KR20050026765A - Assembled pendulum valve - Google Patents
Assembled pendulum valve Download PDFInfo
- Publication number
- KR20050026765A KR20050026765A KR1020030062887A KR20030062887A KR20050026765A KR 20050026765 A KR20050026765 A KR 20050026765A KR 1020030062887 A KR1020030062887 A KR 1020030062887A KR 20030062887 A KR20030062887 A KR 20030062887A KR 20050026765 A KR20050026765 A KR 20050026765A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- locking ring
- housing
- exhaust line
- pendulum valve
- blocking plate
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 펜두럼밸브 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체소자 제조공정에 사용되는 챔버 내부의 압력 분위기를 안정적으로 형성 유지시키는데 사용되는 펜두럼밸브 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to a pendulum valve assembly, and more particularly, to a pendulum valve assembly used for stably forming and maintaining a pressure atmosphere inside a chamber used in a semiconductor device manufacturing process.
일반적으로 반도체소자는 웨이퍼 상에 사진, 식각, 확산, 화학기상증착, 이온주입, 금속증착 등의 공정을 선택적이고도 반복적으로 수행하여 복수의 반도체층, 부도체층 및 도전층을 적층 조합하는 것으로 이루어진다. 이들 반도체소자 제조공정 중 식각, 확산, 화학기상증착 등의 공정은 밀폐한 공정챔버 내에 온도 분위기, 전·자기적 환경, 압력 분위기 및 특정한 소스가스의 공급이 안정적으로 이루어질 수 있도록 하는 등의 공정수행에 따른 특수환경을 필요로 한다. 따라서, 공정이 이루어지는 공정챔버의 내부는, 이전 과정에서 반응한 가스와 반응 부산물 등이 다음 공정에 영향을 끼치지 않도록 배출 과정을 갖는다.In general, a semiconductor device consists of stacking and combining a plurality of semiconductor layers, non-conductor layers, and conductive layers by selectively and repeatedly performing a process such as photographing, etching, diffusion, chemical vapor deposition, ion implantation, and metal deposition on a wafer. The processes such as etching, diffusion, and chemical vapor deposition in the semiconductor device manufacturing process are performed to ensure stable supply of temperature atmosphere, electromagnetic environment, pressure atmosphere, and specific source gas in a closed process chamber. A special environment is required. Therefore, the inside of the process chamber in which the process is performed has a discharge process so that the gas reacted in the previous process and the reaction by-products do not affect the next process.
이러한 공정챔버 내부의 잔류가스 배출은, 도 1a와 도 1b에 도시한 바와 같이, 공정챔버와 공정챔버에 대하여 진공압을 제공하는 펌프 사이에 유체의 통로를 이루는 배기라인(10a, 10b)을 연결하고, 이 배기라인(10a, 10b) 상에는 배기라인(10a, 10b)을 통한 유체통로에 대하여 소정 크기의 공간을 구획한 펜두럼밸브 조립체(12)를 연통하게 설치한다. 이러한 펜두럼밸브 조립체(12)는 배기라인(10a, 10b)과 연통하여 소정 영역을 구획하는 하우징(14)을 구비하고, 이 하우징(14)의 내부에는 모터 등의 구동수단에 연결되어 구동축(16)의 회전에 따라 상술한 배기라인(10a, 10b)과 연통하는 부위에 선택적으로 대향하는 차단판(18)을 구비한다. 이때 차단판(18)은 상술한 배기라인(10a, 10b) 중 펌프의 진공압이 제공되는 부위에 대하여 그 회전 위치에 따라 차단하는 위치에 놓인다. 그리고, 공정챔버 방향에 대응하는 부위에는 그 방향의 배기라인(10a)으로부터 연통하여 연장한 내벽을 따라 슬라이딩 이동이 가능한 단관 형상의 락킹링(20)을 구비한다. 이러한 락킹링(20)은 통상 하우징(14) 상에 구비된 실린더(24)의 작용에 의해 차단판(18)을 밀착 가압하게 슬라이딩 구동하고, 이 락킹링(20) 상에는 슬라이딩을 안내 지지하는 내벽과 락킹링(20) 사이와 실린더(24)의 구동으로 차단판(18)에 대응하여 밀착이 이루어지는 부위에는 그 밀착 상태로부터 가스 등의 유체 흐름을 방지토록 하는 실링체(22a, 22b)를 구비한다.Residual gas discharge in the process chamber, as shown in Figures 1a and 1b, connecting the exhaust line (10a, 10b) forming a passage of the fluid between the process chamber and the pump providing a vacuum pressure to the process chamber Then, on the exhaust lines 10a and 10b, a pendulum valve assembly 