KR20050047003A - Ｅｂｔ 장비의 검사신호 감시 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 EBT 장비의 검사신호 케이블 중간에 감시 장치를 설치하여 상기 검사신호의 상태를 조사하기 위한 것으로, 소자가 형성되어 있는 기판의 전기적 결함을 검사하기 위한 상기 기판이 로딩 되어 있는 진공 챔버와 검사신호를 인가하는 검사 장비 사이에 설치되는 검사신호 감시 장치에서, 상기 검사 장비의 검사신호 인가단자와 연결하는 제 1 연결부; 상기 진공 챔버의 검사신호 접속단자와 연결하는 제 2 연결부; 및 상기 제 1 연결부와 제 2 연결부 사이를 연결시키며, 상기 두 단자 사이의 신호 상태를 검사하는 검사단자를 포함한다.

Description

ＥＢＴ 장비의 검사신호 감시 장치{APPARATUS OF MONITORING TEST-SIGNAL OF ELECTRON BEAM TESTER}

본 발명은 감시 장치에 관한 것으로, 특히 EBT(Electron Beam Tester) 장비의 검사신호 케이블 중간에 설치되어 상기 검사신호 및 검사신호 케이블의 상태를 조사하기 위한 검사신호의 감시 장치에 관한 것이다.

최근 정보 디스플레이에 관한 관심이 고조되고 휴대가 가능한 정보매체를 이용하려는 요구가 높아지면서 기존의 표시장치인 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT)을 대체하는 경량 박막형 평판표시장치(Flat Panel Display; FPD)에 대한 연구 및 상업화가 중점적으로 이루어지고 있다. 특히, 이러한 평판표시장치 중 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 액정의 광학적 이방성을 이용하여 이미지를 표현하는 장치로서, 해상도와 컬러표시 및 화질 등에서 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터 등에 활발하게 적용되고 있다.

상기 액정표시장치는 구동회로 유닛(unit)을 포함하여 영상을 출력하는 액정표시패널, 상기 액정표시패널의 하부에 설치되어 액정표시패널에 빛을 방출하는 백라이트(backlight) 유닛, 상기 백라이트 유닛과 액정표시패널을 지지하는 몰드 프레임(mold frame) 및 케이스(case) 등으로 이루어져 있다.

이하, 도 1을 참조하여 상기 액정표시패널에 대해서 자세히 설명한다.

도 1은 일반적인 액정표시패널을 개략적으로 나타내는 사시도이다.

도면에 도시된 바와 같이, 액정표시패널은 크게 컬러필터(color filter) 기판(5)과 어레이(array) 기판(10) 및 상기 컬러필터 기판(5)과 어레이 기판(10) 사이에 형성된 액정층(liquid crystal layer)(50)으로 이루어져 있다.

상기 컬러필터 기판(5)은 색상을 구현하는 서브-컬러필터(적, 녹, 청)를 포함하는 컬러필터(7)와 상기 서브-컬러필터 사이를 구분하고 액정층(50)을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스(black matrix)(6), 그리고 상기 액정층(50)에 전압을 인가하는 투명한 공통전극(8)으로 구성된다.

또한, 상기 어레이 기판(10)은 상기 기판(10) 위에 종횡으로 배열되어 복수개의 화소영역(19)을 정의하는 복수개의 게이트라인(16)과 데이터라인(17), 상기 게이트라인(16)과 데이터라인(17)의 교차영역에 형성된 스위칭소자인 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)(20) 및 상기 화소영역(19) 위에 형성된 화소전극(18)으로 구성된다.

이와 같이 구성된 상기 컬러필터 기판(5)과 어레이 기판(10)은 화상표시 영역의 외곽에 형성된 실런트(sealant)(미도시)에 의해 대향하도록 합착되어 액정표시패널을 구성하며, 두 기판의 합착은 상기 컬러필터 기판(5) 또는 어레이 기판(10)에 형성된 합착키(미도시)를 통해 이루어진다.

