KR20050066629A

KR20050066629A - Substrate transfer system comprising alternative stocker controller, and transfer method using the same

Info

Publication number: KR20050066629A
Application number: KR1020030097937A
Authority: KR
Inventors: 류성목
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2003-12-26
Filing date: 2003-12-26
Publication date: 2005-06-30

Abstract

본 발명은, AGV가 이동하는 인베이(in-bay) 반송라인의 주위에, 공정장비와, 카세트를 임시 보관하는 스토커가 배치되는 베이(bay)를 2 이상 포함하는 액정표시장치 생산시스템에서, 카세트 반송을 총괄하는 호스트 PC와; 상기 베이마다 1 대이상 배치되며, 상기 호스트 PC에 연결되어 각 베이내에서의 카세트 반송을 제어하는 STC와; 상기 베이마다 1 대씩 배치되며, 상기 STC로부터 반송명령을 접수받아, 각 베이내의 AGV를 제어하는 AGVC와; 상기 AGVC가 속하는 베이내의 모든 STC와 상기 AGVC를 연결하는 한편, 상기 AGVC가 속하지 아니하는 베이내의 STC 중 하나 이상의 STC와 상기 AGVC를 연결하는 통신선로를 포함하는 기판 반송시스템을 제공한다. 또한 이를 이용한 기판의 반송방법을 제공한다.The present invention provides a liquid crystal display production system including two or more bays in which processing equipment and a stocker for temporarily storing cassettes are disposed around an in-bay conveying line to which AGVs move. A host PC that oversees cassette delivery; At least one STC disposed in each bay, and connected to the host PC to control cassette transfer in each bay; An AGVC disposed in each bay and receiving a return instruction from the STC to control an AGV in each bay; It provides a substrate transfer system comprising a communication line connecting the AGVC and at least one STC of the STVC in the bay belonging to the AGVC belonging to the AGVC, belonging to the AGVC. It also provides a method of conveying the substrate using the same.

본 발명에 따르면, 어느 베이의 카세트 반송을 관할하는 STC에 문제가 발생하더라도, 다른 베이의 STC가 대체 역할을 수행할 수 있게 되므로, 반송 중단으로 인한 생산차질을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 반송 중단없이 STC의 버전업(version up)이나 정비를 할 수 있으므로 생산성 향상에 기여할 수 있게 된다.According to the present invention, even if a problem occurs in the STC that controls the transfer of cassettes in one bay, the STCs in the other bays can play a substitute role, thereby preventing production disruption due to the transfer interruption, and also stopping the transfer. This allows for version up or maintenance of the STC without the need for increased productivity.

Description

Substrate transfer system comprising alternative stocker controller, and transfer method using the same}

본 발명은 액정표시장치의 제조에 필요한 유리 기판의 반송시스템에 관한 것으로서, 구체적으로는 대체가능한 스토커 컨트롤러를 포함하는 반송시스템에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transport system for a glass substrate required for the manufacture of a liquid crystal display device, and more particularly to a transport system including a replaceable stocker controller.

일반적으로 액정표시장치를 제조하기 위해서는, 유리 기판 상에 박막트랜지스트와 칼라필터를 형성하는 기판 제작공정과, 박막 트랜지스트가 형성된 하부기판과 칼라필터가 형성된 상부기판을 일정 간격을 두고 합착한 후 액정을 주입하는 셀 제조공정과, 신호처리 회로부를 액정패널과 결합하는 모듈공정 등을 거쳐야 한다.In general, in order to manufacture a liquid crystal display device, a substrate manufacturing process for forming a thin film transistor and a color filter on a glass substrate, and a lower substrate on which a thin film transistor is formed and an upper substrate on which a color filter are formed are bonded at a predetermined interval. The cell manufacturing process for injecting the liquid crystal and the module process for combining the signal processing circuit unit with the liquid crystal panel must be performed.

유리 기판이 이와 같은 공정을 거치기 위해서는, 우선 각 공정을 수행하는 공정 장비를 배치하고, 해당 공정장비로 유리기판을 순차적으로 또는 그룹으로 묶어서 반송하는 반송시스템을 갖추어야 한다.In order for a glass substrate to go through such a process, first, process equipment which performs each process should be arrange | positioned, and the conveyance system which conveys a glass substrate sequentially or grouped by the said process equipment must be provided.

