KR20050089727A

KR20050089727A - 광 간섭 디스플레이 패널과 이에 대한 제조 방법

Info

Publication number: KR20050089727A
Application number: KR1020040063242A
Authority: KR
Inventors: 린웬-지안
Original assignee: 프라임 뷰 인터내셔널 코오포레이션 리미티드
Priority date: 2004-03-05
Filing date: 2004-08-11
Publication date: 2005-09-08
Also published as: TW200530669A; US20050195462A1; JP2005250437A

Abstract

본 발명은 광 간섭 디스플레이 패널에 관한 것이다. 상기 광 간섭 디스플레이 패널에는 기판, 보호 구조물, 복수의 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀, 및 복수의 지지부가 있다. 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀은 상기 기판 위에 위치한다. 상기 보호 구조물은 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀을 둘러 싸, 상기 보호 구조물과 상기 기판 사이에 간격이 생긴다. 상기 지지부는 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀과 보호 구조물 사이에 위치하고, 상기 지지부의 끝은, 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀이 상기 보호 구조물의 변형에 의해 손상되는 것을 막기 위하여, 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀보다 높다.

Description

광 간섭 디스플레이 패널과 이에 대한 제조 방법 { An interference display panel and manufacturing method thereof }

본 발명은 디스플레이 패널에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 광 간섭 디스플레이 패널에 관한 것이다.

가볍고 크기가 작기 때문에, 디스플레이 패널(Display Panel)이 이동 표시 장치와 공간의 제약을 받는 다른 표시 장치 시장에 적합하다. 지금까지, 액정 디스플레이(LCD : Liquid Crystal Display), 유기 EL 디스플레이(OLED : Organic Light Emitting Diode), 및 플라즈마 디스플레이 패널(PDP : Plasma Display Panel) 모듈에 더해, 광 간섭 디스플레이 모듈에 대해 연구되고 있다.

미국 특허 제 5,835,255호는 변조기 어레이(Modulator Array), 즉 디스플레이 패널에 사용될 수 있는 가시광에 대해서 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀에 대해서 개시(開示)하고 있다. 도 1a에는 종래 기술에 의한 변조기의 단면을 도시하고 있다. 모든 변조기(100)는 두개의 벽(Wall)(102, 104)이 포함되고, 두 벽은 기둥(106)에 의해 지지되어 공동(Cavity)(108)을 형성한다. 두 벽 사이의 거리, 즉 공동(108)의 깊이는 'D'이다. 벽 102는, 광 입사 전극으로, 흡수율에 따르면 가시광을 부분적으로 흡수한다. 벽 104는, 광 반사 전극으로, 전압이 인가되면 구부러진다.

입사광이 벽 102를 통과하여 공동(108)에 도달하면, 다음 식 (1.1)에 상당하는 파장의 가시광선만 반사되어 되돌아간다.

2D = Nλ (1.1)

여기서 N은 자연수이다.

상기 공동(108)의 깊이의 2배(2D)가 입사광의 어떤 파장(λ1)의 자연수(N) 배와 같다면, 보강 간섭이 일어나 λ1 파장의 빛이 반사되어 되돌아 간다. 따라서, 입사광의 방향으로부터 상기 패널을 보고 있는 관찰자는 반사되어 되돌아오는 특정 파장(λ1)의 빛을 보게 된다. 이 때 상기 변조기(100)는 '열린' 상태가 된다.

도 1b는 전압이 가해진 후 도 1a의 변조기(100)의 단면을 도시한 것이다. 전압이 가해진 상태에서, 상기 벽 104는 정전기 인력에 의해 상기 벽 102 방향으로 구부러진다. 이 때, 상기 벽 102와 벽 104 사이의 거리, 즉 공동(108)의 두께는 'd'로 변하고 '0'이 될 수도 있다.

