KR20050002275A

KR20050002275A - Substrate bonding device for Liquid Crystal Display Device

Info

Publication number: KR20050002275A
Application number: KR1020030043645A
Authority: KR
Inventors: 홍상표
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2003-06-30
Filing date: 2003-06-30
Publication date: 2005-01-07

Abstract

PURPOSE: An apparatus for coupling substrates of an LCD(Liquid Crystal Display) is provided to prevent damage of a vacuum pump due to volatilization of liquid crystals, thereby making it possible to securely operate the vacuum pump by installing a trapping pipe between the vacuum pump and a chamber. CONSTITUTION: A process for coupling a lower substrate and an upper substrate of an LCD is performed in a chamber(100). A lower plate for loading the lower substrate of the LCD is installed at the lower portion of the inside of the chamber. An upper plate for absorbing the upper substrate of the LCD is installed at the upper portion of the inside of the chamber. A gas supply pipe is installed at the side of the chamber. A trapping pipe(140) connecting a vacuum pump(130) to the chamber is installed at the chamber. The trapping pipe liquefies liquid crystals on the way, thereby preventing the liquid crystals from being volatilized and directly flowing into the vacuum pump.

Description

Substrate bonding device for Liquid Crystal Display Device

본 발명은 액정표시장치(LCD ; Liquid Crystal Display Device)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 합착시 챔버(Chamber)내의 공기를 외부로 배출시키는 진공펌프의 배관구조를 개선한 액정표시장치용 기판 합착 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device (LCD), and more particularly, to a substrate bonding for a liquid crystal display device having an improved piping structure of a vacuum pump for discharging air in a chamber to the outside when the substrate is bonded. Relates to a device.

일반적으로, 평판형 표시장치의 하나인 액정표시장치(LCD)는 음극선관(CRT)에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 CRT에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 플라즈마표시장치(PDP: Plasma Display Panel)나 전계방출표시장치(FED:Field Emission Display)와 함께 최근에 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼의 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.In general, a liquid crystal display (LCD), which is one of the flat panel display devices, has a better visibility than the cathode ray tube (CRT) and has a smaller average heat dissipation than the CRT having the same screen size, and also generates a small amount of heat. Along with plasma display panels (PDPs) and field emission displays (FEDs), they have recently been in the spotlight as the next generation display devices for mobile phones, computer monitors and televisions.

이러한 액정표시장치는 특수하게 표면처리된 2개의 얇은 유리판 사이에 액정을 주입해 상하 유리판 위의 전극의 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 영상을 표시하는 작동원리를 가지며, 그 제조방법에 대해 간략히 알아보면 다음과 같다.Such a liquid crystal display device has an operating principle of displaying an image by generating contrast by changing liquid crystal molecules by varying the arrangement of liquid crystal molecules by injecting liquid crystal between two thin glass plates that have been specially treated, and then manufacturing them. A brief description of the method follows.

먼저, TFT(Thin Film Transistor)기판이라 불리는 하부 유리기판상에 액티브 소자를 주사하는 주사선과 각 화소에 영상신호를 인입하는 신호선을 격자 형태로 형성하여 복수의 화소를 정의하고, 각 화소에 화소전극과 상기 각 화소전극에 인입될 영상신호를 스위칭하는 박막 트랜지스터를 형성한다.First, a plurality of pixels are defined by forming a scanning line for scanning an active element on a lower glass substrate called a TFT (Thin Film Transistor) substrate and a signal line for introducing an image signal into each pixel in a lattice form, and defining a plurality of pixels in each pixel. A thin film transistor for switching an image signal to be introduced into each pixel electrode is formed.

