KR20050047942A - Valve for precisely controlling a fluid flow - Google Patents
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Abstract
정밀 유체 흐름 제어 밸브를 제공한다. 본 발명은 몸체와, 상기 몸체 내에 설치된 캠과, 상기 캠에 연결된 모터와, 상기 몸체 내의 상기 캠의 하부에 위치하고, 상기 캠의 상하운동에 따라 같이 상하 운동하는 다이아프램과, 상기 다이아프램의 하부에 위치하는 유체 흐름 라인을 포함한다. 상기 캠은 상기 몸체 내에 설치된 요크캠과, 상기 요크캠에 연결된 캠축으로 구성될 수 있다. 상기 다이아프램이 상부로 이동하면 상기 몸체의 일측에 설치된 유체 주입구로부터 유체가 유입되어 상기 유체 흐름 라인을 따라 유체가 흘러 상기 몸체의 타측에 설치된 유체 배출구로 배출될 수 있다. 본 발명의 정밀 유체 흐름 제어 밸브는 주 제어기로부터 전기 신호를 받은 후 동작하는 데 소요되는 시간이 짧고, 다이아프램의 업다운 속도를 재현성 있고, 정밀하게 제어를 할 수 있다. Provides a precision fluid flow control valve. The present invention provides a body, a cam installed in the body, a motor connected to the cam, a diaphragm positioned below the cam in the body, and moving up and down in accordance with a vertical movement of the cam, and a lower portion of the diaphragm. It includes a fluid flow line located in. The cam may include a yoke cam installed in the body and a cam shaft connected to the yoke cam. When the diaphragm moves upward, the fluid may flow from the fluid inlet installed at one side of the body, and the fluid may flow along the fluid flow line and be discharged to the fluid outlet installed at the other side of the body. The precision fluid flow control valve of the present invention has a short time to operate after receiving an electric signal from the main controller, and can reproduce the up-down speed of the diaphragm accurately and precisely.
Description
본 발명은 밸브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 정밀하게 유체의 흐름을 제어할 수 있는 정밀 유체 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a valve, and more particularly to a precision fluid valve capable of precisely controlling the flow of the fluid.
일반적으로, 반도체 소자의 제조에는 사진 공정이 이용된다. 상기 사진 공정은 반도체 웨이퍼 상에 포토레지스트(유체)를 도포한 후, 상기 반도체 웨이퍼 상에 도포된 포토레지스트막을 노광 및 현상하는 공정이다. 상기 포토레지스트막의 도포에는 포토레지스트 도포 장치가 이용된다. Generally, a photo process is used for manufacture of a semiconductor element. The photo process is a process of exposing and developing a photoresist film applied on the semiconductor wafer after applying a photoresist (fluid) on the semiconductor wafer. A photoresist application apparatus is used for application | coating of the said photoresist film.
도 1은 종래 기술에 의한 포토레지스트 도포 장치를 설명하기 위한 개략도이다.1 is a schematic view for explaining a photoresist coating apparatus according to the prior art.
구체적으로, 주 조절기(main controller, 미도시)로부터 토출 신호가 솔레노이드 밸브(11)와 펌프(13)로 입력되면, 펌프(13)의 동작에 의해 포토레지스트 버틀(photoresist bottle, 15) 내의 포토레지스트(유체)는 가압됨과 동시에 솔레노이드 밸브(11)가 오프된다. 상기 솔레노이드 밸브(11)는 통상 온 상태로 유지하기 때문에 토출 신호가 입력되면 오프 상태가 된다. Specifically, when the discharge signal from the main controller (not shown) is input to the solenoid valve 11 and the pump 13, the photoresist in the photoresist bottle (15) by the operation of the pump 13 The fluid is pressurized and the solenoid valve 11 is turned off. Since the solenoid valve 11 is normally kept in an on state, the solenoid valve 11 is in an off state when a discharge signal is input.
