KR20050030226A - 2개의 물질로 이루어진 대물렌즈를 구비한 주사장치 - Google Patents

2개의 물질로 이루어진 대물렌즈를 구비한 주사장치 Download PDF

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KR20050030226A
KR20050030226A KR1020057001905A KR20057001905A KR20050030226A KR 20050030226 A KR20050030226 A KR 20050030226A KR 1020057001905 A KR1020057001905 A KR 1020057001905A KR 20057001905 A KR20057001905 A KR 20057001905A KR 20050030226 A KR20050030226 A KR 20050030226A
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파스칼 제이. 에이치. 블로에멘
베르나르두스 에이치. 더블유. 헨드릭스
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코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
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Abstract

두께 td와 굴절률 nd를 갖는 투명층(3)으로 덮혀지는 광 기록매체(2)의 정보층(4)을 주사하는 광학주사장치. 상기 장치는, 방사빔(12,15,20)을 발생하는 방사원(11)과 상기 방사빔을 상기 정보층 상에 집속하기 위한 대물계(18)를 구비한다. 상기 대물계는, 기판 상에 합성수지로 이루어진 렌즈를 구비하고, 이때의 렌즈의 전체 두께 t가, 아래 식(I)을 만족하되, 이때 FWD+td/nd<0.51이고, FWD는 상기 렌즈(18)와 상기 기록매체(2)간의 자유작동거리이고, φ는 상기 렌즈(18)의 입사동공 지름이고, 여기서 t,td,φ 및 FWD는 밀리미터 단위로 표현된다.

Description

2개의 물질로 이루어진 대물렌즈를 구비한 주사장치{SCANNING DEVICE INCLUDING AN OBJECTIVE LENS FORMED OF TWO MATERIALS}
본 발명은, 광 기록매체를 주사하는 광학주사장치에 관한 것이지만, 상기와 같은 주사장치에 한정되지 않고 상기와 같은 주사장치에서 대물렌즈로서 사용하는데 적합한 렌즈계와, 상기 장치와 상기 렌즈계를 제조하는 방법에 관한 것이다.
광 기록시에, 광 기록매체와 상기 기록매체를 주사(예를 들면, 기록매체에 대해 기록 및 판독)하는데 사용된 장치들 모두 점차 소형화되어 가는 추세이다. 광 기록매체의 예들로는, CD(콤팩트 디스크) 및 DVD(디지털 다기능 디스크)가 있다.
광 기록매체를 정보저장용량의 감소없이 소형화하기 위해서, 상기 기록매체의 정보밀도를 증가시켜야 한다. 이러한 정보밀도의 증가는, 정보를 주사하기 위해 보다 작은 방사 스폿을 수반해야 한다. 상기와 같은 보다 작은 방사 스폿은, 주사장치의 방사빔을 상기 기록매체에 포커싱하는데 사용된 대물계의 개구수(NA)를 증가시킴으로써 실현될 수 있다. 따라서, 높은 개구수(예를 들면, NA=0.85)의 렌즈를 갖는 것이 바람직하다.
종래의 NA가 높은 대물렌즈들은, 제조 공차를 완화시키기 위해 2개의 부재로 구성되고, 이때 상기 대물렌즈를 구성하는 상기 부재들을 정렬하기 위해 별도의 조립공정을 해야 한다.
일본 논문 "Single Objective Lens Having Numerical Aperture 0.85 for a High Density Optical Disk System" by M Itonga, F Ito,K Matsuzaki,S Chaen,K Oishi, T Ueno and A Nishizawa,Jpn.J.Appl.Phys.Vol.41(2002)pp.1798-1803 Part 1,No.3B March 2002에는, 2개의 비구면이 비교적 높은 NA인 0.85를 갖는 단일 대물렌즈가 기재되어 있다. 상기 렌즈는 유리로 제조된다. 이 렌즈의 직경은 4.5mm이고, 그 렌즈의 개구 직경은 3.886mm이다. 이러한 단일부재는, 2개의 부재의 대물렌즈가 필요로 하는 별도의 정렬 조립공정을 필요로 하지 않는다. NA가 높은 값을 갖기 때문에, 상기 대물렌즈는 제조공정에서의 변동, 즉 제조 공차에 더욱 민감해진다. 그러므로, 높은 NA의 대물렌즈들에 대해, 상기 제조 공차는, 개구수가 보다 낮은 대물렌즈들에 대한 경우보다 설계과정에서 매우 중요한 역할을 한다.
주사장치의 크기를 감소시키기 위해서는, (대물렌즈 등의) 주사장치 내의 부재들을 가능한 한 작게 하는 것이 바람직하다.
그러나, 렌즈 설계는 광 기록매체의 특성에 의존하므로, 큰 렌즈 설계를 단순히 크기를 축소시켜서 보다 작은 렌즈들을 생산하는 것은 불가능하다. 예를 들면, 렌즈 설계는, 일반적으로 광 기록매체의 정보층을 덮고, 상기 주사용 방사빔이 가로질러야 하는 투명층의 특성에 의존한다. 크기를 축소하는 과정에 있어서, 상기 디스크의 커버층의 두께는 영향을 받지 않고 있다(동일한 기록매체는 통상의 크기의 대물렌즈와 작은 크기의 대물렌즈 모두에 대해 사용될 수 있을 것이다). 이에 따라서, 광 기록매체를 주사하는데 적합한 작은 크기의 대물렌즈에 관한 설계는, 실질적으로 통상의 크기의 대물렌즈의 설계와는 다를 것이다.
