KR100812560B1

KR100812560B1 - Flow control valve

Info

Publication number: KR100812560B1
Application number: KR1020057016706A
Authority: KR
Inventors: 야스이 히로토; 히라코 야스시; 카고하시 히로시; 스가타 카즈히로
Original assignee: 씨케이디 가부시키 가이샤
Priority date: 2005-09-07
Filing date: 2003-03-07
Publication date: 2008-03-13
Also published as: KR20050106096A

Abstract

열린 상태에 있는 경우 피스톤의 정지 위치를 접합하여 결정하는 것에 의하여 유량 조정이 행하여지는 것이고, 이로 인해 유량 조정을 원격으로 정확하게 행하는 것이 가능한 유량 제어 밸브에 관한 것이다. 닫힌 상태에 있는 경우는, 리턴 스프링(20, 21)의 힘이 피스톤(22)에 작용하는 것에 의하여, 격판(24)이 밸브 시트(54)와 밀접하게 된다. 여기에서, 조종실(55)의 내부에 압축 공기를 공급할 때, 피스톤(22)이 이동하는 경우에, 격판(24)이 밸브 시트(54)로부터 떨어진다. 그 후, 피스톤(22)이 너트(19)에 접합하는 것에 의하여, 격판(24)이 정지하고, 격판(24)과 밸브 시트(54)와의 틈이 고정되어, 열린 상태로 된다. 물론, 서보 모터(11)등으로써, 너트(19)를 임의의 위치까지 이동시키는 것이 가능한 경우에, 너트(19)에 피스톤이 접합한 위치를 변경하는 것이 가능하다.When it is in an open state, flow rate adjustment is performed by joining and determining the stop position of a piston, and this is related with the flow control valve which can perform flow rate adjustment remotely and correctly. When it is in the closed state, the diaphragm 24 comes in close contact with the valve seat 54 by the force of the return springs 20 and 21 acting on the piston 22. Here, when supplying compressed air to the inside of the cockpit 55, when the piston 22 moves, the diaphragm 24 falls from the valve seat 54. After that, when the piston 22 is joined to the nut 19, the diaphragm 24 stops, and the clearance gap between the diaphragm 24 and the valve seat 54 is fixed, and it becomes an open state. Of course, when the nut 19 can be moved to an arbitrary position by the servo motor 11 or the like, it is possible to change the position where the piston is joined to the nut 19.

서보 모터, 피스톤, 격판 Servo motor, piston, diaphragm

Description

Flow Control Valve {FLOW CONTROL VALVE}

본 발명은, 압축 공기의 압력이 용수철의 힘에 대항하는 것에 의하여 열린 상태로 이행, 열린 상태를 유지하는 유량 제어 밸브인 것으로, 특히, 반도체 제조 장치에 사용되는 것에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow rate control valve which shifts to an open state and maintains an open state when the pressure of compressed air is opposed to a force of a spring, and particularly relates to a semiconductor manufacturing apparatus.

종래, 유량 제어 밸브의 하나로써, 예를 들면, 특개평 7-253170호 공보에 기재된 유량 제어 밸브가 있다. 제 4도에서, 이와 같은 유량 제어 밸브 100의 단면도를 도시한다. 유량 제어 밸브 100는 입력 포트 121 및 출력 포트 122가 좌우에 형성되어 있는 저면 120를 가지고, 그 상방에는 제 1 조작 포트 131가 형성된 중간체 130가 단단하게 설치되어있고, 그 상방에, 제 2 조작 포트 141가 형성된 조정 나사 142가 장착된 상면 140가 고정되어 전체 형상을 만들고 있다.Conventionally, as one of the flow control valves, there is a flow control valve described in Japanese Patent Laid-Open No. 7-253170. In FIG. 4, a sectional view of such a flow control valve 100 is shown. The flow control valve 100 has a bottom face 120 having an input port 121 and an output port 122 formed on the left and right sides thereof, and an intermediate body 130 on which the first operation port 131 is formed is firmly installed above the second operation port. The upper surface 140 with the adjusting screw 142 having 141 formed thereon is fixed to form the overall shape.

저면 120에는 도면 중 왼쪽 방향의 입력 포트 121 및 도면 중 오른쪽 방향의 출력 포트 122에 더하여, 중앙에 고리 형상의 밸브 시트 101가 형성되어 있다. 밸브 시트 101의 내부 A는 입력 포트 121와 연결되고, 밸브 시트 101의 외부 B는 출력 포트 122와 연결되어 있다. 밸브 몸체 102가 밸브 시트 101에 접촉하는 것에 의하여 입력 포트 121 및 출력 포트 122가 차단되고, 밸브 몸체 121가 밸브 시트 101로부터 떨어지는 것에 의하여 양 포트 121, 122가 연결된다. In the bottom 120, in addition to the input port 121 in the left direction in the figure and the output port 122 in the right direction in the figure, an annular valve seat 101 is formed in the center. The inner A of the valve seat 101 is connected to the input port 121 and the outer B of the valve seat 101 is connected to the output port 122. The input port 121 and the output port 122 are blocked by the valve body 102 contacting the valve seat 101, and both ports 121 and 122 are connected by the valve body 121 falling off the valve seat 101.

중간체 130는 저면의 중앙부 상방에 단단히 설치되는 대략 원주 형상의 부재이다. 중간체 130에는, 제 1 조작 포터 131가 형성되어 있는 것에 더하여, 내부에는 작은 직경의 실린더 132 및 큰 직경의 실린더 133가 형성되어 있다. 중간체 130의 내부에는, 거의 원주 형상의 피스톤 150이 상하 방향으로 접어 움직이는 것이 가능하도록 끼워져 있다. 피스톤 150은, 중앙의 큰 직경 부분 151, 그 하방의 하부 작은 직경 부분 152 및 큰 직경 부분 151의 상방의 상부 작은 직경 부분 153을 구비하고 있다. 큰 직경 부분 151은 중간체 130의 큰 직경 실린더 133에, 하부 작은 직경 부분 152은 작은 실린더 132에 각각 밀폐되어 끼워져 있다. 그런데, 큰 직경 부분 151의 하면 154 및 중간체 130에 의하여 제 1 조작실 134이 구획된다. 제 1 조작실 134에는, 중간체 130의 제 1 조작 포트 131가 열려 있고, 제 1 조작 포트 131를 통하여, 제 1 조작실 134에 공기압을 인가하거나 개방하는 것이 가능하다. 제 1 조작실 134에 공기압이 인가될 때, 피스톤 150은 상방으로 밀어올려진다.The intermediate body 130 is a substantially cylindrical member that is firmly installed above the central portion of the bottom face. In addition to the first operation porter 131, the intermediate body 130 has a small diameter cylinder 132 and a large diameter cylinder 133 formed therein. Inside the intermediate body 130, a substantially cylindrical piston 150 is fitted so as to be able to fold upward and downward. The piston 150 is equipped with the central large diameter part 151, the lower small diameter part 152 below, and the upper small diameter part 153 above the large diameter part 151. As shown in FIG. The large diameter portion 151 is hermetically fitted to the large diameter cylinder 133 of the intermediate body 130, and the lower small diameter portion 152 is sealed to the small cylinder 132, respectively. By the way, the 1st operating room 134 is partitioned by the lower surface 154 and the intermediate body 130 of the large diameter part 151. FIG. The first operation port 131 of the intermediate body 130 is opened in the first operation chamber 134, and it is possible to apply or open air pressure to the first operation chamber 134 via the first operation port 131. When air pressure is applied to the first operating chamber 134, the piston 150 is pushed upward.

피스톤 150의 하부 작은 직경 부분 152의 하단에는, 밸브 본체 102가 설치되어 있다. 밸브 본체 102의 주변부는 격판 156으로 되어 있고 그 주변 가장자리는 저면 120 및 중간체 130에 끼워져 있다. 밸브 본체 120는, 피스톤 150의 상하 움직임에 따라 이동하고, 저면 120의 밸브 시트 101에 떨어지거나 접촉한다. 밸브 본체 102가 밸브 시트 101에 접촉할 때 입력 포트 121 및 출력 포트 122가 차단되고, 밸브 본체 102가 밸브 시트 101로부터 떨어질 때 양 포트 121, 122가 연결된다. At the lower end of the lower small diameter portion 152 of the piston 150, a valve body 102 is provided. The periphery of the valve body 102 is diaphragm 156 and its peripheral edge is fitted to the bottom 120 and the intermediate body 130. The valve body 120 moves in accordance with the vertical movement of the piston 150 and falls or contacts the valve seat 101 of the bottom surface 120. The input port 121 and the output port 122 are blocked when the valve body 102 contacts the valve seat 101, and both ports 121 and 122 are connected when the valve body 102 is separated from the valve seat 101.

상면 140은, 중간체 130의 상방에 단단하게 설치되는 거의 원주 형상의 부재이다. 상면 140에는, 제 2 조작 포트 141가 형성되어 있는 것에 더하여, 중앙에 구 멍 143이 관통하여 형성되어 있다. 피스톤 150의 상부 작은 직경 부분 153이, 상면 140의 구멍 143에 끼워져 있다. 큰 직경 부분 151의 상면 155, 중간체 130 및 상면 140에 의하여 제 2 조작실 144이 구획된다. 제 2 조작실 144에는, 상면 140의 제 2 조작 포트 141가 열려 있어, 제 2 조작 포트 141를 통하여 제 2 조작실 144에 공기압을 인가하거나 개방하는 것이 가능하다. 제 2 조작실 144에 공기압이 인가될 때, 피스톤 150은 하방으로 눌려진다. 또한, 상면 140에는, 스프링 홈 145이 형성되어 있고, 피스톤 150의 상면 155 및 스프링 홈 145과의 사이에는 리턴 스프링 146이 끼워져 있다. 리턴 스프링 146은 피스톤 150을 하방으로 누르고 있다.The upper surface 140 is a substantially cylindrical member that is firmly provided above the intermediate body 130. In addition to the second operation port 141 being formed on the upper surface 140, the hole 143 penetrates and is formed in the center. The upper small diameter portion 153 of the piston 150 is fitted into the hole 143 of the upper surface 140. The second operating room 144 is partitioned by the upper surface 155, the intermediate body 130, and the upper surface 140 of the large diameter portion 151. The second operation port 141 of the upper surface 140 is opened in the second operation chamber 144, and it is possible to apply or open air pressure to the second operation chamber 144 via the second operation port 141. When air pressure is applied to the second operating chamber 144, the piston 150 is pressed downwards. Moreover, the spring groove 145 is formed in the upper surface 140, and the return spring 146 is pinched | interposed between the upper surface 155 of the piston 150, and the spring groove 145. As shown in FIG. Return spring 146 presses piston 150 downwards.

