KR20050077859A - Carrier plate and method of manufacturing the flexible display device using the same - Google Patents

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Abstract

접착물질의 제거가 용이한 캐리어 기판 및 이를 이용한 유연한 디스플레이 장치의 제조방법이 개시되어있다. 캐리어 기판은 연성 기판과 분리되기 위해 접착물질을 제거하는 공정시, 연성 기판과 캐리어 기판 사이에 존재하는 접착물질에 유기용매의 침투 및 유기용매에 용해된 접착물질을 배출이 용이하도록 접착물질의 노출을 증가시키기 위해 하나 이상의 관통공을 포함한다. 상술한 구조를 갖는 캐리어 기판은 연성기판으로부터 보다 쉽게 제거될 수 있어 공정의 스루풋을 증가시킬 수 있을 뿐만 아니라 현재 액정 표시 장치를 양산하는 설비의 변형 없이 유연한 디스플레이를 형성하는 공정에 적용 가능하다.Disclosed are a carrier substrate for easily removing an adhesive material and a method of manufacturing a flexible display device using the same. The carrier substrate is exposed to the adhesive material to facilitate the penetration of the organic solvent into the adhesive material existing between the flexible substrate and the carrier substrate and the discharge of the adhesive material dissolved in the organic solvent during the process of removing the adhesive material from the flexible substrate. It includes one or more through holes to increase the. The carrier substrate having the above-described structure can be more easily removed from the flexible substrate to increase the throughput of the process, and can be applied to a process of forming a flexible display without modification of equipment for mass-producing liquid crystal displays.

Description

캐리어 기판 및 이를 이용한 유연한 디스플레이 장치의 제조방법.{CARRIER PLATE AND METHOD OF MANUFACTURING THE FLEXIBLE DISPLAY DEVICE USING THE SAME}A carrier substrate and a manufacturing method of a flexible display device using the same. {CARRIER PLATE AND METHOD OF MANUFACTURING THE FLEXIBLE DISPLAY DEVICE USING THE SAME}

본 발명은 캐리어 기판 및 이를 이용한 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 연성 기판을 부착시키는 접착물질을 용이하게 제거할 수 있는 캐리어 기판 및 이를 이용한 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier substrate and a method of manufacturing a flexible display device using the same, and more particularly, to a carrier substrate and a method of manufacturing a flexible display device using the same that can easily remove the adhesive material to attach the flexible substrate. .

최근 기술의 발달과 인터넷의 보편화 및 소통되는 정보의 양이 폭발적으로 늘어남에 따라 언제 어디서나 정보를 접할 수 있는 유비퀴토스 디스플레이 (ubiquitous display) 환경이 창출되고 있다. 따라서 정보를 출력하는 매개체인 디스플레이 장치의 역할이 보다 중요시되고, 그 사용 범위도 더욱더 광범위해지고 있는 실정이다.Recently, with the development of technology, the generalization of the Internet, and the amount of information communicated explosively, an ubiquitous display environment that can access information anytime and anywhere is being created. Therefore, the role of the display device, which is a medium for outputting information, becomes more important, and its range of use is becoming more widespread.

이러한, 유비퀴토스 디스플레이 환경을 구현하기 위해서는 디스플레이 장치의 휴대성을 향상시킴과 동시에 각종 멀티미디어 정보를 표시가 가능하면서 가볍고, 표시면적이 넓고, 해상도가 우수하며, 표시속도가 빠른 디스플레이 장치의 특성이 요구되어야 한다.In order to realize such a ubiquitous display environment, it is possible to improve the portability of the display device and to display various multimedia information, and to have a light, wide display area, high resolution, and high display speed. Should be required.

이러한 요구에 부응하여 디스플레이 장치의 대형화 및 상기 장치를 구성하는 유리 기판의 밀도 및 유리 기판의 두께를 감소시키는 방향으로 활발하게 연구되어 왔다. 그러나, 상기 디스플레이 장치 즉, 액정 표시 패널에 적용되는 유리 기판의 유리 밀도가 감소될 경우 유리 기판을 구성하는 이산화실리콘(SiO2)이 실질적으로 유리 기판의 모든 물리적 특성 값을 결정하기 때문에 상기 유리기판 밀도를 더 낮추는 기술은 한계에 직면하였다.In response to these demands, research has been actively conducted in the direction of increasing the size of the display device, reducing the density of the glass substrate and the thickness of the glass substrate constituting the device. However, when the glass density of the display device, that is, the glass substrate applied to the liquid crystal display panel is reduced, the silicon substrate constituting the glass substrate (SiO 2 ) substantially determines all physical property values of the glass substrate. Lower density techniques face limitations.

또한, 상술한 휴대성이 어려운 문제점을 해결하기 위해서 디스플레이 장치의 크기를 줄여야 하지만은 이는 대화면의 디스플레이 장치를 원하는 소비자들의 욕구에 상충되는 문제점을 갖는다.In addition, the size of the display device should be reduced in order to solve the aforementioned problem of portability, but this has a problem that conflicts with the desire of consumers who want a large display device.

따라서, 대화면이라는 특성과 가벼워 휴대성이 우수한 특성을 동시에 만족시키기 위해서는 디스플레이 장치를 플라스틱 기판에 형성하는 플라스틱 디스플레이 장치의 필요성이 대두되고 있는 실정이다.Therefore, there is a need for a plastic display device in which a display device is formed on a plastic substrate in order to simultaneously satisfy a large screen property and a light and portable property.

상술한 플라스틱 디스플레이 장치는 궁극적으로 롤투롤(Roll-to-Roll) 방식으로 제조될 수 있다. 그러나 상술한 방식으로 유연성을 갖는 플라스틱 디스플레이 장치를 생산하기 위해서는 생산 단계의 모든 공정에서 플라스틱 기판을 적용하기 위한 전용 설비가 개발되어야 할 뿐만 아니라 많은 투자비용이 요구되는 문제점을 갖는다.The above-mentioned plastic display device may ultimately be manufactured in a roll-to-roll method. However, in order to produce a plastic display device having flexibility in the above-described manner, not only a dedicated facility for applying the plastic substrate in every process of the production stage but also a large investment cost is required.

