JP2007152222A - Method and apparatus for removing dust from film roll - Google Patents

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JP2007152222A JP2005350584A JP2005350584A JP2007152222A JP 2007152222 A JP2007152222 A JP 2007152222A JP 2005350584 A JP2005350584 A JP 2005350584A JP 2005350584 A JP2005350584 A JP 2005350584A JP 2007152222 A JP2007152222 A JP 2007152222A
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輝雄 南
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and apparatus for removing dust from a film roll capable of efficiently removing dust sticking to the surface of a film roll and preventing re-sticking of a foreign body or dust released from a film roll. <P>SOLUTION: The apparatus 10 for removing dust from a film roll is constituted of a suction port 32A disposed above a film roll 12 for sucking air, a particle counter 38 for counting the number of foreign particles sucked in, an air filter 62 for removing dust in the sucked air, an ionizer 60 for ionizing the clean air from which dust has been removed, a pair of air blowing ports 32B, 32B each disposed on either side of the suction port 32A for blowing the ionized clean air to the film roll 12 to generate an air current flowing from the film roll 12 to the suction port 32A, and a control device 44 for controlling the velocity and the angle of the clean air flow being blown out based on the distance between the surface of the film roll 12 and each of the air blowing ports 32B, 32B. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明はフィルムロールの除塵方法及びフィルムロール用除塵設備に係り、特にフィルムロール表面から剥離した異物がフィルムロールに再付着することを低減して効率よくフィルムロール表面を除塵する技術に関する。   The present invention relates to a dust removal method for a film roll and a dust removal equipment for a film roll, and more particularly to a technique for efficiently removing dust from a film roll surface by reducing the reattachment of a foreign matter peeled from the film roll surface to the film roll.

プラスチック産業等で用いられるフィルムロールは、フィルムロール表面に異物、ごみ、塵等が付着していると塗布欠陥などの不具合を生ずるため、浮遊異物を制御したクリーンな環境にて製造される。しかし、フィルムロールは、梱包時に完全密閉されないため、製造工場からフィルムロールの使用・加工工場に搬送される際にフィルムロール表面に異物が付着してしまう。そのため、フィルムロールを使用・加工する前に、フィルムロール表面に付着した異物を除去する除塵処理が必要になる。   Film rolls used in the plastics industry and the like are manufactured in a clean environment in which floating foreign substances are controlled because foreign matters, dust, dust, and the like adhere to the film roll surface and cause defects such as coating defects. However, since the film roll is not completely sealed at the time of packaging, foreign matters adhere to the surface of the film roll when it is transported from the manufacturing factory to the use / processing factory of the film roll. Therefore, before using / processing a film roll, the dust removal process which removes the foreign material adhering to the film roll surface is needed.

除塵方法として、特許文献1には、清浄度の高いエアを高速で吹きつけて異物をフィルム表面から剥離させるとともに、近接した吸引口に導入して除去する方法が開示されている。   As a dust removal method, Patent Document 1 discloses a method in which air having high cleanliness is blown at a high speed to separate foreign matter from the film surface and introduced into a nearby suction port for removal.

図6は、従来の除塵方法を用いたフィルムロール用除塵設備の一例を示す図である。エアシャワー室1はパネル等で組まれて密閉された部屋であり、部屋の上部にはエアジェット装置2が配置され、床3は塗り床で構成される。エアジェット装置2は内部にエアフィルタを組込んだ送風機であり、エアフィルタを通過した清浄エアを高速でフィルムロール4に吹き付け、フィルムロール4の表面に付着した異物5を剥離させる。エアシャワー室1内のエアは、ダクト6を介して吸引され、エアジェット装置2に送気される。これにより、エアが循環してエアジェット装置2から清浄エアが連続して吹き出され、フィルムロール4の表面から異物5が除去される。   FIG. 6 is a diagram showing an example of a film roll dust removal facility using a conventional dust removal method. The air shower room 1 is a sealed room that is assembled with panels and the like, an air jet device 2 is disposed in the upper part of the room, and the floor 3 is constituted by a coated floor. The air jet device 2 is a blower in which an air filter is incorporated, and clean air that has passed through the air filter is sprayed onto the film roll 4 at a high speed to peel off the foreign matter 5 attached to the surface of the film roll 4. The air in the air shower chamber 1 is sucked through the duct 6 and sent to the air jet device 2. Thereby, air circulates and clean air is continuously blown out from the air jet device 2, and the foreign material 5 is removed from the surface of the film roll 4.

異物5を除去されたフィルムロール4は、加工のためにエアシャワー室1から加工室7へ搬送される。
特開平10−309553号公報
The film roll 4 from which the foreign matter 5 has been removed is conveyed from the air shower chamber 1 to the processing chamber 7 for processing.
JP-A-10-309553

しかしながら、従来のフィルムロール用除塵設備は、フィルムロール4から剥離した異物5がフィルムロール4周辺に拡散して浮遊するため、浮遊異物がフィルムロール4に再付着するという問題があった。   However, the conventional dust removal equipment for a film roll has a problem that the foreign matter 5 peeled off from the film roll 4 diffuses and floats around the film roll 4, so that the floating foreign matter reattaches to the film roll 4.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、フィルムロールから剥離させた異物が再付着することを防止でき、フィルムロール表面を効率よく除塵できるフィルムロールの除塵方法及びフィルムロール用除塵設備を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances. A dust removal method for a film roll and a dust removal equipment for a film roll that can prevent the foreign matter peeled off from the film roll from reattaching and can efficiently remove the surface of the film roll. The purpose is to provide.

