KR200493651Y1 - Wafer cassette transfer device and wafer cassette transfer equipment - Google Patents
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Abstract
웨이퍼 카세트 반송 장치는 머신 본체, 제어 모듈, 도어 프레임 구조 및 도어 바디 모듈을 포함하고 머신 본체 내에는 관련자가 기체 펌핑 배출 모듈을 선택적으로 선택하도록 수용 공간이 사전 설치되며 머신 본체는 웨이퍼 카세트의 척 바디를 탑재하기 위한 것으로 관련자가 기체 보조 어셈블리를 선택적으로 설치하도록 복수의 사전 설치 그루브를 구비하고 기체 펌핑 배출 모듈, 기체 보조 어셈블리 및 제어 모듈은 웨이퍼 카세트 내에서 기체 교환 작업을 수행하도록 서로 결합될 수 있으며 도어 프레임 구조, 도어 바디 모듈 및 제어 모듈은 웨이퍼 카세트의 커버를 개방하기 위해 서로 결합될 수 있고 관련자가 선택적으로 송풍 모듈을 설치하도록 도어 프레임 구조에서 척 바디로부터 멀어지는 일측에는 송풍 모듈의 구조, 부재가 사전 설치됨으로써 송풍 모듈이 개방된 웨이퍼 카세트의 일측에 에어 커튼을 형성한다. The wafer cassette transfer device includes a machine body, a control module, a door frame structure, and a door body module.In the machine body, an accommodation space is pre-installed so that the person concerned selects a gas pumping and discharging module, and the machine body is a chuck body of the wafer cassette. It is equipped with a plurality of pre-installed grooves to selectively install the gas auxiliary assembly, and the gas pumping discharge module, the gas auxiliary assembly and the control module can be coupled to each other to perform a gas exchange operation in the wafer cassette. The door frame structure, the door body module, and the control module may be coupled to each other to open the cover of the wafer cassette, and the structure and member of the blowing module are on one side away from the chuck body in the door frame structure so that the relevant person selectively installs the blowing module. By being pre-installed, the blowing module forms an air curtain on one side of the opened wafer cassette.
Description
본 고안은 반송 장치 및 반송 기기에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 카세트를 이송하는 웨이퍼 카세트 반송 장치 및 웨이퍼 카세트 반송 기기에 관한 것이다. The present invention relates to a conveying device and a conveying device, and more particularly, to a wafer cassette conveying device and a wafer cassette conveying device for conveying a wafer cassette.
종래에 웨이퍼 카세트를 이송하기 위한 대부분의 장치는 예를 들어 웨이퍼 카세트의 일시적인 저장을 제공하는 워크 스테이션 또는 웨이퍼 카세트 내부를 에어리피케이션(aerification) 하는 워크 스테이션 등 단일 기능만을 갖는다. 작업장의 공간이 한정되어 있으므로 단일 워크 스테이션이 다양한 작업을 지원하거나 수행하도록 하는 방법은 관련 생산 제조업자의 요구 사항으로 되고 있다. 이에 본 고안인은 연구에 몰두하고 이론의 운용을 결부시킴으로써 설계가 합리적이고 상기 문제점이 개선된 본 고안을 제안하였다.Most apparatus for transferring wafer cassettes in the prior art have only a single function, for example a work station providing temporary storage of a wafer cassette or a work station aerifying the inside of a wafer cassette. As the workplace space is limited, how a single workstation can support or perform a variety of tasks is becoming a requirement of the relevant manufacturing manufacturers. Therefore, the present inventor proposed the present invention in which the design was reasonable and the above problems were improved by immersing in the research and associating the operation of the theory.
본 고안의 주요 목적은 웨이퍼 카세트의 워크 스테이션이 생산 제조업자의 요구에 따라 다양한 작업을 동시에 지원하거나 수행하지 못하는 종래 기술의 문제점을 개선하기 위한 웨이퍼 카세트 반송 장치 및 웨이퍼 카세트 반송 기기를 제공하는 것이다.The main object of the present invention is to provide a wafer cassette conveying apparatus and a wafer cassette conveying apparatus for improving the problems of the prior art, in which a wafer cassette workstation does not simultaneously support or perform various operations according to the requirements of a production manufacturer.
상기 목적을 해결하기 위해, 본 고안은 웨이퍼 카세트 반송 장치를 제공한다. 상기 웨이퍼 카세트 반송 장치는 머신 본체, 제어 모듈, 도어 프레임 구조 및 도어 바디 모듈을 포함한다. 머신 본체는 척 바디를 포함하고 척 바디는 복수의 사전 설치 그루브를 포함하며 척 바디는 웨이퍼 카세트를 설치하기 위한 것이고 각각의 사전 설치 그루브는 기체 보조 어셈블리를 설치하기 위한 것이다. 머신 본체 내에는 제1 수용 공간 및 제2 수용 공간을 구비하고 제2 수용 공간은 기체 펌핑 배출 모듈을 수용하며 기체 펌핑 배출 모듈은 기체 보조 어셈블리를 통해 머신 본체에 설치된 웨이퍼 카세트 내부에서 기체 교환 작업을 수행하도록 기체 보조 어셈블리와 서로 연결되고 제어 모듈은 머신 본체 내에 설치되고 제1 수용 공간에 대응되게 위치된다. 도어 프레임 구조는 머신 본체에 설치되고 연통구를 포함하며 도어 프레임 구조에서 척 바디로부터 멀어지는 일측에는 송풍 모듈이 설치될 수 있다. 제어 모듈은 송풍 모듈이 연통구로 기 설정된 기체를 불어보내도록 제어하기 위해 송풍 모듈과 전기적으로 연결될 수 있다. 도어 바디 모듈은 구동 기구 및 이동식 도어를 포함하고 구동 기구는 머신 본체에 설치되며 이동식 도어와 구동 기구는 서로 연결되고 제어 모듈은 이동식 도어가 연통구를 차폐하거나 차폐하지 않도록 구동 기구의 동작을 제어할 수 있다. 이동식 도어에는 도어 오픈 모듈이 설치되고 도어 오픈 모듈은 머신 본체에 설치된 웨이퍼 카세트의 커버와 서로 연결되도록 구동 기구에 의해 구동될 수 있다. 여기서, 제어 모듈이 구동 기구를 제어함으로써 이동식 도어의 도어 오픈 모듈과 머신 본체에 설치된 웨이퍼 카세트가 서로 연결되는 경우, 제어 모듈은 이동식 도어 및 이동식 도어와 서로 연결되는 웨이퍼 카세트의 커버가 함께 연통구로부터 이탈되어 웨이퍼 카세트의 내부가 연통구를 통해 외부와 연통될 수 있도록 구동 기구의 동작을 제어할 수 있다. 여기서, 도어 프레임 구조에 송풍 모듈이 설치되고 제어 모듈이 이동식 도어와 머신 본체에 설치된 웨이퍼 카세트가 서로 연결되도록 제어하는 경우, 제어 모듈은 연통구의 영역에 머신 본체 방향으로 유동하는 기류가 형성되도록 송풍 모듈의 동작을 제어할 수 있다. In order to solve the above object, the present invention provides a wafer cassette transport apparatus. The wafer cassette transfer apparatus includes a machine body, a control module, a door frame structure, and a door body module. The machine body includes a chuck body, the chuck body includes a plurality of pre-installed grooves, the chuck body is for installing a wafer cassette, and each pre-installed groove is for installing a gas auxiliary assembly. The machine body has a first accommodation space and a second accommodation space, the second accommodation space accommodates a gas pumping and discharging module, and the gas pumping and discharging module performs gas exchange within the wafer cassette installed in the machine body through a gas auxiliary assembly. The gas auxiliary assembly and the control module are connected to each other to perform, and the control module is installed in the machine body and positioned to correspond to the first accommodation space. The door frame structure is installed in the machine body and includes a communication port, and a blowing module may be installed on one side away from the chuck body in the door frame structure. The control module may be electrically connected to the blowing module to control the blowing module to blow a preset gas to the communication port. The door body module includes the drive mechanism and the movable door, the drive mechanism is installed in the machine body, the movable door and the drive mechanism are connected to each other, and the control module controls the operation of the drive mechanism so that the movable door shields or does not block the communication port. I can. A door open module is installed on the movable door, and the door open module may be driven by a driving mechanism to be connected to each other with a cover of a wafer cassette installed in the machine body. Here, when the control module controls the drive mechanism so that the door open module of the movable door and the wafer cassette installed in the machine body are connected to each other, the control module includes the movable door and the cover of the wafer cassette connected to the movable door together from the communication port. It is possible to control the operation of the driving mechanism so that the inside of the wafer cassette can be separated and communicated with the outside through the communication port. Here, when a blowing module is installed in the door frame structure and the control module controls the movable door and the wafer cassette installed in the machine body to be connected to each other, the control module is a blowing module so that airflow flowing in the direction of the machine body is formed in the communication port area. Can control the operation of
상기 목적을 달성하기 위해 본 고안은 또한 웨이퍼 카세트 반송 기기를 포함한다. 상기 웨이퍼 카세트 반송 기기는 웨이퍼 카세트 반송 장치 및 보조 장치를 포함하고 웨이퍼 카세트 반송 장치는 머신 본체, 제어 모듈, 도어 프레임 구조 및 도어 바디 모듈을 포함한다. 머신 본체는 척 바디를 포함하고 척 바디는 복수의 사전 설치 그루브를 포함하며 척 바디는 웨이퍼 카세트를 탑재하기 위한 것이다. 머신 본체 내에는 제1 수용 공간 및 제2 수용 공간이 구비되고 제어 모듈은 머신 본체 내에 설치되며 제1 수용 공간에 대응되게 위치된다. 도어 프레임 구조는 머신 본체에 설치되고 연통구를 포함하며 도어 바디 모듈은 구동 기구 및 이동식 도어를 포함하고 구동 기구는 머신 본체에 설치되며 이동식 도어와 구동 기구는 서로 연결되고 제어 모듈은 이동식 도어가 연통구를 차폐하거나 차폐하지 않도록 구동 기구의 동작을 제어할 수 있다. 이동식 도어에는 도어 오픈 모듈이 설치되고 도어 오픈 모듈은 머신 본체에 설치된 웨이퍼 카세트의 커버와 서로 연결되도록 구동 기구에 의해 구동될 수 있다. 보조 장치는 송풍 모듈, 복수의 기체 보조 어셈블리 및 기체 펌핑 배출 모듈을 포함하고 송풍 모듈은 도어 프레임 구조에서 척 바디로부터 멀어지는 일측에 탈착 가능하게 설치되며 송풍 모듈과 제어 모듈은 전기적으로 연결됨으로써 제어 모듈은 송풍 모듈이 연통구로 기 설정된 기체를 불어보내도록 송풍 모듈을 제어할 수 있다. 복수의 기체 보조 어셈블리는 복수의 사전 설치 그루브에 대응되게 설치되고 기체 펌핑 배출 모듈은 탈착 가능하게 머신 본체 내에 설치되며 제2 수용 공간에 대응되게 위치되고 기체 펌핑 배출 모듈과 복수의 기체 보조 어셈블리는 서로 연결되며 기체 펌핑 배출 모듈은 적어도 하나의 기체 보조 어셈블리가 머신 본체에 설치된 웨이퍼 카세트 내부에서 기체 교환 작업을 수행하도록 제어될 수 있다. 여기서, 제어 모듈이 이동식 도어의 도어 오픈 모듈과 머신 본체에 설치된 웨이퍼 카세트가 서로 연결되도록 구동 기구를 제어하는 경우, 제어 모듈은 이동식 도어 및 이와 서로 연결되는 웨이퍼 카세트의 커버가 함께 연통구를 이탈하고 웨이퍼 카세트의 내부가 연통구를 통해 외부와 연통될 수 있도록 구동 기구의 동작을 제어할 수 있다. 여기서, 제어 모듈이 이동식 도어와 머신 본체에 설치된 웨이퍼 카세트가 서로 연결되도록 제어하는 경우, 제어 모듈은 연통구의 영역에 머신 본체 방향으로 유동하는 기류가 형성되도록 송풍 모듈의 동작을 제어할 수 있다. In order to achieve the above object, the present invention also includes a wafer cassette transfer device. The wafer cassette transfer device includes a wafer cassette transfer device and an auxiliary device, and the wafer cassette transfer device includes a machine body, a control module, a door frame structure, and a door body module. The machine body includes a chuck body, the chuck body includes a plurality of pre-installed grooves, and the chuck body is for mounting a wafer cassette. A first accommodation space and a second accommodation space are provided in the machine body, and the control module is installed in the machine body and is positioned to correspond to the first accommodation space. The door frame structure is installed in the machine body and includes a communication port, the door body module includes a drive mechanism and a movable door, the drive mechanism is installed in the machine body, the movable door and the drive mechanism are connected to each other, and the control module communicates with the movable door. The operation of the drive mechanism can be controlled so as to shield or not shield the sphere. A door open module is installed in the movable door, and the door open module may be driven by a driving mechanism to be connected to each other with a cover of a wafer cassette installed in the machine body. The auxiliary device includes a blowing module, a plurality of gas auxiliary assemblies, and a gas pumping and discharging module.The blowing module is detachably installed on one side away from the chuck body in the door frame structure, and the blowing module and the control module are electrically connected, so that the control module The blowing module can be controlled so that the blowing module blows a preset gas to the communication port. A plurality of gas auxiliary assemblies are installed to correspond to a plurality of pre-installed grooves, and the gas pumping and discharge modules are detachably installed in the machine body and are positioned to correspond to the second accommodation space, and the gas pumping and discharge modules and the plurality of gas auxiliary assemblies are connected to each other. It is connected and the gas pumping discharge module can be controlled to perform a gas exchange operation inside the wafer cassette in which at least one gas auxiliary assembly is installed in the machine body. Here, when the control module controls the driving mechanism so that the door open module of the movable door and the wafer cassette installed in the machine body are connected to each other, the control module is the movable door and the cover of the wafer cassette connected to each other leave the communication port together. The operation of the driving mechanism can be controlled so that the inside of the wafer cassette can communicate with the outside through the communication port. Here, when the control module controls the movable door and the wafer cassette installed in the machine body to be connected to each other, the control module may control the operation of the blowing module so that an airflow flowing in the direction of the machine body is formed in a region of the communication port.
본 고안은 하기와 같은 유익한 효과를 가진다. 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 장치의 척 바디에 복수의 사전 설치 그루브 및 제2 수용 공간이 설치되므로 웨이퍼 카세트 반송 장치의 관련 생산 제조업자는 관련 사용자의 요구에 따라 복수의 사전 설치 그루브 및 제2 수용 공간에 기체 보조 어셈블리 및 기체 펌핑 배출 모듈을 추가함으로써 웨이퍼 카세트 반송 장치는 도어 바디 모듈을 이용하여 웨이퍼 카세트의 커버를 개방하여 관련자 또는 기기가 웨이퍼 카세트의 웨이퍼를 반입 또는 반출하도록 할 수 있다. 웨이퍼 카세트 반송 장치는 또한 웨이퍼 카세트의 내부에 대해 기체 교환 작업을 수행하도록 기체 보조 어셈블리 및 기체 펌핑 배출 모듈을 서로 결합시킴으로써 관련자 또는 기기가 웨어퍼 카세트의 웨이퍼를 반입 또는 반출도록 웨이퍼 카세트의 커버를 개방할 수 있고 웨이퍼 카세트 내부에 대해 기체 교환 작업을 수행할 수도 있다. The present invention has the following beneficial effects. Since a plurality of pre-installed grooves and a second accommodation space are installed in the chuck body of the wafer cassette transfer device according to the present invention, the related manufacturers of the wafer cassette transfer device are required to provide a plurality of pre-installed grooves and a second accommodation space according to the request of the relevant user. By adding a gas auxiliary assembly and a gas pumping and discharging module to the wafer cassette transfer apparatus, the wafer cassette transfer apparatus can open the cover of the wafer cassette using the door body module so that the person concerned or the device can carry in or take out the wafer of the wafer cassette. The wafer cassette transfer device also opens the cover of the wafer cassette so that the person concerned or the device can carry or unload wafers from the wafer cassette by coupling the gas auxiliary assembly and the gas pumping and discharging module to each other to perform a gas exchange operation on the inside of the wafer cassette. It can be done and the gas exchange operation can be performed on the inside of the wafer cassette.
본 고안의 특징 및 기술적 내용을 보다 이해할 수 있도록 이하 본 고안의 구체적인 내용과 도면을 참조하기 바란다. 첨부된 도면은 단지 참조 및 설명을 위해 제공된 것일뿐 본 고안을 한정하려는 의도는 아니다. In order to better understand the features and technical contents of the present invention, please refer to the detailed contents and drawings of the present invention. The accompanying drawings are provided for reference and description only, and are not intended to limit the present invention.
도 1은 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 기기의 모식도이다.
도 2는 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 기기의 일부 분해 모식도이다.
도 3은 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 기기의 일부 확대 모식도이다.
도 4는 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 기기의 일부 분해 모식도이다.
도 5는 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 기기의 다른 시각의 모식도이다.
도 6은 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 기기의 다른 일부 분해 모식도이다.
도 7은 웨이퍼 카세트의 모식도이다.
도 8은 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 기기에 웨이퍼 카세트가 설치된 모식도이다.
도 9는 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 기기에 웨이퍼 카세트가 설치된 작동 모식도이다.
도 10은 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 기기에 설치된 웨이퍼 카세트 내부의 기체 유동 모식도이다. 1 is a schematic diagram of a wafer cassette transfer device according to the present invention.
2 is an exploded schematic diagram of a part of the wafer cassette transfer device according to the present invention.
3 is an enlarged schematic view of a part of the wafer cassette transfer device according to the present invention.
4 is an exploded schematic diagram of a part of the wafer cassette transfer device according to the present invention.
5 is a schematic view of another perspective of the wafer cassette transfer device according to the present invention.
6 is another partially exploded schematic view of the wafer cassette transfer device according to the present invention.
7 is a schematic diagram of a wafer cassette.
Figure 8 is a schematic diagram of a wafer cassette is installed in the wafer cassette transport device according to the present invention.
9 is a schematic diagram of an operation in which a wafer cassette is installed in the wafer cassette transfer device according to the present invention.
10 is a schematic diagram of gas flow inside the wafer cassette installed in the wafer cassette transfer device according to the present invention.
이하, 특정된 구체적인 실시예를 통해 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 장치 및 웨이퍼 카세트 반송 기기의 실시형태를 설명하나 본 기술분야의 통상의 지식을 가진자라면 본 명세서에 개시된 내용으로부터 본 고안의 다른 이점 및 효과를 쉽게 이해할 수 있을 것이다. 본 고안은 다른 구체적인 실시예에 의해 구현되거나 적용될 수 있고 본 명세서의 세부 사항은 상이한 관점 및 응용에 기초 할 수도 있으며 본 고안의 사상을 벗어나지 않고 다양한 변형 및 수정이 이루어질 수 있다. 또한 본 고안에 도시된 도면은 간략한 설명일 뿐 실제 크기로 표시되지 않는다. 즉 관련 구성의 실제 크기를 반영하지 않음을 미리 알려둔다. 하기 실시형태는 본 고안의 관점을 보다 자세하게 설명하기 위한 것일 뿐 어떠한 관점으로든 본 고안의 범위를 한정하지 않는다. 이하의 설명에서, 특정 도면을 참조하거나 특정 도면에 도시된 바와 같다고 언급된 경우 이는 단지 후속 설명에서 상기 언급된 대부분 관련 내용이 해당 특정 도면에 나타남을 강조하기 위한 것일 뿐 해당 후속 설명에서 상기 특정 도면만 참조하도록 한정하는 것이 아니다. Hereinafter, embodiments of the wafer cassette transfer device and the wafer cassette transfer device according to the present invention will be described through specific specific embodiments, but those of ordinary skill in the art will have other advantages of the present invention from the contents disclosed in the present specification. And it will be easy to understand the effect. The present invention may be implemented or applied by other specific embodiments, and details of the present specification may be based on different viewpoints and applications, and various modifications and modifications may be made without departing from the spirit of the present invention. In addition, the drawings shown in the present invention are only brief descriptions and are not displayed in actual size. In other words, it is notified in advance that the actual size of the related configuration is not reflected. The following embodiments are only for explaining the viewpoint of the present invention in more detail, and do not limit the scope of the present invention to any viewpoint. In the following description, when referring to a specific drawing or referring to the same as shown in a specific drawing, this is only for emphasizing that most of the related contents mentioned above appear in the corresponding specific drawing in the subsequent description, and the specific drawing in the subsequent description. It is not intended to be limited to reference only.