상기 솔레노이드 밸브(11)가 오프 상태가 되면 가압되어 있던 에어(air)가 오프 라인(17)을 따라 제1 스피드 컨트롤러(first speed controller, 19) 및 제2 스피드 컨트롤러(21)를 작동시켜 각각 컷 오프 밸브(cut-off valve, 23) 및 석백 밸브(suckback valve, 25)를 열림 상태로 한다. 이에 따라, 상기 가압된 포토레지스트는 필터(27)를 거치고 상기 컷 오프 밸브(23) 및 석백 밸브(25)를 통과한 후 최종적으로 노즐(29)을 통해 반도체 웨이퍼 상에 토출된다. 상기 컷 오프 밸브(23)는 가압된 포토레지스트의 흐름을 온오프(on-off)하고, 상기 석백 밸브(25)는 포토레지스트 토출후 노즐(29)의 끝단[팁(tip)]에 존재하는 일정량의 포토레지스트를 흡입하여 흘림을 방지하는 기능을 한다. When the solenoid valve 11 is turned off, the pressurized air is cut along the off line 17 by operating the first speed controller 19 and the second speed controller 21. Cut-off valve 23 and suckback valve 25 are left open. Accordingly, the pressurized photoresist passes through the filter 27, passes through the cutoff valve 23 and the seat back valve 25, and is finally discharged onto the semiconductor wafer through the nozzle 29. The cut-off valve 23 turns on / off the flow of the pressurized photoresist, and the seat back valve 25 is present at the end of the nozzle 29 after discharging the photoresist. It absorbs a certain amount of photoresist and prevents spills.
그리고, 주 컨트롤러로부터 토출 중지 신호가 솔레노이드 밸브(11)와 펌프(13)로 입력되면 펌프(13)의 동작이 중지되고,이와 동시에 솔레노이드 밸브(11)가 온 된다. 이렇게 솔레노이드 밸브(11)가 온(on) 되면 온 라인(31)을 따라 제3 스피드 컨트롤러(33)를 동작시켜 컷 오프 밸브(23)를 닫힘 상태로 한다. 이에 따라, 포토레지스트 토출이 중단된다. When the discharge stop signal is input from the main controller to the solenoid valve 11 and the pump 13, the operation of the pump 13 is stopped, and at the same time, the solenoid valve 11 is turned on. When the solenoid valve 11 is turned on, the cutoff valve 23 is closed by operating the third speed controller 33 along the on-line 31. Accordingly, photoresist discharge is stopped.
그런데, 도 1의 포토레지스트 도포 장치에는 컷 오프 밸브가 사용된다. 상기 컷 오프 밸브는 앞서 설명한 바와 같이 에어에 의하여 작동하는 에어 동작 밸브이다. 상기 에어 동작 밸브의 구조에 대하여 도 2를 참조하여 자세히 설명한다.By the way, a cut-off valve is used for the photoresist application apparatus of FIG. The cut off valve is an air operated valve operated by air as described above. The structure of the air operation valve will be described in detail with reference to FIG. 2.
도 2는 종래 기술에 의한 에어 동작 밸브의 개략도이다.2 is a schematic view of an air operated valve according to the prior art.
구체적으로, 에어 동작 밸브는 몸체(101, body)와, 상기 몸체(101)의 일측에 에어 주입구(103, air inlet)가 설치되어 있다. 상기 몸체(101) 내에 에어 실린더(105, air cylinder)가 포함되어 있고, 상기 에어 실린더(105) 내에는 피스톤(107, piston)이 포함되어 있다. 상기 피스톤(107)의 하측에는 상기 피스톤(107)과 연결된 다이아프램(109, diaphragm)이 설치되어 있다. Specifically, the air operation valve is provided with a body 101 and an air inlet 103 at one side of the body 101. An air cylinder 105 is included in the body 101, and a piston 107 is included in the air cylinder 105. A diaphragm 109 connected to the piston 107 is provided below the piston 107.
