KR20050030879A - Fan filter unit with ion bars for clean room - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 클린룸 설비에 필수적인 팬 필터 유닛에 관한 것으로서, 좀 더 상세하게는, 고정밀도를 요하는 반도체 및 TFT-LCD 제조 공정에 치명적인 정전기 발생 및 먼지 흡착을 방지하기 위하여 제작된 이온바와 2차필터가 갖춰진 클린룸용 팬 필터 유닛에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fan filter unit essential for clean room equipment, and more particularly, to an ion bar and a secondary fabricated to prevent static electricity generation and dust adsorption which are fatal to semiconductor and TFT-LCD manufacturing processes requiring high precision. It relates to a fan filter unit for a clean room equipped with a filter.
최근, 클린룸 관련 기술 산업은 고 부가가치 산업으로서 선진국에서 적극적인 육성을 하고 있는 산업 중 하나이다.Recently, the technology industry related to clean rooms is one of the industries that are actively developing in advanced countries as a high value added industry.
특히, 반도체 및 TFT-LCD 제조업을 육성하고 있는 우리 정부의 정책에 발맞춰 반도체 및 TFT-LCD의 설계 및 생산 기술분야는 선진국을 능가하는 수준이나, 관련 제품 생산 설비의 대부분을 차지하는 클린룸 설비 등의 기기는 주로 수입에 의존하고 있어, 고집적도·고정밀도의 반도체와 고선명도의 TFT-LCD일 수록 생산 장비의 수입은 더 늘어날 전망이다.In particular, in line with the government's policy of fostering the semiconductor and TFT-LCD manufacturing industry, the design and production technology fields of semiconductor and TFT-LCD surpass those in advanced countries, but the clean room facilities, which occupy most of the related product production facilities. 'S devices depend mainly on imports, and the higher the density and high-precision semiconductors and the higher-definition TFT-LCDs, the greater the imports of production equipment.
그러나, 상기 제조업에 필수적인 클린룸 내의 청정도를 높이기 위하여 공장설비 전체를 완전히 재정비하는 것은 엄청난 비용과 시간을 요하는 일이며, 선진국의 수많은 경쟁사들과 치열한 경쟁을 벌이고 있는 현 시점에서, 갈수록 설비 및 기기의 수입이 어려워져 가는 실정이다.However, the complete refurbishment of the entire plant equipment in order to increase the cleanliness in the clean room, which is essential for the manufacturing industry, is an enormous cost and time, and at this point in time, fierce competition with numerous competitors in developed countries, The situation is getting harder.
한편, 반도체 및 TFT-LCD의 제조공정 상, 작업자의 동작으로 끊임없이 발생되는 먼지가 작업대상물 표면에 붙어 흔적을 남기게 된다든지, 작업대상물 표면의 대전(帶電)으로 정전기가 발생한다는지 하는 현상은 자주 일어나며, 이는 곧 치명적인 불량으로 이어지게 된다.On the other hand, in the manufacturing process of semiconductors and TFT-LCDs, the phenomenon of whether dust constantly generated by the operation of the operator sticks to the surface of the workpiece and leaves traces, or whether static electricity is generated by the charging of the surface of the workpiece is often Occurs, which soon leads to fatal defects.
그러므로, 작업자의 몸에서 쉴새없이 발산되는 먼지를 신속히 제거하며, 먼지가 작업대상물 표면에 묻지 않으면서도, 작업대상물 표면에 발생되는 정전기 발생을 억제하는 것은 제조공정 상 매우 중요한 문제가 될 것이다.Therefore, it is a very important problem in the manufacturing process to quickly remove the dust emanating from the operator's body, and to suppress the generation of static electricity generated on the surface of the workpiece without the dust on the workpiece surface.
