KR100944149B1 - A Valve Assembly and A method thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명은 밸브 어셈블리 및 밸브 어셈블리 작동방법에 관한 것으로, 본 발명인 밸브 어셈블리는, 상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명인 밸브 어셈블리는, 내부에 유로가 형성되고, 일측에 유입구가 타측에 토출구가 마련되는 몸체부; 상기 유로를 선택적으로 개폐하기 위한 개폐부; 상기 몸체부에서 상기 개폐부의 이동경로 상 일측에 마련되어 공기가 유출입되면서 상기 개폐부를 승하강시키는 에어부; 상기 개폐부의 일측에 마련되어 상기 개폐부가 이동하는 정도를 센싱하는 센싱부; 그리고, 상기 센싱부에서 전달되는 신호를 전달받고, 상기 개폐부를 제어하는 제어부;를 포함하여 구성될 수 있다. The present invention relates to a valve assembly and a valve assembly operating method, the valve assembly of the present invention, according to a feature of the present invention for achieving the above object, the valve assembly of the present invention, the flow path is formed therein, one side A body portion in which an inlet is provided at an outlet at the other side; An opening and closing portion for selectively opening and closing the flow path; An air unit provided on one side of a moving path of the opening and closing part in the body part to lift and lower the opening and closing part while air flows in and out; A sensing unit provided at one side of the opening and closing part to sense a degree of movement of the opening and closing part; The controller may be configured to receive a signal transmitted from the sensing unit and control the opening and closing unit.
개폐부, 센싱부 Opening and closing part, sensing part
Description
본 발명은 밸브 어셈블리에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 밸브의 개폐가 안정적으로 제어될 수 있는 밸브 어셈블리 및 이것의 작동방법에 관한 것이다. The present invention relates to a valve assembly, and more particularly to a valve assembly and a method of operating the valve opening and closing of the valve can be controlled stably.
가스가 유동되는 유로를 개폐하는 것을 제어하기 위해, 일반적으로 밸브가 사용된다. 상기 밸브는 일반적으로 도 1에 도시된 바와 같이 구성된다. In order to control opening and closing of the flow path through which the gas flows, a valve is generally used. The valve is generally configured as shown in FIG.
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 밸브는 유입구(2)로 유입되어 토출구(4)로 이동하는 가스의 유동을 제어하게 된다. 상기 밸브에는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 내부의 유로를 개폐하는 개폐부(6)가 마련된다. 상기 개폐부(6)의 일단에는 에어부(8)가 마련되며, 상기 에어부(8)로 공기의 유출입되면서 상기 개폐부(6)가 승하강되도록 하여 결과적으로 상기 유로가 개폐될 수 있게 된다. As shown in FIG. 1, the valve controls the flow of gas flowing into the inlet 2 and moving to the outlet 4. As shown in FIG. 1, the valve is provided with an opening / closing part 6 for opening and closing the flow path inside the valve. An air part 8 is provided at one end of the opening and closing part 6, and the air opening and closing part 6 is raised and lowered as air flows in and out of the air part 8, so that the flow path can be opened and closed as a result.
상기 밸브의 작동과정을 설명하면, 제어부(미도시)에 의해 상기 에어부(8)로 공기가 유입되면, 상기 에어부(8)로 유입되는 공기의 힘에 의해, 상기 개폐부(6)가 상승하게 된다. 그러면, 상기 유로가 열리면서, 상기 유입구(2)를 통하여 토출구(4)로 즉, 상기 밸브가 설치되는 파이프를 따라 가스가 유동될 수 있게 된다. Referring to the operation of the valve, when the air flows into the air unit 8 by a controller (not shown), the opening and closing part 6 is raised by the force of air flowing into the air unit 8 Done. Then, as the flow path is opened, gas can flow through the inlet port 2 to the discharge port 4, that is, along the pipe in which the valve is installed.
그러나, 상기한 바와 같은 종래 기술에서는 다음과 같은 문제점이 있다. However, the above-described prior art has the following problems.
에어부에 공기가 유입되어 상기 개폐부가 상승하게 되고, 상기 에어부에서 공기가 배출되면 상기 개폐부가 하강하여 상기 밸브가 개폐된다. Air is introduced into the air portion to open and close the opening, and when air is discharged from the air portion, the opening and closing portion descends to open and close the valve.
이에 대해, 상기 에어부에 누설이 발생하면 상기 밸브가 제대로 작동하지 않게 되고, 설치된 파이프 내의 공기를 완전히 제거해야 되는 경우 상기 공기가 완전히 배출되지 않으면서 잔존하는 공기가 다른 가스와 반응하여 파이프의 오염 등이 발생되는 문제점이 있다. On the other hand, when the leakage occurs in the air, the valve does not work properly. When the air in the installed pipe needs to be completely removed, the remaining air reacts with other gases without the air being completely discharged. Etc. There is a problem that occurs.
그리고, 상기 밸브가 안정적으로 작동하고 있는지 외부에서 사용자가 알 수 있는 방법이 없어 더욱 안정성이 떨어지는 문제점이 발생한다. In addition, there is no problem that the user can know from the outside whether the valve is operating stably, there is a problem that the stability is lower.
따라서, 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 밸브가 안정적으로 작동하는 밸브 어셈블리 및 밸브 어셈블리 작동방법을 제공하는 것이다. Accordingly, an object of the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, and to provide a valve assembly and a valve assembly operating method in which the valve operates stably.
또한, 본 발명의 다른 목적은 밸브가 개폐되는 것을 외부의 사용자가 알 수 있는 밸브 어셈블리 및 밸브 어셈블리 작동방법을 제공하는 것이다. In addition, another object of the present invention is to provide a valve assembly and a valve assembly operating method that allows an external user to know that the valve is opened and closed.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명인 밸브 어셈블리는, 내부에 유로가 형성되고, 일측에 유입구가 타측에 토출구가 마련되는 몸체부; 상기 유로를 선택적으로 개폐하기 위한 개폐부; 상기 몸체부에서 상기 개폐부의 이동경로 상 일측에 마련되어 공기가 유출입되면서 상기 개폐부를 승하강시키는 에어부; 상기 개폐부의 일측에 마련되어 상기 개폐부가 이동하는 정도를 센싱하는 센싱부; 그리고, 상기 센싱부에서 전달되는 신호를 전달받고, 상기 개폐부를 제어하는 제어부;를 포함하여 구성될 수 있다. According to a feature of the present invention for achieving the above object, the valve assembly according to the present invention, the body is formed with a flow path therein, the inlet is provided on one side the discharge port on the other side; An opening and closing portion for selectively opening and closing the flow path; An air unit provided on one side of a moving path of the opening and closing part in the body part to lift and lower the opening and closing part while air flows in and out; A sensing unit provided at one side of the opening and closing part to sense a degree of movement of the opening and closing part; The controller may be configured to receive a signal transmitted from the sensing unit and control the opening and closing unit.
상기 센싱부는, 상기 개폐부의 이동경로의 최상단에 형성되는 압력센서임을 특징으로 할 수 있다. The sensing unit may be a pressure sensor formed at an uppermost end of a moving path of the opening and closing unit.
상기 개폐부가 이동하면서 센싱부에서 발생된 신호를 외부의 작업자가 알 수 있는 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다. The display unit may further include a display unit which allows an external worker to know the signal generated by the sensing unit while the opening and closing unit is moved.