현재, 샤프(Sharp)나 필립스(Philips)와 같은 기존의 LCD 제조사들은 플라스틱 디스플레이에 대한 연구를 진행하고 있으나 대부분 플라스틱 기판을 적용하기 위해 전용 척을 고안하여 플라스틱 디스플레이 장치를 제조하는 연구를 진행하고 있는 실정이다. 그러나, 이러한 연구는 기존의 LCD 양산 설비를 그대로 이용할 수 없는 단점을 가지고 있기 때문에 현재 양산 설비를 대폭 변경되어야 하는 단점을 가지고 있다.Currently, existing LCD makers such as Sharp and Philips are researching plastic displays, but most of them are developing plastic display devices by devising dedicated chucks to apply plastic substrates. It is true. However, this study has a disadvantage that the current mass production equipment has to be significantly changed since it has a disadvantage that the existing LCD mass production equipment cannot be used as it is.

또한, 접착제가 도포된 유리 기판에 상기 플라스틱 기판을 부착시켜 현재 LCD 양산 설비에 플라스틱 기판을 적용하는 방법도 제시되고 있으나, 상술한 방법은 유리 기판과 플라스틱 기판을 서로 접착시키는 접착물질의 제거가 용이하지 않아 오랜 시간동안 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판을 유기용매에 침지 시켜야 하기 때문에 제조 공정의 스루풋이 감소되는 문제점을 갖는다.In addition, a method of applying the plastic substrate to the LCD mass production facility by attaching the plastic substrate to the glass substrate coated with the adhesive is also proposed, but the above-described method is easy to remove the adhesive material that bonds the glass substrate and the plastic substrate to each other. Since the carrier substrate on which the plastic substrate is stacked is immersed in the organic solvent for a long time, the throughput of the manufacturing process is reduced.

또한, 오랜 시간 유기용매에 화상 표시소자가 형성된 플라스틱 기판을 침지시킬 경우 유기 용매에 녹은 접착물질로 인해 화상 표시소자의 오염을 초래할 수 있는 문제점을 갖고 있다.In addition, when the plastic substrate on which the image display device is formed in the organic solvent is immersed for a long time, the adhesive material dissolved in the organic solvent may cause contamination of the image display device.

따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 유연한 디스플레이 장치의 형성 공정시 유연한 기판과 캐리어 기판을 서로 부착시키는 접착물질이 용이하게 제거될 수 있는 구조를 갖는 캐리어 기판을 제공하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention for solving the above problems is to provide a carrier substrate having a structure in which an adhesive material for adhering the flexible substrate and the carrier substrate to each other in the process of forming the flexible display device can be easily removed.

또한, 상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 다른 목적은 접착물질을 용이하게 제거할 수 있는 구조를 갖는 캐리어 기판을 이용하여 유연한 디스플레이 장치를 제조하는 방법을 제공하는데 있다.In addition, another object of the present invention for solving the above problems is to provide a method for manufacturing a flexible display device using a carrier substrate having a structure that can easily remove the adhesive material.

상술한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 캐리어 기판은 화상 표시 소자를 형성하기 위해 연성 기판을 지지하고, 상기 지지를 위해 채용된 접착물질의 제거를 통해 상기 연성 기판으로부터 분리되는 캐리어 기판으로서, 상기 연성기판을 부착시키는 접착물질의 노출을 증가시키기 위해 하나 이상의 관통공이 형성되어 있다.A carrier substrate for realizing the object of the present invention described above is a carrier substrate which supports a flexible substrate to form an image display element and is separated from the flexible substrate through removal of an adhesive material employed for the support. One or more through holes are formed to increase the exposure of the adhesive material that adheres the substrate.

또한, 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법은, (a) 유기용매의 침투 및 상기 유기용매에 용해된 접착물질을 배출시키기 위해 하나 이상의 관통공이 형성된 캐리어 기판 상에 접착제를 도포하는 단계; (b) 상기 단계(a)에 의한 캐리어 기판 상에 연성 기판을 적층하는 단계; (c) 상기 단계(b)에 의한 연성 기판 상에 화상 표시소자를 형성하는 단계; 및 (d) 상기 단계(c)에 의한 결과물을 유기용매에 침지시켜 상기 화상 표시 소자가 형성된 연성 기판으로부터 상기 캐리어 기판을 분리하는 단계를 포함한다. In addition, a method of manufacturing a flexible display device for realizing another object of the present invention, (a) applying an adhesive on a carrier substrate formed with one or more through holes in order to penetrate the organic solvent and to discharge the adhesive material dissolved in the organic solvent. Applying; (b) depositing a flexible substrate on the carrier substrate of step (a); (c) forming an image display element on the flexible substrate of step (b); And (d) dividing the carrier substrate from the flexible substrate on which the image display element is formed by immersing the resultant product of step (c) in an organic solvent.

이러한 구조를 갖는 캐리어 기판은 캐리어 기판 상에 접착물질로 인해 부착되어 있는 플라스틱 기판으로부터 사익 캐리어 기판을 보다 빨리 제거할 수 있는 특징을 가지고 있어 유연한 디스플레이 장치를 형성하는 공정의 스루풋을 보다 증가시키는 효과를 갖는다.The carrier substrate having such a structure is characterized in that the carrier carrier substrate can be removed more quickly from the plastic substrate attached by the adhesive material on the carrier substrate, thereby increasing the throughput of the process of forming a flexible display device. Have

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

실시예 1Example 1

도 1a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라스틱 기판을 지지하는 캐리어 기판을 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 1b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판의 단면도이다.1A is a perspective view schematically showing a carrier substrate for supporting a plastic substrate according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view of a carrier substrate on which a plastic substrate is stacked according to the first embodiment of the present invention.