12 is formed in communication with the fluid passages through the exhaust lines 10a and 10b. The pendulum valve assembly 12 includes a housing 14 which communicates with the exhaust lines 10a and 10b to define a predetermined region, and is connected to a driving means such as a motor inside the housing 14 to connect a drive shaft ( 16 is provided with a blocking plate 18 that opposes a portion communicating with the above-described exhaust lines 10a and 10b in accordance with the rotation of 16. At this time, the blocking plate 18 is placed in a position to block according to the rotational position with respect to the portion of the above-described exhaust line (10a, 10b) the vacuum pressure of the pump is provided. In addition, a portion corresponding to the process chamber direction is provided with a single tube locking ring 20 capable of sliding movement along the inner wall extending from the exhaust line 10a in the direction. The locking ring 20 is slidably driven in close contact with the blocking plate 18 by the action of the cylinder 24 provided on the housing 14, and on the locking ring 20 an inner wall for guiding sliding support. And sealing portions 22a and 22b to prevent fluid flow such as gas from the close contact with the blocking ring 18 between the locking ring 20 and the cylinder 24 by the driving of the cylinder 24. do.
이러한 구성의 펜두럼밸브 조립체(12)의 구동과정을 살펴보면, 공정챔버에 대하여 진공압의 제공이 이루어지는 경우에는 상술한 차단판(18)은 구동축(16)을 기준으로 펌프 방향의 배기라인(10a, 10b)을 개방하는 위치에 놓이고, 이어 공정챔버 내부에 대한 배기과정의 종료 즉, 공정챔버 내부의 설정된 진공압 분위기가 이루어지면, 구동축(16)을 회전 중심으로 한 차단판(18)은 펌프 방향의 배기라인(10b)을 차단하는 위치에 놓인다. 이때 상술한 락킹링(20)은, 도 1a에 도시한 바와 같이, 차단판(18)에 대향하여 이격된 위치에 있으며, 실린더(24)는 차단판(18)이 놓임에 대응하여 락킹링(20)을 차단판(18)에 근접시키는 방향으로 가압시킨다. 이로부터 락킹링(20)이 차단판(18)에 밀착되면, 그 사이의 실링체(22b)에 의해 밀착된 부위에 대한 기밀이 이루어지고, 이에 더하여 락킹링(20)과 락킹링(20)의 슬라이딩을 지지하는 측벽 사이의 실링체(22a)에 의해 기밀이 유지될 수 있음에 따라 공정챔버의 내부는 밀폐된 분위기로 유지될 수 있는 상태를 이룬다.Looking at the driving process of the pendulum valve assembly 12 of this configuration, when the vacuum pressure is provided to the process chamber, the above-described blocking plate 18 is the exhaust line 10a in the pump direction relative to the drive shaft 16 , 10b), and when the end of the exhaust process to the inside of the process chamber, that is, the set vacuum pressure atmosphere inside the process chamber is achieved, the blocking plate 18 around the drive shaft 16 is rotated. It is placed in a position to block the exhaust line 10b in the pump direction. At this time, the above-described locking ring 20, as shown in Figure 1a, is located at a position spaced apart from the blocking plate 18, the cylinder 24 is the locking ring in response to the placing of the blocking plate 18 ( 20 is pressed in a direction to approach the blocking plate 18. When the locking ring 20 is in close contact with the blocking plate 18, airtightness is achieved in a portion closely contacted by the sealing body 22b therebetween, and in addition, the locking ring 20 and the locking ring 20 are closed. As the airtightness can be maintained by the sealing body 22a between the side walls supporting the sliding of the inside of the process chamber is in a state that can be maintained in a closed atmosphere.
