KR200478365Y1 - Adaptor for chamber of substrate processing apparatus - Google Patents

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KR200478365Y1 KR2020130008414U KR20130008414U KR200478365Y1 KR 200478365 Y1 KR200478365 Y1 KR 200478365Y1 KR 2020130008414 U KR2020130008414 U KR 2020130008414U KR 20130008414 U KR20130008414 U KR 20130008414U KR 200478365 Y1 KR200478365 Y1 KR 200478365Y1
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Abstract

본 고안은 기판처리시스템의 상호 인접하는 양측 챔버를 연결하는 연결어댑터에 관한 것으로서, 상기 양측 챔버의 기판 배출구 및 기판 유입구 둘레에 각각 결합되며, 중앙 영역에 기판통과구가 형성되어 있는 한 쌍의 플랜지부; 상기 양 플랜지부 사이에 상기 기판통과구를 둘러싸도록 개재되어 양 단부가 상기 양 플랜지부에 연결되고, 중간부분에 접힘 및 전개되는 접힘단이 형성되어 있으며, 상기 양 플랜지부의 거리 및 평면적 위치 조절이 가능한 가변연결부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의해, 인접하는 양측 챔버 간의 위치 및 거리 오차를 용이하게 보정함과 동시에, 연결 형태의 변형을 최소화하여 기판 이동을 저해하지 않는 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터가 제공된다.
또한, 양 챔버의 상호 대향하는 기판 출입구 및 배출구 간의 평면적 위치 오차의 보정이 매우 용이함과 동시에, 구조를 간단히 하고 제작단가를 현격하게 절감할 수 있는 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터가 제공된다. The present invention relates to a connection adapter for connecting mutually adjacent chambers of a substrate processing system, comprising a pair of planes connected to a substrate outlet and a substrate inlet of the both chambers, respectively, chapter; Wherein both ends of the flange portion are interposed between the flange portions so as to surround the substrate through-hole, both ends of the flange portion are connected to the both flange portions, and the folded end portion is folded and developed at an intermediate portion, And a variable connection unit capable of performing the above operation.
Thereby, there is provided a chamber connection adapter of a substrate processing system that easily corrects position and distance errors between adjacent side chambers, and minimizes deformation of the connection shape to prevent substrate movement.
A chamber connection adapter of a substrate processing system is provided which is capable of easily correcting a positional error between a substrate entrance and an exit of mutually opposed chambers of both chambers and at the same time simplifying the structure and significantly reducing the manufacturing cost.

Description

기판처리시스템의 챔버 연결어댑터{Adaptor for chamber of substrate processing apparatus}[0001] The present invention relates to a chamber connection adapter for a substrate processing system,

본 고안은 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버들의 연결 과정에서 발생하는 위치 및 거리 오차 등의 연결 오류를 용이하게 보정할 수 있는 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터를 제공하는 것이다.The present invention relates to a chamber connection adapter of a substrate processing system, and more particularly, to a chamber connection adapter of a substrate processing system capable of easily correcting a connection error such as a position and a distance error occurring in connection process of chambers will be.

일반적으로 반도체나 디스플레이, 태양전지 등과 같은 평면 소자 제조 공정 중에는 기판 상에 증착 공정(Deposition), 식각 공정(Etching), 현상 공정(Develop & Bake), 애싱 공정(Ashing) 등과 같은 공정을 행하게 되며, 각각 여러 단계의 공정을 수행하는 과정에서 기판에 부착된 각종 오염물을 제거하기 위한 공정으로 약액(Chemical) 또는 순수(Deionized Water)를 이용한 세정 공정(Wet Cleaning Process) 등이 추가 될 수 있다.Generally, in a planar device manufacturing process such as a semiconductor, a display, and a solar cell, a process such as a deposition process, an etching process, a developing process, and an ashing process is performed on a substrate, A chemical cleaning process or a wet cleaning process using deionized water may be added as a process for removing various contaminants adhering to a substrate in a process of performing various processes.

이러한 공정들이 연결되어 하나의 기판처리시스템을 이루게 되는데, 각각의 공정은 해당 공정의 진행을 위한 최적의 환경이 조성된 챔버 내부에서 진행되어야 하며, 이 같은 각각의 챔버로 기판을 이송 또는 반송시키기 위한 이송 장치가 구비된다. These processes are connected to form a single substrate processing system. Each process must be performed inside a chamber having an optimal environment for the progress of the process, and the substrate is transferred or transported to each of the chambers. A transfer device is provided.

이와 같은 기판처리시스템은 복수의 챔버들을 연결하는 형태에 따라서 클러스터(Cluster) 타입과 인라인(In-line) 타입으로 대별될 수 있으며, 최근 기판의 대면적화 추세에 따라 이에 적합한 인라인 타입의 기판처리시스템이 각광받고 있다.
Such a substrate processing system can be divided into a cluster type and an in-line type depending on the type of connecting the plurality of chambers. In recent years, Is getting popular.

