KR200469807Y1 - 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓 - Google Patents

Abstract

열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓을 제공한다. 제공된 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓은 가스배관에 열을 공급할 수 있도록 상기 가스배관의 외면을 감싸는 몸체와, 상기 몸체 내에 삽입되어 외부 전원이 인가시 열을 발산하는 발열시트와, 상기 몸체의 전후방에 부착고정되는 마감부재로 구성된 히팅자켓에 있어서, 상기 몸체는 탄성력을 갖는 실리콘 러버 재질로 만곡진 호형상을 이루어 양단이 맞닿으며, 내부에 상기 발열시트가 삽입되는 설치공간이 형성되고, 상기 설치공간의 외면에 상기 가스배관의 길이방향으로 돌출된 볼록부와 오목부가 교번되게 형성되어 발열시트의 열이 외부로 전도되어 손실되는 것을 최소화할 수 있도록 한다.

Description

열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓{Heating jacket to enhance heating efficiency}

본 고안은 히팅자켓에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 발열시트와 몸체와의 접촉면적을 가스배관이 위치한 측과 가스배관이 위치하지 않은 측을 다르게 하여 가스배관이 위치하지 않은 측은 발열시트와 몸체가 선 촉을 이루도록 함으로써, 발열시트의 열이 외부로 전도되어 손실되는 것을 최소화할 수 있도록 한 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓에 관한 것이다.

일반적으로 반도체를 제조하는 공정에서 가스를 사용하여 웨이퍼에 패턴을 형성하는 설비는 종류가 매우 다양하다.

이들 설비들에서 실제 공정을 수행하는 공정 챔버는 진공의 상태에서 공정을 수행하게 되고, 공정 수행 직후 공정 챔버 내의 가스는 다시 배관을 통해서 배출되도록 하고 있다.

한편, 공정 수행을 위해 공정 챔버에 공급되는 가스는 공정의 특성에 따라 종류가 매우 다양하다. 특히 반도체의 고밀도화가 요구되는 추세에서 최근에 웨이퍼를 가공하는데 가장 많이 사용되고 있는 공정은 건식 식각 이다.

건식 식각은 가스의 플라즈마를 이용하여 미세 패턴 가공을 하는 것으로서, 여기에 사용되는 가스로는 SF6 , CF4 , BCl3 , Cl2 , SiCl 2 등이 있다.

이들 가스가 챔버 내에 공급되면, 전극간 통전에 의해 활성화되고, 이때 발생되는 플라즈마가 웨이퍼에 충돌하며서 웨이퍼와 반응하여 식각을 수행하게 되는 것이다.

이때 전술한 바와 같이 공정을 수행한 직후의 가스는 플라즈마로서 웨이퍼를 식각함과 동시에 이때 발생한 폴리머는 배관을 통해 배출된다.

이에, 상기 배관을 통해 배출되는 폴리머는 온도가 낮아지게 되고, 이로써 배관의 내벽면에 일부의 폴리머가 고착되는 경우가 있다.

즉 공정을 수행하는 챔버의 내부는 고온의 상태이므로 가스는 기체의 상태로서 유지될 수가 있으나 배관을 따라 배기하는 과정에서 온도가 낮아지게 되므로 일부의 가스, 일례로 AlO3 , Cl2 , BCl2 등과 같은 성분은 배관의 내벽에 흡착되면서 배기 압력을 상승시킴은 물론 배기력 저하현상이 발생하는 문제가 있다.

이에 따라, 상기 배큠 라인에는 배관을 통과하는 가스가 고착되는 것을 방지하기 위해 배관을 가열하기 위한 히팅자켓을 설치한다.

도 1은 종래 히팅자켓을 나타낸 요부단면도이다.

종래 히팅자켓(2)은 가스배관(3)의 외면을 전부 감싸도록 탄성력을 갖는 몸체의 내부에 외부전원이 인가시 발열하는 발열시트(1)가 구비된다.

이에 따라, 상기 발열시트(1)에 전원이 공급되면, 상기 발열시트(1)는 열을 발산하며, 그 열원은 가스배관(3)에 전달되어 가스의 냉각을 방지한다.

그러나, 종래 히팅장치는 열효율이 저하되는 문제점이 있다.