그리고, 컬러 필터(Color Filter) 기판이라 불리는 상부 유리기판 상에 R,G,B의 각 컬러 레지스트를 순차적으로 도포하여 컬러 필터층을 형성하고, 상기 컬러 필터층 상에 상기 화소전극에 대향하는 공통전극을 형성한다. 이때, 상기 컬러 레지스트 사이에는 빛샘 차단을 위한 블랙 매트릭스(Black Matrix)를 형성한다.Then, each color resist of R, G, and B is sequentially coated on an upper glass substrate called a color filter substrate to form a color filter layer, and a common electrode facing the pixel electrode is formed on the color filter layer. Form. In this case, a black matrix for blocking light leakage is formed between the color resists.

이 때, 상기 상/하 유리기판은 석영 유리기판, 저 알칼리 유리기판 등을 사용한다. 여기서, 상기 석영 유리기판의 열 팽창계수는, 5.5×l0^-7/℃이고, 저 알칼리 유리기판의 열 팽창계수는, 44×l0^-7∼46×10^-7/℃이다. 이중 열 팽창계수가 작은 기판을 사용하는 것이 좋지만, 액정표시소자의 비용을 고려하여 통상, 저 알칼리 유리기판을 사용한다.In this case, the upper and lower glass substrates are quartz glass substrates, low alkali glass substrates, or the like. Here, the coefficient of thermal expansion of the quartz glass substrate is 5.5 × 10 ⁻⁷ / ° C., and the coefficient of thermal expansion of the low alkali glass substrate is 44 × 10 ^{−7 to} 46 × 10 ⁻⁷ / ° C. Although it is preferable to use a substrate having a small double thermal expansion coefficient, a low alkali glass substrate is usually used in consideration of the cost of the liquid crystal display device.

이후, 상기 유리기판 사이의 셀 갭(Cell Gap)을 유지하기 위해 상부 유리기판의 전면에 4∼5㎛의 크기로 제작된 플라스틱 볼(Plastic Ball)이나 실리카(Silica) 구와 같은 볼 스페이서(Ball Spacer)를 산포하거나 사진 식각기술(Photolithography)등의 패터닝 방법으로 패턴된 스페이서(Patterned Spacer)를 균일하게 형성한다. 상기 패턴된 스페이서는 셀 갭이 낮은 대면적의 액정패널을 형성하는데 유용하다.Subsequently, a ball spacer such as a plastic ball or a silica sphere made of 4 to 5 μm in size on the front surface of the upper glass substrate to maintain a cell gap between the glass substrates. ) Or patterned spacers are uniformly formed by a patterning method such as photolithography. The patterned spacer is useful for forming a large area liquid crystal panel having a low cell gap.

다음, 셀 갭을 형성함과 동시에 액정의 누출을 방지하기 위해 상기 하부 유리기판의 액티브 영역 외부에 마이크로 펄(Micro Pearl) 등을 섞은 접착제를 스크린 인쇄법으로 형성한다. 이 때, 소정의 패턴이 형성된 스크린 마스크(Screen Mask)를 이용하여 접착제를 형성한다. 상기 접착제는 에폭시 수지등의 접착성이 우수한 고분자 물질을 사용한다.Next, in order to form a cell gap and prevent leakage of the liquid crystal, an adhesive in which micro pearls or the like is mixed outside the active region of the lower glass substrate is formed by screen printing. At this time, an adhesive is formed using a screen mask on which a predetermined pattern is formed. The adhesive uses a high polymer material such as epoxy resin.

계속하여, 접착제가 형성된 하부 유리기판 상에 액정을 떨어뜨려 액정층을 형성하고, 상기 상부 유리기판과 하부 유리기판을 기판 합착장치를 이용하여 대향합착시킨다. 이때, 상기 기판의 합착은 진공과 대기압 차이를 이용하여 이루어지게 된다.Subsequently, the liquid crystal is dropped on the lower glass substrate on which the adhesive is formed to form a liquid crystal layer, and the upper glass substrate and the lower glass substrate are opposed to each other using a substrate bonding apparatus. At this time, the bonding of the substrate is made using the difference between the vacuum and atmospheric pressure.

이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 종래기술에 따른 기판 합착장치를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, the substrate bonding apparatus according to the prior art will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래기술에 따른 기판 합착장치의 개략적인 구조를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a schematic structure of a substrate bonding apparatus according to the prior art.