도 1은 인라인 타입 기판처리시스템의 일부분을 간략하게 나타낸 도면이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 인라인 타입 기판처리시스템은 여러 공정들에 대응하는 수의 챔버(201)들이 연결어댑터(101)에 의해 인라인으로 연결되어 있는 구조를 가지고 있다. 1 is a simplified illustration of a portion of an in-line type substrate processing system. As shown in this figure, the in-line type substrate processing system has a structure in which a number of chambers 201 corresponding to various processes are connected in-line by the connection adapter 101.

각각의 챔버(201)들 중 어느 한 공정의 추가나 생략이 필요하면 연결어댑터(101)와 해당 챔버(201)를 연결하거나 분리하는 것으로 챔버(201)를 추가하거나 제외시킬 수 있다. The chambers 201 may be added or removed by connecting or disconnecting the connection adapter 101 and the corresponding chambers 201 when the addition or omission of any one of the chambers 201 is required.

이를 위해서 인접하는 양 측의 챔버(201)를 연결하는 연결어댑터(101)는 이전 챔버에서 다음 챔버로 기판이 통과하여 이동하는 관통구(111)가 형성된 본체(110)와, 양측 챔버(201)의 기판 출입구(210) 둘레에 체결부품으로 결합되기 위해 본체(110)의 양단 둘레에 형성되는 플랜지(120)를 구비하고 있다.
To this end, the connection adapter 101 connecting adjacent chambers 201 of the adjacent chambers includes a main body 110 having a through-hole 111 through which the substrate moves from the previous chamber to the next chamber, And a flange 120 formed around both ends of the main body 110 so as to be coupled with a fastening part around the substrate entrance 210 of the main body 110.

그런데 종래 일반적인 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터는 그 형태가 불가변한 형태이기 때문에, 챔버 연결 과정에서 발생할 수 있는 위치 및 거리 오차를 보정하는데 큰 문제점이 있었다.
However, since the shape of the chamber connection adapter of the conventional substrate processing system is unchangeable, there is a serious problem in correcting the position and distance errors that may occur in the chamber connection process.

이러한 문제점을 개선하기 위해 대한민국 공개특허 제10-2009-0017887호에는 인접하는 양측 챔버를 연결하는 과정에서 양 챔버 간의 위치 및 거리오차가 발생하더라도 연결어댑터의 길이 가변에 의해 오차를 보정하여 양 챔버를 원활하게 연결할 수 있도록 하였다.
In order to solve such a problem, Korean Patent Laid-Open No. 10-2009-0017887 discloses a method of correcting an error by varying the length of a connection adapter even if position and distance errors occur between the two chambers in the process of connecting adjacent chambers, So that they can be connected smoothly.

그러나 이러한 선행문헌에 개시된 종래 연결어댑터의 주된 기술내용은 연결어댑터 양측의 플랜지를 챔버 플랜지에 볼트로 고정 체결하면서, 연결어댑터의 길이 가변에 의해 양 챔버 간의 거리 오차를 보정하도록 한 것으로서, 양 챔버의 상호 대향하는 기판 출입구 및 배출구 간의 평면적 위치 오차의 보정이 매우 어려운 문제점이 있었다. However, the main prior art connection adapter described in this prior art document is to fix the distance error between the two chambers by varying the length of the connecting adapter while fixing the flanges on both sides of the connecting adapter to the chamber flange by bolts. There is a problem that it is very difficult to correct the positional error of the plane position between the entrance and exit of the substrate facing each other.

이러한 문제점을 해소하기 위한 예로서 선행문헌은 연결어댑터의 양측 플랜지 사이를 벨로우즈(주름관) 형태로 마련하는 것을 제시하고 있으나, 이는 양 챔버의 오차범위에 따라 벨로우즈의 비틀림 등과 같은 변형을 초래함으로써, 기판의 원활한 통과를 저해할 수 있다. 대면적 기판에 대응하는 기판처리시스템의 챔버 간의 연결에 있어 연결어댑터가 대형화되면서 벨로우즈 형태의 연결어댑터는 제작 단가가 현격하게 상승하는 문제점이 발생한다. As an example for solving such a problem, the prior art discloses that blanks are provided between the flanges on both sides of the connection adapter. However, this may cause deformation such as twisting of the bellows depending on the error range of both chambers, It is possible to inhibit smooth passage of the ink. There is a problem in that the manufacturing cost of the bellows-type connection adapter increases sharply as the size of the connection adapter increases in connecting the chambers of the substrate processing system corresponding to the large-area substrate.

따라서 본 고안의 목적은 인접하는 양측 챔버 간의 위치 및 거리 오차를 용이하게 보정함과 동시에, 연결 형태의 변형을 최소화하여 기판 이동을 저해하지 않는 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터를 제공하는 것이다. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a chamber connection adapter of a substrate processing system that easily corrects position and distance errors between adjacent chambers and minimizes deformation of a connection shape, thereby preventing substrate movement.

또한, 양 챔버의 상호 대향하는 기판 출입구 및 배출구 간의 평면적 위치 오차의 보정이 매우 용이함과 동시에, 구조를 간단히 하고 제작단가를 현격하게 절감할 수 있는 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터를 제공하는 것이다.It is also an object of the present invention to provide a chamber connection adapter of a substrate processing system which is capable of easily correcting a positional error between a pair of mutually opposed substrates in a chamber and a discharge port, and simplifying the structure and significantly reducing manufacturing cost.