또한, 대물렌즈가 (2개의 작은 부재의 조립이 곤란하므로 오히려 비싼) 단일 부재로 이루어지는 것이 바람직하지만, 유리로만 단일부재를 형성하는 것은 비교적 비싸다. 유리 성형 제조공정은, 상기 유리를 녹이기 위해 온도가 높아야 하고, 상기 녹인 유리를 성형하기 위해 비교적 큰 힘을 필요로 하여, 그 결과 렌즈를 아주 비싼 부재로 만든다.
단일 부재 렌즈를 제조하는 보다 값싼 다른 방법으로는, (유리 등의) 평평하거나 구형인 기판 상에 합성수지를 형성하는 것이다. 예를 들면, 유리 구면은, 제조비용이 비교적 싸서, 그 절단된 유리 구면은 이상적인 기판이다. 합성수지는, 원하는(예를 들면, 비구면) 표면 형상을 제공하도록 상기 기판의 표면에 도포되어도 된다. US 4,623,496에는, 상기와 같은 액정 합성수지를 기판에 도포하는 방법이 기재되어 있고, 이때의 합성수지는 연속적으로 경화되어 소정의 원하는 비구면 만곡 특징을 갖는 층으로 형성될 수 있다.
합성수지를 사용하여 기판 상에 형성된 렌즈들에 대한 설계 제약은, 유리 등의 단일 물질로 이루어진 렌즈에 대한 설계 제약과는 다를 것이라고 생각된다. 예를 들면, 상기 합성수지는, 일반적으로 상기 기판과는 굴절률이 서로 다를 것이다.
또한, 렌즈들을 보다 작게 하므로, 높은 NA의 렌즈들은 제조공정에서의 변동, 즉 제조 공차에 민감한 상태에 있다고 생각된다.
도 1a는 대물렌즈(18)의 일례로, 이 대물렌즈는 유리체(200)가 거의 구면(181)이고 거의 평면(182)이다. 그에 따라서, 이러한 유리체는, 상기 제1 면(181)에 도포된 합성수지의 적어도 일층을 가져서 비구면을 이룰 것이다. 상기 유리체가 부정확하게 형성되거나 정렬되는 경우, 상기 수지의 첨가로 형성된 렌즈의 성능은 강한 영향을 받을 것이라고 생각된다. 상기 렌즈는 광축을 따라 총 두께 t(즉, 몸체 + 수지층(들)의 두께)를 갖는다.
도 1a-도 1d에 도시된 예에서, 수지(100, 102)로 이루어진 2개의 별도의 층은, 상기 유리체(200)의 각 표면(181,182)에 도포된다. 수지(181,182)로 이루어진 각 층은, 각각의 비구면을 형성하도록 성형된다.
다음의 도 1b, 도 1c 및 도 1d는, 각각 두께, 편심 및 상기 원하는 광축(19)에 대한 2개의 비구면의 경사의 변동으로 인해 어떻게 기판 성형과 방위를 변화시키는지를 나타낸다(각 예에서, 상기 표면(181)의 원래 위치는 점선으로 도시됨).
도 1b는, 이와 같은 예에서, 상기 표면(181,182)에서의 간격이 원하는 것보다 큰 것으로 인해 그 원하는 두께보다 큰 렌즈의 전체 두께를 나타낸다. 그러나, 상기 2개의 표면도 실제로는 원하는 것보다 가깝게 이격될 수 있을 것이라고 생각된다.
도 1c는 2개의 비구면 표면의 편심을 나타낸다. 이러한 예에서, 상기 유리체(200)는 상기 원하는 광축(19)에 대해 이상적인 위치에 수직한 방향으로 변위되게 설치되고, 이때 상기 비구면 표면 100의 중심은 상기 원하는 광축(19)으로부터 벗어나 있는 반면에, 상기 비구면 표면 102은 그 광축(19) 상의 중심에 위치되어 있다.
도 1d는 표면(181)을 구비한 유리체가 경사져, 즉 주축을 따라 회전하며 원하는 대칭위치에 대하여 회전되어, 하부 비구면 표면(102)에 대한 상부 비구면 표면(100)의 경사가 어떻게 생기게 되는지를 나타낸 것이다.
본 발명의 실시예들의 목적은, 적당한 제조 공차를 견딜 수 있는 기판 물질 상에 합성수지로 이루어진 대물렌즈를 제공하는데 있다.
광학주사장치에 있어서, 방사빔은, 그 주사장치 내의 대물렌즈의 부정확한 정렬, 그 주사장치에 대한 기록매체의 위치의 변동, 또는 광축을 따라 진행하지 않도록 사용되는 방사빔으로 인해 상기 대물렌즈를 비스듬하게 입사하기도 한다. 예를 들면, 일반적으로, 상기와 같은 축을 벗어난 방사빔을 사용하여 상기 기록매체 상의 주사 방사빔 스폿의 위치지정에 관한 정보를 제공한다.
상기와 같은 비스듬한 방사빔의 입사에 의해 파면수차가 생기게 된다. 일반적으로, 약 0.07λ(여기서 λ는 관련 방사빔의 파장)의 광 경로차의 제곱평균의 허용값(OPDrms)은, 전체적으로 상기 전체 광학주사장치에 대한 주사빔의 파면수차를 고려하여, 상기 렌즈계의 회절은 제한된다. OPDrms를 mλ(이때, 0.001λ=1mλ) 단위로 표현하는 것이 편리할 수 있다. 렌즈계의 필드는, 비스듬한 빔이 15mλ미만의 OPDrms를 발생하는 영역이다. 상기 렌즈계의 뷰 필드는 상기 필드의 2배이다.
