In the embodiment of the present invention, the dynamic random access device is exemplified, but the same method can be applied to similar fields. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be determined by the equivalents of the claims, as well as the following claims. While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit of the invention .

따라서, 상기한 바와 같은 본 발명을 따르면, 종래의 서브 워드라인 구동회로의 전원으로서 승압전압 VPP를 사용하였을 경우에 비하여 본 발명의 일실시예에 따라 외부 전원전압 EVC로 사용했을 경우는 2배 이상으로 전류를 감소할 수 있고, 칩의 크기도 감소할 수 있는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention as described above, compared with the case where the boost voltage VPP is used as the power source of the conventional sub word line driving circuit, according to the embodiment of the present invention, when used as the external power voltage EVC, The current can be reduced and the chip size can be reduced.

Claims (7)

반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로에 있어서,In a word line driving circuit of a semiconductor memory device, 디코더로부터의 블럭선택신호와 디코딩된 로우어드레스 신호에 응답하여 인가되는 외부전원전압에 따라 논리 조합되어 제1전원라인과 제2전원라인으로 상기 외부전원전압을 제공하기 위한 워드라인 구동제어회로와,A word line drive control circuit for logically combining the block select signal from the decoder and the external supply voltage applied in response to the decoded row address signal to provide the external supply voltage to the first power supply line and the second power supply line, 상기 제1전원라인 또는 제2전원라인과 접속되어 상기 외부전원전압을 입력으로 하고, 인가되는 승압전원전압 또는 외부전원전압에 따라 논리 조합하다 각각의 셀어레이블럭의 워드라인과 접속된 서브 워드라인 드라이버에 논리 조합된 상기 승압전원전압 또는 외부전원전압을 제공하여 워드라인의 저장 캐패시터 구동하고 비트라인으로 풀데이타를 출력하기 위한 메인 워드라인 구동회로를 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로.And a control circuit connected to the first power line or the second power line to input the external power source voltage and logically combine the power source voltage according to an applied boosted power source voltage or an external power source voltage. And a main word line driving circuit for driving the storage capacitor of the word line and outputting the full data to the bit line by providing the boosted power supply voltage or the external power supply voltage logically combined with the driver. in. 제1항에 있어서, 상기 블럭선택신호와 디코딩된 로우어드레스 신호는 내부전원전압 레벨이고, 상기 외부전원전압은 비트라인의 전압원으로서 이용됨을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로.2. The word line driving circuit of claim 1, wherein the block selection signal and the decoded row address signal are at an internal power supply voltage level, and the external power supply voltage is used as a voltage source of a bit line. 제1항에 있어서, 상기 서브 워드라인 드라이버의 또 다른 타측에는 제3전원라인과 접속되어 그 라인을 통하여 로우 디코더의 내부전원전압 또는 외부전원전압 레벨의 출력신호가 입력됨을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로.2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the other side of the sub word line driver is connected to a third power source line, and an output signal of an internal power source voltage or an external power source voltage level of the row decoder is inputted through the third power source line. Word line driving circuit. 제1항에 있어서, 상기 메인 워드라인 구동회로는 캐스코드 전압 스위칭 회로를 포함함을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로.2. The word line driving circuit of claim 1, wherein the main word line driving circuit includes a cascode voltage switching circuit. 제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 메인 워드라인 구동회로는 승압전원전압단과 접지전원전압단에 직렬 접속되고, 상기 외부전원전압에 따라 게이팅되고, 인가되는 상기 승압전원전압을 인버팅하기 위한 제1피형 트랜지스터 및 제1엔형 트랜지스터로 이루어진 제1인버터와,The method as claimed in claim 1 or 4, wherein the main word line driving circuit is connected in series to a step-up power supply voltage terminal and a ground power supply voltage terminal and is gated according to the external power supply voltage, A first inverter composed of a first type transistor and a first type transistor, 상기 제1인버터와 대칭되고 제2피형 트랜지스터 및 제2엔형 트랜지스터로 이루어진 제2인버터와, 상기 제2엔형 트랜지스터의 게이트에는 상기 외부전원전압이 인가되는 제3인버터에 의하여 반전된 상기 외부전원전압을 출력하는 출력노드를 가지고, 상기 제2피형 트랜지스터의 게이트에는 소오스로 인가되는 상기 승압전원전압에 의해 게이팅되고 제4인버터에 의해 반전된 승압전압을 출력하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로.A second inverter which is symmetrical with the first inverter and is composed of a second type transistor and a second type transistor, and a gate of the second type transistor is connected to the external power supply voltage inverted by the third inverter to which the external power supply voltage is applied And outputs a boosted voltage which is gated by the boosted power supply voltage applied to the gate of the second transistor and is inverted by the fourth inverter to the gate of the second transistor. in. 내부전원전압의 디코딩된 로우 어드레스신호에 응답하는 다수의 워드라인 구동제어회로와, 상기 워드라인 구동제어회로의 출력라인인 제1 또는 제2전원라인으로 접속되고 각각의 서브 메모리셀 어레이 블럭의 워드라인과 접속된 각각의 서브 워드라인 드라이버 회로에 외부전원전압 또는 승압전원전압을 제공하여 상기 서브 워드라인 드라이버 회로와 접속된 워드라인의 저장 캐패시터 구동하고 비트라인으로 풀데이타를 출력하기 위한 다수의 메인 워드라인 구동회로를 포함하는 반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로에 있어서,A plurality of word line drive control circuits responsive to a decoded row address signal of an internal power supply voltage and connected to a first or second power supply line which is an output line of the word line drive control circuit, A plurality of main lines for driving a storage capacitor of a word line connected to the sub word line driver circuit by providing an external power source voltage or a boosted power source voltage to each sub word line driver circuit connected to a line, In a word line driving circuit of a semiconductor memory device including a word line driving circuit, 상기 워드라인 구동제어회로들 각각은 상기 제1 또는 제2전원라인으로 비트라인 전원 소오스와 동일한 외부전원전압을 제공하여 칩의 소모 전력을 최소화하기 위함을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로.Wherein each of the word line drive control circuits provides an external power supply voltage equal to that of the bit line power source to the first or second power supply line to minimize the power consumption of the chip. . 제6항에 있어서, 상기 메인 워드라인 구동회로는 캐스코드 전압 스위칭 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 워드라인 구동회로.7. The word line driving circuit of claim 6, wherein the main word line driving circuit includes a cascode voltage switching circuit.
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