상면 140의 구멍 143의 상부 절반 부분에는 나사 구멍이 잘려져 있다. 이 부분에는 조정 나사 142가 장착된다. 조정 나사 142는, 그 하단 147에 피스톤 150의 상방향으로의 이동을 규제하도록 되어 있다. 조정 나사 142를 회전하여 그 하단 147의 높이를 변화시킬 때, 피스톤 150의 정지 위치도 바꾸도, 밸브를 여는 때에 밸브 몸체 102 및 밸브 시트 101의 거리를 조절하는 것이 가능하다. 조정 나사 142가 사용하지 않을 때 움직이지 않도록, 고정 나사 148로 고정하는 것이 가능하다. A screw hole is cut in the upper half of the hole 143 of the upper surface 140. This part is fitted with an adjustment screw 142. The adjusting screw 142 is configured to restrict the upward movement of the piston 150 at the lower end 147 thereof. When the adjustment screw 142 is rotated to change the height of the lower end 147, it is possible to adjust the distance between the valve body 102 and the valve seat 101 when opening the valve even if the stop position of the piston 150 is also changed. It is possible to fix with the set screw 148 so that the adjusting screw 142 does not move when not in use.

다음으로, 상기 구성을 가지는 유량 제어 밸브 100의 작용을 설명한다. 유량 제어 밸브 100는, 제 1 조작 포트 131 또는 제 2 조작 포트 141에 공기압을 인가하는 것에 의하여 조작된다. 이 공기압의 공급 수단은, 압축 공기 봄베 및 공기압 펌프의 어떤 것이 바람직하다. Next, the operation of the flow control valve 100 having the above configuration will be described. The flow control valve 100 is operated by applying air pressure to the first operation port 131 or the second operation port 141. The supply means for this air pressure is preferably any of a compressed air cylinder and a pneumatic pump.

또한 제 1 조작 포트 131 및 제 2 조작 포트 141 어느 쪽도 공기압을 인가하지 않는 상태에 있는 것이 고려된다. 이 상태에서는 피스톤 150은, 리턴 스프링 146에 의하여 힘을 얻는다. 그러므로 피스톤 150은, 하단에 설치된 밸브 본체 102가 밸브 시트 101에 접촉하는 때까지 하방으로 이동되어 있다. 이 상태에서는, 밸브 시트 101 및 밸브 본체 102가 접촉하는 것에 의하여, 입력 포트 121 및 출력 포트 122의 연결이 차단되고, 유량 제어 밸브 100는 닫힌다. It is also contemplated that neither the first operation port 131 nor the second operation port 141 is in a state where no air pressure is applied. In this state, the piston 150 is to obtain a force by the return spring 146. Therefore, the piston 150 is moved downward until the valve main body 102 provided at the lower end contacts the valve seat 101. In this state, the connection between the input port 121 and the output port 122 is interrupted by the contact between the valve seat 101 and the valve body 102, and the flow control valve 100 is closed.

제 1 조작 포트 131에 공기압을 인가할 때, 유량 제어 밸브 100의 제 1 조작실 134이 고압으로 된다. 이로 인하여, 피스톤 150은, 상방으로 밀어올려진 리턴 스프링 146의 힘에 대항하여, 상단이 조정 나사의 하단에 접촉할 때까지 이동하여 정지한다. 이로 인하여, 밸브 본체 102 및 피스톤 150이 함께 상방으로 이동하고, 밸브 시트 101 및 밸브 본체 102의 사이에 간격이 형성되고, 입력 포트 121 및 출력 포트 122가 연결되어, 유량 제어 밸브 100는 열린다.When air pressure is applied to the first operation port 131, the first operation chamber 134 of the flow control valve 100 becomes a high pressure. For this reason, the piston 150 moves and stops until the upper end contacts the lower end of the adjustment screw against the force of the return spring 146 pushed upwards. Thus, the valve body 102 and the piston 150 move upward together, a gap is formed between the valve seat 101 and the valve body 102, the input port 121 and the output port 122 are connected, and the flow control valve 100 is opened.

이 상태에서, 조정 나사 142를 조작하여 하단 147의 위치를 변경할 때, 피스톤 150의 정지 위치가 변경되고, 유량 제어 밸브 100가 열린 상태에 있는 경우에 밸브 시트 101 및 밸브 본체 102의 간격을 조정하여 유량 조정을 행하는 것이 가능하다. In this state, when the position of the lower end 147 is operated by operating the adjusting screw 142, the stop position of the piston 150 is changed, and the gap between the valve seat 101 and the valve body 102 is adjusted when the flow control valve 100 is in the open state. It is possible to perform flow rate adjustment.

제 1 조작 포트 131에 공기압의 공급을 정지하고, 제 1 조작실 134의 압력을 개방할 때, 유량 제어 밸브 100는 리턴 스프링 146의 힘에 의하여 다시 닫히게 된다. 이때, 제 2 조작 포트 141에 공기압을 인가할 때, 제 2 조작실 144이 고압으로 된다. 이 압력이 리턴 스프링 146의 힘을 도와 피스톤 150을 하방으로 눌러, 닫힌 밸브 동작이 더 확실해진다. When the supply of air pressure to the first operation port 131 is stopped and the pressure in the first operation chamber 134 is released, the flow control valve 100 is closed again by the force of the return spring 146. At this time, when air pressure is applied to the second operation port 141, the second operation chamber 144 becomes a high pressure. This pressure assists the force of the return spring 146 to push the piston 150 downward, making the closed valve operation more secure.

그러나, 도 4의 유량 제어 밸브 100의 유량 조정은, 조정 나사 142를 수동으 로 돌리는 것에 의하여, 피스톤 150의 상단이 접촉하는 조정 나사 142의 하단 147의 위치를 바꾸고, 열린 상태에 있는 경우에 피스톤 150의 정지 위치를 바꾸는 것에 의하여 원격으로 높은 정확성을 얻는 제어가 불가능하였다. However, the flow rate adjustment of the flow control valve 100 of FIG. 4 changes the position of the lower end 147 of the adjustment screw 142 which the upper end of the piston 150 contacts by turning the adjustment screw 142 manually, and when it is in an open state, By changing the stop position of the 150 it was not possible to achieve high accuracy remotely.

특히, 반도체 제조 장치에 있어서는, 원격으로 높은 정확성을 가지고 유량 제어를 하는 것이 요구되기 때문에, 도 4의 유량 제어 밸브 100를 반도체 제조 장치에 사용할 수 없는 문제점이 있었다.In particular, in the semiconductor manufacturing apparatus, since it is required to control the flow rate with high accuracy remotely, there is a problem that the flow control valve 100 of FIG. 4 cannot be used in the semiconductor manufacturing apparatus.

또한, 도 5는, 도 4의 유량 제어 밸브 100의 제 1 조작 포트 131에 대하여, 표준의 닫힌 흡기 비례 밸브 161 및 표준의 닫힌 배기 비례 밸브 162를 제어 기판 163에서 제어하는 전공(electropneumatic) 조절부 160를 설치한 것을 도시하는데, 이 점, 도 5의 유량 제어 밸브 100에서는 전공 조절부 160를 끼우고, 제 1 조작 포트 131에 공기압을 인가, 개방하는 것에 의하여, 열린 상태, 닫힌 상태로 이행된다. 그러므로, 표준의 닫힌 흡기 비례 밸브 161를 열 때와 표준의 닫힌 배기 비례 밸브 162를 닫을 때, 제 1 조작실 134에 공기압이 공급 인가되어, 개방 상태로의 이행, 유지가 이루어진다. 그러나, 이때, 전류가 통하지 않게 될 때, 표준의 닫힌 흡기 비례 밸브 161 및 표준의 닫힌 배기 비례 밸브 162의 어느 쪽도 닫히고, 제 1 조작실 134의 공기압이 유지되고, 상태에 따라서 또는 장소에 따라서, 열린 상태가 유지되기 때문에, 제어 유체의 유출이 계속되는 문제가 있었다. 5 is an electropneumatic control unit which controls the standard closed intake proportional valve 161 and the standard closed exhaust proportional valve 162 from the control board 163 with respect to the first operation port 131 of the flow control valve 100 of FIG. 4. In this embodiment, the flow control valve 100 in FIG. 5 is fitted with the electro-regulator 160, and the air pressure is applied to the first operation port 131 to open it. . Therefore, when the standard closed intake proportional valve 161 is opened and the standard closed exhaust proportional valve 162 is closed, air pressure is supplied to the first operating chamber 134 so that the transition to the open state is maintained. However, at this time, when no current flows, either the standard closed intake proportional valve 161 and the standard closed exhaust proportional valve 162 are closed, and the air pressure in the first operating room 134 is maintained, depending on the state or location. There was a problem that the outflow of the control fluid continued because the open state was maintained.