도 1 내지 도 4를 함께 참조하면, 도 1 내지 도 4는 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 기기의 모식도이다. 웨이퍼 카세트 반송 기기(100)는 웨이퍼 카세트 반송 장치(10) 및 보조 장치(20)를 포함하고 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)는 머신 본체(11), 제어 모듈(12), 도어 프레임 구조(13) 및 도어 바디 모듈(14)을 포함하며 보조 장치(20)는 송풍 모듈(21), 복수의 기체 보조 어셈블리(22) 및 기체 펌핑 배출 모듈(23)을 포함한다. 1 to 4 together, FIGS. 1 to 4 are schematic diagrams of a wafer cassette transfer device according to the present invention. The wafer
머신 본체(11)에는 척 바디(111) 및 케이스(112)가 설치되고 케이스(112)는 탈착 가능하게 머신 본체(11)에 설치되며 머신 본체(11) 내에는 격벽(113)이 설치되고 격벽(113)과 케이스(112)는 대응되게 머신 본체(11)에 제1 수용 공간(SP1) 및 제2 수용 공간(SP2)을 형성할 수 있다. 제어 모듈(12)은 격벽(113)의 일측에 고정 설치되고 제1 수용 공간(SP1)에 대응되게 위치되며 격벽(113)의 타측에는 기체 펌핑 배출 모듈(23)이 설치되고 기체 펌핑 배출 모듈(23)은 제2 수용 공간(SP2)에 대응되게 위치된다. 실제 적용에 있어서, 기체 펌핑 배출 모듈(23)은 관련 전기 연결선, 전기 커넥터 등을 통해 제어 모듈(12)과 서로 전기적으로 연결될 수 있고 이에 따라 제어 모듈(12)은 기체 펌핑 배출 모듈(23)의 동작을 제어할 수 있다. The
척 바디(111)는 복수의 사전 설치 그루브(1111)를 구비하고 복수의 기체 보조 어셈블리(22)는 탈착 가능하게 복수의 사전 설치 그루브(1111)에 설치되며 각각의 기체 보조 어셈블리(22)는 고정 하우징(221) 및 노즐(222)을 포함할 수 있고 고정 하우징(221)은 머신 본체(11)에 고정 설치되며 사전 설치 그루브(1111)에 대응되게 위치될 수 있고 노즐(222)은 고정 하우징(221)에 고정 설치되며 노즐(222)의 일부분은 척 바디(111)로부터 돌출될 수 있고 복수의 기체 보조 어셈블리(22)는 복수의 관체(미도시)를 통해 기체 펌핑 배출 모듈(23)과 서로 연결된다. 웨이퍼 카세트(F)가 척 바디(111)에 설치된 경우, 복수의 노즐(222)은 대응되게 웨이퍼 카세트(F)의 복수의 기공(F111)(도 7에 도시된 바와 같음)과 서로 연결되고 기체 펌핑 배출 모듈(23)은 적어도 하나의 노즐(222)을 통해 웨이퍼 카세트(F) 내의 기체를 외부로 펌핑시키고 적어도 하나의 노즐(222)을 통해 적어도 하나의 기 설정된 기체(예를 들어 XCDA, CDA 등 청정 기체 또는 불활성 기체 등)를 웨이퍼 카세트(F) 내로 유입시킬 수 있다. 도 7에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 예시된 웨이퍼 카세트(F)는 본체(F1) 및 커버(F2)를 포함하고 본체(F1) 내에는 공간이 형성되며 커버(F2)는 탈착 가능하게 본체(F1)의 일측에 설치되고 본체(F1)의 바닥에는 본체(F1)를 척 바디(111)에 고정시키기 위한 베이스(F11)가 설치된다.The
본 실시예의 도면에서 척 바디(111)가 6개의 사전 설치 그루브(1111)를 구비하는 것으로 예시하였으나 그 개수 및 설치 위치는 상이한 크기, 형태의 웨이퍼 카세트(F)에 따라 변화될 수 있다. 구체적인 적용에 있어서, 기체 펌핑 배출 모듈(23)은 웨이퍼 카세트(F) 내부에 대해 기체 교환 작업을 수행하도록 웨이퍼 카세트(F)의 기공(F111)의 개수에 따라 2개 또는 4개의 기체 보조 어셈블리(22)를 결합시킬 수 있다. In the drawing of this embodiment, the
언급해야 할 점은, 척 바디(111)는 복수의 연통홈(1112)을 더 구비할 수 있고 복수의 연통홈(1112)과 복수의 사전 설치 그루브(1111)는 서로 연통되며 복수의 기체 보조 어셈블리(22)를 연결하는 관체(미도시)는 복수의 연통홈(1112)에 대응되게 설치될 수 있다. 물론 다른 적용에 있어서, 복수의 기체 보조 어셈블리(22)를 연결하는 관체를 머신 본체(11)에 은폐되게 설치하고 척 바디(111)에 연통홈(1112)을 설치하지 않을 수도 있음은 물론이다. It should be noted that the
척 바디(111)에 설치된 웨이퍼 카세트(F)를 효과적으로 고정하기 위해 척 바디(111)에는 고정 어셈블리(114), 복수의 보조 위치 결정 어셈블리(115) 및 여러가지 상이한 탐지 어셈블리(116)가 설치될 수 있다. 고정 어셈블리(114)는 대체로 척 바디(111)의 중심 위치에 설치될 수 있고 고정 어셈블리(114)는 클립핑 구조(1141)를 구비할 수 있으며 클립핑 구조(1141)는 척 바디(111)에 대해 승강할 수 있도록 제어 모듈(12)에 의해 제어될 수 있다. 웨이퍼 카세트(F)가 척 바디(111)에 고정 설치된 경우, 클립핑 구조(1141)는 상승되도록 제어되어 웨이퍼 카세트(F)에 대응되는 클립핑 홀(F112)(도 6에 도시된 바와 같음)에 대응되게 진입한 후 제어 모듈(12)에 의해 회전하도록 다시 제어될 수 있다. 이에 따라 클립핑 구조(1141)와 웨이퍼 카세트(F)는 서로 클립핑된다. In order to effectively fix the wafer cassette (F) installed on the
복수의 보조 위치 결정 어셈블리(115)는 척 바디(111)로부터 돌출된 위치 결정 기둥일 수 있고 웨이퍼 카세트(F)의 대응되는 천공홀과 서로 클립핑될 수 있다. 탐지 어셈블리(116)는 무선 방법으로 웨이퍼 카세트(F)의 대응되는 부재에 저장된 데이터를 판독할 수 있다. 예를 들면, 탐지 어셈블리(116)는 RFID 기술을 이용하여 웨이퍼 카세트(F)에 설치된 대응되는 부재(예를 들어, 전자 라벨)에 의해 저장된 데이터를 판독할 수 있고 척 바디(111)에 웨이퍼 카세트(F)가 설치되어있는지 여부 및 척 바디(111)에 설치된 웨이퍼 카세트(F)의 종류를 탐지할 수도 있다. 제어 모듈(12)은 탐지 어셈블리(116)에 의해 탐지된 결과에 따라 기체 펌핑 배출 모듈(23), 도어 바디 모듈(14)의 동작을 대응되게 제어할 수 있다. The plurality of
도어 프레임 구조(13)는 머신 본체(11)에 설치되고 척 바디(111)의 일측에 대응되게 위치된다. 도어 프레임 구조(13)는 연통구(13A)를 포함하고 연통구(13A)의 구경은 웨이퍼 카세트(F)의 커버(F2)보다 크며 도어 프레임 구조(13)는 척 바디(111)의 일측과 떨어져 있으므로 송풍 모듈(21)이 설치될 수 있다. 송풍 모듈(21)은 탈착 가능하게 도어 프레임 구조(13)에 설치되고 머신 본체(11)의 방향으로 기 설정된 기체(예를 들어 XCDA, CDA 등 청정 기체 또는 불활성 기체 등)를 불어보내도록 제어 모듈(12)에 의해 제어될 수 있다. 이에 따라 연통구(13A)에서 척 바디(111)로부터 멀어지는 일측에 머신 본체(11) 방향으로 유동하는 에어 커튼이 형성될 수 있다. 구체적인 적용에 있어서, 송풍 모듈(21)에는 적어도 하나의 기공판(211)이 구비되어 송풍 모듈(21)의 기체를 입력시켜 기공판(211)을 통과한 후 송풍 모듈(21)로 균일하게 배출시킬 수 있다. The
도 4 내지 도 6을 함께 참조하면, 도어 바디 모듈(14)은 머신 본체(11)에 설치되고 구동 기구(141) 및 이동식 도어(142)를 포함한다. 구동 기구(141)는 머신 본체(11)에 설치되고 이동식 도어(142)와 구동 기구(141)는 서로 연결되며 구동 기구(141)는 제어 모듈(12)과 전기적으로 연결되고 제어 모듈(12)은 이동식 도어(142)가 연통구(13A)를 차폐하거나 차폐하지 않도록 구동 기구(141)의 동작을 제어할 수 있다. 구체적으로, 이동식 도어(142)와 송풍 모듈(21)은 머신 본체(11)에서 척 바디(111)가 설치된 위치와 반대되는 일측에 함께 설치되고 이동식 도어(142)는 머신 본체(11)에 대해 이동하도록 구동 기구(141)에 의해 구동될 수 있다. 이에 따라 이동식 도어(142)는 연통구(13A)가 차폐되는 위치로부터 연통구(13A)가 차폐되지 않는 위치까지 이동되거나 연통구(13A)가 차폐되지 않는 위치로부터 연통구(13A)가 차폐되는 위치까지 이동될 수 있다. 본 실시예에서는 연통구(13A)가 차폐된 상태에서 이동식 도어(142)가 구동될 때 이동식 도어(142)는 도어 프레임 구조(13)로부터 멀어지는 방향으로 이동하고 연통구(13A)의 하측에 은폐되게 설치되는 경우를 예시하였으나 이에 한정되지 않는다. 이동식 도어(142)의 이동 방법 및 그 위치는 필요에 따라 변화될 수 있고 구동 기구(141)와 이동식 도어(142)의 연결 방법에 대해서는 한정하지 않는다. 4 to 6 together, the
