KR20050003510A - 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법 - Google Patents

액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법

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KR20050003510A
KR20050003510A KR1020030042405A KR20030042405A KR20050003510A KR 20050003510 A KR20050003510 A KR 20050003510A KR 1020030042405 A KR1020030042405 A KR 1020030042405A KR 20030042405 A KR20030042405 A KR 20030042405A KR 20050003510 A KR20050003510 A KR 20050003510A
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KR1020030042405A
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이경묵
남승희
오재영
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 액정 표시 장치에 있어서, IPT 테스트 패드를 형성하는 어레이 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명은 IPT 테스트 패드를 구비하는 액정 표시 장치의 하판을 제작할 때 CVD(Chemical Vapor Deposition) 장비를 이용하여 테스트 패드 상에 절연막이 형성되지 않도록 함으로써 추가적인 공정 없이 IPT 테스트를 실시할 수 있도록 한다.
또한, 본 발명은 액정 표시 장치용 어레이 기판 내부에서 IPT 테스트 패드를 형성함으로써 어레이 영역을 확대할 수 있어 대화면의 액정 표시 장치를 구현할 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 액정 표시 장치를 제조하는데 있어서 비용을 절감할 수 있으며, 본 발명에 따르면 3마스크를 이용한 액정 표시 장치의 제조가 가능해지므로 공정이 간소화해져 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법{A array substrate and the fabrication method for LCD}
본 발명은 액정 표시 장치에 있어서, IPT 테스트 패드를 형성하는 어레이 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
현재, 표시장치로써 가장 많이 사용되고 있는 CRT 브라운관은 색상구현이 쉽고, 동작속도가 빨라 TV와 컴퓨터 모니터를 포함한 표시장치로서 각광을 받아 왔다.
그러나, CRT 브라운관은 전력소비가 크고, 전자총과 화면 사이의 거리를 어느 정도 확보해야 하는 구조적 특성으로 인하여 두께가 두꺼울 뿐만 아니라, 게다가 무게도 상당히 무거워 휴대성이 떨어지는 단점이 있다.
상기와 같은 CRT 브라운관의 단점을 극복하고자 여러 가지 다양한 표시장치가 고안되고 있는데, 그 중 가장 실용화되어 있는 장치가 바로 액정 표시 장치이다.
상기 액정 표시 장치는 얇은 두께로 제작될 수 있어 장차 벽걸이 TV와 같은 초박형 표시 장치로 사용될 수 있을 뿐만 아니라, 무게가 가볍고, 전력소비도 상당히 적어 배터리로 동작하는 노트북 컴퓨터의 디스플레이로 사용되는 등, 차세대 표시장치로서 각광을 받고 있다.
이와 같은 액정 표시 장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 스위칭 소자인 박막트랜지스터가 형성되어 있는 하부 유리 기판(100)과, 칼라 필터(Color Filter)가 형성되어 있는 상부 유리 기판(102) 사이에 액정(103)을 주입하여, 상기 액정의 전기 광학적 특성을 이용하는 것에 의해 영상효과를 얻는 비발광소자이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 하부 유리 기판(100) 상에는 TFT 어레이(104)가 구성되고, 상부 유리 기판(102) 상에는 블랙매트릭스(105) 및 칼라 필터(106) 그리고 공통전극(107) 및 배향막(108)이 차례로 구성된다.
상기 하부 유리 기판(100)과 상부 유리 기판(102)은 에폭시 수지와 같은 씨일제(109)에 의해 합착되며, PCB(110) 상의 구동회로(111)는 TCP(Tape Carrier Package)(112)를 통해 하부 유리 기판(100)과 연결되어 있다.
상기 TFT 어레이(104)에는 복수개의 게이트 배선 및 데이터 배선 그리고 각 게이트 배선과 데이터 배선의 교차 부위에 스위칭 소자로서 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)가 배치된다.
이와 같은 액정 표시 장치의 모듈은 크게 3개의 유니트(unit)로 구성되는데, 즉, 두 기판 사이에 액정이 주입된 액정 패널과, 상기 액정 패널을 구동하기 위한 드라이버(Driver) 및 각종 회로소자가 부착된 PCB(Printed Circuit Board) 및 백라이트(113)를 포함한 외관 구조물로 구성된다.