특히, 전류가 통하지 않는 때에 제어 유체의 유출이 계속될 때, 반도체 제조 장치에 있어서는, 엄밀한 유량 제어가 요구되기 때문에, 도 5의 유량 제어 밸브 100를 반도체 제조 장치에 사용하는 것이 가능하지 않은 문제점이 있었다. In particular, when the flow of the control fluid continues when no current flows, since the precise flow control is required in the semiconductor manufacturing apparatus, there is a problem that it is not possible to use the flow control valve 100 of FIG. 5 in the semiconductor manufacturing apparatus. there was.

따라서, 본 발명은, 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 열린 상태에 있는 경우의 피스톤의 정지 위치를 접촉하도록 결정하는 것에 의하여 유량 조정이 행하여지는 것이고, 이와 같은 유량 조정을 원격으로 정확도가 높게 제어하는 유량 제어 밸브를 제공하는 것을 제 1 과제로 한다. Accordingly, the present invention is to solve the above-mentioned problem, and the flow rate adjustment is performed by determining to contact the stop position of the piston when it is in the open state, and such flow rate adjustment is controlled remotely with high accuracy. It is a first subject to provide a flow control valve.

또한, 본 발명은, 압축 공기의 압력이 스프링의 힘에 대항하는 것에 의하여 유량 조정이 행하여지는 것이고, 전류가 통하지 않는 경우 제어 유체의 유출을 방지하는 것이 가능한 유량 제어 밸브를 제공하는 것을 제 2 과제로 한다.It is another object of the present invention to provide a flow control valve in which the flow rate is adjusted by the pressure of the compressed air against the force of the spring, and the flow control valve capable of preventing the outflow of the control fluid when no current flows. Shall be.

제 1의 과제를 해결하기 위하여 만들어진 본 발명에 따르는 유량 제어 밸브는, 피스톤의 선단에 설치된 밸브 본체가 스프링의 힘에 의하여 밸브 시트로 밀접하게 닫힌 상태가 되는 한편, 조종실 내에 공급한 압축 공기의 압력으로 피스톤을 이동시키는 것에 의하여, 상기 밸브 본체가 상기 밸브 시트로부터 떨어지고, 또 한번, 상기 피스톤이 접합 부재에 접촉하여 열린 상태로 되어, 상기 열린 상태에 있는 경우 상기 밸브 본체의 정지 위치가 결정되는 유량 제어 밸브에 있어서, 상기 접합 부재를 전진, 후퇴의 직진 동작으로 임의의 위치까지 이동시키는 모터 구동 제어 기구를 설치한 것을 특징으로 한다.In the flow control valve according to the present invention, which is made to solve the first problem, the valve body provided at the tip of the piston is in a state in which the valve body is closely closed with the valve seat by the force of the spring, while the pressure of the compressed air supplied into the cockpit is By moving the piston to the valve body, the valve body is separated from the valve seat, and once again, the piston is in an open state in contact with the joining member, and the flow rate at which the stop position of the valve body is determined when in the open state. A control valve is characterized in that a motor drive control mechanism is provided for moving the joining member to an arbitrary position in a forward movement of forward and backward.

또한, 본 발명에 따른 유량 제어 밸브에 있어서는, 상기 조종실 내에 압축 공기를 공급하기 위한 공급 회로 및 상기 조종실 내로부터 압축 공기를 배출하기 위한 배출 회로를 설치한 전공 조절부를 구비하는 것이 바람직하다. Moreover, in the flow control valve which concerns on this invention, it is preferable to provide the electric power control part provided with the supply circuit for supplying compressed air in the said cockpit, and the discharge circuit for discharging compressed air from the said cockpit.

또한, 본 발명에 따른 유량 제어 밸브에 있어서는, 상기 전공 조절부의 전류가 통하지 않는 상태가 상기 배출 회로의 연결 상태인 것이 바람직하다.Moreover, in the flow control valve which concerns on this invention, it is preferable that the state which the electric current of the said electrostatic-control part does not let is the connection state of the said discharge circuit.

또한, 본 발명에 따른 유량 제어 밸브에 있어서는, 상기 조종실 내 및 외부를 가깝게 연결하는 상태로 만드는 블리딩 기구를 구비하고, 상기 전공 조절부의 전류가 통하지 않는 상태가 상기 공급 회로 및 상기 배출 회로의 차단 상태일 때라도, 상기 조종실 내의 압축 공기를 상기 블리딩 기구에서 외부로 조금 배출하는 것이 바람직하다.In addition, the flow control valve according to the present invention includes a bleeding mechanism for bringing the inside and the outside of the cockpit into close contact with each other, and the state in which the electric current control unit does not pass is a cutoff state of the supply circuit and the discharge circuit. Even when it is, it is preferable to discharge a little compressed air in the cockpit to the outside from the bleeding mechanism.

또한, 본 발명에 따른 유량 제어 밸브는, 반도체 제조 장치에 사용되는 것이 좋다. Moreover, it is preferable that the flow control valve which concerns on this invention is used for a semiconductor manufacturing apparatus.

상기 특징을 가진 본 발명의 유량 제어 밸브는, 닫힌 상태로 있는 경우는, 스프링의 힘이 피스톤에 작용하는 것으로 인하여, 피스톤의 선단에 설치된 밸브 본체가 밸브 시트와 밀접해 있다. 여기에서, 조종실 내에 압축 공기를 공급할 때, 압축 공기의 압력이 피스톤에 작용하고, 용수철의 힘에 대항하여 피스톤이 이동하여, 피스톤의 선단에 설치된 밸브 본체가 밸브 시트로부터 떨어진다. 그 후, 피스톤이 접합 부재에 접촉하는 것에 의하여, 피스톤의 선단에 설치된 밸브 본체가 정지하고, 피스톤에 설치된 밸브 본체 및 밸브 시트의 틈이 고정되어 열린 상태가 된다. In the flow control valve of the present invention having the above feature, when the valve is in the closed state, the valve body provided at the tip of the piston is in close contact with the valve seat because the force of the spring acts on the piston. Here, when supplying compressed air into the cockpit, the pressure of the compressed air acts on the piston, the piston moves against the force of the spring, and the valve body provided at the tip of the piston falls from the valve seat. Thereafter, when the piston contacts the joining member, the valve main body provided at the tip of the piston stops, and the gap between the valve main body and the valve seat provided at the piston is fixed and brought into an open state.

물론, 본 발명의 유량 제어 밸브에서는, 모터 구동 제어 기구에 의하여, 접합 부재를 전진, 후퇴의 직진 동작으로 임의의 위치까지 이동시키는 것이 가능하고, 접합 부재에 피스톤이 접촉하는 위치를 변경시키는 것이 가능하며, 이로 인하여, 피스톤에 설치된 밸브 본체 및 밸브 시트의 틈을 정확하게 조정하는 것이 가능하다. Of course, in the flow control valve of the present invention, it is possible to move the joining member to an arbitrary position by the motor drive control mechanism in the forward and backward movements, and to change the position at which the piston contacts the joining member. In this way, it is possible to precisely adjust the gap between the valve body and the valve seat provided in the piston.

특히, 본 발명의 유량 제어 밸브에서는, 피스톤이 접합 부재에 맞닿아 정지할 때, 피스톤의 선단에 설치된 밸브 본체도 정지하여 열린 상태로 되고, 피스톤에 설치된 밸브 본체 및 밸브 시트의 틈이 고정되나, 이 점에서, 접합 부재를 전진, 후되의 직진 동작으로 임의의 위치까지 이동시키는 모터 구동 제어 기구에 의하여, 피스톤에 설치된 밸브 본체 및 밸브 시트의 간격을 정확하게 조정하여 유량 제어를 행하는 것이 가능한 것으로 보아, 본 발명의 유량 제어 밸브는, 열린 상태에 있는 경우 피스톤의 정치 위치를 맞닿도록 결정하는 것에 의하여 유량 조정이 행하여지는 것이고, 이와 같은 유량 조정을 원격으로 정확하게 제어하는 것이 가능하다.In particular, in the flow control valve of the present invention, when the piston abuts against the joining member and stops, the valve body provided at the tip of the piston is also stopped and opened, and the gap between the valve body and the valve seat provided at the piston is fixed. From this point of view, it is considered that the flow rate control can be performed by precisely adjusting the distance between the valve body and the valve seat provided in the piston by the motor drive control mechanism for moving the joining member to an arbitrary position by moving forward and backward. When the flow control valve of the present invention is in the open state, the flow rate adjustment is performed by determining to contact the stationary position of the piston, and it is possible to accurately control such a flow rate adjustment remotely.

또한, 본 발명의 유량 제어 밸브에 있어서는, 조종실 내에 공급된 압축 공기의 압력 및 스프링의 힘에 의하여 열린 상태, 닫힌 상태로 이행하고 있고, 열린 상태, 닫힌 상태로의 이행에 모터 구동 제어 기구가 관여하는 것은 아니며, 열린 상태, 닫힌 상태로의 이행의 응답성이 우수하다.Moreover, in the flow control valve of this invention, it shifts to the open state and the closed state by the pressure of the compressed air supplied into the cockpit, and the spring force, and a motor drive control mechanism is involved in the transition to the open state and the closed state. The response of the transition to the open and closed states is excellent.

또한, 본 발명의 유량 제어 밸브에 있어서는, 모터 구동 제어 기구가 닫힌 상태로의 이행에 관여하지 않고, 피스톤의 선단에 설치된 밸브 본체가 밸브 시트와 밀접한 때에, 모터 구동 제어 기구에 있어서의 직진 동작의 추진력이 전달하여지는 것이 없기 때문에, 모터 구동 제어 기구에 있어서는 직진 동작의 추진력에 의하여, 피스톤의 선단에 설치된 밸브 및 밸브 시트에 대한 손실이 가하여지지 않는다. Moreover, in the flow control valve of this invention, when the valve body provided in the front-end | tip of a piston is in close contact with a valve seat, it does not participate in the transition to a closed state of a motor drive control mechanism, Since no propulsion force is transmitted, in the motor drive control mechanism, the loss of the valve and the valve seat provided at the tip of the piston is not applied by the propulsion force of the straight motion.