도 1은 일반적인 형태의 액정표시장치 생산시스템의 개략적인 구성도를 도시한 것이다. 이를 살펴보면 먼저 동일 또는 연관된 기능을 수행하는 여러 장비가 일군(一群)을 이루는 베이(bay) 단위로 공정장비가 배치되는데, 도시된 제1,2,3 베이(100,200,300)는 포함되는 장비의 종류가 다를 수는 있으나 기본적으로는 동일한 구성을 가지므로, 제1 베이(100)의 구성만을 예로 들어 설명한다.1 is a schematic configuration diagram of a liquid crystal display production system of a general type. Referring to this, first, process equipment is arranged in a unit of bays in which a plurality of equipments performing the same or related functions form a group, and the first, second, and third bays (100, 200, 300) shown in FIG. Although it may be different but basically has the same configuration, only the configuration of the first bay 100 will be described as an example.

제1 베이(100)는 다수의 제1 공정장비(110)와 제1 스토커(stocker, 35)를 포함하는데, 상기 제1 스토커(35)는 미세먼지나 입자로 인한 기판의 오염을 방지하고, 카세트를 임시로 보관하는 역할을 한다. 제1 베이(100)의 내부에는 제1 인베이(in-bay) 반송라인(120)이 설치되어 있고, 제1,2,3 AGV(Auto Guided Vehicle, 91,92,93)가 상기 반송라인(120)을 따라 이동하면서 공정장비와 공정장비, 또는 공정장비와 스토커 사이에서 카세트를 반송한다.The first bay 100 includes a plurality of first processing equipment 110 and a first stocker (35), the first stocker (35) prevents contamination of the substrate due to fine dust or particles, Temporarily keeps the cassette. A first in-bay transport line 120 is installed inside the first bay 100, and the first, second, and third auto guided vehicles 91, 92, 93 (AGV) are provided on the transport line. Moving along 120, the cassette is conveyed between the process equipment and the process equipment, or between the process equipment and the stocker.

제1 STC(stocker controller, 30)는 이와 같은 구성을 가지는 제1 베이(100)에서, 카세트 반송을 총괄적으로 제어하는 장치로서, 카세트를 저장하는 제1 스토커(35)를 제어하는 한편, 제1 AGVC(AGV controller, 60)를 통해 제1,2,3 AGV(91,92,93)의 동작을 제어한다. 제1 AGVC(60)는 제1 STC(30)로부터 반송명령을 전송받아, 이를 해당 AGV에 전달하는 역할을 한다.The first STC (stocker controller) 30 is a device that collectively controls the conveyance of the cassette in the first bay 100 having such a configuration, and controls the first stocker 35 storing the cassette, The operation of the first, second, and third AGVs 91, 92, and 93 is controlled through an AGVC controller (AGVC) 60. The first AGVC 60 receives a return command from the first STC 30 and delivers it to the corresponding AGV.

도 1에서는 하나의 베이에 하나의 스토커와 하나의 STC가 설치된 모습을 도시하고 있으나, 경우에 따라서는 STC가 2이상 설치되는 경우도 있다. 하나의 베이에 STC가 2이상 설치되는 경우라도, 각 STC는 통상 하나의 AGVC에 연결되어 각 AGV에 반송명령을 전달하게 된다.In FIG. 1, one stocker and one STC are installed in one bay, but in some cases, two or more STCs may be installed. Even if two or more STCs are installed in one bay, each STC is normally connected to one AGVC to transmit a return command to each AGV.

제1 베이(100)의 구성은 제2,3 베이(200,300)의 경우에도 기본적으로 동일하므로, 제2 베이(200)도 다수의 공정장비(210)와, 제2 스토커(45)와, 제2 STC(40)와, 제2 AGVC(70)와, 제2 인베이 반송라인(220)과, 제4,5,6 AGV(94,95,96)를 포함하며, 제3 베이(300)도 다수의 공정장비(310)와, 제3 스토커(55)와, 제3 STC(50)와, 제3 AGVC(80)와, 제3 인베이 반송라인(320)과, 제7,8,9 AGV(97,98,99)를 포함한다.Since the configuration of the first bay 100 is basically the same in the case of the second and third bays 200 and 300, the second bay 200 also includes a plurality of process equipments 210, a second stocker 45, 2 includes a STC 40, a second AGVC 70, a second inbay conveying line 220, and fourth, fifth, and sixth AGVs 94, 95, 96, and a third bay 300. The plurality of process equipment 310, the third stocker 55, the third STC 50, the third AGVC 80, the third in-bay conveying line 320, 7, 8, 9 AGVs (97,98,99).

각 베이간에 카세트를 이동하기 위해서 인터베이(inter-bay) 반송라인(미도시)이 설치되는 경우도 있다.In some cases, an inter-bay transfer line (not shown) is provided to move the cassette between the bays.

