KR20050016975A - Method of manufacturing a diffusing reflector - Google Patents

Method of manufacturing a diffusing reflector

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KR20050016975A
KR20050016975A KR10-2005-7000161A KR20057000161A KR20050016975A KR 20050016975 A KR20050016975 A KR 20050016975A KR 20057000161 A KR20057000161 A KR 20057000161A KR 20050016975 A KR20050016975 A KR 20050016975A
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Abstract

본 발명은 금속 나노 입자의 서스펜션(suspension)으로 기판을 코팅하는 단계와 높은 온도로 상기 코팅된 기판을 어닐링하는 단계를 포함하는 산란 반사판 제조 방법에 있어서, 금속 나노 입자의 서스펜션은 첨가제로서 적어도 하나의 메틸 그룹과 적어도 하나의 알콕시(alkoxy) 그룹을 포함하는 실레인 유도제(silane derivative)를 포함하는 산란 반사판 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 또한 상기 방법을 이용하여 형성된 산란 반사판 및 이 산란 반사판을 포함하는 디스플레이 장치에 관한 것이다.The present invention provides a method of manufacturing a scattering reflector comprising coating a substrate with a suspension of metal nanoparticles and annealing the coated substrate at a high temperature, wherein the suspension of the metal nanoparticles is an additive. A method of manufacturing a scattering reflector comprising a silane derivative comprising a methyl group and at least one alkoxy group. The invention also relates to a scattering reflector formed using the method and a display device comprising the scattering reflector.

Description

산란 반사판 및 그 제조 방법, 디스플레이 장치{METHOD OF MANUFACTURING A DIFFUSING REFLECTOR}Scattering reflector and manufacturing method therefor, display device TECHNICAL FIELD {METHOD OF MANUFACTURING A DIFFUSING REFLECTOR}

본 발명은 금속 (나노) 입자의 서스펜션(suspension)으로 기판을 코팅하는 단계를 포함하는 산란 반사판(diffusing reflector) 구조물을 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 또한 이 방법을 이용하여 제조된 산란 반사판 및 이 산란 반사판을 포함하는 반사 유형의 디스플레이 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a scattering reflector structure comprising coating a substrate with a suspension of metal (nano) particles. The present invention also relates to a scattering reflector plate produced using this method and a reflection type display device comprising the scattering reflector plate.

반사 디스플레이는, 예를 들어 액정, 전기 영동(electrophoretic), 일렉트로크로믹(electrochromic), 일렉트로웨팅(electrowetting), 또는 스위칭 포일 효과에 기초하여 전자 광학층을 이용하며, 저전력 소비를 보장하는 얇고 경량인 구조의 평판 형상으로 형성된다. 따라서, 이러한 디스플레이 장치는 핸드헬드 디바이스의 디스플레이와 같은 넓은 응용 분야용으로 개발되었다. 액정과 같은 전자 광학 물질은 자기 발광 유형이 아니며, 외부 광 빔을 선택적으로 투과시키거나 차폐시킴으로써 상을 디스플레이한다. 이러한 디스플레이 장치는 조명 시스템에 따라서 투과형과 반사형으로 분류될 수 있다.Reflective displays utilize an electro-optical layer based on, for example, liquid crystal, electrophoretic, electrochromic, electrowetting, or switching foil effects, and are thin and lightweight to ensure low power consumption. It is formed in the shape of a flat plate. Thus, such display devices have been developed for a wide range of applications such as displays in handheld devices. Electro-optical materials, such as liquid crystals, are not of the self emissive type and display images by selectively transmitting or shielding external light beams. Such display devices may be classified into transmissive and reflective types according to lighting systems.

