KR20050031593A - 장비간 카세트 이송 장치 및 그것을 사용한 카세트 이송방법 - Google Patents

장비간 카세트 이송 장치 및 그것을 사용한 카세트 이송방법 Download PDF

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KR20050031593A
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김상일
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Abstract

본 발명은 장비 사이에 카세트를 이송하기 위한 이송 장치 및 그 이송 장치를 사용하여 카세트를 이송하기 위한 카세트 이송 방법에 관한 것이다.
본 발명의 목적은, 공정 장비의 로딩 가능 여부 신호 이상으로 인해 카세트 이송 장치와 장비 포트에 위치하는 카세트 사이에 충돌이 발생하는 문제를 해결할 수 있는 카세트 이송 장치 및 그것을 사용한 카세트 이송 방법을 제공함에 있다.
본 발명은, 다수의 액정표시장치가 탑재된 제 1 카세트와 직접 접촉하여 제 1 카세트를 운반하는 암과; 제 1 카세트가 놓여지는 카세트 지지부와; 이동 수단인 바퀴와; 암과, 카세트 지지부와, 바퀴를 제어하고 지지하는 몸체와; 공정 장비의 카세트 반입 포트에 제 2 카세트가 존재하는지 여부를 확인할 수 있는 센서를 포함하는 카세트 이송 장치 및 그것을 사용한 카세트 이송 방법을 제공한다.
본 발명은, 카세트 이송 장치에 센서를 설치하여 장비 포트의 카세트 존재 유무를 확인함으로써 카세트 충돌에 따른 카세트 및 액정표시장치 파손을 방지하며, 암의 틀어짐을 방지할 수 있다.

Description

장비간 카세트 이송 장치 및 그것을 사용한 카세트 이송 방법{Cassette transferrig device between equipment and cassette transferring method using the same}
본 발명은 장비 사이에 카세트를 이송하기 위한 이송 장치 및 그 이송 장치를 사용하여 카세트를 이송하기 위한 카세트 이송 방법에 관한 것이다.
도 1은 공정 장비 사이에, 다수의 액정표시장치(미도시)를 탑재한 카세트(50 ; cassette)를 이송하기 위한 종래의 이송 장치(100)를 도시하고 있다.
액정표시장치는 스위칭 소자로서 박막트랜지스터(thin film transistor : TFT, 이하 'TFT'라 한다.)를 이용하여 동화상을 표시하고 있다. 액정표시장치는 브라운관에 비하여 소형화가 가능하며, 퍼스널 컴퓨터(personal computer)와 노트북 컴퓨터(note book computer)는 물론, 복사기 등의 사무자동화기기, 휴대전화기나 호출기 등의 휴대기기까지 광범위하게 이용되고 있다.
액정표시장치의 제조공정은 기판 세정과, 기판 패터닝(patterning), 배향막형성, 기판 합착 및 액정 주입, 실장 공정 및 테스트(test) 공정으로 나뉘어진다. 그와 같은 공정들은 각 공정을 진행하기 위한 공정 장비에서 개별적으로 이루어지며, 액정표시장치는 각 공정이 진행됨에 따라 그에 해당되는 공정 장비로 이동하게 된다.
공정을 진행하는 공정 장비 사이의 이동을 위해, 다수의 액정표시장치가 탑재 수단인 카세트(50)에 탑재된다. 액정표시장치는 카세트(50)에 형성된 다수의 놓임부(55)에 놓여지게 되며, 이동시 액정표시장치가 카세트(50)에서 이탈되는 것을 방지하기 위해 다수의 후면 지지봉(57)이 카세트(50)에 형성되어 있다.
다수의 액정표시장치를 탑재한 카세트(50)는 이송 수단인 카세트 이송 장치(100)에 의해 공정 장비 사이를 이동하게 된다.
도시한 바와 같이, 카세트(50)를 이송하기 위한 카세트 이송 장치(100)는 암(120 ; arm)과, 카세트 지지부(130)와, 바퀴(140)와, 몸체(110)를 구비한다.
암(120)은 카세트(50)와 직접적으로 접촉하여 카세트(50)를 운반하기 위한 운반 수단이다. 암(120)은 공정 장비로부터 카세트 지지부(130)로 카세트(50)를 운반하거나, 카세트 지지부(130)로부터 공정 장비로 카세트(50)를 운반하게 된다. 일반적으로, 암(120)은 카세트(50) 하면과 접촉하여 카세트(50)를 들어서 공정 장비나 카세트 지지부(130)로 운반하게 된다.