액정 모듈은 크게 액정 패널과, 상기 액정 패널로 게이트 구동신호를 인가하는 게이트 드라이버(gate driver)와, 상기 액정 패널로 신호 데이터를 인가하는 소스 드라이버(source driver)로 구성된다.
여기서, 상기 게이트 드라이버는 액정 패널에 배치된 복수의 게이트 배선에 순차적으로 주사신호(Scan signal)를 발생하며, 소스 드라이버는 게이트 드라이버가 박막트랜지스터를 턴-온(turn-on)시키면 데이터 배선을 통해 신호 전압을 인가한다.
상기 액정패널은 복수개의 게이트 배선들과 복수개의 데이터 배선들이 매트릭스 형태로 형성되어 있고, 그 교차점에는 화소 전극과 박막트랜지스터(Thin Film Transistor:이하 TFT)가 형성되어 있으며, 상기 게이트 드라이버로부터 주사신호를 받은 게이트 배선에 연결된 박막트랜지스터가 턴-온되면 소스 드라이버로부터 신호 전압을 받은 데이터 배선에 연결된 박막트랜지스터를 통해 화소전극으로 전달되어 화상을 디스플레이 하게 된다.
이 때, 상기 게이트 드라이버와 소스 드라이버에서 발생된 신호를 액정 패널에 전달하기 위해서는 상기 액정 패널의 주위에 각각의 게이트 배선으로부터 연장된 게이트 패드들과 각각의 데이터 배선으로부터 연장된 데이터 패드들이 구성되며, 상기 각 게이트 패드들 및 데이터 패드들은 테스트(Test)를 위해 쇼팅 바(Shorting bar)로 연결되어 있는데, 상기 쇼팅 바는 테스트가 완료되면 제거된다.
이때, 상기 테스트는 IPT(In Processing Test)와 박막트랜지스터의 온/오프 테스트로 구분할 수 있는데, 상기 IPT는 하판을 제작한 후 게이트 라인 데이터 라인의 불량, 일예로 라인 디팩트(Line defect), 포인트 디팩트(Point defect) 등의 불량을 테스트하고, 상기 박막트랜지스터의 온/오프 테스트는 하판과 상판을 합착한 후에 최종적으로 박막트랜지스터의 온/오프 불량 여부를 테스트한다.
이하, 종래 기술에 따른 액정 표시 장치의 IPT 테스트 패드 구조를 설명하면 다음과 같다.
도 2는 종래 기술에 따른 IPT 테스트 패드 구조를 형성한 어레이 기판을 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 종래 액정 표시 장치의 IPT 테스트 패드는 기판 (200)상에서 복수개의 데이터 패드(235)중 일부 데이터 패드(235)들에 연결되어 테스트를 위한 신호 전압을 인가하는 제 1 IPT 테스트 패드(231a)와, 일부 데이터 패드(235)들끼리 연결되어 테스트를 위한 신호 전압을 인가하는 제 2 IPT 테스트 패드(231b)로 구성된다.
그리고, 복수개의 게이트 패드(225) 중 홀수(ODD) 번째 게이트 패드끼리 연결되어 테스트를 위한 신호 전압을 인가하는 제 3 IPT 테스트 패드(231c)와, 짝수(EVEN)번째 게이트 패드들끼리 연결되어 테스트를 위한 신호 전압을 인가하는 제 4 IPT 테스트 패드(231d)로 구성된다.
여기서, 상기 각 게이트 패드(225)들은 액정 패널(210)에 배치된 게이트 배선(220)들로부터 연장되고, 데이터 패드(235)들은 상기 게이트 배선(120)과 교차배치된 데이터 배선(230)들로부터 연장된다.
상기와 같은 IPT 테스트 패드는 액정 표시 장치의 어레이 기판 제작시에 어레이 외부에 별도로 기판에 형성하여야 한다.
