KR20050106325A - 아이솔레이션 밸브 - Google Patents

Abstract

구동축과 구동축 가이드 사이에 마찰이 발생하지 않는 아이솔레이션 밸브가 제공된다. 아이솔레이션 밸브는 중공의 몸체와, 몸체의 외주 하부에 형성되고 하나 이상의 홈을 가지는 보스와, 몸체의 중공 내주면에 형성된 베어링부를 포함하는 구동축 가이드를 포함하며, 반도체 제조 장치의 진공 펌프와 로드록 챔버 사이에 설치되어 상기 반도체 제조 장치 내의 압력을 제어한다.

Description

아이솔레이션 밸브{Isolation valve}

본 발명은 반도체 제조장치에 사용되는 아이솔레이션 밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 베어링이 장착된 구동축 가이드를 구비한 아이솔레이션 밸브에 관한 것이다.

아이솔레이션 밸브(isolation valve)란 반도체 제조 장치 내에 있는 소정의 챔버(chamber)와 진공 펌프(vacuum pump) 사이에 위치하면서, 소정의 챔버 내부의 압력을 제어하는 밸브(valve) 일종이다.

전술한 압력 제어는 아이솔레이션 밸브의 개폐 동작에 따르는데, 전술한 개폐동작은 외부에서 주입된 공기의 압력 및 내부에 설치된 스프링이 가지는 소정의 복원력에 의해 상하 왕복운동을 하는 구동축의 움직임에 따라 구현된다. 이때, 전술한 구동축은, 상하가 개방된 공동의 원통형으로서 외주의 하부에 보스가 형성되어 있는 구동축 가이드에 끼워진 채로 상하 왕복운동을 한다. 이로써 전술한 구동축은 흔들림 없이 원활한 상하 왕복운동을 할 수 있게 된다.

그런데, 상하 왕복운동을 하는 구동축은 구동축 가이드의 내주면과 심하게 마찰을 일으키는 문제가 있었다. 이 때문에 구동축 가이드는 내주면이 마모되어 헐겁게 되는 유동 공차가 발생하였다.

더욱이, 전술한 유동 공차가 발생함으로 인해, 구동축이 상하 왕복운동 시, 좌우로 흔들리게 되는 문제가 발생하였다. 이에 따라 아이솔레이션를 밸브를 구성하는 다른 요소들, 가령, 패킹(packing), 벨로우즈(bellows) 및 오링(o-ring)의 품질을 떨어뜨려 아이솔레이션 밸브 내의 공기가 누설되고 압력이 불안정하게 되는 문제가 발생하였다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 구동축과 구동축 가이드 사이에발생하는 마찰로 인한 유동 공차를 줄일 수 있는 아이솔레이션 밸브를 제공하는 것이다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 목적에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어질 수 있을 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 아이솔레이션 밸브는 중공의 몸체와, 몸체의 외주 하부에 형성되고 하나 이상의 홈을 가지는 보스와, 몸체의 중공 내주면에 형성된 베어링부를 포함하는 구동축 가이드를 포함하며, 반도체 제조 장치의 진공 펌프와 로드록 챔버 사이에 설치되어 상기 반도체 제조 장치 내의 압력을 제어한다. 기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 아이솔레이션 밸브를 도시한 사시도이다.

도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 아이솔레이션 밸브(10)는 전체적으로 원통형상으로 된 제 1 하우징(100)과, 제 1 하우징(100)의 하부에 결합되는 제 2 하우징(200)으로 구성된다.

제 1 하우징(100)은 하단이 개구된 중공의 원통형 덮개로서, 상단에는 진공 펌프(도 5 및 6의 20 참고)로부터 연장된 진공압 공급관(미도시)이 결합되는 제 1 연통부(102)가 형성되어 있고, 측방에는 로드록 챔버(loadlock chamber)와 연통되는 제 2 연통부(104)가 형성되어 있다. 한편, 제 1 하우징(102)의 외주면 하부에는 보스(106)가 형성되어 있는데, 보스(106)에는 결합 나사가 관통될 수 있는 다수의 결합용 개구들(도 2의 112 참조)이 형성되어 있다. 또한, 그림에는 도시되지 않았지만, 제 1 하우징(100) 내부의 소정의 위치에 지지부(미도시)가 형성되어 있는데, 이에 대해서는 나중에 다시 설명하기로 한다.  

