JP5467905B2 - Film conveying apparatus and method, film manufacturing apparatus and method - Google Patents
Film conveying apparatus and method, film manufacturing apparatus and method Download PDFInfo
- Publication number
- JP5467905B2 JP5467905B2 JP2010069313A JP2010069313A JP5467905B2 JP 5467905 B2 JP5467905 B2 JP 5467905B2 JP 2010069313 A JP2010069313 A JP 2010069313A JP 2010069313 A JP2010069313 A JP 2010069313A JP 5467905 B2 JP5467905 B2 JP 5467905B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- air
- clean room
- clean
- clean air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Advancing Webs (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
本発明はクリーンルーム内で用いられるフイルム搬送装置及びその方法並びにフイルム製造装置及びその方法に関するものである。 The present invention relates to a film transport apparatus and method used in a clean room, and a film manufacturing apparatus and method.
液晶表示パネルには、位相差補償フイルムや光拡散フイルムなど、様々な機能をもつ光学フイルムが用いられている。こうした光学フイルムに限らず、一般にフイルムを工業的に製造する際には、フイルムを一定幅にした帯状の状態で搬送しながら塗布工程や乾燥工程、さらには検査工程などを順次に行うようにしている。また、一連となった搬送系だけでフイルムの製品化が困難な場合には、製造の途中でフイルムを一旦ロール状に巻き取り、このロールを次工程の搬送装置にセットして製造を継続することもある。 For the liquid crystal display panel, optical films having various functions such as a phase difference compensation film and a light diffusion film are used. In addition to such optical films, generally when manufacturing films industrially, the coating process, the drying process, and the inspection process are sequentially performed while the film is transported in a belt-like state with a certain width. Yes. If it is difficult to produce a film only with a series of transport systems, the film is temporarily wound into a roll in the middle of manufacturing, and the roll is set on a transport device for the next process to continue manufacturing. Sometimes.
上記のような光学フイルムを製造する場合、フイルムの搬送中に塵埃がフイルムの表面に付着することがないように、フイルムの搬送系をクリーンルーム内に収容することが行われる。例えば、拡散フイルムの表面に傷防止用のハードコート層を塗布する工程などでは、フイルムの表面に塵埃が付着したままで塗布が行われるとピンホール欠陥が生じることもあり、クリーンルーム内で搬送されるフイルムの表面に定常的に清浄なエアーを吹きつけて塵埃が付着しないようにしている。 When manufacturing an optical film as described above, the film transport system is accommodated in a clean room so that dust does not adhere to the surface of the film during the transport of the film. For example, in the process of applying a scratch-preventing hard coat layer on the surface of a diffusion film, pinhole defects may occur if the coating is performed with dust remaining on the surface of the film, and the film is transported in a clean room. Regularly clean air is blown onto the surface of the film to prevent dust from adhering.
クリーンルームを用いるこのような手法は特許文献1、2などで知られており、クリーンルーム内の対象物に清浄なエアーを吹きつけ、また吹きつけられたエアーを効率的にクリーンルーム外に排気し、クリーンルーム内に定常的に清浄なエアーを導入して対象物に塵埃が付着することを防いでいる。 Such a method using a clean room is known in Patent Documents 1 and 2, etc., and clean air is blown to an object in the clean room, and the blown air is efficiently exhausted outside the clean room. Inside, clean air is constantly introduced to prevent dust from adhering to the object.
しかし、例えば、クリーンルームの上方からフイルムの表面にエアーを吹きつけると、吹き付けられたエアーがフイルムを回り込んでフイルムの裏面側で渦を巻く。そして、この渦には、フイルム表面から除去された塵埃が含まれるだけでなく、クリーンルームの床面などから巻き上げられた塵埃も含まれる。このため、フイルムの裏面に塵埃が付着してしまうといった問題があった。 However, for example, when air is blown onto the film surface from above the clean room, the blown air wraps around the film and vortexes on the back side of the film. The vortex includes not only dust removed from the film surface but also dust rolled up from the floor surface of the clean room. For this reason, there is a problem that dust adheres to the back surface of the film.
