KR200496114Y1 - 기판 거치 바스켓 점검 기계 - Google Patents

기판 거치 바스켓 점검 기계 Download PDF

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KR200496114Y1
KR200496114Y1 KR2020210002104U KR20210002104U KR200496114Y1 KR 200496114 Y1 KR200496114 Y1 KR 200496114Y1 KR 2020210002104 U KR2020210002104 U KR 2020210002104U KR 20210002104 U KR20210002104 U KR 20210002104U KR 200496114 Y1 KR200496114 Y1 KR 200496114Y1
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basket
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mounting basket
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KR2020210002104U
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쿤-린 추
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이클랫 포에버 머시너리 컴퍼니 리미티드
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Abstract

본 고안은 기판 거치 바스켓 점검 기계를 제시한다. 이 기판 거치 바스켓 점검 기계에는 거치 바스켓 수송 플랫폼, 거치 바스켓 커버 점검부, 거치 바스켓 커버 여닫기부, 거치 바스켓 프레임 점검부, 그리고 바깥 틀이 있다. 거치 바스켓 수송 플랫폼에는 거치 바스켓 수송 통로가 있고, 거치 바스켓 커버 점검부는 거치 바스켓 수송 통로 상류에 위치하고 첫째 거치 바스켓 위치 점검 유닛 두 개와 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛 두 개가 있으며, 거치 바스켓 커버 여닫기부는 거치 바스켓 수송 통로 중류에 위치하고 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛 두 개가 있으며, 거치 바스켓 프레임 점검부는 거치 바스켓 수송 통로 하류에 위치하고 기판 거치 홈 점검 유닛 한 개와 둘째 거치 바스켓 위치 점검 유닛 세 개가 있으며, 거치 바스켓 수송 플랫폼, 거치 바스켓 커버 점검부, 거치 바스켓 커버 여닫기부, 그리고 거치 바스켓 프레임 점검부는 바깥 틀에 설치된다.

Description

기판 거치 바스켓 점검 기계{INSPECTION MACHINE FOR SUBSTRATE BASKET}
본 고안은 기판 거치 바스켓 점검 기계, 특히 기판을 거치하기 전에 거치 바스켓을 점검할 수 있어 후속 기판 제조공정의 산출량과 제조 효율을 향상시킬 수 있는 기계를 제시한다.
기판(예를 들어 전기회로판) 표면 처리 공정을 진행할 때, 작업자는 우선 다수의 기판을 거치 바스켓에 거치한다. 그리고 나서 작업자는 거치 바스켓을 기구에 걸은 다음 기구를 가동해서 도금액이 들은 도금조 내에 거치 바스켓을 이동시켜 바스켓에 들은 기판을 도금액 안에 담근 다음 화학 치환 반응을 통해서 도금 효과가 일어나게 한다. 하지만 기존의 방식은 거치 바스켓에 다수의 기판을 배열 거치하기 전에 점검 기계로 감지하지 않기 때문에 기판에 손상이 자주 일어나서 후속 기판 제조공정의 산출량과 제조 효율이 저하되는 결과를 초래한다.
본 고안 창작자는 연구에 심혈을 기울인 결과, 기판을 거치하기 전에 거치 바스켓을 우선 점검하여 기판의 후속 제조공정의 산출량과 제조 효율을 향상시기 위해 기판 거치 바스켓 점검 기계를 개발하였다.
본 고안은 기판 거치 바스켓 점검 기계를 제시한다. 이 기판 거치 바스켓 점검 기계에는 거치 바스켓 수송 플랫폼, 거치 바스켓 커버 점검부, 거치 바스켓 커버 여닫기부, 거치 바스켓 프레임 점검부, 그리고 바깥 틀이 있다.
이 중에서 상기 거치 바스켓 수송 플랫폼에는 거치 바스켓 수송 통로가 있다. 상기 거치 바스켓 커버 점검부는 거치 바스켓 수송 통로 상류에 위치하고 첫째 거치 바스켓 위치 점검 유닛 두 개와 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛 두 개가 있으며, 첫째 거치 바스켓 위치 점검 유닛은 각각 거치 바스켓 수송 통로 상류의 왼쪽과 오른쪽에 위치하고 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛은 각각 거치 바스켓 수송 통로 상류의 앞쪽과 뒤쪽에 위치한다.
상기 거치 바스켓 커버 여닫기부는 거치 바스켓 수송 통로 중류에 위치하고 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛 두 개가 있으며, 이 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛은 각각 거치 바스켓 수송 통로 중류의 왼쪽과 오른쪽에 위치한다.
상기 거치 바스켓 프레임 점검부는 거치 바스켓 수송 통로 하류에 위치하고 기판 거치 홈 점검 유닛 한 개와 둘째 거치 바스켓 위치 점검 유닛 세 개가 있으며, 기판 거치 홈 점검 유닛은 거치 바스켓 수송 통로 하류의 왼쪽과 오른쪽 사이에 위치하고 둘째 거치 바스켓 위치 점검 유닛은 각각 거치 바스켓 수송 통로 하류의 왼쪽, 오른쪽, 그리고 끝에 위치한다. 상기 거치 바스켓 수송 플랫폼, 첫째 거치 바스켓 위치 점검 유닛, 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛, 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛, 기판 거치 홈 점검 유닛, 그리고 둘째 거치 바스켓 위치 점검 유닛은 상기 바깥 틀에 설치된다.
한 가지 실시예에서, 상기 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛 사이에는 첫째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛이 연결된다. 이 첫째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛은 상기 바깥 틀에 설치된다.
상기 각각의 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛에는 캔틸레버와 승강식 점검 유닛이 있다. 첫째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛은 캔틸레버 사이에 연결되며, 승강식 점검 유닛은 각각 캔틸레버에 설치된다. 그리고 이 승강식 점검 유닛은 서로 마주 보며 또한 동시에 승강한다.
한 가지 실시예에서, 상기 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛에는 좌우 방향 평행 이동 유닛, 첫째 탑재 유닛, 회전 팔, 그리고 신축 유닛이 있다.
좌우 방향 평행 이동 유닛은 바깥 틀에 설치되며, 첫째 탑재 유닛은 좌우 방향 평행 이동 유닛에 설치된다. 그리고 회전 팔의 양쪽 끝 사이는 첫째 탑재 유닛에 피벗 설치되며, 신축 유닛의 양쪽 끝은 각각 첫째 탑재 유닛과 회전 팔의 꼬리 부분에 피벗 설치된다. 상기 회전 팔의 머리 부부에는 첫째 커버 연결 유닛이 설치된다.
한 가지 실시예에서, 상기 기판 거치 홈 점검 유닛에는 둘째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛, 둘째 탑재 유닛, 승강 유닛, 기판 거치 홈 점검 틀, 그리고 저항력 감지 점검 유닛이 있다.
둘째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛은 바깥 틀에 설치되고 둘째 탑재 유닛은 둘째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛에 설치되며, 승강 유닛은 둘째 탑재 유닛에 설치되고 기판 거치 홈 점검 틀은 승강 유닛에 설치된다. 그리고 저항력 점검 유닛은 승강 유닛과 기판 거치 홈 점검 틀 사이에 연결된다.
한 가지 실시예에서, 상기 기판 거치 홈 점검 유닛에는 신축 연결 레버가 최소한 한개 있다. 이 신축 연결 레버는 상기 승강 유닛과 기판 거치 홈 점검 틀 사이에 연결된다.
이렇게 하여 본 고안인 기판 거치 바스켓 점검 기계는 거치 바스켓이 기판을 거치하기 전에 거치 바스켓을 점검하여 후속 기판 제조공정의 산출량과 제조 효율을 향상시킨다.
본 고안의 기판 거치 바스켓 점검 기계기판은 거치하기 전에 거치 바스켓을 우선 점검하여 기판의 후속 제조공정의 산출량과 제조 효율이 향상된다.
도면 1은 본 고안의 구체적인 실시예의 기판 거치 바스켓 점검 기계를 입체적으로 보여주는 도이다.
도면 2는 본 고안의 구체적인 실시예의 거치 바스켓 수송 플랫폼, 거치 바스켓 커버 점검부, 거치 바스켓 커버 여닫기부, 그리고 거치 바스켓 프레임 점검부를 입체적으로 보여주는 도이다.
도면 3은 본 고안의 구체적인 실시예의 거치 바스켓 커버 점검부와 거치 바스켓 커버 여닫기부를 입체적으로 보여주는 첫 번째 도이다.
도면 4는 본 고안의 구체적인 실시예의 거치 바스켓 커버 점검부와 거치 바스켓 커버 여닫기부를 입체적으로 보여주는 두 번째 도이다.
도면 5는 본 고안의 구체적인 실시예의 거치 바스켓 프레임 점검부를 입체적으로 보여주는 첫 번째 도이다.
도면 6은 본 고안의 구체적인 실시예의 거치 바스켓 프레임 점검부를 입체적으로 보여주는 두 번째 도이다.
도면 7은 본 고안의 구체적인 실시예의 거치 바스켓 프레임 점검부를 입체적으로 보여주는 세 번째 도이다.
도면 8은 본 고안의 구체적인 실시예의 둘째 거치 바스켓 위치 점검 유닛을 입체적으로 보여주는 도이다.
도면 9는 본 고안의 구체적인 실시예의 거치 바스켓 커버 닫힘을 입체적으로 보여주는 도이다.
도면 10은 본 고안의 구체적인 실시예의 거치 바스켓 커버 열림을 입체적으로 보여주는 도이다.
도면 11은 본 고안의 구체적인 실시예의 거치 바스켓 감지를 입체적으로 보여주는 첫 번째 도이다.
도면 12는 본 고안의 구체적인 실시예의 거치 바스켓 감지를 입체적으로 보여주는 두 번째 도이다.
도면 13은 본 고안의 구체적인 실시예의 거치 바스켓 감지를 입체적으로 보여주는 세 번째 도이다.
본 고안의 기술적 내용과 특징 및 효능을 충분히 이해할 수 있도록 돕기 위해 아래의 구체적인 실시예를 도면과 함께 제시하여 다음과 같이 설명한다. 여기서 유의해야 할 점은, 실시예에서 언급되는 방향을 지칭하는 용어, 예를 들어 위, 아래, 좌, 우, 전, 후 등은 도면의 방향을 참고하도록 알려주는 것이다. 따라서 방향 지칭 용어는 설명용일 뿐이며, 본 고안을 제한하는 것이 아니다.
도면 1, 도면 2, 도면 9, 그리고 도면 10을 참고한다. 도면에 표시된 바와 같이, 본 고안은 기판 거치 바스켓 점검 기계를 제공하여 거치 바스켓(6)이 복수의 기판(7)(예를 들어 전기회로판)을 거치하는 데 적합한지 여부를 점검한다. 상기 거치 바스켓(6)에는 걸이 팔(61) 두 개, 프레임(62) 한 개, 그리고 커버(63) 두 개가 있다. 상기 걸이 팔(61)은 각각 프레임(62)의 왼쪽 및 오른쪽에 설치되어 거치 바스켓(6)이 이동 기구(도면에 표시되지 않았음)에 걸어질 수 있도록 해서 거치 바스켓(6) 안의 기판(7)들이 도금조(도면에 표시되지 않았음) 내로 이동하여 도금 공정을 진행할 수 있게 한다. 상기 프레임(62)에는 복수의 기판 거치 홈(621)이 있어 기판(7)을 거치할 수 있다.
상기 커버(63)는 프레임(62)의 열린 부분의 좌측과 우측에 각각 피벗 연결된다. 상기 커버(63)의 바닥에는 커버(63)가 프레임(62)에 닫힐 때 기판(7)의 위치를 고정시키기 위해 복수의 위치고정 홈(632)이 있을 수 있다. 각각의 커버(63) 앞쪽에는 둘째 커버 연결 유닛(631)이 있으며(예를 들어 피벗 연결용 원기둥), 기판 거치 바스켓 점검 기계는 이 둘째 커버 연결 유닛(631)을 통해서 커버(63)를 여닫을 수 있다.
기판 거치 바스켓 점검 기계에는 거치 바스켓 수송 플랫폼(1), 거치 바스켓 커버 점검부(2), 거치 바스켓 커버 여닫기부(3), 거치 바스켓 프레임 점검부(4), 그리고 바깥 틀(5)이 있다.
이 중에서, 상기 거치 바스켓 수송 플랫폼(1)에는 거치 바스켓(6)을 수송하는 거치 바스켓 수송 통로(11)가 있다. 거치 바스켓 수송 플랫폼(1)에는 모터로 구동되는 복수의 동력 롤링 축이 있어 거치 바스켓(6)을 거치 바스켓 수송 통로(11)의 상류(111)에서 거치 바스켓 수송 통로(11)의 중류(112) 및 하류(113)로 수송할 수 있다. 동력 롤링 축은 또한 거치 바스켓(6)을 거치 바스켓 수송 통로(11)로부터 나오게 할 수도 있다.
상기 거치 바스켓 커버 점검부(2)는 거치 바스켓 수송 통로(11)의 상류(111)에 위치하며, 거치 바스켓 커버 점검부(2)에는 첫째 거치 바스켓 위치 점검 유닛(21) 두 개, 그리고 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛(22) 두 개가 있다.
도면 3, 4, 및 11을 같이 참고한다. 상기 첫째 거치 바스켓 위치 점검 유닛(21)은 각각 거치 바스켓 수송 통로(11) 상류(111)의 왼쪽과 오른쪽에 위치하며, 첫째 거치 바스켓 위치 점검 유닛(21)에는 거치 바스켓(6)이 지정 점에 도달하였는지 여부를 점검하는 복수의 위치 점검기가 있을 수 있다.
상기 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛(22)은 각각 거치 바스켓 수송 통로(11) 상류(111)의 앞쪽과 뒤쪽에 위치하며, 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛(22)은 커버(63)의 앞쪽과 뒤쪽에서 커버(63)가 프레임(62) 열린 부부의 잠금 고리(622)와 정상적으로 잠겼는지 여부를 점검한다.
거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛(22)에는 적외선 발사기 및 적외선 수신기가 있을 수 있다. 적외선 수신기가 적외선 발사기의 적외선을 정상적을 수신할 수 있을 때, 이는 커버(63)가 프레임(62)의 열린 부분의 잠금 고리(622)와 정상적으로 잠겨서 적외선 전파를 간섭하지 않는다는 것을 나타낸다.
이제 도면 12와 13을 같이 참고한다. 상기 거치 바스켓 커버 여닫기부(3)는 거치 바스켓 수송 통로(11)의 중류(112)에 위치하며, 거치 바스켓 커버 여닫기부(3)에는 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛(31)이 두 개 있다. 이 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛(31)은 각각 거치 바스켓 수송 통로(11) 중류(112)의 왼쪽과 오른쪽에 위치한다. 거치 바스켓(6)이 거치 바스켓 수송 통로(11)의 상류(111)에서 하류(113)로 수송되기 전에, 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛(31)은 각각 커버(63)의 둘째 커버 연결 유닛(631)을 통해서 커버(63)를 연다.
여기서 도면 5부터 8까지 같이 참고한다. 상기 거치 바스켓 프레임 점검부(4)는 거치 바스켓 수송 통로(11)의 하류(113)에 위치한다.
거치 바스켓 프레임 점검부(4)에는 기판 거치 홈 점검 유닛(41) 한 개, 그리고 둘째 거치 바스켓 위치 점검 유닛(42) 세 개가 있다. 기판 거치 홈 점검 유닛(41)은 거치 바스켓 수송 통로(11) 하류(113)의 왼쪽과 오른쪽 사이에 위치하며, 둘째 거치 바스켓 위치 점검 유닛(42)은 각각 거치 바스켓 수송 통로(11) 하류(113)의 왼쪽, 오른쪽, 그리고 끝에 위치한다.
기판 거치 홈 점검 유닛(41)은 프레임(62)의 기판 거치 홈(621)이 기판의 끼워짐을 방해하는지 여부를 점검할 수 있다. 각각의 둘째 거치 바스켓 위치 점검 유닛(42)에는 거치 바스켓(6)이 지정 점에 도달하였는지 여부를 점검하는 복수의 위치 점검기가 있을 수 있다.
상기 거치 바스켓 수송 플랫폼(1), 첫째 거치 바스켓 위치 점검 유닛(21), 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛(22), 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛(31), 기판 거치 홈 점검 유닛(41), 그리고 둘째 거치 바스켓 위치 점검 유닛(42)은 바깥 틀(5)에 설치된다.
위에서 설명한 바와 같이, 본 고안인 기판 거치 바스켓 점검 기계는 상기 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛(22)을 통해서 커버(63)가 정상적으로 프레임(62)에 닫힐 수 있는지 여부를 감지할 수 있으며, 또한 상기 기판 거치 홈 점검 유닛(41)을 통해서 프레임(62)의 기판 거치 홈(621)이 기판의 끼워짐을 방해하는지 여부를 감지할 수 있다. 이렇게 하여 본 고안인 기판 거치 바스켓 점검 기계는 거치 바스켓(6)에 기판(7)을 거치하기 전에 거치 바스켓을 점검해서 거치 바스켓(6)이 기판(7)을 정확하게 거치하도록 할 수 있어 후속 기판(7) 제조공정의 산출량과 제조 효율을 향상시킨다.
도면 3, 도면 4, 그리고 도면 11을 참고한다. 한 가지 실시예에서, 상기 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛(22) 사이에는 첫째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛(221)(예를 들어 공기압 실린더 또는 유압 실린더)이 연결된다.
이 첫째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛(221)은 바깥 틀(5)에 설치되며, 상기 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛(22)에는 캔틸레버(222)와 승강식 점검 유닛(223)이 있다. 첫째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛(221)은 캔틸레버(222) 사이에 연결되며, 승강식 점검 유닛(223)은 선형 모터를 통해서 각각의 캔틸레버(222)에 설치될 수 있다.
승강식 점검 유닛(223)은 적외선 발사기와 적외선 수신기일 수 있고, 승강식 점검 유닛(223)은 서로 마주 보며 또한 동시에 승강한다. 이렇게 하여 상기 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛(22)은 커버(63)가 프레임(62)의 열린 부분의 잠금 고리(622)와 정상적으로 잠겨서 적외선 전파를 간섭하지 않는다는 것을 점검할 수 있다.
도면 3, 도면 4, 그리고 도면 11에서 13까지를 참고한다. 한 가지 실시예에서, 상기 각각의 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛(31)에는 좌우 방향 평행 이동 유닛(311)(예를 들어 공기압 실린더 또는 유압 실린더), 첫째 탑재 유닛(312)(예를 들어 탑재 플레이트), 회전 팔(313), 그리고 신축 유닛(314)(예를 들어 공기압 실린더 또는 유압 실린더)이 있다.
상기 좌우 방향 평행 이동 유닛(311)은 바깥 틀(5)에 설치되며, 첫째 탑재 유닛(312)은 좌우 방향 평행 이동 유닛(311)에 설치된다. 상기 회전 팔(313)의 양쪽 끝 사이는 첫째 탑재 유닛(312)에 피벗 설치되며, 신축 유닛(314)의 양쪽 끝은 각각 첫째 탑재 유닛(312)과 회전 팔(313)의 꼬리 부분에 피벗 설치된다. 회전 팔(313)의 머리 부분에는 첫째 커버 연결 유닛(3131)(예를 들어 관통조)이 설치된다.
이렇게 하여 커버(63)가 프레임(62)에 닫힐 때, 회전 팔(313)은 신축 유닛(314)이 수축되는 것을 통해 수평으로 조절된다. 그런 다음 좌우 방향 평행 이동 유닛(311)은 첫째 탑재 유닛(312), 신축 유닛(314), 그리고 회전 팔(313)을 평행 이동시킬 수 있어 회전 팔(313)의 첫째 커버 연결 유닛(3131)이 커버(63)의 둘째 커버 연결 유닛(631)과 피벗 연결되게 한다.
그 다음에 각각의 회전 팔(313)은 신축 유닛(314)이 신장되는 것을 통해 수직으로 조절되어 커버(63)가 열리게 하고 회전 팔(313)의 첫째 커버 연결 유닛(3131)이 커버(63)의 둘째 커버 연결 유닛(631)으로부터 이탈하게 한다.
그런 다음 각각의 좌우 방향 평행 이동 유닛(311)은 첫째 탑재 유닛(312), 신축 유닛(314), 그리고 회전 팔(313)을 평행 이동 회수하여 거치 바스켓(6)이 거치 바스켓 수송 통로(11)의 상류(111)에서 중류(112)를 거쳐 하류(113)로 수송되어 점검을 받게 한다. 거치 바스켓(6)이 점검을 받은 후, 거치 바스켓 수송 통로(11)는 거치 바스켓(6)을 하류(113)에서 중류(112)를 거쳐 상류(111)로 수송한다. 이 때 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛(31)은 커버(63)가 프레임(62)에 닫히게 할 수 있으며, 그런 다음 거치 바스켓(6)은 거치 바스켓 수송 통로(11)로부터 나올 수 있게 된다.
도면 5에서 7까지, 그리고 도면 10, 12, 13을 참고한다. 한 가지 실시예에서, 상기 기판 거치 홈 점검 유닛(41)에는 둘째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛(411), 둘째 탑재 유닛(412), 승강 유닛(413), 기판 거치 홈 점검 틀(414), 그리고 저항력 점검 유닛(415)이 있다.
둘째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛(411)은 바깥 틀(5)에 설치되며, 둘째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛(411)에는 두 개의 가이드 레일과 모터로 구동되는 레버가 있어 둘째 탑재 유닛(412)이 레버의 구동을 통해 가이드 레일 상에서 앞뒤로 평행 이동할 수 있게 한다.
둘째 탑재 유닛(412)은 탑재 틀일 수 있으며 상기 둘째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛(411)에 설치된다. 승강 유닛(413)에는 공기압 실린더, 유압 실린더 또는 선형 모터가 있을 수 있고 둘째 탑재 유닛(412)에 설치된다.
기판 거치 홈 점검 틀(414)은 승강 유닛(413)에 설치되고, 저항력 점검 유닛(415)은 힘 감지기일 수 있으며, 승강 유닛(413)과 기판 거치 홈 점검 틀(414) 사이에 연결된다. 이렇게 하여 상기 둘째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛(411)은 둘째 탑재 유닛(412), 승강 유닛(413), 기판 거치 홈 점검 틀(414), 그리고 저항력 점검 유닛(415)을 앞뒤로 평행 이동시켜 기판 거치 홈 점검 틀(414)이 프레임(62)의 기판 거치 홈(621) 중 하나의 위쪽에 위치하게 한다.
그런 다음 승강 유닛(413)은 기판 거치 홈 점검 틀(414)과 저항력 점검 유닛(415)을 하강시켜 기판 거치 홈 점검 틀(414)이 프레임(62)의 기판 거치 홈(621) 중 하나에 끼워지게 한다.
이 때 저항력 점검 유닛(415)은 기판 거치 홈 점검 틀(414)이 기판 거치 홈(621)에 끼워질 때의 저항력을 점검할 수 있다. 만약 저항력이 사전 설정 값보다 클 경우, 이는 기판 거치 홈(621)이 실제 기판을 거치하기에 적합하지 않다는 것을 나타낸다. 그 다음에 승강 유닛(413)은 기판 거치 홈 점검 틀(414)과 저항력 점검 유닛(415)을 상승시켜 프레임(62)의 기타 기판 거치 홈(621)을 점검한다.
도면 5에서 7까지 참고한다. 한 가지 실시예에서, 상기 기판 거치 홈 점검 유닛(41)에는 최소한 한 개의 신축 연결 레버(416)가 있다. 이 신축 연결 레버(416)는 승강 유닛(413)과 기판 거치 홈 점검 틀(414) 사이에 연결된다. 이렇게 하여 신축 연결 레버(416)는 저항력 점검 유닛(415)이 승강 유닛(413)과 기판 거치 홈 점검 틀(414) 사이에 연결되는 것을 보조한다.
상기 실시예로 본 고안을 제시하였다. 하지만 해당 기술 분야의 통상적인 지식을 가진 이가 이해해야 할 것은 이러한 실시예들은 본 고안을 설명하기 위한 것이며, 본 고안의 범위를 제한하는 게 아니라는 점이다. 주의할 점은, 본 고안의 실시예를 참고하여 본 고안의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변경이 가능하며, 이러한 것들은 본 고안의 범위에 속한다고 할 것이다. 그러므로 본 고안의 보호범위는 특허청구범위에 기재된 것을 준거로 해야 할 것이다.
1 거치 바스켓 수송 플랫폼
11 거치 바스켓 수송 통로
111 상류
112 중류
113 하류
2 거치 바스켓 커버 점검부
21 첫째 거치 바스켓 위치 점검 유닛
211 위치 감지기
22 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛
221 첫째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛
222 캔틸레버
223 승강식 점검 유닛
3 거치 바스켓 커버 여닫기부
31 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛
311 좌우 방향 평행 이동 유닛
312 첫째 탑재 유닛
313 회전 팔
3131 첫째 커버 연결 유닛
314 신축 유닛
4 거치 바스켓 프레임 점검부
41 기판 거치 홈 점검 유닛
411 둘째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛
412 둘째 탑재 유닛
413 승강 유닛
414 기판 거치 홈 점검 틀
415 저항력 점검 유닛
416 신축 연결 레버
42 둘째 거치 바스켓 위치 점검 유닛
421 위치 감지기
5 바깥 틀
6 거치 바스켓
61 걸이 팔
62 프레임
621 기판 거치 홈
622 잠금 고리
63 커버
631 둘째 커버 연결 유닛
632 위치고정 홈
7 기판

Claims (5)

  1. 거치 바스켓 수송 통로가 있는 거치 바스켓 수송 플랫폼,
    거치 바스켓 수송 통로 상류에 위치하고 첫째 거치 바스켓 위치 점검 유닛 두 개와 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛 두 개가 있으며, 첫째 거치 바스켓 위치 점검 유닛은 각각 거치 바스켓 수송 통로 상류의 왼쪽과 오른쪽에 위치하고 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛은 각각 거치 바스켓 수송 통로 상류의 앞쪽과 뒤쪽에 위치하는 거치 바스켓 커버 점검부;
    거치 바스켓 수송 통로 중류에 위치하고 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛 두 개가 있으며, 이 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛은 각각 거치 바스켓 수송 통로 중류의 왼쪽과 오른쪽에 위치하는 거치 바스켓 커버 여닫기부;
    거치 바스켓 수송 통로 하류에 위치하고 기판 거치 홈 점검 유닛 한 개와 둘째 거치 바스켓 위치 점검 유닛 세 개가 있으며, 기판 거치 홈 점검 유닛은 거치 바스켓 수송 통로 하류의 왼쪽과 오른쪽 사이에 위치하고 둘째 거치 바스켓 위치 점검 유닛은 각각 거치 바스켓 수송 통로 하류의 왼쪽, 오른쪽, 그리고 끝에 위치하는 거치 바스켓 프레임 점검부; 및
    거치 바스켓 수송 플랫폼, 첫째 거치 바스켓 위치 점검 유닛, 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛, 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛, 기판 거치 홈 점검 유닛, 그리고 둘째 거치 바스켓 위치 점검 유닛이 설치되는 바깥 틀로 구성되는 기판 거치 바스켓 점검 기계.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛 사이에는,
    첫째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛이 연결되며, 이 첫째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛은 상기 바깥 틀에 설치되고 상기 각각의 거치 바스켓 커버 닫힘 점검 유닛에는 캔틸레버와 승강식 점검 유닛이 있고, 첫째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛은 캔틸레버 사이에 연결되며, 승강식 점검 유닛은 각각 캔틸레버에 설치되고 승강식 점검 유닛은 서로 마주 보며 또한 동시에 승강하는 기판 거치 바스켓 점검 기계.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 거치 바스켓 커버 여닫기 유닛에는,
    좌우 방향 평행 이동 유닛, 첫째 탑재 유닛, 회전 팔, 그리고 신축 유닛이 있으며, 좌우 방향 평행 이동 유닛은 바깥 틀에 설치되고 첫째 탑재 유닛은 좌우 방향 평행 이동 유닛에 설치되며, 회전 팔의 양쪽 끝 사이는 첫째 탑재 유닛에 피벗 설치되고 신축 유닛의 양쪽 끝은 각각 첫째 탑재 유닛과 회전 팔의 꼬리 부분에 피벗 설치되며, 회전 팔의 머리 부부에는 첫째 커버 연결 유닛이 설치되는 기판 거치 바스켓 점검 기계.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기판 거치 홈 점검 유닛에는,
    둘째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛, 둘째 탑재 유닛, 승강 유닛, 기판 거치 홈 점검 틀, 그리고 저항력 감지 점검 유닛이 있으며, 둘째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛은 바깥 틀에 설치되고 둘째 탑재 유닛은 둘째 앞뒤 방향 평행 이동 유닛에 설치되며, 승강 유닛은 둘째 탑재 유닛에 설치되고 기판 거치 홈 점검 틀은 승강 유닛에 설치되며, 저항력 점검 유닛은 승강 유닛과 기판 거치 홈 점검 틀 사이에 연결되는 기판 거치 바스켓 점검 기계.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 기판 거치 홈 점검 유닛에는,
    신축 연결 레버가 최소한 한 개 있으며, 이 신축 연결 레버는 상기 승강 유닛과 기판 거치 홈 점검 틀 사이에 연결되는 기판 거치 바스켓 점검 기계.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH11204630A (ja) * 1998-01-07 1999-07-30 Advanced Display Inc 基板収納装置
KR101331617B1 (ko) * 2013-05-30 2013-11-22 (주)진성이엔지 글라스 적재용 카세트 자동 검사 시스템
KR20190125861A (ko) * 2018-04-30 2019-11-07 이이원 카세트 검사장치 및 방법

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