請求項1に記載の発明は前記目的を達成するために、フィルムロールの除塵方法であって、フィルムロールの上方でエアを吸引し、該吸引したエアに含まれる異物の粒子数を計測し、計測後のエアを除塵し、除塵した清浄エアをイオン化し、イオン化した清浄エアを前記吸引位置の両側から前記フィルムロールに向けて吹き出すことにより前記フィルムロール表面から前記吸引位置へ向かう気流を形成するとともに、前記異物の粒子数の計測値が所定値に達した際に、前記エアの吸引動作及び吹出動作を停止することを特徴とする。   In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is a dust removal method for a film roll, wherein air is sucked above the film roll, and the number of particles of foreign matters contained in the sucked air is measured. The air after measurement is dedusted, the clean air that has been dedusted is ionized, and the ionized clean air is blown from both sides of the suction position toward the film roll to form an air flow from the film roll surface toward the suction position. In addition, when the measured value of the number of particles of the foreign substance reaches a predetermined value, the air suction operation and the air blowing operation are stopped.

本発明によれば、エアを吸引して除塵及びイオン化するとともに、イオン化した清浄エアを吸引位置の両側から吹き出すようにしたので、フィルムロール表面に付着した異物をフィルムロール表面から剥離し、周囲に拡散することなく、吸引除去することができる。したがって、フィルムロール表面から剥離した異物の再付着を防止することができ、フィルムロール表面を効率よく除塵することができる。   According to the present invention, the air is sucked to remove dust and ionize, and the ionized clean air is blown from both sides of the suction position, so that the foreign matter adhering to the film roll surface is peeled off from the film roll surface, It can be removed by suction without diffusing. Therefore, the reattachment of the foreign matter peeled from the film roll surface can be prevented, and the film roll surface can be efficiently removed.

また、本発明によれば、異物の粒子数の計測値が所定値に達した際に、エアの吸引動作及び吹出動作を停止するので、フィルムロール表面から剥離した異物を確実に除去することができる。   Further, according to the present invention, when the measured value of the number of particles of the foreign material reaches a predetermined value, the air suction operation and the blowing operation are stopped, so that the foreign material peeled off from the film roll surface can be reliably removed. it can.

請求項2に記載の発明は請求項1の発明において、前記異物の粒子数の計測値が前記所定値に達するまでの時間と、前記フィルムロール表面から前記吹出位置までの距離とのデータに基づいて、前記清浄エアの吹出風速及び吹出角度を制御することを特徴とする。   The invention of claim 2 is based on the data of the time until the measured value of the number of particles of the foreign matter reaches the predetermined value and the distance from the film roll surface to the blowing position in the invention of claim 1. Then, the blowing air speed and the blowing angle of the clean air are controlled.

本発明によれば、清浄エアの吹出風速と吹出角度をフィルムロールの種類ごとに最適化することができ、フィルムロール表面に付着した異物の除去を最短時間で行うことができる。   According to the present invention, the blowing air speed and the blowing angle of clean air can be optimized for each type of film roll, and the foreign matter adhering to the film roll surface can be removed in the shortest time.

請求項3に記載の発明は前記目的を達成するために、フィルムロール用除塵設備において、フィルムロールの上方でエアを吸引する吸引手段と、前記吸引手段によって吸引された前記エアに含まれる異物の粒子数を計測する計測手段と、前記吸引手段によって吸込されたエアを除塵して清浄エアに浄化する浄化手段と、前記清浄エアをイオン化するイオン化手段と、前記イオン化された清浄エアを前記吸引手段の両側から前記フィルムロールに向けて吹き出すことにより、前記フィルムロール表面から前記吸引手段へ向かう気流を形成する吹出手段と、前記フィルムロール表面から前記吹出手段までの距離に基づいて、前記吹出手段で吹き出す清浄エアの吹出風速及び吹出角度を制御する制御手段と、を有することを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in order to achieve the object, in the dust removal equipment for a film roll, suction means for sucking air above the film roll, and foreign substances contained in the air sucked by the suction means Measuring means for measuring the number of particles, purification means for removing the air sucked by the suction means to purify it into clean air, ionization means for ionizing the clean air, and suction means for the ionized clean air By blowing out from both sides of the film roll toward the film roll, a blowing means for forming an air flow from the film roll surface toward the suction means, and a distance from the film roll surface to the blowing means, the blowing means And control means for controlling the blowing air speed and the blowing angle of the clean air to be blown out.

本発明のフィルムロール用除塵設備によれば、吸引手段でエアを吸引するとともに、イオン化された清浄エアを吸引手段の両側から吹き出すことによって、フィルムロール表面に付着した異物がフィルムロール表面から剥離され、周囲に拡散することなく、吸引手段に吸引される。従って、フィルムロール表面から剥離した異物がフィルムロール周辺に浮遊して拡散することを防止でき、フィルムロール表面から剥離した異物の再付着を防止することができる。これにより、フィルムロール表面を効率よく除塵することができる。   According to the dust removal equipment for a film roll of the present invention, foreign matter attached to the film roll surface is peeled off from the film roll surface by sucking air with the suction means and blowing out ionized clean air from both sides of the suction means. , It is sucked into the suction means without diffusing around. Therefore, the foreign matter peeled off from the film roll surface can be prevented from floating and diffusing around the film roll, and the reattachment of the foreign matter peeled off from the film roll surface can be prevented. Thereby, dust can be efficiently removed from the film roll surface.

請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、前記制御手段は、前記計測手段によって計測される粒子数に応じて、前記吹出手段による前記清浄エアの吹き出し動作を制御することを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the invention according to the third aspect, the control means controls the blowing operation of the clean air by the blowing means according to the number of particles measured by the measuring means. It is characterized by.

本発明によれば、計測手段によって計測される粒子数に応じて、吹出手段によるイオン化された清浄エアの吹き出し動作を制御するので、たとえば、計測される粒子数が所定値になった際に、清浄エアの吹き出し動作を停止させることができる。   According to the present invention, since the ionized clean air blowing operation by the blowing means is controlled according to the number of particles measured by the measuring means, for example, when the number of particles to be measured reaches a predetermined value, The clean air blowing operation can be stopped.

請求項5に記載の発明は、請求項3又は4に記載の発明において、前記吹出手段は、前記清浄エアの吹出角度を変えるルーバを備え、該ルーバによって吹出角度を変えて前記清浄エアを吹き出すことを特徴とする。   The invention according to claim 5 is the invention according to claim 3 or 4, wherein the blowing means includes a louver that changes a blowing angle of the clean air, and blows out the clean air by changing a blowing angle by the louver. It is characterized by that.

