KR20050011207A - Wafer carrier loader of electromagnetic type - Google Patents

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KR20050011207A KR1020030050205A KR20030050205A KR20050011207A KR 20050011207 A KR20050011207 A KR 20050011207A KR 1020030050205 A KR1020030050205 A KR 1020030050205A KR 20030050205 A KR20030050205 A KR 20030050205A KR 20050011207 A KR20050011207 A KR 20050011207A
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Abstract

PURPOSE: A wafer carrier transfer apparatus is provided to prevent the deviation of a wafer carrier or the damage of a wafer by fixing stably the wafer carrier on a transfer table using an electromagnet. CONSTITUTION: A wafer carrier transfer apparatus(100) includes a transfer table, a transfer arm and an electromagnet. The transfer table(60) loads a wafer carrier(80) with paramagnetic material plates(82). The transfer arm(70) is installed under the transfer table to move the transfer table. The electromagnet(62) is installed on the transfer table corresponding to the paramagnetic material plates to fix stably the wafer carrier on the transfer table.

Description

전자석식 웨이퍼 캐리어 이송 장치{Wafer carrier loader of electromagnetic type}Wafer carrier loader of electromagnetic type

본 발명은 웨이퍼 캐리어 이송 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전자석을 이용하여 웨이퍼 캐리어를 안정적으로 이송할 수 있는 웨이퍼 캐리어 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer carrier transfer device, and more particularly, to a wafer carrier transfer device capable of stably transferring a wafer carrier using an electromagnet.

반도체 설비 중 종형 반도체 제조 장치 예컨대, 화학적 기상 증착 장치는 챔버 내에 다수개의 웨이퍼가 적재된 보트가 투입되어 단위 공정이 진행된다. 단위 공정이 완료된 이후에 보트는 적재된 웨이퍼는 언로딩하고 새로운 웨이퍼를 보트로 로딩하기 위해서, 단위 공정을 진행할 웨이퍼가 종형으로 적재된 웨이퍼 캐리어가 챔버의 랙(rack)단으로 이송된다.In the vertical semiconductor manufacturing apparatus, for example, a chemical vapor deposition apparatus, a boat in which a plurality of wafers are loaded is introduced into a chamber, and a unit process is performed. After the unit process is completed, the boat unloads the loaded wafer and loads a new wafer into the boat, so that a wafer carrier vertically loaded with the wafer to be processed is transferred to the rack end of the chamber.

그리고 랙단으로의 웨이퍼 캐리어의 이송은, 도 1에 도시된 바와 같은, 웨이퍼 캐리어 이송 장치(50)가 담당한다. 웨이퍼 캐리어 이송 장치(50)는 웨이퍼 캐리어(30)가 탑재되는 이송 테이블(10)과, 이송 테이블(10)에 연결되어 이송 테이블(10) 위에 탑재된 웨이퍼 캐리어(30)를 소정의 위치로 이송하는 이송 암(20)을 포함한다. 웨이퍼 캐리어(30)로는 25장의 웨이퍼(40)를 적재할 수 있는 웨이퍼 캐리어가 일반적으로 사용된다.The wafer carrier transfer device 50 as shown in FIG. 1 is responsible for the transfer of the wafer carrier to the rack end. The wafer carrier transfer device 50 transfers the transfer table 10 on which the wafer carrier 30 is mounted and the wafer carrier 30 connected to the transfer table 10 and mounted on the transfer table 10 to a predetermined position. It includes a transfer arm 20 to. As the wafer carrier 30, a wafer carrier capable of loading 25 wafers 40 is generally used.

그런데 종래에는 웨이퍼 캐리어가 이송 테이블 위에 탑재된 상태로 이송되기 때문에, 이송 과정에서 발생될 수 있는 진동이나 급제동과 같이 이송 테이블의 흔들림이 발생된 경우, 그 흔들림이 그대로 웨이퍼 캐리어에 전달되어 웨이퍼 캐리어에서 웨이퍼가 이탈하거나 웨이퍼 캐리어 자체가 이탈하여 웨이퍼 캐리어에 적재된 웨이퍼가 파손될 수 있다.However, in the related art, since the wafer carrier is transported while mounted on the transport table, when a shake of the transport table occurs, such as vibration or sudden braking that may occur during the transport process, the shake is transferred to the wafer carrier as it is and is transferred from the wafer carrier. The wafer loaded on the wafer carrier may break due to the wafer leaving or the wafer carrier itself leaving.

따라서, 본 발명의 목적은 웨이퍼 캐리어를 이송 테이블에 안정적으로 고정하여 이송 과정에서 발생되는 진동이나 급제동과 같은 흔들림에 의한 이송 테이블에서 웨이퍼 캐리어가 이탈하거나 웨이퍼 캐리어에 적재된 웨이퍼가 파손되는 것을 방지할 수 있도록 하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to stably fix the wafer carrier to the transfer table to prevent the wafer carrier from being detached from the transfer table due to shaking such as vibration or sudden braking generated during the transfer process or breaking the wafer loaded on the wafer carrier. There is to help.

도 1은 종래의 웨이퍼 캐리어 이송 장치를 보여주는 도면이다.1 is a view showing a conventional wafer carrier transfer device.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 전자석식 웨이퍼 캐리어 이송 장치를 보여주는 평면도이다.2 is a plan view showing an electromagnetic wafer carrier transfer device according to an embodiment of the present invention.

도 3은 상자성체판이 부착된 웨이퍼 캐리어를 보여주는 저면 평면도이다.3 is a bottom plan view showing a wafer carrier with a paramagnetic plate attached thereto;

도 4는 도 2의 웨이퍼 캐리어 이송 장치에 도 3의 웨이퍼 캐리어가 탑재된 상태를 보여주는 도면이다.4 is a view illustrating a state in which the wafer carrier of FIG. 3 is mounted on the wafer carrier transporting apparatus of FIG. 2.

* 도면의 주요 부분에 대한 설명 *Description of the main parts of the drawing

10, 60 : 이송 테이블 20, 70 : 이송 암10, 60: transfer table 20, 70: transfer arm

30, 80 : 웨이퍼 캐리어 40, 90 : 웨이퍼30, 80: wafer carrier 40, 90: wafer

50, 100 : 웨이퍼 캐리어 이송 장치 62 : 전자석50, 100: wafer carrier transfer device 62: electromagnet

64 : 센서 82 : 상자성체판64 sensor 82 paramagnetic plate

상기 목적을 달성하기 위하여, 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 캐리어를 이송하는 웨이퍼 캐리어 이송 장치로서, 하부면에 상자성체판이 부착된 웨이퍼 캐리어가 탑재되는 이송 테이블과; 이송 테이블의 하부면에 설치되어 이송 테이블을 이동시키는 이송 암;을 포함하며,In order to achieve the above object, a wafer carrier transfer device for transferring a wafer carrier loaded with a wafer, comprising: a transfer table on which a wafer carrier having a paramagnetic plate attached thereto is mounted; And a transfer arm installed on the lower surface of the transfer table to move the transfer table.

상기 이송 테이블의 상부면에 탑재된 상기 웨이퍼 캐리어를 고정할 수 있도록, 상기 웨이퍼 캐리어가 탑재되는 상기 이송 테이블의 상부면에 설치된 전자석이 설치된 것을 특징으로 하는 전자석식 웨이퍼 캐리어 이송 장치를 제공한다.An electromagnet wafer carrier transfer apparatus is provided, wherein an electromagnet is installed on an upper surface of the transfer table on which the wafer carrier is mounted so as to fix the wafer carrier mounted on an upper surface of the transfer table.

본 발명에 따른 전자석은 이송 테이블에 탑재될 웨이퍼 캐리어의 상자성체판에 대응되는 이송 테이블의 상부면에 설치된다.The electromagnet according to the present invention is installed on the upper surface of the transfer table corresponding to the paramagnetic plate of the wafer carrier to be mounted on the transfer table.

그리고 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 이송 장치는, 이송 테이블의 상부면에 에이퍼 캐리어의 탑재 유무를 감지하여 전자석을 작동시키는 센서를 더 포함한다.In addition, the wafer carrier transfer apparatus according to the present invention further includes a sensor for detecting the presence of the aper carrier on the upper surface of the transfer table to operate the electromagnet.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 전자석식 웨이퍼 캐리어 이송 장치(100)를 보여주는 평면도이다. 도 3은 상자성체판(82)이 부착된 웨이퍼 캐리어(80)를 보여주는 저면 평면도이다. 그리고 도 4는 도 2의 웨이퍼 캐리어 이송 장치(100)에 도3의 웨이퍼 캐리어(80)가 탑재된 상태를 보여주는 도면이다.2 is a plan view showing an electromagnet wafer carrier transfer device 100 according to an embodiment of the present invention. 3 is a bottom plan view showing the wafer carrier 80 with the paramagnetic plate 82 attached thereto. 4 is a view illustrating a state in which the wafer carrier 80 of FIG. 3 is mounted on the wafer carrier transfer device 100 of FIG. 2.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어 이송 장치(100)는 웨이퍼 캐리어(80)가 탑재되는 이송 테이블(60)과, 이송 테이블(60)의 하부면에 연결 설치되어 이송 테이블(60)을 이동시키는 이송 암(70)을 포함한다.2 to 4, the wafer carrier transfer device 100 according to the embodiment of the present invention is connected to the transfer table 60 on which the wafer carrier 80 is mounted, and to the lower surface of the transfer table 60. And a transfer arm 70 for moving the transfer table 60.

특히, 이송 테이블(60)에 탑재된 웨이퍼 캐리어(80)를 안정적으로 고정시킨 상태에서 이송할 수 있도록 본 발명에서는 이송 테이블(60)에 탑재된 웨이퍼 캐리어(80)를 전자석식으로 고정한다. 즉, 이송 테이블(60)에 탑재되는 웨이퍼 캐리어(80)의 하부면에 상자성체판(82)이 부착되어 있다. 상자성체판(82)으로는 철판이 사용되지만 이에 한정되는 것은 아니다. 상자성체판(82)은 웨이퍼 캐리어(80)의 하부면에서 소정의 높이로 돌출되어 형성된 센서 가압바(84)를 중심으로 양측에 형성하는 것이 바람직하다. 상자성체판(82)의 하부면이 웨이퍼 캐리어(80)의 하부면과 동일면에 위치하도록 웨이퍼 캐리어(80)의 하부면에 부착된다.In particular, in the present invention, the wafer carrier 80 mounted on the transfer table 60 is fixed by electromagnetism so that the wafer carrier 80 mounted on the transfer table 60 can be stably fixed. That is, the paramagnetic plate 82 is attached to the lower surface of the wafer carrier 80 mounted on the transfer table 60. Iron plate is used as the paramagnetic plate 82, but is not limited thereto. The paramagnetic plate 82 is preferably formed on both sides of the sensor pressure bar 84 protruding from the lower surface of the wafer carrier 80 to a predetermined height. The lower surface of the paramagnetic plate 82 is attached to the lower surface of the wafer carrier 80 such that the lower surface of the paramagnetic plate 82 is located on the same surface as the lower surface of the wafer carrier 80.

그리고 웨이퍼 캐리어(80)가 탑재되는 이송 테이블(60)의 상부면에는 전자석(62)이 설치되어 있다. 전자석(62)은 이송 테이블(60)에 탑재될 웨이퍼의 캐리어의 상자성체판(82)에 대응되는 이송 테이블(60)의 상부면에 설치하는 것이 바람직하다.The electromagnet 62 is provided on the upper surface of the transfer table 60 on which the wafer carrier 80 is mounted. The electromagnet 62 is preferably provided on the upper surface of the transfer table 60 corresponding to the paramagnetic plate 82 of the carrier of the wafer to be mounted on the transfer table 60.

한편, 이송 테이블(60)에 웨이퍼 캐리어(80)가 탑재될 때만 전자석(62)이 작동할 수 있도록, 이송 테이블(60)에 웨이퍼 캐리어(80)의 탑재유무를 감지하여 전자석(62)을 작동시키는 전자석 센서(64)가 설치된다. 전자석 센서(64)로는 접촉 센서, 근접 센서가 사용될 수 있으며 이에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예에서는 전자석 센서(64)를 기존의 웨이퍼 캐리어(80)가 이송 테이블에 탑재될 때, 웨이퍼 캐리어의 센서 가압바(84)에 의해 눌려져 웨이퍼 캐리어(80)의 탑재를 인식하는 센서를 이용한다. 그리고 전자석(62)은 전자석 센서(64)를 중심으로 양쪽에 설치된다.On the other hand, the electromagnet 62 is detected by detecting whether the wafer carrier 80 is mounted on the transfer table 60 so that the electromagnet 62 can operate only when the wafer carrier 80 is mounted on the transfer table 60. Electromagnet sensor 64 is installed. As the electromagnet sensor 64, a contact sensor or a proximity sensor may be used, but is not limited thereto. In the embodiment of the present invention, when the electromagnet sensor 64 is mounted on the transfer table, the sensor is pressed by the sensor pressure bar 84 of the wafer carrier to recognize the mounting of the wafer carrier 80. Use And the electromagnet 62 is installed on both sides around the electromagnet sensor 64.

따라서 이송 테이블(60)에 웨이퍼(90)가 적재된 웨이퍼 캐리어(80)가 탑재되면, 전자석 센서(64)는 웨이퍼 캐리어(80)의 이송 테이블(60) 위로의 탑재유무를 감지하여 전자석(62)을 작동시킨다. 전자석(62)의 작동에 의해 이송 테이블(60)의 전자석(62)에 웨이퍼 캐리어의 상자성체판(82)이 부착되기 때문에, 웨이퍼 캐리어 이송 장치(100)의 구동에 따른 웨이퍼 캐리어(80)의 이송 중에 진동이나 순간 정지와 같은 흔들림이 발생되더라도 이송 테이블(60)에서 웨이퍼 캐리어(80)의 이탈을 억제할 수 있다.Therefore, when the wafer carrier 80 on which the wafers 90 are loaded is mounted on the transfer table 60, the electromagnet sensor 64 detects whether the wafer carrier 80 is mounted on the transfer table 60 and the electromagnet 62 )). Since the paramagnetic plate 82 of the wafer carrier is attached to the electromagnet 62 of the transfer table 60 by the operation of the electromagnet 62, the transfer of the wafer carrier 80 due to the driving of the wafer carrier transfer device 100 is performed. Even if vibrations such as vibrations or momentary stops occur during this time, separation of the wafer carrier 80 from the transfer table 60 can be suppressed.

한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.On the other hand, the embodiments of the present invention disclosed in the specification and drawings are merely presented specific examples to aid understanding and are not intended to limit the scope of the present invention. In addition to the embodiments disclosed herein, it is apparent to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention may be implemented.

따라서, 본 발명의 구조를 따르면 웨이퍼 테이블의 전자석에 웨이퍼 캐리어의 상자성체판이 부착되기 때문에, 웨이퍼 캐리어 이송 장치의 구동에 따른 웨이퍼 캐리어의 이송 중에 발생되는 진동이나 순간 정지와 같은 흔들림이 발생되더라도이송 테이블에서 웨이퍼 캐리어의 이탈을 억제할 수 있다.Therefore, according to the structure of the present invention, since the paramagnetic plate of the wafer carrier is attached to the electromagnet of the wafer table, even if vibrations such as vibrations or momentary stops generated during the transfer of the wafer carrier due to the driving of the wafer carrier transfer device occur, The detachment of the wafer carrier can be suppressed.

Claims (3)

웨이퍼가 적재된 웨이퍼 캐리어를 이송하는 웨이퍼 캐리어 이송 장치로서,A wafer carrier transfer device for transferring a wafer carrier loaded with wafers, 하부면에 상자성체판이 부착된 웨이퍼 캐리어가 탑재되는 이송 테이블과;A transfer table on which a wafer carrier having a paramagnetic plate attached to the lower surface is mounted; 이송 테이블의 하부면에 설치되어 이송 테이블을 이동시키는 이송 암;을 포함하며,And a transfer arm installed on the lower surface of the transfer table to move the transfer table. 상기 이송 테이블의 상부면에 탑재된 상기 웨이퍼 캐리어를 고정할 수 있도록, 상기 웨이퍼 캐리어가 탑재되는 상기 이송 테이블의 상부면에 설치된 전자석이 설치된 것을 특징으로 하는 전자석식 웨이퍼 캐리어 이송 장치.And an electromagnet provided on an upper surface of the transfer table on which the wafer carrier is mounted so as to fix the wafer carrier mounted on the upper surface of the transfer table. 제 1항에 있어서, 상기 전자석은 상기 이송 테이블에 탑재될 웨이퍼 캐리어의 상자성체판에 대응되는 상기 이송 테이블의 상부면에 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 이송 장치.The wafer carrier transport apparatus of claim 1, wherein the electromagnet is installed on an upper surface of the transfer table corresponding to a paramagnetic plate of a wafer carrier to be mounted on the transfer table. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 이송 테이블의 상부면에 상기 에이퍼 캐리어의 탑재 유무를 감지하여 상기 전자석을 작동시키는 전자석 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 이송 장치.The wafer carrier transporting apparatus of claim 1, further comprising an electromagnet sensor configured to operate the electromagnet by sensing the presence or absence of the aper carrier on the upper surface of the transport table.
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