フイルムの裏面が必ずしも塗布加工の対象とは限らない。しかし、フイルムの裏面が塗布面でない場合でも、裏面に塵埃が付着したまま塗布加工の後にフイルムがロール状に巻き取られると、塗布加工済みの表面と裏面との間に塵埃が巻き込まれ、表面傷の原因になることが懸念される。特に、近年光学フイルムでは、10μm程度のサイズの塵埃が原因で生じるわずかな傷であっても高輝度の光が照射されると散乱傷として目立ちやすく、製品の品質を損なう一因となる。 The back side of the film is not necessarily the target of the coating process. However, even if the back side of the film is not the coated surface, if the film is wound up in a roll shape after the coating process with the dust attached to the back side, the dust is caught between the coated surface and the back side, There is concern that it may cause scratches. In particular, in recent years, even in the case of an optical film, even a slight flaw caused by dust having a size of about 10 μm is easily noticeable as a scattering flaw when irradiated with high-intensity light, which is a factor that impairs the quality of the product.
本発明は上記背景を考慮してなされたもので、クリーンルーム内でフイルムを搬送する際に、フイルムの表面だけでなくフイルムの裏面にも塵埃が付着することがないようにしたフイルム搬送装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of the above background, and provides a film transport device that prevents dust from adhering not only to the film surface but also to the back surface of the film when transporting the film in a clean room. The purpose is to do.
上記目的を達成するために、本発明のフイルム搬送装置は、クリーンルーム内で帯状のフイルムを長手方向に沿って搬送する搬送手段と、前記フイルムの所定の面に向かって所定経路で清浄なエアーが流れるように前記クリーンルーム内に清浄なエアーを供給し、排気するエアー給排気手段と、前記フイルムの前記所定の面とは反対側の面に対面して配置される遮風板と、を備えたことを特徴としている。 In order to achieve the above object, the film transport apparatus of the present invention comprises transport means for transporting a belt-like film along a longitudinal direction in a clean room, and clean air in a predetermined path toward a predetermined surface of the film. Air supply / exhaust means for supplying and exhausting clean air into the clean room so as to flow, and a wind shielding plate arranged to face a surface opposite to the predetermined surface of the film It is characterized by that.
前記エアー給排気手段によってクリーンルーム内に供給された清浄なエアーの一部を、前記遮風板と前記フイルムの前記所定の面とは反対側の面との間に導入する導風板を設けてもよい。 Providing a wind guide plate for introducing a part of clean air supplied into the clean room by the air supply / exhaust means between the wind shield plate and a surface opposite to the predetermined surface of the film; Also good.
また、前記導風板を、前記遮風板の端部を折り曲げることにより前記遮風板と一体に設けてもよい。 The wind guide plate may be provided integrally with the wind shield plate by bending an end portion of the wind shield plate.
さらに、前記遮風板と前記フイルムの前記所定の面とは反対側の面との間に清浄なエアーを送風する送風手段を設けてもよい。 Furthermore, you may provide the ventilation means which ventilates clean air between the said windshield and the surface on the opposite side to the said predetermined surface of the said film.
また、前記送風手段は、前記フイルムの幅方向の一端側から他端側に向けて清浄なエアーを供給するものでもよい。 Further, the blowing means may supply clean air from one end side in the width direction of the film toward the other end side.
さらに、前記送風手段は、前記フイルムの搬送方向の下流側から上流側に向けて清浄なエアーを供給するものでもよい。 Further, the blowing means may supply clean air from the downstream side to the upstream side in the film transport direction.
また、前記エアー給排気手段は、前記フイルムの幅方向の一端側から他端側に向けて清浄なエアーを供給するとともに、前記遮風板がさらに前記フイルムの前記所定の面に対面して配置され、前記エアー給排気手段からの清浄なエアーが一方の遮風板と前記フイルムの前記所定の面との間、及び他方の遮風板と前記フイルムの前記反対側の面との間に共に供給されるものでもよい。 The air supply / exhaust means supplies clean air from one end side to the other end side in the width direction of the film, and the windshield plate is further arranged to face the predetermined surface of the film. Clean air from the air supply / exhaust means is provided between one wind shield and the predetermined surface of the film, and between the other wind shield and the opposite surface of the film. It may be supplied.
さらに、前記遮風板を、前記クリーンルーム内にオペレータが立ち入る作業エリアを囲むように設けてもよい。 Further, the windshield plate may be provided so as to surround a work area where an operator enters the clean room.
また、本発明のフイルム搬送方法は、上述したフイルム搬送装置を用いてフイルムの搬送を行うことを特徴としている。 The film transport method of the present invention is characterized in that the film is transported using the above-described film transport apparatus.