상기 에어 실린더(105) 내부로 주입된 에어를 이용하여 피스톤(107)을 상하부로 이동시킬 수 있고, 상기 피스톤(107)의 상하부 이동에 따라 다이아프램(109)이 상하부로 이동하여 에어 동작 밸브의 온오프를 구현한다. 즉, 상기 다이아프램(109)이 상부로 이동하면 에어 동작 밸브가 열림 상태가 되면 유체 주입구(111)부터 유체가 주입되어 유체 배출구(113)로 유체가 배출된다. 도 2에 도시한 바와 같이 상기 다이아프램(109)이 아래로 이동하면 에어 동작 밸브가 닫힘 상태가 되어 유체 배출이 중지된다.The piston 107 may be moved up and down by using the air injected into the air cylinder 105, and the diaphragm 109 moves up and down according to the movement of the piston 107 up and down. Implement on and off. That is, when the diaphragm 109 moves upward, when the air operation valve is opened, the fluid is injected from the fluid inlet 111 and the fluid is discharged to the fluid outlet 113. As shown in FIG. 2, when the diaphragm 109 moves downward, the air operation valve is closed to stop the fluid discharge.
상기 에어 동작 밸브는 에어 실린더(105)를 작동시키기 위해서는 도 1에서 설명한 바와 같이 주 조절기에서 전기 신호를 솔레노이드 밸브(도 1의 11)에 보내 작동시키면 가압된 에어가 온 라인(도 1의 31)이나 오프 라인(도 1의 17)을 따라 에어 실린더(105) 내부로 유입되어 다이아프램(109)을 동작시켜 유체를 흐르게 하거나 차단하게 된다. In order to operate the air cylinder 105, the air operation valve sends an electric signal to the solenoid valve (11 in FIG. 1) by the main controller as described in FIG. 1 to operate the pressurized air on-line (31 in FIG. 1). In addition, it is introduced into the air cylinder 105 along the offline line (17 in FIG. 1) to operate the diaphragm 109 to flow or block the fluid.
그런데, 통상적인 솔레노이드 밸브(도 1의 11)의 동작 지연 시간은 40ms 정도이며, 에어 유입 라인의 단면적 및 굴곡 정도의 손실을 더하면 최종적으로 다이아프램(109)이 동작하는데 소요되는 지연 시간이 100ms이상 된다. 따라서, 상기 에어 동작 밸브는 초고정밀의 유체 흐름을 제어하는 데 적합하지 않다. 다시 말해, 초정밀 유체 흐름 제어에는 최종 제어 부분인 다이아프램(109)의 상하부 이동 동작이 재현성 있고 정밀해야 하나, 에어 실린더 구조를 이용할 경우에는 도 1에 도시한 스피드컨트롤러의 배기 속도로 에어 동작 밸브의 온오프를 구현하기 때문에 재현성 확보와 정밀한 제어가 불가능하다.By the way, the operation delay time of the conventional solenoid valve (11 in Fig. 1) is about 40ms, and if the loss of the cross-sectional area and the degree of bending of the air inlet line is added, the delay time required for the diaphragm 109 to operate finally is 100ms or more. do. Thus, the air operated valve is not suitable for controlling ultra high precision fluid flow. In other words, the high-precision fluid flow control requires a reproducible and accurate movement of the upper and lower parts of the diaphragm 109, which is the final control part. However, when the air cylinder structure is used, the air operation valve is operated at the exhaust speed of the speed controller shown in FIG. Implementing on and off prevents reproducibility and precise control.