이러한 액정표시패널의 제조공정은 크게 어레이 기판에 스위칭소자를 형성하는 어레이공정과 컬러필터 기판에 컬러필터를 형성하는 컬러필터공정 및 셀(cell)공정으로 구분될 수 있는데, 이러한 액정표시패널의 제조공정을 도 2을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

우선, 유리와 같은 투명한 절연기판 위에 종횡으로 배열되어 복수개의 화소영역을 정의하는 복수개의 게이트라인과 데이터라인을 형성하고, 상기 각 화소영역에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 스위칭소자인 박막 트랜지스터를 형성한다(S101). 또한, 상기 어레이공정을 통해 박막 트랜지스터에 접속되며 상기 박막 트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다.

또한, 컬러필터 기판에는 상기 어레이공정과 다른 컬러필터공정에 의해 컬러를 구현하는 서브-컬러필터를 포함하는 컬러필터와 상기 서브-컬러필터 사이를 구분하고 액정층을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스 및 상기 화소전극의 대향전극인 투명한 공통전극을 형성한다(S104).

이어서, 상기 어레이 기판과 컬러필터 기판에 각각 배향막을 도포한 후, 상기 두 기판 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트각(pretilt angle)과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향막을 러빙(rubbing)한다(S102, S105).

다음으로, 상기 어레이 기판에 셀갭(cell gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(spacer)를 산포하고 상기 컬러필터 기판의 외곽부에 실링재를 도포한 후, 상기 어레이 기판과 컬러필터 기판에 압력을 가하여 합착한다(S103, S106, S107).

한편, 상기 어레이 기판과 컬러필터 기판은 대면적의 유리기판에 형성되어 있다. 다시 말해서, 대면적의 유리기판에 복수개의 패널영역이 형성되고, 상기 패널영역 각각에 스위칭소자인 박막 트랜지스터 및 컬러필터층이 형성되기 때문에 낱개의 액정표시패널을 제작하기 위해서는 상기 유리기판을 절단, 가공해야 한다(S108).

마지막으로, 상기와 같이 가공된 각각의 액정표시패널에 액정주입구를 통해 액정을 주입하고 상기 액정주입구를 봉지하여 액정층을 형성한 후, 상기 각 액정표시패널을 검사함으로써 액정표시패널을 제작하게 된다(S109, S110).

한편, 이와 같은 액정표시패널의 제조에 있어서, 상기 어레이공정(S101) 중 마지막 단계로 박막 트랜지스터를 완성한 후에는 상기 패널내부 어레이의 전기적 결함을 검사하는 검사단계를 거치게 된다.

이 때, 상기 검사는 EBT 등의 장비를 이용하여 어레이 기판에 형성된 게이트라인 및 데이터라인에 전기적 신호를 인가하여 각 화소영역의 박막 트랜지스터를 구동시켜봄으로써 상기 각 단위 화소가 가지는 전기적 결함을 검사하게 된다.

이와 같은 검사를 위한 검사 시스템은 어레이 기판이 설치된 진공 챔버와 검사신호를 인가하여 각 단위 화소의 전기적 결함을 검사하는 검사 장비로 구성되며, 특히 상기 검사 장비에서 나온 검사신호 인가단자는 상기 진공 챔버의 검사신호 접속단자를 거쳐 어레이 기판이 놓여진 진공 챔버 상부의 검사신호 인가부에 연결되게 된다. 상기 검사신호 인가부에 연결된 검사신호 케이블은 X, Y 방향으로 구동하는 케이블 트레이에 연결되어 각 단위 화소의 게이트라인 및 데이터라인에 검사신호를 인가함으로써 상기 각 단위 화소의 전기적 결함을 검사하게 된다.

한편, 이와 같이 구성된 종래의 검사 시스템에서는 상기 검사 장비에서 진공 챔버의 검사신호 인가부까지 검사신호 케이블이 직접 연결되어 상기 검사신호 케이블 자체의 문제(즉, 단선 또는 쇼트 등)가 발생한 경우 및 검사신호 자체의 상태를 조사(check)하는 경우에는 상기 진공 챔버를 벤트(vent)시켜야 하는 문제가 있었다.