종래의 기판 합착장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 크게 기판의 합착이 이루어지는 챔버(10)와, 상기 챔버(10)와 연결되어 가스를 공급하는 가스 공급관(20)과, 챔버(10) 내부를 진공으로 만들기 위한 진공펌프(30)로 이루어진다.As shown in FIG. 1, a conventional substrate bonding apparatus includes a chamber 10 in which substrates are bonded to each other, a gas supply pipe 20 connected to the chamber 10 to supply gas, and an inside of the chamber 10. It consists of a vacuum pump 30 for making a vacuum.

상기 챔버(10)의 내부에는 하부 유리기판(1)이 로딩되는 하부 플레이트(11)와, 상기 하부 플레이트(11)에 대향하며 상부 유리기판(2)이 흡착되는 상부 플레이트(12)가 배치된다.In the chamber 10, a lower plate 11 on which the lower glass substrate 1 is loaded, and an upper plate 12 opposite to the lower plate 11 and to which the upper glass substrate 2 is adsorbed are disposed. .

그리고, 상기 가스 공급관(20)은 챔버(10)의 상부와 연결되어 진공이 된 챔버(10)를 대기압 상태로 만들기 위해 챔버(10) 내부에 가스를 공급하며, 상기 가스 공급관(20)에는 가스의 공급량을 조절하기 위한 밸브(21)가 연결된다.In addition, the gas supply pipe 20 is connected to the upper portion of the chamber 10 to supply a gas into the chamber 10 to make the chamber 10 which is a vacuum at atmospheric pressure, the gas supply pipe 20 to the gas The valve 21 for adjusting the supply amount of is connected.

또한, 상기 진공 펌프(30)는 상기 하부 플레이트(11)와 상부 플레이트(12)에 로딩된 기판(1, 2)의 합착전에 챔버(10) 내부의 기체를 외부로 배출시켜 챔버(10) 내부를 진공으로 만든다. 상기 진공 펌프(20)는 챔버(10)의 일측에 설치되며, 특히 챔버(10)와의 연결을 위한 배관을 가지지 않고 챔버(10)와 직접 연결되는 구조를 가진다.In addition, the vacuum pump 30 discharges the gas inside the chamber 10 to the outside before bonding the substrates 1 and 2 loaded on the lower plate 11 and the upper plate 12 to the outside of the chamber 10. To vacuum. The vacuum pump 20 is installed on one side of the chamber 10, and in particular, has a structure that is directly connected to the chamber 10 without having a pipe for connection with the chamber 10.

그러나, 이와 같은 종래 기술에 따른 기판 합착장치는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the substrate bonding apparatus according to the prior art has the following problems.

첫째, 종래 기술에 따른 기판 합착장치는 고진공의 압력을 사용하는 진공 펌프가 챔버와 직접 연결된 구조를 가진다. 따라서, 상기 기판 합착공정 수행중에 하부 유리기판에 적하된 액정이 휘발하게 되면 진공펌프의 내부로 직접 유입되어 고가인 진공 펌프를 오염시키고, 고장을 유발시키는 문제점이 있었다.First, the substrate bonding apparatus according to the prior art has a structure in which a vacuum pump using a high vacuum pressure is directly connected to the chamber. Therefore, when the liquid crystal dropped on the lower glass substrate is volatilized during the substrate bonding process, the liquid crystal flows directly into the vacuum pump, contaminating an expensive vacuum pump and causing a failure.

둘째, 상기와 같은 진공 펌프의 오작동은 합착을 위해 챔버내에 필요한 진공도를 제공하지 못해 액정표시장치의 품질을 떨어 뜨리는 문제점이 있었다.Second, the malfunction of the vacuum pump as described above has a problem in that the quality of the liquid crystal display device is deteriorated because it does not provide the required degree of vacuum in the chamber for bonding.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 기판 합착공정시 발생하는 액정의 휘발에 따른 진공펌프의 손상을 막아 보다 안정적인 진공펌프의 운전을 가능하게 하는 액정표시장치용 기판 합착장치를 제공하는데 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above problems, a liquid crystal display substrate bonding apparatus for preventing the damage of the vacuum pump caused by the volatilization of the liquid crystal generated during the substrate bonding process to enable a more stable operation of the vacuum pump The purpose is to provide.

도 2는 본 발명에 따른 액정표시장치용 기판 합착장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.2 is a view schematically showing a substrate bonding apparatus for a liquid crystal display according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 트래핑 배관의 일 실시예를 나타내는 도면이다.3 is a view showing an embodiment of the trapping pipe according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 트래핑 배관의 다른 실시예를 나타내는 도면이다.4 is a view showing another embodiment of the trapping pipe according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100: 챔버(Chamber) 101: 하부 유리기판100: chamber 101: lower glass substrate

102: 상부 유리기판 103: 액정102: upper glass substrate 103: liquid crystal

104: 접착제 111: 하부 플레이트104: adhesive 111: lower plate

112: 상부 플레이트 120: 가스공급관112: upper plate 120: gas supply pipe

121: 밸브 130: 진공펌프121: valve 130: vacuum pump

140: 트래핑 배관 141: 요철140: trapping piping 141: irregularities

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은 액정이 적하된 하부 유리기판과 상부 유리기판의 합착이 수행되는 챔버와, 상기 챔버의 내부 하단에 설치되며, 하부 유리기판이 로딩되는 하부 플레이트와, 상기 챔버의 내부 상단에 상기 하부 유리기판과 대향되게 설치되며, 상부 유리기판이 흡착되는 상부 플레이트와, 상기 챔버의 일측과 연결되어 챔버의 내부로 가스를 공급하는 가스 공급관과, 상기 챔버 내부의 기체를 외부로 배출시키는 진공 펌프와, 상기 진공 펌프와 챔버를 연결시키며, 상기 액정이 휘발되어 진공 펌프로 직접 유입되는 것을 방지하도록 상기 액정을 도중에 액화시키는 트래핑 배관을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 기판 합착장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a chamber in which the bonding of the lower glass substrate and the upper glass substrate on which the liquid crystal is loaded is performed, the lower plate is installed at the inner bottom of the chamber, and the lower glass substrate is loaded; An upper plate installed at an upper end of the chamber to face the lower glass substrate, the upper plate to which the upper glass substrate is adsorbed, a gas supply pipe connected to one side of the chamber to supply gas into the chamber, and a gas inside the chamber. And a trapping pipe connecting the vacuum pump to the outside, the trapping pipe connecting the vacuum pump and the chamber and liquefying the liquid crystal to prevent the liquid crystal from being volatilized and directly introduced into the vacuum pump. Provided is a substrate bonding apparatus.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 액정표시장치용 기판 합착장치를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a substrate bonding apparatus for a liquid crystal display device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 액정표시장치용 기판 합착장치를 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 3은 본 발명에 따른 트래핑 배관의 일 실시예를 나타내는 도면이다.2 is a view schematically showing a substrate bonding apparatus for a liquid crystal display device according to the present invention, Figure 3 is a view showing an embodiment of the trapping pipe according to the present invention.

본 발명에 따른 액정표시장치용 기판 합착장치는 도 2에 도시된 바와 같이, 하부 유리기판(101)과 상부 유리기판(102)의 합착이 수행되는 챔버(100)와, 상기 챔버(100) 내부의 기체를 외부로 배출시키는 진공펌프(130)와, 상기 챔버(100)의 일측에 연결되어 챔버(100)의 내부로 가스를 공급하는 가스공급관(120)으로 이루어진다.As shown in FIG. 2, the substrate bonding apparatus for the liquid crystal display according to the present invention includes a chamber 100 in which the lower glass substrate 101 and the upper glass substrate 102 are bonded together, and the inside of the chamber 100. The vacuum pump 130 for discharging the gas to the outside and the gas supply pipe 120 is connected to one side of the chamber 100 to supply gas into the chamber 100.

