KR20050082331A - 웨이퍼용 퍼드의 도어 개폐 장치 - Google Patents

Abstract

웨이퍼용 퍼드의 도어 개폐 장치가 제공된다. 웨이퍼용 퍼드의 도어 개폐 장치는 일면이 개방되어 있는 용기와, 상기 용기의 개방된 면을 밀폐하는 도어와, 상기 도어에 형성되며, 판스프링과, 상기 판스프링을 변형시켜 로킹 및 로킹을 해제하도록 구성된 바를 포함하는 로킹부를 포함한다. 여기서, 상기 로킹부는 상 하부에 각각 두 개씩 형성되어 있으며, 상부의 로킹부와 하부의 로킹부는 서로 대칭되도록 배치된다.

Description

웨이퍼용 퍼드의 도어 개폐 장치{Apparatus for opening and closing the door of wafer pod}

본 발명은 웨이퍼용 퍼드의 도어 개폐 장치에 관한 것이다.

근래 반도체 장비들이 규격화되어 있으며, 웨이퍼의 크기 증가에 따라, 12인치 이상의 웨이퍼를 보관하고 운반하기 위한 장치로, 전면 개방형 통합 퍼드인 풉(FOUP: Front Open Unified Pod)이 개발되어 사용되고 있다.

상기 풉은 종래의 웨이퍼 카세트를 대체하는 것으로, 웨이퍼의 오염을 방지하기 위해 보관 및 운반중에 도어에 의해 밀폐되어 있으며, 설비측에 웨이퍼를 전달하기 위해서는 상기 밀폐된 도어를 설비측 개폐 장치를 통해서 오픈하는 방식으로 이루어진다.

도 4는 종래 기술에 따른 풉을 나타내는 사시도이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 종래 기술에 따른 풉은 내부에 웨이퍼(wafer)를 삽입하여 보관할 수 있는 슬릿(11)을 구비하고, 일면이 개방되어 있는 용기(10)와 상기 용기(10)의 개방된 일면을 덮어 상기 용기(10)를 밀폐하는 도어(20)로 구성된다.

상기 용기(10)의 개방된 일면의 주변부에 프레임부(12)가 형성되어 있다.

상기 도어(20)에는 쌍을 이루는 로킹부(22)가 구비되어, 상기 로킹부(22)에 키(key)를 삽입하여 돌리면, 바(21)가 움직여, 상기 용기(10)의 프레임부(12)에 구비된 삽입홈(13)에 삽입되어져 상기 도어(20)가 상기 용기(10)의 개방된 일면을 밀폐시킨다.

또한, 종래 기술에 따른 로킹부의 구성은 그 로킹 상태가 헐거워 상기 도어를 상기 용기에 완전히 고정시키기 위해서는 용기 내부의 공기를 진공 흡입하는 방식으로 도어를 고정시켜야 했다. 상기 도어(20)는 이에 따른 진공 흡입구(23)를 더 포함하여 이루어진다.

즉, 상기 도어(20)를 상기 용기(10)에 고정시키기 위해서는, 상기 로킹부(22)의 고정 외에도 상기 진공 흡입구(23)에 진공 호스를 연결하여 진공 펌프를 가동하여야 하므로, 개폐 시간이 오래 걸리고, 고장이 빈번하게 발생하는 문제점이 있었다.

또한, 웨이퍼 공정을 수행하는 설비측에서 상기 도어(20)를 오픈하려면 도어를 진공 흡착 방식을 이용하여 개폐하여야 하는 다소 번거로운 문제점이 있었다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 진공 흡착 방식에 의해 도어를 오픈시키던 종래의 방식을 변경하고, 개폐 동작을 단순화할 수 있는 웨이퍼용 퍼드의 도어 개폐 장치를 제공하는데 있다.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼용 퍼드의 도어 개폐 장치는, 일면이 개방되어 있는 용기와, 상기 용기의 개방된 면을 밀폐하는 도어와, 상기 도어에 형성되며, 판스프링과, 상기 판스프링을 변형시켜 로킹 및 로킹을 해제하도록 구성된 바를 포함하는 로킹부를 포함한다. 여기서, 상기 로킹부는 상 하부에 각각 두 개씩 형성되어 있으며, 상부의 로킹부와 하부의 로킹부는 서로 대칭되도록 배치된다.