카세트 지지부(130)는 카세트 이송 장치(100)에서 카세트(50)가 놓여지는 것으로서, 암(120)의 작동에 의해 공정 장비로부터 카세트 지지부(130)로 카세트(50)가 놓여진다.
바퀴(140)는 카세트 이송 장치(100)가 공정 장비 사이를 이동하기 위한 이동 수단이다.
몸체(110)는 암(120)과, 카세트 지지부(130)와, 바퀴(140)를 지지하고 고정하며, 일반적으로 카세트 이송 장치(100)의 동작을 제어한다. 내부에 설치된 카세트 이동 장치 제어 수단(미도시)에 의해 암(130)의 동작, 바퀴(140)의 동작을 제어하게 되는데, 공정 장비 사이의 이동이나 카세트(50)의 운반 여부를 제어하게 된다.
이하, 도면을 참조하여 종래의 카세트 이송 장치(100)의 동작 과정을 설명한다
도 2는 공정 장비(60, 70) 사이에 카세트(50)를 이송하고 있는 카세트 이송 장치(100)를 도시하고 있고, 도 3은 공정 장비(60, 70) 사이에 카세트(50)를 이송하고 있는 카세트 이송 장치(100)의 동작 순서를 도시하고 있다.
제 1 공정 장비(60)를 통해 공정이 완료되면 다수의 액정표시장치는 카세트(50)에 탑재되어 제 1 공정 장비(60)의 카세트(50) 반출 장소인 제 1 장비 포트(65)에 놓여지게 된다.
제 2 공정 장비(70)에서 공정을 진행하기 위해, 카세트 이송 장치(100)에 카세트(50) 이송 명령이 전달되고,(S100) 제 1 장비 포트(60)에 놓여진 카세트(50)는 카세트 이송 장치(100)에 로딩(loading)된다.(S110)
카세트 이송 장치(100)에 로딩된 카세트(50)는 다음 공정을 수행하기 위해 제 2 공정 장비(70)로 이동하게 된다.(S120)
카세트 이송 장치(100)가 제 2 공정 장비(70)로 이동한 후에, 제 2 공정 장비(70)와 카세트 이송 장치(100)는 교신하게 된다.(S130) 교신 과정은 제 2 공정 장비(70)의 카세트(50) 반입 장소인 제 2 장비 포트(75)에 또다른 카세트가 위치하는지 여부에 대해 전기적 신호를 주고 받는 과정으로서, 카세트 이송 장치(100)에서 제 2 장비 포트(75)의 카세트(50) 로딩 가능 여부에 대한 신호를 보내게 되고, 그에 따라 제 2 공정 장비(70)에서 로딩 가능 여부에 대한 응답 신호를 보내게 된다.(S140)
제 2 장비 포트(70)에 또다른 카세트가 위치하지 않는 경우에, 제 2 공정 장비는 로딩 가능하다는 내용의 로드 리퀘스트 온(load request on) 신호를 카세트 이송 장치(100)에 보내게 되고, 카세트(50)는 제 2 장비 포트(75)에 로딩된다.(S150)
한편, 제 2 장비 포트(75)에 또다른 카세트가 위치하는 경우에, 제 2 공정 장비(70)는 로드 리퀘스트 온 신호를 카세트 이송 장치(100)에 보내지 않고 이송 에러(error)가 발생하게 되어, 카세트(50)는 제 2 장비 포트(75)에 로딩되지 않는다.(S160)
전술한 바에 있어, 종래의 카세트 이송 장치(100)는 제 2 공정 장비(70)의 로딩 가능 여부 신호에 따라 카세트(50)를 제 2 장비 포트(75)에 로딩하게 된다.
그런데, 제 2 공정 장비(70)가 로딩 가능 여부 신호를 올바르게 보내지 못하게 되는 경우에, 도 4에 도시한 바와 같이, 카세트(50) 사이에 충돌 사고가 발생할 수 있게 된다. 제 2 장비 포트(75)에 또다른 카세트(50b)가 위치하는 경우에, 제 2 공정 장비(70)가 로드 리퀘스트 온 신호를 보내게 되면 카세트 이송 장치(100)는 제 2 공정 장비(70)에 카세트(50a)를 로딩하게 되어 카세트(50) 사이의 충돌이 발생하게 된다. 카세트(50) 사이의 충돌에 따라 카세트(50) 및 액정표시장치가 파손되고, 암(도 1의 120 참조)이 틀어지게 되는 문제가 발생하게 된다.
전술한 바와 같은 문제를 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 공정 장비의 로딩 가능 여부 신호 이상으로 인해 카세트 이송 장치와 장비 포트에 위치하는 카세트 사이에 충돌이 발생하는 문제를 해결할 수 있는 카세트 이송 장치 및 그것을 사용한 카세트 이송 방법을 제공함에 있다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 다수의 액정표시장치가 탑재된 제 1 카세트와 직접 접촉하여 상기 제 1 카세트를 운반하는 암과; 상기 제 1 카세트가 놓여지는 카세트 지지부와; 이동 수단인 바퀴와; 상기 암과, 상기 카세트 지지부와, 상기 바퀴를 제어하고 지지하는 몸체와; 공정 장비의 카세트 반입 포트에 제 2 카세트가 존재하는지 여부를 확인할 수 있는 센서를 포함하는 카세트 이송 장치를 제공한다.
여기서, 상기 센서는 빛을 방출하여 상기 카세트 반입 포트에 상기 제 2 카세트의 존재 유무를 판단하는 광감지 방식으로 동작할 수 있다. 상기 센서는, 상기 제 2 카세트에 장착되고 상기 다수의 액정표시장치가 상기 제 2 카세트에서 이탈되는 것을 방지하기 위한 후면지지봉의 장축을 따라 흰색으로 이루어진 부분을 광감지 영역으로 사용할 수 있다. 그리고, 상기 센서는 상기 암에 위치할 수 있다.
다른 측면에서, 본 발명은, a) 다수의 액정표시장치가 탑재된 제 1 카세트와 직접 접촉하여 상기 카세트를 운반하는 암과, 상기 제 1 카세트가 놓여지는 카세트 지지부와, 이동 수단인 바퀴와, 상기 암과 상기 카세트 지지부와 상기 바퀴를 제어하고 지지하는 몸체와, 제 2 카세트가 존재하는지 여부를 확인할 수 있는 센서를 포함하는 카세트 이송 장치에 제 1 공정 장비로부터 제 2 공정 장비로 이송 명령을 전달하여 상기 제 1 공정 장비의 카세트 반출 포트에서 상기 카세트 이송 장치로 상기 제 1 카세트를 로딩하는 단계와; b) 상기 a) 단계 후에, 상기 카세트 이송 장치가 상기 제 2 공정 장비로 이동하여 상기 제 2 공정 장비와 교신하는 단계와; c) 상기 b) 단계 후에, 상기 제 2 공정 장비에서 상기 제 2 공정 장비의 카세트 반입 포트에 상기 제 1 카세트의 로딩이 가능하다는 신호를 상기 카세트 이송 장치에 보내는 경우에, 상기 센서를 통해 상기 카세트 반입 포트에 상기 제 2 카세트가 존재하는지 여부를 확인하는 단계와; d) 상기 b) 단계 후에, 상기 제 2 공정 장비에서 상기 제 2 공정 장비의 카세트 반입 포트에 상기 제 1 카세트의 로딩이 가능하다는 신호를 상기 카세트 이송 장치에 보내지 않는 경우에, 카세트 이송 에러가 발생하여 상기 제 1 카세트를 상기 카세트 반입 포트에 로딩하지 않는 단계와; e) 상기 c) 단계 후에, 상기 카세트 반입 포트에 제 2 카세트가 존재하지 않는 경우에, 상기 카세트 반입 포트에 상기 제 1 카세트를 로딩하는 단계와; f) 상기 c) 단계 후에, 상기 카세트 반입 포트에 제 2 카세트가 존재하는 경우에, 카세트 이송 에러가 발생하여 상기 제 1 카세트를 상기 카세트 반입 포트에 로딩하지 않는 단계를 포함하는 카세트 이송 방법을 제공한다.
여기서, 상기 센서는 빛을 방출하여 상기 카세트 반입 포트에 상기 제 2 카세트의 존재 유무를 판단하는 광감지 방식으로 동작할 수 있다. 상기 센서는, 상기 제 2 카세트에 장착되고 상기 다수의 액정표시장치가 상기 제 2 카세트에서 이탈되는 것을 방지하기 위한 후면지지봉의 장축을 따라 흰색으로 이루어진 부분을 광감지 영역으로 사용할 수 있다. 그리고, 상기 센서는 상기 암에 위치할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른, 공정 장비 사이에 다수의 액정표시장치(미도시)를 탑재한 카세트(250)를 이송하기 위한 카세트 이송 장치(300)를 도시하고 있다.
본 발명의 실시예에 따른 카세트 이송 장치(300)는 카세트(250)의 유무를 확인할 수 있는 센서(350 ; sensor)를 구비함으로써, 공정 장비의 신호 이상으로 인한 카세트(250) 사이의 충돌을 방지할 수 있다.
도시한 바와 같이, 카세트(250)를 이송하기 위한 카세트 이송 장치(300)는 암(120)과, 카세트 지지부(330)와, 바퀴(340)와, 몸체(310)를 구비한다. 그리고, 공정 장비의 장비 포트에 카세트가 위치하는지 여부를 확인할 수 있는 센서(350)를 더욱 구비한다.
암(320)은 카세트(250)와 직접적으로 접촉하여 카세트(250)를 운반하기 위한 운반 수단이다. 암(320)은 공정 장비로부터 카세트 지지부(330)로 카세트(250)를 운반하거나, 카세트 지지부(330)로부터 공정 장비로 카세트(250)를 운반하게 된다. 일반적으로, 암(320)은 카세트(250) 하면과 접촉하여 카세트(250)를 들어서 공정 장비나 카세트 지지부(330)로 운반하게 된다.
카세트 지지부(330)는 카세트 이송 장치(300)에서 카세트(50)가 놓여지는 것으로서, 암(320)의 작동에 의해 공정 장비로부터 카세트 지지부(330)로 카세트(50)가 놓여진다.
바퀴(340)는 카세트 이송 장치(300)가 공정 장비 사이를 이동하기 위한 이동 수단이다.
몸체(310)는 암(320)과, 카세트 지지부(330)와, 바퀴(340)를 지지하며, 일반적으로 카세트 이송 장치(300)의 동작을 제어한다. 내부에 설치된 카세트 이동 장치 제어 수단(미도시)에 의해 암(330)의 동작, 바퀴(340)의 동작을 제어하게 되는데, 공정 장비 사이의 이동이나 카세트(250)의 운반 여부를 제어하게 된다.
센서(350)는 공정 장비(미도시)의 반입 포트(미도시)인 장비 포트에 카세트(250) 존재 유무를 확인하기 위한 것이다. 카세트 이송 장치(300)로부터 공정 장비의 장비 포트에 카세트(250)를 로딩하는 경우에, 공정 장비가 로드 리퀘스트 온 신호를 보내게 되면 카세트 이송 장치(300)는 카세트(250)를 장비 포트에 카세트(250)를 로딩하게 되는데, 센서(350)는 장비 포트에 카세트(250)가 존재하는지 유무를 다시 한번 확인하게 된다.
그와 같이 작동하는 센서(350)는 카세트 이송 장치(300)의 암(320)에 설치된다.
도 6은 카세트(250) 존재 여부를 확인하는 센서(350)의 감지 방식을 대략적으로 도시하고 있다.
도시한 바와 같이, 센서(350)는 빛을 방출하고 감지하여 카세트(250)의 존재 유무를 판단하는 광감지 방식으로 작동된다. 센서(350)로부터 방출된 빛은 카세트(250)의 후면 지지봉(257)에 반사되며, 반사된 빛에 의해 카세트(250) 존재 유무를 판단하게 된다. 카세트(250)의 후면 지지봉(257)의 장축을 따라 흰색으로 된 부분(R)이 빛 반사율이 우수하기 때문에, 센서(350)의 감지 영역으로 사용된다. 바람직하게는 후면 지지봉(257)의 상부가 센서(350)의 감지 영역으로 사용된다.
이하, 도면을 참조하여 종래의 카세트 이송 장치(300)의 동작 과정을 설명한다
도 7은 공정 장비(260, 270) 사이에 카세트(250)를 이송하고 있는 카세트 이송 장치(300)를 도시하고 있고, 도 8은 공정 장비(260, 270) 사이에 카세트(250)를 이송하고 있는 카세트 이송 장치(300)의 동작 순서를 도시하고 있다.
제 1 공정 장비(260)를 통해 공정이 완료되면 다수의 액정표시장치는 카세트(250)에 탑재되어 제 1 공정 장비(260)의 카세트(250) 반출 장소인 제 1 장비 포트(265)에 놓여지게 된다.
제 2 공정 장비(270)에서 공정을 진행하기 위해, 카세트 이송 장치(300)에 카세트(250) 이송 명령이 전달되고,(S300) 제 1 장비 포트(260)에 놓여진 카세트(250)는 카세트 이송 장치(300)에 로딩(loading)된다.(S310)
카세트 이송 장치(300)에 로딩된 카세트(250)는 다음 공정을 수행하기 위해 제 2 공정 장비(270)로 이동하게 된다.(S320)
카세트 이송 장치(300)가 제 2 공정 장비(270)로 이동한 후에, 제 2 공정 장비(270)와 카세트 이송 장치(300)는 교신하게 된다.(S330) 교신 과정은 제 2 공정 장비(270)의 카세트(250) 반입 장소인 제 2 장비 포트(275)에 또다른 카세트가 위치하는지 여부에 대해 전기적 신호를 주고 받는 과정으로서, 카세트 이송 장치(300)에서 제 2 장비 포트(275)의 카세트(250) 로딩 가능 여부에 대한 신호를 보내게 되고, 그에 따라 제 2 공정 장비(270)에서 로딩 가능 여부에 대한 응답 신호를 보내게 된다.(S340)
제 2 공정 장비에서 카세트 이송 장치(300)로 카세트(350) 로딩이 가능하다는 로드 리퀘스트 온 신호를 보내게 되면, 카세트 이송 장치(300)의 암(320)에 설치된 센서(350)를 통해 제 2 장비 포트(275)에 카세트가 존재하는지 여부를 확인하게 된다.(S350)
광감지 방식으로 작동되는 센서(350)는 방출된 빛의 반사 여부에 따라 제 2 장비 포트(275)에 카세트(250) 존재 유무를 판단하게 된다.(S360)
센서(350)를 통해 제 2 장비 포트(275)에 카세트(250)가 존재하지 않는다고 판단되면, 카세트 이송 장치(300)에서 제 2 장비 포트(275)로 카세트(250)가 로딩된다.(S370)
만약, 센서(350)를 통해 제 2 장비 포트(375)에 카세트(250)가 존재한다고 판단되면, 이송 에러가 발생하게 되어, 카세트(250)는 제 2 장비 포트(275)에 로딩되지 않는다.(S360)
한편, 제 2 장비 포트(275)에 또다른 카세트가 위치하는 경우에, 제 2 공정 장비(270)는 로드 리퀘스트 온 신호를 카세트 이송 장치(300)에 보내지 않고 이송 에러가 발생하게 되어, 카세트(250)는 제 2 장비 포트(275)에 로딩되지 않는다.(S360)
전술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 카세트 이송 장치(300)는, 제 2 장비 포트(275)에 카세트(250)를 로딩하는 경우에 제 2 공정 장비(270)의 신호 이상으로 인한 카세트 충돌을 방지하기 위해, 센서(350)를 암(320)에 설치하여 제 2 장비 포트(275)의 카세트 존재 유무를 재차 확인함으로써 카세트 충돌에 따른 카세트 및 액정표시장치 파손을 방지하며, 암(320)의 틀어짐을 방지할 수 있다.
전술한 본 발명의 실시예에 있어서 카세트 존재 유무를 확인하기 위한 센서는, 암 이외에 카세트 이송 장치의 다른 부분에 설치될 수 있으며, 그와 같은 변형은 본 발명의 정신에 포함되는 것이다. 뿐만 아니라, 본 발명의 정신에 포함되는 범위 내에서 본 발명은 다양한 변형이 가능하며, 그와 같은 변형이 본 발명의 권리 범위에 속한다 함은 당업자에게 자명한 사실이다.
전술한 바와 같이, 본 발명은, 카세트 이송 장치에서 센서를 설치하여 장비 포트의 카세트 존재 유무를 확인함으로써 카세트 충돌에 따른 카세트 및 액정표시장치 파손을 방지하며, 암의 틀어짐을 방지할 수 있다.
도 1은 다수의 액정표시장치를 탑재한 카세트를 이송하기 위한 종래의 카세트 이송 장치를 도시한 정면도.
도 2는 공정 장비 사이에 카세트를 이송하고 있는 종래의 카세트 이송 장치를 도시한 측면도.
도 3은 공정 장비 사이에 카세트를 이송하고 있는 종래의 카세트 이송 장치의 동작 순서를 도시한 흐름도.
도 4는 신호 이상으로 인해, 카세트 이송 장치와 장비 포트에 위치하는 카세트가 충돌하는 것을 도시한 측면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 이송 장치를 도시한 정면도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른, 카세트 존재 여부를 확인하는 센서의 감지 방식을 대략적으로 도시한 측면도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른, 공정 장비 사이에 카세트를 이송하고 있는 카세트 이송 장치를 도시한 측면도.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른, 공정 장비 사이에 카세트를 이송하고 있는 카세트 이송 장치의 동작 순서를 도시한 흐름도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
250 : 카세트 255 : 놓임부
257 : 후면 지지봉 300 : 카세트 이송 장치
310 : 몸체 320 : 암
330 : 카세트 지지부 340 : 바퀴
350 : 센서

Claims (8)

  1. 다수의 액정표시장치가 탑재된 제 1 카세트와 직접 접촉하여 상기 제 1 카세트를 운반하는 암과;
    상기 제 1 카세트가 놓여지는 카세트 지지부와;
    이동 수단인 바퀴와;
    상기 암과, 상기 카세트 지지부와, 상기 바퀴를 제어하고 지지하는 몸체와;
    공정 장비의 카세트 반입 포트에 제 2 카세트가 존재하는지 여부를 확인할 수 있는 센서
    를 포함하는 카세트 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서는 빛을 방출하여 상기 카세트 반입 포트에 상기 제 2 카세트의 존재 유무를 판단하는 광감지 방식으로 동작하는 카세트 이송 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 센서는, 상기 제 2 카세트에 장착되고 상기 다수의 액정표시장치가 상기 제 2 카세트에서 이탈되는 것을 방지하기 위한 후면지지봉의 장축을 따라 흰색으로 이루어진 부분을 광감지 영역으로 사용하는 카세트 이송 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서는 상기 암에 위치하는 카세트 이송 장치.
  5. a) 다수의 액정표시장치가 탑재된 제 1 카세트와 직접 접촉하여 상기 카세트를 운반하는 암과, 상기 제 1 카세트가 놓여지는 카세트 지지부와, 이동 수단인 바퀴와, 상기 암과 상기 카세트 지지부와 상기 바퀴를 제어하고 지지하는 몸체와, 제 2 카세트가 존재하는지 여부를 확인할 수 있는 센서를 포함하는 카세트 이송 장치에 제 1 공정 장비로부터 제 2 공정 장비로 이송 명령을 전달하여 상기 제 1 공정 장비의 카세트 반출 포트에서 상기 카세트 이송 장치로 상기 제 1 카세트를 로딩하는 단계와;
    b) 상기 a) 단계 후에, 상기 카세트 이송 장치가 상기 제 2 공정 장비로 이동하여 상기 제 2 공정 장비와 교신하는 단계와;
    c) 상기 b) 단계 후에, 상기 제 2 공정 장비에서 상기 제 2 공정 장비의 카세트 반입 포트에 상기 제 1 카세트의 로딩이 가능하다는 신호를 상기 카세트 이송 장치에 보내는 경우에, 상기 센서를 통해 상기 카세트 반입 포트에 상기 제 2 카세트가 존재하는지 여부를 확인하는 단계와;
    d) 상기 b) 단계 후에, 상기 제 2 공정 장비에서 상기 제 2 공정 장비의 카세트 반입 포트에 상기 제 1 카세트의 로딩이 가능하다는 신호를 상기 카세트 이송 장치에 보내지 않는 경우에, 카세트 이송 에러가 발생하여 상기 제 1 카세트를 상기 카세트 반입 포트에 로딩하지 않는 단계와;
    e) 상기 c) 단계 후에, 상기 카세트 반입 포트에 제 2 카세트가 존재하지 않는 경우에, 상기 카세트 반입 포트에 상기 제 1 카세트를 로딩하는 단계와;
    f) 상기 c) 단계 후에, 상기 카세트 반입 포트에 제 2 카세트가 존재하는 경우에, 카세트 이송 에러가 발생하여 상기 제 1 카세트를 상기 카세트 반입 포트에 로딩하지 않는 단계
    를 포함하는 카세트 이송 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 센서는 빛을 방출하여 상기 카세트 반입 포트에 상기 제 2 카세트의 존재 유무를 판단하는 광감지 방식으로 동작하는 카세트 이송 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 센서는, 상기 제 2 카세트에 장착되고 상기 다수의 액정표시장치가 상기 제 2 카세트에서 이탈되는 것을 방지하기 위한 후면지지봉의 장축을 따라 흰색으로 이루어진 부분을 광감지 영역으로 사용하는 카세트 이송 방법.
  8. 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서는 상기 암에 위치하는 카세트 이송 방법.
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