상기 하부 유리기판(101) 상에는 액정(103)층과 접착제(104)가 형성되고, 상기 상부 유리기판(102)상에는 컬러필터층이 형성된다. 그리고, 상기 챔버(100)는 내부에 하부 유리기판(101)이 로딩되는 하부 플레이트(111)와, 상부 유리기판(102)이 흡착되는 상부 플레이트(112)를 구비한다.The liquid crystal 103 layer and the adhesive 104 are formed on the lower glass substrate 101, and a color filter layer is formed on the upper glass substrate 102. The chamber 100 includes a lower plate 111 on which the lower glass substrate 101 is loaded, and an upper plate 112 on which the upper glass substrate 102 is adsorbed.

상기 하부 플레이트(111)는 챔버(100)의 내부 하단에 설치되며, 상기 상부 플레이트(112)는 챔버(100)의 내부 상단에 하부 플레이트(111)와 대향되게 설치된다. 또한, 상기 상/하부 플레이트(112, 111))의 내면에는 기판을 흡착하는 홈이 있으며, 기판을 압착하기 위해 평평한 모양으로 되어 있다.The lower plate 111 is installed at an inner lower end of the chamber 100, and the upper plate 112 is installed at an inner upper end of the chamber 100 to face the lower plate 111. In addition, a groove for adsorbing the substrate is provided on the inner surfaces of the upper and lower plates 112 and 111 and has a flat shape to press the substrate.

특히, 상부 플레이트(112)의 홈에는 적어도 1개의 관통구멍이 설치되어 있어, 그 관통구멍에 별도의 펌프 등을 접속하여 상부 유리기판(102)을 흡착한다.In particular, at least one through hole is provided in the groove of the upper plate 112, and a separate pump or the like is connected to the through hole to adsorb the upper glass substrate 102.

그리고, 상기 진공펌프(130)는 기판 합착 전 챔버(100) 내부의 기체를 외부로 배출시켜 기판 합착에 필요한 진공도를 제공한다. 또한, 상기 가스공급관(120)은 기판의 합착이 종료된 후 진공 상태의 챔버(100) 내부를 대기압으로 만들기 위해 챔버(100) 내부에 가스를 공급하는 관으로 가스의 공급량을 조절하기 위한 밸브(121)가 연결된다.In addition, the vacuum pump 130 discharges the gas inside the chamber 100 before the substrate bonding to the outside to provide the degree of vacuum required for the substrate bonding. In addition, the gas supply pipe 120 is a pipe for supplying a gas into the chamber 100 to make the inside of the chamber 100 in a vacuum state after the bonding of the substrate is completed, the valve for adjusting the amount of gas ( 121) is connected.

한편, 상기 진공펌프(130)는 챔버(100)와 별도의 트래핑 배관(140)에 의해 연결된다. 상기 트래핑 배관(140)은 상기 챔버(100)와 진공펌프(130)를 연결하여 챔버(100) 내부의 기체가 배출되는 유로를 형성함과 동시에 상기 하부 유리기판(101)에 적하된 액정(103)이 휘발되어 진공 펌프(130)로 직접 유입되는 것을 방지한다.Meanwhile, the vacuum pump 130 is connected to the chamber 100 by a separate trapping pipe 140. The trapping pipe 140 connects the chamber 100 and the vacuum pump 130 to form a flow path through which gas in the chamber 100 is discharged, and at the same time, the liquid crystal 103 dropped on the lower glass substrate 101. ) Is prevented from being volatilized to flow directly into the vacuum pump (130).

즉, 상기 휘발된 액정(103)은 트래핑 배관(140)을 거치면서 외부 공기와 열교환되어 액화되기 때문에 진공펌프(130) 내부로 유입되지 않게 된다.That is, since the volatilized liquid crystal 103 is liquefied by heat exchange with external air while passing through the trapping pipe 140, the liquid crystal 103 is not introduced into the vacuum pump 130.