한편 각 베이(100,200,300)에서 기판의 반송을 총괄하는 제1,2,3 STC (30,40,50)는 시스템 전체의 카세트 반송을 총괄하는 호스트 PC(20)에 의해 제어되며, 상기 호스트 PC(20)는 생산시스템 전체를 관할하는 오퍼레이터 PC(10)로부터 반송명령을 접수하여 이에 따라 반송을 총괄하는 역할을 한다.Meanwhile, the first, second, and third STCs 30, 40, and 50, which collectively transport the substrates in the bays 100, 200, and 300, are controlled by the host PC 20, which is in charge of the overall cassette transfer of the entire system. 20) receives a return instruction from the operator PC 10 that has jurisdiction over the entire production system, and plays a role in overseeing the return accordingly.

도 2는 이와 같은 구성의 기판 반송시스템을 블록도로 도시한 것으로서, 하나의 베이에 하나의 STC가 설치되는 경우를 전제로 한 것이다. 도면을 살펴보면, 생산 오퍼레이터가 시스템 전체에 반송을 지시하는 오퍼레이터 PC(10)가 최상위 계층에 위치하며, 하부에 호스트 PC(20), 제1,2,3 STC(30,40,50)가 순서대로 위치하며, 각 STC(30,40,50)의 하부에는 제1,2,3 AGVC(60,70,80)가 각 위치하고, 각 AGVC(60,70,80)의 하부에는 각 3개씩의 AGV가 위치한다.FIG. 2 is a block diagram showing a substrate transfer system having such a configuration, assuming that one STC is installed in one bay. Referring to the drawings, the operator PC 10 in which the production operator instructs the entire system to be returned is located at the top layer, and the host PC 20 and the first, second, and third STCs 30, 40, and 50 are located in the lower order. 1, 2, 3 AGVCs (60, 70, 80) are located at the bottom of each STC (30, 40, 50), and 3 each at the bottom of each AGVC (60, 70, 80). AGV is located.

이와 같은 구성을 가지는 반송시스템에서 반송이 이루어지는 플로우를 살펴보면, 먼저 생산 오퍼레이터가 오퍼레이터 PC(10)를 통해 해당 베이에 대한 반송명령을 입력 내지 등록하면, 호스트 PC(20)가 오퍼레이터 PC(10)로부터 상기 등록된 반송명령을 접수하여 해당 베이의 STC로 반송명령을 할당한다. STC는 다시 하부의 AGVC에 반송을 지시하고, AGVC는 AGV의 상태를 확인한 후 반송할 AGV를 지정하여 반송을 지시한다. Referring to the flow in which the conveyance is carried out in the conveying system having such a configuration, when the production operator first inputs or registers a conveying instruction for the corresponding bay through the operator PC 10, the host PC 20 receives the operator PC 10 from the operator PC 10. Accept the registered return order and assign a return order to the STC of the bay. The STC instructs the lower AGVC to return, and the AGVC instructs the return by designating the AGV to be returned after confirming the state of the AGV.

도 3은 기판 반송시스템 중 주요한 역할을 하는, 호스트 PC(20), 제1,2,3 STC(30,40,50), 제1,2,3 AGVC(60,70,80)의 상세 구성을 블록도로 도시한 것으로서, 모두 작업자의 조작을 위한 입출력부, 상하층 구성블록간의 데이터통신을 위한 통신부, 상기 입출력부와 통신부에 각 연결되어 전체적인 동작을 제어하는 제어부, 데이터의 저장을 위한 저장부를 포함하고 있다. 3 is a detailed configuration of the host PC 20, the first, second and third STCs 30, 40 and 50, and the first, second and third AGVCs 60, 70 and 80, which play a major role in the substrate transfer system. As a block diagram, all of the input and output unit for the operator's operation, the communication unit for data communication between the upper and lower constituent blocks, the control unit for controlling the overall operation is connected to each of the input and output unit and the communication unit, the storage unit for storing data It is included.

도 4는 제1 AGV(91)의 구성을 블록도로 도시한 것으로서, 상위계층인 제1 AGVC(60)의 구동명령이 전송되는 통신부와, 제어부와, 상기 제어부에 의해 제어되는 구동부를 포함하며, 이와 같은 구성은 다른 AGV에서도 동일하다.FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of the first AGV 91, and includes a communication unit to which a driving command of the first AGVC 60, which is an upper layer, is transmitted, a control unit, and a driving unit controlled by the control unit. This configuration is the same in other AGVs.