즉, 상기 발열시트를 통해 발산되는 열의 일부는 몸체의 내벽을 통해 가스 배관으로 전도되지만, 나머지 열은 몸체의 외벽으로 전도되어 외부로 방출되기 때문이다.

본 고안은 상술한 종래 히팅자켓에서 발생하는 제반적인 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로,

그 목적은 히팅자켓의 구조개선을 통해 히팅자켓의 내부 열원이 외부로 발산되는 것을 최소화함으로써, 열손실을 최소화할 수 있도록 한 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓을 제공한다.

본 고안의 다른 목적은 히팅자켓의 발열시트와 가스배관 사이에 열전달을 위한 매개체 역할을 수행하는 금속 소재의 열전도편을 더 설치함으로써, 발열시트의 열이 가스배관으로 용이하게 전달될 수 있도록 한 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓을 제공한다.

상기한 과제해결을 위한 본 고안은
가스배관에 열을 공급할 수 있도록 상기 가스배관의 외면을 감싸는 몸체와, 상기 몸체 내에 삽입되어 외부 전원이 인가시 열을 발산하는 발열시트와, 상기 몸체의 전후방에 부착고정되는 마감부재로 구성된 히팅자켓에 있어서,
상기 몸체는
탄성력을 갖는 실리콘 러버 재질로 만곡진 호형상을 이루어 양단이 맞닿으며, 내부에 상기 발열시트가 삽입되는 설치공간이 형성되고, 상기 설치공간의 외면에 상기 가스배관의 길이방향으로 돌출된 볼록부와 오목부가 교번되게 형성된다.

한편, 상기 가스배관과 맞닿는 몸체의 내면에 다수개의 슬릿홈이 형성되고, 상기 각 슬릿홈에 상기 발열시트의 열이 가스배관으로 원활히 전도될 수 있도록 금속 소재의 열전도부재를 설치하되,

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상기 열전도부재는 상기 슬릿홈에 삽입연결되는 연결핀과 상기 연결핀의 단부에 돌출형성되어 상기 가스배관의 외면과 면접촉을 이루는 밀착편을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 몸체의 양단에는 연결돌부와 연결홈부가 형성되고, 상기 연결돌부의 상,하부에 결속돌기가 마련되며, 상기 연결홈부의 내면에 상기 결속돌기가 걸림을 이루는 결속홈이 형성되는 것이 바람직하다.

본 고안에 따르면, 히팅자켓의 구조 개선을 통해 발열시트의 열이 외부로 전도되어 손실되는 것을 최소화함으로써, 히팅자켓의 열효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 몸체에 형성된 볼록부를 통해 발열시트가 설치공간의 내부에서 가스배관 측으로 더욱 긴밀하게 밀착되게 함으로써, 열전도율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 몸체의 내부에 형성된 오목부를 통해 발열시트에서 공급된 열을 저장할 수 있도록 함으로써, 상기 오목부에 잔류한 열에 의해 가스배관의 보온 효과를 향상시킬 수 있도록 한다.

도 1은 종래 히팅자켓을 나타낸 요부단면도이다.
도 2는 본 고안의 바람직한 제1 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓을 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 고안의 바람직한 제1 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓을 나타낸 분해사시도이다.
도 4는 본 고안의 바람직한 제1 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓 중 마감부재를 나타낸 요부확대도이다.
도 5는 도 2의 요부단면도이다.
도 6은 본 고안의 바람직한 제2 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓을 나타낸 요부단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 제1 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓를 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 고안의 바람직한 제1 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓을 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 고안의 바람직한 제1 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓을 나타낸 분해사시도이고, 도 4는 본 고안의 바람직한 제1 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓 중 마감부재를 나타낸 요부확대도이다.

도 2 및 도 4를 참조하면, 본 고안의 바람직한 제1 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓(100)은 몸체(110)와, 상기 몸체(110)의 내부에 설치되는 발열시트(120) 상기 몸체(110)의 전후방에 부착고정되는 마감부재(130)를 포함하여 구성된다.

상기 몸체(110)는 본 고안의 히팅자켓에 대한 기본 틀 역할을 수행하는 구성수단이다.