또한, 본 발명의 유량 제어 밸브에 있어서, 전공 조절부를 구비하는 경우에는, 조종실 내에 대하여 압축 공기를 공급, 배출 하는 속도를 전기 제어에 의하여 자유롭게 바꾸는 것이 가능한 것으로, 밸브 개폐시에 발생하는 오버슛(overshoot) 및 수격 작용을 경감하기 위하여 열린 상태, 닫힌 상태로의 이행 속도의 제어를 원격으로 정확하게 제어하는 것이 가능하다. 또한, 열린 상태, 닫힌 상태로의 이행의 응답성이 우수하다.In addition, in the flow rate control valve of the present invention, when the electrostatic control unit is provided, the speed at which the compressed air is supplied and discharged to the cockpit can be freely changed by electric control. In order to mitigate overshoot and water hammer, it is possible to remotely and accurately control the control of the speed of transition to the open and closed states. Moreover, the response of the transition to the open state and the closed state is excellent.

또한, 본 발명의 유량 제어 밸브에 있어서, 전공 조절부를 구비한 경우에도, 전공 조절부의 전류를 통하지 않는 상태가 배출 회로의 연결 상태에 있는 한, 전류가 통과하지 않는 때에는, 조종실 내의 압축 공기가 배출된 상태가 유지되고, 닫힌 상태로의 이행, 닫힌 상태의 유지가 되어, 전류가 통과하지 않는 경우 제어 유체의 유출을 방지하는 것이 가능하다.Further, in the flow control valve of the present invention, even when the electric control unit is provided, compressed air in the cockpit is discharged when the electric current does not pass as long as the electric current does not pass through the electric current control unit in a connected state of the discharge circuit. The closed state is maintained, the transition to the closed state and the closed state are maintained, and it is possible to prevent the outflow of the control fluid when no current passes.

또한, 본 발명의 유량 제어 밸브에 있어서, 전류가 통하지 않는 상태가 공급 회로 및 배출 회로의 차단 상태인 전공 조절부를 구비한 경우에 있어서도, 조종실 내 및 외부를 가까운 연결 상태로 만드는 블리드 기구를 구비한다면, 전류를 통과하지 않는 때에는, 조종실 내의 압축 공기를 블리드 기구로 외부에 소량씩 배출되는 상태가 유지되고, 닫힌 상태로의 이행, 닫힌 상태로 유지되어, 전류가 통하지 않는 경우 제어 유체의 유출을 방지하는 것이 가능하다. In addition, in the flow control valve according to the present invention, even when the electric current control unit is provided with an electric control unit in which the supply circuit and the discharge circuit are blocked, the bleed mechanism for bringing the inside and outside of the cockpit into a close connection state is provided. When the current does not pass, the state in which the compressed air in the cockpit is discharged in small amounts to the outside by the bleed mechanism is maintained, and the transition to the closed state is maintained in the closed state, thereby preventing the flow of the control fluid when the current does not flow. It is possible to do

또한, 본 발명의 유량 제어 밸브가 반도체 제조 장치에 사용되는 경우에는, 유량 조정을 원격으로 정확하게 행하는 것이 요구되고, 엄밀한 유량 제어 등이 요구되는 경우, 상술한 효과를 크게 강화하는 것이 가능하다. In the case where the flow control valve of the present invention is used in a semiconductor manufacturing apparatus, it is possible to accurately and accurately perform the flow rate adjustment remotely, and when exact flow control or the like is required, the above-described effects can be greatly enhanced.

또한, 반도체 장치에 있어서는, 제어 유체 및 주변 온도 등의 온도 관리가 중요하나, 이 점에서, 본 발명의 유량 제어 밸드를 반도체 제조 장치에 사용하는 경우에는, 모터 구동 제어부에 의하여 유량 조정하는 것보다, 압축 공기 및 스프링 등에 의하여 열고 닫는 동작이 빈번하게 행하여지고, 발열을 수반하는 모터 구동 제어 기구가 행하여지는 것은 작아서, 모터 구동 제어 기구의 발열이 미치는 영향을 고려할 필요가 없다. In the semiconductor device, temperature control such as a control fluid and an ambient temperature is important, but in this respect, when the flow rate control valve of the present invention is used in a semiconductor manufacturing apparatus, the flow rate is adjusted by the motor drive control unit. The opening and closing operations are frequently performed by the compressed air, the spring, and the like, and the motor drive control mechanism with heat generation is small, and it is not necessary to consider the effect of the heat generation of the motor drive control mechanism.

게다가, 모터 구동 제어 기구가 행하여지는 것이 작기 때문에, 모터의 수명이 발열에 의하여 단축되는 것이 아니고, 본 발명의 유량 제어 밸브 자체의 수명에 대하여, 모터 구동 제어 기구가 악영향을 미치는 것이 아니다. In addition, since the motor drive control mechanism is small, the life of the motor is not shortened by heat generation, and the motor drive control mechanism does not adversely affect the life of the flow control valve itself of the present invention.

또한, 제 2의 과제를 해결하기 위하여 만들어진 본 발명의 각각의 형태에 따르는 유량 제어 밸브는, 밸브 본체가 용수철의 힘에 의하여 밸브 시트에 밀접하여 닫힌 상태로 되는 한편, 조종실 내에 공급한 압축 공기의 압력에 상기 밸브 본체를 이동시키는 것에 의하여, 상기 밸브 본체가 상기 밸브 시트로부터 떨어져 열린 상태로 되는 유량 제어 밸브에 있어서, 상기 조종실 내에 압축 공기를 공급하기 위한 공급 회로 및 상기 조종실 내로부터 압축 공기를 배출하기 위한 배출 회로를 설치한 전공 조절부를 구비하고, 상기 전공 조절부의 전류가 통하지 않는 상태가 상기 배출 회로의 연결 상태인 것을 특징으로 한다. Moreover, the flow control valve which concerns on each form of this invention made in order to solve the 2nd subject makes the valve main body close to the valve seat by the force of a spring, A flow rate control valve in which the valve body is opened away from the valve seat by moving the valve body at a pressure, wherein the supply circuit for supplying compressed air into the cockpit and the compressed air are discharged from the cockpit. It is characterized in that it comprises a electrostatic control unit provided with a discharge circuit for the purpose, the current flow through the electrostatic control unit is characterized in that the connection state of the discharge circuit.

게다가, 본 발명의 별개의 형태에 따른 유량 제어 밸브에 있어서는, 밸브 본체가 스프링의 힘에 의하여 밸브 시트에 밀접하여 닫힌 상태로 되는 한편, 조종실 내에 공급한 압축 공기의 압력으로 상기 밸브 본체를 이동시키는 것에 의하여, 상기 밸브 본체가 상기 밸브 시트로부터 떨어져 열린 상태로 되는 유량 제어 밸브에 있어서, 상기 조종실 내에 압축 공기를 공급하기 위한 공급 회로 및 상기 조종실 내로부터 압축 공기를 배출하기 위한 배출 회로를 설치한 전공 조절부 및 상기 조종실 내 및 외부를 가깝게 연결되는 상태로 만드는 블리드 기구를 구비하고, 상기 전공 조절부의 전류가 통하지 않는 상태가 상기 공급 회로 및 상기 배출 회로의 차단 상태에 있는 경우에도, 상기 조종실 내의 압축 공기를 상기 블리드 기구에서 외부로 소량씩 배출하는 것을 특징으로 하고 있다. In addition, in the flow control valve according to another aspect of the present invention, the valve body is brought into close contact with the valve seat by a spring force, and the valve body is moved by the pressure of the compressed air supplied into the cockpit. In the flow control valve in which the valve body is opened away from the valve seat, the electric valve is provided with a supply circuit for supplying compressed air into the cockpit and a discharge circuit for ejecting compressed air from the cockpit. Compression in the cockpit is provided with a bleed mechanism for bringing the control unit and the inside and the outside of the cockpit into close contact with each other, and the current control unit does not pass through the supply circuit and the discharge circuit. Exhausting small amounts of air from the bleed mechanism to the outside A and it characterized.

또한, 상기 별개 형상에 따른 유량 제어 밸브는, 반도체 제조 장치에 사용하는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable to use the flow control valve which concerns on the said separate shape for a semiconductor manufacturing apparatus.

특히, 본 발명의 유량 제어 밸브는, 닫힌 상태에 있는 경우는, 용수철의 힘에 의하여, 밸브 본체가 밸브 시트와 밀접하고, 여기에서, 조종실 내에 압축 공기를 공급할 때, 압축 공기의 압력이 스프링의 힘에 대항하는 경우에, 밸브 본체가 밸브 시트로부터 떨어지고, 열린 상태를 만들지만, 이 점에서, 이 점에서, 전공 조절부의 전류를 통과하지 않는 상태가 배출 회로의 연결 상태에 있는 때에, 전류가 통하지 않는 상태에서는, 조종실 내의 압축 공기가 배출된 상태가 유지되고, 닫힌 상태로의 이행, 닫힌 상태로의 유지가 되는 경우에, 전류가 통하지 않는 경우에 있어서는 제어 유체의 유출을 방지하는 것이 가능하다. In particular, when the flow control valve of the present invention is in the closed state, the valve body is in close contact with the valve seat by the force of the spring, and when the compressed air is supplied into the cockpit, the pressure of the compressed air is In the case of against the force, the valve body falls out of the valve seat and creates an open state, but at this point, when the state of not passing through the current of the electric regulator is in the connected state of the discharge circuit, In the non-passing state, the state where the compressed air in the cockpit is discharged is maintained, and in the case of transition to the closed state and maintenance in the closed state, it is possible to prevent the flow of the control fluid when no current flows. .