본 발명의 실시예들의 목적은, 상기 렌즈로의 비스듬한 빔 입사에 대해 견딜 수 있고 제조 오류에 대해 견딜 수 있는 기판 상에 합성수지로 이루어진 소형의 높은 NA을 갖는 대물렌즈를 제공하는데 있다.
(발명의 요약)
본 발명의 첫번째 국면은, 두께 td와 굴절률 nd를 갖는 투명층으로 덮혀지는 광 기록매체의 정보층을 주사하되, 방사빔을 발생하는 방사원과 상기 방사빔을 상기 정보층 상에 집속하기 위한 대물계를 구비한 광학주사장치에 있어서, 상기 대물계가, 기판 상에 합성수지로 이루어진 렌즈를 구비하고, 이때의 렌즈의 전체 두께 t가, 다음의 조건
을 만족하되, 이때 FWD+td/nd<0.51이고, FWD는 상기 렌즈와 상기 기록매체간의 자유작동거리이고, φ는 상기 렌즈의 입사동공 지름이고, 여기서 t,td,φ 및 FWD는 밀리미터 단위로 표현되는 것을 특징으로 하는 광학주사장치를 제공한다.
상기와 같은 제약을 만족시키도록 렌즈를 설계한 결과, 상기 렌즈는 비스듬한 빔 입사와 제조 오류에 견딜 수 있다.
본 발명의 다른 국면은, 두께 td와 굴절률 nd를 갖는 투명층으로 덮혀지는 광 기록매체의 정보층에 방사빔을 집속하기 위해 적어도 한 개의 렌즈를 구비한 렌즈계에 있어서, 상기 렌즈계가, 기판 상에 합성수지로 이루어진 렌즈를 구비하되, 이때의 렌즈의 전체 두께 t가, 다음의 조건
을 만족하되, 이때 FWD+td/nd<0.51이고, FWD는 상기 렌즈와 상기 기록매체간의 자유작동거리이고, φ는 상기 렌즈의 입사동공 지름이고, 여기서 t,td,φ 및 FWD는 밀리미터 단위로 표현되는 것을 특징으로 하는 렌즈계를 제공한다.
본 발명의 또 다른 국면은, 두께 td와 굴절률 nd를 갖는 투명층으로 덮혀지는 광 기록매체의 정보층에 방사빔을 집속하기 위해, 기판 상에 합성수지로 이루어진 적어도 한 개의 렌즈를 구비한 렌즈계를 제조하되, 상기 기판을 형성하는 단계를 포함하고, 이때의 렌즈의 전체 두께 t가, 다음의 조건
을 만족하되, 이때 FWD+td/nd<0.51이고, FWD는 상기 렌즈와 상기 기록매체간의 자유작동거리이고, φ는 상기 렌즈의 입사동공 지름이고, 여기서 t,td,φ 및 FWD는 밀리미터 단위로 표현되는 렌즈계의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 또 다른 국면은, 두께 td와 굴절률 nd를 갖는 투명층으로 덮혀지는 광 기록매체의 정보층을 주사하는 광학주사장치를 제조하되, 방사빔을 발생하는 방사원을 설치하는 단계와, 상기 방사빔을 상기 정보층 상에 집속하기 위한 대물계를 설치하는 단계를 포함하고, 상기 렌즈계가, 기판 상에 합성수지로 이루어진 렌즈를 구비하고, 이때의 렌즈의 전체 두께 t가, 다음의 조건
을 만족하되, 이때 FWD+td/nd<0.51이고, FWD는 상기 렌즈와 상기 기록매체간의 자유작동거리이고, φ는 상기 렌즈의 입사동공 지름이고, 여기서 t,td,φ 및 FWD는 밀리미터 단위로 표현되는 것을 특징으로 하는 광학주사장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 다른 국면들은 종속항들로부터 명백해질 것이다.
본 발명의 보다 낳은 이해를 위해서, 그리고 본 발명의 실시예들을 실행하는 방법을 보여주기 위해서, 다음의 첨부하는 개략적인 도면들을 예에 의해 설명하겠다:
도 1a, 도 1b, 도 1c 및 도 1d는, 거의 구형의 제 1 면을 갖고, 구형 표면이 제 2 표면으로부터 아주 멀리 떨어진 원하는 위치에서, 각각 제 2 표면에 대해 편심되고 제 2 표면에 대해 경사진 거의 평면을 갖는, 렌즈를 나타내고,
도 2는 대물계를 구비한 광 기록매체를 주사하는 장치를 나타내고,
도 3은 본 발명의 실시예들을 사용한 렌즈 설계의 2개의 또 다른 타입들을 나타내며,
도 4는 서로 다른 대물렌즈 설계의 평균값으로서, 굴절률의 함수로서 필드, 두께, 편심 및 경사 각각으로부터 일어나는 파면수차와 이들 4개의 요소들로부터 일어나는 파면수차의 제곱평균 총합을 나타내고,
도 5는 서로 다른 대물렌즈 설계의 평균값으로서, 기록매체에 대향하는 대물렌즈 표면의 정규 전력의 함수로서 필드, 두께, 편심 및 경사 각각으로부터 일어나는 파면수차와 이들 4개의 요소들로부터 일어나는 파면수차의 제곱평균 총합을 나타내며,
도 6은 자유작동거리(FWD:Free Working Distance)의 함수로서, 대물렌즈의 평균 최적 두께와, 대물렌즈 설계를 서로 다르게 하는 대물렌즈의 기판에 대한 최적의 굴절률 n을 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 대물계(18)를 구비한 광 기록매체(2)를 주사하는 장치(1)를 나타낸 것이다. 상기 기록매체는, 투명층(3)을 구비하고, 이 투명층의 일측에 정보층(4)을 설치한다. 상기 투명층으로부터 떨어져 대향하는 정보층의 측면은, 보호층(5)에 의해 환경적인 영향으로부터 보호된다. 상기 장치에 대향하는 투명층의 측면을 입사면(6)이라고 부른다. 상기 투명층(3)은, 정보층을 기계적으로 지지하여 상기 기록매체에 대한 기판으로서 작용한다.