도 1a 및 도 1b에 도시된 캐리어 기판(150)은 연성 기판(110)이 부착되는 부착 영역(120)과 상기 부착 영역에 적어도 하나 이상의 원형의 관통공(130)이 형성되어 있는 구조를 갖는다.The carrier substrate 150 illustrated in FIGS. 1A and 1B has a structure in which an attachment region 120 to which the flexible substrate 110 is attached and at least one circular through hole 130 are formed in the attachment region.

캐리어 기판(150)은 화상 표시소자의 형성 공정시 연성 기판(110) 상에 화상 표시소자를 오류 없이 형성하기 위해 연성기판을 지지하는 유리 기판(150)이다. 상기 연성 기판(110)은 유연성을 갖는 플라스틱 기판(110)이다.The carrier substrate 150 is a glass substrate 150 supporting the flexible substrate in order to form the image display device on the flexible substrate 110 without error in the process of forming the image display device. The flexible substrate 110 is a plastic substrate 110 having flexibility.

부착 영역(120)은 플라스틱 기판(110)을 접착시키기 위한 접착물질(Binding Matter ;B)이 도포되는 영역이고, 플라스틱 기판(110)의 저면이 부착되는 영역이다. 여기서, 부착 영역(120)의 넓이는 플라스틱 기판(110)과 동일한 넓이를 갖는다. 또한, 도면에 도시하지 않았지만, 상기 부착 영역은 캐리어 기판과 동일한 크기를 갖을 수 있다.The attachment area 120 is an area to which an adhesive material (B) for adhering the plastic substrate 110 is applied, and is an area to which the bottom surface of the plastic substrate 110 is attached. Here, the width of the attachment region 120 has the same width as the plastic substrate 110. In addition, although not shown in the drawings, the attachment region may have the same size as the carrier substrate.

원형의 관통공(130)은 캐리어 기판인 유리 기판(150)의 부착 영역(120)에 다수개가 형성되어 있고, 유리 기판(150)의 부착영역(120)에 플라스틱 기판(110)이 접착물질(B)에 의해 부착될 경우 유리기판 기판(150)으로부터 플라스틱 기판(110)의 저면을 일부를 노출한다.A plurality of circular through holes 130 are formed in the attachment region 120 of the glass substrate 150, which is the carrier substrate, and the plastic substrate 110 is attached to the attachment region 120 of the glass substrate 150. When attached by B) to expose a portion of the bottom surface of the plastic substrate 110 from the glass substrate substrate 150.

이로 인해, 원형의 관통공(130)은 유리 기판(150)과 플라스틱 기판(110)을 서로 밀착되도록 부착시키는 접착물질에 유기용매가 용이하게 침투되고, 상기 유기용매에 의해 용해된 접착물질이 보다 용이하게 배출될 수 있도록 하여 표시소자가 형성된 플라스틱 기판(110)으로부터 캐리어 기판인 유리 기판(150)을 보다 빨리 분리시킬 수 있도록 한다.As a result, the circular through hole 130 easily penetrates the organic solvent into the adhesive material which adheres the glass substrate 150 and the plastic substrate 110 to be in close contact with each other, and the adhesive material dissolved by the organic solvent is more easily. It can be easily discharged so that the glass substrate 150 which is the carrier substrate can be separated more quickly from the plastic substrate 110 on which the display element is formed.

즉, 본 발명의 캐리어 기판(150)은 기존의 통판의 사각형 형상을 갖는 유리 기판에 원 형의 다수개의 관통공(130)이 형성되어 있기 때문에 상기 유리 기판(150)의 부착 영역(120)상에 접착물질(B)을 도포한 후 플라스틱 기판(110)을 적층시키면, 상기 원형의 관통공(130)에 의해 플라스틱 기판(110) 저면 및 접착물질(B)의 일부가 노출된다. 이 때문에 이후 캐리어 기판인 유리 기판(150)을 분리하기 위해 접착물질(B)의 제거하는 공정을 용이하게 수행할 수 있어 플라스틱 디스플레이 장치 형성 공정의 스루풋을 증가시킬 수 있다.That is, in the carrier substrate 150 of the present invention, since a plurality of circular through holes 130 are formed in a glass substrate having a rectangular shape of a conventional plate, the carrier substrate 150 is formed on the attachment region 120 of the glass substrate 150. After applying the adhesive material (B) to the plastic substrate 110 is laminated, the bottom surface of the plastic substrate 110 and a portion of the adhesive material (B) by the circular through hole 130 is exposed. For this reason, the process of removing the adhesive material B may be easily performed to separate the glass substrate 150 which is the carrier substrate, thereby increasing the throughput of the plastic display device forming process.

또한, 접착물질(B)을 제거하기 위해 유기용매에 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판인 유리 기판(150)의 함침 시간을 현저하게 감소시킬 수 있기 때문에 플라스틱 기판(110)에 형성되는 화상 표시소자의 손상을 최소화시킬 수 있다.In addition, since the impregnation time of the glass substrate 150, which is the carrier substrate on which the plastic substrate is laminated in the organic solvent, can be significantly reduced to remove the adhesive material B, the image display device formed on the plastic substrate 110 Damage can be minimized.

실시예 2Example 2

도 2a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라스틱 기판을 지지하는 캐리어 기판을 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 2b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판의 단면도이다.2A is a perspective view schematically illustrating a carrier substrate supporting a plastic substrate according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 2B is a cross-sectional view of a carrier substrate on which a plastic substrate is stacked according to a second embodiment of the present invention.