또한, 본 발명의 유량 제어 밸브는, 닫힌 상태에 있는 경우에는, 스프링의 힘에 의하여, 밸브 본체가 밸브 시트와 밀접하고, 여기에서, 조종실 내의 압축 공기를 공급할 때, 압축 공기의 압력이 스프링의 힘에 대항하는 경우에, 밸브 본체가 밸브 시트로부터 떨어지고, 열린 싱태로 되는 경우가 있으나, 이 점에서, 조종실 내 및 외부를 가까이 연결시키는 블리드 기구를 구비하는 것에 의하여, 전류가 통하지 않는 경우에는, 조종실내의 압축 공기를 블리드 기구로 외부에 소량씩 배출되는 상태가 유지되고, 전류가 통하지 않는 경우 제어 유체의 유출을 방지하는 것이 가능하다. In addition, when the flow control valve of the present invention is in the closed state, the valve body is in close contact with the valve seat by the force of the spring, and when the compressed air in the cockpit is supplied, the pressure of the compressed air is In the case of against the force, the valve body may come off the valve seat and become an open state, but in this case, when a current does not flow by providing a bleed mechanism for closely connecting the inside and outside of the cockpit, The state in which the compressed air in the cockpit is discharged little by little to the outside by the bleed mechanism is maintained, and it is possible to prevent the outflow of the control fluid when no current flows.

또한, 본 발명의 유량 제어 밸브가 반도체 제조 장치에 사용되는 경우에는, 엄밀한 유량 제어 등이 요구되기 때문에, 상술한 효과를 크게 강화할 수 있다. In addition, when the flow control valve of this invention is used for a semiconductor manufacturing apparatus, since exact flow control etc. are calculated | required, the above-mentioned effect can be greatly strengthened.

이하, 본 발명의 실시의 형태를 도면을 참조하여 설명한다. 제 1 도에서, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A의 단면도를 도시한다. 제 1 도에서 도시하는 것처럼, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A는, 입력 포트 51 및 출력 포트 52가 좌우에 형성된 저면 27을 가지고, 저면 27의 상방에는, 조작 포트 53가 형성된 실린더 23가 단단히 설치되며, 실린더 23의 상방에는, 커버 12가 장착된 하우징 14이 단단히 설치되어 있는 것에 의하여, 전체의 외형을 나타낸다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described with reference to drawings. In FIG. 1, sectional drawing of the flow control valve 1A of 1st Embodiment is shown. As shown in FIG. 1, the flow control valve 1A of 1st Embodiment has the bottom face 27 in which the input port 51 and the output port 52 were formed in right and left, and the cylinder 23 in which the operation port 53 was formed above the bottom 27 is It is firmly installed, and the housing 14 with the cover 12 mounted firmly above the cylinder 23 shows the overall appearance.

그렇게 하여, 저면 27에는, 도면 중 왼쪽 방향의 입력 포트 51 및 도면 중 오른쪽 방향의 출력 포트 52에 더하여, 중앙에 환상의 밸브 시트 54가 형성되어 있다. 이 점에서, 밸브 시트 54의 내부 AA는 입력 포트 51과 연결하고, 밸브 시트 54의 외부 BB는 출력 포트 52에 연결되어 있다. 그러므로, 격판 24(「밸브 본체」에 대응)이 밸브 시트 54에 밀착하는 것에 의하여, 입력 포트 51 및 출력 포트 52가 차단되고, 격판 24이 밸브 시트 54로부터 떨어지는 것에 의하여, 입력 포트 51 및 출력 포트 52가 연결된다.Thus, in addition to the input port 51 of the left direction in the figure, and the output port 52 of the right direction in the figure, the bottom face 27 is provided with an annular valve seat 54 in the center. In this regard, the inner AA of the valve seat 54 is connected to the input port 51 and the outer BB of the valve seat 54 is connected to the output port 52. Therefore, when the diaphragm 24 (corresponding to the "valve body") comes into close contact with the valve seat 54, the input port 51 and the output port 52 are cut off, and the diaphragm 24 falls out of the valve seat 54, thereby the input port 51 and the output port. 52 is connected.

입력 포트 51 및 출력 포트 52에는, 너트 25 및 슬리브 26가 각각 설치되어 있어, 배관의 연결이 촉진된다. 또한, 저면 27의 하부에는, 탑재판 28이 설치되어 있다.The nut 25 and the sleeve 26 are provided in the input port 51 and the output port 52, respectively, to facilitate the pipe connection. In addition, a mounting plate 28 is provided below the bottom 27.

또한, 실린더 23는, 저면 27의 중앙부 상방에 단단히 설치된 거의 원주 형상의 부재이다. 실린더 23에는, 조작 포트 53가 형성되어 있는 것에 더하여, 실린더 23의 내부에는, 거의 원주 형상의 피스톤 22이 상하 방향으로 연동 가능하고 밀폐되도록 장치되어 있다. 그러므로, 피스톤 22의 하면 및 실린더 23의 내면에 의하여, 조종실 55이 구획된다. 그런데, 조종실 55에는, 실린더 23에 형성된 조작 포트 53가 연결되어 있어, 조작 포트 53를 통하여 조종실 55에 압축 공기를 공급하거나 배출하는 것이 가능하다. 조종실 55에 압축 공기를 공급시킬 때, 피스톤 22은 상방으로 들어올려진다.In addition, the cylinder 23 is a substantially cylindrical member provided firmly above the center part of the bottom face 27. In addition to the operation port 53 formed in the cylinder 23, the cylinder 23 is provided so that the substantially cylindrical piston 22 can be interlocked and closed in the up-down direction. Therefore, the cockpit 55 is partitioned by the lower surface of the piston 22 and the inner surface of the cylinder 23. By the way, the operation port 53 formed in the cylinder 23 is connected to the cockpit 55, and it is possible to supply or discharge compressed air to the cockpit 55 via the operation port 53. When supplying compressed air to the cockpit 55, the piston 22 is lifted upwards.

그런데, 피스톤 22의 하부 작은 직경 부분의 하단에는, 격판 24이 설치되어 있다. 따라서, 격판 24의 주변 가장자리는, 저면 27 및 실린더 23에 끼워져 있다. 그러므로, 격판 24은, 피스톤 22의 상하 운동에 수반하여 이동하고, 저면 27의 밸브 시트 54에 떨어지거나 밀착한다. 즉시, 격판 24이 밸브 시트 54에 밀착하는 때, 입력 포트 51 및 출력 포트 52가 차단되고, 격판 24이 밸브 시트 54로부터 떨어질 때, 입력 포트 51 및 출력 포트 52가 연결된다. By the way, the diaphragm 24 is provided in the lower end of the lower small diameter part of the piston 22. Thus, the peripheral edge of the diaphragm 24 is fitted to the bottom 27 and the cylinder 23. Therefore, the diaphragm 24 moves with the up-and-down movement of the piston 22, and falls or adheres to the valve seat 54 of the bottom 27. Immediately, when the diaphragm 24 comes into close contact with the valve seat 54, the input port 51 and the output port 52 are cut off, and when the diaphragm 24 falls from the valve seat 54, the input port 51 and the output port 52 are connected.

또한, 하우징 14은, 실린더 23의 상방에 단단히 설치된 거의 원주 형상의 부재이다. 그런데, 하우징 14의 내부에는, 피스톤 22을 하방으로 힘을 주는 리턴 스프링 20(「스프링」에 대응)이 장착되어 있다.In addition, the housing 14 is a substantially cylindrical member installed firmly above the cylinder 23. By the way, inside the housing 14, the return spring 20 (corresponding to "spring") which applies the piston 22 downward is attached.

게다가, 하우징 14의 내부에는, 너트 19(「접합 부재」에 대응)를 장착한 축 16이 스러스트 베어링 17, 18을 통하여 축지되어 있다. 그런데, 축지된 축 16은 핀 15을 통하여 커플링 13으로 설치되어 있고, 이에 의하여, 하우징의 상부에 설치된 서보 모터 11의 회전 동작을 축 16에 전달하는 것이 가능하다. 서보 모터 11에 의하여, 축 16에 장착된 너트 19를 상승, 하강의 직진 동작으로 임의의 위치까지 이동시키는 것이 가능하다. 너트 19 및 피스톤 22의 사이에는, 리턴 스프링 21이 장착되어, 축 16에 대한 너트 19의 스라스트 방향의 흔들림을 방지한다.In addition, inside the housing 14, the shaft 16 equipped with the nut 19 (corresponding to the "joining member") is held through the thrust bearings 17 and 18. By the way, the axis | shaft 16 accumulate | stored is provided as the coupling 13 via the pin 15, and it is possible by this to transmit the rotational motion of the servo motor 11 provided in the upper part of the housing to the shaft 16. As shown in FIG. By the servo motor 11, it is possible to move the nut 19 attached to the axis | shaft 16 to arbitrary positions by the linear motion of raising and lowering. Between the nut 19 and the piston 22, a return spring 21 is mounted to prevent the thrust of the nut 19 with respect to the shaft 16 in the thrust direction.

제 1 실시의 형상의 유량 제어 밸브 1A에 있어서는, 서보 모터 11, 축 56, 커플링 13, 핀 15, 스라스트 베어링 17, 18, 축 16 등으로부터, 모터 구동 제어 기구가 구성되어 있다.In the flow control valve 1A of the first embodiment, the motor drive control mechanism is configured from the servo motor 11, the shaft 56, the coupling 13, the pin 15, the thrust bearings 17, 18, the shaft 16, and the like.

또한, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A에 있어서는, 실린더 23에 형성된 조작 포트 53에 대하여, 전공 조절부 31가 설치되어 있다. 이 점에서, 전공 조절부 31는, 표준의 닫힌 흡기 비례 밸브 32 및 표준의 닫힌 배기 비례 밸브 33를 제어 기판 35을 통하여 제어하는 경우에, 수동 조작의 니들 밸브 34(「블리드」 기구에 대응)를 구비한 것일 수 있다. 구체적으로 말하면, 도 2에 도시하는 것처럼, 공급 통로 빛 배기 통로가 형성된 통로 블록 38에 대하여, 흡기 비례 밸브 32 및 배기 비례 밸브 33, 니들 밸브 34를 설치하고 있다.In addition, in the flow control valve 1A of the first embodiment, the electrostatic control unit 31 is provided for the operation port 53 formed in the cylinder 23. In this regard, when the electric field regulator 31 controls the standard closed intake proportional valve 32 and the standard closed exhaust proportional valve 33 through the control board 35, the needle valve 34 of the manual operation (corresponds to the "bleed" mechanism) It may be provided with. Specifically, as shown in FIG. 2, the intake proportional valve 32, the exhaust proportional valve 33, and the needle valve 34 are provided for the passage block 38 in which the supply passage light exhaust passage is formed.

니들 밸브 34는, 배기 비례 밸브 33를 통하지 않고, 조작 포트 53를 외부로 연결하는 것을 가능하게 한다. 그러나, 조작 포트 53가 외부에 연결되는 정도에 의하여는, 조작 포트 53를 통하여 조종실 55에 압축 공기를 공급하는 것이 가능하지 않아, 배기 통로에 있는 니들 37을 손잡이 36에서 상하 운동시키는 것에 의하여, 조작 포트 53가 외부에 연결되는 정도가 가까워지도록 조정한다.The needle valve 34 makes it possible to connect the operation port 53 to the outside without passing through the exhaust proportional valve 33. However, it is not possible to supply compressed air to the cockpit 55 through the operation port 53 by the degree to which the operation port 53 is connected to the outside, so that the operation is performed by moving the needle 37 in the exhaust passage up and down at the handle 36. Adjust port 53 to be close to the outside.

다음으로, 상기 구성을 가지는 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A의 작용을 설명한다. 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A는, 조작 포트 53를 통하여, 전공 조절부 31에서 조종실 55내에 압축 공기를 공급하는 것에 의하여 조작된다.Next, the effect | action of the flow control valve 1A of 1st Embodiment which has the said structure is demonstrated. The flow control valve 1A of the first embodiment is operated by supplying compressed air into the cockpit 55 through the operation control port 53 through the operation port 53.

먼저, 조작 포트 53에 압축 공기를 공급하지 않는 상태를 고찰한다. 이 상태에서는, 전공 조절부 31에 있어서는, 흡기 비례 밸브 32 및 배기 비례 밸브 33가 닫히고 있지만, 니들 밸브 34를 통하여, 조작 포트 53는 외부에 가까이 연결되어 있다. 그러므로, 조종실 55의 내부의 압력은 외부의 압력과 동일하고, 피스톤 22은, 리턴 스프링 20, 21에 의하여 힘을 얻는다. 그러므로, 피스톤 22은, 피스톤 22의 하단에 설치된 격판 24이 밸브 시트 54에 밀착하기까지 하방으로 이동된 상태에 있다. 이 상태에서는, 격판 24 및 밸브 시트 54가 밀착하는 것에 의하여, 입력 포트 51 및 출력 포트 52의 연결이 차단되고, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A는 닫힌 상태로 되어 있다. First, the state which does not supply compressed air to the operation port 53 is considered. In this state, although the intake proportional valve 32 and the exhaust proportional valve 33 are closed in the electro-regulator part 31, the operation port 53 is closely connected to the exterior via the needle valve 34. As shown in FIG. Therefore, the pressure inside the cockpit 55 is equal to the pressure outside, and the piston 22 is forced by the return springs 20 and 21. Therefore, the piston 22 is in the state moved downward until the diaphragm 24 provided in the lower end of the piston 22 is in close contact with the valve seat 54. As shown in FIG. In this state, when the diaphragm 24 and the valve seat 54 adhere | attach, the connection of the input port 51 and the output port 52 is interrupted | blocked, and the flow control valve 1A of 1st Embodiment is in the closed state.

한편, 전공 조절부 31에 있어서, 흡기 비례 밸브 32를 열 때, 조작 포트 53를 통하여, 조종실 55의 내부에 압축 공기가 공급되어, 조종실 내부는 고압으로 된다. 이 때문에, 피스톤 22은, 상방으로 압축된 리턴 스프링 20, 21의 힘에 대항하여, 피스톤 22의 상단이 너트 19의 하단에 접촉하기까지 이동되어 정지한다. 따라서, 격판 24 및 피스톤 22이 함께 상방으로 이동하여 정지하고, 격판 24 및 밸브 시트 54와의 사이에 틈이 열리고, 입력 포트 51 및 출력 포트 52가 연결되어, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A는 열린 상태로 된다.On the other hand, in the electric power regulator 31, when opening the intake proportional valve 32, compressed air is supplied to the inside of the cockpit 55 through the operation port 53, and the inside of the cockpit becomes high pressure. For this reason, the piston 22 moves and stops until the upper end of the piston 22 contacts the lower end of the nut 19 against the force of the return springs 20 and 21 compressed upward. Therefore, the diaphragm 24 and the piston 22 move upwards and stop together, a gap is opened between the diaphragm 24 and the valve seat 54, the input port 51 and the output port 52 are connected, and the flow control valve 1A of 1st Embodiment Becomes open.

여기에서, 예를 들면, 이 상태에 있어서, 서보 모터 11에 의하여 너트 19의 위치를 변경할 때, 피스톤 22의 정지 위치가 변경되고, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A의 열린 상태에 있는 격판 24 및 밸브 시트 51와의 사이의 틈이 조정되어 유량 조정을 행하는 것이 가능하다.Here, for example, in this state, when the position of the nut 19 is changed by the servo motor 11, the stop position of the piston 22 is changed, and the diaphragm which is in the open state of the flow control valve 1A of the first embodiment. The gap between 24 and the valve seat 51 is adjusted and flow rate adjustment is possible.

또, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A가 열린 상태에 있어서, 정전에 의하여 전공 조절부 31가 전류가 통하지 않는 상태에 있을 때, 흡기 비례 밸브 32 및 배기 비례 밸브 33는 닫히게 되고, 니들 밸브 34를 통하여, 조종실 55의 내부의 압축 공기가 서서히 외부에 배출되어, 피스톤 22의 하단에 설치된 격판 24 및 밸브 시트 54에 밀착하기까지 하방으로 서서히 이동하고, 최종적으로는, 제1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A는 닫힌 상태로 된다.In addition, in the state in which the flow control valve 1A of the first embodiment is open, when the electric power regulator 31 is in a state where no current flows due to power failure, the intake proportional valve 32 and the exhaust proportional valve 33 are closed, and the needle valve Through 34, the compressed air inside the cockpit 55 is gradually discharged to the outside, and gradually moves downward until it comes into close contact with the diaphragm 24 and the valve seat 54 provided at the lower end of the piston 22, and finally, according to the first embodiment The flow control valve 1A is closed.

이상, 상세하게 설명한 것에 의하여, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A에서는, 제 1 도 및 제 2 도에 도시한 것과 같이, 닫힌 상태인 경우는, 리턴 스프링 20, 21의 힘이 피스톤 22에 작용하는 것으로, 피스톤 22의 선단에 설치된 격판 24이 밸브 시트 54와 밀접해 있다. 여기에서, 조종실 55 내부에 압축 공기를 공급할 때, 압축 공기의 압력이 피스톤 22에 작용하여, 리턴 스프링 20, 21의 힘에 대항하여 피스톤 22이 이동하는, 피스톤 22의 선단에 설치된 격판 24이 밸브 시트 54로부터 떨어진다. 그 후, 피스톤 22이 너트 19에 접촉하는 것에 의하여, 피스톤 22의 선단에 설치된 격판 24이 정지하고, 피스톤 22의 선단에 설치된 격판 24과 밸브 시트 54와의 틈이 고정되어, 열린 상태에 있다.As described above, in the flow control valve 1A of the first embodiment, as shown in FIG. 1 and FIG. 2, the force of the return springs 20 and 21 is applied to the piston 22 in the closed state. In operation, the diaphragm 24 provided at the tip of the piston 22 is in close contact with the valve seat 54. Here, when supplying the compressed air into the cockpit 55, the pressure of the compressed air acts on the piston 22, and the diaphragm 24 installed at the tip of the piston 22, in which the piston 22 moves against the force of the return springs 20 and 21, has a valve. Falls from sheet 54. After that, when the piston 22 contacts the nut 19, the diaphragm 24 provided in the front-end | tip of the piston 22 stops, and the clearance gap between the diaphragm 24 and the valve seat 54 provided in the front-end | tip of the piston 22 is being fixed, and it is in the open state.

물론, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A에서는, 서보 모터 11등에 의하여, 너트 19를 상승, 하강의 직진 동작으로 임의의 위치까지 이동시키는 것이 가능하고, 너트 19에 피스톤 22이 접촉하는 위치를 변경시키는 것이 가능하여, 이로 인하여 피스톤 22의 선단에 설치된 격판 24 및 밸브 시트 54와의 틈을 정확하게 조정하는 것이 가능하다. Of course, in the flow control valve 1A of the first embodiment, the servo motor 11 or the like can move the nut 19 to an arbitrary position in a linear motion of up and down, and the position where the piston 22 contacts the nut 19 can be adjusted. It is possible to change, thereby making it possible to accurately adjust the gap between the diaphragm 24 and the valve seat 54 provided at the tip of the piston 22.