그런데 이상과 같은 기판 반송시스템에서는 제1 STC(30)는 제1 베이(100)내의 카세트 운송만을 제어하고, 제2 STC(40)는 제2 베이(200)내의 카세트 운송만을 제어하고, 제3 STC(50)는 제3 베이(300)내의 카세트 운송만을 제어하므로, 각 STC(30,40,50)가 다운되거나, 각 STC(30,40,50)와 하위 계층의 각 AGVC(60,70,80)간에 선로가 단선되는 등 장애가 발생하는 경우에는 해당 베이에서 카세트 반송이 불가능하게 된다. 또한 각 베이(100,200,300)의 내부에 2이상의 STC가 설치되는 경우에도, 베이내 모든 STC에 장애가 발생하면 역시 해당 베이내의 카세트 반송이 불가능하게 된다. However, in the above substrate transfer system, the first STC 30 controls only the cassette transportation in the first bay 100, and the second STC 40 controls only the cassette transportation in the second bay 200, and the third The STC 50 controls only the cassette transport in the third bay 300, so that each STC 30, 40, 50 is down, or each STC 30, 40, 50 and each AGVC (60, 70) of the lower layer. In the event of a failure such as disconnection of the track between 80 and 80, it is impossible to carry the cassette in the bay. In addition, even if two or more STCs are installed in each bay 100, 200, and 300, if all STCs in the bays fail, the cassettes in the bays may not be returned.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 어느 베이의 STC에 문제가 발생하더라도, 다른 베이를 관할하는 STC가 대신하여 그 베이의 반송을 관할할 수 있도록 하는 방안을 제공하는데 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and even if a problem occurs in the STC of any bay, an object of the present invention is to provide a way to allow the STC jurisdiction of the other bay to handle the transfer of the bay instead of .

본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, AGV가 이동하는 인베이(in-bay) 반송라인의 주위에 공정장비와, 카세트를 임시 보관하는 스토커가 배치되는 베이(bay)를 2 이상 포함하는 액정표시장치 생산시스템에서, 카세트 반송을 총괄하는 호스트 PC와; 상기 베이마다 1 대이상 배치되며, 상기 호스트 PC에 연결되어 각 베이내에서의 카세트 반송을 제어하는 STC와; 상기 베이마다 1 대씩 배치되며, 상기 STC로부터 반송명령을 접수받아, 각 베이내의 AGV를 제어하는 AGVC와; 상기 AGVC가 속하는 베이내의 모든 STC와 상기 AGVC를 연결하는 한편, 상기 AGVC가 속하지 아니하는 베이내의 STC 중 하나 이상의 STC와 상기 AGVC를 연결하는 통신선로를 포함하는 기판 반송시스템을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention includes two or more bays in which process equipment and a stocker for temporarily storing cassettes are disposed around an in-bay conveying line to which AGVs move. A liquid crystal display production system, comprising: a host PC in charge of conveying cassettes; At least one STC disposed in each bay, and connected to the host PC to control cassette transfer in each bay; An AGVC disposed in each bay and receiving a return instruction from the STC to control an AGV in each bay; It provides a substrate transfer system comprising a communication line connecting the AGVC and at least one STC of the STVC in the bay belonging to the AGVC belonging to the AGVC, belonging to the AGVC.

상기 호스트 PC는 상기 생산시스템의 오퍼레이터 PC로부터 반송명령을 접수받는다.The host PC receives a return instruction from the operator PC of the production system.

상기 AGVC는 2 이상의 AGV에 구동명령을 전송한다.The AGVC sends a drive command to two or more AGVs.

또한 본 발명은 상기의 기판 반송시스템에 있어서, 상기 호스트 PC에서 상기 각 STC로 반송명령을 전송하는 제1 단계와; 하나의 베이내에 있는 모든 STC에 장애가 발생하면, 상기 호스트 PC에서 다른 베이의 STC를 대체 STC로 지정하는 제2 단계와; 상기 대체 STC에서 장애가 발생한 베이의 AGVC에 반송명령을 전송하는 제3 단계를 포함하는 기판의 반송방법을 제공한다. In addition, the present invention provides a substrate transfer system, comprising: a first step of transmitting a transfer command from the host PC to each STC; If all STCs in one bay fail, a second step of designating an STC in another bay as an alternate STC in the host PC; And a third step of transmitting a transfer command to the AGVC of the failed bay in the replacement STC.

상기 대체 STC를 지정하는 단계의 이전 또는 이후에 상기 대체 STC의 장애 여부를 체크하는 단계를 더 포함한다.Checking whether the alternate STC fails before or after designating the alternate STC.

상기 대체 STC를 지정하는 단계 이후에, 상기 대체 STC에서도 장애가 발생하면 다른 STC를 다시 대체 STC로 지정하는 단계를 순차적으로 반복한다.After the step of designating the alternate STC, if a failure occurs in the alternative STC, the step of designating another STC as an alternative STC is sequentially repeated.

어느 STC에서 장애가 발생하면, 상기 호스트 PC에서 에러신호를 출력한다. If a failure occurs in any STC, the host PC outputs an error signal.