이때, 상기 몸체(110)는 탄성력을 갖는 실리콘 러버 재질로 상기 가스배관(10)의 외면을 감싸도록 만곡진 호형상을 이루어 양단이 맞닿는다. 또한, 상기 몸체(110)는 그 내부에 설치공간(111)이 형성되고, 상기 설치공간(111)의 외면에 상기 가스배관(10)의 길이방향으로 돌출된 볼록부(112)와 오목부(113)가 교번되게 형성된 된다.

또한, 상기 몸체(110)의 일단에는 연결돌부(114)가 형성되고, 타단에는 상기 연결돌부(114)가 삽입되는 연결홈부(115)가 형성되며, 상기 연결돌부(114)의 상,하부에 결속돌기(116)가 마련되고, 상기 연결홈부(115)의 내면에 상기 결속돌기(116)가 걸림을 이루는 결속홈(117)이 형성된다.

또한, 상기 몸체(110)은 대량생산이 가능하도록 인발가공을 통해 제조되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 발열시트(120)는 상기 가스배관(10)에 열을 공급하는 역할을 수행하는 구성수단이다.

이때, 상기 발열시트(120)는 상기 설치공간(111)에 삽입되어 외부 전원이 인가시 열을 발산한다. 즉, 상기 발열시트(120)는 그 내부에 발열선(미도시)이 배선되어 외부전원이 인가시 상기 발열선이 열을 발산하는 구조로 이루어져 있다.

한편, 상기 마감부재(130)는 개구된 설치공간(111)을 밀폐하기 위한 역할을 수행하는 구성수단이다.

이때, 상기 마감부재(130)는 상기 몸체(110)의 전후방에 부착고정되어 상기 설치공간(111)을 밀폐한다. 또한, 상기 마감부재(130)는 일측에 절개부(131)를 갖는 링 형상으로 상기 몸체(110)와의 접촉면 측에는 연결돌기(133)가 돌출형성되어 상기 오목부(113)에 삽입된다.

이에, 상기와 같은 결합구성으로 이루어진 본 고안의 바람직한 제1 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓은 열의 외부 전도를 최소화하여 열손실을 미연에 방지할 수 있도록 한 것으로, 이에 따른 연결관계 및 작용효과를 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

도 5는 도 2의 요부단면도이다.

도 5를 참조하면, 본 고안의 바람직한 제1 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓(100)을 조립하기 위해서는 먼저, 상기 설치공간(111) 내부에 발열시트(120)를 삽입한다.

이때, 상기 발열시트(120)는 그 일면이 가스배관(10)이 위치한 측의 벽면과 밀착되어, 열전도작용을 통해 상기 가스배관(10)을 가열한다. 또한, 그 타측면은 상기 설치공간(111)의 벽면 중 볼록부(112)가 형성된 부위에만 밀착되어, 외부로 열이 전도되는 것을 최소화한다.

또한, 상기 볼록부(112)는 그 탄성력에 의해 상기 발열시트(120)를 밀어 발열시트(120)가 설치공간(111) 내에서 가스배관(10)이 위치한 측의 벽면에 더욱 밀착될 수 있도록 한다.

이후, 상기 몸체(110)의 전,후방에 마감부재(130)를 부착고정한다. 이때, 상기 연결돌기(133)는 몸체(110)의 오목부(113)에 삽입연결된다. 이에 따라, 상기 몸체(110)에 부착고정된 마감부재(130)가 외부 압력에 의해 몸체(110)에서 틀어지는 것을 미연에 방지할 수 있도록 한다.

이와 같은 결합구조로 이루어진 본 고안의 바람직한 제1 실시예에 따른 히팅자켓(100)을 가스배관(10)에 설치하기 위해서는 먼저, 실리콘 러버 재질로 탄성력을 갖는 몸체(110)를 벌려 그 내부에 가스배관(10)이 위치되도록 한다.

이후, 상기 몸체(110)를 벌리기 위한 힘을 해제하면, 상기 몸체(110)는 그 자체 탄성력에 의해 가스배관(10)을 감싸게 된다.

이후, 상기 연결홈부(115)에 연결돌부(114)를 삽입함과 동시에 결속돌기(116)를 결속홈(117)에 삽입한다.

이와 같이 상기 연결돌부(114)와 결속돌기(116)를 연결홈부(115)와 결속홈(117)에 삽입하면, 상기 몸체(110)의 절개부위는 이들의 연결을 통해 더욱 긴밀하게 맞닿아 열손실을 최소화한다.