또한, 상기 투명층은 정보층을 보호하는 유일한 기능을 갖고, 상기 기계적인 지지는 정보층의 타측 상의 하나의 층에 의해, 예를 들면, 보호층(6)에 의해 또는 추가의 정보층 및 그 정보층(4)에 접속된 투명층에 의해 제공된다. 정보는, 도면에 도시되지 않은 거의 평행, 동심형 또는 나선형 트랙들에 배치된 광학적으로 검출가능한 마크들의 형태로 기록매체의 정보층(4)에 저장되어도 된다. 상기 마크들은, 예를 들면 피트들의 형태, 또는 반사계수 또는 그들의 주변과 다른 자화방향을 갖는 영역들의 형태, 또는 이들 형태의 조합과 같은 광학적으로 판독가능한 임의의 형태이어도 된다.
상기 주사장치(1)는, 방사빔(12)을 방출하는 방사원(11)을 구비한다. 상기 방사원은, 반도체 레이저이어도 된다. 빔 스플리터(13)는, 발산하는 방사빔(12)을 시준렌즈(14)쪽으로 반사하고, 이 시준렌즈는 그 발산하는 빔(12)을 시준빔(15)으로 변환한다. 상기 시준빔(15)은, 대물계(18)에 입사된다.
대물계는, 한 개 이상의 렌즈들 및/또는 하나의 격자를 구비한다. 상기 대물계(18)는 광축(19)을 갖는다. 대물계(18)는, 상기 빔(15)을 집속빔(20)으로 변화시켜 상기 기록매체(2)의 입사면(6)에 입사시킨다. 상기 대물계는, 투명층(3)의 두께를 통과하는 방사빔이 통과하도록 구성된 구면수차를 보정시킨다. 상기 집속빔(20)은, 상기 정보층(4) 상에 스폿(21)을 형성한다. 상기 정보층(4)에서 반사된 방사선은 발산빔(22)을 형성하여 대물계(18)에 의해 실질적으로 시준된 빔(23)으로 변환된 후 시준렌즈(14)에 의해 집속빔(24)으로 변환된다. 상기 빔 스플리터(13)는, 상기 집속빔(24)의 적어도 일부를 검출계(25)쪽으로 전송하여 상기 전방향 및 반사된 빔들을 분리한다. 상기 검출계는, 방사선을 포획하여 전기출력신호들(26)로 변환한다. 신호처리기(27)는, 이들 출력신호들을 여러 가지의 다른 신호들로 변환한다.
그 신호들 중의 하나는, 정보신호(28)가 있고, 이 신호의 값은 정보층(4)으로부터 판독된 정보를 나타낸다. 상기 정보신호는, 오류정정을 위한 정보처리부(29)에 의해 처리된다. 그 신호처리기(27)로부터의 다른 신호들은, 포커스 오차신호와 반경방향 오차신호(30)이다. 상기 포커스 오차신호는, 스폿(21)과 정보층(4) 사이의 높이의 축방향 차이를 나타낸다. 상기 반경방향 오차신호는, 상기 스폿(21)과 그 스폿 다음에 오는 정보층에서의 일 트랙의 중심 사이에서 정보층(4)의 평면에서의 거리를 나타낸다.
상기 포커스 오차신호와 상기 반경방향 오차신호는, 서보회로(31)에 공급되어, 서보회로는 포커스 액추에이터와 반경방향 액추에이터를 각각 제어하기 위해 이들 신호들을 서보제어신호들(32)로 변환한다. 상기 액추에이터들은, 미도시되어 있다. 상기 포커스 액추에이터는, 대물계(18)의 위치를 포커스 방향(33)으로 제어하여서, 상기 스폿(21)의 실제 위치를 제어하므로 그것의 위치는 정보층(4)의 평면과 거의 일치한다. 상기 반경방향 액추에이터는, 대물계(18)의 위치를 반경방향(34)으로 제어하여서, 상기 스폿(21)의 반경방향 위치를 제어하므로 그 위치는 정보층(4)에서 다음에 오는 트랙의 중심선과 거의 일치한다. 도면에서의 트랙들은, 도면의 평면에 수직한 방향으로 뻗어있다.
도 2의 장치는, 기록매체(2)보다 두꺼운 투명층을 갖는 제 2 타입의 기록매체를 주사하도록 구성된다. 상기 장치는, 상기 방사빔(12) 또는, 제 2 타입의 기록매체를 주사하기 위해 파장이 서로 다른 방사빔을 사용하여도 된다. 이러한 방사빔의 NA는, 기록매체의 타입으로 변형되어도 된다. 이에 따라서, 상기 대물계의 구면수차 보상은 변형되어야 한다.