本発明によれば、吹出手段が清浄エアの吹出角度を調整するルーバを備えるので、所望の吹出角度で清浄エアを吹き出すことができる。   According to the present invention, since the blowing means includes the louver that adjusts the blowing angle of the clean air, it is possible to blow the clean air at a desired blowing angle.

本発明によれば、イオン化された清浄エアを吸引手段の両側から吹き出すようにしたので、フィルムロール表面から剥離した異物が周囲に拡散されることを防止でき、フィルムロールに異物が再付着を防止することができる。   According to the present invention, since the ionized clean air is blown out from both sides of the suction means, the foreign matter peeled off from the surface of the film roll can be prevented from diffusing to the surroundings, and the foreign matter is prevented from reattaching to the film roll. can do.

以下、添付図面に従って、本発明に係るフィルムロールの除塵方法及びフィルムロール用除塵設備の好ましい実施の形態について詳説する。   Hereinafter, preferred embodiments of a dust removal method for a film roll and a dust removal equipment for a film roll according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

[第一実施形態]
図1は、フィルムロール用除塵設備10の概略構成を示した正面図である。同図に示すフィルムロール用除塵設備10は、フィルム加工室16に隣接されたエアシャワー室14の内部でフィルムロール12の表面に付着した異物を除去する設備であり、エアシャワー室14で除塵されたフィルムロール12は、クリーンルームであるフィルム加工室16に送られ、ここで加工される。なお、フィルムロール12は、帯状のプラスチックフィルムを巻き芯18にロール状に巻回したものであり、たとえば幅2000mm、ロール径φ300mmで構成される。このフィルムロール12は、フィルム加工室16において巻き戻されて加工される。
[First embodiment]
FIG. 1 is a front view showing a schematic configuration of a dust removal equipment 10 for a film roll. The film roll dust removal equipment 10 shown in FIG. 1 is an equipment for removing foreign substances adhering to the surface of the film roll 12 inside the air shower chamber 14 adjacent to the film processing chamber 16. The film roll 12 is sent to a film processing chamber 16 which is a clean room, where it is processed. The film roll 12 is obtained by winding a belt-shaped plastic film around the winding core 18 in a roll shape, and has a width of 2000 mm and a roll diameter of 300 mm, for example. The film roll 12 is rewound and processed in the film processing chamber 16.

図1に示すようにフィルムロール用除塵設備10は主として、フィルムロール12を支持する支持装置20、及び、フィルムロール12の上方に配置されたエアジェット装置30によって構成される。エアジェット装置30は、不図示の吊り金具等によって、エアシャワー室14の上部に吊設される。   As shown in FIG. 1, the film roll dust removal equipment 10 is mainly composed of a support device 20 that supports the film roll 12 and an air jet device 30 disposed above the film roll 12. The air jet device 30 is suspended from the upper portion of the air shower chamber 14 by a not-shown suspension fitting or the like.

支持装置20は、図2に示すように、支持台22と、この支持台22に立設された支持柱24、24から成り、支持柱24、24の上端部24A、24AはU状に形成され、このU状の上端部24、24にフィルムロール12の巻き芯18が係合される。これにより、フィルムロール12は支持装置20によって回転可能に支持される。なお、フィルムロール12の巻き芯18を自動的に回転させる手段を支持装置20に設けてもよい。   As shown in FIG. 2, the support device 20 includes a support base 22 and support columns 24 and 24 erected on the support base 22, and upper ends 24 </ b> A and 24 </ b> A of the support columns 24 and 24 are formed in a U shape. The winding core 18 of the film roll 12 is engaged with the U-shaped upper end portions 24, 24. Thereby, the film roll 12 is rotatably supported by the support device 20. Note that means for automatically rotating the core 18 of the film roll 12 may be provided in the support device 20.

支持装置20の支持台22は、床面に敷設されたレール26、26にスライド自在に係合される。レール26、26は、図1に示す如く、エアシャワー室14の床面から加工室16の床面に延設されており、このレール26、26に沿って支持台22を移動させることによって、フィルムロール12をエアシャワー室14から加工室16に移動させることができる。なお、支持台22をレール26、26に沿って自動で走行させる走行手段を支持装置20に設け、支持台22の移動を自動制御するようにしてもよい。   The support base 22 of the support device 20 is slidably engaged with rails 26 and 26 laid on the floor surface. As shown in FIG. 1, the rails 26, 26 extend from the floor surface of the air shower chamber 14 to the floor surface of the processing chamber 16, and by moving the support base 22 along the rails 26, 26, The film roll 12 can be moved from the air shower chamber 14 to the processing chamber 16. In addition, the support device 20 may be provided with traveling means for automatically traveling the support table 22 along the rails 26 and 26 so that the movement of the support table 22 is automatically controlled.

図3は、エアジェット装置30の内部構成を模式的に示す断面図である。なお、図3は、フィルムロール12(図1参照)の軸方向に対して直交する断面図である。   FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing the internal configuration of the air jet device 30. 3 is a cross-sectional view orthogonal to the axial direction of the film roll 12 (see FIG. 1).

同図に示すように、エアジェット装置30は、下面が開口されたケース32を有し、このケース32内の下部には仕切り板34、34が設けられる。仕切り板34、34は、図3の奥行き方向(すなわちフィルムロール12の軸方向)に沿って形成されており、ケース32の下面の開口が三つに隔てられている。以下、中央の開口を吸引口32A、その両側の開口を吹出口32B、32Bとする。   As shown in the figure, the air jet device 30 has a case 32 having an open bottom surface, and partition plates 34 and 34 are provided in the lower portion of the case 32. The partition plates 34, 34 are formed along the depth direction of FIG. 3 (that is, the axial direction of the film roll 12), and the opening on the lower surface of the case 32 is divided into three. Hereinafter, the central opening is referred to as a suction port 32A, and the openings on both sides thereof are referred to as blowout ports 32B and 32B.

吸引口32Aと吹出口32B、32Bは、図1のフィルムロール12の軸方向に長い長方形状に形成されている。また、吸引口32Aと吹出口32B、32Bは、フィルムロール12の幅方向において、フィルムロール12の幅寸法と同一の寸法か、あるいはフィルムロール12の幅寸法よりも若干大きい寸法で形成されている。   The suction port 32A and the blowout ports 32B and 32B are formed in a rectangular shape that is long in the axial direction of the film roll 12 of FIG. The suction port 32 </ b> A and the air outlets 32 </ b> B and 32 </ b> B are formed in the width direction of the film roll 12 with the same dimension as the width dimension of the film roll 12 or slightly larger than the width dimension of the film roll 12. .

吸引口32Aには、パンチングメタル等の整流板36が配設されており、この整流板36の側方にはパーティクルカウンタ(計測手段に相当)38の吸引チューブ38Aが設けられ、整流板36の上方にはファン40が設けられる。   A rectifying plate 36 such as a punching metal is disposed in the suction port 32A, and a suction tube 38A of a particle counter (corresponding to measuring means) 38 is provided on the side of the rectifying plate 36. A fan 40 is provided above.

パーティクルカウンタ38は、所定の大きさの粒子の個数を計測する装置であり、吸引チューブ38Aによってエアを吸引する。このパーティクルカウンタ38によって、吸引口32Aから吸引されたエア中に含まれる異物の粒子数が計測される。パーティクルカウンタ38は、後述の制御装置44に電気的に接続されており、制御装置44はこのパーティクルカウンタ38の計測値に基づいて各制御を行うように構成される。   The particle counter 38 is a device that measures the number of particles having a predetermined size, and sucks air through the suction tube 38A. The particle counter 38 measures the number of foreign particles contained in the air sucked from the suction port 32A. The particle counter 38 is electrically connected to a control device 44 described later, and the control device 44 is configured to perform each control based on the measurement value of the particle counter 38.

ファン40はモータ42を駆動することによって回転し、ファン40が回転することによって吸引口32Aからエアをケース32内に吸引するように構成される。吸引されたエアは、ケース32内を通って吹出口32B、32Bに送気され、吹出口32B、32Bからケース32外に吹き出される。   The fan 40 is configured to rotate by driving the motor 42, and is configured to suck air into the case 32 from the suction port 32 </ b> A when the fan 40 rotates. The sucked air passes through the inside of the case 32 and is sent to the outlets 32B and 32B, and is blown out of the case 32 through the outlets 32B and 32B.

ファン40のモータ42は後述の制御装置44に電気的に接続されており、制御装置44によってファン40の回転数、すなわち送風量が制御される。なお、ファン40の上方には、V状に形成された分流板46が設けられており、ファン40から送風されたエアが二つの吹出口32B、32Bに均等に流れるようになっている。   The motor 42 of the fan 40 is electrically connected to a control device 44 which will be described later, and the rotation speed of the fan 40, that is, the air flow rate is controlled by the control device 44. A V-shaped flow dividing plate 46 is provided above the fan 40 so that air blown from the fan 40 flows evenly to the two air outlets 32B and 32B.

吹出口32B、32Bには、エアの吹出方向を調節するためのルーバ50、50が設けられている。各ルーバ50は、軸52に揺動自在に支持された複数の羽根54、54…を有し、この羽根54、54…を揺動させることによってエアの吹出方向が調節される。各羽根54、54…には操作レバー56が取りつけられており、この操作レバー56は吹出方向調整器58によって押し引き操作される。したがって、吹出方向調整器58によって操作レバー56を押し引き操作することによって、複数の羽根54、54…が同時に揺動され、エアの吹出方向が調整される。   The blowout ports 32B and 32B are provided with louvers 50 and 50 for adjusting the air blowing direction. Each louver 50 has a plurality of blades 54, 54... That are swingably supported by the shaft 52, and the air blowing direction is adjusted by swinging the blades 54, 54. An operation lever 56 is attached to each blade 54, 54..., And this operation lever 56 is pushed and pulled by a blowing direction adjuster 58. Therefore, when the operation lever 56 is pushed and pulled by the blowing direction adjuster 58, the plurality of blades 54, 54... Are simultaneously swung to adjust the air blowing direction.

ルーバ50の上方には、イオナイザ装置(イオン化手段に相当)60が設けられ、さらにイオナイザ装置60の上方にエアフィルタ(浄化手段に相当)62が設けられる。エアフィルタ62は、たとえばHEPAフィルタやULPAフィルタが用いられ、このエアフィルタ62を通過させることによってエア中の異物が除去される。なお、吹出口32に送気されるエアは全て、このエアフィルタ62を通過して除塵されるように構成される。   An ionizer device (corresponding to ionization means) 60 is provided above the louver 50, and an air filter (corresponding to purifying means) 62 is provided above the ionizer device 60. For example, a HEPA filter or a ULPA filter is used as the air filter 62, and foreign matters in the air are removed by passing the air filter 62 through the air filter 62. Note that all the air supplied to the air outlet 32 is configured to pass through the air filter 62 and be removed.

イオナイザ装置60は、エアフィルタ62によって浄化された清浄エアを帯電させる装置であり、このイオナイザ装置60によって帯電された清浄エアがフィルムロール12に吹きつけられることによって、フィルムロール12から剥離した際の異物の捕集効果を高めることができる。イオナイザ装置60は、制御装置44に接続されており、そのオン/オフと帯電量が制御される。   The ionizer device 60 is a device that charges the clean air purified by the air filter 62. When the clean air charged by the ionizer device 60 is blown onto the film roll 12, the ionizer device 60 is peeled off from the film roll 12. The effect of collecting foreign matters can be enhanced. The ionizer device 60 is connected to the control device 44, and its on / off and charge amount are controlled.