이와 같이, 종래 액정 표시 장치의 테스트 패드 구조는 하판을 제작한 후 IPT를 실시하여 라인 불량(Line defect), 포인트 불량(Point defect) 등의 불량을 체크하고, 하판과 상판을 합착한 후 박막트랜지스터의 온/오프 테스트를 실시하여 액정 패널의 양, 부를 판정하게 된다.
그런데, 앞서 언급한 바와 같이 액정 표시 장치의 어레이 기판은 박막을 형성하고 사진 식각하는 공정을 반복함으로써 이루어진다. 사진 식각 공정은 세정, 감광막 도포, 노광 및 현상, 식각 등 여러 공정을 수반하고 있기 때문에, 사진 식각 공정을 한번만 단축해도 제조 시간이 상당히 많이 줄어들고 제조 비용이 감소된다.
일반적으로, 사진 식각 공정에 이용되는 마스크 수가 공정수를 대표하는데, 최근 3장의 마스크를 이용하여 어레이 기판을 제조하는 방법이 연구 및 개발되고 있다.
도 3은 3장의 마스크를 이용하여 어레이 기판을 제조했을 때 형성되는 게이트 패드 영역(Ⅰ)과 박막트랜지스터 영역(Ⅱ)의 개략적인 단면을 보여주는 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 기판(300) 상에 게이트 전극(362)이 형성된다.
상기 게이트 전극(362)은 스퍼터링(sputtering) 등의 방법으로 금속박막을형성된 후, 습식방법을 포함하는 포토 리쏘그래피(photo lithography)방법으로 패터닝함으로써 게이트 배선(도시되지 않음)과 함께 형성되며, 게이트 배선에서 연장되어 게이트 패드(390)가 함께 형성된다.
상기 게이트 전극(362)이 형성된 기판(300) 상에 게이트절연막(364)이 적층된다.
상기 게이트절연막(364)은 질화실리콘(SiNx) 또는 산화실리콘(SiOx)의 절연물질을 투명기판(300) 상에 전면 증착함으로써 형성된다.
상기 게이트절연막(364) 상에 비정질실리콘(a-Si) 및 불순물이 도핑된 비정질실리콘(n+ a-Si) 층과 금속막을 순차적으로 적층한다.
여기서, 이러한 비정질실리콘(a-Si) 및 불순물이 도핑된 비정질실리콘(n+ a-Si)과 금속막을 회절 노광을 이용하여 1회에 패터닝하여 액티브층(366) 및 오믹콘택층(368)과 소스 및 드레인 전극(370, 372)을 형성한다.
여기서, 상기 소스 및 드레인 전극(370,372)은 습식 식각방법을 포함한 포토리쏘그래피방법으로 패터닝하여 데이터배선(도시되지 않음)과 함께 형성된다.
상기 소스 및 드레인 전극(370,372) 상에 투명한 전도성물질인 ITO, IZO, ITZO을 증착하여 TFT와 대응되는 부분을 제외한 부분에 화소 전극(376)을 형성한다.
그리고, 도시된 바와 같이 보호층(379)이 게이트절연막(364) 상에 소스 및 드레인 전극(370, 372) 및 화소 전극(376)을 덮도록 형성한다.
상기 보호층(379)은 절연물질을 전면 증착한 후 패터닝함으로써 형성되는데,상기 보호층(379)은 질화실리콘(SiNx) 또는 산화실리콘(SiOx) 등의 무기절연물질 또는 아크릴계(Acryl) 유기화합물, 테프론(Teflon), BCB (Benzocyclobutene), 사이토프(Cytop) 또는 PFCB(Perfluorocyclobutane) 등의 유전상수가 작은 유기절연물로 형성된다.
상기와 같이 3 마스크로 형성되는 액정 표시 장치의 어레이기판(하부 기판)은 게이트 패드(390)에서 연장되는 IPT 테스트 패드의 최상부층이 절연막 및 보호층으로 형성되게 된다.
이와 같이, 종래 액정 표시 장치를 제조하는 데 있어서, IPT 테스트 패드를 구비하는 하판을 제작한 후, IPT를 실시하여 라인 불량(line defect), 포인트 불량(point defect) 등의 불량을 체크하려고 할때, IPT 테스트 패드 상에 절연막 또는 보호층이 형성되는 경우에는 추가적인 공정을 통해서 오픈한 후 테스트를 실시해야 하므로 제조 공정 및 비용이 증가하게 되고 제조 수율도 떨어지는 문제점이 있다.