상기 목적은 본 고안에 따라, 기판처리시스템의 상호 인접하는 양측 챔버를 연결하는 연결어댑터에 있어서, 상기 양측 챔버의 기판 배출구 및 기판 유입구 둘레에 각각 결합되며, 중앙 영역에 기판통과구가 형성되어 있는 한 쌍의 플랜지부; 상기 양 플랜지부 사이에 상기 기판통과구를 둘러싸도록 개재되어 양 단부가 상기 양 플랜지부에 연결되고, 중간부분에 접힘 및 전개되는 접힘단이 형성되어 있으며, 상기 양 플랜지부의 거리 및 평면적 위치 조절이 가능한 가변연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 연결어댑터에 의해 달성된다.According to the present invention, there is provided a connection adapter for connecting mutually adjacent chambers of a substrate processing system, the connection adapter being connected to the substrate outlet and the substrate inlet of the both chambers, respectively, A pair of flange portions; Wherein both ends of the flange portion are interposed between the flange portions so as to surround the substrate through-hole, both ends of the flange portion are connected to the both flange portions, and the folded end portion is folded and developed at an intermediate portion, Wherein the connection adapter comprises a flexible connection.

여기서, 상기 가변연결부는 V자 단면, 역V자 단면, U자 단면, 역U자 단면 중 어느 하나의 단면 형상을 갖는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the variable connection portion has any one of a V-shaped cross section, an inverted V-shaped cross section, a U-shaped cross section, and an inverted U-shaped cross section.

그리고 상기 가변연결부는 상기 접힘단 부분이 양측으로 분리 가능하게 마련되며, 양 접힙단에는 각각 상호 평행하게 접하여 결합되는 결합편이 형성되어 있는 것이 바람직하다. Preferably, the variable connection portion has the folded end portion thereof separable from the both sides, and both the folded end portions are formed with coupling pieces which are in contact with each other in parallel to each other.

또한, 상기 양 결합편에는 상호 대향하는 장공이 상기 가변연결부의 둘레방향을 따라 일정 간격을 두고 형성되어 있으며, 상기 양 결합편은 상기 장공을 통해 체결되는 체결부품으로 결합되는 것이 효과적이다. In addition, it is effective that the both engagement pieces are formed with mutually opposed long holes at regular intervals along the circumferential direction of the variable connection part, and the both engagement pieces are coupled to each other by a fastening part which is fastened through the long hole.

이때, 상기 양 결합편의 장공은 상호 교차하는 방향으로 형성되어 있는 것이 보다 바람직하다.At this time, it is more preferable that the elongated holes of both the engaging pieces are formed in mutually intersecting directions.

또는, 상기 가변연결부의 양단부에는 상기 양 플랜지부에 각각 상호 평행하게 접하여 결합되는 플렌지결합편이 형성되어 있고; 상기 양 플렌지결합편에는 상기 가변연결부의 둘레방향을 따라 일정 간격을 두고 복수의 장공이 형성되어 있으며; 상기 양 플랜지부와 상기 양 플렌지결합편은 상기 장공을 통해 체결되는 체결부품으로 결합되는 것이 바람직하다. Alternatively, at both ends of the variable connection portion, a flange coupling piece is formed which is in contact with and joined to the both flange portions in parallel to each other; A plurality of long holes are formed in the both flange coupling pieces at regular intervals along the circumferential direction of the variable connection portion; And the flange portion and the flange coupling piece may be coupled to each other by a fastening part which is fastened through the elongated hole.

이때, 상기 양 플렌지결합편 중 일측의 플렌지결합편에 형성된 장공은 수직 방향으로 형성되고, 타측의 플렌지결합편에 형성된 장공은 수평 방향으로 형성되어 있는 것이 효과적이다. At this time, it is effective that the elongated holes formed in one flange coupling piece of the two flange coupling pieces are formed in the vertical direction and the elongated holes formed in the other flange coupling piece are formed in the horizontal direction.

혹은 상기 양 플랜지부는 상기 양측 챔버에 체결부품으로 체결되며, 상기 양 플랜지부 중 일측의 플랜지부에는 둘레방향을 따라 복수의 수평장공들이 일정 간격을 두고 형성되어 있고, 타측의 플랜지부에는 둘레방향을 따라 복수의 수직장공들이 일정 간격을 두고 형성되어 있는 것이 효과적이다. Or both flanges are fastened to the both chambers by fastening parts, and a plurality of horizontal slots are formed at predetermined intervals along the circumferential direction on one flange of the two flanges, and a circumferential direction is formed on the flange of the other flange It is effective that a plurality of vertical slots are formed at regular intervals.

또는, 상기 양 플랜지부는 상기 양측 챔버에 체결부품으로 체결되며, 상기 양 플랜지부에는 상기 체결부품에 비해 큰 직경의 확장결합공들이 둘레방향을 일정 간격을 두고 형성되어 있는 것이 바람직하다. Alternatively, the both flange portions may be fastened to the both side chambers by fastening parts, and the fastening parts may be formed with expansion joint holes having a larger diameter than the fastening parts at regular intervals in the circumferential direction.

본 고안에 따르면, 인접하는 양측 챔버 간의 위치 및 거리 오차를 용이하게 보정함과 동시에, 연결 형태의 변형을 최소화하여 기판 이동을 저해하지 않는 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터가 제공된다. According to the present invention, there is provided a chamber connection adapter of a substrate processing system that easily corrects position and distance errors between adjacent two side chambers, and minimizes deformation of the connection shape to prevent substrate movement.

또한, 양 챔버의 상호 대향하는 기판 출입구 및 배출구 간의 평면적 위치 오차의 보정이 매우 용이함과 동시에, 구조를 간단히 하고 제작단가를 현격하게 절감할 수 있는 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터가 제공된다. A chamber connection adapter of a substrate processing system is provided which is capable of easily correcting a positional error between a substrate entrance and an exit of mutually opposed chambers of both chambers and at the same time simplifying the structure and significantly reducing the manufacturing cost.

도 1은 인라인 타입 기판처리시스템의 일부분을 간략하게 나타낸 도면,
도 2는 본 고안의 제1실시예에 따른 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터 단면도,
도 3은 본 고안의 제2실시예에 따른 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터 단면도,
도 4는 본 고안의 제3일실시예에 따른 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터 단면도,
도 5는 본 고안의 제4일실시예에 따른 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터 단면도,
도 6은 본 고안의 제5일실시예에 따른 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터 단면도.1 is a simplified illustration of a portion of an in-line type substrate processing system,
2 is a cross-sectional view of the chamber connection adapter of the substrate processing system according to the first embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view of a chamber connection adapter of a substrate processing system according to a second embodiment of the present invention;
4 is a cross-sectional view of a chamber connection adapter of a substrate processing system according to a third embodiment of the present invention;
5 is a cross-sectional view of a chamber connection adapter of a substrate processing system according to a fourth embodiment of the present invention;
6 is a cross-sectional view of a chamber connection adapter of a substrate processing system according to a fifth embodiment of the present invention;

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 고안의 바람직한 실시예들에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 고안의 제1실시예에 따른 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터(1)는 상호 인접하는 양 챔버(도 1의 '201' 참고)의 연결을 위한 플랜지부(10)와, 양 플랜지부(10) 사이의 거리를 가변시키는 가변연결부(20)를 가지고 있다.
2, the chamber connection adapter 1 of the substrate processing system according to the first embodiment of the present invention includes a flange portion 10 (see FIG. 1) for connection of both chambers And a variable connection portion 20 for varying the distance between the both flange portions 10. As shown in Fig.

양 플랜지부(10)는 각각 이전 챔버와 다음 챔버의 기판 배출구(미도시) 및 유입구(미도시) 둘레에 볼p트 및 너트 등의 체결부품(30)을 이용하여 결합된다. 연결어댑터(1)의 양 플랜지부(10)와 챔버 사이에는 기밀을 위한 실링부재(미도시)가 개재되는 것이 바람직하다. 이들 양 플랜지부(10)의 판면에는 기판의 통과를 위해 이전 챔버와 다음 챔버의 기판 배출구(미도시) 및 유입구(미도시)에 대응하는 기판통과구(11)가 형성되어 있다.
Both flange portions 10 are joined using fasteners 30, such as bolts and nuts, around the substrate outlets (not shown) and inlets (not shown) of the previous and next chambers, respectively. A sealing member (not shown) for hermetic sealing is preferably interposed between the flanges 10 of the connection adapter 1 and the chamber. A substrate through-hole 11 corresponding to a substrate outlet (not shown) and an inlet (not shown) of the previous chamber and the next chamber is formed on the plate surface of the both flange portions 10 for passage of the substrate.

가변연결부(20)는 기판통과구(11)의 둘레영역을 둘러싸는 형태로 양 단부 영역이 각각 양측 플랜지부(10)에 연결되며, 그 단면형상이 중간부분에 접힘단(21)이 형성된 V자 단면, 역V자 단면, U자 단면, 역U자 단면 등의 구조를 가질 수 있다. The variable connection portion 20 is connected to both flange portions 10 at both end regions in the form of surrounding the peripheral region of the substrate passage opening 11 and has V An inverted V-shaped cross-section, a U-shaped cross-section, an inverted U-shaped cross-section, or the like.

이 가변연결부(20)는 양 챔버의 거리오차에 대응할 수 있도록 접힘단(21)을 기준으로 양측이 상호 좁혀지거나 펴지면서, 유연성과 함께 온도나 진공, 풍압 등과 같은 환경변화에 대한 내구성을 갖는 것이 바람직하다. The variable connection portion 20 is flexible and has a durability against changes in environment such as temperature, vacuum, wind pressure and the like while both sides are narrowed or expanded on the basis of the folded end 21 so as to correspond to the distance error between the chambers desirable.

이때, 가변연결부(20)는 그 양단부가 플랜지부(10)에 볼트나 리벳 등의 체결부품(30)을 이용한 결합 형태 또는 힌지 결합 형태 등과 같은 다양한 결합 형태로 연결될 수 있다.At this time, both ends of the variable connection portion 20 can be connected to the flange portion 10 in various coupling forms such as a coupling type using a fastening part 30 such as a bolt or a rivet, or a hinged coupling type.

그리고 가변연결부(20)는 그 형태가 완전히 접혀지는 상태에서 접힘단(21)이 양 플랜지부(10)에 형성된 기판통과구(11)를 통과하는 기판의 이동을 간섭하지 않게 위치하여야 한다. The flexible connecting portion 20 should be positioned so that the folded end 21 does not interfere with the movement of the substrate passing through the substrate through-hole 11 formed in the both flange portions 10 in a state where the shape of the flexible connecting portion 20 is completely folded.

이와 같은 가변연결부(20)는 그 형태가 접혀지거나 펴지는 형태로 가변됨으로써, 양 플랜지 간의 거리를 가변할 수 있게 된다. 따라서 양 챔버의 거리 오차를 보정할 수 있다.
The shape of the flexible connecting portion 20 can be changed into a folded or extended shape, so that the distance between both flanges can be varied. Therefore, the distance error of both chambers can be corrected.

한편, 도 3은 본 고안의 제2실시예에 따른 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터 도면이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 연결어댑터(1)는 전술한 제1실시예와 거의 동일한 구조를 가지면서 양 플랜지부(10) 중 일 측의 플랜지부(10)에는 둘레방향을 따라 복수의 수평장공(31)들이 일정 간격을 두고 형성되어 있고, 타측의 플랜지부(10)에는 둘레방향을 따라 복수의 수직장공(33)들이 일정 간격을 두고 형성되어 있는 구조를 포함하고 있다. 3 is a diagram of a chamber connection adapter of a substrate processing system according to a second embodiment of the present invention. As shown in this figure, the connection adapter 1 has substantially the same structure as that of the first embodiment described above, and has a plurality of horizontal And the other flange portion 10 includes a structure in which a plurality of vertical slots 33 are formed at regular intervals along the circumferential direction.

이들 수평장공(31)과 수직장공(33)은 양 플랜지부(10)를 각각 이전 챔버와 다음 챔버의 기판 배출구(미도시) 및 유입구(미도시) 둘레에 볼트 및 너트 등의 체결부품(30)을 이용하여 결합할 때, 수평장공(31)은 양 챔버의 수평적 위치 오차를 보정할 수 있으며, 수직장공(33)은 양 챔버의 수직적 위치 오차를 보정할 수 있다. These horizontal elongated holes 31 and vertical elongated holes 33 are formed by fastening the two flange portions 10 around the substrate outlet (not shown) and the inlet (not shown) of the previous chamber and the next chamber, respectively, The horizontal slot 31 can correct the horizontal position error of both chambers and the vertical slot 33 can correct the vertical position errors of both chambers.

이러한 본 고안의 제2실시예에 따른 연결어댑터(1)는 가변연결부(20)에 의한 양 챔버 간의 거리 오차 보정이 가능함과 동시에, 양 플랜지부(10)의 수직장공(33) 및 수평장공(31)에 의해 전순한 바와 같이 양 챔버의 수직적 위치 오차 및 수평적 위치 오차 보정이 가능하다.
The connection adapter 1 according to the second embodiment of the present invention is capable of correcting the distance error between the chambers by the variable connection portion 20 and correcting the distance between the vertical slots 33 and the horizontal slots 33 of both flange portions 10 31), it is possible to correct the vertical position error and the horizontal position error of both chambers.

한편, 도 4는 본 고안의 제3실시예에 따른 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터 도면이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 본 제3실시예의 연결어댑터(1)는 전술한 제2실시예와 동일한 구조를 가지면서, 양 챔버의 수평 및 수직적 위치 보정이 양 플랜지부(10)에 형성된 확장결합공(35)에 의해서 이루어진다. 4 is a view of a chamber connection adapter of a substrate processing system according to a third embodiment of the present invention. As shown in this figure, the connection adapter 1 of the third embodiment has the same structure as that of the second embodiment described above, and the horizontal and vertical positional correction of both chambers is carried out by the expansion And is formed by a coupling hole 35.

즉, 양 플랜지부(10)에 체결용 볼트 등의 직경에 비해 큰 직경의 확장결합공(35)들을 둘레방향을 따라 형성하여 양 플랜지부(10)를 챔버의 플랜지에 연결할 때 확장결합공(35)의 여유 직경을 이용하여 위치를 보정하면서 볼트 등의 체결부품(30)을 체결하는 형태로도 양 챔버의 수평 및 수직적 위치 보정이 이루어 질 수 있는 것이다.
That is, when both the flange portions 10 are formed in the circumferential direction with enlarged engagement holes 35 having a diameter larger than the diameter of the fastening bolts or the like and the flange portions 10 are connected to the flanges of the chambers, The horizontal and vertical positional correction of both chambers can be performed even in the form of fastening the fastening part 30 such as a bolt while correcting the position using the allowable diameter of the chambers.

전술한 제2실시예 또는 제3실시예에 따른 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터(1)를 이용하여 인접하는 양측 챔버의 위치 및 거리 오차를 보정하여 연결하는 과정을 간략하게 살펴본다. A process of correcting and connecting the position and distance errors of adjacent chambers using the chamber connection adapter 1 of the substrate processing system according to the second or third embodiment will be briefly described.

일반적으로 인라인 타입 기판처리시스템의 챔버들은 연결어댑터(1)로 연결되기 전에 미리 정해진 레이아웃에 대응하는 위치에 설치 시공된다. 이 상태에서 인접하는 챔버들 간의 위치 및 거리 오차가 발생할 수 있다. Generally, the chambers of the in-line type substrate processing system are installed at positions corresponding to a predetermined layout before being connected to the connection adapter 1. [ In this state, position and distance errors between adjacent chambers may occur.

여기서 위치오차 및 거리오차는 전술한 바와 같은 양 챔버의 상호 대향하는 기판 유입구(미도시) 및 배출구(미도시) 간의 평면적 위치 오차 및 거리 오차로 나타난다. Here, the position error and the distance error are represented by a plane positional error and a distance error between mutually opposing substrate inlets (not shown) and outlets (not shown) of the chambers as described above.

이렇게 위치 및 거리 오차가 발생한 양 챔버 사이에 연결어댑터(1)를 개재한다. 이때, 가변연결부(20)는 접힌 상태로 하여 양 챔버 사이에 연결어댑터(1)가 간단히 개재될 수 있다. The connection adapter 1 is interposed between the chambers in which the position and distance errors are generated. At this time, the flexible connection part 20 is folded so that the connection adapter 1 can be simply interposed between the two chambers.

이 상태에서 연결어댑터(1)의 양 플랜지부(10)를 양 챔버의 플랜지에 접근시킨 후 수평장공(31) 및 수직장공(33)(또는 확장결합공(35))의 여유 공간을 이용하여 연결어댑터(1)의 위치를 설정한다. 이때, 가변연결부(20)는 거리오차에 대응하는 만큼 펼쳐진 상태가 된다. In this state, both flange portions 10 of the connection adapter 1 approach the flanges of both chambers, and then, using the free space of the horizontal elongated hole 31 and the vertical elongated hole 33 (or the extended coupling hole 35) The position of the connection adapter 1 is set. At this time, the variable connection portion 20 is in a deployed state corresponding to the distance error.

그런 다음, 볼트나 너트 등의 체결부품(30)을 이용하여 연결어댑터(1)의 양측 플랜지부(10)와 양 챔버의 플랜지를 체결시키면 양측 챔버의 위치 및 거리 오차가 매우 간단하고 용이하게 보정되면서 연결 작업을 마무리할 수 있다. 이때, 전술한 바와 같이 실링부재(미도시)의 설치도 병행된다.
Then, when the flanges of the both chambers and the flanges 10 on both sides of the connection adapter 1 are fastened to each other using fastening parts 30 such as bolts or nuts, the position and distance errors of both chambers are very simple and easily corrected The connection can be completed. At this time, the sealing member (not shown) is also installed as described above.

한편, 도 5는 본 고안의 제4실시예에 따른 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터 도면이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 본 제4실시예의 연결어댑터(1)는 전술한 제1실시예와 거의 동일한 구조를 가지면서 접힘단(21) 영역의 결합구조에 의해 양 챔버의 수평 및 수직적 위치 보정이 이루어 질 수 있다. 5 is a view of a chamber connection adapter of a substrate processing system according to a fourth embodiment of the present invention. As shown in this figure, the connection adapter 1 of the fourth embodiment has substantially the same structure as the first embodiment described above, and the connection structure of the regions of the folded ends 21 allows the horizontal and vertical positions Calibration can be done.

이를 위해 접힘단(21) 부분이 양측으로 분리 가능하게 마련되며, 양 접힘단(21)에는 각각 상호 평행하게 접하여 결합되는 결합편(23)이p 형성되어 있다. 그리고, 양 결합편(23)에는 상호 대향하는 수평장공(31) 및 수직장공(33)이 가변연결부(20)의 둘레방향을 따라 일정 간격을 두고 형성되어 있다. 이들 수평장공(31)과 수직장공(33)을 통해 볼트와 너트 등의 체결부품(30)을 체결함으로써, 양 결합편(23)을 상호 결합하여 가변연결부(20)를 형성한다. To this end, the folded end 21 is separable on both sides, and the both folded ends 21 are formed with p-shaped coupling pieces 23 which are in parallel contact with each other. Horizontal long holes 31 and vertical long holes 33 facing each other are formed in the coupling pieces 23 at regular intervals along the circumferential direction of the variable connection portion 20. The fastening parts 30 such as bolts and nuts are fastened through these horizontal elongated holes 31 and the vertical elongated holes 33 to form the flexible connecting portions 20 by joining the two fastening pieces 23 to each other.

이러한 구조를 갖는 본 제4실시예에 따른 연결어댑터(1)는 양 결합편(23)에 형성된 수평장공(31)과 수직장공(33)의 위치를 수평 및 수직적으로 조절한 상태에서 체결부품(30)으로 양 결합편(23)을 결합함으로써, 양 챔버의 수평 위치 오차 및 수직 위치 오차를 보정할 수 있다. In the connecting adapter 1 according to the fourth embodiment having such a structure, the position of the horizontal elongated hole 31 and the vertical elongated hole 33 formed in both engaging pieces 23 are adjusted horizontally and vertically, 30, the horizontal position error and the vertical position error of both chambers can be corrected.

그리고 전술한 실시예들과 마찬가지로 가변연결부(20)에 의한 양 챔버의 거리 위치 오차를 보정할 수 있다.
As in the above-described embodiments, it is possible to correct the distance position error of the chambers by the variable connection portion 20. [

한편, 도 6은 본 고안의 제5실시예에 따른 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터 도면이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 본 제5실시예의 연결어댑터(1)는 전술한 제1실시예와 거의 동일한 구조를 가지면서 양 플랜지부(10)와 가변연결부(20)의 양단부 간의 결합 구조에 의해 양 챔버의 수평 및 수직적 위치 보정이 이루어 질 수 있다. 6 is a view showing a chamber connection adapter of the substrate processing system according to the fifth embodiment of the present invention. As shown in this drawing, the connection adapter 1 of the fifth embodiment has substantially the same structure as the first embodiment described above, and has a structure in which both the flange portion 10 and the joint portion between the opposite ends of the variable connection portion 20 The horizontal and vertical positional correction of both chambers can be made.

이를 위해 가변연결부(20)의 양단부에는 양 플랜지부(10)에 각각 상호 평행하게 접하여 결합되는 플랜지결합편(25)이 형성되어 있고, 양 플랜지결합편(25)에는 가변연결부(20)의 둘레방향을 따라 일정 간격을 두고 복수의 장공이 형성되어 있다. To this end, a flange coupling piece 25 is formed at both end portions of the variable connection portion 20 so as to be in parallel contact with the both flange portions 10 in parallel. The flange coupling piece 25 is provided with a flexible connection portion 20, And a plurality of long holes are formed at regular intervals along the direction.

이때, 양 플랜지결합편(25) 중 일측의 플랜지결합편(25)에 형성된 장공은 수직장공(33)으로 형성되고, 타측의 플랜지결합편(25)에 형성된 장공은 수평장공(31)으로 형성된다. At this time, the elongated hole formed in the flange engagement piece 25 on one side of the both flange engagement piece 25 is formed as a vertical slot 33, and the slot formed on the flange engagement piece 25 on the other side is formed as a horizontal slot 31 do.

이러한 구조를 갖는 본 제5실시예에 따른 연결어댑터(1)는 양 플랜지결합편(25)에 형성된 수평장공(31) 및 수직장공(33)의 위치를 수평 및 수직적으로 조절한 상태에서 체결부품(30)으로 양 플랜지결합편(25)을 각각 양 챔버의 플렌지에 결합함으로써, 양 챔버의 수평 위치 오차 및 수직 위치 오차를 보정할 수 있다. In the connecting adapter 1 according to the fifth embodiment having such a structure, the horizontal elongated hole 31 and the vertical elongated hole 33 formed in the both flange connecting pieces 25 are horizontally and vertically adjusted, The horizontal position error and the vertical position error of both chambers can be corrected by joining the both flange coupling pieces 25 to the flanges of the both chambers respectively.

그리고 전술한 실시예들과 마찬가지로 가변연결부(20)에 의한 양 챔버의 거리 위치 오차를 보정할 수 있다.
As in the above-described embodiments, it is possible to correct the distance position error of the chambers by the variable connection portion 20. [

이와 같이, 본 고안에 따른 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터는 전술한 실시예들과 같이, 다양한 형태를 이용하여 인접하는 양측 챔버 간의 위치 및 거리 오차를 용이하게 보정할 수 있다. As described above, the chamber connection adapter of the substrate processing system according to the present invention can easily correct position and distance errors between adjacent chambers by using various forms.

그리고 양 챔버의 상호 대향하는 기판 유입구 및 배출구 간의 평면적 위치 오차 보정시 장공이나 확장결합공의 구조에 의해 수평 및 수직적 위치 보정이 가능함으로써, 가변연결부의 연결 형태의 변형을 방지할 수 있다. 이에 의해, 기판 이동 간섭 및 내구성 저하를 방지할 수 있다.
The horizontal and vertical positional correction can be performed by the structure of the slot or the extended coupling hole when correcting the positional error between the substrate inlet and the outlet of mutually opposing chambers of the both chambers, thereby preventing deformation of the connection shape of the variable connection portion. Thereby, substrate movement interference and durability deterioration can be prevented.

또한, 양 챔버의 상호 대향하는 기판 유입구 및 배출구 간의 평면적 위치 오차의 보정이 매우 용이하면서도 그 구조가 매우 간단하여 제작이 용이하고 제작단가 및 제작기간을 현격하게 절감할 수 있는 기판처리시스템의 챔버 연결어댑터가 제공된다. In addition, it is possible to easily correct a positional error between a substrate inlet and an outlet of mutually opposing chambers of both chambers, but it is possible to manufacture a chamber connection of a substrate processing system An adapter is provided.