식 (1.1)의 'D'가 'd'로 바뀌고, 상기 공동(108)에서 식 (1.1)을 만족하는 다른 파장 λ2의 가시광만이 보강 간섭이 일어나 상기 벽 102를 통해 반사되어 되돌아간다. 하지만, 상기 변조기(100)에서, 상기 벽 102는 상기 파장 λ2의 빛에 대해서 높은 흡수율을 갖도록 설계된다. 따라서, λ2 파장의 입사 가시광은 흡수되고, 다른 파장의 빛에 대해서는 상쇄 간섭이 발생한다. 모든 빛이 걸러지고, 상기 관찰자는 상기 벽 104가 구부러질 때는 어떠한 반사광도 볼 수 없다. 이 때 상기 변조기(100)는 '닫힌' 상태가 된다.

앞서 설명한 바와 같이, 전압이 가해진 상태에서, 상기 벽 104는 정전기 인력에 의해 상기 벽 102 쪽으로 구부러지고, 따라서 상기 변조기(100)는 '열린' 상태에서 '닫힌' 상태로 전환된다. 상기 변조기(100)가 '닫힌' 상태에서 '열린' 상태로 전환하기 위해서는, 상기 벽 104를 구부리게 하는 전압이 제거되어 상기 벽 104가 탄성적으로 원래 상태, 즉 도 1a에 도시한 '열린' 상태로 되돌아 간다.

하지만, 광 반사 전극(상기 벽 104)은 일반적으로 금속으로 만들어진 막(Membrane)으로, 보통 미소 전자 기계 시스템(MEMS : Micro electro Mechanical Systems)의 제조에서 널리 사용되는 희생 층(Sacrificial Layer) 기법으로 만들어진다. 상기 광 반사 전극은 매우 얇고 작은 외부 힘에도 쉽게 손상되기 때문에, 제대로 작동하지 않는다. 더욱이, 두 벽(102, 104) 사이의 공동(108)은 비어있다. 실제로, 상기 공동(108)이 얇기 때문에, 외부 환경이 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀(100)의 디스플레이 성능에 영향을 주어 성능을 떨어뜨린다.

따라서, 종래 기술에서는 보호 구조물을 갖는 광 간섭 디스플레이 패널이 선보인다. 도 2a에서는 보호 구조물을 갖는 종래의 광 간섭 디스플레이 패널의 단면을 도시하고 있다. 상기 광 간섭 디스플레이 패널에는 기판(110), 복수의 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀(100), 및 보호 구조물(204)이 있다. 상기 보호 구조물(204)은, 스페이서(Spacer)를 포함한 접착부(202)와 함께 상기 기판(110)에 부착되어, 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀을 밀봉한다. 상기 보호 구조물(204)과 기판(100)의 결합은, 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀(100)이 접촉에 의해 손상될 여지를 줄이고, 또한 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀(100)을 공기 중의 물, 먼지, 및 산소로부터 차단하게 된다.

하지만, 최신의 광 간섭 디스플레이 패널이 커지고 더 얇아지고, 또는 상기 보호 구조물(204)이 구부러질 수 있게 되면서, 상기 보호 구조물(204)을 지지하기 위하여 스페이서를 포함한 접착부(202)만을 사용하는 이러한 종래의 기술에 몇 가지 문제가 생기게 되었다. 예를 들어, 상기 디스플레이 패널이 너무 크거나 너무 얇으면, 도 2b에 도시한 바와 같이, 상기 보호 구조물(204)이 쉽게 변형되고 상기 광 반사 전극(벽 104)과 닿게 되어, 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀(100)에 손상을 주게 된다. 또 다른 예로는, 상기 디스플레이 패널의 일부가 손가락 또는 다른 딱딱한 물체의 충격에 눌리면, 도 2c에 도시한 바와 같이, 상기 보호 구조물(204)은 쉽게 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀(100)에 충격을 주게 된다.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 실정을 감안하여 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은, 디스플레이 패널이 커지거나 얇아지면서 보호 구조물의 변형되는 것을 완화시키고, 상기 보호 구조물에 사용될 유연한 재료에 대한 선택 폭을 넓히는 광 간섭 디스플레이 패널을 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 상기 보호 구조물이 색깔을 바꿀 수 있는 패널을 손상시키는 것을 방지하여 휴대성과 편의성이 강화된 광 간섭 디스플레이 패널 제조하는 방법을 제공하는데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 광 간섭 디스플레이 패널이 제공된다.