또한, 기 제작된 어레이 기판(하판)의 외부에 따로 IPT 패턴을 형성하여야 하므로 IPT 패턴 형성을 위한 공간 확보로 인하여 어레이 영역이 줄어드는 문제점이 있다.
본 발명은 액정 표시 장치를 제조하는 데 있어서, IPT 테스트 패드를 구비하는 하판을 제작할 때 CVD(Chemical Vapor Deposition) 장비를 이용하여 테스트 패드 상에 절연막이 형성되지 않도록 함으로써 추가적인 공정 없이 IPT 테스트를 실시할 수 있도록 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판을 제공하는 데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 액정 표시 장치용 어레이 기판 내부에서 IPT 테스트 패드를 형성함으로써 어레이 영역을 확대할 수 있어 대화면의 액정 표시 장치를 제공하는 데 목적이 있다.
도 1은 일반적인 액정 표시 장치의 개략적인 구성을 보여주는 단면도.
도 2는 종래 기술에 따른 IPT 테스트 패드 구조를 형성한 어레이 기판을 개략적으로 도시한 평면도.
도 3은 3장의 마스크를 이용하여 어레이 기판을 제조했을 때 형성되는 게이트 패드 영역(Ⅰ)과 박막트랜지스터 영역(Ⅱ)의 개략적인 단면을 보여주는 도면.
도 4는 본 발명에 따른 일 실시예로서, IPT 테스트 패드를 형성한 액정 표시 장치용 어레이 기판을 개략적으로 보여주는 평면도.
도 5는 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판에서 IPT 테스트 패드 영역(Ⅲ)과 박막트랜지스터 영역(Ⅳ)을 동시에 제조하는 방법을 보여주는 공정 순서도.
<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>
400, 500 : 기판 410 : 액정패널
420 : 게이트 배선 425 : 게이트 패드
430 : 데이터 배선
431a, 431b : 데이터 IPT 테스트 패드
431c, 431d : 게이트 IPT 테스트 패드
435 : 데이터 패드 562 : 게이트전극
564 : 게이트 절연막 566 : 액티브층
568 : 오믹 콘택층 570 : 소스전극
572 : 드레인전극 579 : 보호층 ]
590 : IPT 테스트 패드
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판은, 기판; 상기 기판 위에 일 방향을 가지는 다수의 게이트 배선과 상기 게이트 배선에 연결되어 있는 게이트 전극과; 상기 게이트 배선과 상기 게이트 전극 상부에 형성되어 있는 게이트 절연막과; 상기 게이트 절연막 상부에 형성되어 있는 액티브층과; 상기 액티브층 상부에 형성되어 있는 오믹 콘택층과; 상기 오믹 콘택층 상부에 형성되어 있고, 상기 게이트 배선과 직교하는 데이터 배선, 상기 데이터 배선에서 연장된 소스 전극 및 드레인 전극과; 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되며 투명 도전 물질로 형성되는 화소 전극과; 상기 화소 전극 상부에 형성되어 있는 보호층을 포함하며; 상기 기판의 가장자리에 위치하며 게이트 배선, 데이터 배선의 일측에서 연장하여 형성되었으며, 상기 게이트 절연막 및 보호층이 형성되어 있지 않은 게이트 IPT 테스트 패드 및 데이터 IPT 테스트 패드를 형성하는 것을 특징으로 한다.
상기 게이트 IPT 테스트 패드는 상기 복수의 게이트 배선에서 홀수번째 게이트 배선과 짝수번째 게이트 배선으로 나누어 연결하는 것을 특징으로 한다.
상기 데이터 IPT 테스트 패드는 상기 복수의 데이터 배선의 일측과 연결하는것을 특징으로 한다.
상기 게이트 절연막 및 보호층은 CVD(Chemical Vapor Deposition) 방법으로 증착되는 것을 특징으로 한다.
상기 게이트 절연막 및 보호층은 상기 기판의 가장자리에 증착되지 않는 것을 특징으로 한다.
상기 액티브층, 오믹 콘택층, 소스 및 드레인 전극은 회절 노광에 의해서 일괄 식각되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법은, 기판 위에 제 1 방향으로 연장된 게이트 배선과 상기 게이트 배선의 일측에서 연장되어 기판의 가장자리에 게이트 IPT 테스트 패드를 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선 상부에 형성되며 상기 게이트 IPT 테스트 패드 상에 형성되지 않는 게이트 절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트 절연막 상에 액티브층, 오믹 콘택층, 데이터 배선과 소스 및 드레인 전극을 순차적으로 증착하여 패터닝하는 단계와; 상기 데이터 배선의 일측에서 연장되어 기판의 가장자리에서 데이터 배선과 동시에 데이터 IPT 테스트 패드가 형성되는 단계와; 상기 드레인 전극과 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계와; 상기 화소 전극을 포함하는 기판 상에 형성되며 상기 게이트 및 데이터 IPT 패턴 상에 형성되지 않는 보호층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 게이트 절연막과 보호층을 형성하는 단계에 있어서, CVD 방법을 이용하여 장비에 의해 기판의 가장자리가 덮이는 것을 특징으로 한다.
상기 액티브층, 오믹 콘택층, 소스 및 드레인 전극은 회절 노광을 이용하여 일괄 형성하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조로 하여 본 발명의 구체적인 실시예에 대해서 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 일 실시예로서, IPT 테스트 패드를 형성한 액정 표시 장치용 어레이 기판을 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 IPT 테스트 패드는 기판(400) 상의 복수개의 데이터 패드(435)중 절반의 데이터 패드들끼리 연결되어 테스트를 위한 신호 전압을 인가하는 제 1 데이터 IPT 테스트 패드(431a)와, 나머지 절반의 데이터 패드들끼리 연결되어 테스트를 위한 신호 전압을 인가하는 제 2 데이터 IPT 테스트 패드(431b)로 구성된다.
그리고, 복수개의 게이트 패드(425) 중 홀수(ODD) 번째 게이트 패드끼리 연결되어 테스트를 위한 신호 전압을 인가하는 제 1 게이트 IPT 테스트 패드(431c)와, 짝수(EVEN)번째 게이트 패드들끼리 연결되어 테스트를 위한 신호 전압을 인가하는 제 2 게이트 IPT 테스트 패드(431d)로 구성된다.
여기서, 상기 각 게이트 패드(425)들은 액정 패널(410)에 배치된 게이트 배선(420)들로부터 연장되고, 데이터 패드(435)들은 상기 게이트 배선(420)과 교차 배치된 데이터 배선(430)들로부터 연장된다.
또한, 상기 IPT 테스트 패드는 다양한 형태를 가질 수 있으며, 그 개수도 다양하게 구성할 수 있다.
상기와 같이 구성된 액정 표시 장치의 IPT 테스트 패드(431a, 431b, 431c, 431d) 구조는 게이트 전극 및 소스/드레인 전극 형성시에 함께 패터닝한 것으로, 상기 IPT 테스트 패드(431a, 431b, 431c, 431d)은 기판(400)의 최외곽에 위치시켜 어레이 영역을 확대시킬 수 있다.
또한, 상기 IPT 테스트 패드(431a, 431b, 431c, 431d)은 절연막, 보호막 증착시에 이용하는 CVD(ChemicalVapor Deposition) 장비에서 기판 고정을 위한 클램프(clamp)에 의해 상기 클램프 영역에는 절연막, 보호막의 증착이 이루어지지 않는다.
이와 같이, 액정 표시 장치용 어레이 기판(하판)을 제작한 후 IPT를 실시하여 라인 불량(Line defect), 포인트 불량(Point defect) 등의 불량을 체크하고, 하판과 상판을 합착하여 액정 표시 장치를 제조한다.
도 5는 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판에서 IPT 테스트 패드 영역(Ⅲ)과 박막트랜지스터 영역(Ⅳ)을 동시에 제조하는 방법을 보여주는 공정 순서도이다.
먼저, 도 5a에 도시된 바와 같이, 기판(500) 상에 게이트 전극(562)이 형성된다.
상기 게이트 전극(562)은 스퍼터링(sputtering) 등의 방법으로 금속박막을 형성된 후, 습식방법을 포함하는 포토 리쏘그래피(photo lithography)방법으로 패터닝함으로써 IPT 테스트 패드(590)과 함께 형성된다.
상기 게이트 전극(562)의 재료로는 알루미늄(Al), 구리(Cu) 또는 크롬(Cr)등의 금속물질이 사용되며, 식각액으로는 (NH4)2S2O8수용액 등이 사용된다.
도 5b를 참조하면, 상기 게이트 전극(562)이 형성된 투명기판(500) 상에 게이트절연막(564)을 증착한다.
상기 게이트절연막(564)은 질화실리콘(SiNx) 또는 산화실리콘(SiOx)의 절연물질을 투명기판(500) 상에 전면 증착함으로써 형성된다.
이 때, 상기 게이트절연막(564)는 CVD(Chemical Vapor Deposition) 방법을 이용한다.
그러면, 상기 게이트 전극(362) 및 IPT 테스트 패드(590)가 형성된 기판의 가장자리에는 상기 CVD 장비에서 기판 고정을 위한 클램프(clamp)에 의해서 상기 IPT 테스트 패드의 일부가 덮히게 된다.
따라서, 상기 게이트 절연막(564)의 증착을 마친 후에는 상기 IPT 테스트 패드(590) 상에 게이트 절연막(564)이 증착되지 않게 된다.
이후, 도 5c에 도시된 바와 같이, 상기 게이트 절연막(564) 상에는 비정질실리콘(a-Si) 및 불순물이 도핑된 비정질실리콘(n+ a-Si) 층과 금속 물질을 순차적으로 기판 전면에 적층한다.
여기서, 이러한 비정질실리콘(a-Si) 및 불순물이 도핑된 비정질실리콘(n+ a-Si)과 금속층을 회절 노광을 이용하여 패터닝하여 액티브층(566) 및 오믹콘택층(568) 및 소스/드레인 전극(570, 572)을 형성한다.
이때, 상기 소스 및 드레인 전극(570,572)은 데이터배선(도시되지 않음)과함께 형성되며, 상기 데이터 배선에서 연장하여 데이터 IPT 테스트 패드도 함께 형성한다.
여기서, 상기 소스 및 드레인 전극(570,572)으로는 금속 또는 금속합금 중에서 몰리브덴(Mo), MoW, MoTa 또는 MoNb등의 몰리브덴 합금(Mo alloy)을 사용하고, 식각액으로 (NH4)2S2O8수용액을 사용한다.
도 5d를 참조하면, 소스 및 드레인 전극(570,572) 상에 투명한 전도성물질인 ITO, IZO, ITZO, TCO(Transparent Conducting Oxide) 을 증착하여 TFT와 대응되는 부분을 제외한 부분에 화소 전극(576)을 형성한다.
그리고, 도 5e에 도시된 바와 같이 보호층(579)이 게이트절연막(564) 상에 소스 및 드레인 전극(570, 572) 및 화소 전극(576)을 덮도록 CVD 방법을 이용하여 형성한다.
상기 보호층(579)은 절연물질을 기판 전면에 증착하는데, 상기 보호층(579)은 질화실리콘(SiNx) 또는 산화실리콘(SiOx) 등의 무기절연물질 또는 아크릴계(Acryl) 유기화합물, 테프론(Teflon), BCB (Benzocyclobutene), 사이토프(Cytop) 또는 PFCB(Perfluorocyclobutane) 등의 유전상수가 작은 유기절연물로 형성된다.
이 때, 상기 게이트 IPT 테스트 패드와 데이터 IPT 테스트 패드가 형성된 기판의 가장자리에는 상기 CVD 장비에서 기판 고정을 위한 클램프에 의해서 상기 IPT 테스트 패드(590)이 덮히도록 하여 보호층(579)이 증착되지 않도록 한다.
따라서, 본 발명은 액정 표시 장치의 어레이 기판에서 하판의 IPT 테스트를 위한 패드가 열리지 않는 구조의 경우 CVD 진공 장비의 기판 고정을 위한 클램프를 이용하여 IPT 테스트 패드를 형성함으로써, IPT 테스트시 상기 어레이 기판의 라인 불량(line defect), 포인트 불량(point defect) 등의 불량을 체크할 수 있다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
본 발명은 IPT 테스트 패드를 구비하는 액정 표시 장치의 어레이 기판을 제작할 때 CVD(Chemical Vapor Deposition) 장비를 이용하여 증착 공정을 진행함으로써 테스트 패드 상에 절연막이 형성되지 않도록 하여 추가적인 공정 없이 IPT 테스트를 실시할 수 있도록 하여 비용을 절감할 수 있으며, 상기 어레이 기판 내부에서 IPT 테스트 패드를 형성함으로써 어레이 영역을 확대할 수 있어 동일한 공정 과정으로 대화면의 표시 장치를 생산할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따르면 3마스크를 이용한 액정 표시 장치의 제조가 가능해지므로 공정이 간소화해져 비용이 절감되고 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 기판;
    상기 기판 위에 일 방향을 가지는 다수의 게이트 배선과 상기 게이트 배선에 연결되어 있는 게이트 전극과;
    상기 게이트 배선과 상기 게이트 전극 상부에 형성되어 있는 게이트 절연막과;
    상기 게이트 절연막 상부에 형성되어 있는 액티브층과;
    상기 액티브층 상부에 형성되어 있는 오믹 콘택층과;
    상기 오믹 콘택층 상부에 형성되어 있고, 상기 게이트 배선과 직교하는 데이터 배선, 상기 데이터 배선에서 연장된 소스 전극 및 드레인 전극과;
    상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되며 투명 도전 물질로 형성되는 화소 전극과;
    상기 화소 전극 상부에 형성되어 있는 보호층을 포함하며;
    상기 기판의 가장자리에 위치하며 게이트 배선, 데이터 배선의 일측에서 연장하여 형성되었으며, 상기 게이트 절연막 및 보호층이 형성되어 있지 않은 게이트 IPT 테스트 패드 및 데이터 IPT 테스트 패드를 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 게이트 IPT 테스트 패드는 상기 복수의 게이트 배선에서 홀수번째 게이트 배선과 짝수번째 게이트 배선으로 나누어 연결하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 데이터 IPT 테스트 패드는 상기 복수의 데이터 배선의 일측과 연결하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 게이트 절연막 및 보호층은 CVD(Chemical Vapor Deposition) 방법으로 증착되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 게이트 절연막 및 보호층은 상기 기판의 가장자리에 증착되지 않는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 액티브층, 오믹 콘택층, 소스 및 드레인 전극은 회절 노광에 의해서 일괄 식각되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  7. 기판 위에 제 1 방향으로 연장된 게이트 배선과 상기 게이트 배선의 일측에서 연장되어 기판의 가장자리에 게이트 IPT 테스트 패드를 형성하는 단계와;
    상기 게이트 배선 상부에 형성되며 상기 게이트 IPT 테스트 패드 상에 형성되지 않는 게이트 절연막을 형성하는 단계와;
    상기 게이트 절연막 상에 액티브층, 오믹 콘택층, 데이터 배선과 소스 및 드레인 전극을 순차적으로 증착하여 패터닝하는 단계와;
    상기 데이터 배선의 일측에서 연장되어 기판의 가장자리에서 데이터 배선과 동시에 데이터 IPT 테스트 패드가 형성되는 단계와;
    상기 드레인 전극과 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계와;
    상기 화소 전극을 포함하는 기판 상부에 절연 물질이 증착되며 상기 게이트 및 데이터 IPT 패턴 상에 형성되지 않는 보호층을 형성하는 단계;를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 게이트 절연막과 보호층을 형성하는 단계에 있어서, CVD 방법을 이용하여 장비에 의해 기판의 가장자리가 덮이는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 액티브층, 오믹 콘택층, 소스 및 드레인 전극은 회절 노광을 이용하여일괄 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
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