더하여, 도 1의 포토레지스트 도포 장치에 있어서 포토레지스트(유체)를 토출 및 중지시킬 때 컷 오프 밸브의 열리고 닫히는 응답 속도 및 닫힘 속도의 제어에 정밀함이 요구된다. 그러나, 상기 컷 오프 밸브가 에어 조절 밸브이어서 공기를 이용하여 제어하기 때문에 온 라인이나 오프 라인(배관)의 단면적, 굴곡 정도 및 온도 등에 영향을 받아 정밀 제어가 불가능하다. In addition, in the photoresist application apparatus of Fig. 1, precision is required for controlling the opening and closing response speed and closing speed of the cut-off valve when discharging and stopping the photoresist (fluid). However, since the cut-off valve is an air regulating valve and controlled using air, precision control is not possible due to the cross-sectional area of the on-line or off-line (pipe), the degree of bending and the temperature.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 에어 동작 밸브가 가지고 있는 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로서, 지연 시간이 짧고 유체 흐름을 정밀하게 제어할 수 있는 정밀 유체 흐름 제어 밸브를 제공하는 데 있다.Accordingly, the present invention has been made in order to solve the conventional problems of air operated valves, and provides a precise fluid flow control valve capable of precisely controlling fluid flow with a short delay time. .
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 정밀 유체 흐름 제어 밸브는 몸체와, 상기 몸체 내에 설치된 캠과, 상기 캠에 연결된 모터와, 상기 몸체 내의 상기 캠의 하부에 위치하고, 상기 캠의 상하운동에 따라 같이 상하 운동하는 다이아프램과, 상기 다이아프램의 하부에 위치하는 유체 흐름 라인을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above technical problem, the precision fluid flow control valve of the present invention is located in the body, a cam installed in the body, a motor connected to the cam, and a lower portion of the cam in the body, It characterized in that it comprises a diaphragm to move up and down along the same, and a fluid flow line located below the diaphragm.
상기 캠은 상기 몸체 내에 설치된 요크캠과, 상기 요크캠에 연결된 캠축으로 구성될 수 있다. 상기 다이아프램이 상부로 이동하면 상기 몸체의 일측에 설치된 유체 주입구로부터 유체가 유입되어 상기 유체 흐름 라인을 따라 유체가 흘러 상기 몸체의 타측에 설치된 유체 배출구로 배출될 수 있다.The cam may include a yoke cam installed in the body and a cam shaft connected to the yoke cam. When the diaphragm moves upward, the fluid may flow from the fluid inlet installed at one side of the body, and the fluid may flow along the fluid flow line and be discharged to the fluid outlet installed at the other side of the body.
상기 모터에는 회전 속도를 낮추어 주는 역할을 수행하는 감속기가 연결되어 있을 수 있다. 상기 모터에는 상기 모터의 회전량을 디지탈 신호로 변경시키는 역할을 수행하는 엔코더가 연결되어 있을 수 있다. The motor may be connected to a reducer that serves to lower the rotation speed. The motor may be connected to an encoder that serves to change the amount of rotation of the motor into a digital signal.
이상과 같은 본 발명의 정밀 유체 흐름 제어 밸브는 다이아프램의 업다운 동작을 캠이 부착된 모터를 이용하여 수행하며, 주 제어기로부터 전기 신호를 받은 후 동작하는 데 소요되는 시간이 짧고, 다이아프램의 업다운 속도를 재현성 있고, 정밀하게 제어를 할 수 있다. 더하여, 본 발명의 정밀 유체 흐름 제어 밸브는 모터의 정밀 제어 기능과 속도 가감속의 유연함을 이용하여 보다 더 정밀한 유체 흐름 제어와 디지탈 제어 기능이 가능하다.The precision fluid flow control valve of the present invention as described above performs the up-down operation of the diaphragm using a motor with a cam, and the time required for operation after receiving an electric signal from the main controller is short, and the up-down of the diaphragm is performed. Speed is reproducible and precise control is possible. In addition, the precision fluid flow control valve of the present invention enables more precise fluid flow control and digital control function by utilizing the motor's precision control function and the flexibility of speed acceleration and deceleration.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 그러나, 다음에 예시하는 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 상술하는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되어지는 것이다. 도면에서 막 또는 영역들의 크기 또는 두께는 명세서의 명확성을 위하여 과장되어진 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, embodiments of the present invention illustrated below may be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. The embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. In the drawings, the size or thickness of films or regions is exaggerated for clarity.