반사형 디스플레이 장치에서, 디스플레이는 주변 환경으로부터의 입사광을 이용하여 실현된다. 입사광을 효과적으로 이용하여 밝기(brightness)를 개선하는 것이 본질적인 목표이다. 또한, 이른바 페이퍼 화이트(paper white)라고 하는 화이트 디스플레이를 실현하기 위해 패널에 입사광의 산란 반사를 실현하는 것이 기본적으로 요구된다. 따라서, 종래기술의 반사형 디스플레이 장치는 많은 경우에 패널 내에 산란 반사층을 포함한다. 이 산란 반사층은 미세한 불균일성(unevenness)을 포함하는 표면을 가지며 또한 가능한 한 많은 페이퍼 화이트의 외양을 나타내기 위해 완벽한 산란에 가까운 특성을 갖는다. 그러나, 이러한 반사 특성이 실제 사용에 충분하다고 결론짓기는 어려우며, 반사 특성을 개선시키기 위해 설계 및 처리 단계에서부터 불균일성의 상태를 개선시키는 것이 관련 기술의 반사형 디스플레이 장치의 문제점이 되어 왔다.In a reflective display device, the display is realized using incident light from the surrounding environment. Effective use of incident light to improve brightness is an essential goal. In addition, it is basically required to realize scattered reflection of incident light on the panel in order to realize a white display called paper white. Accordingly, reflective display devices of the prior art often include a scattering reflective layer in the panel. This scattering reflective layer has a surface containing fine unevenness and also has properties close to perfect scattering to exhibit the appearance of as much paper white as possible. However, it is difficult to conclude that such reflective characteristics are sufficient for practical use, and improving the state of non-uniformity from the design and processing stages to improve the reflective characteristics has been a problem of the reflective display device of the related art.

EP 965863에는 산란 반사판이 다단(multi-stage) 프로세스에 의해 생성되었는데, 여기서 광감성을 갖는 수지 필름이 기판 상에 형성된다. 다음 프로세스에서, 포토리소그래피에 의해 수지 필름이 패터닝되어 서로 격리된 기둥 형상의 본체의 게더링(gathering)을 제공한다. 이어서, 다음 프로세스에서, 열처리가 수행되어 각 기둥 형상의 본체가 적절히 변형되어 12° 이하의 최대 경사각을 갖는 불균일한 표면을 갖는 층을 형성한다. 최종 프로세스로서, 금속 필름이 적절하게 개선된 불균일한 층 상에 형성된다. 이 방법은 매우 노동 집약적이며 따라서 비용이 많이 들고, 예를 들어 알루미늄층을 거칠어진 수지층 상으로 스퍼터링하여 금속층을 덮는 것에 의해 열처리에서 달성된 거칠기(roughness)가 부분적으로 원상태로 되어버리는 문제점을 갖고 있다. TFT 어레이의 제조 비용은 포토마스크의 수에 따라 증가하며 포토마스크의 수가 증가하면 수율이 일반적으로 감소한다. 포토리소그래피의 패턴 생성 방법의 다른 문제점은, 이들 패턴이 충분히 랜덤하지 않으면 간섭 컬러가 표면 조명 시에 나타날 수도 있다는 것이다. 따라서, 본 발명의 목적은 쉽게 수행될 수 있고, 저렴하며, 상기 문제점이 없는 산란 반사판을 제조하는 방법을 제공하는 것이다.In EP 965863 a scattering reflector is produced by a multi-stage process wherein a resin film having photosensitivity is formed on a substrate. In the next process, the resin film is patterned by photolithography to provide gathering of columnar bodies isolated from each other. Subsequently, in the next process, heat treatment is performed to properly deform each columnar body to form a layer having an uneven surface with a maximum tilt angle of 12 ° or less. As a final process, a metal film is formed on an appropriately improved nonuniform layer. This method is very labor intensive and therefore expensive and has the problem that the roughness achieved in the heat treatment is partially undone, for example by sputtering an aluminum layer onto a roughened resin layer to cover the metal layer. have. The manufacturing cost of the TFT array increases with the number of photomasks and the yield generally decreases as the number of photomasks increases. Another problem with the pattern generation method of photolithography is that interference colors may appear upon surface illumination if these patterns are not sufficiently random. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a scattering reflector that can be easily carried out, inexpensive, and free from the above problems.

도 1은 본 발명의 확산 반사판의 개략도.1 is a schematic diagram of a diffuse reflector of the present invention.

금속 입자의 서스펜션으로 기판을 코팅하는 것을 포함하는 이러한 방법은 금속 나노 입자 및/또는 서브미크론(sub-micron) 입자의 서스펜션에 적어도 하나의 메틸 그룹 및 적어도 하나의 알콕시(alkoxy) 그룹을 갖는 첨가제로서 실레인 유도제(silane derivative)를 첨가하고 코팅된 기판을 높은 온도로 어닐링하는 것에 의해 발견되었다.Such a method comprising coating a substrate with a suspension of metal particles is an additive having at least one methyl group and at least one alkoxy group in the suspension of metal nanoparticles and / or sub-micron particles. It was found by adding a silane derivative and annealing the coated substrate to high temperature.