이에 따라, 본 고안의 바람직한 제1 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓은 몸체와 발열시트의 접촉면적을 가스배관이 위치한 측은 전면을 밀착시켜 가스배관 측으로 원활히 열이 전도될 수 있도록 한 반면, 외측으로는 볼록부 만이 몸체와 선 접촉을 이루도록 함으로써, 외부로 전도되는 열손실을 최소화할 수 있도록 한다.

한편, 본 고안의 바람직한 제2 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓을 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

이때, 본 고안의 바람직한 제2 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓 중 제1 실시예와 동일한 구성은 동일한 참조번호를 나타내며, 이에 따른 상세한 설명은 생략하기로 한다.

도 6은 본 고안의 바람직한 제2 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓을 나타낸 요부단면도이다.

도 6을 참조하면, 본 고안의 바람직한 제2 실시에에 따른 히팅자켓(100)은 상기 가스배관(10)과 맞닿는 몸체(100)의 내면에 다수개의 슬릿홈(218)이 형성되고, 상기 각 슬릿홈(218)에는 상기 발열시트(120)의 열이 가스배관(10)으로 원활히 전도될 수 있도록 금속 소재의 열전도부재(240)이 설치된다.

이때, 상기 열전도부재(240)는 상기 슬릿홈(218)에 삽입연결되는 연결핀(241)과 상기 연결핀(241)의 단부에 돌출형성되어 상기 가스배관(10)의 외면과 면접촉을 이루는 밀착편(243)으로 이루어진다.

또한, 상기 밀착편(243)은 가스배관(10)의 외면과 면밀한 밀착을 이룰 수 있도록 호 형상으로 이루어지는 것이 바람직하다.

한편, 상기 열전도부재(240)는 직선구간과 곡선구간을 모두 갖는 가스배관(10) 중에서 직선구간에만 적용하는 것이 바람직하다.

이에 따라, 본 고안의 바람직한 제2 실시예에 따른 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓(100)은 열 전도율이 높은 금속소재의 열전도부재(240)를 상기 몸체(110)의 내면과 가스배관(10) 사이에 위치시키고, 상기 열전도부재(240)의 연결핀(241)을 상기 발열시트(120)와 더욱 근접하게 위치시킴으로써, 발열시트(120)의 열이 상기 열전도부재(240)를 통해 가스배관(10) 측으로 원활히 공급될 수 있도록 한다.

10 : 가스배관 110 : 몸체 111 : 설치공간
112 : 볼록부 113 : 오목부 114 : 연결돌부
116 : 결속돌기 120 : 발열시트 130 : 마감부재
133 : 연결돌기 240 : 열전도부재 241 : 연결핀
243 : 밀착편

Claims (3)

1. 가스배관(10)에 열을 공급할 수 있도록 상기 가스배관(10)의 외면을 감싸는 몸체(110)와, 상기 몸체(110) 내에 삽입되어 외부 전원이 인가시 열을 발산하는 발열시트(120)와, 상기 몸체(110)의 전후방에 부착고정되는 마감부재(130)로 구성된 히팅자켓에 있어서,
   상기 몸체(110)는
   탄성력을 갖는 실리콘 러버 재질로 만곡진 호형상을 이루어 양단이 맞닿으며, 내부에 상기 발열시트(120)가 삽입되는 설치공간(111)이 형성되고, 상기 설치공간(111)의 외면에 상기 가스배관(10)의 길이방향으로 돌출된 볼록부(112)와 오목부(113)가 교번되게 형성됨을 특징으로 하는 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 가스배관(10)과 맞닿는 몸체(110)의 내면에 다수개의 슬릿홈(218)이 형성되고, 상기 각 슬릿홈(218)에 상기 발열시트(120)의 열이 가스배관(10)으로 원활히 전도될 수 있도록 금속 소재의 열전도부재(240)를 설치하되,
   상기 열전도부재(240)는 상기 슬릿홈(218)에 삽입연결되는 연결핀(241)과 상기 연결핀(241)의 단부에 돌출형성되어 상기 가스배관(10)의 외면과 면접촉을 이루는 밀착편(243)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓.
   
3. 삭제

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