그리고, 상기 트래핑 배관(140)은 도 3에 도시된 바와 같이, 배관의 일부를 하부로 절곡하여 형성됨이 바람직하다. 이는 상기와 같이 액화되어 배관내부에 고여 있는 액정(103)이 진공펌프(130)내부로 흘러들어 가지 않도록 하기 위함이다.The trapping pipe 140 is preferably formed by bending a portion of the pipe downward as shown in FIG. 3. This is to prevent the liquid crystal 103 liquefied as described above and accumulated in the pipe does not flow into the vacuum pump 130.

즉, 상기 액정(103)이 액화되면 트래핑 배관(140)의 내부에 고이게 되는데 이때, 상기 액정(103)이 고일 수 있는 공간이 없으면 액정(103)은 액화된 상태로진공펌프(130)의 내부로 유입될 수 있다. 하지만, 상기와 같이 트래핑 배관(140)의 일부를 하부로 절곡형성하면, 액화된 액정(103)은 트래핑 배관(140)의 절곡된 부분에 고이게 되어 진공펌프(130) 내부로 유입되는 것이 방지된다.That is, when the liquid crystal 103 is liquefied, the liquid is accumulated in the trapping pipe 140. In this case, when there is no space where the liquid crystal 103 may be accumulated, the liquid crystal 103 is in the liquefied state. Can be introduced into. However, when a part of the trapping pipe 140 is bent downward as described above, the liquefied liquid crystal 103 is accumulated at the bent portion of the trapping pipe 140 and is prevented from flowing into the vacuum pump 130. .

또한, 상기 트래핑 배관(140)의 내면 하부에는 도 4에 도시된 바와 같이, 요철(141)이 형성될 수도 있다. 따라서, 상기 액화된 액정(103)은 트래핑 배관(140)의 요철(141)부위에 고이게 되어 진공펌프(130) 내부로 유입되는 것이 방지된다.In addition, as shown in FIG. 4, an unevenness 141 may be formed below the inner surface of the trapping pipe 140. Therefore, the liquefied liquid crystal 103 is accumulated in the uneven portion 141 of the trapping pipe 140 is prevented from flowing into the vacuum pump 130.

이러한 구조는 트래핑 배관(140) 내부에서 액화되는 액정(103)의 양이 많지 않은 경우 상기 요철(141)부위에 형성된 공간만으로도 액화된 액정(103)을 저장할 수 있기 때문이다. 또한, 이러한 구조는 상기 트래핑 배관(140)의 일부를 절곡하여 형성할 필요가 없기 때문에 트래핑 배관(140)의 전체적인 길이를 줄일 수 있다.This structure is because when the amount of the liquid crystal 103 liquefied in the trapping pipe 140 is not large, the liquid crystal 103 can be stored using only the space formed in the uneven portion 141. In addition, since the structure does not need to be bent to form a part of the trapping pipe 140, it is possible to reduce the overall length of the trapping pipe 140.

그리고, 상기 트래핑 배관(140)에는 액정(103)을 액화시키기 위한 냉각장치(미도시)를 별도로 설치할 수 있다. 상기 냉각장치는 수랭식과 공랭식이 있으며, 수랭식 냉각장치는 트래핑 배관(140)의 주위를 냉각수가 순환하도록 하는 구조로 이루어지며, 공랭식 냉각장치는 트래핑 배관(140)의 주위에 냉각핀을 마련하고, 상기 냉각핀에 의해 트래핑 배관(140) 내부의 열을 대기 속으로 발산하도록 구성한다. 상기 공랭식 냉각 장치는 보다 효율적인 냉각을 위해 송풍팬을 더 설치할 수 있다. 이와 같은, 상기 냉각장치는 이미 널리 알려진 장치로서 이외에도 다양한 실시예가 있음은 당연하다.In addition, a cooling device (not shown) for liquefying the liquid crystal 103 may be separately installed in the trapping pipe 140. The cooling device is a water-cooled and air-cooled, the water-cooled cooling device is made of a structure to circulate the cooling water around the trapping pipe 140, the air-cooled cooling device provides a cooling fin around the trapping pipe 140, The cooling fins are configured to dissipate heat inside the trapping pipe 140 into the atmosphere. The air-cooled cooling device may further install a blower fan for more efficient cooling. As such, the cooling device is a well-known device, it is obvious that there are various embodiments.

한편, 상기 트래핑 배관(140)은 내부에 고여있는 액정(103)을 제거하기 위해착탈가능하게 설치됨이 바람직하다. 따라서, 상기 액정(103)을 제거하는 작업은 트래핑 배관(140)을 챔버(100)와 진공펌프(130)로 부터 분리하여 이루어진다. 또한, 트래핑 배관(130)이 착탈가능하게 설치되면 수리나 점검시에도 보다 간편한 작업을 가능하게 한다.On the other hand, the trapping pipe 140 is preferably detachably installed to remove the liquid crystal 103 accumulated therein. Therefore, the operation of removing the liquid crystal 103 is performed by separating the trapping pipe 140 from the chamber 100 and the vacuum pump 130. In addition, if the trapping pipe 130 is installed detachably enables a more convenient operation even during repair or inspection.

이와 같이 구성되는 상기 기판 합착장치를 이용한 기판 합착공정을 간단히 설명하면 다음과 같다.The substrate bonding process using the substrate bonding apparatus configured as described above will be briefly described as follows.

먼저, 상기 하부 유리기판(101)을 상기 하부 플레이트(111)에 로딩시키고, 상부 유리기판(102)을 상부 플레이트(112)에 흡착시킨다. 다음, 가스공급관(120)의 밸브(121)를 닫은 후, 진공펌프(130)를 동작시켜 챔버(100) 내부를 진공으로 만든다.First, the lower glass substrate 101 is loaded on the lower plate 111, and the upper glass substrate 102 is adsorbed on the upper plate 112. Next, after closing the valve 121 of the gas supply pipe 120, the vacuum pump 130 is operated to vacuum the inside of the chamber 100.

이 때, 상기 진공펌프(130)에 의해 챔버(100) 내부가 고진공 상태가 되면 상기 하부 유리기판(101)에 적하된 액정(103)이 휘발되고, 상기 휘발된 액정(103)은 챔버(100) 내부의 기체와 함께 트래핑 배관(140)으로 유입된다. 이때, 상기 액정(103)은 트래핑 배관(140)에서 액화되어 트래핑 배관(140)의 요철부분(141)등에 고이게 된다.At this time, when the inside of the chamber 100 is in a high vacuum state by the vacuum pump 130, the liquid crystal 103 dropped on the lower glass substrate 101 is volatilized, and the volatilized liquid crystal 103 is chamber 100. ) Is introduced into the trapping pipe 140 together with the gas inside. At this time, the liquid crystal 103 is liquefied in the trapping pipe 140 is accumulated in the uneven portion 141 of the trapping pipe 140.

이후, 상기 진공펌프(120)의 동작을 정지시키고, 진공 상태에서 상부 플레이트(112)을 하부로 하강시켜 상/하 유리기판(102,101)을 합착시킨다. 이 때, 상부 플레이트(102)의 하강에 의해 약하게 압력이 가해진다.Thereafter, the operation of the vacuum pump 120 is stopped, and the upper and lower glass substrates 102 and 101 are joined by lowering the upper plate 112 downward in a vacuum state. At this time, pressure is weakly applied by the lowering of the upper plate 102.