도 2a 및 도 2b에 도시된 캐리어 기판(250)은 연성 기판(110)이 부착되는 부착 영역(220)과 상기 부착 영역에 적어도 하나 이상의 슬릿 형상을 갖는 관통공(130)이 형성된 구조를 갖는다.The carrier substrate 250 illustrated in FIGS. 2A and 2B has a structure in which an attachment region 220 to which the flexible substrate 110 is attached and a through hole 130 having at least one slit shape are formed in the attachment region.

캐리어 기판(250)은 화상 표시소자의 형성 공정시 연성 기판(110) 상에 화상 표시소자를 오류 없이 형성하기 위해 연성 기판(110)을 지지하는 실리콘 기판(250)이다. 상기 연성 기판(110)은 유연성을 갖는 플라스틱 기판(110)이다.The carrier substrate 250 is a silicon substrate 250 that supports the flexible substrate 110 in order to form the image display device on the flexible substrate 110 without error in the process of forming the image display device. The flexible substrate 110 is a plastic substrate 110 having flexibility.

부착 영역(220)은 플라스틱 기판(110)을 접착시키기 위한 접착물질(Binding Matter ;B)이 도포되는 영역이고, 플라스틱 기판(110)의 저면이 부착되는 영역이다. 여기서, 부착 영역(220)의 넓이는 플라스틱 기판(110)과 동일한 넓이를 갖는다. 또한, 도면에 도시하지 않았지만, 상기 부착 영역은 캐리어 기판과 동일한 크기를 갖을 수 있다.The attachment area 220 is an area to which a binding material (B) for bonding the plastic substrate 110 is applied, and is an area to which the bottom surface of the plastic substrate 110 is attached. Here, the width of the attachment region 220 has the same width as the plastic substrate 110. In addition, although not shown in the drawings, the attachment region may have the same size as the carrier substrate.

슬릿 형상을 갖는 관통공(230)은 캐리어 기판인 실리콘 기판(250)의 부착 영역(220)에 다수개가 형성되어 있고, 실리콘 기판(250)의 부착영역(220)에 플라스틱 기판(110)이 접착물질(B)에 의해 부착될 경우 실리콘 기판(250)으로부터 플라스틱 기판(110)의 저면 일부를 노출한다.A plurality of through holes 230 having a slit shape are formed in the attaching region 220 of the silicon substrate 250, which is a carrier substrate, and the plastic substrate 110 is adhered to the attaching region 220 of the silicon substrate 250. When attached by the material B, a portion of the bottom surface of the plastic substrate 110 is exposed from the silicon substrate 250.

이로 인해, 슬릿 형상을 갖는 관통공(230)은 실리콘 기판(250)과 플라스틱 기판(110)을 서로 밀착되도록 부착시키는 접착물질(B)에 유기용매가 용이하게 침투되고, 상기 유기용매에 의해 용해된 접착물질(B)이 보다 용이하게 배출될 수 있도록 함으로서, 표시소자가 형성된 플라스틱 기판(110)으로부터 캐리어 기판인 실리콘 기판(250)을 보다 빨리 분리시킬 수 있도록 한다.Accordingly, the through hole 230 having a slit shape easily penetrates the organic solvent into the adhesive material B for attaching the silicon substrate 250 and the plastic substrate 110 to be in close contact with each other, and is dissolved by the organic solvent. By allowing the adhesive material B to be discharged more easily, the silicon substrate 250, which is a carrier substrate, may be more quickly separated from the plastic substrate 110 on which the display element is formed.

즉, 본 발명의 캐리어 기판(250)은 기존의 통판의 사각형 형상을 갖는 유리 기판에 슬릿 형상의 다수개의 관통공(230)이 형성되어 있기 때문에 상기 유리 기판(250)의 부착 영역(220)상에 접착물질(B)을 도포한 후 플라스틱 기판(110)을 적층시키면, 상기 슬릿 형상을 갖는 관통공(230)에 의해 플라스틱 기판(110) 저면 및 접착물질(B)의 일부가 노출된다. 이 때문에 이후 캐리어 기판인 실리콘 기판(250)을 분리하기 위한 접착물질(B)을 제거하는 공정을 보다 용이하게 수행할 수 있어 플라스틱 디스플레이 장치 형성 공정의 스루풋을 증가시킬 수 있다. That is, in the carrier substrate 250 of the present invention, since a plurality of slit-shaped through holes 230 are formed in a glass substrate having a rectangular shape of a conventional plate, the carrier substrate 250 is formed on the attachment region 220 of the glass substrate 250. After the adhesive material B is applied to the plastic substrate 110, the bottom surface of the plastic substrate 110 and a part of the adhesive material B are exposed by the through hole 230 having the slit shape. For this reason, the process of removing the adhesive material B for separating the silicon substrate 250, which is the carrier substrate, may be performed more easily, thereby increasing the throughput of the plastic display device forming process.

실시예 3Example 3

도 3a는 본 발명의 제3 실시예에 따른 플라스틱 기판을 지지하는 캐리어 기판을 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 3b는 본 발명의 제3 실시예에 따른 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판의 단면도이다.3A is a perspective view schematically illustrating a carrier substrate supporting a plastic substrate according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 3B is a cross-sectional view of a carrier substrate on which a plastic substrate is stacked according to a third embodiment of the present invention.

도 3a 및 도 3b에 도시된 캐리어 기판(350)은 연성 기판(110)이 부착되는 두개의 부착 영역(320a,320b)과 상기 부착 영역에 각각에 적어도 하나 이상의 사각 형상을 갖는 관통공(130)이 형성된 구조를 갖는다.The carrier substrate 350 illustrated in FIGS. 3A and 3B includes two attachment regions 320a and 320b to which the flexible substrate 110 is attached, and a through hole 130 having at least one rectangular shape in each of the attachment regions. It has a formed structure.

캐리어 기판(350)은 화상 표시소자의 형성 공정시 연성 기판(110) 상에 화상 표시소자를 오류 없이 형성하기 위해 연성 기판(110)을 지지하는 유리 기판(350)이다. 여기서, 연성 기판(110)은 유연성을 갖는 플라스틱 기판(110)이다.The carrier substrate 350 is a glass substrate 350 that supports the flexible substrate 110 in order to form the image display device on the flexible substrate 110 without error in the process of forming the image display device. Here, the flexible substrate 110 is a plastic substrate 110 having flexibility.

부착 영역(320)은 두 개의 플라스틱 기판(110)을 접착시키기 위한 접착물질(Binding Matter; B)이 각각 도포되는 제1 부착 영역(320a)과 제2 부착 영역(320b)이고, 두 개의 플라스틱 기판(110)이 각각 독립적으로 부착되는 영역이다. 여기서, 제1 및 제2 부착 영역(320a,320b)은 각각의 플라스틱 기판(110)과 동일한 넓이를 갖는다. The adhesion region 320 is a first adhesion region 320a and a second adhesion region 320b to which a binding material (B) for bonding two plastic substrates 110 is applied, respectively, and two plastic substrates. Each of the regions 110 is independently attached. Here, the first and second attachment regions 320a and 320b have the same width as the respective plastic substrates 110.

사각 형상을 갖는 관통공(330)은 캐리어 기판인 유리 기판(350)의 제 1 및 제2 부착 영역(320)에 다수개가 형성되어 있고, 유리 기판(350)상에 플라스틱 기판(110)이 접착물질(B)에 의해 부착될 경우 유리 기판(350)으로부터 플라스틱 기판(110)의 저면 일부를 노출시킨다.A plurality of rectangular through-holes 330 are formed in the first and second attachment regions 320 of the glass substrate 350, which is a carrier substrate, and the plastic substrate 110 is adhered to the glass substrate 350. When attached by the material B, a portion of the bottom surface of the plastic substrate 110 is exposed from the glass substrate 350.

이로 인해, 사각 형상을 갖는 관통공(330)은 유리 기판(350)과 플라스틱 기판(110)을 서로 밀착되도록 부착시키는 접착물질(B)에 유기용매가 용이하게 침투되고, 상기 유기용매에 의해 용해된 접착물질(B)이 보다 용이하게 배출될 수 있도록 함으로서, 표시소자가 형성된 플라스틱 기판(110)으로부터 캐리어 기판인 유리 기판(350)을 보다 빨리 분리시킬 수 있도록 한다.Accordingly, the through hole 330 having a rectangular shape easily penetrates into the adhesive material B for attaching the glass substrate 350 and the plastic substrate 110 to be in close contact with each other, and is dissolved by the organic solvent. By allowing the adhesive material B to be discharged more easily, the glass substrate 350 serving as the carrier substrate can be separated more quickly from the plastic substrate 110 on which the display element is formed.

즉, 본 발명의 캐리어 기판(350)은 기존의 통판의 사각형 형상을 갖는 유리 기판(350)에 사각 형상의 다수개의 관통공(330)이 형성되어 있기 때문에 상기 유리 기판(350)의 두 개의 부착 영역(320)상에 접착물질(B)을 도포한 후 두 개의 플라스틱 기판(110)을 각각 적층시킨 후 표시 소자 공정을 수행할 수 있다.That is, in the carrier substrate 350 of the present invention, since a plurality of square through-holes 330 are formed in the glass substrate 350 having the rectangular shape of the conventional plate, the two substrates of the glass substrate 350 are attached. After applying the adhesive material B on the region 320, two plastic substrates 110 may be laminated, and then a display device process may be performed.

이때, 사각 형상을 갖는 관통공(330)에 의해 플라스틱 기판(110) 저면 및 접착물질(B)의 일부가 노출된다. 이 때문에 이후 캐리어 기판인 유리 기판(350)을 분리하기 위한 접착물질(B)을 제거하는 공정을 보다 용이하게 수행할 수 있어 플라스틱 디스플레이 장치 형성 공정의 스루풋을 증가시킬 수 있다.At this time, the bottom surface of the plastic substrate 110 and a part of the adhesive material B are exposed by the through hole 330 having a rectangular shape. For this reason, a process of removing the adhesive material B for separating the glass substrate 350, which is the carrier substrate, may be performed more easily, thereby increasing throughput of the plastic display device forming process.

실시예 4Example 4

도 4는 본 발명의 캐리어 기판을 이용하여 유연한 디스플레이 장치를 제조하는 방법을 나타내는 공정흐름도이다.4 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a flexible display device using the carrier substrate of the present invention.

도 4를 참조하면, 먼저 관통들이 형성된 제1 캐리어 기판인 제1 유리 기판 상에 접착물질(Bonding Matter)을 균일한 두께를 갖도록 도포한 후 소정의 온도 하에서 캐리어 기판 상에 제1 플라스틱 기판을 적층시킨다(단계 S110, S120).Referring to FIG. 4, first, an adhesive material (Bonding Matter) is coated on a first glass substrate, which is a first carrier substrate on which penetrations are formed, to have a uniform thickness, and then a first plastic substrate is laminated on a carrier substrate under a predetermined temperature. (Step S110, S120).

이때, 제1 플라스틱 기판을 제1 유리 기판 상에 부착할 경우 기포(공기 방울)가 발생되지 않도록 부착해야 한다. 이는 제1 플라스틱 기판과 관통공들이 형성된 제1 유리 기판에 기포가 들어갈 경우 화상 표시 소자를 형성하는 고온의 공정시 접착력이 약화되어 제1 유리 기판과 제1 플라스틱 기판이 들뜨는 문제점이 발생하기 때문이다.At this time, when attaching a 1st plastic substrate on a 1st glass substrate, it should attach so that a bubble (air bubble) may not generate | occur | produce. This is because when bubbles enter the first glass substrate on which the first plastic substrate and the through-holes are formed, the adhesive force is weakened during the high temperature process of forming the image display element, and thus the first glass substrate and the first plastic substrate are lifted. .

이어서, 다수개의 관통이 형성된 제1 유리 기판 상에 부착된 제1 플라스틱 기판의 표면에 컬러필터, 블랙 매트릭스, 오버 코팅막, 공통전극을 형성함으로서 다수개의 관통공들이 형성된 제1 유리 기판 상에 지지되는 컬러필터 기판을 형성한다(단계 S130).Subsequently, a color filter, a black matrix, an overcoating layer, and a common electrode are formed on the surface of the first plastic substrate attached to the first glass substrate having the plurality of through holes formed thereon, thereby being supported on the first glass substrate having the plurality of through holes formed thereon. A color filter substrate is formed (step S130).

여기서, 컬러필터의 형성 방법을 상세히 설명하며, 먼저 적색(R)/녹색(G)/청색(B)컬러수지 중 적색을 띄는 컬러수지를 블랙 매트릭스가 형성된 제1 플라스틱 기판의 전면에 도포한 후 선택적으로 노광한 후 표시 영역에 적색(R) 컬러필터를 형성한다.(이때, 색을 입히는 순서는 임의로 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 순서로 정하여 설명한다). 이어서, 상기 적색 컬러필터가 형성된 제1 플라스틱 기판의 전면에 녹색 컬러수지를 도포한 후 선택적으로 노광하여, 녹색 컬러필터를 형성한다. 연속하여, 상기 적색(R) 및 녹색(G) 컬러필터가 형성된 제1 플라스틱 기판의 전면에 청색(B) 컬러수지를 도포한 후 선택적으로 노광하여, 청색 컬러필터를 형성한다.Here, the method of forming the color filter will be described in detail. First, a color resin having a red color among the red (R) / green (G) / blue (B) color resins is applied to the entire surface of the first plastic substrate on which the black matrix is formed. After the selective exposure, a red (R) color filter is formed in the display area. (At this time, the order of applying the color is arbitrarily described in the order of red (R), green (G), and blue (B)). Subsequently, a green color resin is coated on the entire surface of the first plastic substrate on which the red color filter is formed, and then selectively exposed to form a green color filter. Subsequently, a blue (B) color resin is coated on the entire surface of the first plastic substrate on which the red (R) and green (G) color filters are formed, and then selectively exposed to form a blue color filter.

이어서, 블랙 매트릭스 및 컬러필터의 단차를 제거하는 오버 코팅막을 형성한 후 상기 컬러필터가 대응되는 오버 코팅막 상에 공통전극을 형성한다. 이를 상세히 설명하면, 먼저 결과물 상에 소정의 두께를 갖는 공통전극막을 연속적으로 형성한다. 상기 공통전극막은 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함한 투명 도전성 물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하여 형성된다. 식각 마스크를 적용하여 상기 블랙 매트릭스 상에 존재하는 공통전극막을 식각하여 공통전극을 형성한다.Subsequently, after forming an overcoating film for removing a step between the black matrix and the color filter, a common electrode is formed on the overcoating film corresponding to the color filter. In detail, first, a common electrode film having a predetermined thickness is continuously formed on the resultant. The common electrode layer is formed by depositing one selected from a group of transparent conductive materials including indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO). A common electrode is formed by etching an common electrode layer on the black matrix by applying an etching mask.

이어서, 컬러필터 기판을 지지하는 관통들이 형성된 제1유기 기판을 접착물질을 녹이는 유기용매에 함침시켜 상기 컬러필터 기판으로부터 제1 유리 기판을 분리한다(단계 S140). 이로 인해, 유연한 컬러필터 기판이 형성된다.Subsequently, the first organic substrate on which the penetrations for supporting the color filter substrate are formed is impregnated with an organic solvent for dissolving the adhesive material to separate the first glass substrate from the color filter substrate (step S140). As a result, a flexible color filter substrate is formed.

이때, 상기 유리 기판에 형성된 다수개의 관통공들은 유리 기판과 플라스틱 기판을 서로 밀착되도록 부착시키는 접착물질에 유기용매의 침투를 용이하게 하고, 상기 유기용매에 의해 용해된 접착물질이 보다 용이하게 배출될 수 있도록 함으로서, 표시소자가 형성된 플라스틱 기판으로부터 유리 기판이 보다 빨리 분리시킬 수 있도록 한다. In this case, the plurality of through-holes formed in the glass substrate facilitate the penetration of the organic solvent into the adhesive material that adheres the glass substrate and the plastic substrate to be in close contact with each other, and the adhesive material dissolved by the organic solvent is more easily discharged. In this way, the glass substrate can be separated more quickly from the plastic substrate on which the display element is formed.

이어서, 관통들이 형성된 제2 캐리어 기판인 제2 유리 기판 상에 접착물질(Bonding Matter)을 균일한 두께를 갖도록 도포한 후 소정의 온도 하에서 제2 유리 기판 상에 제2 플라스틱 기판을 적층시킨다(단계 S150, S160).Subsequently, an adhesive material (Bonding Matter) is applied on the second glass substrate, which is the second carrier substrate on which the penetrations are formed, to have a uniform thickness, and then the second plastic substrate is laminated on the second glass substrate under a predetermined temperature (step S150, S160).

이때, 제2 플라스틱 기판을 제2 유리 기판 상에 부착할 경우 기포가 발생되지 않도록 부착해야 한다.At this time, when attaching the second plastic substrate on the second glass substrate, it should be attached so as not to generate bubbles.

이어서, 제2 플라스틱 기판 상에 스위칭 소자로 동작하는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor), 게이트 절연막, 패시베이션막, 유기막 및 화소 전극을 형성함으로서 다수개의 관통공들이 형성된 제2 유리 기판 상에 지지되어 있는 어레이 기판을 형성한다.(단계 S170) Subsequently, a thin film transistor, a gate insulating film, a passivation film, an organic film, and a pixel electrode, which operate as switching elements on the second plastic substrate, are formed and supported on the second glass substrate on which a plurality of through holes are formed. An array substrate is formed (step S170).