10 : 플랜지부 20 : 가변연결부
21 : 접힘단 31 : 수평장공
33 : 수직장공10: flange portion 20: variable connection portion
21: folded end 31: horizontal slot
33: vertical slot

Claims (9)

기판처리시스템의 상호 인접하는 양측 챔버를 연결하는 연결어댑터에 있어서,
상기 양측 챔버의 기판 배출구 및 기판 유입구 둘레에 각각 결합되며, 중앙 영역에 기판통과구가 형성되어 있는 한 쌍의 플랜지부;
상기 양 플랜지부 사이에 상기 기판통과구를 둘러싸도록 개재되어 양 단부가 상기 양 플랜지부에 연결되고, 중간부분에 접힘 및 전개되는 접힘단이 형성되어 있으며, 상기 양 플랜지부의 거리 및 평면적 위치 조절이 가능한 가변연결부를 포함하고,
상기 가변연결부는 상기 접힘단 부분이 양측으로 분리 가능하게 마련되며, 양 접힙단에는 각각 상호 평행하게 접하여 결합되는 결합편이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 연결어댑터.A connection adapter for connecting mutually adjacent chambers of a substrate processing system,
A pair of flanges coupled to the substrate outlet and the substrate inlet of the both chambers, respectively, the substrate passage being formed in the central region;
Wherein both ends of the flange portion are interposed between the flange portions so as to surround the substrate through-hole, both ends of the flange portion are connected to the both flange portions, and the folded end portion is folded and developed at an intermediate portion, Comprising a variable connection capable,
Wherein the flexible connection portion is formed such that the folded end portion is separable to both sides, and the connectionepiped portions are formed on the both folded-back ends in parallel to each other. 제1항에 있어서,
상기 가변연결부는 V자 단면, 역V자 단면, U자 단면, 역U자 단면 중 어느 하나의 단면 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 연결어댑터.The method according to claim 1,
Wherein the variable connection portion has a cross-sectional shape of any one of a V-shaped cross-section, an inverted V-shaped cross-section, a U-shaped cross-section, and an inverted U-shaped cross-section. 삭제delete 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 양 결합편에는 상호 대향하는 장공이 상기 가변연결부의 둘레방향을 따라 일정 간격을 두고 형성되어 있으며, 상기 양 결합편은 상기 장공을 통해 체결되는 체결부품으로 결합되는 것을 특징으로 하는 연결어댑터. 3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the mutually opposing slots are formed at predetermined intervals along the circumferential direction of the variable connection portion, and the two coupling pieces are coupled to each other by a fastening member that is fastened through the slot. 제4항에 있어서,
상기 양 결합편의 장공은 상호 교차하는 방향으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 연결어댑터. 5. The method of claim 4,
And the elongated holes of both connecting pieces are formed in mutually intersecting directions. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 가변연결부의 양단부에는 상기 양 플랜지부에 각각 상호 평행하게 접하여 결합되는 플렌지결합편이 형성되어 있고;
상기 양 플렌지결합편에는 상기 가변연결부의 둘레방향을 따라 일정 간격을 두고 복수의 장공이 형성되어 있으며;
상기 양 플랜지부와 상기 양 플렌지결합편은 상기 장공을 통해 체결되는 체결부품으로 결합되는 것을 특징으로 하는 연결어댑터. 3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein flange coupling pieces are formed at both ends of the variable connection portion so as to be in contact with and in parallel with the both flange portions, respectively;
A plurality of long holes are formed in the both flange coupling pieces at regular intervals along the circumferential direction of the variable connection portion;
Wherein both the flange portion and the both flange coupling portions are coupled by a fastening member that is fastened through the elongated hole. 제6항에 있어서,
상기 양 플렌지결합편 중 일측의 플렌지결합편에 형성된 장공은 수직 방향으로 형성되고, 타측의 플렌지결합편에 형성된 장공은 수평 방향으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 연결어댑터. The method according to claim 6,
Wherein the elongated hole formed in one flange coupling piece of the two flange coupling pieces is formed in a vertical direction and the elongated hole formed in the other flange coupling piece is formed in a horizontal direction. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 양 플랜지부는 상기 양측 챔버에 체결부품으로 체결되며, 상기 양 플랜지부 중 일측의 플랜지부에는 둘레방향을 따라 복수의 수평장공들이 일정 간격을 두고 형성되어 있고, 타측의 플랜지부에는 둘레방향을 따라 복수의 수직장공들이 일정 간격을 두고 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 연결어댑터.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the flanges of both flanges are fastened to the both chambers by a fastening part, and a plurality of horizontally elongated holes are formed at predetermined intervals along a circumferential direction at one flange of the two flanges, Wherein a plurality of vertical slots are formed at regular intervals. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 양 플랜지부는 상기 양측 챔버에 체결부품으로 체결되며, 상기 양 플랜지부에는 상기 체결부품에 비해 큰 직경의 확장결합공들이 둘레방향을 일정 간격을 두고 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 연결어댑터.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein both flange portions are fastened to the both chambers by fastening members, and enlarged coupling holes having a larger diameter than the fastening parts are formed at both flange portions at regular intervals in the circumferential direction.
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JP2006210370A (en) 2005-01-25 2006-08-10 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Chamber connecting apparatus
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