이하에서는 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the drawings will be described a preferred embodiment of the present invention;

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 반송시스템의 구성도로서, 각 베이에 하나의 STC가 설치되는 경우를 가정한 것이다. 이를 살펴보면, 생산 오퍼레이터가 반송시스템 전체에 대하여 반송을 지시하는 오퍼레이터 PC(10)가 최상위에 위치하며, 하부에는 오퍼레이터 PC(10)에 등록된 반송명령을 접수하고 각 베이의 STC로 반송명령을 할당하는 호스트 PC(20), 각 베이에서의 반송을 총괄하는 제1,2,3 STC(30,40,50)가 순서대로 위치한다.5 is a configuration diagram of a substrate transfer system according to an exemplary embodiment of the present invention, and assumes that one STC is installed in each bay. Looking at this, the operator PC 10 in which the production operator instructs the conveyance to the entire conveying system is located at the top, and the lower part receives the conveyance order registered in the operator PC 10 and assigns the return order to the STC of each bay. The host PC 20, and the first, second, and third STCs 30, 40, and 50, which collectively carry the conveyances in each bay, are sequentially placed.

STC(30,40,50)의 각 하부에는 제1,2,3 AGVC(60,70,80)가 각 위치하고, 각 AGVC(60,70,80)의 하부에는 3개씩의 AGV가 위치하는데, STC는 하부의 AGVC에 반송을 지시하고, AGVC는 AGV의 상태를 확인한 후 반송할 AGV를 지정하여 반송을 지시하는 역할을 한다. 베이의 개수와 베이별 AGV의 개수가 3개로 도시되어 있으나 이에 한정되는 것이 아님은 물론이다.First, second, and third AGVCs 60, 70, and 80 are positioned under each of the STCs 30, 40, and 50, and three AGVs are located below each of the AGVCs, 60, 70, and 80. The STC instructs the lower AGVC to return, and the AGVC instructs the return by designating the AGV to be returned after confirming the state of the AGV. The number of bays and the number of AGVs per bay are shown as three, but it is not limited thereto.

특히 각 STC(30,40,50)는 모든 AGVC(60,70,80)와 연결되는데, 제1 STC(30)는 제1 통신선로(410)를 통해, 제2 STC(40)는 제2 통신선로(420)를 통해, 제3 STC(50)는 제3 통신선로(430)를 통해 제1,2,3 AGVC(60,70,80)에 모두 연결되어 있다.In particular, each STC (30, 40, 50) is connected to all AGVC (60, 70, 80), the first STC 30 through the first communication line 410, the second STC 40 is the second Through the communication line 420, the third STC 50 is connected to all of the first, second, and third AGVCs 60, 70, and 80 through the third communication line 430.

이와 같이 하나의 AGVC가 다수의 STC에 연결되기 때문에, 해당 베이의 STC에 장애가 발생하더라도, 연결되어 있는 다른 STC가 대체 STC가 되어 장애가 발생한 베이의 AGVC를 컨트롤 할 수 있게 된다.Since one AGVC is connected to a plurality of STCs as described above, even if the STC of a corresponding bay fails, another STC connected to the other STC becomes an alternate STC to control the AGVC of the failed bay.

도 6은 반송 시스템의 중심적인 역할을 하는, 호스트PC(20), 제1,2,3 STC(30,40,50), 제1,2,3 AGVC(60,70,80)의 상세 블록도를 도시한 것으로서, 입출력부, 상하층 블록간의 데이터통신을 위한 통신부, 상기 입출력부와 통신부에 각 연결되어 전체적인 동작을 제어하는 제어부, 데이터의 저장을 위한 저장부를 포함하고 있다. 6 is a detailed block diagram of the host PC 20, the first, second and third STCs 30, 40 and 50, and the first, second and third AGVCs 60, 70 and 80, which play a central role in the transport system. As shown in the figure, the control unit includes an input / output unit, a communication unit for data communication between upper and lower layer blocks, a control unit connected to the input / output unit and the communication unit to control the overall operation, and a storage unit for storing data.

STC와 AGVC를 연결하는 제1,2,3 통신선로(410,420,430)는 각 구성블록의 통신부를 매개로 하여 연결되는데, 예를 들어 제1 통신선로(410)는 제1 STC(30)에 제1,2,3 AGVC(60,70,80)를 병렬로 연결하고 있다. 연결방식이 이에 한정되는 것은 아니므로, 제1 STC(30)와 제1 AGVC(60), 제1 STC(30)와 제2 AGVC(70), 제1 STC(30)와 제3 AGVC(80)를 각 연결하는 3개의 선로로 구성하는 것도 가능하다. 이는 제2, 3 통신선로(420,430)의 경우에도 같다.The first, second and third communication lines 410, 420 and 430 connecting the STC and the AGVC are connected through the communication unit of each component block. For example, the first communication line 410 is connected to the first STC 30 in a first manner. 2,3 AGVC (60, 70, 80) are connected in parallel. Since the connection method is not limited thereto, the first STC 30 and the first AGVC 60, the first STC 30 and the second AGVC 70, the first STC 30 and the third AGVC 80 are not limited thereto. It is also possible to configure the three lines connecting each). The same applies to the second and third communication lines 420 and 430.