상술한 것과 같은 대물계에서 사용하기 위해 단일 부재의 높은 NA(NA>0.65)를 갖는 대물렌즈를 설치하기 위해서, 우리는 US4,623,496에 제안된 것과 같은 방법으로, (유리 등의) 기판의 표면에 합성수지로 이루어진 얇은 비구면 보정층을 사용하여 렌즈를 제조하는 것을 제안한다. 이러한 층을 종종 레플리카층(replica layer)이라고 한다. 상기 유리체를 값싸게 제조하기 위해서, 상기 유리체는 절단형 유리 구면과 같은 형상을 갖는 것이 바람직하다. 적절한 합성수지는, 모노머 또는 올리고머 아크릴레이트로 형성될 수 있고, 이때 상기 합성수지는 UV광하에서 연속적으로 경화된다. 디아크릴은, 상기와 같은 수지의 일례이다. 디아크릴은, 405nm의 파장과 34.5의 아베수에서 굴절률이 1.5987이다.
도 3은 (각각 타입 I 및 타입 II으로 붙여진) 2개의 또 다른 렌즈 설계를 나타낸다. 두개의 예에서, 상기 렌즈들은, 정보층(4)과 투명 커버층(3)을 갖는 각각의 광 기록매체(2)에 관련하여 위치지정되도록 나타내어져 있다. 이 두 경우에 있어서, 입사하는 방사빔(15)은, 상기 덮은 투명층(3)을 통해 정보층(4) 상에 집속(20)되고 있다. 상기 방사빔(15,20)은 렌즈(18)의 광축(19)에 대한 입사의 사각의 상태에 있다.
상기 타입 I과 타입 II 모두는, 절단형 유리 구면을 갖는 형상의 유리체(200)을 구비한다. 이러한 형상은, 유리 구면을 형성한 후, 그 유리구면을 쪼개어 형성될 수 있다. 이와 같이 쪼개진 표면은 비교적 평탄하다.
타입 I의 렌즈들은, 단일의 비구면만을 갖는 것을 특징으로 한다. 이러한 표면은, 상기 합성수지(100)를 상기 절단된 유리 구면 기판의 만곡면에 도포하여 형성된다. 사용시에는, 이러한 렌즈의 비구면은, 방사원에 대향되어 있다.
타입 II의 렌즈들은, 2개의 비구면을 갖는 것을 특징으로 한다. 타입 II의 렌즈는, 상기 유리체의 평탄측면(즉, 사용시 기록매체(2)에 인접한 유리체의 표면) 에 추가의 비구면이 형성된 타입 I의 렌즈로서 파악될 수 있다. 이러한 제 2의 비구면은, 합성수지로 이루어진 추가의 층(102)으로 형성된다.
이하, 타입 I 및 타입 II의 렌즈들의 여러가지의 바람직한 설계 제약을 더욱 상세히 설명하고서 3가지 예의 렌즈들의 파라미터들을 요약한 테이블을 설명하겠다. 이 테이블에서, 예시 렌즈 2는, 타입 I의 렌즈에 해당하고, 예시 렌즈 1,3은 타입 II의 렌즈에 해당한다. 이때, 타입 I의 렌즈는, 타입 II의 특별한 경우, 즉 제 2의 비구면이 평탄한 경우로서 생각할 수 있다.
타입 I
타입 I의 렌즈들은, 유리체(200)의 일 표면에만 합성층(100)을 첨가하는 것이 필요하므로, 타입 II의 렌즈들보다 더욱 비용면에서 효과적이다.
바람직하게는, 상기 렌즈의 전체 두께(광축(19)을 따라서의 두께)는, 다음의 관계를 따른다:
이때, FWD+td/nd<0.51이고 φ는 대물렌즈의 입사동공 지름이다. 관련 두께와 거리치수(t,FWD,φ 및 td)는 밀리미터단위로 측정된다고 한다.
아주 더 바람직하게는, 상기 렌즈의 두께 t는 다음식을 따른다.
자유작동거리는, 광축을 따라 측정된 것처럼, 기록매체에 접촉하기 전에 렌즈를 이동시킬 수 있는 거리, 즉, 상기 기록매체에 대향하는 렌즈의 표면으로부터 투명층(3)의 표면까지의 거리에 해당한다.
바람직하게는, 상기 렌즈의 유리체의 굴절률은, 다음식을 따른다:
이때, FWD는 자유작동거리, td는 투명층(3)의 두께, nd는 투명층(3)의 굴절률, F는 렌즈의 초점거리이다.
주사장치의 사용시에, 렌즈는 (서로 다른 파장을 사용하여 데이터를 판독 및 기록하여도 되는) 서로 다른 방사선의 파장을 조합하여 사용될지도 모른다. 이와는 달리, 상기 방사원(예를 들면, 레이저)의 파장은, (서로 다른 전력을 사용하여 정보기록매체에 대해 데이터를 판독 및 기록하여도 되는) 방사빔의 전력의 함수로서 변화시켜도 된다. 렌즈가 상기와 같은 파장의 변동에 견딜 수 있도록, 상기 유리체의 아베(Abbe)수를 40보다 큰 것이 바람직하다.
타입 II
이러한 설계는 2개의 비구면으로 이루어진다. 제 2의 비구면(유리체의 평탄한 측면에 형성된 비구면)은 거의 평탄한 것이 바람직하다. 가장 적합한 상기 표면의 반경 R의 절대값은, 다음식을 따른다:
여기서, φ는 렌즈의 입사동공 지름이고, NA는 개구수, nr은 상기 수지의 굴절률이다. 가장 적합한 반경 R은, 상기 비구면으로부터의 최소 제곱평균 편차를 갖는 구면의 반경이다.