상술한 관계에 있어서, 락킹링(20)과 이 락킹링(20)의 슬라이딩을 지지하는 하우징(14)의 측벽 사이에 있는 실링체(22a)는 락킹링(20)의 슬라이딩이 자유로울 수 있도록 함과 동시에 이들 사이를 통한 유체의 유동을 차단하는 기능을 수행한다. 이러한 실링체(22a)의 기능에 있어서, 공정챔버의 내부는 기밀이 안정적으로 유지될 수 있도록 함을 필요로 한다. 하지만, 실링체(22a)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 측벽에 대한 슬라이딩이 원활하게 이루어질 수 있도록 단면 형상이 단순히 원호 형상을 이루고 있으나 이러한 접촉 관계는 슬라이딩 과정에서 마모되거나 국부적으로 손상될 경우 공정챔버 내부의 기밀을 유지시키기 어려운 관계를 이룬다.In the above-described relationship, the sealing body 22a between the locking ring 20 and the side wall of the housing 14 supporting the sliding of the locking ring 20 allows the locking ring 20 to slide freely. And at the same time serves to block the flow of fluid between them. In the function of this sealing body 22a, the interior of the process chamber needs to be able to maintain the airtight stably. However, as shown in FIG. 2, the sealing body 22a has a circular arc shape so that the sliding of the side wall can be smoothly performed. However, this contact relationship is worn or locally damaged during the sliding process. It is difficult to maintain the confidentiality inside the process chamber.
이러한 문제는 공정챔버 내부에 대한 진공압 분위기를 설정한 수준으로 형성하기 어려움으로 이어져 공정불량을 야기하는 등의 문제를 갖는다.This problem leads to difficulty in forming the vacuum pressure atmosphere for the inside of the process chamber to a set level, causing problems such as process defects.
또한, 상술한 실링체(22a)의 수명은 일정하게 정하여지지 않은 관계로 작은 정기점검 과정에서 그 확인을 필요로 하며, 수명의 단축으로 제조설비의 점검주기의 단축과 사용 수명의 단축으로 이어지는 등의 문제를 갖는다.In addition, since the life of the sealing body 22a described above is not fixed regularly, it is necessary to confirm it in a small periodic inspection process, and the shortening of the service life leads to shortening of the inspection cycle of the manufacturing equipment and shortening of the service life. Has a problem.
본 발명의 목적은, 상술한 종래 기술에 따른 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 락킹링과 이 락킹링의 슬라이딩을 안내하는 하우징의 측벽을 통한 유체의 흐름을 효과적으로 차단토록 하여 공정챔버에 대한 기밀유지를 보다 안정적으로 유지되메 하며, 실링체 수명의 연장으로 제조설비의 점검주기를 연장시켜 제조설비의 가동률과 생산성을 높이도록 하는 펜두럼밸브 조립체를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the problems according to the prior art described above, which effectively blocks the flow of fluid through the locking ring and the side wall of the housing for guiding the sliding of the locking ring, thereby maintaining airtightness to the process chamber. The present invention provides a pendulum valve assembly that maintains more stably and extends the inspection cycle of the manufacturing facility by extending the life of the sealing body to increase the operation rate and productivity of the manufacturing facility.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징적 구성은, 챔버에서 진공펌프로 이어지는 배기라인에 연통하여 구획하는 하우징과; 상기 하우징 내부에서 회전 위치에 따라 상기 어느 일측 배기라인을 개폐하는 차단판과; 상기 배기라인으로부터 연통하게 연장된 내벽을 따라 상기 차단판에 선택적으로 밀착 대향하도록 슬라이딩 이동이 이루어지는 락킹링; 및 상기 락킹링에 구비되어 상기 락킹링의 슬라이딩 이동을 안내하는 상기 하우징의 측벽을 따라 밀착 상태를 유지하는 실링체를 포함하여 이루어진 펜두럼밸브 조립체에 있어서, 상기 실링체는 상기 락킹링과 상기 하우징의 측벽 사이에서 폐회를 이루며 밀착되는 부위가 상기 락킹링의 슬라이딩 방향에 대하여 적어도 두 개 이상의 개수로 배열되어 이루어진 것을 특징으로 한다.A characteristic configuration of the present invention for achieving the above object comprises a housing in communication with the exhaust line leading to the vacuum pump in the chamber; A blocking plate for opening and closing the one side exhaust line according to a rotational position in the housing; A locking ring for sliding movement to selectively face the blocking plate along an inner wall extending from the exhaust line; And a sealing body provided in the locking ring to maintain a close contact along the sidewall of the housing for guiding the sliding movement of the locking ring, wherein the sealing body comprises the locking ring and the housing. The close contact between the side wall of the forming portion is characterized in that the arrangement is made of at least two or more with respect to the sliding direction of the locking ring.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 펜두럼밸브 조립체에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a pendulum valve assembly according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 펜두럼밸브 조립체 구성 중 실링체의 작용관계를 설명하기 위한 부분 확대 단면도로서, 종래와 동일한 부분에 대한 설명에서 도 1a와 도 1b를 참조함과 동시에 동일한 부호를 부여하여 설명하기로 한다.FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view for explaining an operation relationship of a sealing body in a pendulum valve assembly configuration according to an embodiment of the present invention. Referring to FIGS. It will be described with reference to the sign.