상기 광 간섭 디스플레이 패널에는 기판, 보호 구조물, 복수의 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀, 및 복수의 첫 번째 지지부가 있다. 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀은 상기 기판 위에 위치한다. 상기 보호 구조물은 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀을 둘러 싸, 상기 보호 구조물과 상기 기판 사이에 간격이 생긴다. 상기 첫 번째 지지부는 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀과 보호 구조물 사이에 위치하고, 상기 첫 번째 지지부의 첫 번째 끝은, 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀이 상기 보호 구조물의 변형에 의해 손상되는 것을 막기 위하여, 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀보다 높다.

상기 광 간섭 디스플레이 패널을 제조하는 방법은, 먼저 기판을 제공하고, 이후 상기 기판 위에 복수의 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀을 형성하는 것으로 이루어진다. 복수의 첫 번째 지지부가 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀 위에 형성된다. 보호 구조물이 상기 기판과 결합하여 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀이 상기 보호 구조물과 기판 사이에 위치하도록 한다.

본 발명의 바람직한 실시예에서, 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀 각각은 상기 기판 위에 있는 첫 번째 전극, 상기 첫 번째 전극과 실질적으로 평행하게 놓인 두 번째 전극, 그리고 상기 두 번째 전극을 지지하기 위하여 상기 첫 번째 전극 위에 놓인 두 번째 지지부로 구성된다. 상기 두 번째 지지부의 일부는 상기 두 번째 전극에 의해 덮어지지 않는다.

상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀을 형성하는 단계는, 상기 기판 위에 첫 번째 전극을 형성하고, 상기 첫 번째 전극 위에 희생 층을 형성하는 것으로 이루어진다. 복수의 첫 번째 개구부가 상기 첫 번째 전극과 희생 층에 형성되고, 두 번째 지지부가 상기 첫 번째 개구부 각각의 내부에 형성된다. 두 번째 전극은 상기 희생 층과 두 번째 지지부 위에 형성되어, 상기 두 번째 지지부의 일부는 상기 두 번째 전극에 의해 덮어지지 않는다. 그리고, 상기 희생 층이 릴리스 식각 공정(Release Etching Process)에 의해 제거된다.

상기 실시예에서, 상기 첫 번째 지지부는 첫 번째 전극 위에 위치하거나 또는 상기 두 번째 지지부의 일부 위에 위치한다. 다시 말해, 상기 희생 층을 제거하기 전에, 복수의 두 번째 개구부가 상기 첫 번째 전극과 희생 층에 형성되고, 상기 첫 번째 지지부가 상기 두 번째 개구부 내에 형성되거나 상기 두 번째 지지부의 일부 위에 형성된다.

상기 첫 번째 지지부의 재료는 포토레지스트(Photoresist), 유전성(Dielectric) 물질 또는 전도성(Conductive) 물질이다. 상기 실시예에서, 공정을 고려하여, 상기 첫 번째와 두 번째 지지부의 재료는, 상기 두 번째 전극과 두 번째 지지부를 형성하는 공정을 수월하게 할 수 있도록, 서로 다른 식각 선택성을 가져야 한다.

또한, 상기 첫 번째 지지부의 첫 번째 끝은 상기 보호 구조물에 연결되지 않고, 상기 첫 번째 지지부의 두 번째 끝은 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀에 연결된다. 상술한 결합하는 단계는 상기 보호 구조물을 접착부와 함께 상기 기판에 부착하는 것으로 이루어지고, 상기 접착부는, 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀이 상기 보호 구조물과 접촉하여 손상되는 것을 방지하도록, 상기 보호 구조물과 상기 기판이 소정의 거리를 유지하기 위한 스페이서가 포함된다. 상기 접착부는 UV 풀 또는 열경화성 접착제로 이루어진다.