도 7은 본 발명의 다른 실시예로서, 각 베이(100,200,300)에 STC가 2대가 설치된 경우를 도시한 것이다. 즉 제1 베이(100)에는 제1a, 1b STC(30a, 30b)가, 제2 베이(200)에는 제2a, 2b STC(40a, 40b)가, 제3 베이(300)에는 제3a, 3b STC(50a, 50b)가 배치되어 있으며, 제1a, 1b STC(30a, 30b)의 하부에는 제1 AGVC(60)가, 제2a, 2b STC(40a, 40b)의 하부에는 제2 AGVC(70)가, 제3a, 3b STC(50a, 50b)의 하부에는 제3 AGVC(80)가 각 위치한다.FIG. 7 illustrates a case in which two STCs are installed in each bay 100, 200, and 300 as another embodiment of the present invention. In other words, the first bay 100 has first 1a and 1b STCs 30a and 30b, the second bay 200 has 2a and 2b STCs 40a and 40b and the third bay 300 has 3a and 3b. The STCs 50a and 50b are disposed, and the first AGVC 60 is disposed below the first and secondb STCs 30a and 30b, and the second AGVC 70 is located below the second and secondb STCs 40a and 40b. ), The third AGVC 80 is located under each of the 3a, 3b STCs 50a, 50b.

또한 각 AGVC는 자신이 속하지 아니한 베이에 배치되는 STC 중에서 적어도 하나 이상의 STC와 연결되는데, 도면에서는 모든 STC와 연결되는 것을 도시하고 있다. 즉 제1a STC(30a)는 제1a 통신선로(410a)를 통해, 제1b STC(30b)는 제1b 통신선로(410b)를 통해, 제2a STC(40a)는 제2a 통신선로(420a)를 통해, 제2b STC(40b)는 제2b 통신선로(420b)를 통해, 제3a STC(50a)는 제3a 통신선로(430a)를 통해, 제3b STC(50b)는 제3b 통신선로(430b)를 통해, 제1,2,3 AGVC(60,70,80)에 모두 연결되어 있다.In addition, each AGVC is connected to at least one STC among the STCs arranged in the bay that does not belong to, the drawing shows that the connection to all STCs. That is, the first a STC 30a communicates with the first a communication line 410a, the first b STC 30b communicates with the first b communication line 410b, and the second a STC 40a communicates with the second a communication line 420a. Through the second b STC 40b through the second b communication line 420b, the third a STC 50a through the third a communication line 430a, and the third b STC 50b through the third b communication line 430b. Through, are connected to the first, second, third AGVC (60, 70, 80).

도 5에서도 설명한 바와 같이, 각 통신선로는 하나의 STC에 모든 AGVC(60,70,80)를 병렬로 연결하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니므로, 각 STC와 각 AGVC를 개별적으로 직접 연결하여도 무방함은 물론이다. As described in FIG. 5, each communication line connects all AGVCs 60, 70, and 80 in parallel to one STC, but is not limited thereto. Each STC and each AGVC may be directly connected directly. Of course it is okay.

이상과 같은 구성을 가지는 반송시스템을 통해서 기판의 반송이 이루어지는 플로우를 도 8을 참고로 하여 살펴보면 다음과 같다. 여기서는 도 6과 같이 각 베이내에 1대의 STC가 설치된 경우에 대하여 설명하나, 각 베이내에 2이상의 STC가 설치된 경우에도 마찬가지의 플로우가 적용된다.Referring to FIG. 8, a flow in which a substrate is conveyed through a conveying system having the above configuration is as follows. Here, a case where one STC is installed in each bay as shown in FIG. 6 will be described. However, the same flow applies when two or more STCs are installed in each bay.

먼저 생산 오퍼레이터가 오퍼레이터 PC(10)를 통해 해당 베이에 대한 반송명령을 입력 내지 등록하면, 호스트 PC(20)가 오퍼레이터 PC(10)에 등록된 반송명령을 접수하고(ST 10), 각 베이의 STC(30, 40, 50)로 반송명령을 할당하여 전송한다.(ST 11)First, when the production operator inputs or registers a return instruction for the corresponding bay through the operator PC 10, the host PC 20 receives the return instruction registered in the operator PC 10 (ST 10). Allocate a return instruction to the STCs 30, 40, and 50 (ST 11).