さらに、本発明のフイルム製造装置は、上述したフイルム搬送装置で搬送されるフイルムの表面に、前記クリーンルーム内に設けた加工装置で加工が行われることを特徴としている。 Furthermore, the film manufacturing apparatus of the present invention is characterized in that processing is performed on the surface of the film transported by the above-described film transport apparatus by a processing apparatus provided in the clean room.
また、本発明のフイルム製造方法は、上述したフイルム製造装置でフイルムの製造を行うことを特徴としている。 The film manufacturing method of the present invention is characterized in that the film is manufactured by the above-described film manufacturing apparatus.
本発明によれば、清浄空気をフイルムの所定の面へ送風するとともに、フイルムの所定の面とは反対側の面と対面するように遮風板を設けたので、クリーンルームのクリーン度を高めてもフイルムに付着していた、10μm程度の微小な塵埃のフイルムの裏面への付着を防止でき、光学フイルムの品質をアップさせることが出来る。また、フイルムの搬送部に常にクリーン度の高いエアを流すことが出来るので設備投資とランニングコストをそれぞれ約半分に抑えることができる。 According to the present invention, the clean air is blown to a predetermined surface of the film and the wind shield is provided so as to face the surface opposite to the predetermined surface of the film. Further, it is possible to prevent fine dust of about 10 μm from adhering to the back surface of the film, and to improve the quality of the optical film. In addition, since clean air can always flow through the film transport section, both capital investment and running cost can be reduced to about half.
出願人及び発明者は、クリーン度がクラス10程度のクリーンルームにおいて、微少サイズの塵埃がフイルムに付着する原因について研究を行った。この結果、塵埃は主にオペレータ作業領域で発生するものであること、及び、クリーンルーム内でも場所によって塵埃度は異なり、フイルム搬送装置のダウンフローのクリーンエアーが当たる面とは反対側の面で塵埃度が高いことが分かった。さらに、この位置で塵埃度が高くなる原因をシミュレーションにより解析した結果、図19に示すように、フイルム裏面(エアーが当たる面とは反対側の面)付近で渦が生じ、これによって塵埃が長時間フイルム裏面付近に滞留している事が原因であることを突き止めた。なお、シミュレーションでは、クリーンルーム内にフイルムを水平に配置し、クリーンルームの天面からフイルムの上面(表面)へ向けて略垂直に清浄空気を0.3(m/分)の風速で送風してクリーンルームのグレーチング床下にある両側壁から排気を行った場合のクリーンルーム内の各所でのエアーの流れをフイルム搬送方向に垂直な断面から見たベクトル表示させた。また、このシミュレーションには、株式会社シーディー・アダプコ・ジャパン製STAR−LTソフトを用いた。本発明はこれらの知見を基にフイルムの裏面に発生する渦を解消する事によりフイルムへの微小なサイズの塵埃付着防止し、フイルム(特に光学フイルム)の面状品質を向上させるために考案されたものである。 The applicant and the inventor have studied the cause of the minute size dust adhering to the film in a clean room having a cleanness of about class 10. As a result, dust is mainly generated in the operator's work area, and the dust level varies depending on the location even in the clean room, and the dust on the surface opposite to the surface where the clean air hits the downflow of the film transport device. It turns out that the degree is high. Further, as a result of analyzing the cause of the increase in the dust level at this position by simulation, as shown in FIG. 19, a vortex is generated in the vicinity of the back surface of the film (the surface opposite to the surface on which the air hits). I found out that it was caused by the fact that it stayed near the back of the time film. In the simulation, the film is placed horizontally in the clean room, and clean air is blown at a wind speed of 0.3 (m / min) from the top of the clean room toward the top surface of the film (surface). The air flow at various locations in the clean room when exhausting from both side walls under the grating floor was displayed as a vector viewed from a cross section perpendicular to the film transport direction. For this simulation, STAR-LT software manufactured by C / D Adapto Japan Co., Ltd. was used. Based on these findings, the present invention has been devised to eliminate the vortex generated on the back side of the film to prevent the attachment of fine dust to the film and to improve the surface quality of the film (especially optical film). It is a thing.