또한, 이와 같은 장비 조치 시간의 지연으로 인해서 장비 가동률이 저하되어 액정표시장치의 제조단가를 증가시키게 하며, 검사신호의 수시 조사가 불가능하다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 검사 장비의 검사신호 케이블 중간에 설치되어 손쉽게 상기 검사신호의 상태를 조사하는 검사신호의 감시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

기타 본 발명의 다른 특징 및 목적은 이하 발명의 구성 및 특허청구범위에서 상세히 설명될 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 검사신호의 감시 장치는 소자가 형성되어 있는 기판의 전기적 결함을 검사하기 위한 상기 기판이 로딩 되어 있는 진공 챔버와 검사신호를 인가하는 검사 장비 사이에 설치되는 검사신호 감시 장치에서, 상기 검사 장비의 검사신호 인가단자와 연결하는 제 1 연결부, 상기 진공 챔버의 검사신호 접속단자와 연결하는 제 2 연결부 및 상기 제 1 연결부와 제 2 연결부 사이를 연결시키며, 상기 두 단자 사이의 신호 상태를 검사하는 검사단자를 포함한다.

이 때, 상기 제 1 연결부 및 제 2 연결부는 복수개의 검사신호 인가단자 또는 복수개의 검사신호 접속단자에 대응하는 복수개의 핀 또는 홀의 연결단자로 구성되며, 상기 복수개의 연결단자를 통해 제 1 연결부와 제 2 연결부가 일대일로 대응할 수 있다.

또한, 상기 검사단자는 복수개의 제 1 연결부의 연결단자와 제 2 연결부의 연결단자를 일대일로 연결시켜 상기 검사신호 및 검사신호 케이블의 상태를 조사할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 검사신호 감시 장치의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 검사신호의 감시 장치를 나타내는 평면도이다.

도면에 도시된 바와 같이, 감시 장치(200)는 검사 장비의 검사신호 인가단자(미도시)에 연결하는 제 1 연결부(210), 진공 챔버의 검사신호 접속단자(미도시)에 연결하는 제 2 연결부(220) 및 상기 제 1 연결부(210)와 제 2 연결부(220)를 연결하며, 검사신호 및 검사신호 케이블의 상태를 조사하는 검사단자(235)로 구성되어 있다.

이 때, 상기 제 1 연결부(210)는 검사 장비의 검사신호 인가단자의 형태에 따라 복수개의 핀 또는 홀의 연결단자(215)로 구성될 수 있으며, 상기 제 2 연결부(220)도 제 1 연결부(210)와 일대일로 대응하는 복수개의 핀 또는 홀의 연결단자(215)로 구성될 수 있다.

즉, 예를 들면 상기 검사 장비의 검사신호 인가단자가 25-핀의 숫-커넥터(connector)로 구성되면 상기 제 1 연결부(210)의 연결단자(215)는 25-핀의 암-커넥터로 구성되며, 상기 진공장비의 검사신호 접속단자가 25-핀의 숫-커넥터로 구성되면 상기 제 2 연결부(220)의 연결단자(225)는 25-핀의 암-커넥터로 구성되게 된다.

한편, 상기 제 1 연결부(210)의 복수개의 연결단자(215)는 제 2 연결부의 복수개의 연결단자(225)와 일대일로 대응하며, 그 사이에는 상기 검사신호 및 검사신호 케이블의 상태를 조사하는 복수개의 검사단자(235)가 형성되어 있다.

상기 복수개의 검사단자(235)는 일반 저항계 등의 장치를 이용하여 저항, 전압 등을 측정함으로써 검사신호의 상태 및 검사신호 케이블의 단선 또는 쇼트 여부를 조사할 수 있게 된다.

이와 같이 구성된 검사신호의 감시 장치의 연결상태를 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 4는 도 3에 도시된 감시 장치가 설치된 검사 시스템을 개략적으로 나타내는 도면이다.

액정표시패널의 제조에 있어서, 어레이공정 중 마지막 단계로 박막 트랜지스터를 완성한 후에는 상기 패널내부 어레이의 전기적 결함을 검사하는 검사단계를 거치게 된다.

이 때, 상기 검사는 EBT 등의 장비를 이용하여 어레이 기판에 형성된 게이트라인 및 데이터라인에 전기적 신호를 인가하여 각 화소영역의 박막 트랜지스터를 구동시켜봄으로써 상기 각 단위 화소가 가지는 전기적 결함을 검사하게 된다.