제 2 하우징(200)은 상단이 개구된 중공의 원통형 용기로서, 하부에 구동축이 통과할 수 있는 개구가 중앙에 형성되어 있다. 또, 제 2 하우징의 하부에는 내부 공기가 빠져 나갈 수 있는 하나 이상의 개구(도 5의 212 참조)가 형성된다. 한편, 제 2 하우징(200)의 외주면 상부에는 보스(204)가 형성되어 있는데, 보스(204)에는 결합 나사가 들어갈 수 있는 다수의 결합용 개구들(도 2의 206 참조)이 형성되어 있다. 또한 보스(204)의 측방에는 외부 공기를 유입시켜 제 2 하우징 측으로 공기압이 제공되도록 하는 공기압 공급부(202)가 형성되어 있다. 또한, 도시되지는 않았지만, 보스(204) 내부에는 공기압 공급부(202)를 통해 유입된 공기압이 제 2 하우징(200)의 내부로 유통될 수 있도록 공기압 공급로(도 5의 208 참고)가 형성되어 있다.

한편, 제 1 하우징(100)과 제 2 하우징(200)의 결합은, 도 1과 같이, 볼트(108)와 너트(110)를 이용하여 달성될 수 있다.

도 2는 도 1의 아이솔레이션 밸브의 분해 사시도이다.

도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 아이솔레이션 밸브(10)는 그 내부에 벨로우즈(300), 구동축(304), 스프링(306), 구동축 가이드(308), 고무 패킹(310), 누설 방지 링(316, 318) 및 고무 패킹 지지용 너트(312)를 포함한다.

나중에 다시 설명되겠지만, 벨로우즈(300), 구동축(304) 및 스프링(306)은 제 1 하우징 내부에 위치하게 되고, 구동축 가이드(308), 고무 패킹(310), 누설 방지 링(316, 318) 및 고무 패킹 지지용 너트(312)는 제 2 하우징 내에 위치하게 된다.

먼저, 조립 관계를 대략적으로 살펴보면, 벨로우즈(300)와, 벨로우즈(300)의 내부에 결합되는 구동축(304)이 마련된다. 구동축(304)에는 스프링(306), 구동축 가이드(308), 고무패킹(310) 및 너트(312)가 순서대로 삽입된다. 그런 다음, 조립된 내부 구성 요소들을 제 1 하우징(100)과 제 2 하우징(200)을 이용하여 하우징(house)한다.

한편, 벨로우즈(300)의 상부 및 하부에 누설 방지 링들(316, 318)이 설치되어 있다. 이러한 누설 방지 링은 공기압의 미세한 누설을 막을 필요가 있는 곳이라면 어디든지 사용가능하다.

계속하여, 아이솔레이션 밸브(10)의 내부 구성 요소들에 대해서 보다 자세하게 살펴보기로 한다.

벨로우즈(300)는 하부가 개방되고 외주에 주름부가 형성되어 있는 중공의 원통형 구조물로서, 상부에는 결합 플레이트(302)가 형성되어 있고 하부 외주에는 보스(303)가 형성되어 있다.

결합 플레이트(302)는 아이솔레이션 밸브(10)의 폐쇄 동작 시, 제 1 연통부(102)를 직접적으로 막는 부분으로서, 제 1 연통부(102)가 제 2 연통부(104)와 연통되지 않도록 제 1 연통부(102)를 막는 역할을 한다(도 5 참조). 이와 반대로, 아이솔레이션 밸브(10)의 개방 동작 시에는 제 1 연통부(102)를 개방함으로써 제 1 연통부(102)와 제 2 연통부(104)를 연통시킨다(도 6 참조). 이와 관련한 구체적인 동작에 대해서는 나중에 다시 설명하기로 한다.

한편, 결합 플레이트(302)의 상부에는 누설 방지 링(316)이 부착되어 있는데, 이는 앞서 언급한 아이솔레이션(10)의 폐쇄 동작 시, 제 1 연통부(102)와 결합 플레이트(302)가 접한 부분에서 미세한 공기압이 누설되는 것을 방지하는 역할을 한다.

벨로우즈(300) 외주에 형성된 주름은 벨로우즈(300)가 신축동작을 할 수 있도록 한다.

벨로우즈(300) 외주면 하부에 형성된 보스(303)는 외경이 제 1 하우징(100)의 내경과 일치한다. 이로써 제 1 하우징 내에 형성되는 공기압이 하부로 누설되는 것이 방지된다. 이와 관련하여, 보스(303)의 하부에는 별도의 누설 방지 링(318)을 부착하여 미세한 공기압이 누설되는 것을 방지할 수 있다.

계속하여 도 2를 참조하면, 벨로우즈(300) 내부에는 결합 플레이이트(302)와 결합된 구동축(304)이 마련되어 있다. 도 2에는 도시되지 않았지만, 구동축(304)은 결합 플레이트(302)의 중앙에서 용접됨으로써 결합 플레이트(302)와 결합된다. 이와 달리, 구동축(304) 단부 외주에는 수나사 구조의 나선형 홈을 형성하고 결합 플레이트(302)의 중앙에는 암나사 구조의 나선형 홈을 형성하여, 상호 결합시킬 수도 있다.

한편, 구동축(304)은 구동축(304)의 상하 왕복운동 동작을 고려하여 충분히 길어야 한다. 부연하면, 구동축(304)은, 아이솔레이션 밸브(10)의 폐쇄 동작 시, 다시 말해 벨로우즈(302)의 확장 상태에서 제 2 하우징(200)을 벗어날 정도로 연장되는 것이 바람직하다.

스프링(306)은 원통형 압축 코일 스프링으로서, 구동축(306)에 삽입되며, 아이솔레이션 밸브(10)의 조립 완성 시에는 벨로우즈(300) 내부에 위치하게 된다. 이때, 스프링(306)은 제 1 하우징의 내주면에 형성된 지지부(도 5의 303 참조)에 의해 지지된다. 이로써, 스프링(306)의 복원력에 의한 벨로우즈(100)의 확장 동작이 가능하게된다. 이에 대해서는 나중에 다시 설명하기로 한다.

구동축 가이드(308)는 상하가 개방된 중공의 원통형으로서, 그 외주면의 소정 위치에 제 2 하우징의 내경과 동일한 외경을 가지는 보스가 형성되어 있다. 구동축 가이드(308)의 내경은 구동축(304)의 외경과 동일하며, 구동축(304)에 삽입됨으로써 설치된다. 구동축 가이드(308)는 구동축(304)이 상하 왕복운동을 원활하게 수행 할 수 있도록 구동축(304)을 가이드(guide)해 주는 역할을 한다.

한편, 구동축 가이드(308) 보스의 상면(도 3의 408 참조)에는 바깥에서 안쪽으로 형성된 소정 모양의 홈(404)이 형성되어 있다. 또한, 구동축 가이드(308)의 내부에는 구슬 베어링(도 4의 414 참조)이 설치되어 있다. 구동축 가이드(308)의 구체적인 구조 및 기능에 대해서는 나중에 다시 설명하기로 한다.

고무 패킹(310)은 소정의 두께를 가지는 원판형 구조물로서, 중앙에 구동축 가이드(308)에 형성된 보스의 하부에 형성된 단부(402)가 삽입될 수 있는 개구가 형성된다. 이 역시 구동축(304)에 끼워서 설치한다. 한편, 설치된 고무 패킹(310) 하부에는 너트(312)가 결합되는데, 구동축(304)의 외주에 미리 형성된 나선형 홈을 이용하여 결합된다. 결합된 너트(312)는 미리 설치된 고무 패킹(310)과 구동축 가이드(308)를 지지해 준다.

참고로 너트(312)가 설치되는 위치는 제 1 및 제 2 하우징의 길이 및 구동축(304)의 상하 왕복운동 폭을 고려하여 결정되어야 한다.

이하 도 3 및 도 4를 참조하여 구동축 가이드(308)를 보다 구체적으로 설명한다.

도 3은 구동축 가이드(308)를 보다 구체적으로 도시한 사시도이다. 도 4는 구동축 가이드(308)의 단면도이다.

먼저 도 3 및 도 4를 참조하면 알 수 있듯이, 구동축 가이드(308)는 가이드부(400)와 덮개부(402)로 구성된다.

가이드부는(400)는 중공의 몸체와, 중공의 몸체 하부에 형성되는 보스(406)를 포함한다. 또한, 보스(406)의 하부에는 암나사 구조의 결합 홀이 하나 이상 형성되어 있다. 한편, 보스(406)의 상면에는 소정의 홈(404)이 바깥에서 안쪽으로 형성되어 있다. 소정의 홈(404)은, 공기압 공급부(도 1의 202 참고)를 통해 외부에서 주입되는 공기압이 제 2 하우징(200)의 보스(204) 내부에 미리 형성되어 있는 공기 공급로(도 5의 208 참조)를 통해 벨로우즈(300) 내부로 유입될 수 있도록 한다. 따라서 구동축 가이드(308)는, 조립할 경우, 보스(406) 상면에 형성된 홈(404)이 공기압 공급로(도 5의 208 참조)와 대향하도록 설치되어야 한다.

한편, 가이드부(400)의 중공의 내주면에는 구슬 베어링(414) 및 누설 방지 링(412)이 설치된다. 이로써, 구동축(304)의 상하 왕복운동 시, 구동축(304)과 구동축 가이드(308) 사이에 발생할 수 있는 마찰이 감소될 수 있다.

계속하여, 덮개부(402)는 내부가 중공인 원통형 구조로서, 상부에 보스(408)가 형성된다. 덮개부(402)의 보스(408)에는, 가이드부(400)의 보스(406)에 형성된 하나 이상의 결합 홈들과 대향하는 위치에 개구(416)가 형성되어 있다. 또한, 덮개부(408)의 내주면에는 누설 방지 링(412)이 마련되어 있다.

한편, 가이드부(400)와 덮개부(402)의 결합은 도 4에 도시된 바와 같이 수나사(416)를 이용하여 수행될 수 있다.

참고로, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 홈(404)이 하나인 것으로 설명되었으나, 아이솔레이션 밸브(10)의 전체적은 동작에 영향을 미치지 않는 한, 다수개의 홈들이 형성되어도 무방할 것이다. 가령, 가이드부(400)의 보스(406) 상에 형성된 홈(404)은 제 2 하우징(200)의 보스(204) 측면에 형성된 공기압 공급부(202)의 개수에 따라서 하나 이상이어도 무방할 것이다. 또한, 보스(204) 측면에 형성된 공기압 공급부(202)의 개수와 상관 없이, 설치상 편의를 위해 하나 이상의 홈이 형성되어도 무방할 것이다. 또한, 공기압 공급부(202)와 연통되는 공기압 공급로(208)가 제 2 하우징(200)의 보스(204) 내부에 형성된 구조에 따라 홈(404)이 다수개 형성될 수 있을 것이다.

또한, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 구동축 가이드(308)의 내주면에 구슬 베어링(414)이 삽입되어 있는 것으로 설명하였으나, 구동축(304)과 구동축 가이드(308) 사이의 마찰을 줄일 수 있는 구조라면 어느 것이라도 가능하다. 예를 들어, 구동축 가이드(308) 내주면에 구슬 베어링 대신 미끄럼 베어링을 사용할 수 있다.

또한, 아이솔레이션 밸브(10)의 내부 구성요소들 사이에는 본 명세서에서는 설명되지 않는 구성요소들이 포함될 수 있다. 예를 들어, 구동축(306)에 스프링을 끼워 넣기 전후에 스프링 완충캡을 삽입하여 스프링(304)이 다른 내부 구성요소에 줄 수 있는 물리적 충격을 완화 시킬 수 있을 것이다. 또한, 구동축(304)의 상하 왕복 운동 시, 물리적인 충격을 줄이기 위해 곳곳에 완충부재를 삽입할 수 있다. 또한, 고무패킹(310)과 너트(312) 사이에 와셔(washer)를 삽입하여 너트가 쉽게 풀리지 않도록 할 수 있다.

이하, 도 5및 도 6을 참조하여 아이솔레이션 밸브(10)의 개폐동작에 대해 설명한다.

본 발명에 따른 아이솔레이션 밸브는 로드록 챔버(30)와 진공 펌프(20) 사이에 설치되어 로드록 챔버 내부의 진공 펌핑 상태와 대기상태가 선택적으로 구현되도록 한다.

이를 위해서, 제 1 연통부(102)는 진공 펌프(20)와 연결되고 제 2 연통부(104)는 로드록 챔버(30)와 연결되어 있다.

먼저, 아이솔레이션 밸브(10)가 닫혀 있는 상태를 도시한 도5의 단면도를 참조하면, 제 1 연통부(102)가 벨로우즈(300)의 결합 플레이트(302)에 의해 막혀 있다. 이는 제 1 하우징(100)의 내주면에 형성된 지지부(303)에 걸쳐 있고 벨로우즈(300) 내부에 설치되는 스프링(306)의 복원력에 의해 달성된다.

고무패킹(310)은 제 2 하우징의 상부에 위치하고 있고, 그 위에는 내부에 구슬 베어링(414) 및 누설 방지 링(412)을 포함하는 구동축 가이드(308)가 위치하고 있다.

한편, 제 2 하우징(200)의 보스(204) 내부에는 아이솔레이션 밸브(10)의 내부와 공기압 공급부(202)를 연통시키는 공기압 공급로(208)가 형성되어 있다. 그리고 제 2 하우징(200)의 하부에는 공기 배출구(208)가 하나 이상 형성되어 있다.

참고로, 도 5 및 도 6에는 별도의 베어링(210)이 제 2 하우징(200)의 하부에 설치되어 있다. 이는 구동축(304)의 상하 왕복 운동 시, 구동축(304)이 좌우로 흔들리는 것을 방지해 준다. 한편, 베어링(210)은 구동축(304)이 좌우로 흔들리는 것을 방지할 수 있는 것이라면 어떤 베어링이라도 사용가능하나, 본 발명의 일 실시예에서는 미끄럼 베어링을 사용하는 것이 바람직하다.

이하, 아이솔레이션 밸브(10)의 개방동작을 설명하기로 한다. 먼저 도 5의 폐쇄 상태에서, 아이솔레이션 밸브(10) 내에 공기압을 주입한다. 이를 위해, 공기압 공급부(202)를 통해 공기압을 주입한다. 주입된 공기압은 공기압 공급로(208)를 지나 구동축 가이드(304)의 보스 상에 형성된 홈(404)으로 이동한다. 이동된 공기압은 지지부(303)와 구동축(304) 사이의 틈을 통해 벨로우즈(300)내부로 유입된다. 이때 공기압이 벨로우즈(300) 내부에 꽉 차게 되면, 공기압이 형성하는 압력이 제 2 하우징(200)의 하부 쪽으로 작용하게 된다. 이러한 압력에 의해 너트(312)에 의해 지지되는 구동축 가이드(308) 및 고무 패킹(310)에 작용하게 된다. 계속하여 공급된 공기압이 형성한 압력이 스프링(306)의 복원력 보다 커지면, 구동축 가이드(308) 및 고무 패킹(310)은 제 2 하우징(200)의 하부로 이동하게 되는데, 이때 너트(312)와 결합되어 있는 구동축(304)도 아래 방향으로 이끌려가게 된다. 따라서, 구동축(304)과 결합된 벨로우즈(300)의 결합 플레이트(302)도 아래 방향으로 이동하게 된다. 이때, 제 1 연통부(102) 및 제 2 연통부(104)가 연통되면서 아이솔레이션 밸브(10)가 개방된다(도 6참조).

아이솔레이션 밸브(10)를 닫을 필요가 있을 경우에는 공기압의 제공을 중단한다. 이와 동시에 아래 방향으로 이동한 결합 플레이트(302), 구동축 가이드(304) 및 고무 패킹(310)이 스프링(306)의 복원력에 의해 도 5와 같은 상태로 복원된다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

상기한 바와 같은 본 발명의 아이솔레이션 밸브를 사용하면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.

첫째, 본 발명에 따른 아이솔레이션 밸브를 사용하면, 구동축과 구동축 가이드 사이에 발생할 수 있는 마찰이 상당 부분 감소된다. 따라서 구동축 가이드는 내주면이 마모되어 헐겁게 될 정도의 공차가 발생하지 않으며, 구동축의 상하 왕복운동 시, 구동축이 좌우로 흔들리는 현상을 방지할 수 있는 장점이 있다.

둘째, 구동축이 좌우로 흔들리는 현상이 방지되므로, 고무 패킹, 누설 방지 링의 품질 저하를 막을 수 있고, 미세한 공기 누설 등으로 인한 아이솔레이션 밸브의 오작동을 막을 수 있는 장점도 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 아이솔레이션 밸브의 사시도이다.

도 2는 도 1의 아이솔레이션 밸브의 분해 사시도이다.

도 3은 도 2의 아이솔레이션 밸브의 구동축 가이드의 확대 사시도이다.

도 4는 도 3의 아이솔레이션 밸브 구동축 가이드의 단면도이다

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 아이솔레이션 밸브가 닫혀있는 상태를 나타낸 단면도이다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 아이솔레이션 밸브가 열려있는 상태를 나타낸 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>

10: 아이솔레이션 밸브 20: 진공 펌프

30: 로드록 챔버 100: 제 1 하우징

102: 제 1 연통부 104: 제 2 연통부

106: 보스 108: 볼트

110: 너트 112: 개구

200: 제 2 하우징 202: 공기압 공급부

204: 보스 206: 개구

300: 벨로우즈 302: 결합 플레이트

303: 보스 304: 구동축

306: 스프링 308: 구동축 가이드

310: 고무 패킹 312: 너트

316, 318: 누설 방지 링 404: 홈

414: 베어링부

Claims (3)

1. 중공의 몸체;

   상기 몸체의 외주 하부에 형성되고, 하나 이상의 홈을 가지는 보스; 및

   상기 몸체의 중공 내주면에 형성된 베어링부를 포함하는 구동축 가이드를 포함하며,

   반도체 제조 장치의 진공 펌프와 로드록 챔버 사이에 설치되어 상기 반도체 제조 장치 내의 압력을 제어하는 아이솔레이션 밸브.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 아이솔레이션 밸브는,

   상기 진공 펌프와 연통되는 제 1 연통부 및 상기 로드록 챔버와 연통되는 제 2 연통부가 형성된 제 1 하우징;

   외주면에 형성된 보스의 측면에 설치된 공기압 공급부와 상기 공기압 공급부로 주입된 공기가 내부로 이동가능하도록 하는 공기압 공급로가 형성되고 상기 제 1 하우징과 결합되는 제 2 하우징;

   상기 제 1 하우징 내에서 신축 동작하여 상기 제 1 연통부와 상기 제 2 연통부를 개폐하는 벨로우즈;

   상기 벨로우즈의 상단에 형성된 결합 플레이트와 결합되어 상기 벨로우즈를 동작시키는 구동축;

   상기 구동축에 삽입되고 상기 벨로우즈 내에 위치하며 상기 제 1 하우징의 내주면에 형성된 지지부에 의해 지지되는 스프링; 및

   상기 제 2 하우징 내에서 상기 구동축과 축 결합된 너트에 의해 지지되는 고무 패킹을 더 포함하고,

   상기 구동축 가이드는 상기 스프링 아래에서 상기 구동축 가이드의 보스 상면에 있는 하나 이상의 홈들 중 적어도 하나가 상기 공기압 공급부와 대향하도록 상기 구동축에 삽입되는 것을 특징으로 하는 아이솔레이션 밸브.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 제 2 하우징 하부에 상기 구동축이 삽입가능한 베어링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 아이솔레이션 밸브.