KR101346362B1 - Valve for He gas control system of electrostatic chuck - Google Patents

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Abstract

본 발명은 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브에 관한 것이다. 본 발명은 밸브캡을 관통하여 하단이 에어챔버에 위치하며 상단이 밸브캡의 상부에 위치하는 감지로드와, 상기 감지로드의 상부에 구비되어 감지로드의 승강 위치를 감지하는 감지센서를 가지는 밸브동작감지수단을 포함한 것으로, 구동에어 공급라인과 구동에어 공급관의 접속이탈이나 찢김 등으로 인한 에어누설과 라인 꺾임 등에 의하여 상기 에어작동부에 대한 구동에어의 공급이 이루어지지 않아 밸브작동부가 개방되지 않게 되는 경우, 감지로드와 감지센서에 의하여 밸브작동부가 개방되지 않았음을 감지하여 그 감지신호를 장비제어부에 전송함으로써 장비제어부가 프로세스를 중단시키도록 함으로써 심각한 공정 불량을 방지할 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a valve for an electrostatic chuck helium gas control system. The present invention penetrates the valve cap and the lower end is located in the air chamber and the upper end of the valve rod having a sensing rod, and the sensing sensor provided on the upper portion of the sensing rod to sense the lifting position of the sensing rod It includes a sensing means, the valve operating part is not opened because the air supply is not supplied to the air operation unit due to air leakage and line bending due to disconnection or tearing of the drive air supply line and the drive air supply pipe. In this case, the sensing rod and the sensing sensor detect that the valve operation part is not opened and transmit the sensing signal to the equipment control unit so that the equipment control unit stops the process, thereby preventing a serious process failure.

Description

정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브{Valve for He gas control system of electrostatic chuck}Valve for He gas control system of electrostatic chuck

본 발명은 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 구동에어 공급라인과 구동에어 공급관의 접속이탈이나 찢김 등으로 인한 에어누설과 라인 꺾임 등에 의하여 상기 에어작동부에 대한 구동에어의 공급이 이루어지지 않아 밸브작동부가 개방되지 않게 되는 경우, 밸브작동부가 개방되지 않았음을 감지하여 그 감지신호를 장비제어부에 전송함으로써 장비제어부가 프로세스를 중단시키도록 함으로써 심각한 공정 불량을 방지할 수 있도록 한 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a valve for an electrostatic chuck helium gas control system, and more specifically, to a drive air for the air operation unit by air leakage and line break due to disconnection or tearing of the drive air supply line and the drive air supply pipe. If the valve operation part is not opened due to the failure of supply of, the detection of the valve operation part is not opened and the detection signal is transmitted to the equipment control unit so that the equipment control unit stops the process, thereby preventing serious process defects. A valve for an electrostatic chuck helium gas control system is provided.

반도체 제조공정에서 웨이퍼를 고정하기 위하여 정전척이 널리 사용되고 있다. 정전척 위에 안착된 웨이퍼는 정전척의 온도를 전달받게 되며, 이러한 온도 전달이 원활하게 이루어지도록 하기 위하여 정전척에 헬륨가스를 공급한다.Electrostatic chucks are widely used to fix wafers in semiconductor manufacturing processes. The wafer seated on the electrostatic chuck receives the temperature of the electrostatic chuck, and supplies helium gas to the electrostatic chuck to facilitate the temperature transfer.

종래 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템은 도 5에 도시한 바와 같이, 헬륨가스 공급원(S)과 정전척(C)의 백사이드를 연결하는 헬륨가스 공급라인(L1)에 공급밸브(V), 필터(F), 정압기(U) 및 최종밸브(Vf)가 구비된다. 정압기기(U)와 최종밸브(Vf) 사이에는 리턴라인(L2)이 연결된다.The conventional electrostatic chuck helium gas control system, as shown in Figure 5, the supply valve (V), the filter (F) to the helium gas supply line (L1) connecting the helium gas supply (S) and the backside of the electrostatic chuck (C) ), A pressure regulator (U) and a final valve (Vf) are provided. The return line L2 is connected between the constant pressure device U and the final valve Vf.

장비제어부에 의하여 공급밸브(V)와 최종밸브(Vf)가 개방되면, 헬륨가스 공급원(S)의 헬륨가스가 헬륨가스 공급라인(L1)을 통해 공급되며, 필터(F)에 의하여 정화됨과 아울러 정압기(U)에 의하여 일정한 압력으로 조정되어 정전척(C)의 백사이드에 공급되어 정전척(C)의 온도가 웨이퍼(W)에 효과적으로 전달되도록 한다.When the supply valve V and the final valve Vf are opened by the equipment control unit, helium gas of the helium gas supply source S is supplied through the helium gas supply line L1, and is purified by the filter F. The constant pressure is adjusted by the constant pressure U to be supplied to the backside of the electrostatic chuck C so that the temperature of the electrostatic chuck C is effectively transmitted to the wafer W.

도 5에서 L3, L4는 각각 상기 공급밸브(V)와 최종밸브(Vf)를 구동시키기 위한 구동에어 공급라인이며, 이들 구동에어 공급라인(L3, L4)에는 솔레노이드 밸브(미도시)가 설치된다.In FIG. 5, L3 and L4 are driving air supply lines for driving the supply valve V and the final valve Vf, respectively, and a solenoid valve (not shown) is installed in these driving air supply lines L3 and L4. .

상기 최종밸브(Vf)는 에어구동방식 밸브로서, 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 헬륨가스 공급원(S) 측에 연결되는 헬륨가스 유입관(11a)과 상기 정전척(C) 측에 연결되는 헬륨가스 유출관(11b)을 가지며 내부에 상기 헬륨가스 유입관(11a)과 헬륨가스 유출구(11b) 사이를 개폐하는 다이아프램(미도시)이 내장된 밸브작동부(11)와, 상기 밸브작동부(11)의 상단에 결합되어 에어챔버(12a)와 상기 에어챔버(12a)와 밸브작동부(11)를 연결하는 에어연결부(12b)를 가지는 에어작동부(12)와, 상기 에어작동부(12)의 상단에 결합되어 상기 에어챔버(12a)를 폐쇄하며 상기 에어챔버(12a)와 외부를 연통시키는 에어통로(13a)를 가지는 밸브캡(13)과, 상기 에어통로(13a)에 연결되어 상기 에어챔버(12a)에 상기 밸브작동부(11)의 다이아프램을 구동하기 위한 구동에어를 공급하는 구동에어 공급관(14)을 포함한다. 상기 구동에어 공급관(14)은 상기 구동에어 공급라인(L4)에 연결되는 것이다.The final valve (Vf) is an air-driven valve, as shown in Figure 6, is connected to the helium gas inlet pipe (11a) and the electrostatic chuck (C) side connected to the helium gas supply source (S) side. A valve operating portion 11 having a helium gas outlet pipe 11b and having a diaphragm (not shown) for opening and closing the helium gas inlet pipe 11a and the helium gas outlet 11b therein; An air operating unit 12 coupled to an upper end of the unit 11 and having an air chamber 12a and an air connecting unit 12b connecting the air chamber 12a and the valve operating unit 11 to the air operating unit 12; A valve cap 13 coupled to the upper end of the valve 12 and closing the air chamber 12a and having an air passage 13a for communicating with the outside of the air chamber 12a, and connected to the air passage 13a. Drive air ball for supplying a drive air for driving the diaphragm of the valve operation portion 11 to the air chamber (12a) It comprises a pipe (14). The drive air supply pipe 14 is connected to the drive air supply line (L4).

상기 밸브작동부(11)는 상기 스프링(15)에 의하여 다이아프램이 상시 상기 헬륨가스 유입관(11a)과 헬륨가스 유출관(11b) 사이를 폐쇄한 상태로 유지된다. 상기 밸브작동부(11)의 내부 구조에 대해서는 구체적인 도시 및 설명은 생략한다.The valve operation part 11 is maintained by the spring 15, the diaphragm is always closed between the helium gas inlet pipe (11a) and helium gas outlet pipe (11b). Detailed illustration and description of the internal structure of the valve operation unit 11 is omitted.

상기 에어챔버(12a)의 내부에는 상기 밸브작동부(11) 내의 다이아프램을 밸브폐쇄방향으로 탄력지지하기 위한 스프링(15)이 설치된다.A spring 15 is installed inside the air chamber 12a to elastically support the diaphragm in the valve operation portion 11 in the valve closing direction.

장비제어부로부터의 밸브개방신호에 따라 구동에어 공급관(14)에 구동에어가 공급되면, 구동에어는 상기 에어통로(13a)를 통해 에어챔버(12a) 내부로 유입되고, 이 구동에어에 의하여 상기 밸브작동부(11)가 개방된다. 상기 밸브작동부(11)가 개방되면 상기 헬륨가스 공급원(S)으로부터 헬륨가스 공급관(L1)으로 공급되는 헬륨가스가 필터(F)에 의해 정화됨과 아울러 정압기(U)에 의하여 일정한 압력으로 조정된 다음, 상기 헬륨가스 유입관(11a)과 헬륨가스 유출관(11b)을 통해 상기 정전척(C)에 공급된다.When the drive air is supplied to the drive air supply pipe 14 according to the valve open signal from the equipment control unit, the drive air is introduced into the air chamber 12a through the air passage 13a, and the valve is driven by the drive air. The operating part 11 is opened. When the valve operation unit 11 is opened, helium gas supplied from the helium gas supply source S to the helium gas supply pipe L1 is purified by the filter F and adjusted to a constant pressure by the constant pressure unit U. Next, the helium gas inlet pipe 11a and the helium gas outlet pipe 11b are supplied to the electrostatic chuck C.

장비제어부로부터의 밸브폐쇄신호에 따라 상기 구동에어 공급관(14)에 대한 구동에어의 공급이 중단되면, 상기 밸브작동부(11)가 폐쇄되고, 이에 따라 상기 정전척(C)에 대한 헬륨가스의 공급이 차단된다.When the supply of the drive air to the drive air supply pipe 14 is stopped in response to the valve closing signal from the equipment control unit, the valve operation unit 11 is closed, and thus the helium gas to the electrostatic chuck C is discharged. The supply is cut off.

이러한 헬륨가스 컨트롤 시스템은 헬륨가스 공급라인(L1)에 구비된 공급밸브(V)로부터 필터(F)를 통해 최종밸브(Vf) 직전에 이르는 헬륨가스 경로에 문제가 생겨 헬륨가스의 공급이 이루어지지 않는 경우에는 상기 정압기(U)에서 감지하여 대처할 수 있도록 구성되어 있다.This helium gas control system has a problem in the helium gas path from the supply valve (V) provided in the helium gas supply line (L1) to the end just before the final valve (Vf) through the filter (F), the supply of helium gas is not made. If not, it is configured to detect and cope with the pressure regulator (U).

그러나 구동에어 공급라인(L4)과 구동에어 공급관(14)의 접속이탈이나 찢김 등으로 인한 에어누설과 라인 꺾임 등에 의하여 상기 에어작동부(12)에 대한 구동에어의 공급이 이루어지지 않을 경우, 상기 밸브작동부(11)가 개방되지 않게 되며, 그럼에도 불구하고 장비제어부는 구동에어 공급라인(L4)에 설치된 솔레노이드 밸브가 개방되었으므로 최종밸브(Vf)가 개방되어 헬륨가스가 정전척(C)에 공급되고 있는 것으로 인식하게 된다.However, when supply of the drive air to the air operation unit 12 is not performed due to air leakage and line break due to disconnection or tearing of the drive air supply line L4 and the drive air supply pipe 14. Since the valve operating part 11 is not opened, the equipment control part is nevertheless the solenoid valve installed in the drive air supply line L4 is opened so that the final valve Vf is opened so that helium gas is supplied to the electrostatic chuck C. It is recognized as being.

따라서 정전척(C)에 대한 헬륨가스의 공급이 원활하게 이루어지지 않게 되어 심각한 공정 불량을 유발하게 된다.Therefore, the supply of helium gas to the electrostatic chuck (C) is not made smoothly, causing serious process failure.

따라서 본 발명의 목적은 구동에어 공급라인과 구동에어 공급관의 접속이탈이나 찢김 등으로 인한 에어누설과 라인 꺾임 등에 의하여 상기 에어작동부에 대한 구동에어의 공급이 이루어지지 않아 밸브작동부가 개방되지 않게 되는 경우, 밸브작동부가 개방되지 않았음을 감지하여 그 감지신호를 장비제어부에 전송함으로써 장비제어부가 프로세스를 중단시키도록 함으로써 심각한 공정 불량을 방지할 수 있도록 한 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브를 제공하려는 것이다.Therefore, an object of the present invention is that the air supply is not made due to air leakage and line break due to disconnection or tearing of the drive air supply line and the drive air supply pipe, so that the valve operation part is not opened. In this case, it is to provide a valve for an electrostatic chuck helium gas control system that detects that the valve operation part is not opened and transmits the detection signal to the equipment control unit so that the equipment control unit stops the process to prevent a serious process failure. will be.

본 발명은 상술한 목적을 달성하기 위하여, 헬륨가스 유입관과 헬륨가스 유출관을 가지며 내부에 다이아프램이 구비된 밸브작동부; 상기 밸브작동부의 상단에 결합되며 상단이 개방된 에어챔버와, 상기 에어챔버와 밸브작동부를 연결하는 에어연결부를 가지는 에어작동부와; 상기 에어작동부의 상단에 결합되어 상기 에어챔버를 폐쇄하며 상기 에어챔버와 외부를 연통시키는 에어통로를 가지는 밸브캡과; 상기 에어통로에 연결되어 상기 에어챔버에 상기 밸브작동부의 개폐부재를 구동하기 위한 구동에어를 공급하는 구동에어 공급관; 및 상기 밸브캡을 관통하여 하단이 상기 에어챔버에 위치하며 상단이 상기 밸브캡의 상부에 위치하는 감지로드와, 상기 감지로드의 상부에 구비되어 상기 감지로드의 승강 위치를 감지하는 감지센서를 구비한 밸브동작감지수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브를 제공한다.The present invention has a helium gas inlet tube and helium gas outlet tube to achieve the above object, the valve operating portion having a diaphragm therein; An air operation unit coupled to an upper end of the valve operation unit and having an air chamber open at an upper end thereof, and an air connection unit connecting the air chamber and the valve operation unit; A valve cap coupled to an upper end of the air operation unit and closing the air chamber and having an air passage communicating with the outside of the air chamber; A drive air supply pipe connected to the air passage to supply drive air to the air chamber to drive the opening / closing member of the valve operation unit; And a sensing rod penetrating the valve cap and having a lower end positioned in the air chamber and an upper end positioned at an upper portion of the valve cap, and a sensing sensor provided at an upper portion of the sensing rod to sense a lifting position of the sensing rod. It provides a valve for an electrostatic chuck helium gas control system comprising a valve motion detection means.

상기 에어통로는 상기 밸브캡의 중앙부에 수직으로 형성되어 상기 에어챔버에 연통되는 수직공과, 상기 수직공에 연결되어 상기 에어라인에서 연장된 구동에어 공급관에 연결되는 경사공으로 구성된다.The air passage includes a vertical hole formed vertically in the central portion of the valve cap and communicating with the air chamber, and an inclined hole connected to the vertical hole and connected to a drive air supply pipe extending from the air line.

상기 감지로드는 하단이 상기 에어챔버에 위치하는 하단로드와, 상단이 상기 밸브캡의 상면에서 돌출되는 상단로드 및, 상기 하단로드와 상단로드의 사이에 일체로 형성되는 스토퍼를 포함하여 구성되며, 상기 밸브캡에는 상기 스토퍼가 수용되며 상단이 개방된 로드작동실과, 상기 로드작동실의 하단과 상기 에어챔버를 연통시키며 상기 하단로드를 안내하는 하단로드 안내공이 형성되고, 상기 로드작동실의 상단에 복개되며 상기 상단로드를 안내하는 상단로드 안내공을 가지는 감지로드 안내플럭이 복개되며, 상기 스토퍼의 상면과 상기 감지로드 안내플럭의 하면 사이에 삽입되어 상기 감지로드를 상시 하강위치로 탄력지지하는 감지로드 스프링을 포함하여 구성된다.The sensing rod includes a lower rod having a lower end positioned in the air chamber, an upper rod protruding from an upper surface of the valve cap, and a stopper integrally formed between the lower rod and the upper rod. The valve cap is provided with a rod operating chamber in which the stopper is received and the top of which is opened, and a lower rod guide hole communicating the lower end of the rod operating chamber with the air chamber and guiding the lower rod, and formed at an upper end of the rod operating chamber. The sensing rod guide floc is covered with a top rod guide hole for guiding the upper rod, and is inserted between the upper surface of the stopper and the lower surface of the sensing rod guide floc to sense the elastic rod to elastically support the lowering position at all times. It is configured to include a load spring.

상기 밸브캡에 고정되며 상기 센서부가 결합되는 센서결합공과 상기 감지로드의 상단부가 위치하는 공간부를 가지는 센서마운트를 더 포함하여 구성된다.The sensor cap is fixed to the valve cap and comprises a sensor mount having a sensor coupling hole to which the sensor unit is coupled and a space portion at which the upper end of the sensing rod is located.

상기 밸브캡의 상면에 형성된 복수개의 나사공과, 상기 나사공에 대응하여 상기 센서마운트에 관통 형성된 나사관통공 및, 상기 나사관통공를 관통하여 상기 나사공에 체결되는 고정나사를 포함하여 구성된다.And a plurality of screw holes formed on the upper surface of the valve cap, a screw through hole formed through the sensor mount in correspondence with the screw hole, and a set screw fastened to the screw hole through the screw through hole.

상기 나사관통공은 센서마운트의 위치를 조정할 수 있도록 하기 위하여 장공으로 형성된다.The threaded through hole is formed as a long hole to be able to adjust the position of the sensor mount.

본 발명은 밸브캡을 관통하여 하단이 에어챔버에 위치하며 상단이 밸브캡의 상부에 위치하는 감지로드와, 상기 감지로드의 상부에 구비되어 감지로드의 승강 위치를 감지하는 감지센서를 가지는 밸브동작감지수단을 포함한 것으로, 구동에어 공급라인과 구동에어 공급관의 접속이탈이나 찢김 등으로 인한 에어누설과 라인 꺾임 등에 의하여 상기 에어작동부에 대한 구동에어의 공급이 이루어지지 않아 밸브작동부가 개방되지 않게 되는 경우, 감지로드와 감지센서에 의하여 밸브작동부가 개방되지 않았음을 감지하여 그 감지신호를 장비제어부에 전송함으로써 장비제어부가 프로세스를 중단시키도록 함으로써 심각한 공정 불량을 방지할 수 있다.The present invention penetrates the valve cap and the lower end is located in the air chamber and the upper end of the valve rod having a sensing rod, and the sensing sensor provided on the upper portion of the sensing rod to sense the lifting position of the sensing rod It includes a sensing means, the valve operating part is not opened because the air supply is not supplied to the air operation unit due to air leakage and line bending due to disconnection or tearing of the drive air supply line and the drive air supply pipe. In this case, it is possible to prevent a serious process failure by detecting that the valve operation part is not opened by the sensing rod and the sensor and transmitting the detection signal to the equipment control unit so that the equipment control unit stops the process.

도 1 내지 도 4는 본 발명에 의한 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브의 바람직한 실시예를 보인 것으로,
도 1은 사시도,
도 2는 부분 파단 분해 사시도,
도 3은 부분 종단 측면도,
도 4는 부분 종단 정면도,
도 5는 종래 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템의 계통도,
도 6은 종래 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브의 부분 종단 정면도이다.1 to 4 show a preferred embodiment of the valve for the electrostatic chuck helium gas control system according to the present invention,
1 is a perspective view,
2 is a partially broken exploded perspective view,
3 is a partial longitudinal side view,
4 is a partial longitudinal front view,
5 is a system diagram of a conventional electrostatic chuck helium gas control system,
6 is a partial longitudinal front view of a valve for a conventional electrostatic chuck helium gas control system.

이하, 본 발명에 의한 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a valve for an electrostatic chuck helium gas control system according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 4는 본 발명에 의한 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브의 바람직한 실시예를 보인 것이다,1 to 4 show a preferred embodiment of the valve for the electrostatic chuck helium gas control system according to the present invention,

본 실시예에 따른 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브는, 도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 헬륨가스 유입관(110)과 헬륨가스 유출구(120)를 가지며 내부에 상기 헬륨가스 유입관(110)과 헬륨가스 유출구(120) 사이를 개폐하는 개폐부재(미도시)가 내장된 밸브작동부(100)와, 상기 밸브작동부(100)의 상단에 결합되며 상단이 개방된 에어챔버(210)와, 상기 에어챔버(210)와 밸브작동부(100)를 연결하는 에어연결부(220)를 가지는 에어작동부(200)와, 상기 에어작동부(200)의 상단에 결합되어 상기 에어챔버(210)를 폐쇄하며 상기 에어챔버(210)와 외부를 연통시키는 에어통로(310)를 가지는 밸브캡(300)과, 상기 에어통로(310)에 연결되어 상기 에어챔버(210)에 상기 밸브작동부(100)의 개폐부재를 구동하기 위한 구동에어를 공급하는 구동에어 공급관(400)을 포함한다.1 to 4, the valve for the electrostatic chuck helium gas control system according to the present embodiment has a helium gas inlet pipe 110 and a helium gas outlet 120, and the helium gas inlet pipe ( A valve operating unit 100 having a built-in opening and closing member (not shown) for opening and closing between the 110 and the helium gas outlet 120, and an air chamber 210 coupled to an upper end of the valve operating unit 100 and open at an upper end thereof. ), An air operation unit 200 having an air connection unit 220 connecting the air chamber 210 and the valve operation unit 100, and the air chamber coupled to an upper end of the air operation unit 200. A valve cap 300 having an air passage 310 for closing the 210 and communicating the outside with the air chamber 210, and the valve operation portion connected to the air passage 310 to the air chamber 210. It includes a drive air supply pipe 400 for supplying a drive air for driving the opening and closing member of (100).

상기 밸브작동부(100) 내에는 헬륨가스 유입관(110)과 헬륨가스 유출관(120) 사이를 개폐하는 개폐부재로서 다이아프램(미도시)이 내장된다. 상기 밸브작동부(100)는 상기 에어챔버(210)에 구동에어가 공급되지 않은 상태에서는 다이아프램이 상기 헬륨가스 유입관(110)과 헬륨가스 유출관(120) 사이를 폐쇄한 상태로 유지되는 노멀 크로스 타입(normal close type)이다.In the valve operation part 100, a diaphragm (not shown) is embedded as an opening / closing member for opening and closing between the helium gas inlet pipe 110 and the helium gas outlet pipe 120. The valve operation unit 100 is a state in which a diaphragm is maintained between the helium gas inlet pipe 110 and the helium gas outlet pipe 120 in a state where the driving air is not supplied to the air chamber 210. Normal close type.

상기 밸브작동부(100)는 본 발명의 핵심 구성 요소가 아니므로 그 내부 구조에 대해서는 구체적인 도시 및 설명을 생략한다.Since the valve operation unit 100 is not a core component of the present invention, a detailed illustration and description thereof will be omitted.

상기 에어작동부(200)는 상기 밸브작동부(100)를 구동하는 에어가 작동하는 부분으로서 상기 에어챔버(210)에 유입된 구동에어를 상기 밸브작동부(100)로 공급하는 부분이다. 상기 에어챔버(210)의 내부에는 상기 밸브작동부(100)를 노멀 크로스 상태로 유지시키기 위한 스프링(230)이 삽입된다.The air operation unit 200 is a portion for operating the air driving the valve operation unit 100 is a portion for supplying the drive air introduced into the air chamber 210 to the valve operation unit 100. A spring 230 is inserted into the air chamber 210 to maintain the valve operation unit 100 in a normal cross state.

상기 밸브캡(300)은 상기 에어챔버(210)의 상단을 폐쇄함과 아울러 상기 구동에어 공급관(400)이 연결되는 부분이다.The valve cap 300 closes the upper end of the air chamber 210 and is a part to which the driving air supply pipe 400 is connected.

상기 에어통로(310)는 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 밸브캡(300)의 중앙부에 수직으로 형성되어 상기 에어챔버(210)에 연통되는 수직공(311)과, 상기 수직공(311)에 연결되어 상기 에어라인(L4)에서 연장된 구동에어 공급관(400)에 연결되는 경사공(312)으로 구성된다.As shown in FIG. 3, the air passage 310 is formed perpendicular to the central portion of the valve cap 300 so as to communicate with the air chamber 210 and the vertical hole 311 and the vertical hole 311. It is connected to the air line (L4) is composed of the inclined hole (312) connected to the drive air supply pipe (400).

이는 후술하는 밸브동작감지수단(500)의 추가 설치로 인하여 상기 밸브캡(300)에 대한 상기 구동에어 공급관(400)의 설치 위치가 상기 밸브캡(300)의 정중앙에 위치하지 못하기 때문이다.This is because the installation position of the drive air supply pipe 400 with respect to the valve cap 300 is not located at the center of the valve cap 300 due to the additional installation of the valve operation detecting means 500 to be described later.

상기 구동에어 공급관(400)을 상기 밸브캡(300)에 고정 연결하기 위하여 상기 구동에어 공급관(400)의 선단에는 연결구(410)가 구비되며, 상기 밸브캡(300)에는 상기 에어통로(310)에 연통됨과 아울러 상기 연결구(410)가 결합되는 연결구 결합홈(420)이 형성된다. 상기 연결구(410)와 연결구 결합홈(420)은 나사식으로 결합된다.In order to fix the driving air supply pipe 400 to the valve cap 300, a connector 410 is provided at the tip of the driving air supply pipe 400, and the valve cap 300 has the air passage 310. In addition to being connected to the connector coupling groove 420 to which the connector 410 is coupled is formed. The connector 410 and the connector coupling groove 420 is screwed.

상기 밸브캡(300)이 일측에는 밸브동작감지수단(500)이 구비된다.One side of the valve cap 300 is provided with a valve operation detecting means 500.

상기 밸브동작감지수단(500)은 상기 밸브캡(300)을 관통하여 하단이 상기 에어챔버(210)에 위치하고 상단이 상기 밸브캡(300)의 상단에 위치하는 감지로드(510)와, 상기 감지로드(510)의 상부에 구비되어 상기 감지로드(510)의 승강 위치를 감지하는 감지센서(530)를 포함한다.The valve motion detecting means 500 has a sensing rod 510 which passes through the valve cap 300, the lower end of which is located in the air chamber 210, and the upper end of which is located at an upper end of the valve cap 300. It is provided on the top of the rod 510 includes a detection sensor 530 for detecting the lifting position of the detection rod 510.

상기 감지로드(510)는 하단이 상기 에어챔버(210)에 위치하는 하단로드(511)와, 상단이 상기 밸브캡(300)의 상면에서 돌출되는 상단로드(512) 및, 상기 하단로드(511)와 상단로드(512)의 사이에 일체로 형성되는 스토퍼(513)를 포함하여 구성된다.The sensing rod 510 has a lower rod 511 having a lower end positioned in the air chamber 210, an upper rod 512 protruding from an upper surface of the valve cap 300, and the lower rod 511. ) And a stopper 513 integrally formed between the top rod 512.

상기 밸브캡(300)에는 상기 스토퍼(513)가 수용되며 상단이 개방된 로드작동실(520)과, 상기 로드작동실(520)의 하단과 상기 에어챔버(210)를 연통시키며 상기 하단로드(511)를 안내하는 하단로드 안내공(521)과, 상기 로드작동실(520)의 상단에 복개되며 상기 상단로드(512)를 안내하는 상단로드 안내공(523)을 가지는 감지로드 안내플럭(522)이 복개된다.The stopper 513 is accommodated in the valve cap 300, and a rod operating chamber 520 having an upper end opened therebetween, a lower end of the rod operating chamber 520, and the air chamber 210 communicate with each other through the lower rod ( Sensing rod guide block 522 having a lower rod guide hole 521 for 511 to guide, and an upper rod guide hole 523 for guiding the upper rod 512 to the upper end of the rod operation chamber 520. ) Is submitted.

상기 스토퍼(513)와 상기 감지로드 안내플럭(522)의 사이에는 상기 감지로드(510)를 상시(常時) 하강위치로 탄력지지하는 감지로드 스프링(524)이 삽입된다.A sensing rod spring 524 is inserted between the stopper 513 and the sensing rod guide block 522 to elastically support the sensing rod 510 in a constantly lowered position.

상기 감지로드 스프링(524)의 탄성력은 상기 에어챔버(210) 내에 구동에어가 공급되지 않은 상태에서는 감지로드(510)를 하강한 상태로 유지됨과 아울러 상기 에어챔버(210) 내에 구동에어가 유입되면 구동에어의 압력에 의하여 감지로드(510)가 상승할 수 있는 크기로 설정된다.The elastic force of the sensing rod spring 524 is maintained while the sensing rod 510 is lowered in the state where the driving air is not supplied to the air chamber 210 and when the driving air is introduced into the air chamber 210. The sensing rod 510 is set to a size that can be raised by the pressure of the driving air.

상기 감지센서(530)는 센서(미도시)가 내장된 센서부(531)와, 상기 센서부(531)에 전기적으로 연결된 센서코드(532)를 포함한다. 상기 센서부(531)에 내장되는 센서는 근접센서를 사용하는 것이 바람직하나, 이에 상기 감지로드(210)를 감지할 수 있는 것이라면 어떠한 것을 사용하여도 무방하다.The sensor 530 includes a sensor unit 531 in which a sensor (not shown) is built, and a sensor code 532 electrically connected to the sensor unit 531. The sensor embedded in the sensor unit 531 preferably uses a proximity sensor, but any sensor may be used as long as it can detect the sensing rod 210.

상기 센서부(531)를 상기 밸브캡(300)에 고정하기 위하여 상기 밸브캡(300)의 상면에 고정되는 센서마운트(540)가 구비된다. 상기 센서마운트(540)는 상기 센서부(531)가 결합되는 센서결합공(541)과, 상기 감지로드(510)의 상단부, 즉 상단로드(512)의 상단부가 위치하는 공간부(542)가 구비된다.A sensor mount 540 is provided to be fixed to the upper surface of the valve cap 300 to fix the sensor unit 531 to the valve cap 300. The sensor mount 540 includes a sensor coupling hole 541 to which the sensor unit 531 is coupled, and a space 542 at which an upper end of the sensing rod 510, that is, an upper end of the upper rod 512 is located. It is provided.

상기 센서부(531)와 센서결합공(541)은 도시예와 같이 나사식으로 결합하는 것이 바람직하다.The sensor unit 531 and the sensor coupling hole 541 is preferably coupled to the screw type as shown in the example.

도면에서 543은 상기 밸브캡(300)의 상면에 형성된 복수개(도면에서는 2개)의 나사공이고, 544는 상기 센서마운트(540)에 관통 형성된 나사관통공이며, 545는 상기 나사관통공(544)을 관통하여 상기 나사공(543)에 체결되는 고정나사이다.In the drawing, 543 is a plurality of screw holes (two in the drawing) formed on the upper surface of the valve cap 300, 544 is a screw through hole formed through the sensor mount 540, and 545 is the screw through hole 544. ) Is a fixing screw fastened to the screw hole 543.

상기 나사관통공(544)은 센서마운트(540)의 위치를 조정할 수 있도록 하기 위하여 장공으로 형성하는 것이 바람직하다.The screw through hole 544 is preferably formed in a long hole in order to be able to adjust the position of the sensor mount 540.

이하, 본 발명에 의한 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브의 작용을 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the valve for the electrostatic chuck helium gas control system according to the present invention will be described with reference to FIGS.

상기 에어챔버(210)에 구동에어가 유입되지 않은 상태에서는 상기 밸브작동부(100)는 상기 스프링(230)에 의하여 상시 헬륨가스 유입관(110)과 헬륨가스 유출관(120) 사이를 폐쇄한 상태로 유지된다.In the state where the driving air is not introduced into the air chamber 210, the valve operation unit 100 is closed between the helium gas inlet pipe 110 and the helium gas outlet pipe 120 at all times by the spring 230. Stays in the state.

아울러 상기 밸브동작감지수단(500)의 감지로드(510)는 감지로드 스프링(524)에 의하여 하강한 상태를 유지하고, 이에 따라 상기 감지센서(530)의 센서부(531)에 내장된 근접센서는 최종밸브(Vf)가 폐쇄된 상태임을 감지하여 장비제어부에 최종밸브(Vf)가 폐쇄된 상태임을 알리는 신호를 전송한다.In addition, the sensing rod 510 of the valve motion detecting means 500 maintains the lowered state by the sensing rod spring 524, and thus the proximity sensor embedded in the sensor unit 531 of the sensing sensor 530. Detects that the final valve Vf is closed and transmits a signal indicating that the final valve Vf is closed.

장비제어부로부터의 밸브개방신호에 따라 구동에어 공급라인(L3, L4)에 설치된 솔레노이드 밸브(미도시)가 개방되고 구동에어 공급라인(L3, L4)에 구동에어가 공급되면, 공급밸브(V)와 최종밸브(Vf)가 개방되어 헬륨가스 공급원(S)의 헬륨가스가 헬륨가스 공급라인(L1)을 통해 필터(F)에 의해 정화됨과 아울러 정압기(U)에 의하여 일정한 압력으로 조정된 다음, 상기 헬륨가스 유입관(110)과 헬륨가스 유출관(120)을 통해 상기 정전척(C)의 백사이드에 공급된다.When the solenoid valve (not shown) installed in the drive air supply lines L3 and L4 is opened and the drive air is supplied to the drive air supply lines L3 and L4 according to the valve open signal from the equipment control unit, the supply valve V And the final valve Vf is opened so that the helium gas of the helium gas source S is purified by the filter F through the helium gas supply line L1 and adjusted to a constant pressure by the constant pressure unit U, The helium gas inlet pipe 110 and the helium gas outlet pipe 120 are supplied to the backside of the electrostatic chuck (C).

즉, 상기 구동에어 공급라인(L4)에 공급된 구동에어는 구동에어 공급관(400)과 에어통로(310)를 통해 상기 에어작동부(200)의 에어챔버(210)에 유입되며, 상기 에어챔버(210)에 유입된 구동에어가 상기 밸브작동부(100)에 내장된 다이아프램이 개방 상태로 작동시켜 상기 헬륨가스 유입관(110)과 헬륨가스 유출관(120) 사이를 개방하게 됨에 따라 상기 헬륨가스 공급라인(L1)으로 공급된 헬륨가스가 헬륨가스 유입관(110)과 헬륨가스 유출관(120)을 통해 상기 정전척(C)에 공급되는 것이다.That is, the drive air supplied to the drive air supply line (L4) is introduced into the air chamber 210 of the air operation unit 200 through the drive air supply pipe 400 and the air passage 310, the air chamber The driving air introduced into the 210 is operated in an open state with the diaphragm embedded in the valve operation unit 100 to open between the helium gas inlet pipe 110 and the helium gas outlet pipe 120. The helium gas supplied to the helium gas supply line L1 is supplied to the electrostatic chuck C through the helium gas inlet pipe 110 and the helium gas outlet pipe 120.

한편, 구동에어 공급라인(L4)과 구동에어 공급관(400)의 접속이탈이나 찢김 등으로 인한 에어누설과 라인 꺾임 등에 의하여 상기 에어작동부(200)에 대한 구동에어의 공급이 이루어지지 않아 밸브작동부(100)가 개방되지 않게 되는 경우, 감지로드(510)와 감지센서(530)에 의하여 밸브작동부(100)가 개방되지 않았음을 감지하여 그 감지신호를 장비제어부에 전송함으로써 장비제어부가 프로세스를 중단시키도록 함으로써 심각한 공정 불량을 방지할 수 있게 된다.On the other hand, due to air leakage and line break due to disconnection or tearing of the drive air supply line (L4) and the drive air supply pipe 400, the supply of the drive air to the air operation unit 200 is not made, the valve operation When the part 100 is not opened, the control rod is sensed by the detection rod 510 and the sensor 530 to transmit the detection signal to the equipment control unit by detecting that the valve operation unit 100 is not opened. By stopping the process, serious process defects can be prevented.

또한 상기 장비제어부는 구동에어 공급라인(L4)에 설치된 솔레노이드 밸브가 개방된 후 1초 이내에 상기 감지로드(510)와 감지센서(530)에 의한 밸브개방 감지신호가 전송되지 않을 경우 프로세스를 중단시키도록 하는 것이 바람직하다.In addition, the equipment control unit stops the process when the valve opening detection signal is not transmitted by the detection rod 510 and the detection sensor 530 within 1 second after the solenoid valve installed in the driving air supply line L4 is opened. It is desirable to.

이상, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능함은 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

100 : 밸브작동부 200 : 에어작동부
210 : 에어챔버 220 : 에어연결부
300 : 밸브캡 500 : 밸브동작감지수단
510 : 감지로드 511 : 하단로드
512 : 상단로드 513 : 스토퍼
520 : 로드작동실 521 : 하단로드 안내공
522 : 감지로드 안내플럭 523 : 상단로드 안내공
524 : 감지로드 스프링 530 : 감지센서
531 : 센서부 540 : 센서마운트
541 : 센서결합공 542 : 공간부100: valve operation part 200: air operation part
210: air chamber 220: air connection
300: valve cap 500: valve motion detection means
510: detection rod 511: bottom load
512: top load 513: stopper
520: rod operating chamber 521: lower rod guide hole
522: detection rod guide block 523: top rod guide
524: detection rod spring 530: detection sensor
531: sensor unit 540: sensor mount
541: sensor coupling hole 542: space part

Claims (6)

헬륨가스 유입관(110)과 헬륨가스 유출관(120)을 가지며 내부에 다이아프램이 구비된 밸브작동부(100);
상기 밸브작동부(100)의 상단에 결합되며 상단이 개방된 에어챔버(210)와, 상기 에어챔버(210)와 밸브작동부(100)를 연결하는 에어연결부(220)를 가지는 에어작동부(200)와;
상기 에어작동부(200)의 상단에 결합되어 상기 에어챔버(210)를 폐쇄하며 상기 에어챔버(210)와 외부를 연통시키는 에어통로(310)를 가지는 밸브캡(300)과;
상기 에어통로(310)에 연결되어 상기 에어챔버(210)에 상기 밸브작동부(100)의 개폐부재를 구동하기 위한 구동에어를 공급하는 구동에어 공급관(400); 및
상기 밸브캡(300)을 관통하여 하단이 상기 에어챔버(210)에 위치하며 상단이 상기 밸브캡(300)의 상부에 위치하는 감지로드(510)와, 상기 감지로드(510)의 상부에 구비되어 상기 감지로드(510)의 승강 위치를 감지하는 감지센서(530)를 구비한 밸브동작감지수단(500)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브.A valve operating part 100 having a helium gas inlet pipe 110 and a helium gas outlet pipe 120 and having a diaphragm therein;
An air operation unit coupled to an upper end of the valve operation unit 100 and having an air chamber 210 having an open top, and an air connection unit 220 connecting the air chamber 210 and the valve operation unit 100 ( 200);
A valve cap (300) coupled to an upper end of the air operation unit (200) to close the air chamber (210) and having an air passage (310) for communicating with the outside of the air chamber (210);
A drive air supply pipe 400 connected to the air passage 310 to supply drive air to the air chamber 210 for driving the opening / closing member of the valve operation unit 100; And
A sensing rod 510 and a sensing rod 510 located at an upper end of the valve cap 300 and an upper end of the sensing rod 510 are provided through the valve cap 300. The valve for the electrostatic chuck helium gas control system characterized in that it comprises a valve operation detecting means having a sensor 500 for detecting the lifting position of the detection rod 510. 제1항에 있어서,
상기 에어통로(310)는 상기 밸브캡(300)의 중앙부에 수직으로 형성되어 상기 에어챔버(210)에 연통되는 수직공(311)과, 상기 수직공(311)에 연결되어 에어라인(L4)에서 연장된 구동에어 공급관(400)에 연결되는 경사공(312)으로 구성됨을 특징으로 하는 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브.The method of claim 1,
The air passage 310 is formed vertically in the central portion of the valve cap 300 is connected to the vertical hole 311 and the air chamber 210, and connected to the vertical hole 311, the air line (L4) Valve for electrostatic chuck helium gas control system, characterized in that consisting of inclined holes (312) connected to the drive air supply pipe (400) extended from. 제1항에 있어서,
상기 감지로드(510)는 하단이 상기 에어챔버(210)에 위치하는 하단로드(511)와, 상단이 상기 밸브캡(300)의 상면에서 돌출되는 상단로드(512) 및, 상기 하단로드(511)와 상단로드(512)의 사이에 일체로 형성되는 스토퍼(513)를 포함하여 구성되며,
상기 밸브캡(300)에는 상기 스토퍼(513)가 수용되며 상단이 개방된 로드작동실(520)과, 상기 로드작동실(520)의 하단과 상기 에어챔버(210)를 연통시키며 상기 하단로드(511)를 안내하는 하단로드 안내공(521)이 형성되고, 상기 로드작동실(520)의 상단에 복개되며 상기 상단로드(512)를 안내하는 상단로드 안내공(523)을 가지는 감지로드 안내플럭(522)이 복개되며, 상기 스토퍼(513)의 상면과 상기 감지로드 안내플럭(522)의 하면 사이에 삽입되어 상기 감지로드(510)를 상시(常時) 하강위치로 탄력지지하는 감지로드 스프링(524)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브.The method of claim 1,
The sensing rod 510 has a lower rod 511 having a lower end positioned in the air chamber 210, an upper rod 512 protruding from an upper surface of the valve cap 300, and the lower rod 511. And a stopper 513 integrally formed between the upper rod 512 and
The stopper 513 is accommodated in the valve cap 300, and a rod operating chamber 520 having an upper end opened therebetween, a lower end of the rod operating chamber 520, and the air chamber 210 communicate with each other through the lower rod ( The lower rod guide hole 521 for 511 is formed, and is detected on the upper end of the rod operation chamber 520 and has a sensing rod guide block having an upper rod guide hole 523 for guiding the upper rod 512. A sensing rod spring 522 is covered and is inserted between an upper surface of the stopper 513 and a lower surface of the sensing rod guide plug 522 to elastically support the sensing rod 510 to a normally lowered position ( 524) a valve for an electrostatic chuck helium gas control system. 제3항에 있어서,
상기 밸브캡(300)에 고정되며 센서부(531)가 결합되는 센서결합공(541)과 상기 감지로드(510)의 상단부가 위치하는 공간부(542)를 가지는 센서마운트(540)를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브.The method of claim 3,
The sensor mount 540 is fixed to the valve cap 300 and further includes a sensor mounting hole 541 to which the sensor unit 531 is coupled and a space portion 542 at which the upper end of the sensing rod 510 is located. A valve for an electrostatic chuck helium gas control system, characterized in that the configuration. 제4항에 있어서,
상기 밸브캡(300)의 상면에 형성된 복수개의 나사공(543)과, 상기 나사공(543)에 대응하여 상기 센서마운트(540)에 관통 형성된 나사관통공(544) 및, 상기 나사관통공(544)을 관통하여 상기 나사공(543)에 체결되는 고정나사(545)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브.5. The method of claim 4,
A plurality of screw holes 543 formed on the upper surface of the valve cap 300, a screw through hole 544 formed through the sensor mount 540 corresponding to the screw hole 543, and the screw through hole ( 544) The valve for the electrostatic chuck helium gas control system, characterized in that it comprises a set screw 545 is fastened to the screw hole (543). 제5항에 있어서,
상기 나사관통공(544)은 센서마운트(540)의 위치를 조정할 수 있도록 하기 위하여 장공으로 형성됨을 특징으로 하는 정전척 헬륨가스 컨트롤 시스템용 밸브.The method of claim 5,
The screw through hole (544) is a valve for an electrostatic chuck helium gas control system, characterized in that formed in the long hole to be able to adjust the position of the sensor mount (540).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100757988B1 (en) 2007-03-14 2007-09-11 조진식 Displacement sensing system of valve opening and shutting rate for control valve
KR20090069534A (en) * 2007-12-26 2009-07-01 주식회사 동부하이텍 A valve assembly and a method thereof
JP2010078002A (en) 2008-09-24 2010-04-08 Aisan Ind Co Ltd Flow control valve

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100757988B1 (en) 2007-03-14 2007-09-11 조진식 Displacement sensing system of valve opening and shutting rate for control valve
KR20090069534A (en) * 2007-12-26 2009-07-01 주식회사 동부하이텍 A valve assembly and a method thereof
JP2010078002A (en) 2008-09-24 2010-04-08 Aisan Ind Co Ltd Flow control valve

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190031661A (en) 2017-09-18 2019-03-27 주식회사 이에스티 Electro Static Chuck for wafer prevention

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