이어서, 가스공급관(120)의 밸브(121)를 열어 챔버(100) 내로 질소(N₂)와 같은 비활성 가스를 공급하여 대기압 상태로 만든다. 상기 가스 공급시 압력의 갑작스러운 급증에 의해 접착제(104)가 터질 수 있기 때문에 밸브(121)를 통해 가스의 양을 조절한다.Subsequently, the valve 121 of the gas supply pipe 120 is opened to supply an inert gas such as nitrogen (N ₂ ) into the chamber 100 to bring it to atmospheric pressure. Since the adhesive 104 may burst due to a sudden sudden increase in pressure during the gas supply, the amount of gas is controlled through the valve 121.

상기와 같이 가스의 공급에 의해 챔버(100)의 내부가 대기압으로 바뀌게 되면, 상기 상/하 유리기판(102,101) 사이의 진공상태와 외부의 대기압과의 압력 차이로 인해 접착제(104)가 눌려져 안정한 셀 갭(Cell Gap)이 형성된다.When the inside of the chamber 100 is changed to atmospheric pressure by the supply of gas as described above, the adhesive 104 is pressed and stable due to the pressure difference between the vacuum state between the upper and lower glass substrates 102 and 101 and the external atmospheric pressure. A cell gap is formed.

이후, 상기 상부 유리기판(102)으로부터 상부 플레이트(112)을 분리시킨 뒤 합착된 두 기판을 챔버(100) 외부로 인출한다.Thereafter, the upper plate 112 is separated from the upper glass substrate 102 and the two bonded substrates are taken out of the chamber 100.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 액정표시장치용 기판 합착장치는 다음과 같은 효과가 있다.The substrate bonding apparatus for a liquid crystal display device according to the present invention as described above has the following effects.

첫째, 본 발명은 진공펌프가 직접 챔버와 연결되지 않고 냉각장치를 구비한 트래핑 배관을 통하기 때문에 챔버 내부에서 휘발된 액정이 트래핑 배관을 거치면서 액화되어 직접 진공펌프 내부로 유입되지 않는다. 따라서, 휘발된 액정의 유입에 따른 고가의 진공펌프의 손상을 방지할 수 있다.First, in the present invention, since the vacuum pump is not directly connected to the chamber and passes through a trapping pipe having a cooling device, the liquid crystal volatilized in the chamber is liquefied through the trapping pipe and does not directly flow into the vacuum pump. Therefore, it is possible to prevent damage to the expensive vacuum pump due to the inflow of the volatilized liquid crystal.

둘째, 본 발명은 진공 펌프의 안정적인 운전을 제공하여 합착공정시 발생하는 액정표시장치의 불량을 방지할 수 있다.Second, the present invention can provide a stable operation of the vacuum pump to prevent the defect of the liquid crystal display device generated during the bonding process.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라특허청구범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims

A chamber in which bonding of the lower glass substrate and the upper glass substrate on which the liquid crystal is dropped is performed;

A lower plate installed at an inner lower end of the chamber and loaded with a lower glass substrate;

An upper plate installed on the inner upper end of the chamber to face the lower glass substrate, and the upper glass substrate adsorbed thereon;

A gas supply pipe connected to one side of the chamber to supply gas into the chamber;

A vacuum pump for discharging the gas inside the chamber to the outside;

And a trapping pipe connecting the vacuum pump and the chamber and liquefying the liquid crystal in the middle so as to prevent the liquid crystal from being volatilized and directly introduced into the vacuum pump.

The method of claim 2,

The trapping pipe is a substrate bonding apparatus for a liquid crystal display device, characterized in that a portion of the pipe is bent downward so that the liquefied liquid crystal can be collected.

The method of claim 2,

The trapping pipe is a substrate bonding apparatus for a liquid crystal display device, characterized in that irregularities are formed in the lower inner surface so that the liquefied liquid crystal can be collected.

The method of claim 2 or 3,

And a cooling device is installed in the trapping pipe to liquefy liquid crystal passing through the pipe.

The method of claim 4, wherein

The cooling apparatus is a substrate bonding apparatus for a liquid crystal display device, characterized in that the cooling fin and the blowing fan for heat exchange with the outside air.

The method of claim 1,

And the trapping pipe is detachably installed.