또한, 상기 로킹부는 오프너 삽입홈을 더 구비하고, 상기 오프너 삽입홈에 삽입되어 상기 바를 아래 또는 위로 움직여 상기 판스프링을 변형시키는 오프너를 더 포함하는 것이 바람직하다.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 풉의 사시도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 풉은 일면이 개방되어 있는 용기(100)와, 상기 용기(100)의 개방된 면을 덮어 상기 용기를 밀폐하는 도어(200)를 포함한다.

상기 용기(100)는 웨이퍼(wafer)를 수납할 수 있도록 내부에 다수의 슬릿(110)이 형성되어 있다.

도어(200)에는 제1 내지 제4 로킹부(210, 220, 230, 240)가 구비되어 상기 용기(100)의 개방된 면을 커버하는 동시에 상기 제1 내지 제4 로킹부(210, 220, 230, 240)의 동작에 따라 도어(200)가 상기 용기(100)의 개방된 면을 밀폐하도록 고정된다.

상기 제1 및 제2 로킹부(210, 220)는 상기 도어(200)의 상부면에 형성되어 있으며, 상기 제3 및 제4 로킹부(230, 240)는 상기 도어(200)의 하부면에 형성되어 있다.

또한, 상기 제1 및 제2 로킹부(210, 220)와 상기 제3 및 제4 로킹부(230, 240)는 서로 대칭되도록 구성된다.

상기 제1 내지 제4 로킹부(210, 220, 230, 240)는 각각 도어(200)의 상하 외부로 돌출되어 있는 제1 내지 제4 바(211, 221, 231, 241)와 상기 바(211, 221, 231, 241)와 각각 연결되는 제1 내지 제4 판스프링(212, 222, 232, 242)을 포함하며, 자세한 설명은 후술하기로 한다.

상기 용기(100)의 개방된 면 주변부에는 상기 도어(200)상에 구비된 제1 내지 제4 바(211, 221, 231, 241)가 삽입되어 로킹될 수 있도록 제1 내지 제4 삽입홈(121, 122, 123, 124)을 구비한 프레임부(120)가 형성되어 있다.

이때, 제1 및 제2 삽입홈(121, 122)은 프레임부(120)의 상부에 위치하고, 제3 및 제4 삽입홈(123, 124)은 프레임부(120)의 하부에 위치하며, 상기 제1 내지 제4 로킹부(210, 220, 230, 240)의 네 개의 바(211, 221, 231, 241)가 각각 삽입될 수 있도록 한다.

그러면, 본 발명의 일실시예에 따른 풉의 로킹부에 대하여 좀더 구체적으로 설명한다.

도 2는 도 1의 로킹부를 상세히 나타낸 사시도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 제1 로킹부(210)를 예로 들어 설명하면, 상기 제1 로킹부(210)는 상기 도어(200)의 외부로 돌출되어 있는 바(211)와 상기 바(211)와 연결된 판스프링(212)을 포함한다.

상기 바(211)는 위 아래로 움직이며 이때, 상기 바(211) 양 옆에는 상기 바(211)의 상하 움직임을 가이드(guide)하는 가이드 돌출부(214)를 구비한다.

상기 판스프링(212)의 양 끝 부분은 돌출부(213)에 의해 고정되어 있으며, 상기 바(211)의 움직임에 따라 상기 판스프링(212)은 변형된다.

예를 들어, 상기 제1 로킹부(210)의 바(211)를 아래로 움직이면 상기 판스프링(212)은 아래 방향으로 둥근 활 모양의 형태가 된다. 이때, 상기 바(211)는 상기 도어(200) 외부에 돌출된 부분이 안쪽으로 들어가게 되어, 상기 도어(200)를 용기(100)의 프레임부(120)에 맞추어 고정시킬 수 있다.