上記知見に基づいてなされた本発明のフイルム製造装置について以下説明を行う。
図1に示すように、フイルム製造設備10はクリーンルーム12を備え、クリーンルーム12内に送り出し装置14、搬送ローラ16a〜16b、塗布装置18、乾燥室20、巻き取り装置22が収められている。このフイルム製造設備10は、クリーンルーム12内で拡散フイルム24を搬送しながらその表面にハードコート層を積層することによって製品フイルム26を製造するものである。
The film production apparatus of the present invention made based on the above knowledge will be described below.
As shown in FIG. 1, the film manufacturing facility 10 includes a
送り出し装置14には、拡散フイルム24の巻き付けられた拡散フイルムロール28がセットされる。拡散フイルム24は、送り出し装置32により拡散フイルムロール28から送り出され、搬送ローラ16a〜16dにより塗布装置18へ向けて搬送される。この後、拡散フイルム24は、塗布装置18でハードコート層の材料が塗布され、乾燥室20で乾燥されることにより製品フイルム26となる。そして、このようにして製造された製品フイルム26は巻き取り装置22により巻き取られ、製品フイルムロール30となる。
A
搬送ローラ16a〜16dは、略円柱形状に形成され、回転軸を水平にして配置されている。これにより、拡散フイルム24は、幅方向が水平に保たれた状態で長手方向に沿って搬送される。また、搬送ローラ16a〜16dは、四角形の四隅に対応する位置に配置されている。これにより、拡散フイルム24の搬送経路は、下方に開口を向けた略コ字形となっている。そして、このように拡散フイルム24の搬送経路を屈曲させることによって形成された空間が、フイルム製造設備10のメンテナンスを行うオペレータが立ち入る作業スペース38となっている。
The
また、クリーンルーム12には、FFU32、排気口34、遮風板36が設けられている。FFU32は、クリーンルーム12の天面に設けられている。FFU32は、フィルタを介して清浄化した清浄空気を、搬送ローラ16b、16c間を搬送される拡散フイルム24の上面へ向けて送風する。排気口34は、クリーンルーム12外への排気を行うものであり、クリーンルーム12の下部に設けられている。また、排気口34は、拡散フイルム24の幅方向で向かい合うように、クリーンルーム12の両側壁に設けられている(図3参照)。
The
図2に示すように、遮風板36は、搬送ローラ16b、16cの間を搬送される拡散フイルム24の下面と対面するように、拡散フイルム24の下方に配置される。遮風板36の幅は、拡散フイルム24の幅とほぼ等しく形成され、遮風板36の長さは、搬送ローラ16b、16c間の距離とほぼ等しく形成されている。このように、遮風板36は、拡散フイルム24のうちFFU32からの清浄空気が当たる面とは反対側の面を覆うように設けられている。
As shown in FIG. 2, the
図3に示すように、FFU32からの清浄空気は、拡散フイルム24の上面に当たり、拡散フイルム24の上面に付着した塵埃を除去した後、拡散フイルム24の左右を回り込む際に渦を巻く。この渦により、拡散フイルム24から除去された塵埃や、クリーンルーム12の床に堆積した塵埃が下方から巻き上げられるようにして拡散フイルム24の下面へ向かうが、本例では、遮風板36を設けることによって、巻き上げられた塵埃が拡散フイルム24の下面に当たらないようになっている。
As shown in FIG. 3, the clean air from the
このように、本発明によれば、下方から巻き上げられた塵埃を遮風板により遮るようにしたので、拡散フイルム近傍の清浄度を高く保つことができる。また、遮風板を設けるといった簡単な構成で拡散フイルム近傍の清浄度を高く保つことができる。このため、例えば、遮風板によらずにクリーンルーム全体の清浄度クラスを上げることで拡散フイルム近傍の清浄度を高く保つ方法と比較してコストを抑えることができる。 As described above, according to the present invention, the dust rolled up from below is blocked by the wind shielding plate, so that the cleanliness in the vicinity of the diffusion film can be kept high. In addition, the cleanliness in the vicinity of the diffusion film can be kept high with a simple configuration such as providing a windshield. For this reason, for example, cost can be suppressed compared with the method of keeping the cleanliness vicinity of a diffusion film high by raising the cleanliness class of the whole clean room without using a windshield.
具体的には、遮風板を設けることによって、クリーンルーム全体平均としての清浄度クラス(FED−STD−209Dの定義)がクラス100程度であっても、拡散フイルム近傍の清浄度クラスをクラス10程度とすることができる。そして、このように遮風板により拡散フイルム近傍の清浄度クラスを向上させる方法によれば、同等の効果を得るためにクリーンルーム全体の清浄度クラスをクラス10程度とする場合と比較して設備投資やランニングコストを約半分に抑えることができる。
Specifically, by providing a windshield, even if the cleanliness class (definition of FED-STD-209D) as an average of the entire clean room is approximately
なお、本発明は、クリーンルーム内を搬送される拡散フイルムと対面するように遮風板を設けることによって、拡散フイルム近傍の清浄度を高くできればよいので、細部の構成は上記実施形態に限定されず適宜変更できる。例えば、上記実施形態では、フイルム製造設備全体をクリーンルーム内に収める例で説明をしたが、フイルム製造設備の一部をクリーンルーム内に収めるようにしてもよい。 The present invention is not limited to the above-described embodiment because the cleanliness in the vicinity of the diffusion film only needs to be increased by providing a windshield so as to face the diffusion film conveyed in the clean room. It can be changed as appropriate. For example, in the above-described embodiment, the example in which the entire film manufacturing facility is stored in the clean room has been described. However, a part of the film manufacturing facility may be stored in the clean room.
また、上記実施形態では、拡散フイルムの幅方向で向かい合う2つの排気口を設ける例で説明をしたが、図4に示すクリーンルーム50のように、拡散フイルムの幅方向の一方にのみ排気口52を設けてもよい。この場合も、上記実施形態と同様に、拡散フイルム24を回り込んだ風が拡散フイルム24の下面に当たらないので、拡散フイルム24近傍の清浄度を高くできる。なお、図4以降の図面を用いた説明では、上述した実施形態と同様の部材については同様の符号を付して説明を省略している。
In the above-described embodiment, an example in which two exhaust ports facing each other in the width direction of the diffusion film has been described. However, as in the
さらに、上記実施形態では、遮風板の幅を拡散フイルムの幅とほぼ等しく形成する例で説明をしたが、図5に示す遮風板60のように、一側部が拡散フイルム24の一側部よりも外側に位置するように、拡散フイルム24のよりも幅広に形成してもよい。こうすれば、遮風板60の一側部に当たった清浄空気が、遮風板60と拡散フイルム24との間を通り、遮風板60の他側部へ向けて導風されるので、拡散フイルム24近傍の清浄度をより高く保つことができる。
Further, in the above-described embodiment, the example in which the width of the wind shielding plate is formed to be approximately equal to the width of the diffusion film has been described. However, one side portion of the
また、図6に示すように、遮風板36の幅方向一側部に導風板70を設け、この導風板70により、FFU32からの清浄空気を遮風板36と拡散フイルム24との間へ導風してもよい。さらに、図7に示す遮風板80のように、幅方向一側部に導風板82を設け、他側部に導風板84を設けるとともに、幅方向中央部に開口86を形成し、FFU32からの清浄空気を幅方向両側部から遮風板80と拡散フイルム24との間へ導風するとともに、導風した清浄空気を開口86から排出してもよい。
In addition, as shown in FIG. 6, a
また、図8に示すように、遮風板36と拡散フイルム24との間へ強制的に送風する送風装置90を設けてもよい。図8において、送風装置90は、FFU92を備え、FFU92により清浄化した清浄空気を、チャンバー94、ダクト96を介し、拡散フイルム24の搬送方向に長く形成された給気ノズル98から、遮風板36と拡散フイルム24との間へ送風する。
Moreover, as shown in FIG. 8, you may provide the
もちろん、図9に示すように、給気ノズル98から送風された清浄空気を回収する排気ノズル100を設けてもよい。なお、図9に示す例では、排気ノズル100とFFU92の空気取り入れ口とをダクト102によって接続し、空気を循環させている。
Of course, as shown in FIG. 9, an