본 발명에 따른 다른 실시예에서는, 상기 첫 번째 지지부의 첫 번째 끝은 상기 보호 구조물에 연결되고, 상기 첫 번째 지지부의 두 번째 끝은 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀에 연결된다. 상기 접착부에 스페이서가 포함되는 것 뿐 아니라, 스페이서가 없는 접착부도, 상기 첫 번째 지지부만을 사용하여 상기 보호 구조물이 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀을 손상시키는 것을 방지하도록, 상기 기판에 상기 보호 구조물을 부착하는데 사용될 수 있다.

앞선 일반적인 설명과 이어지는 상세한 설명은, 모두 예시이고, 청구 범위에서 청구되는 본 발명에 대해 더 많은 설명을 제공하기 위한 것이다.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다. 같은 또는 유사한 요소에 대해서는, 가능한 한도에서 도면과 상세 설명에서 같은 참조 번호가 사용된다.

도 3은 본 발명에 따른 바람직한 한 실시예를 위에서 바라본 도면을 도시한 것으로, 광 간섭 디스플레이 패널(300)을 보호 구조물(도면에는 보이지 않음) 쪽에서 바라보고 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀(100)에는, 광 입사 전극(102)과, 상기 광 입사 전극(102)과 평행한 광 반사 전극(104)이 있다. 지지하기 위한 기둥(106)이 상기 두 전극(102, 104) 사이에 위치한다. 또한, 두 번째 지지부(306)가, 이웃 하는 두 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀(100) 사이에 위치하고, 상기 기둥(106)과 마찬가지로 상기 광 반사 전극(104)을 지지하도록 상기 광 입사 전극(102) 위에 위치한다. 두 번째 지지부(306) 각각의 일부는 상기 광 반사 전극(104)에 의해 덮어지지 않는다.

도 4a와 도 4b는 도 3의 실시예를 제조하는 방법을 표현한 것이다. 명확하게 이해할 수 있도록, 이어지는 도면과 설명에서는 오직 하나의 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀만으로 표현한다. 도 4a에 도시한 바와 같이, 광 입사 전극(102)과 희생 층(411)이 기판(110) 위에 순서대로 형성된다. 첫 번째 개구부(412)는 상기 광 입사 전극(102)과 희생 층(411)에 형성되고, 모든 개구부(412)는 내부에 하나의 기둥(106)을 형성하기에 적합하다. 다음, 기둥(106)은 상기 첫 번째 개구부(412) 내부에 형성되고, 광 반사 전극(104)이 상기 희생 층(411)과 기둥(106) 위에 형성된다.

도 4b에서, 상기 희생 층(411)이 원격 플라즈마 식각 공정(Remote Plasma Etching Process)과 같은 릴리스 식각 공정(Release Etching Process)에 의해 제거되어, 공동(108)을 형성한다. 상기 공동(108)의 깊이(D)는 상기 희생 층(411)의 두께이다. 이후, 보호 구조물(204)이 접착부(202)와 함께 상기 기판(110)에 부착된다. 상기 보호 구조물(204)과 기판(110)이 좀더 가깝게 밀착되도록 압착 처리가 사용된다. 상기 접착부(202)는 UV 풀 또는 열경화성 접착제이다. 상기 보호 구조물(204)과 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀(100) 사이에 간격이 유지된다.

상기 실시예에서, 상기 첫 번째 지지부 302a는 상기 광 입사 전극(102) 위에 위치하고, 선택적으로, 상기 첫 번째 지지부 302b는 상기 광 반사 전극(104)에 의해 노출되는 두 번째 지지부(306)의 일부 위에 위치한다. 도 5a에서는 도 3의 AA' 선을 따라 절단한 바람직한 실시예에 대한 단면을 도시하고, 도 5B에서는 도 3의 BB' 선을 따라 절단한 바람직한 실시예에 대한 단면을 도시하고 있다. 아래에서는, 도 5a와 같이 상기 첫 번째 지지부가 상기 광 입사 전극(102) 위에 위치한 경우와 도 5b와 같이 상기 첫 번째 지지부가 상기 두 번째 지지부(306) 위에 위치한 경우에 대해 설명한다.

도 5a에 도시한 바와 같이, 상기 첫 번째 지지부 302a는 상기 광 입사 전극(102) 위에 위치하고 이웃 하는 두 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀(100) 사이에 위치한다. 이 실시예에서, 복수의 두 번째 개구부(도면에 도시되지 않음)는 상기 광 입사 전극(102)과 상기 희생 층(411)에 형성되고, 상기 첫 번째 지지부 302a는 상기 희생 층(411)이 제거되기 전에 상기 두 번째 개구부 내부에 형성된다.

도 5b에 도시한 바와 같이, 상기 첫 번째 지지부 302b는, 상기 광 반사 전극(104)에 의해 덮어지지 않는 두 번째 지지부(306)의 일부 위에 위치하고 상기 두 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀(100) 사이에 위치한다. 이 실시예에서, 상기 첫 번째 지지부 302b는 상기 희생 층(411)이 제거되기 전에 상기 두 번째 지지부(306)의 덮어지지 않는 부분 위에 형성된다.

상기 첫 번째 지지부(302a, 302b)의 재료는 포토레지스트, 유전성 물질 또는 전도성 물질이다. 상기 실시예에서, 공정을 고려하여, 상기 첫 번째 지지부(302a, 302b)의 재료는, 상기 광 반사 전극(104)과 두 번째 지지부(306)를 형성하는 공정을 수월하게 할 수 있도록, 상기 두 번째 지지부(306)와 광 반사 전극(104)과는 서로 다른 식각 선택성을 가져야 한다.

또한, 상기 실시예에서, 상기 첫 번째 지지부(302a, 302b)의 첫 번째 끝은 상기 보호 구조물(204)에 연결되지 않고, 상기 첫 번째 지지부(302a, 302b)의 두 번째 끝은 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀(100)의 광 입사 전극(102)에 연결된다. 상술한 결합하는 단계는 상기 보호 구조물(204)을 접착부(202a)와 함께 상기 기판(110)에 부착하는 것으로 이루어지고, 상기 접착부(202a)는, 상기 보호 구조물(204)이 눌려 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀(100)을 손상하는 것을 방지하도록, 상기 보호 구조물(204)과 상기 기판(110)이 소정의 거리를 유지하기 위한 스페이서가 포함된다.

상기 첫 번째 지지부(302a, 302b)가 상기 보호 구조물(204)에 연결되지 않는 상술한 실시예 뿐만 아니라, 본 발명에 따른 다른 실시예에서는, 상기 첫 번째 지지부(302a, 302b)는 상기 보호 구조물(204)에 연결될 수 있다. 도 6a에서는 도 3의 AA' 선을 따라 절단한 다른 실시예에 대한 단면을 도시하고, 도 6b에서는 도 3의 BB' 선을 따라 절단한 다른 실시예에 대한 단면을 도시하고 있다. 상기 첫 번째 지지부가 상기 광 입사 전극(102) 위에 위치하는 경우와 상기 첫 번째 지지부가 상기 두 번째 지지부(306) 위에 위치하는 경우에 대해 설명한다. 두 경우 모두 도 6a와 도 6b에 도시한 바와 같이 상기 보호 구조물(204)에 연결된다.

도 6a와 도 6b에 도시한 바와 같이, 상기 첫 번째 지지부(602a, 602b)의 첫 번째 끝은 상기 보호 구조물(204)에 연결되고, 상기 첫 번째 지지부 602a와 602b의 두 번째 끝은 상기 광 입사 전극(102)과 상기 두 번째 지지부(306)에 각각 연결된다. 상술한 실시예에서와 마찬가지로 상기 접착부(202a)에 스페이서가 포함되는 것 뿐 아니라, 스페이서가 없는 접착부도, 상기 첫 번째 지지부(602a, 602b)만을 사용하여 상기 보호 구조물(204)이 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀(100)을 손상시키는 것을 방지하도록, 상기 기판(110)에 상기 보호 구조물(204)을 부착하는데 사용될 수 있다.

위에서 서술한 네 가지의 서로 다른 첫 번째 지지부 302a, 302b, 602a, 및 602b는, 사용상의 요구 사항에 따라 최적의 효과를 제공하기 위해, 동일한 광 간섭 디스플레이 패널에 동시에 사용될 수 있다.

본 발명의 사상과 범위를 벗어나지 않고 본 발명의 구조에 다양한 수정이나 변형이 이루어질 수 있음은 당업자에게 있어서 명백하다. 이러한 점에서 볼 때, 본 발명에 대한 수정이나 변형이 청구항과 그 균등물의 범위에 속한다면 본 발명은 그 것들을 포함하는 것으로 본다.

본 발명은 보호 구조물이 광 간섭 디스플레이 패널의 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀을 손상시키는 것을 방지한다. 상기 디스플레이 패널의 일부가 손가락 또는 다른 딱딱한 물체의 충격으로 눌렸을 때, 본 발명은 상기 눌림으로 인한 상기 보호 구조물의 변형이 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀을 손상시키지 않도록 한다. 더욱이, 상기 디스플레이 패널이 커지고 얇아질 때, 본 발명은 상기 보호 구조물의 변형을 완화시킬 수 있다. 따라서, 본 발명은 상기 디스플레이 패널이 더 커지고 더 얇아질 수 있는 가능성을 높인다. 또한, 본 발명은 상기 보호 구조물에 사용될 유연한 재료에 대한 선택의 폭을 넓히고, 상기 광 간섭 디스플레이 패널의 휴대성과 편의성을 강화시킨다.

도 1a는 종래의 변조기의 단면을 도시한 것이고,

도 1b는 전압이 인가된 후 도 1a의 변조기의 단면을 도시한 것이고,

도 2a는 보호 구조물을 갖는 종래의 광 간섭 디스플레이 패널의 단면을 도시한 것이고,

도 2b는 보호 구조물이 눌러진 종래의 광 간섭 디스플레이 패널의 단면을 도시한 것이고,

도 2c는 보호 구조물이 변형된 종래의 광 간섭 디스플레이 패널의 단면을 도시한 것이고,

도 3은 본 발명에 따른 바람직한 한 실시예를 위에서 바라본 도면을 도시한 것이고,

도 4a와 도 4b는 도 3의 실시예를 제조하는 방법을 표현한 것이고,

도 5a는 도 3의 AA' 선을 따라 절단한 바람직한 실시예에 대한 단면을 도시한 것이고,

도 5b는 도 3의 BB' 선을 따라 절단한 바람직한 실시예에 대한 단면을 도시한 것이고,

도 6a는 도 3의 AA' 선을 따라 절단한 다른 실시예에 대한 단면을 도시한 것이고,

도 6b는 도 3의 BB' 선을 따라 절단한 다른 실시예에 대한 단면을 도시한 것이다.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

100 : 변조기 102 : 광 입사 전극

104 : 광 반사 전극 106 : 기둥

108 : 공동 110 : 기판

202, 202a, 202b : 접착부 204 : 보호 구조물

300 : 광 간섭 디스플레이 패널

302a, 302b, 602a, 602b : 첫 번째 지지부

306 : 두 번째 지지부 411 : 희생 층

412 : 첫 번째 개구부

Claims

광 간섭 패널에 있어서, 상기 광 간섭 패널은,

기판;