이때 호스트 PC(20)는 해당 베이의 STC에 장애가 발생하였는지 여부를 체크하게 되는데(ST 12), 제1 베이(100)에서의 반송을 관할하는 제1 STC(30)를 예를 들어 설명하면, 작동상태가 정상이라면 제1 STC(30)는 상기 호스트 PC(20)에서 전송된 명령에 따라 하위의 제1 AGVC(60)로 반송명령을 전송하고(st 13), 상기 제1 AGVC(60)는 그 명령에 따라 해당 AGV를 동작한다(st 14). At this time, the host PC 20 checks whether or not a failure has occurred in the STC of the corresponding bay (ST 12). Referring to the first STC 30 that manages the return from the first bay 100, for example, If the operating state is normal, the first STC 30 transmits a return command to the lower first AGVC 60 according to the command transmitted from the host PC 20 (st 13), and the first AGVC 60. Operates the corresponding AGV according to the command (st 14).

그러나 만일 제1 STC(30)에 다운 또는 통신 장애 등의 문제가 발생하게 되면, 호스트 PC(20)는 이를 감지하여 제2 STC(40) 또는 제3 STC(50) 중 하나를 대체 STC로 지정하며, 만일 제2 STC(40)를 대체 STC로 지정하였다면, 호스트 PC(20)는 제2 STC(40)에 제1 베이(100)에 대한 반송명령을 할당한다. 이때 호스트 PC(20)는 제1 STC(30)의 장애사실을 오퍼레이터 PC(10)로 전송하거나. 작업자가 확인할 수 있도록 디스플레이하는 것이 바람직하다.However, if a problem such as a down or communication failure occurs in the first STC 30, the host PC 20 detects this and designates one of the second STC 40 or the third STC 50 as an alternative STC. If the second STC 40 is designated as the alternative STC, the host PC 20 allocates a return instruction for the first bay 100 to the second STC 40. At this time, the host PC 20 transmits the fault fact of the first STC 30 to the operator PC 10. It is desirable to display them for operator confirmation.

이때 앞서와 마찬가지로 호스트 PC(20)는 제2 STC(40)에 대한 장애여부를 체크하게 되며(st 15). 정상상태라면 제2 STC(40)가 호스트 PC(20)로부터 반송명령을 전달받은 후 이를 제1 AGVC(60)로 전송하게 된다(st 16). 제1 AGVC(60)는 그 명령에 따라 해당 AGV를 동작한다(st 17).At this time, as before, the host PC 20 checks whether or not the second STC 40 has a failure (st 15). In the normal state, the second STC 40 receives the transfer command from the host PC 20 and transmits it to the first AGVC 60 (st 16). The first AGVC 60 operates the corresponding AGV according to the command (st 17).

만일 제2 STC(40)에서도 장애가 발생하였다면, 호스트 PC(20)는 제3 STC(50)를 제1,2 STC(30,40)에 대한 대체 STC로 지정하며, 이때 호스트 PC(20)는 제2 STC(40)의 장애사실을 오퍼레이터 PC(10)로 전송하거나. 작업자가 확인할 수 있도록 디스플레이한다. If the failure occurs in the second STC 40, the host PC 20 designates the third STC 50 as an alternative STC for the first and second STCs 30 and 40, and the host PC 20 Or transmits the failure of the second STC 40 to the operator PC 10. Display for operator confirmation.

또한 호스트 PC(20)는 제3 STC(50)에 대한 장애여부를 체크하고(st 18), 정상상태라면 제3 STC(50)가 호스트 PC(20)로부터의 반송명령을 제1,2 AGVC(60.70)로 각 전송하게 된다(st 19). 제1,2 AGVC(60, 70)는 그 명령에 따라 해당 AGV를 동작한다(st 20).In addition, the host PC 20 checks whether there is a failure for the third STC 50 (st 18), and if it is in a normal state, the third STC 50 sends a return instruction from the host PC 20 to the first and second AGVC. Each transmission is made to (60.70) (st 19). The first and second AGVCs 60 and 70 operate the corresponding AGV according to the command (st 20).

제3 STC(50)까지도 장애가 발생하였다면, 호스트 PC(20)는 에러신호를 출력하여, 오퍼레이터 PC(10)로 전송하거나, 작업자가 인지 가능한 방법으로 장애사실을 알려야 한다. If a failure occurs even up to the third STC 50, the host PC 20 should output an error signal and transmit the error signal to the operator PC 10, or notify the fact of the failure in a manner that an operator can recognize.