制御装置44は、前述のパーティクルカウンタ38の計測値に基づいてファン40のモータ42、イオナイザ装置60、吹出方向調整器58を制御する。たとえば、パーティクルカウンタ38の計測値が所定値(通常はゼロ)になった際にファン40、イオナイザ装置60を停止する。   The control device 44 controls the motor 42 of the fan 40, the ionizer device 60, and the blowing direction adjuster 58 based on the measurement value of the particle counter 38 described above. For example, the fan 40 and the ionizer device 60 are stopped when the measured value of the particle counter 38 reaches a predetermined value (usually zero).

また、制御装置44は、エアジェット装置30からフィルムロール12までの距離hに応じてファン40のモータ42と吹出方向調整器58を制御する。これにより、フィルムロール12に対して、清浄エアを適切な風速、且つ、適切な吹出角度で吹きつけることができる。なお、適切な風速及び適切な吹出角度とは、エアジェット装置30の吹出口32B、32Bから吹き出したエアがフィルムロール12の表面に衝突し、吸引口32Aに向けて上昇流を形成する値である。   Further, the control device 44 controls the motor 42 and the blowing direction adjuster 58 of the fan 40 according to the distance h from the air jet device 30 to the film roll 12. Thereby, clean air can be blown against the film roll 12 at an appropriate wind speed and an appropriate blowing angle. Note that the appropriate wind speed and the appropriate blowing angle are values at which the air blown from the air outlets 32B and 32B of the air jet device 30 collides with the surface of the film roll 12 and forms an upward flow toward the suction port 32A. is there.

また、制御装置44には、タイマーが内蔵されており、エアジェット装置30を駆動してからパーティクルカウンタ38の計測値が所定値になるまでの除塵時間を計測する。さらに制御装置44は、その除塵時間と、その際の吹出風速、吹出角度、距離hを記憶し、データ化する。そして、除塵時間、吹出風速、吹出角度、距離hのデータに基づいて、除塵時間が最小となるような吹出風速及び吹出角度の最適条件を距離hごとに求めておき、次回以降の操作時に、吹出風速及び吹出角度を最適条件に設定する。なお、距離hだけでなく、フィルムロール12の材質ごとに、最適条件を求めて設定するようにしてもよい。   The control device 44 has a built-in timer, and measures the dust removal time from when the air jet device 30 is driven until the measured value of the particle counter 38 reaches a predetermined value. Further, the control device 44 stores the dust removal time, the blowing wind speed, the blowing angle, and the distance h at that time, and converts them into data. And based on the data of dust removal time, blown wind speed, blow angle, distance h, the optimum conditions of blown wind speed and blow angle that minimize dust removal time are determined for each distance h, The blowout wind speed and blowout angle are set to the optimum conditions. In addition, you may make it obtain | require and set optimal conditions not only for the distance h but for every material of the film roll 12. FIG.

次に、上記の如く構成されたフィルムロール用除塵設備10の作用について説明する。   Next, the operation of the film roll dust removal equipment 10 configured as described above will be described.

フィルムロール12は簡易包装された状態で、製造工場(不図示)からフィルムロール用除塵設備10のエアシャワー室14に搬送される。搬送されたフィルムロール12は、エアシャワー室14の内部で簡易包装が解かれ、支持装置20に取りつけられる。支持装置20は、エアジェット装置30の吸引口32Aの真下にフィルムロール12が配置されるように、支持台22の位置を調整する。また、フィルムロール12とエアジェット30との距離hに応じてエアジェット装置30のルーバ50の角度、すなわち、吹出角度を調節する。   The film roll 12 is transported from a manufacturing factory (not shown) to the air shower chamber 14 of the film roll dust removal equipment 10 in a simple packaged state. The transported film roll 12 is unwrapped in the air shower chamber 14 and attached to the support device 20. The support device 20 adjusts the position of the support base 22 so that the film roll 12 is disposed directly below the suction port 32 </ b> A of the air jet device 30. Further, the angle of the louver 50 of the air jet device 30, that is, the blowing angle is adjusted according to the distance h between the film roll 12 and the air jet 30.

次にエアジェット装置30を駆動することによって、吸引口32Aからエアを吸引するとともに吹出口32B、32Bからフィルムロール12に清浄エアを吹きつける。このとき、清浄エアがフィルムロール12に対して斜め方向に吹きつけられるので、支持装置16に回動自在に支持されたフィルムロール12が自動的に回転する。   Next, by driving the air jet device 30, air is sucked from the suction port 32A and clean air is blown to the film roll 12 from the blow ports 32B and 32B. At this time, since clean air is blown in an oblique direction with respect to the film roll 12, the film roll 12 rotatably supported by the support device 16 automatically rotates.

また、エアジェット装置30を駆動することによって、フィルムロール12と吸引口32Aとの間には上昇気流が形成される。この上昇気流は、吹出口32B、32Bから吹き出された清浄エアがフィルムロール12の表面に衝突することによって、あるいは、清浄エアの下降気流同士が衝突することによって形成される。   Further, by driving the air jet device 30, an ascending air current is formed between the film roll 12 and the suction port 32A. This updraft is formed by the clean air blown from the outlets 32B and 32B colliding with the surface of the film roll 12, or by the downflow of clean air colliding with each other.

ところで、フィルムロール12の表面に付着した異物66は、清浄エアが吹きつけられることによってフィルムロール12から剥離し、前述の上昇気流に乗って上昇した後、吸引口32Aからエアジェット装置30に吸いこまれ、エアフィルタ62を通過することによって除塵される。その際、フィルムロール12から剥離した異物66は、清浄エアの気流同士に挟まれたエリアを上昇するので、周囲に拡散することがなく、吸引口32Aからエアジェット装置30内に吸いこまれ、確実に除塵される。したがって、エアジェット装置30を停止した場合にも、エアシャワー室14内に異物66の飛散がなく、フィルムロール12への異物66の再付着を防止することができる。   By the way, the foreign matter 66 adhering to the surface of the film roll 12 is peeled off from the film roll 12 by being blown with clean air, rises on the above-mentioned rising airflow, and is sucked into the air jet device 30 from the suction port 32A. The dust is removed by passing through the air filter 62. At that time, since the foreign matter 66 peeled off from the film roll 12 rises in the area sandwiched between clean air currents, it does not diffuse to the surroundings and is sucked into the air jet device 30 from the suction port 32A. To be removed. Therefore, even when the air jet device 30 is stopped, the foreign matter 66 does not scatter in the air shower chamber 14 and the reattachment of the foreign matter 66 to the film roll 12 can be prevented.