마찬가지로, 상기 렌즈의 제 2의 비구면의 정규의 근축 광출력 P(렌즈계의 전체 광출력에 의해 분할된 상기 표면의 광출력)은 다음의 관계식을 따른다.
-0.1<P<0.1 (5)
렌즈의 전체 두께 t는 관계식(1)을 따르는 것이 바람직하다.
아주 더욱 바람직하게는, 상기 전체 두께 t는 관계식(2)를 따르는 것이 바람직하다.
상기 렌즈의 유리체의 굴절률 n은 관계식(3)을 따르는 것이 바람직하다.
또한, 상기 렌즈가 방사선의 파장 변동에 충분히 견딜 수 있도록, 상기 유리체의 아베수는 40보다 큰 것이 바람직하다.
테이블 1은 본 발명의 실시예들에 따라 필드, 기판의 두께 변동, 비구면의 편심 및 비구면 표면들간의 경사에 대해 견딜 수 있도록 최적화된 3개의 명백한 렌즈 설계에 대해 상세하게 제공한다. 예시 2는, 타입 I(및 타입 II의 특별한 경우)이고, 예시 1 및 3은 타입 II이다. 예시 1 및 3으로 이루어진 각 종 설계의 성능은, 상기 바람직한 설계 관계를 도출하는데 사용된 도 4, 도 5 및 도 6 내에 나타내어져 있다. 명백한 설계 예 2의 성능은 테이블 2로 만들어져 있다.
[테이블 1]
[테이블 2]
상기 예의 렌즈들의 전면 및 후면은 각각 다음식으로 나타낸 회전형 대칭 비구면 형상을 갖는다:
이때, z는 밀리미터 단위의 광축의 방향으로 표면의 위치, r은 밀리미터 단위의 광축까지의 거리, 및 Bk는 r의 r제곱의 계수이다. 3개의 서로 다른 예시 렌즈의 설계에 대한 Bk의 값은, 테이블 1에 열거되어 있고, 이 테이블 1에서는 제 1 비구면을 상기 방사원에 대향하는 렌즈의 표면으로 가정한다. 상기 제 2 비구면 표면의 정규 광출력 P를 산출하기 위해서, 다음식
P=B2(1-nr)φ/NA
을 사용하고, 이때 B2는 제 2 표면의 제 1 비구면 계수, nr은 상기 수지의 굴절률, φ는 대물렌즈의 입사동공 지름, NA는 개구수이다.
예시 1,2 및 3은, 상기 식(1), (2)의 요구사항을 만족시킨다. 더욱이, 예시 2는 상기 식(3)의 요구사항을 만족시킨다. 예시 1 및 2는 상기 식(4), 식(5)의 요구사항 모두를 만족시킨다. 끝으로, 예시 1 및 2의 유리체의 아베수는 40보다 크다.
도 4는 0.1°필드의 렌즈로의 비스듬한 방사빔 입사로 인한 파면수차의 제곱평균을 나타내고, 이때, 대물렌즈의 굴절률의 함수로서, 테이블 1에 열거된 대물렌즈 설계에 관한 예시 1 및 3을 포함하는 각 종 설계에 대해, 상기 렌즈의 유리 기판체는 1㎛ 두께차(원하는 두께 t로부터 실제 몸체의 편차), 10㎛ 편심 비구면 및 0.01°경사 비구면을 갖는다. 상기 필드, 두께, 편심 및 경사에 의한 각 원인으로 인해 일어나는 파면수차(WFA; wave-front aberration)의 개개의 제곱평균을 나타내고, 이것은 제곱평균(RMS) 총합 파면수차이다. 이때, 렌즈 설계 예시 2의 성능(테이블 2 참조)은, 평탄한 출사면이기 때문에 예시 2에서는 정확히 제로인 비구면의 편심을 제외하고는, 도 4와 일치한다.
마찬가지로, 도 5는 대물렌즈의 제 2 표면(그 렌즈 표면은 기록매체에 대향함)의 정규 전력의 함수로서, 동일한 대물렌즈 설계에 대해, 0.1°필드, 1㎛ 두께차, 10㎛ 편심 비구면 및 0.01°경사 비구면으로 인한 파면수차의 제곱평균을 나타낸다.
도 4 및 도 5에서, 렌즈들의 개구수=0.85, 입사동공 지름은 1.0mm이다. 비구면 표면(들)은 유리체상의 디아크릴로 이루어진 층으로 형성된다. 상기 유리체는 절단형 유리 구면으로서 성형된다. 방사빔의 파장 λ=405nm이고, 0.15mm의 자유작동거리(FWD)를 사용하였고, 기록매체는 커버층(투명층(3)) 두께가 0.1mm이고 굴절률이 1.6223이다.
도 6은 자유작동거리(FWD)의 함수로서 테이블 1에 열거된 설계들의 예시 1 및 3을 포함하는 각 종 대물렌즈 설계에 대해, 대물렌즈의 최적 두께와 상기 유리체의 최적 굴절률을 나타낸다. 이러한 데이터는 각 렌즈의 NA=0.85이고, 입사동공지름이 1.0mm이라고 가정한다. 파장 λ=405nm의 방사빔은, 커버층 두께 0.1mm이고 굴절률이 1.6223인 기록매체(예: 디스크)와 관련하여 사용되었다.
도 4는 굴절률 n이 증가할 때, 필드 및 경사 공차가 증가(즉, WFA가 감소)하는 반면에, 두께 공차는 감소하는 것을 나타낸다. 편심 공차는, n 1.78 근처의 최적값(즉, 최소값)을 나타낸다. 도면에 도시된 4개의 모든 공차를 조합하면, 식 3에 나타낸 관계를 갖는 경우 최적의 렌즈 설계가 발견된다는 것이 밝혀졌다.
도 5는 제 2 표면의 정규 전력을 증가시키면서, 디스크 필드 및 경사 공차는 감소하는 반면에 두께 공차는 증가하는 것을 나타낸다. 편심 공차는, -0.025의 정규 전력(P) 근처에서 최적값을 나타낸다.
도 4 및 도 5에서, 테이블 1의 예시 2의 경우에서처럼, 상기 편심 곡선의 최소값은 제로에 해당하지 않는다. 이것은, 제로 전력 근처의 타입 II 설계일 경우에 제 2 비구면이, 상기 계수 B4-B12 중 적어도 한개가 제로가 아니기 때문에 평탄하지 않다는 것을 의미한다.
도 6은 광축을 따라 대물렌즈의 최적의 전체 두께(즉, 유리체와 수지층들의 전체 두께)와, 대물렌즈의 유리체의 최적의 굴절률 n이, 자유작동거리(FWD)를 증가시키는 것에 대해 감소되는 것을 나타낸다. 도 6에 도시된 포인트들에 일치시키는 것을 제공하면, 최적의 굴절률(nopt)은 다음식
nopt=2.21794-3.9321*FWD+6.60614*FWD2
으로 나타내어지고, FWD의 함수로서 최적 두께는 다음식
t=1.03616-2.27542*FWD
으로 나타내어진다.
두가지의 경우에서 FWD 및 t는 밀리미터 단위로 표현된다.
스케일링 관계를 고려한 이들 특정 결과와 도 4, 5 및 6으로부터, 식 1,2,3 및 5에 나타낸 최적의 렌즈 설계 파라미터들을 추론하는 것이 가능하다.
끝으로, 상기 식(4)을 적용할 경우, 유리체의 거의 평탄한 측면에 도포되는 수지 두께는 작은 상태이다. 이 때문에, 제조시에 이러한 층의 어떠한 수축에 의한 영향도 작기도 하고, 이것은 대물렌즈의 제조를 편하게 한다.
본 발명의 서로 다른 실시예들은, 다양한 렌즈계와 관련하여 적용될 수 있다는 것을 알 수 있을 것이다. 실시예들은, 개구수가 0.7보다 큰 렌즈계에 대해 사용되는 것이 바람직하다. 실시예들에 따른 렌즈계는, 입사동공 지름이 2mm미만인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 1.5mm미만이다. 실시예들에서는, 약 405nm의 파장을 갖는 빔을 포함하는 600nm 미만의 파장을 갖는 방사빔과 관련하여 사용되는 것이 바람직하다.
상기 실시예들은 유리 기판 상에 수지 디아크릴만으로 형성된 렌즈들과 관련하여 기재되었지만, 본 발명의 파라미터들은 임의의 투명 기판 상에 임의의 합성수지로 형성된 렌즈 설계에 적합하다는 것을 알 수 있을 것이다. 상기 수지의 물질의 적합한 종류는, 방향족 및 지방성 디-(메타-)크릴레이트, 방향족 및 지방성 비스-에폭시드, 비스-옥세탄, 비스-비닐에테르가 있다. 보다 구체적으로는, 비스페놀 A계 디메타크릴레이트(또한 2,2-비스(4-메타크릴옥시페닐)프로판)이라고도 공지된 "디아크릴 101")을 사용할 수 있다.
상기 예시들로 보아, 본 발명의 실시예들을 사용하여 적당한 제조 공차에 견딜 수 있는 기판 상에 합성수지로 이루어진 대물렌즈를 제공할 수 있다는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, 본 발명의 실시예들은, 상기 렌즈로 입사하는 비스듬한 빔에 견딜 수 있다.

Claims (11)

  1. 두께 td와 굴절률 nd를 갖는 투명층으로 덮혀지는 광 기록매체의 정보층을 주사하되, 방사빔을 발생하는 방사원과 상기 방사빔을 상기 정보층 상에 집속하기 위한 대물계를 구비한 광학주사장치에 있어서, 상기 대물계는, 기판 상에 합성수지로 이루어진 렌즈를 구비하고, 이때의 렌즈의 전체 두께 t가, 다음의 조건
    을 만족하되, 이때 FWD+td/nd<0.51이고, FWD는 상기 렌즈와 상기 기록매체간의 자유작동거리이고, φ는 상기 렌즈의 입사동공 지름이고, 여기서 t,td,φ 및 FWD는 밀리미터 단위로 표현되는 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 렌즈의 전체 두께 t는 다음 조건
    을 만족하는 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판의 굴절률 n은 다음 조건
    을 만족하고, 이때 F는 렌즈의 초점거리인 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판의 아베수는, 40보다 큰 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 기록매체에 대향되게 배치된 렌즈의 표면은, 다음의 조건
    을 만족시키는 가장 적합한 반경을 갖고, 이때 φ는 렌즈의 입사동공 지름이고, NA는 렌즈의 개구수이고, nr은 상기 수지의 굴절률인 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 기록매체에 대향되게 배치된 렌즈의 표면의 정규의 광출력 P는, 다음의 조건
    -0.1<P<0.1
    을 만족하는 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
  7. 두께 td와 굴절률 nd를 갖는 투명층으로 덮혀지는 광 기록매체의 정보층에 방사빔을 집속하기 위해 적어도 한 개의 렌즈를 구비한 렌즈계에 있어서, 상기 렌즈계는, 기판 상에 합성수지로 이루어진 렌즈를 구비하되, 이때의 렌즈의 전체 두께 t가, 다음의 조건
    을 만족하되, 이때 FWD+td/nd<0.51이고, FWD는 상기 렌즈와 상기 기록매체간의 자유작동거리이고, φ는 상기 렌즈의 입사동공 지름이고, 여기서 t,td,φ 및 FWD는 밀리미터 단위로 표현되는 것을 특징으로 하는 렌즈계.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 기판은 유리인 것을 특징으로 하는 렌즈계.
  9. 두께 td와 굴절률 nd를 갖는 투명층으로 덮혀지는 광 기록매체의 정보층에 방사빔을 집속하기 위해, 기판 상에 합성수지로 이루어진 적어도 한 개의 렌즈를 구비한 렌즈계를 제조하되, 상기 렌즈를 형성하는 단계를 포함하고, 이때의 렌즈의 전체 두께 t가, 다음의 조건
    을 만족하되, 이때 FWD+td/nd<0.51이고, FWD는 상기 렌즈와 상기 기록매체간의 자유작동거리이고, φ는 상기 렌즈의 입사동공 지름이고, 여기서 t,td,φ 및 FWD는 밀리미터 단위로 표현되는 것을 특징으로 하는 렌즈계의 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 기판의 표면에 합성수지를 도포하여 상기 기판 상에 비구면 표면을 형성하는 단계를 더 포함한 것을 특징으로 하는 렌즈계의 제조방법.
  11. 두께 td와 굴절률 nd를 갖는 투명층으로 덮혀지는 광 기록매체의 정보층을 주사하는 광학주사장치를 제조하되, 방사빔을 발생하는 방사원을 설치하는 단계와, 상기 방사빔을 상기 정보층 상에 집속하기 위한 대물계를 설치하는 단계를 포함하고, 상기 렌즈계는, 기판 상에 합성수지로 이루어진 렌즈를 구비하고, 이때의 렌즈의 전체 두께 t가, 다음의 조건
    을 만족하되, 이때 FWD+td/nd<0.51이고, FWD는 상기 렌즈와 상기 기록매체간의 자유작동거리이고, φ는 상기 렌즈의 입사동공 지름이고, 여기서 t,td,φ 및 FWD는 밀리미터 단위로 표현되는 것을 특징으로 하는 광학주사장치의 제조방법.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1715980A (zh) * 2004-07-02 2006-01-04 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 非球面镜片及其制造方法
JP3926380B1 (ja) 2006-12-07 2007-06-06 マイルストーン株式会社 撮像レンズ
JP3946245B1 (ja) * 2007-03-08 2007-07-18 マイルストーン株式会社 撮像レンズ
US8000040B2 (en) * 2007-03-29 2011-08-16 Sanyo Electric Co., Ltd. Imaging lens, manufacturing method thereof, and compound lens
KR100916502B1 (ko) * 2007-08-10 2009-09-08 삼성전기주식회사 초소형 촬상 광학계
DE102017213070A1 (de) * 2017-07-28 2019-01-31 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Herstellung einer MEMS Spiegelanordnung und MEMS Spiegelanordnung
NL2020987B1 (en) * 2018-05-25 2020-01-07 Anteryon Int B V Lens system
US11048067B2 (en) * 2018-05-25 2021-06-29 Anteryon International B.V. Lens system

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2040785B (en) * 1978-12-28 1983-01-26 Philips Electronic Associated Producing polymer glass asherical optical elements
NL8400152A (nl) 1984-01-18 1984-10-01 Philips Nv Werkwijze voor de vervaardiging van een optisch element, inrichting voor toepassing van de werkwijze en optisch element vervaardigd met de werkwijze.
EP0932845B1 (en) * 1997-08-19 2008-01-02 Koninklijke Philips Electronics N.V. An optical system restraining aberrations within the maximum imaging volume
JP2001184704A (ja) * 1999-12-22 2001-07-06 Sony Corp 光学式記録・再生装置、光学式回転記録媒体、および、光学式記録・再生装置の設計方法
CN1174397C (zh) * 2000-03-27 2004-11-03 皇家菲利浦电子有限公司 光学透镜系统及其制造方法和光学扫描器和光学播放器
EP1386315B1 (en) * 2001-04-25 2006-08-16 Koninklijke Philips Electronics N.V. Scanning device including a partly plastic high-na objective system
EP1386316A1 (en) * 2001-04-25 2004-02-04 Koninklijke Philips Electronics N.V. Optical lens system comprising at least one lens of a synthetic material
US6636366B1 (en) * 2001-09-21 2003-10-21 Victor Company Of Japan, Limited Objective for optical disk, optical pickup, optical disk writer-reader, and optical disk reader
DE60207610T2 (de) * 2001-12-21 2006-08-10 Koninklijke Philips Electronics N.V. Objektivlinse für optische datenträger
JP2005531093A (ja) * 2002-06-25 2005-10-13 コーニンクレッカ　フィリップス　エレクトロニクス　エヌ　ヴィ 耐傾斜性対物レンズ系を有する光走査装置
WO2004019323A2 (en) * 2002-08-05 2004-03-04 Koninklijke Philips Electronics N.V. Scanning device including an objective system formed of a single material

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Publication number Publication date
JP2005535063A (ja) 2005-11-17
US20050275954A1 (en) 2005-12-15
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AU2003247089A1 (en) 2004-02-25
TW200419550A (en) 2004-10-01
CN1675696A (zh) 2005-09-28
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US7149040B2 (en) 2006-12-12

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