즉, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A에 있어서는, 피스톤 22이 너트 19에 접촉되어 정지할 때, 피스톤 22의 선단에 설치된 격판 24도 정지하여 열린 상태로 되고, 피스톤 22의 선단에 설치된 격판 24과 밸브 54와의 틈이 고정되며, 이 점에서, 너트 19를 상승, 하강의 직진 동작으로 임의의 위치까지 이동시키는 서보 모터 11에 의하여, 피스톤 22의 선단에 설치된 격판 24 및 밸브 시트 54의 틈을 정확하게 조정하여 유량 제어를 행하는 것이 가능하며, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A는, 열린 상태에 있는 피스톤 22의 정지 위치를 접촉하여 결정하는 것에 의하여 유량 조절을 수행할 수 있다고 말해질 수 있다. That is, in the flow control valve 1A of the first embodiment, when the piston 22 comes in contact with the nut 19 to stop, the diaphragm 24 provided at the tip of the piston 22 is also stopped and opened, and the diaphragm provided at the tip of the piston 22 is stopped. The gap between 24 and the valve 54 is fixed, and in this respect, the gap between the diaphragm 24 and the valve seat 54 provided at the tip of the piston 22 is moved by the servo motor 11 which moves the nut 19 to an arbitrary position in a linear motion of raising and lowering. It is possible to perform flow rate control by precisely adjusting the flow rate, and it can be said that the flow rate control valve 1A of the first embodiment can perform the flow rate adjustment by contacting and determining the stop position of the piston 22 in the open state. have.

또한, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A에 있어서는, 조종실 55의 내부에 공급된 압축 공기의 압력 및 리턴 스프링 20, 21의 힘에 의하여 열린 상태, 닫힌 상태로 이동하고, 열린 상태, 닫힌 상태로의 이행에 서보 모터 11등이 기여하지 않으며, 열린 상태, 닫힌 상태로의 이행의 응답성에 우수하다.Moreover, in the flow control valve 1A of 1st Embodiment, it moves to the open state, the closed state, and is open, the closed state by the pressure of the compressed air supplied to the inside of the cockpit 55, and the force of return springs 20 and 21. Servo motor 11 and the like do not contribute to the transition to the furnace, and are excellent in the response of the transition to the open and closed states.

또한, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A에 있어서는, 서보 모터 11 등이 닫힌 상태로의 이행에 기여하지 않고, 피스톤 22의 선단에 설치된 격판 24이 밸브 시트 54와 밀접하는 경우에, 서보 모터 11 등에 의하여 축 16 및 너트 19의 직진 동작의 진행력이 전달되지 않아, 서보 모터 11 등에 의하여 축 16 및 너트 19의 직진 동작의 진행력에 의하여, 피스톤 22의 선단에 설치된 격판 및 밸브 시트 54에 대한 손상이 가하여지지 않는다.In addition, in the flow control valve 1A of 1st Embodiment, when the diaphragm 24 provided in the front-end | tip of the piston 22 is in close contact with the valve seat 54, it does not contribute to the transition to the closed state of the servomotor 11, etc. The propulsion force of the linear motion of the shaft 16 and the nut 19 is not transmitted by 11, etc., and the diaphragm and the valve seat 54 provided at the tip of the piston 22 by the propulsion force of the linear motion of the shaft 16 and the nut 19 by the servo motor 11 etc. No damage is done.

또한, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A에 있어서는, 전공 조절부 31를 구비하여, 조종실 55의 내부에 대한 압축 공기의 공급, 배출 속도를 전기 제어하여 스스로 바꾸는 것이 가능하여, 밸브 개폐시에 발생하는 오버 슛 및 수격 작용을 경감하기 위하여 열린 상태, 닫힌 상태로의 이행 속도의 제어를 원거리에서 정확하게 제어하는 것이 가능하다. 또한, 열린 상태, 닫힌 상태로의 이행의 응답성이 우수하다.In addition, in the flow control valve 1A of the first embodiment, the electrostatic control unit 31 is provided, and the supply and discharge speeds of the compressed air to the inside of the cockpit 55 can be controlled by electric control, and the valves can be changed by themselves. In order to alleviate the overshoot and water hammering action, it is possible to precisely control the control of the moving speed of the open state and the closed state at a long distance. Moreover, the response of the transition to the open state and the closed state is excellent.

또한, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A에 있어서는, 표준의 닫힌 흡기 비례 밸브 32 및 표준의 닫힌 배기 비례 밸브 33를 제어 기판 35을 통하여 제어하는 전공 조절부 31를 구비하고, 전류가 통하지 않는 때에는, 조종실 55의 내부의 압축 공기를 니들 밸브 34로 외부에 소량 배출시키는 상태가 유지되고, 닫힌 상태로의 이행, 닫힌 상태의 유지가 되어, 전류가 통하지 않는 제어 유체의 유출을 방지하는 것이 가능하다. Moreover, in the flow control valve 1A of 1st Embodiment, the electric power regulation part 31 which controls the standard closed intake-proportional valve 32 and the standard closed exhaust-proportional valve 33 via the control board 35, and does not pass an electric current, At this time, the state which discharges a small amount of compressed air inside the cockpit 55 to the outside with the needle valve 34 is maintained, and it can be shifted to the closed state and maintained in the closed state, and can prevent the flow of the control fluid through which an electric current does not flow. Do.

또한, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A가 반도체 제조 장치에 사용되는 경우에는, 유량 조정을 원격으로 정확하게 제어하기 위하여 엄밀한 유량 제어 등이 요구되어, 상술한 효과를 크게 강화할 수 있다.In addition, when the flow control valve 1A of the first embodiment is used in a semiconductor manufacturing apparatus, strict flow control or the like is required in order to accurately control the flow rate adjustment remotely, and the above-described effect can be greatly enhanced.

또한, 반도체 제조 장치에서는, 제어 유체 및 주변 온도의 온도 관리가 중요하여, 이 점에서, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A를 반도체 제조 장시에 사용하는 경우에는, 서보 모터 11등에 의하여 유량 조정하고, 압축 공기 및 리턴 스프링 20, 21등에 의하여 개폐 동작이 반복적으로 행하여지고, 발열을 수반한 서보 모터 11 등이 작동하는 것은 감소하여, 서보 모터 11등에 발열이 미치는 영향을 고려할 필요가 없다. In the semiconductor manufacturing apparatus, temperature control of the control fluid and the ambient temperature is important. In this regard, when the flow control valve 1A of the first embodiment is used in the semiconductor manufacturing market, the flow rate is adjusted by the servo motor 11 or the like. In addition, the opening and closing operation is repeatedly performed by the compressed air and the return springs 20, 21, etc., and the operation of the servo motor 11, etc. with heat generation is reduced, and it is not necessary to consider the effect of the heat generation on the servo motors 11, etc.

또한, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A는, 닫힌 상태에 있는 경우에는, 리턴 스프링 20의 힘에 의하여, 격판 24이 밸브 시트 54와 밀접하고, 여기에서, 조종실 55의 내부에 압축 공기를 공급할 때, 압축 공기의 압력이 리턴 스프링 20의 힘에 대항하여, 격판 24이 밸브 시트 54로부터 떨어져, 열린 상태에 있게 된다. 이 점에서, 표준의 닫힌 흡기 비례 밸브 32 및 표준의 닫힌 배기 비례 밸브 33를 제어 기판 35를 통하여 제어하는 전공 조절부 31를 구비하여, 전공 조절부 31의 전류가 통하지 않는 상태가 공급 회로 및 배출 회로의 차단 상태에 있지만, 조작 포트 53를 통하여, 조종실 55의 내부 및 외부를 가까이 연결 상태로 하는 니들 밸브 34를 구비하여, 전류가 통하기 않는 경우에는, 조종실 55의 내부의 압축 공기를 니들 밸브 34에서 외부에 소량씩 배출시키는 상태가 유지되고, 닫힌 상태로의 이행, 닫힌 상태의 유지가 되어, 전류가 통하지 않는 상태에 있어서, 제어 유체의 유출을 방지하는 것이 가능하다.Moreover, when the flow control valve 1A of 1st Embodiment is in the closed state, the diaphragm 24 is close to the valve seat 54 by the force of the return spring 20, and here, compressed air is supplied to the inside of the cockpit 55. At the time of supply, the pressure of the compressed air is in the open state, apart from the valve seat 54, against the force of the return spring 20. In this respect, the electric power regulator 31 is provided with the electric regulator 31 which controls the standard closed intake proportional valve 32 and the standard closed exhaust proportional valve 33 through the control board 35, so that the electric current of the electric regulation part 31 is not supplied. Although it is in the state of interruption of the circuit, it is provided with the needle valve 34 which closely connects the inside and the exterior of the cockpit 55 through the operation port 53, and when a current does not flow, the compressed air inside the cockpit 55 is supplied to the needle valve 34. It is possible to prevent the leakage of the control fluid in a state where the state of discharging small amounts to the outside is maintained, the transition to the closed state and the closed state are maintained, and no current flows.

또한, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A가 반도체 제조 장치에 사용되는 경우에는, 엄밀한 유량 제어 등이 요구되어, 상술한 효과를 크게 강화할 수 있다.Moreover, when the flow control valve 1A of 1st Embodiment is used for a semiconductor manufacturing apparatus, strict flow control etc. are calculated | required and the above-mentioned effect can be greatly strengthened.

본 발명은 상기 실시의 형태에서 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변경이 가능하다.This invention is not limited to the said embodiment, A various change is possible within the range which does not deviate from the meaning.

예를 들어, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A에 있어서는, 니들 밸브 34를 전공 조절부 31에 설치하지만, 실린더 23에 직접 설치하는 것에 의하여, 조종실 55의 내부의 압축 공기를 외부에 소량씩 배출시키는 상태를 유지하는 것도 좋다. For example, in the flow control valve 1A of the first embodiment, the needle valve 34 is installed in the electrostatic control part 31, but by directly installing it in the cylinder 23, a small amount of compressed air in the cockpit 55 is externally provided. It is also good to maintain the discharge state.