상기 어레이 기판을 형성 방법을 구체적으로 설명하면, 제2 플라스틱 기판 상에 도전성 물질을 증착한다. 계속해서, 상기 도전성 물질의 일부를 식각하여 상기 게이트 전극을 형성한다. 이후에, 게이트 전극)이 형성된 제2 플라스틱 기판의 전면에 게이트 절연막을 증착한다. 상기 게이트 절연막은 투명한 절연물질인 실리콘 질화막(SiNx)으로 형성된다.The method of forming the array substrate will be described in detail. A conductive material is deposited on the second plastic substrate. Subsequently, a portion of the conductive material is etched to form the gate electrode. Thereafter, a gate insulating film is deposited on the entire surface of the second plastic substrate on which the gate electrode) is formed. The gate insulating film is formed of a silicon nitride film (SiNx) that is a transparent insulating material.

계속해서, 아몰퍼스 실리콘 및 N+ 아몰퍼스 실리콘을 증착 및 식각하여 상기 게이트 전극에 대응하는 게이트 절연막상에 반도체층을 형성한다. 이어서, 상기 반도체층이 형성된 상기 게이트 절연막 상에 도전성 물질을 증착한 후 상기 도전성 물질의 일부를 식각함으로서 소오스 전극 및 드레인 전극을 형성한다.Subsequently, amorphous silicon and N + amorphous silicon are deposited and etched to form a semiconductor layer on the gate insulating film corresponding to the gate electrode. Subsequently, a source electrode and a drain electrode are formed by depositing a conductive material on the gate insulating layer on which the semiconductor layer is formed, and then etching a portion of the conductive material.

이어서, 박막 트랜지스터가 형성된 제2 플라스틱 기판 상에 투명한 절연물질을 증착하여 패시베이션막을 형성한 후 상기 패시베이션막의 일부를 제거하여 상기 드레인 전극의 일부를 노출하는 개구부를 형성한다. 이때, 상기 개구부는 유기막을 형성한 이후에 형성할 수 있다.Subsequently, a transparent insulating material is deposited on the second plastic substrate on which the thin film transistor is formed to form a passivation film, and then a portion of the passivation film is removed to form an opening exposing a portion of the drain electrode. In this case, the opening may be formed after forming the organic layer.

계속해서, 패시베이션막 상에 유기물질을 도포하여 유기막을 형성한다. 상기 유기물질은 포토레지스트(Photoresist) 성분을 포함한다. 이후에, 유기막을 노광 및 현상하여 상기 드레인 전극의 일부가 개구된 유기막을 형성한다.Subsequently, an organic material is applied onto the passivation film to form an organic film. The organic material includes a photoresist component. Thereafter, the organic film is exposed and developed to form an organic film in which a part of the drain electrode is opened.

이어서, 유기막 및 패시베이션막 상에 투명한 도전성 물질인 ITO, IZO, ZO 등을 증착한 후 투명한 도전성 물질의 일부를 식각하여 상기 화소영역 내에 화소 전극을 형성한다.Subsequently, ITO, IZO, ZO, and the like, which are transparent conductive materials, are deposited on the organic layer and the passivation layer, and a portion of the transparent conductive material is etched to form pixel electrodes in the pixel region.

이어서, 어레이 기판을 지지하는 관통들이 형성된 제2 유리 기판을 접착물질을 녹이는 유기용매에 함침시켜, 상기 어레이 기판으로부터 제2 유리 기판을 분리한다(단계 S180). 이로 인해, 유연한 어레이 기판이 형성된다.Subsequently, the second glass substrate on which the penetrations for supporting the array substrate are formed is impregnated with an organic solvent that dissolves the adhesive material to separate the second glass substrate from the array substrate (step S180). As a result, a flexible array substrate is formed.

이어서, 상기 어레이 기판 또는 컬러필터 기판의 표면에 스페이서를 형성한다(단계 S190). 상기 스페이서는 비드 스페이서이다.Subsequently, a spacer is formed on the surface of the array substrate or the color filter substrate (step S190). The spacer is a bead spacer.

이어서, 유연한 컬러필터 기판과 유연한 어레이 기판을 대향하여 결합한 후 컬러필터 기판과 어레이 기판 사이에 액정물질을 주입한 후에 밀봉부제(Seal)를 이용하여 밀봉함으로서, 액정층을 포함하는 유연한 디스플레이 장치를 형성한다 (단계 S200). 이때, 상기 밀봉부재가 도포된 컬러필터 기판 또는 어레이 기판 상에 액정을 적하한 후에 컬러필터 기판 및 어레이 기판을 대향하여 결합하여 액정층을 형성할 수도 있다.Subsequently, the flexible color filter substrate and the flexible array substrate are combined to face each other, a liquid crystal material is injected between the color filter substrate and the array substrate, and then sealed using a sealing agent to form a flexible display device including a liquid crystal layer. (Step S200). In this case, after the liquid crystal is dropped on the color filter substrate or the array substrate coated with the sealing member, the liquid crystal layer may be formed by combining the color filter substrate and the array substrate to face each other.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 캐리어 기판은 화상 표시 소자가 형성된 플라스틱 기판을 캐리어 기판에 부착시키는 접착물질을 보다 용이하게 제거될 수 있도록 다수개의 관통공이 형성되어 있다.As described above, in the carrier substrate according to the present invention, a plurality of through holes are formed to more easily remove the adhesive material for attaching the plastic substrate on which the image display element is formed to the carrier substrate.

따라서, 상기 캐리어 기판에 형성된 관통공은 접착물질에 유기 용액의 침투의 증가 및 상기 유기 용매에 녹은 접착물질의 배출을 보다 향상시켜 플라스틱 기판으로부터 캐리어 기판을 보다 빨리 분리시킬 수 있어 유연한 디스플레이 장치의 제조 공정의 스루풋을 증가시킨다.Therefore, the through hole formed in the carrier substrate can increase the penetration of the organic solution into the adhesive material and improve the discharge of the adhesive material dissolved in the organic solvent, so that the carrier substrate can be separated from the plastic substrate more quickly, thereby producing a flexible display device. Increase the throughput of your process.

또한, 상술한 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법은 플라스틱 기판과 캐리어 기판을 접착시키는 접착물질을 보다 빨리 화상 표시소자의 손상 없이 캐리어 기판을 분리할 수 있기 때문에 제조 공정의 스루풋을 상승시킨다. In addition, the manufacturing method of the above-described flexible display device increases the throughput of the manufacturing process because the carrier substrate can be separated more quickly without damaging the image display device, the adhesive material for bonding the plastic substrate and the carrier substrate.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and changed within the scope of the invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below I can understand that you can.

도 1a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라스틱 기판을 지지하는 캐리어 기판을 개략적으로 나타내는 사시도이다.1A is a perspective view schematically showing a carrier substrate supporting a plastic substrate according to a first embodiment of the present invention.

도 1b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판의 단면도이다.1B is a cross-sectional view of a carrier substrate on which a plastic substrate is stacked according to a first embodiment of the present invention.

도 2a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라스틱 기판을 지지하는 캐리어 기판을 개략적으로 나타내는 사시도이다.2A is a perspective view schematically showing a carrier substrate for supporting a plastic substrate according to a second embodiment of the present invention.

도 2b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판의 단면도이다.2B is a cross-sectional view of a carrier substrate on which a plastic substrate is stacked according to a second embodiment of the present invention.

도 3a는 본 발명의 제3 실시예에 따른 플라스틱 기판을 지지하는 캐리어 기판을 개략적으로 나타내는 사시도이다.3A is a perspective view schematically showing a carrier substrate supporting a plastic substrate according to a third embodiment of the present invention.

도 3b는 본 발명의 제3 실시예에 따른 플라스틱 기판이 적층된 캐리어 기판의 단면도이다.3B is a cross-sectional view of a carrier substrate on which a plastic substrate is stacked according to a third embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 캐리어 기판을 이용하여 유연한 디스플레이 장치를 제조하는 방법을 나타내는 공정흐름도이다.4 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a flexible display device using the carrier substrate of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* * Description of the symbols for the main parts of the drawings *

110 : 플라스틱 기판 120, 220, 320 : 부착 영역110: plastic substrate 120, 220, 320: attachment area

130, 230, 330 : 관통공 150, 250, 350 : 캐리어 기판130, 230, 330: through hole 150, 250, 350: carrier substrate

Claims (7)

화상 표시 소자를 형성하기 위해 연성 기판을 지지하고, 상기 지지를 위해 채용된 접착물질의 제거를 통해 상기 연성 기판으로부터 분리되는 캐리어 기판에서,In a carrier substrate that supports a flexible substrate to form an image display element, and is separated from the flexible substrate through removal of the adhesive material employed for the support, 상기 연성 기판을 부착시키는 접착물질의 노출을 증가시키기 위해 하나 이상의 관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.And at least one through hole is formed to increase exposure of the adhesive material attaching the flexible substrate. 제1항에 있어서, 상기 관통공은 상기 연성 기판과 상기 부착 영역간에 존재하는 접착물질에 유기용매의 침투 및 상기 유기용매에 용해된 접착물질을 배출보다 증가시키는 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.The carrier substrate of claim 1, wherein the through hole increases the penetration of the organic solvent into the adhesive material existing between the flexible substrate and the attachment region and increases the amount of the adhesive material dissolved in the organic solvent than the discharge. 제1항에 있어서, 상기 관통공은 평면에서 관찰할 때, 원 형상, 다각형 형상, 슬릿 형상 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.The carrier substrate according to claim 1, wherein the through hole is any one of a circular shape, a polygonal shape, and a slit shape when viewed in a plane. 제1항에 있어서, 상기 연성 기판은 플라스틱 기판인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.The carrier substrate of claim 1, wherein the flexible substrate is a plastic substrate. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 기판은 유리 기판, 실리콘 기판 또는 형태 안정성이 높은 고내열성 플라스틱 기판인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.The carrier substrate of claim 1, wherein the carrier substrate is a glass substrate, a silicon substrate, or a high heat resistant plastic substrate having high form stability. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 기판은 하나 이상의 연성 기판이 적층되는 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.The carrier substrate of claim 1, wherein the carrier substrate has a size in which one or more flexible substrates are stacked. (a) 유기용매의 침투 및 상기 유기용매에 용해된 접착물질을 배출시키기 위해 하나 이상의 관통공이 형성된 캐리어 기판 상에 접착제를 도포하는 단계;(a) applying an adhesive on a carrier substrate having one or more through holes formed therein for penetration of the organic solvent and discharge of the adhesive material dissolved in the organic solvent; (b) 상기 단계(a)에 의한 캐리어 기판 상에 연성 기판을 적층하는 단계;(b) depositing a flexible substrate on the carrier substrate of step (a); (c) 상기 단계(b)에 의한 연성 기판 상에 화상 표시소자를 형성하는 단계; 및(c) forming an image display element on the flexible substrate of step (b); And (d) 상기 단계(c)에 의한 결과물을 유기용매에 침지시켜 상기 화상 표시 소자가 형성된 연성 기판으로부터 상기 캐리어 기판을 분리하는 단계를 포함하는 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법.(d) dividing the carrier substrate from the flexible substrate on which the image display element is formed by immersing the resultant product of step (c) in an organic solvent.
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