실레인 유도제를 첨가하면, 열적 안정성이 개선되어 도전 미러가 보다 높은 온도에서 어닐링하게 된다는 것이 확인되었다. 보다 높은 온도에서의 어닐링은 미러의 도전율을 개선시킨다. 어닐링 온도는 350℃보다 높고, 보다 바람직하게는 약 500℃이다. 이들 어닐링 온도에서, 나노 입자들은 약 1㎛의 폭 및 100 mm 높이의 전형적인 크기를 갖는 클러스터를 형성한다. 실레인 유도제는 바람직하게는, 메틸 트라이알콕시실레인(methyl trialkoxysilane)이고, 알콕시 측쇄(moieties)는 1 내지 4 개의 탄소 원자를 갖는다. 보다 바람직하게는 실레인 유도제는 메틸 트라이메톡시실레인(trimethoxysilane), 메틸 트라이에톡시실레인(triethoxysilane) 또는 그 혼합물이다.The addition of the silane inducing agent has been found to improve the thermal stability and cause the conductive mirror to anneal at higher temperatures. Annealing at higher temperatures improves the conductivity of the mirror. Annealing temperature is higher than 350 degreeC, More preferably, it is about 500 degreeC. At these annealing temperatures, the nanoparticles form clusters having a typical size of about 1 μm wide and 100 mm high. The silane derivative is preferably methyl trialkoxysilane and the alkoxy moieties have 1 to 4 carbon atoms. More preferably the silane inducing agent is methyl trimethoxysilane, methyl triethoxysilane or mixtures thereof.

금속 나노 입자의 서스펜션이 20 vol.% 미만의 유도제, 보다 바람직하게는 5 내지 10 vol.%를 포함하는 경우에 특히 양호한 결과가 얻어진다.Particularly good results are obtained when the suspension of the metal nanoparticles comprises less than 20 vol.% Inducing agent, more preferably 5 to 10 vol.%.

반사 디스플레이용 산란 미러가 형성될 때, 나노 입자는 바람직하게는 콜로이드 은의 졸(colloidal silver sol) 입자이다. 그러나, 금, 백금, 로듐(rhodium), 이리듐, 팔라듐, 크롬, 구리 및 알루미늄 및 이들의 혼합물이 선택될 수도 있다. 패시브 매트릭스 디스플레이에서, 필요하다면 라인 저항을 감소시키기 위해 보완 금속이 사용될 수도 있다. 액티브 매트릭스 디스플레이에서는, 예를 들면 알루미늄에 의한 표준 금속화에 의해 행 및 열이 형성될 수도 있다. 액티브 매트릭스 디스플레이에서, 금속의 증착은 액티브 플레이트를 형성하기 위한 마지막 단계가 된다. 따라서 이 금속층은 미러를 형성하는 역할을 하며 또한 TFT들 사이의 금속 접속부(비아)를 형성하는 역할을 한다.When scattering mirrors for reflective displays are formed, the nanoparticles are preferably colloidal silver sol particles. However, gold, platinum, rhodium, iridium, palladium, chromium, copper and aluminum and mixtures thereof may be selected. In passive matrix displays, complementary metals may be used to reduce line resistance if necessary. In active matrix displays, rows and columns may be formed, for example, by standard metallization with aluminum. In an active matrix display, deposition of metal is the last step to form an active plate. Therefore, this metal layer serves to form a mirror and also to form metal connections (vias) between the TFTs.

본 발명에 의해 형성된 디스플레이는 완벽한 페이퍼 화이트 외양을 가지며, 층들이 조명될 때 어떠한 간섭 컬러도 나타나지 않는다. 이 방법은 이들 디스플레이를 형성하는 기존의 방법보다 실질적으로 더 저렴하다. 10 내지 20㎛의 간격을 갖는 픽셀을 형성하는 것이 가능하며, 금속을 도포하기 전에 픽셀들 사이에 "버섯형(mushroom-shaped)" 라인을 규정함으로써 훨씬 더 작은 간격이 얻어질 수 있다. 이것은, OE magazine, vol. 1, n4.2(Feb. 2001), p.18(또한 http://oemagazine.com/fromTheMagazine/feb01/brightness.html을 참조하라)에 기재되어 있는 바와 같이, 폴리 LED 매트릭스 디스플레이 내에서 음극선을 분리시키는 "paddo" 공정에서 행해질 수도 있다.The display formed by the present invention has a perfect paper white appearance and no interference color appears when the layers are illuminated. This method is substantially cheaper than existing methods of forming these displays. It is possible to form pixels with a spacing of 10-20 μm, and even smaller spacing can be obtained by defining a “mushroom-shaped” line between the pixels before applying the metal. This is OE magazine, vol. 1, n4.2 (Feb. 2001), p. 18 (see also http://oemagazine.com/fromTheMagazine/feb01/brightness.html), as shown in FIG. It may also be done in a separate “paddo” process.

본 발명은 또한 적어도 하나의 기판, 전자 광학 층, 본 발명의 산란 반사판 및 적어도 하나의 전극을 포함하는 반사형 디스플레이 장치와 관련이 있다.The invention also relates to a reflective display device comprising at least one substrate, an electro-optical layer, a scattering reflector of the invention and at least one electrode.

전술한 방법에 의해 생성된 산란 반사판은 반사형 디스플레이 장치 내에 포함될 수 있다. 이 경우에, 반사형 디스플레이 장치는 기본 구조로서, 입사면 내에 배치된 제 1 투명 기판과, 제 1 기판과 반대쪽에 배치되어 있으며 사전 결정된 갭을 통해 제 1 기판과 결합된 제 2 기판과, 상기 갭 내의 제 1 기판 쪽에 위치한 전자 광학 층과, 갭 내의 제 2 기판 쪽에 위치한 산란 반사층과, 상기 제 1 및 제 2 기판 사이의 적어도 하나의 기판 내에 형성된 전자 광학 층에 전압을 공급하는 전극을 구비한다. 산란 반사층은 축적 영역(heaping area)을 형성하는 수지 필름 및 축적 영역 상에 형성된 금속 필름으로 이루어진다.The scattering reflector produced by the method described above may be included in the reflective display device. In this case, the reflective display device has a basic structure comprising: a first transparent substrate disposed in the incident surface, a second substrate disposed opposite the first substrate and coupled to the first substrate through a predetermined gap; An electro-optical layer located on the first substrate side in the gap, a scattering reflection layer located on the second substrate side in the gap, and an electrode for supplying voltage to the electro-optical layer formed in at least one substrate between the first and second substrates. . The scattering reflection layer is composed of a resin film forming a heaping area and a metal film formed on the heaping area.

본 발명은 반사 디스플레이 및 LCD, 전기 영동(electrophoretic), 일렉트로크로믹(electrochromic), 일렉트로웨팅(electrowetting) 디스플레이, 포일 디스플레이, 스위칭 미러, PALC 디스플레이 및 폴리 LED와 같은 금속 전극을 사용하는 기타 디스플레이에 대한 전기 접속부 및 산란 미러를 갖는 액티브 또는 패시브 플레이트를 형성하는데 적용될 수 있다.The present invention is directed to reflective displays and other displays using metal electrodes such as LCDs, electrophoretic, electrochromic, electrowetting displays, foil displays, switching mirrors, PALC displays and poly LEDs. It can be applied to form an active or passive plate with electrical connections and scattering mirrors.

본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참고하여 상세히 설명한다. 도 1은 본 발명의 확산 반사판을 나타낸다. 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(1)은 예를 들어 유리 재료 등으로 이루어진다. 필수적인 것은 아니지만, 광감성의 수지 필름(2)이 기판 상에 형성될 수도 있다. 수지 필름(2)으로서, 예를 들어 포토레지스트가 사용될 수도 있다. 이 실시예에서는, 스핀 코팅 또는 인쇄 방법에 의한 포토레지스트의 코팅에 의해 필름이 약 1.0㎛의 두께로 형성된다. 다음 프로세스에서, 스핀 코팅을 이용하여 본 발명의 나노 입자 금속 서스펜션을 갖는 기판 또는 수지 필름(2)을 패터닝함으로써 기둥 형상의 본체의 게더링이 필름(3)으로서 제공된다. 포토리소그래피와 같은 다른 프로세스가 사용될 수도 있다. 포토리소그래피 방법에서, 노출 프로세스는 자외선 조사를 통해 행해지고 그 다음에 현상 프로세스가 수행된다. 자외선의 적절한 조사 에너지의 범위는 150 mJ 내지 250 mJ이다. 조사 에너지가 150 mJ보다 작으면 에너지가 너무 낮고, 250 mJ을 넘으면 에너지는 너무 높아서 부가적인 에칭이 발생할 수도 있다. 금속 필름(3)은, 스핀 코팅, 스퍼터링 또는 진공 증발에 의해, 예를 들어 알루미늄, 은 등과 같은 나노 입자의 금속 재료를 기판(1) 또는 수지 필름(2) 상에 증착시키는 것에 의해 형성된다.Preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 shows a diffuse reflector of the present invention. As shown in Fig. 1, the substrate 1 is made of, for example, a glass material or the like. Although not essential, the photosensitive resin film 2 may be formed on the substrate. As the resin film 2, for example, a photoresist may be used. In this embodiment, the film is formed to a thickness of about 1.0 μm by spin coating or coating of the photoresist by a printing method. In the next process, gathering of the columnar body is provided as the film 3 by patterning the substrate or the resin film 2 having the nanoparticle metal suspension of the present invention using spin coating. Other processes such as photolithography may be used. In the photolithography method, the exposure process is carried out through ultraviolet irradiation followed by the development process. Suitable irradiation energy of ultraviolet rays ranges from 150 mJ to 250 mJ. If the irradiation energy is less than 150 mJ, the energy is too low. If the irradiation energy is more than 250 mJ, the energy is too high and additional etching may occur. The metal film 3 is formed by spin coating, sputtering or vacuum evaporation, for example by depositing a metal material of nanoparticles such as aluminum, silver or the like on the substrate 1 or the resin film 2.

Yes

서브미크론의 은 입자(14.7g, 예컨대 Mitsui)가 10.14g의 물과 2.587g의5 wt.% 폴리비닐알콜에 첨가되었고 45g의 유리 진주(glass pearl)의 롤러 컨베이어 상에서 하룻밤 동안 습식 볼(wet-ball) 밀링(milling)되어 53.4 wt.% Ag의 적절한 분산물(dispersion)을 획득한다.Submicron silver particles (14.7 g, such as Mitsui) were added to 10.14 g of water and 2.587 g of 5 wt.% Polyvinyl alcohol and were wetted overnight on a roller conveyor of 45 g of glass pearl. ball) to obtain the appropriate dispersion of 53.4 wt.% Ag.

A 또는 B의 성분을 혼합하여 두 가수분해 혼합물을 마련한다.The components of A or B are mixed to form two hydrolysis mixtures.

A) 40g MTMS(methyl trimethoxy silane)A) 40 g methyl trimethoxy silane (MTMS)

0.87g TEOS(tetraethyl orthosilicate)0.87 g tetraethyl orthosilicate (TEOS)

32g 물32g water

4.5g 에탄올4.5 g ethanol

B) 40g MTMSB) 40g MTMS

40g 물40g water

표에 나타낸 양으로 은 분산물과 가수분해 혼합물(A 또는 B) 중 하나를 혼합시켜 코팅 액체를 마련하고, 그 다음에 혼합물을 10초 동안 50 rpm으로, 그 다음에 40초 동안 300 rpm으로 이들 코팅 액체를 스핀 코팅하여 유리 기판 상에 스핀 코팅하였다. 샘플은 35℃에서 건조하였다. 450℃ 또는 580℃에서 90 분 동안 공기 중에서 가열에 의해 경화가 이루어졌다.Mix the silver dispersion with one of the hydrolysis mixtures (A or B) in the amounts shown in the table to form a coating liquid, then mix the mixture at 50 rpm for 10 seconds and then at 300 rpm for 40 seconds. The coating liquid was spin coated and spin coated onto a glass substrate. The sample was dried at 35 ° C. Curing was achieved by heating in air at 450 ° C. or 580 ° C. for 90 minutes.

코팅된 샘플은 산란 반사 특성 및 반사/투과 특성에 의존하는 각에 대해 측정되었다. 샘플은 가시 영역 내에서 우수한 반사를 나타내는 것으로 확인되었다. 반사된 광의 세기는 (입사각에서) 기준 BaSO4 샘플에 비해 4 배였다. 15°의 입사각에서, 반사된 광의 세기는 순수하게 반사하는 BaSO4의 3 내지 3.5 배였다. 50°의 입사각에서, 반사된 광량의 세기는 BaSO4의 약 ~0.5 배였다.Coated samples were measured for angles dependent on scattering reflection properties and reflection / transmission properties. The sample was found to exhibit good reflection in the visible region. The intensity of the reflected light was four times compared to the reference BaSO 4 sample (at the incident angle). At an angle of incidence of 15 °, the intensity of the reflected light was 3 to 3.5 times that of purely reflecting BaSO 4 . At an incident angle of 50 °, the intensity of the reflected light amount was about ˜0.5 times that of BaSO 4 .

Claims (9)

금속 나노 입자의 서스펜션(suspension)으로 기판을 코팅하는 단계와 높은 온도로 상기 코팅된 기판을 어닐링하는 단계를 포함하는 산란 반사판 제조 방법에 있어서,A method of manufacturing a scattering reflector comprising coating a substrate with a suspension of metal nanoparticles and annealing the coated substrate at a high temperature. 상기 금속 나노 입자의 서스펜션은 첨가제로서 적어도 하나의 메틸 그룹과 적어도 하나의 알콕시(alkoxy) 그룹을 포함하는 실레인 유도제(silane derivative)를 포함하는The suspension of the metal nanoparticles includes a silane derivative including at least one methyl group and at least one alkoxy group as an additive. 산란 반사판 제조 방법.Scattering reflector manufacturing method. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 어닐링 단계는 350℃보다 높은 온도에서 이루어지는The annealing step is performed at a temperature higher than 350 ℃ 산란 반사판 제조 방법.Scattering reflector manufacturing method. 금속 나노 입자의 서스펜션 및 첨가제로 코팅된 어닐링된 기판을 포함하는 산란 반사판에 있어서,A scattering reflector comprising a suspension of metal nanoparticles and an annealed substrate coated with an additive, 상기 첨가제는 적어도 하나의 메틸 그룹 및 적어도 하나의 알콕시 그룹을 포함하는 실레인 유도제를 포함하는 The additive comprises a silane derivative comprising at least one methyl group and at least one alkoxy group. 산란 반사판.Scattering reflector. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 실레인 유도제는 메틸 트라이알콕시실레인(trialkoxysilane)이고, 상기 알콕시 측쇄(moieties)는 1 내지 4 개의 탄소 원자를 갖는 The silane inducing agent is methyl trialkoxysilane, and the alkoxy moieties have 1 to 4 carbon atoms. 산란 반사판.Scattering reflector. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 실레인 유도제는 메틸 트라이메톡시실레인(trimethoxysilane), 메틸 트라이에톡시실레인(triethoxysilane) 또는 그 혼합물인The silane inducing agent is methyl trimethoxysilane, methyl triethoxysilane, or mixtures thereof. 산란 반사판.Scattering reflector. 제 3 항 내지 5 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 3 to 5, 상기 메탈 나노 입자의 서스펜션은 20vol.% 미만의 실레인 유도제를 포함하는The suspension of the metal nanoparticles comprises less than 20 vol.% Of a silane inducing agent. 산란 반사판.Scattering reflector. 제 3 항 내지 6 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 3 to 6, 상기 금속 나노 입자는 금, 은, 백금, 로듐(rhodium), 이리듐, 팔라듐, 크롬, 구리 및 알루미늄 및 이들의 혼합물로부터 선택되는The metal nanoparticles are selected from gold, silver, platinum, rhodium, iridium, palladium, chromium, copper and aluminum and mixtures thereof 산란 반사판.Scattering reflector. 제 3 항 내지 7 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 3 to 7, 상기 금속 나노 입자는 콜리이드 은의 졸(colloidal silver sol) 입자인The metal nanoparticles are colloidal silver sol particles. 산란 반사판.Scattering reflector. 적어도 하나의 기판, 전자 광학 층, 제 3 항 내지 8 항 중 어느 한 항의 산란 반사판 및 적어도 하나의 전극을 포함하는 디스플레이 장치.A display device comprising at least one substrate, an electro-optical layer, a scattering reflector of any one of claims 3 to 8 and at least one electrode.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9099415B2 (en) 2012-03-02 2015-08-04 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device
WO2023229398A1 (en) * 2022-05-25 2023-11-30 한국기계연구원 Large-area transparent reflective panel using nanoclusters and method for manufacturing same

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0503071A4 (en) 1990-09-04 1993-03-10 Ohno Research And Development Laboratories Co., Ltd. Plastic optical member having light diffusing layer on surface, and light quantity control member
US5245454A (en) * 1991-12-31 1993-09-14 At&T Bell Laboratories Lcd display with microtextured back reflector and method for making same
JP4292596B2 (en) * 1998-06-19 2009-07-08 ソニー株式会社 Diffuse reflector, manufacturing method thereof and display device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9099415B2 (en) 2012-03-02 2015-08-04 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device
WO2023229398A1 (en) * 2022-05-25 2023-11-30 한국기계연구원 Large-area transparent reflective panel using nanoclusters and method for manufacturing same

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