또한, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A에 있어서는, 「블리드 기구」로써, 니들 밸브 34를 사용하나, 오리피스를 사용할 수도 있다. In addition, in the flow control valve 1A of 1st Embodiment, although the needle valve 34 is used as a "bleed mechanism", an orifice can also be used.

또한, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1A에 있어서는, 조종실 55의 내부 및 외부를 가까이 연결시키는 니들 밸브 34를 전공 조절부 31에 구비하는 것에 의하여, 전류가 통하지 않는 경우에 제어 유체의 유출 방지가 되나, 제 3 도의 제 2 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1B에 있어서, 표준의 닫힌 흡기 비례 밸브 42, 표준의 닫힌 배기 비례 밸브 43, 표준의 열린 배기 비례 밸브 44를 제어 기판 45를 통하여 제어하는 전공 조절부 41를 구비하는 것으로는, 전류가 통하지 않는 때에는, 조종실 55의 내부의 압축 공기가 배출된 상태가 유지되고, 닫힌 상태로의 이행, 닫힌 상태로의 유지가 되어, 전류가 통하지 않는 때에 있는 제어 유체의 유출을 방지하는 것이 가능하다.Moreover, in the flow control valve 1A of 1st Embodiment, by providing the needle valve 34 which connects the inside and the exterior of the cockpit 55 to the electric-condition control part 31, the outflow of a control fluid is prevented when an electric current does not flow. In the flow rate control valve 1B of the second embodiment of FIG. 3, the standard closed intake proportional valve 42, the standard closed exhaust proportional valve 43, and the standard open exhaust proportional valve 44 are controlled through the control board 45. When the electric current adjusting part 41 is not provided, when the electric current does not flow, the state where the compressed air inside the cockpit 55 is discharged is maintained, the transition to the closed state, the maintenance in the closed state, and when the electric current does not flow It is possible to prevent the outflow of the control fluid.

그러므로, 제 2 실시의 형태의 유량 제어 밸브 1B는, 닫힌 상태에 있는 경우는, 리턴 스프링 20의 힘에 의하여, 격판 24이 밸브 시트 54와 밀접하고, 여기에서, 조종실 55의 내부에 압축 공기를 공급할 대, 압축 공기의 압력이 리턴 스프링 20의 힘에 대항하여, 격판 24이 밸브 시트 54로부터 떨어져, 열린 상태에 있게 된다. 이 점에서, 표준의 닫힌 흡기 비례 밸브 42, 표준의 닫힌 배기 비례 밸브 43, 표준의 열린 배기 비례 밸브 44를 제어 기판 45를 통하여 제어하는 전공 조절부 41를 구비하는 것에 의하여, 전류가 통하지 않을 때에는, 조종실 55의 내부의 압축 공기가 배출되는 상태가 유지되고, 닫힌 상태로의 이행, 닫힌 상태의 유지가 되어, 전류가 통하지 않는 때에 있는 제어 유체의 유출을 방지하는 것이 가능하다. Therefore, when the flow control valve 1B of the second embodiment is in the closed state, the diaphragm 24 is in close contact with the valve seat 54 by the force of the return spring 20, where compressed air is supplied into the cockpit 55. When supplying, the pressure of the compressed air is in the open state, apart from the valve seat 54, against the force of the return spring 20. In this regard, when the electric current does not flow by providing the standard closed intake proportional valve 42, the standard closed exhaust proportional valve 43, and the standard open exhaust proportional valve 44 through the control board 45, The state in which the compressed air inside the cockpit 55 is discharged is maintained, the transition to the closed state and the closed state are maintained, and it is possible to prevent the outflow of the control fluid when no current flows.

도 1은, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브의 단면도를 도시한다.FIG. 1: shows sectional drawing of the flow control valve of 1st Embodiment.

도 2는, 제 1 실시의 형태의 유량 제어 밸브의 단면도를 도시한다. FIG. 2: shows sectional drawing of the flow control valve of 1st Embodiment. FIG.

도 3은, 제 2 실시의 형태의 유량 제어 밸브의 단면도를 도시한다.3 shows a cross-sectional view of the flow control valve of the second embodiment.

도 4는, 종래 기술의 유량 제어 밸브의 일 예의 단면도를 도시한다.4 shows a sectional view of an example of a flow control valve of the prior art.

도 5는, 종래 기술의 유량 제어 밸브의 일 예의 단면도를 도시한다.5 is a sectional view of an example of a flow control valve of the prior art.

이상 상술한 것에 의하여, 본 발명의 유량 제어 밸브에 있어서는, 피스톤이 접합 부재에 접촉하여 정지할 때, 피스톤의 선단에 설치된 밸브 본체도 정지하여 열린 상태에 있고, 피스톤에 설치된 밸브 본체 및 밸브 시트의 틈이 고정되나, 이 점에서, 접합 부재를 전진, 후퇴의 직진 동작으로 임의의 위치까지 이동시키는 모터 구동 제어 기구에 의하여, 피스톤에 설치된 밸브 본체 및 밸브 시트의 틈을 정확하게 조정하여 유량 제어를 행하는 것이 가능하고, 본 발명의 유량 제어 밸브는, 열린 상태에 있는 피스톤의 정지 위치를 접촉하여 결정하는 것으로 인하여 유량 조정이 행하여지는 경우에 있어서, 유량 조정을 원격으로 그리고 정확하게 행하는 것이 가능하다. As described above, in the flow control valve of the present invention, when the piston comes into contact with the joining member and stops, the valve body provided at the tip of the piston is also stopped and opened. Although the gap is fixed, in this respect, the flow control is performed by precisely adjusting the gap between the valve body and the valve seat provided in the piston by a motor drive control mechanism for moving the joining member to an arbitrary position in a forward movement of the forward and backward movement. It is possible to perform the flow rate control valve of the present invention remotely and accurately in the case where the flow rate adjustment is performed by contacting and determining the stop position of the piston in the open state.

또한 본 발명의 유량 제어 밸브는, 닫힌 상태에 있는 경우에는, 스프링의 힘에 의하여, 밸브 본체가 밸브 시트와 밀접하고, 여기에서, 조종실 내에 압축 공기 를 공급할 때, 압축 공기의 압력이 용수철의 힘에 대항하여, 밸브 본체가 밸브 시트로부터 틈이 있고, 열린 상태에 있으나, 이 점에서, 전공 조절부의 전류가 통하지 않는 상태가 배출 회로의 연결 상태에 있어서는, 전류가 통하지 않는 경우에는, 조종실 내의 압축 공기가 배출된 상태가 유지되고, 닫힌 상태로의 이행, 닫힌 상태의 유지가 되어, 전류가 통하지 않는 제어 유체의 유출을 방지하는 것이 가능하다.In addition, when the flow control valve of the present invention is in the closed state, the valve body is in close contact with the valve seat by the force of the spring, and when the compressed air is supplied into the cockpit, the pressure of the compressed air is the force of the spring. In contrast, the valve body has a gap from the valve seat and is in an open state. However, in this case, when the current does not pass in the state where the electric current control part is connected, in the connected state of the discharge circuit, the compression in the cockpit is performed. The state in which the air is discharged is maintained, the transition to the closed state and the closed state are maintained, and it is possible to prevent the outflow of the control fluid through which no current flows.

또한, 본 발명의 유량 제어 밸브는, 닫힌 상태에 있는 경우에는, 스프링의 힘에 의하여 밸브 본체가 밸브 시트와 밀접하여, 여기에서, 조종실 내에 압축 공기를 공급할 때, 압축 공기의 압력이 용수철의 힘에 대항하여, 밸브 본체가 밸브 시트로부터 틈이 있고, 열린 상태에 있으나, 이 점에서, 조종실 내 및 외부를 가까이 연결하는 상태에 있도록 블리드 기구를 구비하는 경우에는, 전류가 통하지 않는 경우에는, 조종실 내의 압축 공기를 블리드 기구 외부에 소량씩 배출되는 상태가 유지되어, 밸브 시트가 밸브 본체에 밀접한 상태로의 이행, 닫힌 상태의 유지가 되어 있어, 전류가 통하지 않는 때에 있어서 제어 유체의 유출을 방지하는 것이 가능하다. In addition, when the flow control valve of the present invention is in the closed state, the valve body is in close contact with the valve seat by the force of the spring, where the pressure of the compressed air is the force of the spring when the compressed air is supplied into the cockpit. In contrast, when the valve body is provided with a gap from the valve seat and is in an open state, but the bleed mechanism is provided in such a state as to closely connect the inside and the outside of the cockpit, when the current does not flow, the cockpit The state in which the compressed air inside is discharged little by little outside the bleed mechanism is maintained, and the valve seat is moved to the state close to the valve body and maintained in the closed state, which prevents the flow of the control fluid when no current flows. It is possible.

Claims

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The valve body is in a state of being closed close to the valve seat by the force of the spring, while the valve body is opened away from the valve seat by moving the valve body at the pressure of the compressed air supplied into the cockpit. In the flow control valve,

Electro-optic control unit for controlling the intake and exhaust of the compressed air in the cockpit,

The major adjustment unit,

An intake proportional valve for supplying compressed air to the cockpit,

An exhaust proportional valve for discharging the compressed air using the exhaust proportional valve in the cockpit;

A supply passage for communicating a source of compressed air with the cockpit using the intake proportional valve;

An exhaust passage communicating the cockpit with the outside using the exhaust proportional valve;

And a passage block having a communication path for bypassing the exhaust proportional valve to communicate with the outside of the cockpit.

The major adjustment unit,

An intake proportional valve for supplying compressed air to the cockpit,

And a passage block having a communication path in which a bleed mechanism is installed to bypass the exhaust proportional valve and communicate with the outside of the cockpit.

The method according to claim 6 or 7,

A flow control valve used in a semiconductor manufacturing apparatus.