なお、エアジェット装置30は、パーティクルカウンタ38の測定値が所定値(たとえば零)になった際に停止される。エアジェット装置30が停止した後、支持装置16をレール26に沿って移動させることによって、フィルムロール12をエアシャワー室14から加工室16に移動させる。   The air jet device 30 is stopped when the measured value of the particle counter 38 reaches a predetermined value (for example, zero). After the air jet device 30 stops, the film roll 12 is moved from the air shower chamber 14 to the processing chamber 16 by moving the support device 16 along the rail 26.

その際、制御装置44は、パーティクルカウンタ38の計測値が所定値になるまでの除塵時間のデータを、吹出風速、吹出角度、距離hのデータとともに記憶し、データ化する。そして、除塵時間、吹出風速、吹出角度、距離hのデータに基づいて、除塵時間が最小となるような吹出風速及び吹出角度の最適条件を距離hごとに求めておき、次回以降の操作時に、吹出風速及び吹出角度をその最適条件に設定する。これにより、フィルムロールの除塵を最短時間で行うことができる。   At that time, the control device 44 stores the data of the dust removal time until the measured value of the particle counter 38 reaches a predetermined value together with the data of the blowing wind speed, the blowing angle, and the distance h, and converts it into data. And based on the data of dust removal time, blown wind speed, blow angle, distance h, the optimum conditions of blown wind speed and blow angle that minimize dust removal time are determined for each distance h, The blowing wind speed and the blowing angle are set to the optimum conditions. Thereby, dust removal of a film roll can be performed in the shortest time.

上述したように本実施の形態によれば、エアシャワー室14内に浮遊して拡散する異物66を上昇気流に乗せてエアジェット装置30内に吸引するので、エアシャワー室14内に浮遊する異物66を低減することができる。したがって、エアジェット装置30を停止した際における異物66のフィルムロール12への再付着を低減でき、効率よくフィルムロール12の表面を除塵できる。   As described above, according to the present embodiment, the foreign matter 66 that floats and diffuses in the air shower chamber 14 is sucked into the air jet device 30 on the rising airflow, and therefore the foreign matter that floats in the air shower chamber 14. 66 can be reduced. Therefore, the reattachment of the foreign matter 66 to the film roll 12 when the air jet device 30 is stopped can be reduced, and the surface of the film roll 12 can be efficiently removed.

[第二実施形態]
図4は、本発明の第2の実施の形態であるフィルムロール用除塵設備10の概略構成を示した正面図である。同図に示すエアジェット装置30は、吹出口32B、32Bの内部にルーバ50(図3参照)を設ける代わりに、吹出口32B、32Bにダクト70、70を取りつけている。ダクト70は、途中で吸引口32A側に屈曲し、その下端の吹出口70B、70Bがフィルムロール12に向いて配置されている。
[Second Embodiment]
FIG. 4 is a front view showing a schematic configuration of the film roll dust removal equipment 10 according to the second embodiment of the present invention. The air jet apparatus 30 shown in the figure has ducts 70 and 70 attached to the air outlets 32B and 32B instead of providing the louver 50 (see FIG. 3) inside the air outlets 32B and 32B. The duct 70 is bent halfway toward the suction port 32 </ b> A, and the blowout ports 70 </ b> B and 70 </ b> B at the lower ends thereof are arranged facing the film roll 12.

上記の如く構成されたフィルムロール用除塵設備10によれば、ダクト70を用いて吹出口70B、70Bをフィルムロール12に向けたので、清浄エアをフィルムロール12に確実に当てることができる。よって、フィルムロール12に衝突した清浄エアによってダクト70、70間に確実に上昇気流を形成することができる。これにより、フィルムロール12から剥離した異物66が上昇気流に乗って吸引口32Aから吸いこまれるので、異物66の周囲への拡散を防止することができ、フィルムロール12への異物66の再付着を確実に防止することができる。   According to the film roll dust removal equipment 10 configured as described above, since the air outlets 70B and 70B are directed to the film roll 12 using the duct 70, clean air can be reliably applied to the film roll 12. Therefore, an updraft can be reliably formed between the ducts 70 and 70 by the clean air that has collided with the film roll 12. As a result, the foreign matter 66 peeled off from the film roll 12 rides on the rising air current and is sucked from the suction port 32A, so that the foreign matter 66 can be prevented from diffusing around the film roll 12, and the foreign matter 66 is reattached to the film roll 12. It can be surely prevented.

なお、上述した実施形態は、エアジェット装置30にエアの吸引口32Aと清浄エアの吹出口32B、32Bの両方を設けてユニット化したが、これに限定するものではなく、別々のユニットで構成してもよい。図5は、吸引ユニットと吹出ユニットとを別々に備える構成のエアジェット装置30を示す断面図である。同図に示すエアジェット装置30は、吸引口72Aを有する吸引ユニット72と、吹出口74Bを有する吹出ユニット74とが別々に設けられ、これらがダクト76、76によって連結される。   In the above-described embodiment, the air jet device 30 is provided with both the air suction port 32A and the clean air outlets 32B and 32B, but is not limited to this, and is configured as a separate unit. May be. FIG. 5 is a cross-sectional view showing an air jet device 30 having a configuration in which a suction unit and a blowout unit are separately provided. In the air jet device 30 shown in the figure, a suction unit 72 having a suction port 72A and a blow-out unit 74 having a blow-out port 74B are provided separately, and these are connected by ducts 76 and 76.

本発明の第1の実施の形態のフィルムロール用除塵設備の概略構成を示す図The figure which shows schematic structure of the dust removal equipment for film rolls of the 1st Embodiment of this invention 図1の支持装置を示す斜視図The perspective view which shows the support apparatus of FIG. 図1のエアジェット装置の内部構成を示す断面図Sectional drawing which shows the internal structure of the air jet apparatus of FIG. 本発明の第2の実施の形態のフィルムロール用除塵設備の概略構成を示す図The figure which shows schematic structure of the dust removal equipment for film rolls of the 2nd Embodiment of this invention. 図3と異なる構成のエアジェット装置を示す断面図Sectional drawing which shows the air jet apparatus of a structure different from FIG. 従来のフィルムロール用除塵設備の概略構成を示した正面図The front view which showed schematic structure of the dust removal equipment for conventional film rolls

符号の説明Explanation of symbols

10…フィルムロール用除塵設備、12…フィルムロール、14…エアシャワー室、20…支持装置、30…エアジェット装置、32A…吸引口、32B…吹出口、38…パーティクルカウンタ、40…ファン、44…制御装置、50…ルーバ、60…イオナイザ装置、62…エアフィルタ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Film dust removal equipment, 12 ... Film roll, 14 ... Air shower room, 20 ... Supporting device, 30 ... Air jet device, 32A ... Suction port, 32B ... Air outlet, 38 ... Particle counter, 40 ... Fan, 44 ... Control device, 50 ... Louvre, 60 ... Ionizer device, 62 ... Air filter

Claims (5)

フィルムロールの上方でエアを吸引し、該吸引したエアに含まれる異物の粒子数を計測し、計測後のエアを除塵し、除塵した清浄エアをイオン化し、イオン化した清浄エアを前記吸引位置の両側から前記フィルムロールに向けて吹き出すことにより前記フィルムロール表面から前記吸引位置へ向かう気流を形成するとともに、
前記異物の粒子数の計測値が所定値に達した際に、前記エアの吸引動作及び吹出動作を停止することを特徴とするフィルムロールの除塵方法。
Air is sucked above the film roll, the number of foreign particles contained in the sucked air is measured, the measured air is removed, the cleaned clean air is ionized, and the ionized clean air is removed from the suction position. While forming an air flow toward the suction position from the film roll surface by blowing toward the film roll from both sides,
A dust removal method for a film roll, wherein when the measured value of the number of particles of the foreign substance reaches a predetermined value, the air suction operation and the air blowing operation are stopped.
前記異物の粒子数の計測値が前記所定値に達するまでの時間と、前記フィルムロール表面から前記吹出位置までの距離とのデータに基づいて、前記清浄エアの吹出風速及び吹出角度を制御することを特徴とする請求項1に記載のフィルムロールの除塵方法。   Controlling the blowing speed and the blowing angle of the clean air based on data of the time until the measured value of the number of foreign particles reaches the predetermined value and the distance from the film roll surface to the blowing position. The dust removal method of the film roll of Claim 1 characterized by these. フィルムロールの上方でエアを吸引する吸引手段と、
前記吸引手段によって吸引された前記エアに含まれる異物の粒子数を計測する計測手段と、
前記吸引手段によって吸込されたエアを除塵して清浄エアに浄化する浄化手段と、
前記清浄エアをイオン化するイオン化手段と、
前記イオン化された清浄エアを前記吸引手段の両側から前記フィルムロールに向けて吹き出すことにより、前記フィルムロール表面から前記吸引手段へ向かう気流を形成する吹出手段と、
前記フィルムロール表面から前記吹出手段までの距離に基づいて、前記吹出手段で吹き出す清浄エアの吹出風速及び吹出角度を制御する制御手段と、
を有することを特徴とするフィルムロール用除塵設備。
A suction means for sucking air above the film roll;
Measuring means for measuring the number of foreign particles contained in the air sucked by the suction means;
Purifying means for removing dust sucked by the suction means and purifying it into clean air;
Ionizing means for ionizing the clean air;
Blowing means for forming an air flow from the film roll surface toward the suction means by blowing the ionized clean air from both sides of the suction means toward the film roll;
Based on the distance from the film roll surface to the blowing means, control means for controlling the blowing speed and angle of the clean air blown out by the blowing means;
A dust removal equipment for a film roll, comprising:
前記制御手段は、前記計測手段によって計測される粒子数に応じて、前記吹出手段による前記清浄エアの吹き出し動作を制御することを特徴とする請求項3に記載のフィルムロール用除塵設備。   The dust removal equipment for a film roll according to claim 3, wherein the control means controls the operation of blowing the clean air by the blowing means according to the number of particles measured by the measuring means. 前記吹出手段は、前記清浄エアの吹出角度を変えるルーバを備え、該ルーバによって吹出角度を変えて前記清浄エアを吹き出すことを特徴とする請求項3または4に記載のフィルムロール用除塵設備。
The dust removal equipment for a film roll according to claim 3 or 4, wherein the blowing means includes a louver that changes a blowing angle of the clean air, and blows the clean air by changing a blowing angle by the louver.
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Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010037063A (en) * 2008-08-06 2010-02-18 Takazono Sangyo Co Ltd Dust-dirt removing system of divided wrapping paper roll and its method
CN101947528A (en) * 2010-10-09 2011-01-19 苏州工业园区天势科技有限公司 Ion duster
CN102861737A (en) * 2012-09-26 2013-01-09 深圳市华星光电技术有限公司 Clean room and automatic cleaning box thereof
JP2013071083A (en) * 2011-09-28 2013-04-22 Tokyo Electron Ltd Particle collecting apparatus and particle collecting method
JP2013193061A (en) * 2012-03-22 2013-09-30 Sharp Corp Apparatus of removing dust, and method of removing dust
JP2013193060A (en) * 2012-03-22 2013-09-30 Sharp Corp Apparatus of removing dust, and method of removing dust
CN105235195A (en) * 2015-10-30 2016-01-13 合肥乐凯科技产业有限公司 Film preparing method for overcoming appearance dust defect
CN106140726A (en) * 2016-08-24 2016-11-23 成都乐也科技有限公司 A kind of air-flowing type computer keyboard cleaning plant
CN107354896A (en) * 2017-08-16 2017-11-17 扬州金威环保科技有限公司 A kind of multi-functional formula garbage recovery device based on wet dedusting
CN108353546A (en) * 2018-02-26 2018-08-03 甘肃天诚农机具制造有限公司 Incomplete film-recovering machine drifting dust wind turbine
CN109290289A (en) * 2018-11-29 2019-02-01 大江南电子科技(昆山)有限公司 The dedusting mechanism of lateral wall type plate putting machine
CN110877039A (en) * 2019-12-13 2020-03-13 江苏宏宝锻造股份有限公司 Foreign matter stripping equipment and foreign matter stripping method applied to roller
CN114906383A (en) * 2022-06-15 2022-08-16 江苏自立新材料科技有限公司 Full-automatic film coiled material packaging integrated production process
CN114987901A (en) * 2022-06-22 2022-09-02 武汉天马微电子有限公司 Flexible display screen storage device and flexible display screen device
CN116101545A (en) * 2023-04-12 2023-05-12 山东强华防水科技有限公司 Binding device is used in production of durability waterproofing membrane
CN117019772A (en) * 2023-10-08 2023-11-10 宁德时代新能源科技股份有限公司 Dust removal mechanism, pole piece dust removal device and battery production system
CN117161046A (en) * 2023-10-25 2023-12-05 青岛盈科精密橡塑有限公司 Dust collecting device, traceless protective film processing device and processing method

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58124432U (en) * 1982-02-18 1983-08-24 日立粉末冶金株式会社 Powder removal equipment for powder compacts
JPH08131393A (en) * 1994-11-11 1996-05-28 M & P:Kk Dust removing apparatus
JPH10290964A (en) * 1997-04-22 1998-11-04 Shishido Seidenki Kk Dust suction type dedusting system
JP2000084509A (en) * 1998-09-10 2000-03-28 Shinko:Kk Dust collector
JP2001151911A (en) * 1999-11-30 2001-06-05 Toppan Printing Co Ltd Method for highly cleaning plastic film or sheet

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58124432U (en) * 1982-02-18 1983-08-24 日立粉末冶金株式会社 Powder removal equipment for powder compacts
JPH08131393A (en) * 1994-11-11 1996-05-28 M & P:Kk Dust removing apparatus
JPH10290964A (en) * 1997-04-22 1998-11-04 Shishido Seidenki Kk Dust suction type dedusting system
JP2000084509A (en) * 1998-09-10 2000-03-28 Shinko:Kk Dust collector
JP2001151911A (en) * 1999-11-30 2001-06-05 Toppan Printing Co Ltd Method for highly cleaning plastic film or sheet

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010037063A (en) * 2008-08-06 2010-02-18 Takazono Sangyo Co Ltd Dust-dirt removing system of divided wrapping paper roll and its method
CN101947528A (en) * 2010-10-09 2011-01-19 苏州工业园区天势科技有限公司 Ion duster
US10213076B2 (en) 2011-09-28 2019-02-26 Tokyo Electron Limited Particle collecting apparatus and particle collecting method
JP2013071083A (en) * 2011-09-28 2013-04-22 Tokyo Electron Ltd Particle collecting apparatus and particle collecting method
JP2013193061A (en) * 2012-03-22 2013-09-30 Sharp Corp Apparatus of removing dust, and method of removing dust
JP2013193060A (en) * 2012-03-22 2013-09-30 Sharp Corp Apparatus of removing dust, and method of removing dust
CN102861737A (en) * 2012-09-26 2013-01-09 深圳市华星光电技术有限公司 Clean room and automatic cleaning box thereof
CN102861737B (en) * 2012-09-26 2015-04-01 深圳市华星光电技术有限公司 Clean room
CN105235195A (en) * 2015-10-30 2016-01-13 合肥乐凯科技产业有限公司 Film preparing method for overcoming appearance dust defect
CN106140726A (en) * 2016-08-24 2016-11-23 成都乐也科技有限公司 A kind of air-flowing type computer keyboard cleaning plant
CN107354896A (en) * 2017-08-16 2017-11-17 扬州金威环保科技有限公司 A kind of multi-functional formula garbage recovery device based on wet dedusting
CN108353546A (en) * 2018-02-26 2018-08-03 甘肃天诚农机具制造有限公司 Incomplete film-recovering machine drifting dust wind turbine
CN109290289A (en) * 2018-11-29 2019-02-01 大江南电子科技(昆山)有限公司 The dedusting mechanism of lateral wall type plate putting machine
CN110877039A (en) * 2019-12-13 2020-03-13 江苏宏宝锻造股份有限公司 Foreign matter stripping equipment and foreign matter stripping method applied to roller
CN110877039B (en) * 2019-12-13 2023-10-27 江苏宏宝锻造股份有限公司 Foreign matter stripping equipment and foreign matter stripping method applied to roller
CN114906383A (en) * 2022-06-15 2022-08-16 江苏自立新材料科技有限公司 Full-automatic film coiled material packaging integrated production process
CN114987901A (en) * 2022-06-22 2022-09-02 武汉天马微电子有限公司 Flexible display screen storage device and flexible display screen device
CN116101545A (en) * 2023-04-12 2023-05-12 山东强华防水科技有限公司 Binding device is used in production of durability waterproofing membrane
CN116101545B (en) * 2023-04-12 2023-06-06 山东强华防水科技有限公司 Binding device is used in production of durability waterproofing membrane
CN117019772A (en) * 2023-10-08 2023-11-10 宁德时代新能源科技股份有限公司 Dust removal mechanism, pole piece dust removal device and battery production system
CN117019772B (en) * 2023-10-08 2024-02-23 宁德时代新能源科技股份有限公司 Dust removal mechanism, pole piece dust removal device and battery production system
CN117161046A (en) * 2023-10-25 2023-12-05 青岛盈科精密橡塑有限公司 Dust collecting device, traceless protective film processing device and processing method
CN117161046B (en) * 2023-10-25 2024-01-23 青岛盈科精密橡塑有限公司 Dust collecting device, traceless protective film processing device and processing method

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