상기 기판 위의 복수의 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀;

상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀과 보호 구조물 사이에 간격이 유지되고, 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀을 덮는 상기 보호 구조물; 및

상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀과 보호 구조물 사이에 위치한 복수의 첫 번째 지지부를 포함하여 구성되고, 여기서

상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀 각각은,

상기 기판 위의 첫 번째 전극;

상기 첫 번째 전극과 실질적으로 평행하게 놓인 두 번째 전극; 및

상기 두 번째 전극을 지지하기 위해 상기 첫 번째 전극 위에 위치하는 두 번째 지지부로, 상기 두 번째 지지부의 일부가 상기 두 번째 전극에 의해 덮이지 않는 상기 두 번째 지지부를 포함하여 구성되고,

상기 첫 번째 지지부의 첫 번째 끝의 높이가 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀의 높이보다 높고, 상기 첫 번째 지지부가 상기 보호 구조물의 변형에 의해 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀이 손상되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 광 간섭 디스플레이 패널.
제 1항에 있어서,

상기 첫 번째 지지부는, 상기 첫 번째 전극 위에 위치하거나 또는 상기 두 번째 지지부의 일부의 위에 위치하는 것을 특징으로 하는 광 간섭 디스플레이 패널.
제 1항에 있어서,

상기 첫 번째 지지부의 첫 번째 끝은 상기 보호 구조물에 연결되고 상기 첫 번째 지지부의 두 번째 끝은 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀에 연결되거나, 또는 상기 첫 번째 지지부의 첫 번째 끝은 상기 보호 구조물에 연결되지 않고 상기 첫 번째 지지부의 두 번째 끝은 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀에 연결되는 것을 특징으로 하는 광 간섭 디스플레이 패널.
광 간섭 디스플레이 패널을 제조하는 방법에 있어서, 상기 광 간섭 디스플레이 패널을 제조하는 방법은,

기판을 제공하는 단계;

상기 기판 위에 복수의 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀을 형성하는 단계;

상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀 위에 복수의 첫 번째 지지부를 형성하는 단계; 및

상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀이 보호 구조물과 상기 기판 사이에 위치하도록 상기 보호 구조물과 기판을 결합하는 단계로 이루어지고, 여기서

상기 기판 위에 복수의 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀을 형성하는 단계는,

상기 기판 위에 첫 번째 전극을 형성하고,

상기 첫 번째 전극 위에 희생 층을 형성하고,

상기 첫 번째 전극과 희생 층에 복수의 첫 번째 개구부를 형성하고,

상기 첫 번째 개구부 각각의 내부에 두 번째 지지부를 형성하고,

상기 희생 층과 두 번째 지지부 위에 두 번째 전극을 형성하되, 상기 두 번째 지지부의 일부가 상기 두 번째 전극에 의해 덮어지지 않도록 하고, 그리고

릴리스 식각 공정에 의해 상기 희생 층을 제거하는 것으로 이루어지고,

상기 첫 번째 지지부의 첫 번째 끝의 높이가 상기 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀의 높이보다 높은 것을 특징으로 하는 광 간섭 디스플레이 패널을 제조하는 방법.
제 4항에 있어서, 상기 기판 위에 복수의 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀을 형성하는 단계는,

상기 첫 번째 전극과 희생 층에 복수의 두 번째 개구부를 형성하고, 그리고

상기 희생 층을 제거하기 전에 상기 두 번째 개구부 내에 상기 첫 번째 지지부를 형성하는 것을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광 간섭 디스플레이 패널을 제조하는 방법.
제 4항에 있어서, 상기 기판 위에 복수의 색깔을 바꿀 수 있는 픽셀을 형성하는 단계는,

상기 희생 층을 제거하기 전에 상기 두 번째 지지부의 일부 위에 상기 첫 번째 지지부를 형성하는 것을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광 간섭 디스플레이 패널을 제조하는 방법.