그리고, 본 발명의 다른 실시예인, 밸브 어셈블리 작동방법은, 개방신호가 제어부로 입력되면 상기 제어부가 상기 에어부로 공기를 유입되도록 하는 제 1단계; 상기 에어부로 유입되는 공기의 압력을 센싱부가 센싱하는 제 2단계; 상기 센싱부가 압력을 센싱하여, 상기 제어부로 개폐부가 완전히 상승하였음을 전달하는 제 3단계; 그리고, 상기 제어부는 표시부를 통하여 상기 개폐부가 완전히 개방되었음을 나타내는 제 4단계;를 포함하여 구성될 수 있다. And, another embodiment of the present invention, the valve assembly operating method, the first step of allowing the control unit to introduce air into the air unit when the open signal is input to the control unit; A second step of sensing a pressure of the air flowing into the air unit; A third step of sensing the pressure by the sensing unit and transmitting the opening and closing unit to the control unit completely; The control unit may include a fourth step indicating that the opening and closing unit is completely opened through a display unit.
본 발명에 의한 밸브 어셈블리 및 밸브 어셈블리 작동방법에서는 다음과 같은 효과가 있다. The valve assembly and the valve assembly operating method according to the present invention has the following effects.
밸브 어셈블리의 개폐를 담당하는 개폐부의 이동경로 상에 센서를 설치하여, 상기 개폐부가 완전하게 개폐되는 것을 밸브 어셈블리가 감지할 수 있어 밸브 어셈블리의 작동이 안정적으로 이루어져 밸브 어셈블리의 신뢰성이 높아지는 효과가 있다. By installing a sensor on the movement path of the opening and closing part that opens and closes the valve assembly, the valve assembly can detect that the opening and closing part is completely opened and closed, thereby stably operating the valve assembly, thereby increasing the reliability of the valve assembly. .
또한, 밸브 어셈블리의 개폐를 담당하는 개폐부의 이동경로 상에 센서를 설치하여, 상기 센서가 상기 개폐부의 개폐를 센싱하여 사용자가 알 수 있도록 하여 밸브 어셈블리의 신뢰성이 높아지는 효과가 있다. In addition, by installing a sensor on the movement path of the opening and closing portion that is responsible for opening and closing of the valve assembly, the sensor senses the opening and closing of the opening and closing so that the user knows there is an effect of increasing the reliability of the valve assembly.
이하 본 발명에 의한 밸브 어셈블리의 바람직한 실시예가 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the valve assembly according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명에 의한 밸브 어셈블리는, 내부에 유로가 형성되고 일측에 유입구가 타측에 토출구가 마련되는 몸체부(10)와, 상기 유로를 선택적으로 개폐하기 위한 개폐부(20)와, 상기 몸체부(10)에서 상기 개폐부(20)의 이동경로 상에 마련되어 공기가 유출입되면서 상기 개폐부(20)를 승하강시키는 에어부(30)와, 상기 개폐부(20)의 일측에 마련되어 상기 개폐부(20)가 이동하는 정도를 센싱하는 센싱부(40)와, 상기 센싱부(40)에서 전달되는 신호를 전달받고, 상기 개폐부(20)를 제어하는 제어부(50)를 포함하여 구성될 수 있다. The valve assembly according to the present invention includes a
먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 밸브 어셈블리에는 몸체부(10)가 마련된다. 상기 몸체부(10)는 기체 또는 액체가 유동하는 파이프(미도시)와 같은 경로 상에 마련된다. 즉, 다시 말하면, 상기 몸체부(10)에는 유입구(12)와 토출구(14)가 마련되어, 상기 파이프에 연통된다. First, as shown in Figure 2, the valve assembly is provided with a body portion (10). The
그러므로, 상기 파이프를 따라 유동하는 기체 또는 액체는 상기 몸체부(10)의 유입구(12)를 통하여 상기 몸체부(10) 내부의 유로를 따라 이동하고, 상기 몸체부(10)의 토출구(14)를 통하여 다시 파이프로 배출되게 된다. Therefore, the gas or liquid flowing along the pipe moves along the flow path inside the
상기 몸체부(10) 내부에는 상기 유로를 선택적으로 개폐할 수 있는 개폐부(20)가 마련된다. 상기 개폐부(20)는 상기 유로를 개폐할 수 있는 수단이면 어떤 형상이라도 적용가능하며 예를 들면 도 2에 도시된 바와 같이 구성될 수 있다. The
상기 개폐부(20)는 원통형상으로 형성되어 하단은 상기 유로를 개폐하는 역할을 하고, 상기 개폐부(20)의 상단 일측에는 상기 개폐부(20)의 직경보다 큰 직경으로 형성되는 지지대(22)가 마련된다. 상기 지지대(22)는 아래에서 설명될 에어부(30)에 접촉되어 에어부(30)의 공기양에 따라 상기 개폐부(20)가 상하로 승강할 수 있도록 한다. The opening and closing
그리고, 상기 몸체부(10)에는 에어부(30)가 마련된다. 보다 구체적으로는 상기 에어부(30)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 개폐부(20)의 지지대(22)의 하방에 구비된다. The
상기 에어부(30)의 일측에는 에어펌프(32)가 마련되어, 상기 에어부(30)로 공기의 유출입을 제어할 수 있게 된다. 상기 에어펌프(32)는 제어부(50)에 의해 제어되는데, 상기 개폐부(20)의 개방신호가 입력되면, 상기 에어펌프(32)로 하여금 상기 에어부(30)로 공기가 유입되도록 한다. 결국, 상기 개폐부(20)가 상기 에어부(30)의 공기로 인하여 상승하도록 하는 것이다. An
한편, 상술한 것과 반대로, 상기 제어부(50)에 개폐부(20)의 닫힘신호가 입력되면, 상기 에어펌프(32)로 하여금 상기 에어부(30)의 공기를 빼내어, 상기 개폐부(20)가 하강하도록 한다. On the other hand, contrary to the above, when the closing signal of the opening and
그리고, 본 발명인 밸브 어셈블리에는 센싱부(40)가 더 마련된다. 상기 센싱부(40)는 상기 개폐부(20)의 일측에 마련된다. 보다 구체적으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 센싱부(40)는 상기 개폐부(20)의 이동경로의 상방에 마련될 수 있다. In addition, the
즉, 상기 개폐부(20)가 승하강하면서, 상기 센싱부(40)와 접촉하여 상기 개폐부(20)가 상기 유로를 완전히 개방시켰다는 것을 작업자가 알 수 있도록 할 수 있다. That is, as the opening and closing
물론, 상기 센싱부(40)는 상기 개폐부(20)가 이동하는 경로 즉 상기 개폐부(20)의 측방향에 설치될 수 있으며, 상기 에어부(30)에 설치될 수도 있다. 즉 상 기 에어부(30)에 입출입되는 공기의 압력을 판단하여 상기 개폐부(20)가 완전히 상승하였는지 하강하였는지 여부를 판단할 수 있게 된다. Of course, the
또한, 상기 센싱부(40)는 압력센서로 구성될 수 있다. 즉, 상술한 바와 같이, 상기 개폐부(20)가 상승하여, 상기 개폐부(20)의 상단이 상기 센싱부(40)에 접촉되어 상기 센싱부(40)에 압력을 가하게 되면, 상기 센싱부(40)는 전기적신호를 발생시켜, 상기 제어부(50)를 통하여 작업자로 하여금 상기 개폐부(20)가 완전히 개방하였음을 알 수 있도록 할 수 있다. In addition, the
그리고, 본 발명인 밸브 어셈블리에는 표시부(미도시)가 더 마련될 수 있다. 상기 표시부는 상술한 과정에서 나타나는 신호 및 작업상태를 사용자가 알 수 있도록 외부로 표시하는 역할을 한다. In addition, the valve assembly according to the present invention may further include a display unit (not shown). The display unit displays the signal and the work state displayed in the above-described process to the outside for the user to know.
예를 들면, 상기 표시부는, 상기 개폐부(20)가 상기 유로를 완전히 개방시켰다는 것과, 상기 개폐부(20)가 상기 유로를 폐쇄시켰다는 점을 사용자가 알 수 있도록 나타낼 수 있다. For example, the display unit may indicate to the user that the opening and closing
그리고, 본 발명인 밸브 어셈블리에는 제어부(50)가 마련된다. 상기 제어부(50)는 상기 센싱부(40)에서 전달되는 신호를 전달받고 전달하며, 상기 개폐부(20)의 개폐여부를 작업자가 제어할 수 있도록 한다. And the
이하, 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 밸브 어셈블리의 작용을 상세하게 설명한다. Hereinafter, the operation of the valve assembly according to the present invention having the configuration as described above in detail.
먼저, 작업자에 의해 제어부(50)로 개방신호가 입력되면, 상기 제어부(50)는 에어펌프(32)를 작동시켜 상기 에어부(30)로 공기가 유입되도록 한다. 상기 에어 부(30)에 공기가 유입되면, 상기 에어부(30)의 공기에 의해 상기 개폐부(20)의 지지대(22)를 상방으로 밀어 올리게 된다. First, when an open signal is input to the
그러면, 상기 개폐부(20)가 계속 상승하게 되고, 결국 상기 개폐부(20)는 상기 센싱부(40)에 접촉하게 된다. 상기 센싱부(40)는 상기 계폐부(20)의 접촉에 의해 상기 개폐부(20)가 완전히 상승하여, 유로가 개방되었다는 신호를 상기 제어부(50)로 전송한다. Then, the opening and closing
상기 제어부(50)는 표시부를 통하여 상기 개폐부(20)가 상기 유로를 완전히 개방하였음을 상기 표시부를 통하여 작업자가 알 수 있도록 나타낸다. The
그리고, 작업자가 제어부(50)로 닫힘신호를 입력하면, 상기 제어부(50)는 에어펌프(32)를 작동시켜 상기 에어부(30)의 공기를 제거한다. 상기 에어부(30)의 공기가 제거되면서, 상기 개폐부(20)는 하강하게 되어, 결국 몸체부(10)의 유로를 닫게 된다. When the operator inputs a closing signal to the
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의 되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 점은 자명하다. The rights of the present invention are not limited to the embodiments described above, but are defined by the claims, and those skilled in the art can make various modifications and adaptations within the scope of the claims. The point is self-explanatory.
도 1은 종래 기술에 의한 밸브 어셈블리의 구성을 보인 단면도.1 is a cross-sectional view showing the configuration of a valve assembly according to the prior art.
도 2는 본 발명에 의한 밸브 어셈블리의 구성을 보인 단면도.Figure 2 is a cross-sectional view showing the configuration of the valve assembly according to the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10: 몸체부 12: 유입구10: body portion 12: inlet
14: 토출구 20: 개폐부14: discharge port 20: opening and closing portion
22: 지지대 30: 에어부22: support 30: air portion
32: 에어펌프 40: 센싱부32: air pump 40: sensing unit
50: 제어부50: control unit
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070137232A KR100944149B1 (en) | 2007-12-26 | 2007-12-26 | A Valve Assembly and A method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070137232A KR100944149B1 (en) | 2007-12-26 | 2007-12-26 | A Valve Assembly and A method thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090069534A KR20090069534A (en) | 2009-07-01 |
KR100944149B1 true KR100944149B1 (en) | 2010-02-24 |
Family
ID=41321167
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070137232A KR100944149B1 (en) | 2007-12-26 | 2007-12-26 | A Valve Assembly and A method thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100944149B1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101346362B1 (en) * | 2012-06-05 | 2013-12-31 | 방민규 | Valve for He gas control system of electrostatic chuck |
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-
2007
- 2007-12-26 KR KR1020070137232A patent/KR100944149B1/en not_active IP Right Cessation
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20090069534A (en) | 2009-07-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |