KR20050000724A - 평판 디스플레이 장치의 플라즈마 기판 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- 플라즈마를 사용하여 평판 디스플레이 장치의 기판을 처리하는 장치에 있어서,진공 챔버;상기 진공 챔버 내부에 위치하는 상부 전극;상기 상부 전극과 대향하여 상기 상부 전극과 함께 전계를 형성하며 상기 기판을 지지하기 위한 하부 전극;상기 진공 챔버의 일면에 설치되어 기판 처리 공정의 잔류물과 부산물을 상기 진공 챔버 내부로 배출하기 위한 배기 수단;상기 진공 챔버의 상기 배기 수단과 대향하는 면에 설치되어 있으며, 기판 처리용 가스를 상기 기판에 분사하기 위한 정면 가스 분사용 수단;상기 진공 챔버의 나머지 두 측면 중 하나의 측면에 설치되어 있으며, 기판 처리용 가스를 상기 기판에 분사하기 위한 제1측면 가스 분사용 수단; 및상기 진공 챔버의 다른 하나의 측면에 설치되어 있으며, 기판 처리용 가스를상기 기판에 분사하기 위한 제2측면 가스 분사용 수단을 구비하는 평판 디스플레이 장치의 기판 처리 장치.
- 제1항에 있어서,상기 정면 가스 분사용 수단, 상기 제1측면 가스 분사용 수단 및 상기 제2측면 가스 분사용 수단은 서로 연결되어 일체를 이루고 있는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 기판 처리 장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판 처리 장치는 에슁 장치인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 기판 처리 장치.
- 제1항에 있어서,상기 정면 가스 분사용 수단, 상기 제1 측면 가스 분사용 수단 및 상기 제2 측면 가스 분사용 수단은 노즐을 포함하는 장치인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 기판 처리 장치.
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