또한, 쾌적한 작업을 위해 저소음의 송풍기를 구비하되, 상기 송풍기에서의 토출풍속은, 적정풍속으로 취출되어 먼지가 제거되더라도 작업자가 콜드 드래프트(Cold draft: 취출공기로 인하여 작업자가 느끼는 불쾌감)를 느끼지 않을 정도가 됨은 물론, 제조 라인의 증설이 쉬우면서도 진동이 적은 클린룸 설비를 개발해야 하는 것은 당면한 과제라고 할 수 있다.In addition, a low noise blower is provided for comfortable operation, and the discharge wind speed of the blower does not feel a cold draft (discomfort that the worker feels due to the blown air) even if the dust is removed at a proper wind speed. The challenge is to develop a clean room facility that is easy to expand the manufacturing line and has low vibration.
본 발명은 상기와 같은 관점에서 안출된 것으로, 공장 설비 전체의 대형 클린룸 방식이 아닌 국부 청정 방식의 팬 필터 유닛 시스템을 채용함으로써, 저진동·저소음 동작을 구현함은 물론, 작업도중 발산되는 먼지가 신속히 제거될 수 있으며, 양이온과 음이온이 교대로 발생됨으로써 정전기를 중화시키는 이온바를 통하여 정전기 발생을 억제하면서 작업대상물의 불량율을 줄일 수 있도록 함과 동시에, 제조 라인의 증감 배치가 용이하도록 제작된 클린룸용 팬 필터 유닛을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above, by adopting a fan filter unit system of a local clean method instead of a large clean room method of the entire plant, as well as low vibration and low noise operation, as well as dust emitted during operation Clean room that can be quickly removed and produced by alternating cations and anions to reduce the defective rate of the workpiece while suppressing the generation of static electricity through the ion bar that neutralizes static electricity. The purpose is to provide a fan filter unit.
상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 외부로부터 유입된 공기를 1차적으로 여과하는 1차필터와, 상기 유입된 공기를 상부측으로 송풍하는 송풍기로 이루어진 송풍부와, 상기 송풍부로부터 유입된 공기를 유도하는 덕트와, 상기 덕트의 굴곡부에 상기 유입된 공기를 와류의 발생없이 이송시키기 위한 가이드밴으로 이루어진 덕트부와, 상기 덕트부를 따라 이동되어 온 공기를 2차적으로 여과하는 2차필터와, 양·음이온이 교대로 방출되어 발생되는 정전기를 중화·억제하는 이온바로 이루어진 토출부와, 상기 토출부를 통해 토출된 공기의 풍압 및 풍속이 전달될 수 있는 위치에, 방진용벨트가 부착된 컨베이어로 이루어진 이송부 및 상기 송풍기의 팬 회전속도, 상기 이온바의 이온발생량 조절 및 상기 컨베이어의 구동속도 등을 제어할 수 있는 제어박스로 이루어진 제어부로 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the object of the present invention as described above, the present invention, the primary filter for filtering the air introduced from the outside primarily, a blower comprising a blower for blowing the introduced air to the upper side, and the A duct part consisting of a duct for guiding the air introduced from the abundance, a guide van for transferring the introduced air to the bent portion of the duct without generation of vortices, and for secondary filtering the air moved along the duct part. A dust-proof belt at a position where the wind pressure and the wind speed of the air discharged through the discharge part are formed of a secondary filter, an ion bar that neutralizes and suppresses static electricity generated by alternating discharge of positive and negative ions. The conveying unit consisting of a conveyor attached to the fan and the fan rotational speed of the blower, the ion generation amount of the ion bar and the driving speed of the conveyor It is characterized by consisting of a control unit consisting of a control box that can control.
그리고, 상기 이온바는, 양이온이 배출되는 바와 음이온이 배출되는 바가 교대로 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.The ion bar is characterized in that the bar in which the cation is discharged and the bar in which the anion is discharged are alternately arranged.
또한, 상기 송풍부에는, 송풍기에서 발생되는 소음 및 진동을 방지하기 위한 흡음패드 및 진동방지패드가 장착되는 것을 특징으로 한다. In addition, the blower, it characterized in that the sound absorbing pad and the vibration preventing pad for preventing the noise and vibration generated in the blower is mounted.