본 발명의 일 실시예에 따른 펜두럼밸브 조립체는, 도 1a와 도 1b의 일부와 도 3을 참조하면, 공정챔버에서 펌프로 이어지는 배기라인(10a, 10b) 상에는 그 내부를 통한 가스 등의 유체 흐름에 대응하여 구획 공간을 이루는 펜두럼밸브 조립체의 하우징(14)을 연통하게 설치한다. 이 하우징(14)의 내부에는 일측의 구동축(16)에 의해 배기라인(10a, 10b) 중 펌프 방향의 배기라인(10b)과 연통하는 부위에 대하여 회전 위치에 따라 개폐가 이루어지도록 하는 차단판(18)을 구비한다. 또한, 공정챔버 방향에 대응하는 부위에는 그 방향의 배기라인(10a)으로부터 연통하여 연장한 내벽을 따라 슬라이딩 이동이 가능한 단관 형상의 락킹링(20)을 구비한다. 이러한 락킹링(20)은 통상 하우징(14) 상에 구비된 실린더(24)의 작용에 의해 차단판(18)을 밀착 가압하게 슬라이딩 구동하고, 이 락킹링(20) 상에는 슬라이딩을 안내 지지하는 내벽과 락킹링(20) 사이와 실린더(24)의 구동으로 차단판(18)에 대응하여 밀착이 이루어지는 부위에는 그 밀착 상태로부터 가스 등의 유체 흐름을 방지토록 하는 실링체(22b, 30)를 구비한다. 이러한 구성의 펜두럼밸브 조립체의 각 구성으로부터 구동과정을 살펴보면, 공정챔버에 대하여 진공압의 제공이 이루어지는 경우에는 상술한 차단판(18)은 구동축(16)을 기준으로 펌프 방향의 배기라인(10a, 10b)을 개방하는 위치에 놓이고, 이어 공정챔버 내부에 대한 배기과정의 종료 즉, 공정챔버 내부의 설정된 진공압 분위기가 이루어지면, 구동축(16)을 회전 중심으로 한 차단판(18)은 펌프 방향의 배기라인(10b)을 차단하는 위치에 놓인다. 이때 상술한 락킹링(20)은, 도 1a에 도시한 바와 같이, 차단판(18)에 대향하여 이격된 위치에 있으며, 실린더(24)는 차단판(18)이 놓임에 대응하여 락킹링(20)을 차단판(18)에 근접시키는 방향으로 가압시킨다. 이로부터 락킹링(20)이 차단판(18)에 밀착되면, 그 사이의 실링체(22b)에 의해 밀착된 부위에 대한 기밀이 이루어지고, 이에 더하여 락킹링(20)과 락킹링(20)의 슬라이딩을 지지하는 측벽 사이의 실링체(30)에 의해 기밀이 유지될 수 있음에 따라 공정챔버의 내부는 밀폐된 분위기로 유지될 수 있는 상태를 이룬다.Pendulum valve assembly according to an embodiment of the present invention, with reference to the portion of Figure 1a and Figure 1b and Figure 3, a fluid such as gas through the interior on the exhaust line (10a, 10b) leading from the process chamber to the pump The housing 14 of the pendulum valve assembly constituting the compartment space corresponding to the flow is installed in communication. Inside the housing 14 is a blocking plate which is opened and closed depending on the rotational position with respect to the portion of the exhaust line (10a, 10b) in communication with the exhaust line (10b) in the pump direction by the drive shaft 16 on one side ( 18). In addition, a portion corresponding to the process chamber direction is provided with a single tube locking ring 20 that is slidable along the inner wall extending from the exhaust line 10a in that direction. The locking ring 20 is slidably driven in close contact with the blocking plate 18 by the action of the cylinder 24 provided on the housing 14, and on the locking ring 20 an inner wall for guiding sliding support. Between the locking ring 20 and the cylinder 24 to provide a sealing body 22b, 30 for preventing a fluid flow such as gas from being in close contact with the blocking plate 18. do. Looking at the driving process from each configuration of the pendulum valve assembly of such a configuration, when the vacuum pressure is provided to the process chamber, the above-described blocking plate 18 is the exhaust line 10a in the pump direction relative to the drive shaft 16 , 10b), and when the end of the exhaust process to the inside of the process chamber, that is, the set vacuum pressure atmosphere inside the process chamber is achieved, the blocking plate 18 around the drive shaft 16 is rotated. It is placed in a position to block the exhaust line 10b in the pump direction. At this time, the above-described locking ring 20, as shown