KR20050100133A - Method for aging of organics electroluminunce device - Google Patents

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KR20050100133A KR1020040025317A KR20040025317A KR20050100133A KR 20050100133 A KR20050100133 A KR 20050100133A KR 1020040025317 A KR1020040025317 A KR 1020040025317A KR 20040025317 A KR20040025317 A KR 20040025317A KR 20050100133 A KR20050100133 A KR 20050100133A
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Abstract

본 발명은 제 2 전극(캐소드)을 증착하는 초기단계에서 에이징 처리를 수행하여 유기 EL 패널의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 에이징 방법을 제공하기 위한 것으로서, 제 1 전극과 제 2 전극에 적어도 하나 이상에 전압을 가하여 발광층을 지니는 유기층을 발광시키는 소자의 에이징 방법에 있어서, 상기 제 2 전극을 진공 챔버내에서 성막하는 초기단계에서 두 전극사이에 역전압 또는 역전류를 인가하여, 리크(leak) 전류의 원인이 되는 단락(short) 부위를 제거하는 에이징 처리를 수행하는데 있다.The present invention is to provide an aging method that can improve the reliability of the organic EL panel by performing the aging treatment in the initial step of depositing a second electrode (cathode), at least one of the first electrode and the second electrode In the aging method of the device for emitting an organic layer having a light emitting layer by applying a voltage, in the initial step of forming the second electrode in a vacuum chamber, a reverse voltage or a reverse current is applied between the two electrodes, This is to perform an aging treatment to remove the shorting portion that causes it.

Description

유기 EL 소자의 에이징 방법{method for aging of organics electroluminunce device}Method for aging of organics electroluminunce device

본 발명은 유기 EL 소자의 에이징 방법에 관한 것으로, 특히 캐소드(cathode) 전극을 증착하면서 에이징(aging)하는 기술을 이용하여 유기 EL 패널의 신뢰성을 향상시키는 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an aging method of an organic EL element, and more particularly to a method of improving the reliability of an organic EL panel using a technique of aging while depositing a cathode electrode.

유기 EL 소자는 전자 주입전극(음극)과 정공 주입 전극(양극) 사이에 형성된 유기막에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자로서 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 또한 전력 소모가 비교적 적은 것을 특징으로 하는 소자이다.An organic EL device is a device that emits light by dissipating electrons and holes after pairing with an organic film formed between an electron injection electrode (cathode) and a hole injection electrode (anode), and can be driven at a low voltage. In addition, the device is characterized in that the power consumption is relatively low.

이러한 유기 EL 소자를 이용한 표시 패널(panel)은 도 1과 같이, 유리(glass)재료인 기판을 초기 세정한 후(S10), 그 기판 위에 제 1 전극인 ITO(indium tin oxide) 투명전극 및 보조전극을 제작한다(S20). 이어 상기 보조전극 위에 절연막 및 격벽을 각각 제작한다(S30).As shown in FIG. 1, a display panel using such an organic EL device is initially cleaned of a glass material substrate (S10), and then an indium tin oxide (ITO) transparent electrode and an auxiliary electrode, which is a first electrode, are formed on the substrate. Producing an electrode (S20). Subsequently, an insulating film and a partition wall are fabricated on the auxiliary electrode (S30).

이때, 상기 제 1 전극, 보조전극 및 절연막, 격벽은 포토리소그라피(photolithography) 공정에 의해 제작된다.In this case, the first electrode, the auxiliary electrode, the insulating film, and the partition wall are manufactured by a photolithography process.

이어 전면을 세정하고(S40) 표면 처리를 수행 한 후(S50), 상기 표면 처리된 면 위에 다층 유기막(정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층)(S60), 그리고 제 2 전극인 알루미늄(aluminum)을 순차적으로 적층한다(S70).Next, after cleaning the entire surface (S40) and performing a surface treatment (S50), the multilayer organic film (hole injection layer, hole transport layer, light emitting layer, electron transport layer) (S60) on the surface treated surface, and aluminum as a second electrode (aluminum) are sequentially stacked (S70).

이때, 상기 다층 유기막 및 제 2 전극은 열 증발 증착법(thermal evaporation)을 이용하여 제작하게 된다.In this case, the multilayer organic film and the second electrode are manufactured by thermal evaporation.

그런데, 이와 같이 구성되는 유기 EL 소자는 클린룸(clean room)에서 진공 증착법(evaporation)이나 스퍼터링(sputtering) 등의 방법에 의해 제작되는데, 이 제작 과정 중 다양한 크기의 이물질의 혼입이 발생하며, 이에 따라 유기 EL 소자의 신뢰성을 크게 악화시키게 된다. By the way, the organic EL device configured as described above is manufactured by a method such as evaporation or sputtering in a clean room. In this process, foreign matters of various sizes are generated. This greatly deteriorates the reliability of the organic EL element.

다층 유기막의 두께는 통상적으로 5nm~200nm 정도이므로 제작 과정 중에 수십 nm에서 수 um 크기의 이물질이 혼입되어 상기 제 1 전극인 ITO 전극과 제 2 전극인 Al 전극 사이에 존재하게 되면 이는 유기 EL 소자의 단락(short) 및 리크(leak) 전류의 원인이 된다.Since the thickness of the multilayer organic film is generally about 5 nm to 200 nm, when foreign materials of several um size are mixed at several tens of nm during the fabrication process and exist between the ITO electrode, which is the first electrode, and the Al electrode, which is the second electrode, It causes short and leak currents.

따라서 이러한 문제점을 해결하기 위해서 제 2 전극(캐소드) 성막한 후, 두 전극 사이에 전압이나 전류를 인가하여 불량부위를 회복(repair)시키는 소위 "에이징(aging)"처리를 많이 사용하고 있다. Therefore, in order to solve this problem, after the second electrode (cathode) is formed, a so-called "aging" process of applying a voltage or a current between the two electrodes to repair the defective part is often used.

즉, 상기 기판에 유기물 및 제 2 전극(캐소드)까지 증착한 후(S70) 보호처리 과정인 캡슐화(encapsulation)를 완료한 반제품 상태에서(S80) 일정한 전압 또는 전류를 인가하여 불량부위를 회복(repair)시키는 에이징(aging)을 처리한다(S90). That is, after depositing the organic material and the second electrode (cathode) on the substrate (S70), in the semi-finished state in which the encapsulation process is completed (S80), a fixed voltage or current is applied to repair the defective portion (repair). Aging processing is performed (S90).

그리고 마지막으로 조립하여 완제품을 제작하게 된다(S100).And finally assembled to produce a finished product (S100).

이와 같이 유기 EL 소자는 에이징 처리를 통해 유기 패널의 제 1 전극과 제 2 전극간 또는 각 제 1 전극끼리나 제 2 전극끼리 2개 이상으로 나누어 동일한 전극간에 순방향과 역방향으로 전압이나 전류를 교류(AC) 또는 직류(DC)로 반복 인가함으로써 이물질을 제거하게 된다. As described above, the organic EL device divides the first electrode and the second electrode of the organic panel or each of the first electrodes or the second electrodes by two or more through an aging process, and exchanges the voltage or current in the forward and reverse directions between the same electrodes. The foreign material is removed by repeatedly applying AC) or direct current (DC).

이때, 상기 에이징 처리를 위해 인가되는 전압이나 전류가 너무 낮을 경우는 회복(repair) 효과가 작고, 또한 전압이나 전류가 너무 높으면 불량 부위에 폭발이 크게 일어나 패널이 열화나 손상되는 문제를 가지게 된다. In this case, when the voltage or current applied for the aging process is too low, the repair effect is small, and when the voltage or current is too high, the explosion may occur at a defective part, causing the panel to deteriorate or be damaged.

이와 같이 상기와 같은 에이징 처리에 있어서 회복될 수 있는 정도는 에이징시 인가되는 전압(특히, 역방향 전압; reverse voltage)에 크게 의존되게 되어, 에이징 처리시 그 전압의 크기를 정의하는 것은 매우 중요하다.As described above, the degree of recovery in the aging process is highly dependent on the voltage applied during aging (especially reverse voltage), and it is very important to define the magnitude of the voltage during the aging process.

그런데 유기 EL 패널의 제작시 혼입되는 이물질의 크기 및 성분은 매우 다양하게 발생되는데, 현재 사용되고 있는 에이징 방법에서 사용되는 전압은 일정 크기를 갖는 특정 전압으로 설정하며, 이 설정된 특정 전압을 이용하여 일률적으로 에이징을 처리하고 있다.However, the size and composition of foreign matters mixed during the fabrication of the organic EL panel are generated in various ways. The voltage used in the aging method currently used is set to a specific voltage having a certain size, and uniformly using the set specific voltage. Aging is in process.

따라서, 혼입되는 이물질의 크기 및 성분이 회복되는데 필요한 전압의 크기 보다 상기 설정된 전압의 크기가 너무 낮으면 회복되지 않는 해당 이물질이 혼입된 부위는 불량 부위로 발생되며, 또한 반대로 혼입되는 이물질의 크기 및 성분이 회복되는데 필요한 전압의 크기보다 상기 설정된 전압의 크기가 너무 높으면 불량 부위가 과도하게 파괴되어 패널의 열화를 야기시키게 된다.Therefore, if the size of the set voltage is too low than the size of the voltage required to recover the foreign substance and components to be mixed, the portion of the foreign substance that is not recovered is generated as a defective portion, and also the size of the foreign substance mixed with If the magnitude of the set voltage is too high than the magnitude of the voltage required for the component to recover, the defective portion is excessively destroyed, causing deterioration of the panel.

이와 같이, 에이징 방법에서 일정한 전압으로 설정된 특정 전압을 이용하여 에이징 처리를 하게 되면, 유기 EL 패널의 제조시에 혼입되는 이물질의 성분 및 크기에 따라 회복될 수도 있고 또한 안될 수도 있게 되어 에이징 처리를 끝낸 유기 EL 패널의 경우에도 신뢰성을 크게 저하시키게 된다. As described above, when the aging treatment is performed using a specific voltage set to a constant voltage in the aging method, the aging treatment may or may not be recovered depending on the component and size of the foreign matter mixed during the manufacture of the organic EL panel. In the case of the organic EL panel, the reliability is greatly reduced.

이때, 상기 유기 EL 패널의 신뢰성은 에이징 처리를 어떤 공정단계에서 시행하느냐에 따라 그 효과가 크게 달라지게 되며, 이에 따른 연구를 통해 유기 EL 패널의 신뢰성 향상 기술이 대두되고 있다.In this case, the reliability of the organic EL panel varies greatly depending on the process step in which the aging treatment is performed, and through this study, the technology for improving the reliability of the organic EL panel has emerged.

따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 제 2 전극(캐소드)을 증착하는 초기단계에서 에이징 처리를 수행하여 유기 EL 패널의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 에이징 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an aging method that can improve the reliability of an organic EL panel by performing an aging treatment at an initial stage of depositing a second electrode (cathode). There is this.

본 발명의 다른 목적은 유기 EL 소자 제조시 이물질의 혼입으로 인한 유기 EL 소자의 단락(short) 및 리크(leak)의 발생을 억제할 수 있는 에이징 방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide an aging method capable of suppressing the occurrence of shorts and leaks of organic EL devices due to the incorporation of foreign matters in the manufacture of organic EL devices.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기 EL 소자의 에이징 방법의 특징은 제 1 전극과 제 2 전극에 적어도 하나 이상에 전압을 가하여 발광층을 지니는 유기층을 발광시키는 소자의 에이징 방법에 있어서, 상기 제 2 전극을 진공 챔버내에서 성막하는 초기단계에서 두 전극사이에 역전압 또는 역전류를 인가하여, 리크(leak) 전류의 원인이 되는 단락(short) 부위를 제거하는 에이징 처리를 수행하는데 있다.A feature of the aging method of the organic EL device according to the present invention for achieving the above object is in the aging method of the device for emitting an organic layer having a light emitting layer by applying a voltage to at least one of the first electrode and the second electrode, In the initial step of forming the second electrode in a vacuum chamber, a reverse voltage or a reverse current is applied between the two electrodes to perform an aging process of removing a short portion that causes a leak current. .

본 발명의 다른 목적, 특성 및 이점들은 첨부한 도면을 참조한 실시예들의 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.Other objects, features and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description of embodiments with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 유기 EL 소자의 에이징 방법의 바람직한 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.A preferred embodiment of the aging method of the organic EL device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2 는 본 발명에 따른 유기 EL 소자의 에이징 방법을 나타낸 흐름도이다. 2 is a flowchart showing an aging method of an organic EL device according to the present invention.

도 2와 같이, 먼저 유리(glass)재료인 기판을 초기 세정한 후(S200), 그 기판 위에 제 1 전극인 ITO(indium tin oxide) 투명전극 및 보조전극을 제작한다(S210). 이어 상기 보조전극 위에 절연막 및 격벽을 각각 제작한다(S220).As shown in FIG. 2, first, a substrate of a glass material is initially cleaned (S200), and then an ITO (indium tin oxide) transparent electrode and an auxiliary electrode are manufactured on the substrate (S210). Subsequently, an insulating film and a partition wall are fabricated on the auxiliary electrode (S220).

이때, 상기 제 1 전극, 보조전극 및 절연막, 격벽은 포토리소그라피(photolithography) 공정에 의해 제작된다.In this case, the first electrode, the auxiliary electrode, the insulating film, and the partition wall are manufactured by a photolithography process.

이어 전면을 세정하고(S230) 표면처리를 수행한 후(S240), 상기 표면 처리된 면 위에 다층 유기막(정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층)을 성막한다(S250). Subsequently, the entire surface is cleaned (S230) and surface treatment is performed (S240), and then a multilayer organic film (hole injection layer, hole transport layer, light emitting layer, electron transport layer) is formed on the surface treated surface (S250).

그리고 제 2 전극인 알루미늄(aluminum)을 성막하는 초기단계에서 상기 제 2 전극의 성막과 동시에 에이징을 처리한다(S260).In the initial stage of forming aluminum, which is the second electrode, aging is performed simultaneously with the deposition of the second electrode (S260).

상기 에이징(aging) 처리는 유기 EL 패널 제작 공정시 외부 이물질인 기판에 흡착되어 발생하는 단락(short)나 전류 리크(leak)를 억제하기 위하여 패널에 일정한 순방향 전압이나 전류 또는 역방향 전압이나 전류를 동시에 혹은 각각 AC/DC/펄스 형태로 가해주는 것을 말한다.The aging process simultaneously applies a constant forward voltage or current or reverse voltage or current to the panel in order to suppress short-circuits or current leaks caused by adsorption on a substrate that is an external foreign material during the organic EL panel fabrication process. Or it is applied in the form of AC / DC / pulse respectively.

이때, 물질의 크기(수 nm~ 수십 um) 및 조성(금속, 절연체, 카본 등)은 매우 다양하므로 가해주는 전압 크기는 이러한 이불 부착 부위(불량 부위)를 회복(repair) 시키는데 매우 중요한 변수이다. 따라서 전압이 너무 낮으면 회복되지 않은 불량 부위가 많아질 수 있으며, 너무 높으면 불량부위가 과도하게 파괴되어 패널의 열화를 일으키게 된다. 또한, 에이징을 공정의 어느 단계에서 실시하느냐에 따라 그 효과 및 내전압 특성 등이 달라진다.At this time, the size of the material (several nm ~ several tens um) and the composition (metal, insulator, carbon, etc.) is very variable, so the voltage applied to the very important variable in repairing (repair) the duvet attachment site (bad site). Therefore, if the voltage is too low, there may be a large number of defective areas that are not recovered. If the voltage is too high, the defective areas may be excessively destroyed to cause deterioration of the panel. Moreover, the effect, withstand voltage characteristic, etc. change according to which stage of a process is performed.

통상의 에이징은 도 1에서 도시된 것과 같이, 기판에 유기물 및 음극까지 증착한 후 보호처리 과정인 캡슐화(encapsulation)를 완료한 반제품 상태에서 일정한 전압 또는 전류를 인가하는 방법을 사용하였다.In general aging, as shown in FIG. 1, a method of applying a constant voltage or current in a semi-finished state in which encapsulation, which is a protective process after depositing organic material and a cathode on a substrate, is completed.

그러나 이러한 종래 방법은 증착 완료후 소자가 완료된 상태 즉, 공정 중에 불가피하게 생긴 리크 소스(leak source) 또는 결함(defect)이 발생한 이후에 실시하는 과정이므로 결함을 제거하기 위한 전압 또는 전류가 높아지게 되어 에이징 과정 중 쉽게 손상(damage)을 받게 된다. 따라서 소자열화나 파괴를 유발하여 수율을 떨어뜨리게 된다. 다행히 일시적으로 치유가 된 소자라 하더라도 시간에 따라 서서히 진행하는 잠재적인 불량원인이 될 수 있다.However, this conventional method is performed after the completion of the deposition, the device is completed, that is, after a leak source or defect inevitably generated during the process, so that the voltage or current to remove the defect is increased. It is easily damaged during the process. Therefore, deterioration or destruction of the device is caused, resulting in a drop in yield. Fortunately, even a temporarily healed device can be a potential source of failure that progresses slowly over time.

따라서, 본 발명의 에이징 처리는 이러한 단점을 극복하기 위한 것으로서 에이징 공정을 종래와 같이 제 2 전극 성막 및 캡슐화(encapsulation) 공정이 끝난 후에 하지 않고 도 2의 참조번호 S260에서 나타내 것과 같이 제 2 전극 증착 중에 동시에 실시하고 있다.Therefore, the aging treatment of the present invention is to overcome such disadvantages, and does not perform the aging process after the second electrode deposition and encapsulation process is finished as in the prior art, as shown in reference numeral S260 of FIG. 2. It is carried out simultaneously.

이때, 에이징 전압 또는 전류 인가방법은 도 3과 같이 특정 공정시간 동안 일정한 전압을 인가하는 컨스턴트 에이징 방법과, 낮은 전압부터 점차 전압을 증가시켜가는 스텝 에이징 방법을 사용할 수 있다.In this case, the aging voltage or current application method may use a constant aging method for applying a constant voltage for a specific process time and a step aging method for gradually increasing the voltage from a low voltage as shown in FIG. 3.

여기서 낮은 전압이란 0~5V이며, 높은 전압이란 목표 전압 또는 대상 유기 EL 패널이 고전압에 의해 열화되거나 파괴되지 않는 전압(내전압)을 의미한다. 상기 내전압은 유기층의 구성물질, 두께, 증착 중의 불순물 혼입등에 의해 달라지나 통상 10~80V의 범위를 가진다.Here, the low voltage is 0 to 5V, and the high voltage means a voltage (withstand voltage) at which the target voltage or the target organic EL panel is not degraded or destroyed by the high voltage. The withstand voltage varies depending on the constituent material, thickness, incorporation of impurities during deposition, etc., but usually has a range of 10 to 80V.

특히, 스텝 에이징의 경우는 제 2 전극 성막 초기 즉, 제 2 전극이 얇을 때는 낮은 전압이나 전류를 가해주다가 제 2 전극이 점점 두꺼워짐에 따라 점차 전압이나 전류의 절대값을 증가시켜 제 2 전극 성막 종료시 최대 전압을 인가시키는 방법으로 컨스턴트 에이징에 비해 소자의 손상을 줄 가능성이 낮다.In particular, in the case of step aging, when the second electrode is formed, that is, when the second electrode is thin, a low voltage or current is applied, and as the second electrode becomes thicker, the absolute value of the voltage or current is gradually increased to form the second electrode. By applying the maximum voltage at termination, it is less likely to damage the device compared to constant aging.

이는 일정한 간격으로 스텝을 두고 순차적으로 역방향 전압이나 전류를 올리면서 에이징을 실시함으로써, 각각의 불량부위가 적정한 전압에서 회복이 일어날 수 있으므로 특정한 높은 전압이나 전류에서만 에이징을 실시하는 경우보다 패널의 열화를 현저히 억제할 수 있다.Aging is performed by increasing the reverse voltage or current in steps at regular intervals, so that each defective part can recover from an appropriate voltage. Therefore, panel deterioration is more difficult than when aging is performed only at a specific high voltage or current. It can be significantly suppressed.

아울러, 산소 등의 산화성 가스를 에이징 처리시에 소량 첨가하거나 온도를 제어해 주면 그 효과가 더 뚜렷이 나타나므로, 진공 챔버에서 증착 중 증착속도나 막질에 영향을 많이 주지 않는 범위 내에서 가스의 농도를 제어하고, 유기물이 영향을 받지 않는 범위 내에서 온도를 제어하여 그 효과를 증대시킬 수도 있다.In addition, since the effect is more pronounced when a small amount of oxidizing gas such as oxygen is added during the aging treatment or the temperature is controlled, the concentration of the gas within the range that does not significantly affect the deposition rate or film quality during deposition in the vacuum chamber is increased. The temperature may be controlled within the range in which the organic matter is not affected, and the effect may be increased.

이와 같은 방법을 실현하기 위해서는 제 2 전극 성막용 진공 챔버에 각 셀(panel)의 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 전압 또는 전류를 가해주는 장치를 설치해야 하지만 이는 현재의 기술로는 아주 간단한 일이다.In order to realize such a method, a device for applying a voltage or a current between the first electrode and the second electrode of each panel must be installed in the vacuum chamber for forming the second electrode, which is very simple with current technology. to be.

따라서, 에이징은 제 1 전극과 제 2 전극간의 에이징, 제 1 전극간 및 제 2 전극간 상호에이징 그리고 AC/DC/펄스 에이징 등이 모두 적용 가능하다.Therefore, aging is applicable to aging between the first electrode and the second electrode, mutual aging between the first electrode and the second electrode, and AC / DC / pulse aging.

상기와 같이 에이징을 처리까지 완료되면, 보호처리 과정인 캡슐화(encapsulation)를 완료하고(S270) 조립하여 완제품을 제작하게 된다(S280).When the aging process is completed as described above, the encapsulation process is completed (S270) and assembled to manufacture the finished product (S280).

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the embodiments, but should be defined by the claims.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 유기 EL 소자의 에이징 방법은 다음과 같은 효과가 있다.The aging method of the organic EL device according to the present invention as described above has the following effects.

첫째, 캐소드를 증착하는 초기단계에서 에이징 처리를 수행하여 유기 EL 패널의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.First, the aging treatment can be performed in the initial stage of depositing the cathode to improve the reliability of the organic EL panel.

둘째, 에이징 처리를 특정 공정단계에서 시행함으로써, 유기 EL 소자 제조시 이물질의 혼입으로 인한 유기 EL 소자의 단락(short) 및 리크(leak)의 발생을 효과적으로 억제할 수 있다.Second, by performing the aging treatment in a specific process step, it is possible to effectively suppress the occurrence of shorts and leaks of the organic EL device due to the mixing of foreign matter in the manufacturing of the organic EL device.

셋째, 증착 챔버에서 에이징 후 온도를 가열하거나 적당량의 산화성 가스등에 노출시키거나, 온도/분위기 가스 노출하에 전압을 인가하여 2차 에이징을 함으로써, 더욱 현저한 에이징 효과를 얻을 수 있게 된다.Third, after the aging in the deposition chamber, by heating the temperature, or exposed to an appropriate amount of oxidizing gas or the like, or by applying a voltage under the temperature / atmosphere gas exposure, a more significant aging effect can be obtained.

도 1 은 종래 기술에 따른 유기 EL 소자의 에이징 방법을 나타낸 흐름도1 is a flowchart showing an aging method of an organic EL device according to the prior art.

도 2 는 본 발명에 따른 유기 EL 소자의 에이징 방법을 나타낸 흐름도2 is a flowchart showing a method of aging an organic EL device according to the present invention.

도 3 은 본 발명에 따른 유기 EL 소자의 에이징 방법에서 인가되는 에이징 전압 또는 전류의 인가방법을 나타낸 도면3 is a view showing a method of applying an aging voltage or current applied in an aging method of an organic EL element according to the present invention.

Claims (5)

제 1 전극과 제 2 전극에 적어도 하나 이상에 전압을 가하여 발광층을 지니는 유기층을 발광시키는 소자의 에이징 방법에 있어서,In the aging method of the device for emitting the organic layer having a light emitting layer by applying a voltage to at least one of the first electrode and the second electrode, 상기 제 2 전극을 진공 챔버내에서 성막하는 초기단계에서 두 전극사이에 역전압 또는 역전류를 인가하여, 에이징 처리를 수행하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자의 에이징 방법.The aging method of the organic EL element characterized in that an aging treatment is performed by applying a reverse voltage or a reverse current between two electrodes in an initial step of forming the second electrode in a vacuum chamber. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 인가되는 전압 또는 전류는 상기 제 2 전극의 성막 동안 항상 일정한 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자의 에이징 방법.The applied voltage or current always applies a constant voltage during the deposition of the second electrode. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 초기단계에서는 낮은 전압이나 전류를 인가하다가 증착이 진행되면서 전압이나 전류를 점차 증가시켜가다가 제 2 전극 증착 완료 시점에서 최대 전압이나 전류를 인가하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자의 에이징 방법.In the initial stage, the method of aging an organic EL device, characterized in that while applying a low voltage or current, gradually increasing the voltage or current as the deposition proceeds, and then applying the maximum voltage or current at the completion of the second electrode deposition. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 에이징 처리 중 진공 챔버 내에 산화성 가스의 농도, 및 유기물이 영향을 받지 않는 범위 내에서 챔버 내 온도의 변화 중 적어도 어느 하나를 제어하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자의 에이징 방법.At least one of the concentration of the oxidizing gas in the vacuum chamber and the change of the temperature in the chamber within the range in which the organic matter is not affected during the aging treatment, characterized in that the aging method of the organic EL device. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 인가되는 전압이나 전류는 유기 EL 패널이 손상(damage)을 받지 않는 범위(0~80V) 내인 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자의 에이징 방법.The applied voltage or current is within a range (0 to 80 V) in which the organic EL panel is not damaged.
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