도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 이동식 도어(142)에는 도어 오픈 모듈(15)이 설치되고 도어 오픈 모듈(15)은 머신 본체(11)에 설치된 웨이퍼 카세트(F)의 커버(F2)와 서로 연결되도록 구동 기구(141)에 의해 구동될 수 있다. 구체적으로, 도어 오픈 모듈(15)은 클립핑 어셈블리(151) 및 2개의 흡착 어셈블리(152)를 포함하고 클립핑 어셈블리(151)는 2개의 고정 부재(1511) 및 연동 기구(1512)를 포함하며 각각의 고정 부재(1511)의 일단은 이동식 도어(142)의 일측으로부터 노출되고 연동 기구(1512)와 2개의 고정 부재(1511)는 서로 연결되며 연동 기구(1512)는 2개의 고정 부재(1511)의 동작을 이끌 수 있도록 제어 모듈(12)에 의해 제어될 수 있다. 이에 따라 2개의 고정 부재(1511)와 웨이퍼 카세트(F)의 커버(F2)의 고정홀(F21)은 서로 클립핑된다. 2개의 고정 부재(1511)와 커버(F2)의 고정홀(F21)이 서로 클립핑된 후, 제어 모듈(12)은 이동식 도어(142)와 커버(F2)가 함께 도어 프레임 구조(13)로부터 멀어지는 방향으로 이동하도록 구동 기구(141)의 동작을 제어함으로써 웨이퍼 카세트(F)의 내부(F1a)는 연통구(13A)를 통해 외부와 연통될 수 있다. 이에 따라 관련 기기 또는 관련자는 연통구(13A)를 통해 웨이퍼 카세트(F)의 웨이퍼를 반출하거나 웨이퍼를 웨이퍼 카세트(F)에 설치시킬 수 있다.5 to 7, the door
구체적인 실시예에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 머신 본체(11)에는 슬라이딩 모듈(16)이 더 설치될 수 있고 척 바디(111)와 슬라이딩 모듈(16)은 서로 연결되며 슬라이딩 모듈(16)은 제어 모듈(12)에 의해 제어되어 척 바디(111)를 연통구(13A)와 인접되는 방향으로 이동시키거나 연통구(13A)로부터 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있다. 실제 적용에 있어서, 슬라이딩 모듈(16)은 예를 들어 라인 레일 및 슬라이더 블록 등 부재를 포함할 수 있다. 구체적인 실시에 있어서, 웨이퍼 카세트(F)가 척 바디(111)에 안정적으로 설치된 경우, 제어 모듈(12)은 탐지 어셈블리(116)에 의해 검출된 결과에 따라 척 바디(111)를 도어 프레임 구조(13)의 연통구(13A)로 이동하도록 제어할 수 있다.In a specific embodiment, as shown in FIG. 4, a sliding
제어 모듈(12)이 이동식 도어(142)를 이용하여 웨이퍼 카세트(F)의 커버(F2)를 이끌도록 도어 오픈 모듈(15)을 제어하는 구체적인 실시형태는 하기와 같을 수 있다. 제어 모듈(12)은 척 바디(111)가 웨이퍼 카세트(F)를 머신 본체(11)에 대해 이동시키고 웨이퍼 카세트(F)의 커버(F2)가 이동식 도어(142)의 일측에 대응되게 밀착되도록 우선 슬라이딩 모듈(16)을 제어한 후, 커버(F2)가 확실히 이동식 도어(142)의 일측에 밀착되었음이 확인되면 이동식 도어(142)에 설치된 관련 탐지기(미도시)를 이용하여 연동 기구(1512)의 동작을 제어하여 2개의 고정 부재(1511)와 커버(F2)를 서로 고정시킨다. A specific embodiment of controlling the door
다른 적용에 있어서, 이동식 도어(142)는 구동 기구(141)와 서로 결합될 수 있고 구동 기구(141)는 이동식 도어(142)가 커버(F2)의 방향으로 이동하여 웨이퍼 카세트(F)의 커버(F2)에 밀착되도록 제어 모듈(12)에 의해 제어될 수도 있다. 바꾸어 말하면, 다른 실시예에서, 머신 본체(11)에는 슬라이딩 모듈(16)이 설치되지 않고 이동식 도어(142)는 머신 본체(11)에 대해 웨이퍼 카세트(F)로부터 멀어지거나 근접되는 방향으로 이동하도록 구동 기구(141)에 의해 제어될 수도 있다. In another application, the
2개의 흡착 어셈블리(152)는 기체 펌핑 배출 모듈(23)에 연결되거나 별도로 다른 기체 펌핑 배출 모듈에 연결될 수 있으며 이에 대해 한정하지 않는다. 각각의 흡착 어셈블리(152)는 흡착 척 바디(1521) 및 가스 노즐(1522)을 포함할 수 있고 흡착 척 바디(1521)는 커버(F2)에 흡착되며 가스 노즐(1522)은 흡착 척 바디(1521)에 설치되고 가스 노즐(1522)의 일부분은 흡착 척 바디(1521)로부터 노출되며 가스 노즐(1522)을 통해 기체를 흡입하거나 배출하기 위해 각각의 기체 펌핑 배출 모듈(23)과 가스 노즐(1522)은 서로 결합될 수 있다. The two
도 5, 도 6, 도 8 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 이동식 도어(142)에는 카운터(1717)가 더 설치될 수 있다. 이동식 도어(142)와 머신 본체(11)에 설치된 웨이퍼 카세트(F)가 서로 연결되고 이동식 도어(142)가 웨이퍼 카세트(F)의 커버(F2)를 이끌어 함께 이동할 경우, 카운터(1717)는 웨이퍼 카세트(F)에 설치된 웨이퍼의 개수를 산출하도록 제어 모듈(12)에 의해 제어될 수 있다. 카운터(1717)가 웨이퍼 카세트(F) 내의 웨이퍼를 산출하는 방법으로써 예를 들어 광학 탐지, 영상 검색과 영상 분석을 결부하여 분석하는 방법 등이 있을 수 있으며 이에 대해 한정하지 않는다. 5, 6, and 8 to 10, the
예를 들면, 카운터(1717)는 송출 유닛(171) 및 수신 유닛(172)을 포함할 수 있고 송출 유닛(171)은 이동식 도어(142)에 핀 체결되며 수신 유닛(172) 또한 이동식 도어(142)에 핀 체결된다. 상기 송출 유닛(171)은 예를 들어 적외선을 송출하는 부재일 수 있고 수신 유닛(172)은 대응되게 적외선을 수신하는 부재일 수 있다. 이동식 도어(142)와 머신 본체(11)에 설치된 웨이퍼 카세트(F)가 서로 연결되고 이동식 도어(142)가 웨이퍼 카세트(F)의 커버(F2)를 이끌어 함께 이동하기 이전에, 제어 모듈(12)은 송출 유닛(171) 및 수신 유닛(172)이 이동식 도어(142)에 대해 회전하고 각각 웨이퍼 카세트(F) 내로 인입되어 대체로 서로 마주 보게 설치되도록 먼저 제어할 수 있다. 이에 따라 송출 유닛(171)과 수신 유닛(172)은 서로 결합되어 이동식 도어(142)가 웨이퍼 카세트(F)에 대해 이동함에 따라 웨이퍼 카세트(F)에 설치된 웨이퍼의 개수를 산출할 수 있다. For example, the counter 1717 may include a sending
도 2, 도 3 및 도 10에 도시된 바와 같이, 이동식 도어(142)가 커버(F2)를 웨이퍼 카세트(F)로부터 이격시키는 경우, 웨이퍼 카세트(F)의 내부는 외부와 연통될 수 있다. 이때, 제어 모듈(12)은 기체 보조 어셈블리(22)와 결합하여 웨이퍼 카세트(F)의 내부에 대해 기체 교환 작업을 수행하도록 기체 펌핑 배출 모듈(23)을 제어할 수 있고 동시에 송풍 모듈(21)과 결합하여 웨이퍼 카세트(F)의 외부에 에어 커튼을 형성하도록 기체 펌핑 배출 모듈(23)을 제어할 수 있다. 이에 따라 외부의 오물이 웨이퍼 카세트(F) 내에 진입하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.2, 3 and 10, when the
관련 기기 또는 관련자가 웨이퍼 카세트(F)의 웨이퍼를 반입 또는 반출할 필요가 없는 경우, 제어 모듈(12)은 이동식 도어(142)가 커버(F2)를 웨이퍼 카세트(F)에 재설치하도록 구동 기구(141)를 제어할 수 있다. 다음, 제어 모듈(12)은 기체 보조 어셈블리(22) 및 2개의 흡착 어셈블리(152)를 이용하여 웨이퍼 카세트(F) 내부에 대해 기체 교환 작업을 수행하도록 기체 펌핑 배출 모듈(23)을 제어할 수 있다. 예를 들면, 2개의 흡착 어셈블리(152)는 XCDA, CDA 등 청정 기체 또는 불활성 기체를 웨이퍼 카세트(F)에 주입시키고 적어도 하나의 기체 보조 어셈블리(22)는 웨이퍼 카세트(F)의 기체를 외부로 배출시킬 수 있다. 여기서, 이동식 도어(142)와 커버(F2)가 서로 고정되는 경우, 2개의 흡착 어셈블리(152)의 가스 노즐(1522)은 대응되게 커버(F2)의 기공(F22)과 서로 연통될 수 있으므로 기체 펌핑 배출 모듈(23)은 가스 노즐(1522)을 통해 기 설정된 기체를 웨이퍼 카세트(F)에 유입시킬 수 있다.When the relevant device or the person concerned does not need to carry in or take out the wafer of the wafer cassette (F), the control module (12) is a drive mechanism so that the movable door (142) re-installs the cover (F2) to the wafer cassette (F). 141) can be controlled. Next, the
도 2, 도 4 및 도 6을 함께 참조하면, 이들 역시 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 장치의 모식도이다. 이하에서는 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)의 일부 부재에 한하여 강조하여 설명할 뿐 나머지 설명하지 않는 부분들은 전술한 실시예와 동일하므로 더 이상 설명하지 않는다. 2, 4 and 6 together, these are also schematic diagrams of a wafer cassette transfer apparatus according to the present invention. Hereinafter, only some members of the wafer
도 2에 도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)의 머신 본체(11) 내에는 격벽(113)이 설치되고 격벽(113)의 일측에는 제어 모듈(12)이 설치되며 격벽(113)의 타측에는 관련 제조업자의 요구에 따라 전술한 보조 장치(20)의 기체 펌핑 배출 모듈(23)이 설치될 수 있다. 바꾸어 말하면, 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)의 머신 본체(11) 내에는 관련 제조업자가 기체 펌핑 배출 모듈(23)을 장착하도록 사전 설치된 공간(즉, 전술한 실시예에서 언급한 제2 수용 공간(SP2))이 구비되고 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)의 생산 제조업자는 웨이퍼 카세트 반송 장치(10) 구매자의 요구에 따라 머신 본체(11) 내에 기체 펌핑 배출 모듈(23)을 장착시키거나 장착시키지 않을 수 있다. 2, a
도 4에 도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)의 척 바디(111)는 복수의 사전 설치 그루브(1111)를 구비할 수 있고 복수의 사전 설치 그루브(1111)에는 관련 제조업자의 요구에 따라 복수의 기체 보조 어셈블리(22)가 설치될 수 있으며 척 바디(111)는 복수의 연통홈(1112)을 구비할 수도 있고 복수의 연통홈(1112)과 복수의 사전 설치 그루브(1111)는 서로 연결되며 복수의 연통홈(1112)은 복수의 기체 보조 어셈블리(22)를 연결하는 파이프 라인을 설치하기 위한 것일 수 있다. 바꾸어 말하면, 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)의 머신 본체(11)에 설치된 척 바디(111)는 관련 제조업자가 기체 보조 어셈블리(22)를 설치하도록 사전 설치된 복수의 사전 설치 그루브(1111)를 구비하여 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)의 생산 제조업자는 웨이퍼 카세트 반송 장치(10) 구매자의 요구에 따라 척 바디(111)에 복수의 기체 보조 어셈블리(22)를 장착시키거나 장착시키지 않을 수 있다. 4, the
도 6에 도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)의 도어 프레임 구조(13)에는 필요에 의해 송풍 모듈(21)이 설치될 수 있다. 즉, 도어 프레임 구조(13)에서 척 바디(111)와 반대되는 일측에는 송풍 모듈(21)을 장착하기 위한 관련 구조, 부재가 사전 설치되어 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)의 생산 제조업자는 웨이퍼 카세트 반송 장치(10) 구매자의 요구에 따라 도어 프레임 구조(13)에 송풍 모듈(21)을 장착시키거나 장착시키지 않을 수 있다. As shown in Figure 6, the
상기와 같이, 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)는 머신 본체(11) 내에 사전 설치된 공간을 구비하고 척 바디(111)에 사전 설치된 복수의 사전 설치 그루브(1111)를 구비하며 도어 프레임 구조(13)에 송풍 모듈(21)을 장착하는 관련 구조, 부재가 사전 설치되어있다. 이에 따라 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)의 생산 제조업자는 구매자의 요구에 따라 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)에 기체 펌핑 배출 모듈(23), 기체 보조 어셈블리(22) 및 송풍 모듈(21)을 추가로 장착시킬 수 있다. 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)에 복수의 기체 보조 어셈블리(22), 기체 펌핑 배출 모듈(23) 및 송풍 모듈(21)가 설치되지 않은 경우, 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)는 척 바디(111), 도어 프레임 구조(13), 도어 오픈 모듈(15)을 서로 결합시켜 웨이퍼 카세트(F)를 탑재하고 웨이퍼 카세트(F)의 커버(F2)를 개방시켜 관련 기기 또는 관련자가 웨이퍼 카세트(F)의 웨이퍼를 반입하거나 반출할 수 있도록 한다. As described above, the wafer
웨이퍼 카세트 반송 장치(10)에 복수의 기체 보조 어셈블리(22), 기체 펌핑 배출 모듈(23) 및 송풍 모듈(21)이 설치된 경우, 웨이퍼 카세트 반송 장치(10)는 웨이퍼 카세트(F)를 탑재하고 웨이퍼 카세트(F)의 커버(F2)를 개방시키는 기능 외에도 웨이퍼 카세트(F) 내부에 대해 기체 교환 작업을 수행하고 송풍 모듈(21)을 이용하여 웨이퍼 카세트(F) 외부의 오물이 웨이퍼 카세트(F) 내로 용이하게 진입하지 못하도록 한다.When a plurality of gas
이상의 설명은 본 고안의 바람직한 실시예일 뿐 본 고안의 특허 범위를 한정하는 것은 아니므로, 본 고안의 명세서 및 도면 내용을 이용한 균등한 기술적 변화는 모두 본 고안의 보호 범위 내에 포함된다. Since the above description is only a preferred embodiment of the present invention and does not limit the scope of the patent of the present invention, all equivalent technical changes using the specification and drawings of the present invention are included within the protection scope of the present invention.
Claims (2)
상기 머신 본체 내에 설치되고 상기 제1 수용 공간에 대응되게 위치되는 제어 모듈;
상기 머신 본체에 설치되고 연통구를 포함하며 상기 척 바디의 일측으로부터 멀어져 송풍 모듈이 설치될 수 있고, 상기 제어 모듈은 상기 송풍 모듈이 상기 연통구로 기 설정된 기체를 불어보내도록 제어하기 위해 상기 송풍 모듈과 전기적으로 연결될 수 있는 도어 프레임 구조;
구동 기구와 복수의 흡착 어셈블리 및 이동식 도어를 포함하되, 상기 구동 기구는 상기 머신 본체에 설치되고, 상기 이동식 도어는 상기 구동 기구에 연결되며, 상기 이동식 도어는 상기 제어 모듈에 의해 상기 연통구를 차폐하거나 차폐하지 않도록 제어될 수 있는 도어 바디 모듈; 및
상기 이동식 도어에 설치되고 상기 머신 본체 상의 웨이퍼 카세트의 커버와 서로 연결되도록 상기 구동 기구에 의해 구동될 수 있는 도어 오픈 모듈;을 포함하여 구성되되,
상기 웨이퍼 카세트의 베이스는 상기 척 바디 상에 배치되고,
상기 기체 펌핑 배출 모듈은 상기 웨이퍼 카세트 내부에서 기체 교환 작업을 수행하도록 상기 복수의 기체 보조 어셈블리 및 상기 복수의 흡착 어셈블리에 연결되며,
상기 도어 오픈 모듈이 상기 제어 모듈에 의해 제어되는 구동 기구에 의해 구동되어 상기 머신 본체에 배치된 상기 웨이퍼 카세트의 커버에 서로 연결되는 경우, 복수의 흡착 어셈블리 각각에 설치된 가스 노즐은 웨이퍼 카세트에 기체를 흡입하기 위하여 웨이퍼 카세트의 커버에 배치된 기공과 대응되게 연통되고, 상기 기체 펌핑 배출 모듈은 이동식 도어가 웨이퍼 카세트의 커버에 서로 연결될 때 상기 복수의 흡착 어셈블리의 가스 노즐을 통해 미리 결정된 기체를 카세트로 유입시키며,
상기 구동 기구는 제어 모듈의 제어에 의해 구동되어 상기 이동식 도어 및 상기 이동식 도어와 서로 연결되는 상기 웨이퍼 카세트의 커버가 함께 상기 연통구로부터 이탈되어 상기 웨이퍼 카세트의 내부가 상기 연통구를 통해 외부와 연통될 수 있도록 하고,
상기 도어 프레임 구조에 상기 송풍 모듈이 설치되고 상기 제어 모듈이 상기 이동식 도어와 상기 머신 본체에 설치된 상기 웨이퍼 카세트가 서로 연결되도록 제어하는 경우, 상기 제어 모듈은 상기 연통구의 영역에 상기 머신 본체 방향으로 유동하는 기류가 형성되도록 상기 송풍 모듈의 동작을 제어할 수 있도록 구성되는 웨이퍼 카세트 반송 장치.A chuck body including a plurality of pre-installed grooves for installing each gas auxiliary assembly and provided to install a wafer cassette with a removable cover provided on one side and a base provided on the bottom, and the chuck body And a case detachably installed in the lower machine body, and a partition wall installed inside the case to provide a first accommodation space and a second accommodation space inside the machine body, and the gas pumping and discharging module includes the second accommodation A machine body disposed in the space;
A control module installed in the machine body and positioned to correspond to the first accommodation space;
It is installed in the machine body and includes a communication port, and a blowing module may be installed away from one side of the chuck body, and the control module is the blowing module to control the blowing module to blow a preset gas to the communication port. A door frame structure that can be electrically connected with;
A drive mechanism, a plurality of adsorption assemblies, and a movable door are included, wherein the drive mechanism is installed in the machine body, the movable door is connected to the drive mechanism, and the movable door shields the communication port by the control module. A door body module that can be controlled so as not to be shielded or not; And
A door open module installed on the movable door and driven by the driving mechanism so as to be connected to each other with a cover of a wafer cassette on the machine body,
The base of the wafer cassette is disposed on the chuck body,
The gas pumping and discharging module is connected to the plurality of gas auxiliary assemblies and the plurality of adsorption assemblies to perform a gas exchange operation inside the wafer cassette,
When the door open module is driven by a driving mechanism controlled by the control module and connected to the cover of the wafer cassette disposed on the machine body, gas nozzles installed in each of the plurality of adsorption assemblies transfer gas to the wafer cassette. The gas pumping and discharging module communicates with the pores arranged in the cover of the wafer cassette for suction, and the gas pumping and discharging module transfers a predetermined gas to the cassette through the gas nozzles of the plurality of suction assemblies when the movable door is connected to the cover of the wafer cassette Inflow,
The driving mechanism is driven by the control of a control module so that the movable door and the cover of the wafer cassette connected to each other are separated from the communication port so that the inside of the wafer cassette communicates with the outside through the communication port. To be able to be,
When the blower module is installed in the door frame structure and the control module controls the movable door and the wafer cassette installed in the machine body to be connected to each other, the control module flows in the direction of the machine body in the area of the communication port. Wafer cassette transport apparatus configured to be configured to control the operation of the blowing module so that the air flow is formed.
상기 머신 본체 내에 설치되고 상기 제1 수용 공간에 대응되게 위치되는 제어 모듈;
상기 머신 본체에 설치되고 연통구를 포함하는 도어 프레임 구조;
구동 기구와 복수의 흡착 어셈블리 및 이동식 도어를 포함하되, 상기 구동 기구는 상기 머신 본체에 설치되고, 상기 이동식 도어는 상기 구동 기구에 연결되며, 상기 이동식 도어는 상기 제어 모듈에 의해 상기 연통구를 차폐하거나 차폐하지 않도록 제어될 수 있는 도어 바디 모듈; 및
상기 이동식 도어에 설치되고 상기 머신 본체 상의 웨이퍼 카세트의 커버와 서로 연결되도록 상기 구동 기구에 의해 구동될 수 있는 도어 오픈 모듈;을 포함하여 구성되되,
복수의 흡착 어셈블리 각각에 설치된 가스 노즐은 이동식 도어가 웨이퍼 카세트의 커버에 서로 연결될 때 웨이퍼 카세트의 기체를 흡입하기 위해 웨이퍼 카세트의 커버에 배치된 기공과 대응되게 연통되고,
복수의 기체 보조 어셈블리에 배치된 복수의 노즐은 웨이퍼 카세트의 베이스가 머신 본체의 척 바디에 설치될 때 웨이퍼 카세트의 베이스에 배치된 복수의 기공과 대응되게 연통되며,
상기 기체 펌핑 배출 모듈은 복수의 기체 보조 어셈블리 및 복수의 흡착 어셈블리에 연결되고,
상기 기체 펌핑 배출 모듈은 웨이퍼 카세트 내부에서 기체 교환 작업을 수행하기 위해 기체 보조 어셈블리 중 적어도 하나와 흡착 어셈블리 중 적어도 하나를 구동하도록 제어 모듈에 의해 제어되며,
상기 기체 펌핑 배출 모듈은 적어도 하나의 기체 보조 어셈블리의 노즐을 통해 웨이퍼 카세트의 기체를 펌핑하며,
복수의 흡착 어셈블리의 가스 노즐을 통해 미리 결정된 기체를 웨이퍼 카세트로 유입시키고;
상기 제어 모듈이 상기 구동 기구를 제어하여 상기 이동식 도어의 상기 도어 오픈 모듈과 상기 머신 본체에 설치된 상기 웨이퍼 카세트의 커버가 서로 연결되는 경우, 상기 제어 모듈의 제어에 의해 상기 구동 기구는 상기 이동식 도어 및 상기 이동식 도어와 서로 연결되는 상기 웨이퍼 카세트의 커버가 함께 상기 연통구로부터 이탈되어 상기 웨이퍼 카세트의 내부가 상기 연통구를 통해 외부와 연통될 수 있도록 하며,
상기 도어 프레임 구조에 송풍 모듈이 설치되고 상기 제어 모듈이 상기 이동식 도어와 상기 머신 본체에 설치된 상기 웨이퍼 카세트가 서로 연결되도록 제어하는 경우, 상기 제어 모듈은 상기 연통구의 영역에 상기 머신 본체 방향으로 유동하는 기류가 형성되도록 상기 송풍 모듈의 동작을 제어할 수 있도록 구성되는 웨이퍼 카세트 반송 기기.A chuck body including a plurality of pre-installed grooves in which a detachable cover is provided on one side and a wafer cassette provided with a base is installed on the bottom, and a plurality of gas auxiliary assemblies including a plurality of nozzles are respectively installed correspondingly (Chuck body), a case detachably installed in the machine body under the chuck body, and a partition wall installed inside the case to provide a first accommodation space and a second accommodation space inside the machine body, The plurality of nozzles communicate with the plurality of pores disposed on the base of the wafer cassette when the base of the wafer cassette is installed on the chuck body of the machine body, and a gas pumping and discharging module is disposed in the second accommodation space. main body;
A control module installed in the machine body and positioned to correspond to the first accommodation space;
A door frame structure installed on the machine body and including a communication port;
A drive mechanism, a plurality of adsorption assemblies, and a movable door are included, wherein the drive mechanism is installed in the machine body, the movable door is connected to the drive mechanism, and the movable door shields the communication port by the control module. A door body module that can be controlled so as not to be shielded or not; And
A door open module installed on the movable door and driven by the driving mechanism so as to be connected to each other with a cover of a wafer cassette on the machine body,
The gas nozzles installed in each of the plurality of adsorption assemblies are in correspondence with pores disposed in the cover of the wafer cassette to suck gas from the wafer cassette when the movable door is connected to each other to the cover of the wafer cassette,
The plurality of nozzles disposed on the plurality of gas auxiliary assemblies communicate with the plurality of pores disposed on the base of the wafer cassette when the base of the wafer cassette is installed on the chuck body of the machine body,
The gas pumping and discharging module is connected to a plurality of gas auxiliary assemblies and a plurality of adsorption assemblies,
The gas pumping and discharging module is controlled by a control module to drive at least one of a gas auxiliary assembly and at least one of an adsorption assembly to perform a gas exchange operation inside the wafer cassette,
The gas pumping and discharging module pumps gas from the wafer cassette through a nozzle of at least one gas auxiliary assembly,
Introducing a predetermined gas into the wafer cassette through the gas nozzles of the plurality of adsorption assemblies;
When the control module controls the driving mechanism so that the door open module of the movable door and the cover of the wafer cassette installed in the machine main body are connected to each other, the driving mechanism is controlled by the control module. The cover of the wafer cassette connected to the movable door is separated from the communication port together so that the inside of the wafer cassette can communicate with the outside through the communication port,
When a blowing module is installed in the door frame structure and the control module controls the movable door and the wafer cassette installed in the machine body to be connected to each other, the control module flows in the direction of the machine body in the communication port area. A wafer cassette transfer device configured to control the operation of the blowing module so that airflow is formed.
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Applications Claiming Priority (1)
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KR2020180005464U KR200493651Y1 (en) | 2018-11-27 | 2018-11-27 | Wafer cassette transfer device and wafer cassette transfer equipment |
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KR2020180005464U KR200493651Y1 (en) | 2018-11-27 | 2018-11-27 | Wafer cassette transfer device and wafer cassette transfer equipment |
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JP2017063215A (en) * | 2016-11-22 | 2017-03-30 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | Load port |
JP2018206821A (en) | 2017-05-30 | 2018-12-27 | Tdk株式会社 | Load port device and wafer transfer container |
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- 2018-11-27 KR KR2020180005464U patent/KR200493651Y1/en active IP Right Grant
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