상기와 같이 구성된 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세하게 설명하기로 한다.Embodiments of the present invention configured as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
먼저, 도 1은 본 발명에 따른 팬 필터 유닛의 정면 사시도이며, 도 2는 도 1에 따른 A-A'의 측단면도를 나타낸 것이다.First, Figure 1 is a front perspective view of the fan filter unit according to the present invention, Figure 2 shows a side cross-sectional view of AA 'according to FIG.
도시된 바와 같이 본 발명은 크게, 유입된 외부 공기를 상부측으로 송풍하는 송풍부(10), 상기 송풍부(10)에서 유입된 공기를 유도하는 덕트부(20), 상기 덕트부(20)에서 유도된 공기를 토출하는 토출부(30), 작업대상물을 올려놓고 제작 및 검사 후 이송하는 이송부(40) 및 상기 송풍부(10), 토출부(30) 및 이송부(40)의 작동 일체를 제어하는 제어부(50)로 구성된다.As shown in the present invention, the blowing unit 10 for blowing the introduced outside air to the upper side, the duct unit 20 for inducing the air introduced from the blowing unit 10, the duct unit 20 Controls the operation of the discharge unit 30 for discharging the induced air, the transfer unit 40 for placing the work object, and transporting it after manufacture and inspection, and the operation of the blower unit 10, the discharge unit 30, and the transfer unit 40. It consists of the control part 50 which does.
상기 송풍부(10)는 외부로부터 유입된 공기를 1차적으로 여과하는 1차필터(14)와, 상기 유입된 공기를 상부측으로 송풍하는 송풍기(11)로 이루어지며, 상기 1차필터(14) 전면에는 상기 1차필터(14)를 보호하는 흡입그릴(15)이 장착되고, 또한 송풍부(10)에는 송풍기(11)에서 발생되는 소음 및 진동을 방지하기 위한 흡음패드(12) 및 진동방지패드(13)가 장착된다.The blower 10 is composed of a primary filter 14 that primarily filters the air introduced from the outside, and a blower 11 that blows the introduced air to the upper side, and the primary filter 14 The suction grille 15 is installed on the front surface to protect the primary filter 14, and the air blowing unit 10 includes a sound absorbing pad 12 for preventing noise and vibration generated from the blower 11 and vibration prevention. The pad 13 is mounted.
여기서, 상기 송풍기(11)는 동일 회전수 대비 풍량비가 가능한 큰 것이 바람직하며, 본 발명에서는 다익형 송풍기(multiblade fan)인 시로코팬(sirocco fan)을 채택하되, 작업공간, 제조라인 수 및 규모에 따라 다양한 사양의 제품을 적절하게 선택할 수 있다.Here, the blower 11 is preferably as large as possible the ratio of the air flow rate to the same rotation speed, in the present invention, but adopts a sirocco fan (sirocco fan) that is a multiblade fan (multiblade fan), the work space, the number and size of the production line As a result, products of various specifications can be selected appropriately.
본 발명에서는, 작업대상물에 치명적인 불량을 발생시키는 먼지가 내려앉지 못하도록 상기 송풍기(11)의 풍속을 적절히 가변시키게 되는데, 가능한 취출되는 공기의 풍속은 1m/s로 유지시켜 작업자가 콜드 드래프트를 느끼지 않도록 하는 것이 바람직하다.In the present invention, the wind speed of the blower 11 is appropriately varied so that dust causing a fatal defect on the workpiece is not settled down. The air velocity of the blown air is kept at 1 m / s so that the worker does not feel a cold draft. It is desirable to.