また、図10に示すように、拡散フイルム24の幅方向に長い給気ノズル110を有する送風装置112を設け、拡散フイルム24の搬送方向に沿って清浄空気を送風してもよい。なお、図10に示す例では、拡散フイルム24の搬送方向上流側から下流側へ向けて、清浄空気を送風している。
Further, as shown in FIG. 10, a
さらに、図8、図9、図10のような送風装置を設ける場合、0.3m/s程度の風速で送風することが好ましい。また、図11に示すように、給気ノズル98(図8、図9参照)、110(図10参照)に、直径が20mm〜30mm程度であり、50mm〜60mm程度の配置間隔で吸気ノズルの長手方向に並べられる送風口120を設け、この送風口120から清浄空気を送風するか、図12に示すように、給気ノズル98、110の長手方向に長く、幅が5mm〜10mm程度のスリット状の送風口130を設け、この送風口130から清浄空気を送風することが好ましい。
Furthermore, when providing a blower as shown in FIGS. 8, 9, and 10, it is preferable to blow at a wind speed of about 0.3 m / s. Further, as shown in FIG. 11, the intake nozzles 98 (see FIGS. 8 and 9) and 110 (see FIG. 10) have a diameter of about 20 mm to 30 mm, and the intake nozzles are arranged at intervals of about 50 mm to 60 mm. A
また、上記実施形態では、水平な遮風板を設ける例で説明をしたが、図13に示すように、垂直な遮風板140を設けてもよい。さらに、図14に示すように、作業スペース44を囲うように遮風板150を設けてもよい。もちろん、図15に示すように、搬送ローラ16aよりも搬送方向上流側、及び、搬送ローラ16dよりも搬送方向下流側を搬送される拡散フイルム24の下面をも覆うように遮風板160を設けてもよい。さらに、図16に示すように、送風装置170を3つ設け、水平な遮風板36と拡散フイルム24との間、垂直な遮風板140と拡散フイルム24との間のそれぞれに清浄空気を送風してもよい。
Moreover, although the said embodiment demonstrated the example which provides a horizontal windshield, as shown in FIG. 13, you may provide the
なお、上記実施形態では、FFUをクリーンルームの天面に配置し、下方へ向けて清浄空気を送風する例で説明をしたが、図17に示すクリーンルーム180のように、FFU182をクリーンルーム180の側面に配置し、拡散フイルム24の幅方向一側部から他側部へ向けて略水平に清浄空気を送風してもよい。図17に示す例では、拡散フイルム24を挟んでFFU182の反対側の側面全体を排気口184としている。また、図17に示す例では、拡散フイルム24の下面を覆うように遮風板186を設け、FFU182からの清浄空気が遮風板186と拡散フイルム24との間送風されるようにするとともに、遮風板186と拡散フイルム24との間により多くの清浄空気を送り込めるように導風板188を設けている。
In the above embodiment, the FFU is arranged on the top surface of the clean room and the clean air is blown downward. However, the
なお、図17のように、拡散フイルム24の幅方向一側部から他側部へ向けて略水平に清浄空気を送風する場合、図18に示すように、拡散フイルム24の上面を覆うように遮風板190を設けてもよい。図18においても、遮風板190と拡散フイルム24との間により多くの清浄空気を送り込めるように導風板192を設けている。
As shown in FIG. 17, when the clean air is blown substantially horizontally from one side in the width direction of the
なお、上記実施形態では、拡散フイルムにハードコート層を積層するフイルム製造設備に本発明を適用する例で説明をしたが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明は、フイルムの種類によらず、クリーンルーム内でフイルムを搬送するフイルム搬送装置、及び、このようなフイルム搬送装置を用いてフイルムを製造するフイルム製造装置に広く適用できる。 In the above embodiment, the example in which the present invention is applied to a film manufacturing facility in which a hard coat layer is laminated on a diffusion film has been described, but the present invention is not limited to this. The present invention can be widely applied to a film transport apparatus that transports a film in a clean room, and a film manufacturing apparatus that manufactures a film using such a film transport apparatus, regardless of the type of film.