도 3은 본 발명에 의한 정밀 유체 흐름 제어 밸브를 도시하기 위한 개략도이다. 3 is a schematic diagram for illustrating a precision fluid flow control valve according to the present invention.
구체적으로, 정밀 유체 흐름 제어 밸브는 몸체(201)와, 상기 몸체(201) 내에 캠(207)이 설치되어 있다. 상기 캠(207, Cam)은 상기 몸체(201) 내측에 설치된 요크캠(203, Yoke Cam)과, 상기 요크캠(203)에 연결된 캠축(205, Camshaft)으로 구성된다. 상기 캠(207)에는 감속기(209)와 모터(211), 예컨대 DC 모터가 연결되어 있다. 즉, 상기 캠(207)의 캠축(205)에 감속기(209)와 모터(211)가 연결되어 있다. 상기 감속기(209)는 모터(211)의 회전 속도를 낮추어주는 역할을 수행한다. 상기 캠축(205)이 회전할 때 요크캠(203)이 상하로 운동하게 된다. 다시 말해, 상기 캠축인 원동체가 회전함에 따라 종동체인 요크캠이 상하로 운동한다. Specifically, the precision fluid flow control valve is provided with a body 201 and a cam 207 in the body 201. The cams 207 and Cam include a yoke cam 203 installed inside the body 201 and a camshaft 205 connected to the yoke cam 203. The cam 207 is connected to a reducer 209 and a motor 211, for example, a DC motor. That is, the reduction gear 209 and the motor 211 are connected to the cam shaft 205 of the cam 207. The reducer 209 serves to lower the rotational speed of the motor 211. When the camshaft 205 rotates, the yoke cam 203 moves up and down. In other words, the yoke cam, which is the follower, moves up and down as the cam body, the cam shaft, rotates.
상기 모터(211)에는 차단기(213, breaker) 및 엔코더(215, encoder)가 연결되어 있다. 상기 차단기(213)는 과전류를 방지하기 위한 것이고, 상기 엔코더는 모터의 변위량, 예컨대 회전량 등을 주 제어기에 전달하기 위한 디지탈 신호로 변경시키는 역할을 수행한다. 상기 몸체(201) 내에 위치한 캠(207)의 하부에는 다이아프램(217)이 설치되어 있다. 다시 말해, 상기 요크캠(203)의 하부에 다이아프램(217)이 설치되어 상기 요크캠(203)이 상하로 이동함에 따라 다이아프램(217)도 상하로 이동한다. 다이아프램(217)이 상부로 이동하면 몸체(201)의 일측에 설치된 유체 주입구(219)로부터 유체, 예컨대 포토레지스트가 유입되어 화살표 방향으로 유체 흐름 라인(220)을 따라 유체가 흘러 상기 몸체(201)의 타측에 설치된 유체 배출구(221)로 배출된다. 상기 유체 흐름 라인(200)은 상기 다이아프램(217)의 하부에 위치한다. A breaker 213 and a breaker 215 and an encoder 215 are connected to the motor 211. The breaker 213 is for preventing overcurrent, and the encoder serves to change a displacement amount of the motor, for example, a rotation amount, to a digital signal for transmitting to the main controller. The diaphragm 217 is installed below the cam 207 located in the body 201. In other words, the diaphragm 217 is installed below the yoke cam 203 so that the diaphragm 217 also moves up and down as the yoke cam 203 moves up and down. When the diaphragm 217 moves upward, a fluid, for example, a photoresist, flows from the fluid inlet 219 installed at one side of the body 201 and flows along the fluid flow line 220 in the direction of the arrow so that the body 201. Is discharged to the fluid outlet 221 provided on the other side of the). The fluid flow line 200 is located below the diaphragm 217.