그리고, 상기 흡음패드(12)와 진동방지패드(13)는 불에 타기 힘든 난연성 재료라면 유리섬유, 난연성 플라스틱재 등 어떤 것이라도 무방하며, 소음을 55 ~ 60dB, 진동을 P-P(진폭의 Peak to Peak값 : 최하점에서 최고점까지의 거리) 0.0025 ~ 0.0035mm 범위내에서 억제할 수 있도록 제작되는 것이 바람직하다.In addition, the sound absorbing pad 12 and the anti-vibration pad 13 may be any flame retardant material that is hard to be burned, such as glass fiber or a flame retardant plastic material, and may have a noise of 55 to 60 dB and a vibration of PP (amplitude peak to Peak value: distance from the lowest point to the highest point) It is desirable to manufacture so that it can be suppressed within the range of 0.0025 ~ 0.0035mm.
여기서, 60dB이상의 소음에 장시간 노출 시, 작업자가 정신적, 육체적 건강에 지장을 주게 되며, P-P 0.0035mm 이상의 진동에 장시간 노출 시, 상기 송풍기(11)가 고장이 나든지, 수명이 단축되는 등의 문제점이 발생되기 때문에 소음 및 진동의 억제는 본 발명에서 중점을 두어야 할 부분 중의 하나라고 할 수 있다.Here, when prolonged exposure to noise of 60dB or more, the worker is impaired mental and physical health, and when exposed to vibration of PP 0.0035mm or more for a long time, the blower 11 is broken, or the life is shortened, etc. Because of this, the suppression of noise and vibration can be said to be one of the parts to be emphasized in the present invention.
그리고, 상기 1차필터(14)는 금속제 프레임에 함성섬유사가 촘촘하게 종횡으로 짜여진 구조로 제작되어, 외부 유입공기의 무수한 먼지 입자를 1차적으로 여과시키는 역할을 담당하게 된다.In addition, the primary filter 14 is made of a structure in which the woven fiber yarn is tightly woven longitudinally and horizontally in the metal frame, and serves to primarily filter a myriad of dust particles of the external inlet air.
또한, 상기 흡입그릴(15)은 내구성이 강하며 난연성의 재질이면 어떤 것도 무방하다.In addition, the suction grill 15 may be any material as long as it is durable and flame retardant.
본 발명에 따른 상기 덕트부(20)는, 덕트(21)와, 상기 덕트(21)의 굴곡부에, 공기 유동 시 발생될 우려가 있는 와류를 방지하고자 설치된 완만한 곡형의 가이드밴(22)으로 구성되어 유입된 공기를 후술할 토출부(30)로 유도하게 된다.The duct portion 20 according to the present invention, the duct 21 and the bent portion of the duct 21, as a guide van 22 of a gentle curved installed to prevent vortices that may occur during air flow It is configured to guide the introduced air to the discharge unit 30 to be described later.
한편, 본 발명의 토출부(30)는, 상기 덕트부(20)를 따라 이동되어 온 공기를 2차적으로 여과하는 2차필터(31)와, 양·음이온이 교대로 방출되어 발생되는 정전기를 중화·억제하는 이온바(32)로 이루어지며, 상기 토출부(30)의 토출 측에는, 상기 이온바(32)와 2차필터(31)를 보호하고자 토출그릴(33)이 구비된다.On the other hand, the discharge part 30 of the present invention, the secondary filter 31 for secondarily filtering the air moved along the duct portion 20, and the positive and negative ions are alternately discharged to generate static electricity A neutralizing and suppressing ion bar 32 is formed, and a discharge grill 33 is provided on the discharge side of the discharge part 30 to protect the ion bar 32 and the secondary filter 31.
여기서, 상기 이온바(32)는 양이온이 배출되는 바와 음이온이 배출되는 바가 교대로 배치되도록 하여, 양·음이온이 방출되는 구조로 되어 있다.Here, the ion bar 32 has a structure in which positive and negative ions are discharged by alternately arranging bars in which cations are discharged and anions are discharged.
따라서, 방출되는 양이온과 음이온에 의해 후술할 이송부(40) 상의 작업대상물에 발생되는 정전기를 중화·억제할 수 있게 되는 것이다.Therefore, it is possible to neutralize and suppress the static electricity generated in the workpiece on the transfer unit 40 to be described later by the discharged cations and anions.
본 발명에서 사용되는 2차필터(31)로는 ULPA(Ultra Low Penetration Air) 필터 또는 HEPA(High Efficiency Particulate Air) 필터를 들 수 있는데, 상기 ULPA 필터 또는 HEPA 필터는 오염입자를 걸러주는 여과재와 여과재의 간격을 유지시켜주는 세퍼레이터로 구성되어 미세입자를 포집하게 된다.The secondary filter 31 used in the present invention may be a ULPA (Ultra Low Penetration Air) filter or a HEPA (High Efficiency Particulate Air) filter. The ULPA filter or HEPA filter is a filter medium and a filter medium for filtering contaminant particles. It consists of a separator that maintains the gap to capture the fine particles.
상기 여과재의 재료로는 유리섬유를 주로 사용하고 있으며, 세퍼레이터의 재료로는 ULPA 필터의 경우에는 종이 재질을 사용하고 있으며, HEPA 필터의 경우에는 알루미늄과 같은 금속 재질을 사용하고 있다.As the material of the filter material, glass fiber is mainly used, and as the material of the separator, a paper material is used in the case of the ULPA filter, and a metal material such as aluminum is used in the case of the HEPA filter.
그러므로, 상기 2차필터(31)는 설비 여건과 비용 등에 따라 ULPA 필터 또는 HEPA 필터 중 한 가지를 채택할 수도 있다.Therefore, the secondary filter 31 may adopt one of a ULPA filter or a HEPA filter according to equipment conditions and costs.
상기 2차필터(31)는 class 5(세제곱 피트(ft) 당 0.5㎛ 크기 이상의 입자가 5 개 미만)를 유지할 수 있도록 제작되는 것이 바람직하며, 본 발명의 경우 상기 2차필터(31)의 성능시험결과 0.2㎛의 입자까지 걸러내어 정화시킬 수 있음이 확인되었다.The secondary filter 31 is preferably manufactured to maintain class 5 (less than 5 particles having a size of 0.5 μm or more per cubic foot), and in the case of the present invention, the performance of the secondary filter 31. As a result, it was confirmed that it was possible to filter and purify particles down to 0.2 μm.
한편, 정전기 방지를 위해 상기 2차필터(31) 전면에 가로방향으로 길게 배설된 이온바(32)는, 케이스(미도시)에 체결되어 그 양단부에 마련된 전극(미도시)에서 전원을 공급받아 이온발생량을 조절하게 된다.On the other hand, the ion bar 32 disposed long in the horizontal direction on the front of the secondary filter 31 to prevent static electricity is fastened to a case (not shown) and receives power from electrodes (not shown) provided at both ends thereof. The amount of ion generation is controlled.
그리고, 상기 이온바(32)의 이온발생량 조절은, 마이크로 프로세스 제어방식에 의한 펄스 교류방식을 이용하여 주파수 및 듀티비를 가변화시키는 방법에 의한다.The ion generation amount control of the ion bar 32 is based on a method of varying the frequency and duty ratio by using a pulse alternating current method using a micro process control method.
그러므로, 펄스 교류방식을 이용한 상기 이온바(32)의 이온발생량 조절방식에 의해 이온 농도를 0 ~ 3×1011 ions/㎥의 범위 내에서 조절할 수 있게 된다.Therefore, the ion concentration can be adjusted within the range of 0 to 3 × 10 11 ions / m 3 by the ion generation amount control method of the ion bar 32 using the pulsed alternating current method.
여기서, 상기 이온바(32)의 재질은 ABS수지로 구성되는 것이 바람직하며, 또한 상기 케이스는 가볍고 내구성이 뛰어난 알루미늄 또는 알루미늄 합금 재질로, 상기 전극은 전극으로 많이 사용되는 텅스텐 또는 텅스텐 합금 재질 등을 사용할 수 있다.Here, the material of the ion bar 32 is preferably made of ABS resin, and the case is made of aluminum or aluminum alloy material, which is light and durable, and the electrode is made of tungsten or tungsten alloy material, which is frequently used as an electrode. Can be used.
한편, 상기 토출그릴(33)은 내구성이 강하며 난연성의 재질이면 어떤 것도 무방하다.On the other hand, the discharge grill 33 may be any material as long as it is durable and flame retardant.
한편, 상기 이송부(40)는 정전기 방지를 위한 절연물질로 제작된 방진용벨트(41a)가 모터(미도시)로 작동되는 한 쌍의 구동축(41b)에 의해 구동되는 컨베이어(41)로 이루어진다.On the other hand, the transfer part 40 is composed of a conveyor 41 driven by a pair of drive shafts (41b) is a dust-proof belt (41a) made of an insulating material for preventing static electricity is operated by a motor (not shown).
여기서, 작업대상물을 이송시키기 위한 이송부(40)는 상기 토출부(30)로부터 소정거리에 설치되는데, 작업대상물에 먼지의 흡착을 방지하기 위하여 상기 이송부(40)는 토출부(30)를 통해 토출된 공기의 풍압 및 풍속이 전달될 수 있는 위치에 설치되도록 하는 것이 매우 중요하다고 할 것이다.Here, the transfer unit 40 for transferring the workpiece is installed at a predetermined distance from the discharge unit 30, the transfer unit 40 is discharged through the discharge unit 30 to prevent the adsorption of dust on the workpiece. It will be very important that the air pressure and wind speed of the air to be installed in a position that can be delivered.
그리고, 상기 방진용벨트(41a)의 폭과 구동축(41b) 간의 거리는 제조라인의 규모와 작업장의 배치 상태에 따라 탄력적으로 운용가능함은 물론이다.In addition, the distance between the width of the anti-vibration belt 41a and the drive shaft 41b may be flexibly operated according to the size of the manufacturing line and the arrangement of the workshop.
상기 이송부(40)의 이송속도는 0 ~ 8m/min로 작업 조건과 환경에 맞게 가변화 시킬 수 있게 되며, 이송속도가 8m/min이하가 되어야 함은, 이송속도가 8m/min를 초과하게 될 경우 작업자의 원활한 작업과 검사가 불가능해지기 때문이다.The conveying speed of the conveying unit 40 is 0 ~ 8m / min to be able to be variable to suit the working conditions and environment, the feed rate should be less than 8m / min, the feed rate will exceed 8m / min In this case, the worker's smooth operation and inspection becomes impossible.
한편, 상기 제어부(50)는, 상기 송풍기(11)의 팬 회전속도, 상기 이온바(32)의 이온발생량 조절 및 상기 컨베이어(41)의 구동속도 등을 제어할 수 있는 제어박스(51)로 이루어진다.On the other hand, the controller 50 is a control box 51 that can control the fan rotation speed of the blower 11, the ion generation amount of the ion bar 32, the driving speed of the conveyor 41, and the like. Is done.
여기서, 상기 이온바(32)의 이온발생량 조절은 전술하였으므로 생략하며, 상기 제어부(50)에서 컨베이어(41)의 이송속도 및 송풍기(11) 팬의 회전 속도등의 제어 방식으로는, 인버터 방식과, DC 모터 방식 중에서 작업환경이나 제조라인의 규모 등 여러 변수를 고려하여 택일하여 운용하여도 무방하다.Here, since the ion generation amount control of the ion bar 32 has been described above, it is omitted. As a control method such as the transfer speed of the conveyor 41 and the rotational speed of the fan 11 in the control unit 50, the inverter method and the like. It is also possible to select and operate a DC motor in consideration of various variables such as the working environment and the size of the manufacturing line.
한편, 상기 컨베이어(41)에서, 작업대상물의 하자를 검사하며, 작업자의 몸에서 떨어지는 먼지 등을 신속히 발견하고 대처하고자, 상기 토출부(30)의 토출그릴(33)측 전면의 소정 위치에 작업등(60)이 배치되며, 상기 작업등(60)은 작업 일체과정 및 작업대상물의 상태를 매우 자세히 조망할 수 있을 정도의 조도를 가지게 되는 것이 바람직하다.On the other hand, in the conveyor 41, to inspect the defect of the work object, in order to quickly find and cope with the dust falling from the body of the worker, work in a predetermined position on the front surface of the discharge grill 33 side of the discharge portion 30 The lamp 60 is disposed, it is preferable that the work lamp 60 has a roughness enough to view the work integrating process and the state of the work object in detail.
또한, 팬 필터 유닛(1)의 겉을 이루고 있는 몸체(2)는 부식 방지 및 청소의 용이성을 위해 스테인레스 스틸 합금 등으로 이루어지는 것이 바람직하며, 상기 팬 필터 유닛(1)의 바닥면에는 이동바퀴(70)가 설치되어 자유로운 이동 및 배치가 가능하게 된다.In addition, the body 2 forming the outer surface of the fan filter unit 1 is preferably made of a stainless steel alloy or the like for the prevention of corrosion and ease of cleaning, the bottom surface of the fan filter unit 1 is a moving wheel ( 70) is installed to allow free movement and placement.
이상과 같이 구성된 본 발명에 따른 상기 팬 필터 유닛(1)의 작동과정에 대하여 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the fan filter unit 1 according to the present invention configured as described above are as follows.
먼저, 제어부(50)의 제어박스(51)를 통하여 전원이 공급되면, 송풍기(11), 이온바(32) 및 컨베이어(41)가 동작을 하게 되는데, 이 때 상기 송풍기(11)에 의해 외부로부터 공기가 1차필터(14)를 거쳐 여과되어, 송풍부(10)로 유입되게 된다.First, when power is supplied through the control box 51 of the controller 50, the blower 11, the ion bar 32 and the conveyor 41 is operated, at this time by the blower 11 outside Air is filtered through the primary filter 14 and flows into the blowing section 10.
그 다음으로, 유입된 공기는 덕트부(20) 상부측으로 통과하며, 상기 덕트부(20)를 지나온 공기가 2차필터(31)에 의해 2차적으로 여과된 후 양이온과 음이온이 교대로 배출되는 이온바(32)를 지나면서 정전기가 중화·억제된 청정공기로 바뀌어 토출부(30)를 통해 취출된다.Next, the introduced air passes to the upper side of the duct part 20, and the air passing through the duct part 20 is secondarily filtered by the secondary filter 31, and then cations and anions are alternately discharged. As the static electricity passes through the ion bar 32, the static electricity is neutralized and suppressed, and is blown out through the discharge part 30.
이렇게 하여, 상기 토출부(30)를 통해 나온 청정공기는, 방진용벨트(41a)가 모터로 작동되는 한 쌍의 구동축(41b)에 의해 구동되는 컨베이어(41)로 이루어지는 이송부(40)에서, 상기 방진용벨트(41a) 위에 제조작업시 올려져 이송되는 작업대상물 위에 골고루 취출되어 정전기를 제거하면서 작업대상물에 먼지의 흡착을 방지해주는 역할을 담당하게 되는 것이다.In this way, the clean air discharged through the discharge portion 30, in the conveying portion 40 consisting of a conveyor 41 driven by a pair of drive shafts (41b) in which the anti-vibration belt (41a) is driven by a motor, It is to be taken out evenly on the workpiece to be transported up during the manufacturing operation on the anti-vibration belt (41a) to remove the static electricity to play a role of preventing the adsorption of dust on the workpiece.
이상과 같이 구성된 본 발명은, 국부청정 방식의 팬 필터 유닛 시스템을 채용하여 먼지 및 정전기를 동시에 차단함으로써, 반도체 또는 TET-LCD 제조 등과 같은 고정밀도 작업에 있어서의 불량률을 줄여 생산효율을 향상시키고자 하는 것을 기본적인 기술적 사상으로 하고 있음을 알 수 있다.The present invention configured as described above, by adopting a local clean fan filter unit system to block dust and static electricity at the same time, to improve the production efficiency by reducing the defect rate in high-precision work such as semiconductor or TET-LCD manufacturing It can be seen that the basic technical idea is to do.
그리고, 이와 같은 본 발명의 기본적인 기술적 사상의 범주 내에서, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서는 다른 많은 변형 및 응용이 가능함은 물론이다.And within the scope of the basic technical idea of the present invention, of course, many other variations and applications are possible to those skilled in the art.
이상과 같이 본 발명에 따른 이온바가 부착된 클린룸용 팬 필터 유닛에 의하면 다음과 같은 효과가 예상된다. As described above, according to the fan filter unit for a clean room with an ion bar according to the present invention, the following effects are expected.
먼저, 이온바와, 고성능필터를 채택함으로써, 반도체 또는 TFT-LCD 등 고정밀도를 요하는 제품을 생산할 때 치명적인 먼지와 정전기를 원천 차단시키게 됨으로써 불량률을 약 1/4 정도로 줄이는 효과를 가져올 수 있게 된다.First, by adopting an ion bar and a high-performance filter, when producing products requiring high precision, such as semiconductors or TFT-LCD, it is possible to cut off deadly dust and static electricity, thereby reducing the defect rate by about a quarter.
또한, 클린룸 전체 설비를 개선 또는 재설비할 필요없이 국부 청정 방식의 팬 필터 유닛 시스템을 채용함으로써, 제조 라인의 용이한 증감 배치가 가능하게 되므로, 설비투자 비용을 크게 절감할 수 있게 되는 파급효과를 거둘 수 있게 된다.In addition, by adopting a local clean fan filter unit system without having to improve or re-install the entire clean room equipment, it is possible to easily increase and decrease the manufacturing line, thereby significantly reducing the capital investment cost. Will be able to reap.
아울러, 날로 치열해 지는 선진 경쟁국과의 생산경쟁에서 고가의 클린룸 설비 및 기기를 수입할 필요없이 국산화로 대체가능하게 됨으로써 외화 절감은 물론, 수출경쟁력 향상의 효과도 동시에 기할 수 있는 매우 유용한 발명이다.In addition, it is a very useful invention that can reduce foreign currency and improve export competitiveness as it can be replaced by localization without having to import expensive clean room equipment and equipment in the fierce competition with advanced countries. .
도 1은 본 발명에 따른 팬 필터 유닛의 정면 사시도1 is a front perspective view of a fan filter unit according to the present invention
도 2는 도 1에 따른 A-A'의 측단면도2 is a side cross-sectional view of AA ′ in accordance with FIG. 1
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
1...팬 필터 유닛 2...몸체Fan filter unit 2 Body
10...송풍부 11...송풍기10 ... blower 11 ... blower
12...흡음패드 13...진동방지패드12 ... sound absorption pad 13 ... anti-vibration pad
14...1차필터 15...흡입그릴14 ... Primary filter 15 ... Suction grill
20...덕트부 21...덕트20 duct 21 duct
22...가이드밴 30...토출부22 Guide van 30
31...2차필터 32...이온바31 ... 2nd filter 32 ... ion bar
33...토출그릴 40...이송부33.Exhaust grill 40.
41...컨베이어 41a...방진용벨트41 Conveyor 41a Dustproof belt
41b...구동축 50...제어부41b.Drive shaft 50.Control part
51...제어박스 60...작업등51 Control box 60 Working light
70...이동바퀴70 ... Moving Wheels
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