이어, 아래로 움직였던 바(211)는 다시 상기 판스프링(212)의 탄성력에 의하여 도어(200) 외부로 다시 돌출되어, 상기 프레임부(120)의 삽입홈(121)에 삽입 고정됨으로써, 상기 도어(200)는 상기 용기(100)를 밀폐시킬 수 있다.

또한, 고정된 상기 도어(200)를 오픈하기 위해서는 상기 바(211)를 움직여, 상기 판스프링을 변형시키는 동일한 방식으로 상기 도어를 오픈할 수 있다.

상기 제2 내지 제4 로킹부(220, 230, 240)도 같은 방식으로 동작하며, 이들 로킹부의 움직임은 동시에 이루어진다.

한편, 상기 바(211)를 움직이는 수단으로 후술하는 오프너가 이용될 수 있으며, 상기 바(211)는 오프너를 삽입시켜 오프너의 움직임에 따라 상기 바(211)를 움직일 수 있도록 하는 오프너 삽입홈(215)을 포함한다.

다음은, 본 발명의 일실시예에 따른 풉의 로킹부를 움직여 상기 도어를 고정 및 오픈할 수 있는 오프너에 대하여 도 3을 참조하여 설명한다.

도 3은 오프너의 일예를 나타내는 사시도이다.

오프너는 웨이퍼 공정이 진행되는 설비측에 장착된다. 설비측에 장착된 상기 오프너는 모터 또는 유압식 장치의 동력에 의하여 움직인다. 이때, 오프너는 상기 제1 내지 제4 로킹부(210, 220, 230, 240)의 오프너 삽입홈(215)에 삽입된 채로 아래 또는 위로 움직여 상기 도어를 오픈시킬 수 있다.

따라서, 본 발명의 실시예에 따르면, 진공 흡입구를 제거하고, 판스프링에 의한 동작으로 로킹부의 바가 용기의 프레임부의 삽입홈에 완전하게 결합되어 확실하게 고정되도록 함으로써, 개폐 동작을 단순화시킬 수 있다.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러가지 변형이 가능하다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 웨이퍼용 퍼드의 도어 개폐 장치는, 도어가 용기를 완전히 밀폐하도록 고정시킬 수 있으며, 그 개폐 동작을 단순화하여 도어의 개폐 시간을 줄이고, 고장 빈도를 줄일 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 풉의 사시도이다.

도 2는 도 1의 로킹부를 상세히 나타낸 사시도이다.

도 3은 오프너의 일예를 나타내는 사시도이다.

도 4는 종래 기술에 따른 풉을 나타내는 사시도이다.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

100: 용기 110: 슬릿

120: 프레임부 121~124: 삽입홈

200: 도어 210, 220, 230, 240: 로킹부

211, 221, 231, 241: 바 212, 222, 232, 242: 판스프링

213: 돌출부 214: 가이드부

215: 오프너 삽입홈

Claims (2)

1. 일면이 개방되어 있는 용기;

   상기 용기의 개방된 면을 밀폐하는 도어; 및

   상기 도어에 형성되며, 판스프링과, 상기 판스프링을 변형시켜 로킹 및 로킹을 해제하도록 구성된 바를 포함하는 로킹부를 포함하고,

   상기 로킹부는 상 하부에 각각 두 개씩 형성되어 있으며,

   상부의 로킹부와 하부의 로킹부는 서로 대칭되도록 배치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 퍼드의 도어 개폐 장치.
2. 제1항에서,

   상기 로킹부는 오프너 삽입홈을 더 구비하고,

   상기 오프너 삽입홈에 삽입되어 상기 바를 아래 또는 위로 움직여 상기 판스프링을 변형시키는 오프너를 더 포함하는 웨이퍼용 퍼드의 도어 개폐 장치.