in Figure 1a, is located at a position spaced apart from the blocking plate 18, the cylinder 24 is the locking ring in response to the placing of the blocking plate 18 ( 20 is pressed in a direction to approach the blocking plate 18. When the locking ring 20 is in close contact with the blocking plate 18, airtightness is achieved in a portion closely contacted by the sealing body 22b therebetween, and in addition, the locking ring 20 and the locking ring 20 are closed. As the airtightness can be maintained by the sealing body 30 between the side walls supporting the sliding of the inside of the process chamber forms a state that can be maintained in a closed atmosphere.
여기서, 상술한 실링체(30)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 상호 접하는 락킹링(20)과 이 락킹링(20)의 슬라이딩 위치를 안내함과 동시에 지지하는 하우징(14)의 측벽에 대하여 락킹링(20)의 슬라이딩 과정을 포함하여 계속적으로 밀착된 상태를 유지할 수 있도록 이들 사이의 양측 측벽에 대하여 접촉하는 부위가 슬라이딩 이동 방향을 따라 적어도 두 개 이상의 개수로 이루어진다. 이에 따라 락킹링(20)과 하우징(14)의 측벽 사이에 락킹링(20)의 측벽을 따라 폐쇄회로 형상으로 감싸는 실링체(30)는 그 사이를 통한 유체의 흐름을 적어도 두 단계 이상으로 차단하는 구성을 이루며, 이로부터 어느 일 측의 밀착 부위가 손상될 경우에도 나머지 락킹링(20)의 측벽과 이에 대응하는 하우징(14)의 측벽 사이의 슬라이딩 방향에 대한 유체의 흐름을 차단함으로써 공정챔버에 대한 기밀유지 관계가 안정적으로 이루어진다.Here, as shown in FIG. 3, the sealing body 30 described above is provided on the side wall of the housing 14 that supports and simultaneously supports the sliding ring 20 and the sliding position of the locking ring 20. Including the sliding process of the locking ring 20 to the contact portion with respect to both side walls between them so as to maintain a close contact is made of at least two or more along the sliding movement direction. Accordingly, the sealing body 30 wrapped in a closed circuit shape along the side wall of the locking ring 20 between the locking ring 20 and the side wall of the housing 14 blocks the flow of fluid therebetween at least two stages. When the close contact portion on one side is damaged from this, the process chamber by blocking the flow of the fluid in the sliding direction between the side wall of the remaining locking ring 20 and the side wall of the housing 14 corresponding thereto Confidentiality of relationship is stable.
따라서, 본 발명에 의하면, 락킹링과 이 락킹링의 슬라이딩을 지지하는 하우징의 측벽에 그 사이를 통한 유체의 흐름을 차단하도록 설치한 실링체의 형상이 락킹링과 락킹링과 접하는 하우징 사이의 양측 측벽에 대하여 그 슬라이딩 방향으로 적어도 두 개 이상의 접촉 부위를 갖도록 형성함으로써 그 기밀 유지 관계가 하나의 실링체로부터 이중으로 이루어짐으로써 공정챔버 내부에 대한 진공압 분위기를 안정적으로 유지시키고, 수명이 연장되어 이에 대한 제조설비의 점검주기가 연장되는 등의 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, the shape of the sealing ring and the sealing body provided to block the flow of fluid therebetween on the side wall of the housing for supporting the sliding of the locking ring is between the locking ring and the housing in contact with the locking ring. By forming at least two or more contacting portions in the sliding direction with respect to the side wall, the airtight relationship is doubled from one sealing body, thereby stably maintaining the vacuum pressure atmosphere inside the process chamber, and extending the life thereof. The inspection period of the manufacturing facility is extended.
본 발명은 구체적인 실시예에 대해서만 상세히 설명하였지만 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 변형이나 변경할 수 있음은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 그러한 변형이나 변경은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 할 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to specific embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that modifications and variations can be made within the scope of the technical idea of the present invention, and such modifications or changes belong to the claims of the present invention. something to do.
도 1a와 도 1b는 펜두럼밸브 조립체의 구동관계를 설명하기 위하여 개략적으로 나타낸 부분절취 단면도이다.1A and 1B are cross-sectional views schematically illustrating the driving relationship of the pendulum valve assembly.
도 2는 도 1b에 표시한 Ⅱ 부위에 있는 실링체의 작용관계를 설명하기 위한 부분 확대 단면도이다.FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view for explaining the working relationship of the sealing body at the site II shown in FIG. 1B.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 펜두럼밸브 조립체 구성 중 실링체의 작용관계를 설명하기 위한 부분 확대 단면도이다.3 is a partially enlarged cross-sectional view for explaining an operation relationship of the sealing body in the pendulum valve assembly configuration according to an embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10a, 10b: 배기라인 12: 펜두럼밸브 조립체10a, 10b: exhaust line 12: pendulum valve assembly
14: 하우징 16: 구동축14: housing 16: drive shaft
18: 차단판 20: 락킹링18: blocking plate 20: locking ring
22a, 22b, 30: 실링체 24: 실린더22a, 22b, 30: sealing body 24: cylinder
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020030062887A KR20050026765A (en) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | Assembled pendulum valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020030062887A KR20050026765A (en) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | Assembled pendulum valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20050026765A true KR20050026765A (en) | 2005-03-16 |
Family
ID=37384414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020030062887A KR20050026765A (en) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | Assembled pendulum valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20050026765A (en) |
-
2003
- 2003-09-09 KR KR1020030062887A patent/KR20050026765A/en not_active Application Discontinuation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20210035785A1 (en) | Substrate processing apparatus | |
| US20210035786A1 (en) | Substrate processing apparatus | |
| JP2006170373A (en) | Gate valve device, treatment system and seal member replacing method | |
| US20140271049A1 (en) | Vacuum processing apparatus and operating method thereof | |
| KR20050026765A (en) | Assembled pendulum valve | |
| KR101820271B1 (en) | Vacuum Valve for OLED using Sealing Material | |
| KR20060112012A (en) | Gate assembly of semiconductor product device | |
| KR20040037288A (en) | plasma treating equipment | |
| KR102614455B1 (en) | High pressure wafer processing apparatus | |
| KR101891825B1 (en) | Opening and closing apparatus for chemical vapor deposition | |
| KR20040013295A (en) | Semiconductor manufacturing equipment | |
| JP2001355745A (en) | Gate valve | |
| KR102243741B1 (en) | Pull-push device, gate valve and vacuum processing apparatus using it | |
| KR101045247B1 (en) | Lift pin elevating apparatus | |
| KR102579740B1 (en) | Substrate processing apparatus | |
| WO2010113625A1 (en) | Multi-chamber processing system | |
| KR101043774B1 (en) | Process Chamber for Manufacturing Semiconductor | |
| KR102645711B1 (en) | Wafer processing apparatus | |
| KR101833177B1 (en) | Vacuum Valve for Sealed OLED using Inclined Surface | |
| CN114551203A (en) | Linear motion sealing device and semiconductor substrate processing apparatus using the same | |
| JP4522195B2 (en) | Switching valve for semiconductor manufacturing equipment | |
| KR102411880B1 (en) | Sealing device capable of linear motion and processing apparatus for semiconductor substrate using the same | |
| KR101833178B1 (en) | Vacuum Valve for OLED using grooves and projections | |
| KR20060119363A (en) | Vacuum forming equipment for semiconductor manufacturing equipment | |
| KR20070013684A (en) | Gate assembly of semiconductor product device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |