KR20050013378A - Method and apparatus for wafer transaction - Google Patents

Method and apparatus for wafer transaction

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KR20050013378A
KR20050013378A KR1020030052005A KR20030052005A KR20050013378A KR 20050013378 A KR20050013378 A KR 20050013378A KR 1020030052005 A KR1020030052005 A KR 1020030052005A KR 20030052005 A KR20030052005 A KR 20030052005A KR 20050013378 A KR20050013378 A KR 20050013378A
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Abstract

PURPOSE: A method and an apparatus for transacting a wafer are provided to select a wafer to be exchanged according to objective information. CONSTITUTION: An apparatus(100) for transacting a wafer comprises an unloading unit(120) and a carrier exchanging unit(140). The wafer finished an appropriate process is received to a carrier(C) by the unloading unit. Before reception, a worn-out one among carriers placed on the unloading unit is selected and exchanged with a new carrier by the carrier exchanging unit formed adjacent to the unloading unit. The carrier exchanging unit includes a judge unit, a storage unit(148), input port(149b) and a first transfer robot(146).

Description

기판 처리 장치 및 그 방법{METHOD AND APPARATUS FOR WAFER TRANSACTION}Substrate processing apparatus and its method {METHOD AND APPARATUS FOR WAFER TRANSACTION}

본 발명은 반도체 웨이퍼와 같은 기판을 처리하는 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 기판들의 공정 처리를 실시하는 동안 캐리어의 노후(손상) 유무에 따라 새것으로 교체해주는 캐리어 교체 시스템을 갖는 기판 처리 장치 및 그 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for processing a substrate, such as a semiconductor wafer, and more particularly, to a substrate processing apparatus having a carrier replacement system for replacing a new one according to the presence or absence of damage to a carrier during processing of the substrates. And to a method thereof.

반도체 제조 공정에서는 실리콘 웨이퍼들을 이동 및 보관하는데 캐리어가 사용된다. 이 캐리어는 장기간 반복 사용하다보면 노후되거나, 내부에 파티클이나 화학적인 오염물질등에 의해 오염되거나 또는 손상(파손)되는 경우가 발생된다. 이렇게 노후되거나 손상된 캐리어는 작업자의 수작업을 통해 새 캐리어로 교환된다.In semiconductor manufacturing processes, carriers are used to move and store silicon wafers. If the carrier is repeatedly used for a long time, it may be aged, contaminated or damaged (damaged) by particles or chemical contaminants therein. These aged or damaged carriers are exchanged for new carriers by manual labor.

그러나, 기존의 캐리어 교환 작업은 그 대상 캐리어를 별도의 교환 장소로 이동해야 하고, 그 대상 캐리어에 담겨진 기판들을 새 캐리어로 인계해야 하는 불편함이 있었다.However, the existing carrier exchange operation has to be inconvenient to move the target carrier to a separate exchange site, and take over the substrates contained in the target carrier to a new carrier.

특히, 그 대상 캐리어의 선별 작업은 사용자가 육안에 의존하여 캐리어의 교체 시기 및 세정 시기를 판단 선별하고 있다.In particular, in the sorting operation of the target carrier, the user judges and selects the replacement time and the cleaning time of the carrier depending on the naked eye.

따라서, 작업자가 시각적으로 사용 기간 및 사용 횟수 등의 노후 정도를 정확하게 체크한다는 것은 현실적으로 대단히 곤란하다.Therefore, it is practically very difficult for the operator to visually check the aging degree such as the period of use and the number of times of use.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 기판의 공정이 진행되는 동안 교체가 필요한 캐리어를 선별하여 캐리어의 교체가 이루어지는 기판 처리 장치 및 방법을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a conventional problem, and an object thereof is to provide a substrate processing apparatus and a method in which a carrier is replaced by selecting a carrier that needs to be replaced while the substrate is being processed.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 세정 처리 장치의 개략구조를 보여주는 구성도이다.1 is a block diagram showing a schematic structure of a cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3은 캐리어 교체부의 구성을 보여주는 사시도 및 평면도이다.2 and 3 are a perspective view and a plan view showing the configuration of the carrier replacement.

도 4는 본 발명에서 캐리어 교체부의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.4 is a block diagram for explaining the configuration of the carrier replacement unit in the present invention.

이다.to be.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

110 : 로딩부110: loading unit

114 : 오프너114: opener

120 : 언로딩부120: unloading unit

124 : 오프너124: Opener

130 : 세정 처리부130: cleaning treatment unit

140 : 캐리어 교체부140: carrier replacement

142 : 리더기142: Reader

144 : 제어부144: control unit

146 : 반송 로봇146: transfer robot

148 : 보관부148: storage

상기 기술적 과제들을 이루기 위하여 본 발명의 기판 처리 장치는 캐리어에 대해서 공정 처리를 마친 기판들의 수납이 이루어지는 언로딩부; 상기 언로딩부와 인접하게 배치되는 그리고 상기 언로딩부에 놓여진 캐리어를 선별하여 기판들이 반입되기 전에 선별된 대상 캐리어를 새 캐리어로 교체해주는 캐리어 교체부를 포함한다.In order to achieve the above technical problem, the substrate processing apparatus of the present invention includes an unloading unit in which substrates which have been processed in a carrier are received; And a carrier replacement unit arranged adjacent to the unloading unit and replacing the carrier placed on the unloading unit to replace the selected target carrier with a new carrier before the substrates are loaded.

본 발명에서 상기 캐리어 교체부는 상기 언로딩부에 놓여진 캐리어를 선별하기 위한 판단부; 상기 새 캐리어들이 보관되는 보관부; 상기 보관부로 새 캐리어가 반입되는 인풋포트; 상기 언로딩부와 상기 보관부 그리고 상기 인풋포트 간의 캐리어 반송을 위한 반송로봇을 포함한다.In the present invention, the carrier replacement unit for determining the carrier placed in the unloading unit; A storage unit for storing the new carriers; An input port into which the new carrier is carried into the storage unit; And a carrier robot for carrier transport between the unloading unit, the storage unit, and the input port.

본 발명에서 상기 캐리어 교체부는 상기 인풋 포트와 나란히 배치되는 그리고 새 캐리어와 교체된 그 대상 캐리어가 외부로 반출되는 아웃풋 포트를 더 포함한다.In the present invention, the carrier replacement portion further includes an output port disposed side by side with the input port and the target carrier replaced with a new carrier is carried out.

본 발명에서 상기 언로딩부는 상기 캐리어의 도어를 개폐하는 그리고 기판의 수납이 이루어지는 오프너와; 상기 오프너에서 기판 수납이 완료된 캐리어를 반송하는 반송부; 상기 반송부를 통해 반송된 캐리어가 외부로 반출되는 언로딩 포트를 포함한다.In the present invention, the unloading unit and the opener for opening and closing the door of the carrier and the storage of the substrate; A conveyer which conveys a carrier on which substrate storage is completed in the opener; And an unloading port through which the carrier conveyed through the conveying unit is carried out.

본 발명에서 상기 캐리어에는 RF ID 카드가 설치되어 있고, 상기 판단부는 상기 오프너에 설치되어 상기 캐리어에 설치된 RF ID를 읽는 리더기와; 상기 리더기로부터 정보를 입력받아 상기 캐리어의 노후 정도를 판단하는 제어부를 포함한다.In the present invention, the carrier is provided with an RF ID card, the determination unit is installed in the opener and the reader for reading the RF ID installed in the carrier; It includes a control unit for receiving information from the reader to determine the degree of deterioration of the carrier.

본 발명에 따른 기판 처리 장치는 캐리어로부터 기판들이 인출되는 로딩부; 상기 캐리어로부터 인출된 기판들이 세정되는 세정 처리부; 상기 세정 처리부에서 세정을 마친 기판들이 캐리어에 수납되는 언로딩부를 포함하되; 상기 언로딩부는 상기 언로딩부에 놓여진 캐리어의 노후상태를 검사하여, 기판들이 수납되기 전에 그 대상 캐리어를 새 캐리어로 교체해주는 캐리어 교체부를 포함한다.Substrate processing apparatus according to the present invention includes a loading unit for extracting the substrate from the carrier; A cleaning processing unit for cleaning the substrates drawn from the carrier; Comprising: the unloading unit for receiving the substrates cleaned in the cleaning processing unit in the carrier; The unloading unit includes a carrier replacement unit that inspects an old state of the carrier placed in the unloading unit and replaces the target carrier with a new carrier before the substrates are stored.

본 발명에서 상기 캐리어 교체부는 상기 언로딩부에 놓여진 캐리어의 ID를 읽기 위한 리더기와; 상기 리더기에 의해 읽혀진 정보를 비교하여 교체 대상 캐리어를 선별하는 제어부; 상기 새 캐리어들이 보관되는 보관부; 상기 보관부로 새 캐리어가 반입되는 인풋포트; 상기 교체 대상 캐리어가 반출되는 아웃풋포트; 상기 언로딩부와 상기 보관부 그리고 상기 포트들 간의 캐리어 반송을 위한 반송로봇을 포함한다.In the present invention, the carrier replacement unit is a reader for reading the ID of the carrier placed in the unloading unit; A control unit for selecting a carrier to be replaced by comparing the information read by the reader; A storage unit for storing the new carriers; An input port into which the new carrier is carried into the storage unit; An output port through which the replacement target carrier is carried out; And a carrier robot for carrier transport between the unloading unit, the storage unit, and the ports.

본 발명에서 상기 언로딩부는 상기 캐리어의 도어를 개폐하는 그리고 기판의 수납이 이루어지는 오프너와; 상기 오프너에서 기판 수납이 완료된 캐리어를 반송하는 반송 로봇; 상기 반송로봇에 의해 반송된 캐리어가 외부로 반출되는 언로딩 포트를 포함한다.In the present invention, the unloading unit and the opener for opening and closing the door of the carrier and the storage of the substrate; A transport robot for transporting a carrier on which substrate storage is completed in the opener; And an unloading port through which the carrier carried by the carrier robot is carried out.

본 발명에 따른 기판 처리 방법은 캐리어로부터 기판들을 인출하는 단계; 상기 기판들을 공정 처리하는 단계; 상기 공정을 마친 기판들을 상기 캐리어에 수납하는 단계를 포함하되; 상기 기판 수납 단계는 상기 캐리어의 노후상태를 검사하여, 기판들이 수납되기 전에 그 대상 캐리어를 새 캐리어로 교체해주는 캐리어 교체단계를 더 포함한다.The substrate processing method according to the present invention comprises the steps of: withdrawing substrates from a carrier; Processing the substrates; Storing the completed substrates in the carrier; The substrate accommodating step may further include a carrier replacement step of inspecting an old state of the carrier and replacing the target carrier with a new carrier before the substrates are accommodated.

본 발명에 따른 상기 캐리어 교체 단계는 상기 캐리어의 정보를 읽어 그 노후 정도를 판단하는 단계; 상기 캐리어가 노후된 경우에는 새 캐리어로 교체하는 단계; 상기 기판들을 새 캐리어에 수납하는 단계를 포함한다.The carrier replacement step according to the present invention comprises the steps of reading the information of the carrier to determine the degree of aging; If the carrier is old, replacing it with a new carrier; Accommodating the substrates into a new carrier.

본 발명에서 상기 캐리어 교체 단계는 상기 노후된 캐리어를 외부로 반출하는 단계와, 상기 노후된 캐리어의 정보를 새 캐리어에 입력하는 단계를 더 포함한다.In the present invention, the step of replacing the carrier further includes the step of taking out the aged carrier to the outside, and inputting the information of the aged carrier to a new carrier.

예컨대, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.For example, the embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. These examples are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of the elements in the drawings and the like are exaggerated to emphasize a clearer description.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면 도 1 내지 도 4에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 병기한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 4. In addition, in the drawings, the same reference numerals are denoted together for components that perform the same function.

본 발명은 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 세정 처리 장치의 개략구조를 보여주는 구성도이다.1 is a block diagram showing a schematic structure of a cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3은 캐리어 교체부의 구성을 보여주는 사시도 및 평면도이다.2 and 3 are a perspective view and a plan view showing the configuration of the carrier replacement.

도 1을 참조하면, 본 발명의 세정 처리 장치(100)는 캐리어가 반입되는 로딩부(110)와, 캐리어가 반출되는 언로딩부(120), 기판들의 세정과 건조가 이루어지는 세정 처리부(130) 그리고 노후된 캐리어를 교체하는 캐리어 교체부(140)로 구성되어 있다. 도시하지는 않았지만, 상기 로딩부와 상기 언로딩부에는 캐리어를 반입포트 또는 반출포트에서 오프너(114,124)로 반송하기 위한 반송 장치(118,128)가 구비되어 있다.Referring to FIG. 1, the cleaning processing apparatus 100 according to the present invention includes a loading unit 110 into which a carrier is loaded, an unloading unit 120 from which a carrier is carried out, and a cleaning processing unit 130 to clean and dry substrates. And it is composed of a carrier replacement unit 140 for replacing the old carrier. Although not shown, the loading section and the unloading section are provided with conveying devices 118 and 128 for conveying carriers to the openers 114 and 124 from the loading port or the export port.

기판들이 담겨진 캐리어(C)는 자동반송장치(AGV(Automated Guided Vehicle)나 RGV(Rail Guided Vehicle)등에 의해 상기 로딩부(110)의 반입포트(112)에 놓여진다. 상기 반입포트(112)에 놓여진 캐리어(C)는 오프너(114)로 반송된다. 상기 오프너(114)는 캐리어의 도어를 개폐하기 위한 구성이다.The carrier C containing the substrates is placed in the loading port 112 of the loading unit 110 by an automated conveying apparatus (AGV (Automated Guided Vehicle), RGV (Rail Guided Vehicle), etc.) to the loading port 112 The placed carrier C is conveyed to the opener 114. The opener 114 is configured to open and close the door of the carrier.

상기 캐리어(C)에는 25매의 기판(W)이 하나씩 캐리어(C) 내에 수평하게 수납된다. 예컨대, 상기 캐리어(C)는 기판을 수평한 상태로 수납, 운반 및 보관하는 차세대의 기판 수납 지그인 프론트 오픈 유니파이드 포드(Front Open Unified Pod: FOUP)일 수 있다. 상기 캐리어에는 RF ID 카드가 설치되어 있다.In the carrier C, 25 substrates W are stored horizontally in the carrier C one by one. For example, the carrier C may be a front open unified pod (FOUP), which is a next-generation substrate storage jig for storing, transporting, and storing the substrate in a horizontal state. The carrier is provided with an RF ID card.

상기 캐리어(C)는 상기 오프너(114)에 의해 도어가 개방되고, 기판들은 상기 세정 처리부(130)의 기판인출로봇(132)에 의해 캐리어로부터 인출된다. 인출된 기판들은 상기 세정 처리부(130)의 각 베스(134)들을 거치면서 약품 세정, 린스 세정 그리고 건조 과정 등을 거치게 된다.The door of the carrier C is opened by the opener 114, and the substrates are extracted from the carrier by the substrate extraction robot 132 of the cleaning processing unit 130. The withdrawn substrates undergo chemical cleaning, rinse cleaning, and drying while passing through the baths 134 of the cleaning processing unit 130.

세정이 완료된 기판들은 기판수납장치(136)에 의해 상기 언로딩부(120)의 오프너(124)에서 대기하는 캐리어(C)에 수납된다. 한편, 상기 캐리어(C)는 상기 로딩부(110)의 오프너(114)에서 기판들이 인출된 직 후, 상기 언로딩부(120)의 반출포트(122)로 반송된다.The cleaned substrates are stored in the carrier C waiting at the opener 124 of the unloading unit 120 by the substrate storage device 136. On the other hand, the carrier C is conveyed to the carrying out port 122 of the unloading unit 120 immediately after the substrates are drawn out from the opener 114 of the loading unit 110.

상기 캐리어 교체부(140)는 상기 언로딩부(120)와 인접하게 배치된다.The carrier replacement part 140 is disposed adjacent to the unloading part 120.

상기 캐리어 교체부(140)는 노후된 캐리어를 새 캐리어로 교체해 주기 위한 곳으로, 상기 언로딩부의 오프너(124)에서 기판 수납을 위해 대기중인 캐리어(C)를 대상으로 교체 작업을 실시한다.The carrier replacement unit 140 is a place for replacing the old carrier with a new carrier, and performs the replacement operation on the carrier C waiting for the substrate storage in the opener 124 of the unloading unit.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 캐리어 교체부(140)는 상기 언로딩부(120)의 오프너(124)에 놓여진 캐리어의 RF ID 카드를 읽기 위한 리더기(142)를 갖는다. 이 리더기(142)는 상기 오프너(124)에 설치되며, 상기 캐리어의 정보를 읽어 제어부(144)로 제공한다. 상기 제어부(144)에서는 상기 리더기로부터 제공된 정보를 가지고 상기 캐리어의 사용 기간, 사용 횟수 등을 체크하여, 캐리어의 노후 상태를 판단한다.2 to 4, the carrier replacement unit 140 has a reader 142 for reading the RF ID card of the carrier placed on the opener 124 of the unloading unit 120. The reader 142 is installed in the opener 124 and reads the information of the carrier and provides it to the controller 144. The controller 144 checks the period of use, the number of times of use, etc. of the carrier with the information provided from the reader to determine the deterioration state of the carrier.

상기 캐리어(C)가 노후되어 교체해야 할 경우, 캐리어 교체 작업을 수행한다. 이 교체 작업은, 반송 로봇(146)이 언로딩부(120)의 오프너(124)에 놓여진 캐리어(C)를 아웃풋 포트(149a)로 옮기고, 보관부(148)에 보관중인 새 캐리어를 언로딩부의 오프너(124)로 옮겨 놓는다. 그리고 새 캐리어의 RF ID 카드에는 노후된 캐리어에 담겨 있던 정보를 입력시켜 놓는다. 상기 보관부(148)의 비어있는 거치대에는 상기 캐리어 교체부(140)의 인풋 포트(149b)를 통해 반입되는 새 캐리어가 상기 반송 로봇(146)에 의해 옮겨진다.When the carrier C is old and needs to be replaced, a carrier replacement is performed. In this replacement operation, the carrier robot 146 moves the carrier C placed on the opener 124 of the unloading unit 120 to the output port 149a, and unloads the new carrier stored in the storage unit 148. Move to negative opener 124. The new carrier's RF ID card is filled with information contained in the old carrier. In the empty holder of the storage unit 148, a new carrier carried through the input port 149b of the carrier replacement unit 140 is moved by the transfer robot 146.

이처럼, 본 기판 세정 장치(100)는 기판을 수납하기 위해 대기중인 캐리어를 대상으로 노후 정도에 따라 새 캐리어로 교체해주기 때문에, 캐리어 교체에 따른 시간적 로스가 전혀 발생되지 않는다. 특히, 캐리어의 사용 정보를 읽어서 대상 캐리어의 사용 기간이나 횟수 등을 객관적으로 판단하여 그 노후 정도를 판단하기 때문에 보다 정확한 대상물 선정이 가능하다.As such, since the substrate cleaning apparatus 100 replaces a carrier waiting for accommodating the substrate with a new carrier according to the degree of aging, no temporal loss due to the carrier replacement is generated. In particular, since the usage information of the carrier is read to objectively determine the use period or the number of times of the target carrier and the degree of aging is determined, more accurate object selection is possible.

상기 캐리어 교체부는 이러한 기판 세정 장치뿐만 아니라, 다른 제조 장치에도 쉽게 적용이 가능하다.The carrier replacement can be easily applied to other manufacturing apparatuses as well as such substrate cleaning apparatus.

여기서, 상기 기판은 포토레티클(reticlo: 회로 원판)용 기판, 액정 디스플레이 패널용 기판이나 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 등의 표시 패널 기판, 하드 디스크용 기판, 반도체 장치 등의 전자 디바이스용 웨이퍼 등을 뜻한다.Herein, the substrate refers to a substrate for a photo reticle, a display panel substrate such as a substrate for a liquid crystal display panel or a substrate for a plasma display panel, a substrate for a hard disk, a wafer for an electronic device such as a semiconductor device, and the like. .

한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 기판 세정 장치는 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 하지만, 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.On the other hand, the present invention can be variously modified substrate cleaning apparatus consisting of the above configuration and may take various forms. It is to be understood, however, that the present invention is not limited to the specific forms referred to in the above description, but rather includes all modifications, equivalents and substitutions within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It should be understood to do.

이상에서, 본 발명에 따른 기판 세정 장치 및 방법의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the configuration and operation of the substrate cleaning apparatus and method according to the present invention have been shown in accordance with the above description and drawings, which are merely described for example, and various changes and modifications may be made without departing from the technical spirit of the present invention. Of course it is possible.

이와 같은 본 발명을 적용하면, 캐리어의 노후 상태를 객관적인 정보를 가지고 판단하여 교체하기 때문에 보다 정확한 교체 대상물(캐리어) 선정이 가능하다. 특히, 언로딩부에서 기판 수납을 위해 대기중인 캐리어를 대상으로 교체 작업을 실시하기 때문에 캐리어 교체에 따른 로스를 최대한 줄일 수 있다.Applying the present invention as described above, it is possible to more accurately select the replacement object (carrier) because the old state of the carrier is determined and replaced with objective information. In particular, since the unloading unit performs a replacement operation on a carrier waiting to receive a substrate, the loss due to carrier replacement can be reduced as much as possible.

Claims (12)

기판 처리 장치에 있어서:In the substrate processing apparatus: 캐리어에 대해서 공정 처리를 마친 기판들의 수납이 이루어지는 언로딩부;An unloading unit configured to receive substrates which have been processed in the carrier; 상기 언로딩부와 인접하게 배치되는 그리고 상기 언로딩부에 놓여진 캐리어를 선별하여 기판들이 반입되기 전에 선별된 대상 캐리어를 새 캐리어로 교체해주는 캐리어 교체부를 포함하는 것을 특징을 하는 기판 처리 장치.And a carrier replacement part arranged to be adjacent to the unloading part and to select a carrier placed in the unloading part to replace the selected object carrier with a new carrier before the substrates are loaded. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 캐리어 교체부는The carrier replacement portion 상기 언로딩부에 놓여진 캐리어를 선별하기 위한 판단부;A determination unit for selecting a carrier placed on the unloading unit; 상기 새 캐리어들이 보관되는 보관부;A storage unit for storing the new carriers; 상기 보관부로 새 캐리어가 반입되는 인풋포트;An input port into which the new carrier is carried into the storage unit; 상기 언로딩부와 상기 보관부 그리고 상기 인풋포트 간의 캐리어 반송을 위한 제1반송로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.And a first transport robot for transporting a carrier between the unloading unit, the storage unit, and the input port. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 캐리어 교체부는The carrier replacement portion 상기 인풋 포트와 나란히 배치되는 그리고 새 캐리어와 교체된 그 대상 캐리어가 외부로 반출되는 아웃풋 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.And an output port disposed side by side with the input port and whose target carrier replaced with a new carrier is carried out. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 언로딩부는The unloading unit 상기 캐리어의 도어를 개폐하는 그리고 기판의 수납이 이루어지는 오프너와;An opener for opening and closing the door of the carrier and for storing the substrate; 상기 오프너에서 기판 수납이 완료된 캐리어를 반송하는 제2 반송 로봇;A second transfer robot for transporting a carrier on which substrate storage is completed in the opener; 상기 제 2 반송로봇에 의해 반송된 캐리어가 외부로 반출되는 언로딩 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.And an unloading port through which the carrier carried by the second transfer robot is carried out. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 캐리어에는 RF ID 카드가 설치되어 있고,The carrier is provided with an RF ID card, 상기 판단부는 상기 오프너에 설치되어 상기 캐리어에 설치된 RF ID를 읽는 리더기와;A determination unit installed in the opener and reading an RF ID installed in the carrier; 상기 리더기로부터 정보를 입력받아 상기 캐리어의 노후 정도를 판단하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.And a controller configured to receive information from the reader and determine the degree of deterioration of the carrier. 기판 처리 장치에 있어서:In the substrate processing apparatus: 캐리어로부터 기판들이 인출되는 로딩부;A loading unit through which substrates are withdrawn from a carrier; 상기 캐리어로부터 인출된 기판들이 세정되는 세정 처리부;A cleaning processing unit for cleaning the substrates drawn from the carrier; 상기 세정 처리부에서 세정을 마친 기판들이 캐리어에 수납되는 언로딩부를포함하되;Comprising: the unloading unit for receiving the substrates cleaned in the cleaning processing unit in the carrier; 상기 언로딩부는 상기 언로딩부에 놓여진 캐리어의 노후상태를 검사하여, 기판들이 수납되기 전에 그 대상 캐리어를 새 캐리어로 교체해주는 캐리어 교체부를 포함하는 것을 특징을 하는 기판 처리 장치.And the unloading unit includes a carrier replacement unit that inspects an old state of the carrier placed in the unloading unit and replaces the target carrier with a new carrier before the substrates are stored. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 캐리어 교체부는The carrier replacement portion 상기 언로딩부에 놓여진 캐리어의 ID를 읽기 위한 리더기와;A reader for reading an ID of a carrier placed in the unloading unit; 상기 리더기에 의해 읽혀진 정보를 비교하여 교체 대상 캐리어를 선별하는 제어부;A control unit for selecting a carrier to be replaced by comparing the information read by the reader; 상기 새 캐리어들이 보관되는 보관부;A storage unit for storing the new carriers; 상기 보관부로 새 캐리어가 반입되는 인풋포트;An input port into which the new carrier is carried into the storage unit; 상기 교체 대상 캐리어가 반출되는 아웃풋포트;An output port through which the replacement target carrier is carried out; 상기 언로딩부와 상기 보관부 그리고 상기 포트들 간의 캐리어 반송을 위한 제1반송로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.And a first transport robot for transporting the carrier between the unloading unit, the storage unit, and the ports. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 언로딩부는The unloading unit 상기 캐리어의 도어를 개폐하는 그리고 기판의 수납이 이루어지는 오프너와;An opener for opening and closing the door of the carrier and for storing the substrate; 상기 오프너에서 기판 수납이 완료된 캐리어를 반송하는 제2반송 로봇;A second transport robot for transporting a carrier on which substrate storage is completed in the opener; 상기 제2반송로봇에 의해 반송된 캐리어가 외부로 반출되는 언로딩 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.And an unloading port through which the carrier carried by the second transport robot is carried out. 기판 처리 방법에 있어서:In the substrate processing method: 캐리어로부터 기판들을 인출하는 단계;Withdrawing substrates from a carrier; 상기 기판들을 공정 처리하는 단계;Processing the substrates; 상기 공정을 마친 기판들을 상기 캐리어에 수납하는 단계를 포함하되;Storing the completed substrates in the carrier; 상기 기판 수납 단계는The substrate receiving step 상기 캐리어의 노후상태를 검사하여, 기판들이 수납되기 전에 그 대상 캐리어를 새 캐리어로 교체해주는 캐리어 교체단계를 더 포함하는 것을 특징을 하는 기판 처리 방법.And a carrier replacement step of inspecting the old state of the carrier and replacing the target carrier with a new carrier before the substrates are received. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 캐리어 교체 단계는The carrier replacement step 상기 캐리어의 정보를 읽어 그 노후 정도를 판단하는 단계;Reading information of the carrier to determine the degree of aging; 상기 캐리어가 노후된 경우에는 새 캐리어로 교체하는 단계;If the carrier is old, replacing it with a new carrier; 상기 기판들을 새 캐리어에 수납하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.Receiving the substrates in a new carrier. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 캐리어 교체 단계는The carrier replacement step 상기 노후된 캐리어를 외부로 반출하는 단계를 더 포함하는 것을 기판 처리 방법.And removing the aged carrier to the outside. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 캐리어 교체 단계는The carrier replacement step 상기 노후된 캐리어의 정보를 새 캐리어에 입력하는 단계를 더 포함하는 것을 기판 처리 방법.And inputting information of the old carrier into a new carrier.
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