이와 같은 검사를 위한 검사 시스템은 도면에 도시된 바와 같이, 어레이 기판이 설치된 진공 챔버(100), 검사신호를 인가하여 각 단위 화소의 전기적 결함을 검사하는 검사 장비(300) 및 상기 검사 장비(300)에서 나온 검사신호 인가단자와 상기 진공 챔버(300)의 검사신호 접속단자 사이에 설치된 감시 장치(200)로 이루어져 있다.

특히, 상기 감시 장치(200)는 검사 장비(300)에서 나온 검사신호 인가단자가 진공 챔버(100)의 검사신호 접속단자에 연결하는 검사신호 케이블(400) 중간에 설치되어 검사신호의 상태 및 검사신호 케이블(400)의 단선 또는 쇼트 여부를 조사할 수 있게 된다.

상기 감시 장치(200)에 연결된 진공 챔버(100)의 검사신호 접속단자는 어레이 기판이 놓여진 상기 진공 챔버(100) 상부의 검사신호 인가부(미도시)에 연결되게 된다. 이 때, 도면에는 도시하지 않았지만 상기 검사신호 인가부에 연결된 검사신호 케이블은 X, Y 방향으로 구동하는 케이블 트레이에 연결되어 각 단위 화소의 게이트라인 및 데이터라인에 검사신호를 인가함으로써 상기 각 단위 화소의 전기적 결함을 검사하게 된다.

본 실시예와 같이 검사 시스템의 중간(즉, 검사 장비와 진공 챔버를 연결하는 검사신호 케이블의 중간)에 감시 장치를 설치함으로써 진공 챔버의 벤트 없이 상기 감시 장치를 통한 검사신호 상태의 조사가 가능하게 된다.

상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이 아니라 바람직한 실시예로서 해석되어야 한다. 따라서 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 검사신호의 감시 장치는 검사신호 케이블 중간에 감시 장치를 설치함으로써 진공 챔버의 벤트 없이 상기 감시 장치를 통한 검사신호 상태의 조사가 가능한 효과를 제공한다.

또한, 상기 검사신호 케이블 자체에 문제가 발생하였을 때에도 상기 감시 장치를 통해서 손쉽게 조사를 할 수 있어 조치 시간 단축에 따른 비용 절감의 효과를 제공한다.

도 1은 일반적인 액정표시패널을 개략적으로 나타내는 사시도.

도 2는 도 1에 도시된 액정표시패널의 제조공정을 나타내는 순서도.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 검사신호의 감시 장치를 나타내는 평면도.

도 4는 도 3에 도시된 감시 장치가 설치된 검사 시스템을 개략적으로 나타내는 도면.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **

100 : 진공 챔버 200 : 감시 장치

210 : 제 1 연결부 215,225 : 연결단자

220 : 제 2 연결부 235 : 검사단자

300 : 검사 장비 400 : 검사신호 케이블

Claims (4)

1. 소자가 형성되어 있는 기판의 전기적 결함을 검사하기 위한 상기 기판이 로딩 되어 있는 진공 챔버와 검사신호를 인가하는 검사 장비 사이에 설치되는 검사신호 감시 장치에서,

   상기 검사 장비의 검사신호 인가단자와 연결하는 제 1 연결부;

   상기 진공 챔버의 검사신호 접속단자와 연결하는 제 2 연결부; 및

   상기 제 1 연결부와 제 2 연결부 사이를 연결시키며, 상기 두 단자 사이의 신호 상태를 검사하는 검사단자를 포함하는 검사신호 감시 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 연결부 및 제 2 연결부는 복수개의 검사신호 인가단자 또는 복수개의 검사신호 접속단자에 대응하는 복수개의 핀 또는 홀의 연결단자로 구성되는 것을 특징으로 검사신호 감시 장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 복수개의 연결단자를 통해 제 1 연결부와 제 2 연결부가 일대일로 대응하는 것을 특징으로 하는 검사신호 감시 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 검사단자는 복수개의 제 1 연결부의 연결단자와 제 2 연결부의 연결단자를 일대일로 연결시켜 상기 검사신호 및 검사신호 케이블의 상태를 조사하는 것을 특징으로 하는 검사신호 감시 장치.