상기 정밀 유체 흐름 제어 밸브는 다이아프램(217)의 업다운 동작을 캠(207)이 부착된 모터(211)를 이용하여 수행하며, 상기 다이아프램(217)의 업다운(up-down)에 따라 유체의 흐름을 정밀하게 제어한다. 상기 정밀 유체 흐름 제어 밸브는 주 제어기(미도시)로부터 전기 신호를 받은 후 동작하는 데 소요되는 시간이 10ms로 짧으며, 다이아프램의 업다운 속도를 재현성 있고, 정밀하게 제어가 가능하며 속도 변환이 자유롭게 할 수 있다.The precision fluid flow control valve performs the up-down operation of the diaphragm 217 by using the motor 211 with the cam 207 attached thereto, and according to the up-down of the diaphragm 217, Precisely control the flow. The precision fluid flow control valve has a short time to operate after receiving an electrical signal from a main controller (not shown) as 10ms, and can reproduce the up-down speed of the diaphragm accurately, precisely control the speed, and freely change the speed. can do.
일반적으로 다이아프램을 업다운(상하이동) 하기 위해서는 모터의 회전 방향이 정 방향에서 역 방향으로 바뀌어야 하며, 모터의 회전이 정 방향에서 역 방향으로 바뀌기 위해서는 모터의 회전이 완전히 정지되어야 하기 때문에 지연 시간이 발생될 수 밖에 없다. 그러나, 본 발명의 정밀 유체 흐름 제어 밸브는 모터의 축에 캠을 설치하여 모터는 항상 한 방향으로 회전만 하면 되므로 정밀한 제어가 가능하다.In general, in order to up and down the diaphragm, the rotational direction of the motor must be changed from the forward direction to the reverse direction.In order to change the rotation of the motor from the forward direction to the reverse direction, the rotation time of the motor must be completely stopped. It must be generated. However, in the precision fluid flow control valve of the present invention, a cam is installed on the shaft of the motor, so that the motor only needs to rotate in one direction at all times, thereby enabling precise control.
더하여, 종래의 에어 동작 밸브는 닫힘 속도를 정밀하게 가감속하기 위해서는 스피드 컨트롤러를 미세하게 조정하여야 하기 때문에 정밀 제어를 위해 숙련된 기능이 필요하고 제어의 재현성이 떨어져 정밀한 유체 흐름 제어가 불가능하다. 그러나, 본 발명의 정밀 유체 흐름 제어 밸브는 모터의 정밀 제어 기능과 속도 가감속의 유연함을 이용하여 보다 더 정밀한 유체 흐름 제어와 디지탈 제어 기능이 가능하여 숙련된 기능을 요구하지 않는다. In addition, the conventional air operation valve requires a fine adjustment of the speed controller in order to precisely accelerate and decelerate the closing speed, and therefore requires an expert function for precise control, and it is impossible to precisely control the fluid flow due to poor reproducibility of control. However, the precision fluid flow control valve of the present invention enables more precise fluid flow control and digital control functions using the precision control function of the motor and the flexibility of the speed acceleration / deceleration, and thus does not require skilled functions.
도 4 및 도 5는 본 발명에 의한 정밀 유체 흐름 제어 밸브의 동작 관계를 설명하기 위한 개략도이다. 도 4 및 도 5에서, 도 3과 동일한 참조번호는 동일한 부재를 나타낸다. 4 and 5 are schematic diagrams for explaining the operation relationship of the precision fluid flow control valve according to the present invention. In Figs. 4 and 5, the same reference numerals as in Fig. 3 denote the same members.