10 フイルム製造設備
12、50、180 クリーンルーム
14 送り出し装置
16a〜16d 搬送ローラ
18 塗布装置
20 乾燥室
22 巻き取り装置
24 拡散フイルム
32、92、182 FFU
34、52 排気口
36、52、60、80、140、150、160、186、190 遮風板
38 作業スペース
70、82、84、188、192 導風板
90、112、170 送風装置
98、110 給気ノズル
120、130 送風口
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10
34, 52
Claims (11)
前記フイルムの所定の面に向かって所定経路で清浄なエアーが流れるように前記クリーンルーム内に清浄なエアーを供給し、排気するエアー給排気手段と、
前記フイルムの前記所定の面とは反対側の面に対面して配置される遮風板と、
を備えたことを特徴とするフイルム搬送装置。 Transport means for transporting the belt-like film along the longitudinal direction in the clean room;
Air supply / exhaust means for supplying clean air into the clean room so that clean air flows along a predetermined path toward a predetermined surface of the film and exhausting the air,
A windshield arranged to face a surface opposite to the predetermined surface of the film;
A film transport device comprising:
前記遮風板がさらに前記フイルムの前記所定の面に対面して配置され、前記エアー給排気手段からの清浄なエアーが一方の遮風板と前記フイルムの前記所定の面との間、及び他方の遮風板と前記フイルムの前記反対側の面との間に共に供給されることを特徴とする請求項1〜3記載のフイルム搬送装置。 The air supply / exhaust means supplies clean air from one end side to the other end side in the width direction of the film,
The windshield plate is further arranged to face the predetermined surface of the film, and clean air from the air supply / exhaust means is between one windshield plate and the predetermined surface of the film, and the other The film transport device according to claim 1, wherein the film is fed together between the windshield plate and the opposite surface of the film.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010069313A JP5467905B2 (en) | 2010-03-25 | 2010-03-25 | Film conveying apparatus and method, film manufacturing apparatus and method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010069313A JP5467905B2 (en) | 2010-03-25 | 2010-03-25 | Film conveying apparatus and method, film manufacturing apparatus and method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011202837A JP2011202837A (en) | 2011-10-13 |
JP5467905B2 true JP5467905B2 (en) | 2014-04-09 |
Family
ID=44879678
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010069313A Expired - Fee Related JP5467905B2 (en) | 2010-03-25 | 2010-03-25 | Film conveying apparatus and method, film manufacturing apparatus and method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5467905B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6004779B2 (en) * | 2012-06-26 | 2016-10-12 | 株式会社竹中工務店 | Local cleaning system |
JP7102033B2 (en) * | 2021-07-15 | 2022-07-19 | 株式会社西部技研 | Clean booth |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5981034U (en) * | 1982-11-22 | 1984-05-31 | 日立プラント建設株式会社 | Wafer transfer device |
JP4296729B2 (en) * | 2001-07-17 | 2009-07-15 | 富士フイルム株式会社 | Web dustproof device |
JP3847173B2 (en) * | 2002-01-25 | 2006-11-15 | 富士写真フイルム株式会社 | Clean booth |
JP2008081230A (en) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Fujifilm Corp | Web conveyance device and conveyance method |
JP4858309B2 (en) * | 2007-05-29 | 2012-01-18 | 株式会社日立プラントテクノロジー | Clean booth and clean booth ventilation method |
-
2010
- 2010-03-25 JP JP2010069313A patent/JP5467905B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011202837A (en) | 2011-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4494269B2 (en) | Substrate processing equipment | |
JP4003163B2 (en) | Multi-layer coating film manufacturing equipment | |
JP3788296B2 (en) | Goods storage equipment for clean rooms | |
JP2006346515A (en) | Dust collector | |
JP2013026490A (en) | Substrate processor | |
JP6420967B2 (en) | Foreign matter removal device | |
JP5467905B2 (en) | Film conveying apparatus and method, film manufacturing apparatus and method | |
JP6209572B2 (en) | Substrate processing equipment | |
WO2011099222A1 (en) | Substrate processing device | |
JP4419079B2 (en) | Winding device | |
JPH0811224B2 (en) | Article cleaning equipment | |
TWI446480B (en) | Substrate cooling apparatus | |
JPH0973992A (en) | Static elimination and its device | |
WO2018198484A1 (en) | Coating booth | |
WO2014156977A1 (en) | Tenter oven and method for manufacturing thermoplastic resin film | |
JP2009206245A (en) | Device and method for preventing dusting of traveling wheel | |
JPS6138653A (en) | Electrostatic painting booth provided with both filter band and wire-net conveyor | |
JP2005262088A (en) | Method and device for protection of surface of base material from dust | |
JP4858309B2 (en) | Clean booth and clean booth ventilation method | |
JP2001358114A (en) | Drying apparatus | |
JP4244389B2 (en) | Clean room equipment | |
JP5655864B2 (en) | Shot processing device | |
EP0540728B1 (en) | Apparatus and method for coating a continuous web | |
JP4780922B2 (en) | Heat treatment furnace and coating sheet manufacturing method | |
JP2019214131A (en) | Bonding device provided with shielding member |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120731 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130814 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140128 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |