KR20050005085A - Organic electroluminescence device and fabricating method thereof - Google Patents

Organic electroluminescence device and fabricating method thereof Download PDF

Info

Publication number
KR20050005085A
KR20050005085A KR1020030044221A KR20030044221A KR20050005085A KR 20050005085 A KR20050005085 A KR 20050005085A KR 1020030044221 A KR1020030044221 A KR 1020030044221A KR 20030044221 A KR20030044221 A KR 20030044221A KR 20050005085 A KR20050005085 A KR 20050005085A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pad electrode
inorganic insulating
insulating film
sealing
layer
Prior art date
Application number
KR1020030044221A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
정성재
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to KR1020030044221A priority Critical patent/KR20050005085A/en
Publication of KR20050005085A publication Critical patent/KR20050005085A/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/17Passive-matrix OLED displays
    • H10K59/179Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/84Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/841Self-supporting sealing arrangements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Abstract

PURPOSE: An organic electroluminescence device and a method are provided to achieve improved adhesive force between a sealant and a substrate by forming an inorganic insulation film on a pad electrode. CONSTITUTION: An organic electroluminescence device comprises a pad electrode(118) for applying voltages to an anode and a cathode; a sealing cap having a sealing surface adhered to a sealing portion(120) formed on a certain part of the pad electrode; and an inorganic insulation film(130) formed on the pad electrode. The inorganic insulation film is made of SiO2.

Description

유기 전계발광소자 및 그의 제조 방법{Organic electroluminescence device and fabricating method thereof}Organic electroluminescent device and its manufacturing method {Organic electroluminescence device and fabricating method

본 발명은 유기 전계발광소자(organic electroluminescence device : OELD, 이하, "유기 EL 소자"라 칭함) 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 패드 전극 상단에 무기 절연막을 추가적으로 형성하여 실링제와 기판의 접착력을 향상시킨 유기 전계발광소자 및 그의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescence device (OELD, hereinafter referred to as an "organic EL device") and a method of manufacturing the same. More specifically, an inorganic insulating film is formed on the pad electrode to form an additional sealing agent and a substrate. The organic electroluminescent device which improved the adhesive force of and its manufacturing method are related.

유기 전계 발광은 유기물(저분자 또는 고분자) 박막에 음극과 양극을 통하여 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 재결합하여 여기자(exition)를 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생되는 현상이다.In organic electroluminescence, electrons and holes injected through a cathode and an anode are recombined to form an exciton in an organic (low molecular or polymer) thin film, and light having a specific wavelength is generated by energy from the excitons formed. This is a phenomenon that occurs.

이러한 현상을 이용한 유기 전계 발광 소자는 하기와 같은 기본적인 구조를 갖고 있다. 유기 EL 소자의 기본적인 구성은, 투명기판과, 상기 투명기판 상부에 스트라이프 형태로 일렬로 배열된 애노드(anode), 셀 영역에 해당하는 간격을 갖는 상태로 분리되어 형성된 절연층, 절연층 상에 형성된 격벽, 유기 전계발광층 및 캐소드(cathode) 전극인 금속 전극층이 증착된 구조로 이루어진다.The organic electroluminescent device using such a phenomenon has the following basic structure. The basic configuration of the organic EL device includes a transparent substrate, an anode arranged in a stripe shape on the transparent substrate, an insulating layer and an insulating layer formed separately from each other with a gap corresponding to a cell region. A barrier rib, an organic electroluminescent layer, and a metal electrode layer, which is a cathode, are deposited.

상기 유기 전계발광층은, 애노드로부터 주입된 정공을 발광층으로 수송하는 정공 수송층; 애노드와 캐소드로부터 공급된 정공과 전자의 재결합이 이루어지면서 발광이 일어나는 영역인 발광층(emitting layer); 및 캐소드로부터 공급되는 전자의 원활한 수송을 위한 전자 수송층이 순차적으로 적층된 구조를 갖는다. 경우에 따라서는 소자 내에 정공 및 전자의 주입이 원활하게 하기 위한 정공 주입층 및 전자 주입층을 더 적층할 수 있다.The organic electroluminescent layer may include a hole transport layer that transports holes injected from an anode to a light emitting layer; An emission layer, which is an area where light emission occurs while recombination of holes and electrons supplied from the anode and the cathode is performed; And a structure in which an electron transport layer for smoothly transporting electrons supplied from the cathode is sequentially stacked. In some cases, a hole injection layer and an electron injection layer may be further stacked in the device to facilitate injection of holes and electrons.

상기 유기 EL 소자를 제조하기 위해, 먼저 인듐 주석 산화물(Indium Tin Oxide: ITO, 이하, "ITO"라 칭함)이 증착된 투명 기판을 사진식각법 (photolithography)을 이용하여 ITO 층을 스트라이프 형태로 패터닝(patterning) 하여 애노드를 제조한다. 그 후, 필요에 따라 패터닝된 ITO층 상에 절연층과 격벽을 사진식각법으로 적층 형성하고, 상기한 유기물층 및 금속 전극층을 순차적으로 전면 증착함으로서 소자의 형성이 완료된다.In order to manufacture the organic EL device, first, the ITO layer is patterned into a stripe shape by photolithography on a transparent substrate on which Indium Tin Oxide (ITO) is deposited. The anode is prepared by patterning. Thereafter, the insulating layer and the partition wall are laminated by photolithography on the patterned ITO layer as needed, and the formation of the device is completed by sequentially depositing the organic material layer and the metal electrode layer sequentially.

상기와 같이 형성된 소자에 있어, 애노드와 캐소드의 교차점이 발광을 위한 하나의 유니트인 화소를 형성하고, 또한 상기 화소에 전압을 인가하기 위해 애노드과 캐소드는 패드(pad) 전극이 연결되어 있다. 따라서, 상기 패드 전극을 통한 시그날로 상기 화소가 각각 적색(R), 녹색(G), 청색(B)을 발광하여 풀칼라를 구현할 수 있다.In the device formed as described above, the intersection of the anode and the cathode forms a pixel which is a unit for emitting light, and the anode and the cathode are connected to a pad electrode to apply a voltage to the pixel. Accordingly, the pixel may emit red (R), green (G), and blue (B) as a signal through the pad electrode, thereby realizing a full color.

유기 EL 소자에서는 패널 내부에 반응성 가스(산소, 수분)가 있으면, 적층된 유기물이나 금속 전극을 산화시키므로, 불활성 가스로 채워져야 하며, 또한 외부의 가스가 투입되는 것을 막아 주어야 하므로 일반적으로 밀봉캡을 부착하게 된다. 도 1에 도시된 바와 같이, 일반적으로 투명 기판(10)의 에지(edge) 부분과 활성 영역(14) 사이에 실링제(sealant)인 에폭시를 노즐을 이용하거나 디스펜싱하여 시일 라인(seal line, 12)을 형성하고, 밀봉캡을 시일 라인(12)이 형성된 기판과 밀착시키고, 360nm 내지 380nm의 UV를 유리 기판 쪽에서 수분 내지 수십분 조사하여 실링제를 경화하여 밀봉캡을 고정시켜 소정의 밀폐 공간을 형성한다. 따라서 상기 실링이 우수해야 이러한 밀폐 공간 내에 위치한 소자는 습기 등과 같은 외부의 환경에 영향을 받지 않을 수 있다.In organic EL devices, if there is a reactive gas (oxygen or moisture) inside the panel, the organic material or the metal electrode laminated is oxidized, and therefore, the sealing cap should be filled with an inert gas. Will be attached. As shown in FIG. 1, a seal line is generally formed by using a nozzle or dispensing epoxy, which is a sealing agent, between the edge portion of the transparent substrate 10 and the active region 14. 12), the sealing cap is brought into close contact with the substrate on which the seal line 12 is formed, and UV light of 360 nm to 380 nm is irradiated for a few minutes to several tens of minutes on the glass substrate to cure the sealing agent to fix the sealing cap to form a predetermined closed space. Form. Therefore, when the sealing is excellent, the device located in the sealed space may not be affected by the external environment such as moisture.

그러나, 유기 EL 소자의 경우, 시일 라인부가 형성될 기판의 에지부에는 수많은 금속 패드 전극이 형성되며, 이 금속 패드 전극상에 에폭시가 덮혀지게 된다. 이 때, 도 2에 도시된 바와 같이, 패터닝된 패드 전극의 코너부에서 실링이 제대로 되지 않는 경우가 발생할 수 있다(도 2의 확대도에서, 금속 패드 전극사이의 작은 원형부는 코너부의 실링 불량 부위를 나타냄). 코너부의 실링의 불량은 기판과 밀봉캡의 계면 접착력의 부족을 일으키고, 이로 인해 불순가스가 침투하여 소자의 오염을 발행시킬 수 있고, 밀봉캡의 박리 현상이 발생할 수 있다.However, in the case of the organic EL element, numerous metal pad electrodes are formed at the edge portion of the substrate on which the seal line portion is to be formed, and the epoxy is covered on the metal pad electrodes. At this time, as shown in FIG. 2, there may occur a case where sealing is not performed properly at the corner portion of the patterned pad electrode (in the enlarged view of FIG. 2, a small circular portion between the metal pad electrodes may be a sealing failure portion of the corner portion). ). Poor sealing of the corner portion may result in a lack of interfacial adhesion between the substrate and the sealing cap, which may cause impurities to penetrate and cause contamination of the device, and peeling of the sealing cap may occur.

이에 본 발명자들은 상기 문제점을 해결하기 위해 예의 연구를 거듭한 결과, 실링부의 패드 전극 위를 실링재료와 접착력이 좋은 무기 절연막(예컨대, SiO2등)을 형성한 경우 실링 재료와 기판과의 접착력이 강화되어 소자의 수명을 좋게 하는 것을 발견하여 본 발명을 완성하기에 이르렀다.Accordingly, the inventors have intensively studied to solve the above problems, and as a result, when the inorganic insulating film (for example, SiO 2, etc.) having good adhesion is formed on the pad electrode of the sealing portion, the adhesion between the sealing material and the substrate is reduced. It has been found to be enhanced to improve the life of the device and to complete the present invention.

따라서, 본 발명은 상기의 종래 유기 EL 소자의 실링에 따른 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 패드 전극의 상부면을 무기 절연막으로 코팅하고, 그 위에 실링부가 형성된 유기 EL 소자를 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, an object of the present invention is to solve the problems caused by the sealing of the conventional organic EL device, and to provide an organic EL device by coating an upper surface of a pad electrode with an inorganic insulating film and having a sealing portion formed thereon. do.

도 1은 통상의 유기 전계발광소자의 패드 전극부를 나타내는 소자의 개략적인 평면도,1 is a schematic plan view of a device showing a pad electrode portion of a conventional organic electroluminescent device;

도 2는 도 1의 유기 전계발광소자의 패드 전극부의 횡단면도,2 is a cross-sectional view of a pad electrode unit of the organic electroluminescent device of FIG. 1;

도 3은 본 발명에 따른 유기 전계발광소자의 패드 전극부의 횡단면도.Figure 3 is a cross-sectional view of the pad electrode portion of the organic electroluminescent device according to the present invention.

*** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ****** Explanation of symbols for the main parts of the drawing ***

10, 110 : 투명기판 12, 20, 120 : 실링부10, 110: transparent substrate 12, 20, 120: sealing part

14 : 활성 영역 16 : 패드 전극부14 active region 16 pad electrode portion

18, 118 : 패드 전극 130 : 무기 절연막층18, 118: pad electrode 130: inorganic insulating film layer

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 애노드와 캐소드에 전압을 인가하는 패드 전극 및 패드 전극의 일부분 상에 형성된 실링부에 밀봉면이 부착되는 밀봉캡을 포함하는 유기 전계발광소자에 있어서, 상기 패드 전극 상부면, 바람직하게는 실링부가 형성될 부분 상부면에 무기 절연막이 형성된 유기 EL 소자를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is an organic electroluminescent device comprising a pad electrode for applying a voltage to the anode and the cathode and a sealing cap is attached to the sealing portion formed on a portion of the pad electrode, the pad An organic EL device is provided in which an inorganic insulating film is formed on an electrode upper surface, preferably a portion upper surface on which a sealing portion is to be formed.

바람직하게는, 상기 무기 절연막은 SiO2로 이루어질 수 있다.Preferably, the inorganic insulating film may be made of SiO 2 .

본 발명은 또한 기판 상에 소정 간격으로 분리된 애노드층을 형성하는 단계; 상기 애노드의 에지부에 패드 전극을 형성하는 단계; 상기 패드 전극중 실링부가형성될 부분 상부면에 무기 절연막을 형성하는 단계; 및 상기 기판의 활성 영역에 유기층 및 캐소드를 형성하는 단계를 포함하는 유기 EL 소자의 제조방법을 제공한다.The present invention also provides a method for forming an anode layer on a substrate, the anode layer being separated at predetermined intervals; Forming a pad electrode at an edge portion of the anode; Forming an inorganic insulating film on an upper surface of a portion of the pad electrode in which the sealing portion is to be formed; And forming an organic layer and a cathode in the active region of the substrate.

본 발명의 방법에 있어서, 상기 무기 절연막은 스퍼터링 방법, 플라즈마 가속화학증착법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition: PECVD), 디스펜싱법 또는 인쇄법으로 형성할 수 있다. 스퍼터링 방법으로 무기 절연막을 형성할 경우, 하드 마스크를 이용하여 실링부가 형성되는 부분에만 무기 절연 물질을 스퍼터링하여 증착할 수 있다. 이경우 추가적인 패터닝 공정이 필요하지 않아 편리하다. 또한 PECVD 방법으로 무기 절연막을 형성할 경우, PECVD에 의해 기판 전체에 무기 절연 물질을 코팅한 후, 사진식각법에 의해 실링부가 형성되는 부분에만 무기 절연막을 패터닝할 수 있다.In the method of the present invention, the inorganic insulating film may be formed by a sputtering method, a plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD), a dispensing method or a printing method. When the inorganic insulating film is formed by the sputtering method, the inorganic insulating material may be sputtered and deposited only on a portion where the sealing portion is formed using a hard mask. This is convenient because no additional patterning process is required. In addition, when the inorganic insulating film is formed by the PECVD method, the inorganic insulating material may be coated on the entire substrate by PECVD, and then the inorganic insulating film may be patterned only at a portion where the sealing portion is formed by a photolithography method.

유기 EL 소자의 제조에 있어서, 통상 각각의 화소를 분리하기 위해 패터닝된 ITO층상에 절연층을 형성한다. 상기 절연층에는 폴리이미드 계통의 유기물질이나 SiO2등의 무기물질을 사용할 수 있다. 따라서, 상기 절연층을 무기 절연막과 동일한 물질을 사용할 경우, 절연층 형성과 동시에 무기 절연막을 형성할 수 있다. 예컨대, 무기 절연물질을 기판 전면에 형성하고, 패터닝하여 기판의 활성 영역의 절연층과 에지부의 무기 절연막을 동시에 형성할 수 있다.In the manufacture of the organic EL element, an insulating layer is usually formed on the patterned ITO layer to separate each pixel. As the insulating layer, an organic material such as polyimide-based organic material or SiO 2 may be used. Accordingly, when the insulating layer is formed of the same material as the inorganic insulating layer, the inorganic insulating layer may be formed simultaneously with forming the insulating layer. For example, an inorganic insulating material may be formed on the entire surface of the substrate and patterned to simultaneously form an insulating layer in the active region of the substrate and an inorganic insulating layer in the edge portion.

이하, 본 발명을 하기 실시예를 통해 보다 상세히 설명하지만, 이들에 의해 본 발명의 범위가 어떤 식으로든 제한되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but the scope of the present invention is not limited by them in any way.

실시예 1Example 1

도 3에 도시된 것과 같이, 우선 ITO층이 증착된 유리 기판(110)에 대한 사진식각 공정을 진행하여 상기 ITO 층을 스트라이프 형태로 패터닝(patterning) 함으로서 애노드를 형성하였다. 기판(110)의 에지부에 패터닝된 애노드 상에 통상의 방법으로 패드 전극부를 형성하였다(118). 그 다음에, PECVD법을 사용하여 기판 전체를 SiO2로 코팅하고 사진식각법으로 패터닝하여, 각각의 화소의 분리를 위한 절연층(미도시) 및 무기 절연막(130)을 형성하였다. 그 후, 활성 영역에 형성된 상기 애노드 상에 유기물층을 순차적으로 증착하고, 이 유기물층 상에 캐소드를 증착하였다. 유기물 및 캐소드가 증착된 기판의 에지부를 노즐을 이용하여 에폭시를 도포하여 실링부(120)를 형성한 후, 밀봉캡을 상기 기판에 밀착하고, 380nm의 UV를 15분 조사하여 실링부를 경화하여 본 발명에 따른 소자를 형성하였다.As shown in FIG. 3, an anode was formed by first performing a photolithography process on the glass substrate 110 on which the ITO layer was deposited, by patterning the ITO layer in a stripe form. The pad electrode portion is formed 118 on the anode patterned at the edge portion of the substrate 110 in a conventional manner. Then, the entire substrate was coated with SiO 2 using PECVD and patterned by photolithography to form an insulating layer (not shown) and an inorganic insulating film 130 for separation of each pixel. Thereafter, an organic layer was sequentially deposited on the anode formed in the active region, and a cathode was deposited on the organic layer. After the epoxy portion of the substrate on which the organic material and the cathode are deposited is coated with an epoxy to form a sealing portion 120, the sealing cap is adhered to the substrate, and the sealing portion is cured by irradiating UV at 380 nm for 15 minutes. The device according to the invention was formed.

실시예 2Example 2

실시예 1과 동일한 방법으로 애노드 및 패드 전극부를 형성하고, 하드 마스크를 이용하여 실링부가 형성되는 패드 전극 부분에만 SiO2를 스퍼터링하여 증착하였다. 그 후, 실시예 1과 동일한 방법으로 유기물층 및 캐소드를 증착하고, 기판의 에지부에 실링부를 형성한 후, 밀봉캡을 부착하여 본 발명에 따른 소자를 형성한다.An anode and a pad electrode part were formed in the same manner as in Example 1, and SiO 2 was deposited by sputtering only on the pad electrode part where the sealing part is formed using a hard mask. Thereafter, the organic material layer and the cathode are deposited in the same manner as in Example 1, the sealing part is formed at the edge of the substrate, and then the sealing cap is attached to form the device according to the present invention.

본 발명에 따른 상기 실시예 1 및 2의 유기 EL 소자의 경우, 실링부의 패드전극상에 무기 절연막을 미리 형성해 줌으로서 패드 전극 코너 부의 실링의 취약한 부분을 없앨 수 있었고, 또한 실링용 에폭시가 접착력이 약한 금속 전극과 접착되는 것이 아니라 접착력이 좋는 무기 절연막과 접착되므로 접착력을 개선할 수 있었다.In the organic EL devices of Examples 1 and 2 according to the present invention, by forming an inorganic insulating film on the pad electrode of the sealing portion in advance, the weak portion of the sealing of the pad electrode corner portion can be eliminated, and the sealing epoxy has high adhesive strength. Since the adhesive is not bonded to the weak metal electrode but adhered to the inorganic insulating film having good adhesion, the adhesion could be improved.

이상에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 유기 전계발광소자는 패드 전극의 실링의 취약한 부분을 없앨 수 있고, 실링제와 기판의 접착력을 개선하여 외부 가스 등의 침투를 막을 수 있으므로 소자의 수명을 개선할 수 있다.As can be seen from the above, the organic electroluminescent device of the present invention can eliminate the vulnerable part of the sealing of the pad electrode, improve the adhesion between the sealing agent and the substrate to prevent the penetration of external gas, etc. It can be improved.

Claims (7)

애노드와 캐소드에 전압을 인가하는 패드 전극 및 패드 전극의 일부분 상에 형성된 실링부에 밀봉면이 부착되는 밀봉캡을 포함하는 유기 전계발광소자에 있어서,In the organic electroluminescent device comprising a pad electrode for applying a voltage to the anode and the cathode and a sealing cap is attached to the sealing portion formed on a portion of the pad electrode, 상기 패드 전극 상부면에 무기 절연막이 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자.And an inorganic insulating film formed on an upper surface of the pad electrode. 제1항에 있어서, 상기 무기 절연막은 SiO2로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자.The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the inorganic insulating film is made of SiO 2 . 기판 상에 소정 간격으로 분리된 애노드층을 형성하는 단계;Forming an anode layer separated on the substrate at predetermined intervals; 상기 애노드의 에지부에 패드 전극을 형성하는 단계;Forming a pad electrode at an edge portion of the anode; 상기 패드 전극중 실링부가 형성될 부분 상부면에 무기 절연막을 형성하는 단계; 및Forming an inorganic insulating film on an upper surface of a portion of the pad electrode in which the sealing portion is to be formed; And 상기 기판의 활성 영역에 유기층 및 캐소드를 형성하는 단계를 포함하는 유기 전계발광소자의 제조방법.Forming an organic layer and a cathode in the active region of the substrate. 제3항에 있어서, 상기 무기 절연막은 스퍼터링 방법, 플라즈마 가속화학증착법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition: PECVD), 디스펜싱법 또는 인쇄법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자의 제조방법.The method of claim 3, wherein the inorganic insulating layer is formed by a sputtering method, a plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD), a dispensing method, or a printing method. 제4항에 있어서, 상기 스퍼터링 방법은 하드 마스크를 이용하여 실링부가 형성되는 패드 전극 부분에만 무기 절연 물질을 스퍼터링하여 증착하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자의 제조방법.The method of claim 4, wherein the sputtering method sputters and deposits an inorganic insulating material only on a portion of the pad electrode where the sealing portion is formed using a hard mask. 제4항에 있어서, 상기 PECVD 방법은 PECVD에 의해 기판 전체에 무기 절연 물질을 코팅한 후, 사진식각법에 의해 실링부가 형성되는 패드 전극 부분에만 무기 절연막을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자의 제조방법.The organic electroluminescent device according to claim 4, wherein the PECVD method forms an inorganic insulating film only on the pad electrode portion where the sealing portion is formed by photolithography after coating the inorganic insulating material on the entire substrate by PECVD. Manufacturing method. 제3항에 있어서, 상기 무기 절연막 형성시에 소자의 활성 역역의 애노드층 에지면에 절연막을 동시에 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자의 제조방법.4. The method of manufacturing an organic electroluminescent element according to claim 3, wherein an insulating film is formed simultaneously on the surface of the anode layer in the active region of the device at the time of forming the inorganic insulating film.
KR1020030044221A 2003-07-01 2003-07-01 Organic electroluminescence device and fabricating method thereof KR20050005085A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030044221A KR20050005085A (en) 2003-07-01 2003-07-01 Organic electroluminescence device and fabricating method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030044221A KR20050005085A (en) 2003-07-01 2003-07-01 Organic electroluminescence device and fabricating method thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20050005085A true KR20050005085A (en) 2005-01-13

Family

ID=37219515

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030044221A KR20050005085A (en) 2003-07-01 2003-07-01 Organic electroluminescence device and fabricating method thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20050005085A (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000068382A (en) * 1997-07-02 2000-11-25 야스카와 히데아키 Display
KR20000068846A (en) * 1997-08-29 2000-11-25 야스카와 히데아키 Active matrix display
KR20010083584A (en) * 2000-02-17 2001-09-01 구자홍 Organic Electroluminescence Display Panel
JP2002050470A (en) * 2000-08-07 2002-02-15 Toppan Printing Co Ltd Electroluminescence element
KR20030057970A (en) * 2001-12-29 2003-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Organic Electro-Luminescence Display Device
KR20040019502A (en) * 2002-08-28 2004-03-06 주식회사 엘리아테크 Organic electro-luminescence display panel using photoresist and fabricating method thereof

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000068382A (en) * 1997-07-02 2000-11-25 야스카와 히데아키 Display
KR20000068846A (en) * 1997-08-29 2000-11-25 야스카와 히데아키 Active matrix display
KR20010083584A (en) * 2000-02-17 2001-09-01 구자홍 Organic Electroluminescence Display Panel
JP2002050470A (en) * 2000-08-07 2002-02-15 Toppan Printing Co Ltd Electroluminescence element
KR20030057970A (en) * 2001-12-29 2003-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Organic Electro-Luminescence Display Device
KR20040019502A (en) * 2002-08-28 2004-03-06 주식회사 엘리아테크 Organic electro-luminescence display panel using photoresist and fabricating method thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8337940B2 (en) Manufacturing method of display device
KR100603345B1 (en) Manufacturing method of plat panel display device, plat panel display device, and panel of plat panel display device
JP4448148B2 (en) Organic light emitting device
US9583730B2 (en) Display device including a sealing member and method of manufacturing the same
KR20160056581A (en) The organic light emitting diode and the method for manufacturing that
KR20040039608A (en) Apparatus and Method for manufacturing an Organic Electro Luminescence Display Device
KR20070004178A (en) Mother glass for organic electro luminescence device and fabricating method of organic electro luminescence device using the same
KR100360328B1 (en) Organic Electroluminescence Display Panel
JP4034561B2 (en) Method for manufacturing light emitting device
KR100417921B1 (en) Canless Organic Electro Luminescence Display
KR20000060241A (en) organic electroluminescence device with organic coating layer for preventing penetration of moisture
KR20050005085A (en) Organic electroluminescence device and fabricating method thereof
KR20040037664A (en) Apparatus and Method for manufacturing an Organic Electro Luminescence Display Device
KR200257245Y1 (en) Organic Electroluminescence Display Device
KR20040037662A (en) Organic Electro Luminescence Display Device, Method for manufacturing an Organic Electro Luminescence Display Device
US20210119176A1 (en) Oled encapsulation method and oled encapsulation structure
KR100623350B1 (en) Organic electroluminescence device and fabricating method thereof
KR100692856B1 (en) Organic Electro-Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof
KR100380316B1 (en) Organic electroluminescent display and method of encapsulating thereof
KR100648713B1 (en) Organic electro luminescent display and manufacturing method of the same
KR20010097540A (en) organic eletroluminescence display panel and method for fabricating the same
KR20100001103A (en) Fabricating method of luminescence dispaly panel
KR20100000208A (en) Organic light emitting display device and method for fabricating the same
KR100692049B1 (en) Apparatus and method for fabricating organic electro luminescence display device
JP2006086084A (en) Method of manufacturing self-luminous panel

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application