호스트 PC, STC, AGVC 간에 발생하는 이와 같은 반송명령의 전송이나, 대체 STC의 지정은 통신선로를 매개로 하여 이루어지며, 각 통신선로는 각 구성블록의 통신부와 연결되고, 이는 또한 각 구성블록의 제어부에 의해 제어됨을 알 수 있다.The transmission of such a return command generated between the host PC, the STC, and the AGVC, or the designation of an alternative STC is performed through a communication line, and each communication line is connected to the communication unit of each component block, It can be seen that the control by the controller.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 한정하여 설명하였으나, 당업자에 의해 다양하게 수정 또는 변경이 가능하므로, 이러한 수정이나 변경도 본 발명의 기술적 사상을 포함하고 있는 한 본 발명의 권리범위에 당연히 속한다고 할 것이다.In the above description, but limited to the preferred embodiment of the present invention, various modifications or changes can be made by those skilled in the art, such modifications or changes are naturally included in the scope of the present invention as long as it includes the technical idea of the present invention. something to do.

본 발명에 따르면, 어느 베이의 카세트 반송을 관할하는 STC에 문제가 발생하더라도, 다른 베이의 STC가 대체 역할을 수행할 수 있게 되므로, 반송 중단으로 인한 생산차질을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 반송 중단없이 STC의 버전업(version up)이나 정비를 할 수 있게 되어 생산성 향상에 기여할 수 있게 된다.According to the present invention, even if a problem occurs in the STC that controls the transfer of cassettes in one bay, the STCs in the other bays can play a substitute role, thereby preventing production disruption due to the transfer interruption, and also stopping the transfer. This allows for version up or maintenance of the STC without the need for increased productivity.

도 1은 액정표시장치 생산시스템의 개략적인 구성도1 is a schematic configuration diagram of a liquid crystal display production system

도 2는 종래의 기판 반송시스템 구성도2 is a block diagram of a conventional substrate transfer system

도 3은 종래의 기판 반송시스템의 상세 블록도3 is a detailed block diagram of a conventional substrate transfer system.

도 4는 AGV의 구성 블록도4 is a block diagram of an AGV

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 반송시스템 구성도5 is a configuration diagram of a substrate transfer system according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 반송시스템의 상세블록도6 is a detailed block diagram of a substrate transfer system according to an embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 반송시스템의 구성도7 is a configuration diagram of a substrate transfer system according to another embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 기판의 반송 흐름도 8 is a flow chart of a substrate according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10 : 오퍼레이터 PC 20 : 호스트 PC10: operator PC 20: host PC

30.40.50 : 제1,2,3 STC 35,45,55 : 제1,2,3 스토커30.40.50: 1st, 2nd, 3rd STC 35,45,55: 1st, 2nd, 3rd stocker

60,70,80：제1,2,3 AGVC PC 100,200,300 : 제1,2,3 베이 60,70,80: 1st, 2nd, 3rd AGVC PC 100,200,300: 1st, 2nd, 3rd bay

110,210,310 : 공정장비 120,220,320 : 인베이(in-bay) 반송라인110,210,310: Process Equipment 120,220,320: In-bay Return Line

410,420,430 : 제1,2,3 통신라인 410,420,430: First, second, third communication line

Claims

In a liquid crystal display production system including two or more bays in which a stocker for temporarily storing process equipment and cassettes is disposed around an in-bay return line to which AGVs move.

A host PC that oversees cassette delivery;

At least one STC disposed in each bay, and connected to the host PC to control cassette transfer in each bay;

An AGVC disposed in each bay and receiving a return instruction from the STC to control an AGV in each bay;

A communication line connecting the AGVC to all the STCs in the bay to which the AGVC belongs and connecting the AGVC to at least one of the STCs in the bay to which the AGVC does not belong.

Substrate conveying system comprising a

The method of claim 1,

The host PC is a substrate transfer system that receives a transfer command from the operator PC of the production system

The method of claim 1,

The AGVC is a substrate transfer system for transmitting a drive command to two or more AGVs

In the substrate transfer system of claim 1,

A first step of sending a return command from the host PC to each STC;

If all STCs in one bay fail, a second step of designating an STC in another bay as an alternate STC in the host PC;

A third step of transmitting a return command to the AGVC of the failed bay in the alternative STC;

Method of conveying the substrate comprising a

The method of claim 4, wherein

And checking the failure of the alternative STC before or after the step of designating the alternative STC.

The method according to claim 4 or 5,

After the step of specifying the alternative STC, if the failure in the alternative STC, the method of conveying the substrate sequentially repeating the step of specifying another STC to the replacement STC

The method of claim 4, wherein

Transfer method of a board outputting an error signal from the host PC when a failure occurs in a certain STC