구체적으로, 도 4는 정밀 유체 흐름 제어 밸브가 닫힌 상태를 나타내고, 도 6은 정밀 유체 흐름 제어 밸브가 열린 상태를 나타낸다. 도 5는 캠(207)과 맞물려 있는 모터가 시계방향으로 반 바퀴 회전함에 따라 다이아프램(217)이 위로 이동되어(업되어) 정밀 유체 흐름 제어 밸브가 최대 오픈 상태가 된다. 즉, 도 5에서는 다이아프램(217)이 위로 이동되어 유체가 유체 주입구(219)로부터 주입되어 화살표 방향으로 유체 흐름 라인(220)을 따라 유체가 흘러 유체 배출구(221)로 배출된다. Specifically, FIG. 4 shows a state where the precision fluid flow control valve is closed, and FIG. 6 shows a state where the precision fluid flow control valve is opened. 5 shows that the diaphragm 217 is moved up (up) as the motor engaged with the cam 207 rotates counterclockwise to bring the precision fluid flow control valve to its maximum open state. That is, in FIG. 5, the diaphragm 217 is moved upward so that the fluid is injected from the fluid inlet 219 and the fluid flows along the fluid flow line 220 in the direction of the arrow and is discharged to the fluid outlet 221.
이에 반하여, 도 4는 도 5의 상태에서 캠(207)과 맞물려 있는 모터가 시계방향으로 다시 반 바퀴 회전함으로써 정밀 유체 흐름 제어 밸브가 완전히 닫힘 상태가 된다. 즉, 도 4에서는 다이아프램(217)이 아래로 이동되어 유체가 주입되더라도 유체가 유체 배출구(221)로 배출되지 못한다. In contrast, FIG. 4 shows that the precision fluid flow control valve is completely closed because the motor engaged with the cam 207 in the state of FIG. That is, in FIG. 4, even when the diaphragm 217 is moved downward and the fluid is injected, the fluid is not discharged to the fluid outlet 221.
상술한 바와 같이 본 발명의 정밀 유체 흐름 제어 밸브는 다이아프램의 업다운 동작을 캠이 부착된 모터를 이용하여 수행하며, 상기 다이아프램의 업다운에 따라 유체의 흐름을 정밀하게 제어한다. 이에 따라, 본 발명의 정밀 유체 흐름 제어 밸브는 주 제어기로부터 전기 신호를 받은 후 동작하는 데 소요되는 시간이 짧고, 다이아프램의 업다운 속도를 재현성 있고, 정밀하게 제어를 할 수 있다.As described above, the precision fluid flow control valve of the present invention performs the up-down operation of the diaphragm using a motor with a cam, and precisely controls the flow of the fluid according to the up-down of the diaphragm. Accordingly, the precision fluid flow control valve of the present invention has a short time required to operate after receiving an electrical signal from the main controller, and can accurately and precisely control the up-down speed of the diaphragm.
더하여, 본 발명의 정밀 유체 흐름 제어 밸브는 모터의 정밀 제어 기능과 속도 가감속의 유연함을 이용하여 보다 더 정밀한 유체 흐름 제어와 디지탈 제어 기능이 가능하다. In addition, the precision fluid flow control valve of the present invention enables more precise fluid flow control and digital control function by utilizing the motor's precision control function and the flexibility of speed acceleration and deceleration.
도 1은 종래 기술에 의한 포토레지스트 도포 장치를 설명하기 위한 개략도이다.1 is a schematic view for explaining a photoresist coating apparatus according to the prior art.
도 2는 종래 기술에 의한 에어 동작 밸브의 개략도이다.2 is a schematic view of an air operated valve according to the prior art.
도 3은 본 발명에 의한 정밀 유체 흐름 제어 밸브를 도시하기 위한 개략도이다. 3 is a schematic diagram for illustrating a precision fluid flow control valve according to the present invention.
도 4 및 도 5는 본 발명에 의한 정밀 유체 흐름 제어 밸브의 동작 관계를 설명하기 위한 개략도이다.4 and 5 are schematic diagrams for explaining the operation relationship of the precision fluid flow control valve according to the present invention.
Claims (5)
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