KR101297984B1 - 열처리장치용 커넥터 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터는 열처리장치의 하우징 벽에 설치되며 복수 개의 제 1 커넥터핀을 포함하는 제 1 커넥터부재와, 상기 제 1 커넥터부재와 결합되도록 상기 복수 개의 제 1 커넥터핀을 수용하는 제 1 수용홈이 형성되며, 상기 수용홈의 반대편으로 돌출되는 복수 개의 제 2 커넥터핀을 포함하는 제 2 커넥터부재와, 상기 제 2 커넥터부재와 결합되도록 상기 복수 개의 제 2 커넥터핀을 수용하는 제 2 수용홈이 형성되며, 상기 제 2 수용홈의 반대편에는 전원선의 커넥터부를 수용하는 제 3 수용홈이 형성되는 제 3 커넥터부재를 포함하며, 상기 제 1 커넥터부재는 금속재로 구성되고, 제 2 커넥터부재와 제 3 커넥터부재는 세라믹재질로 구성된다.
본 발명에 의해, 고온 환경의 열처리 장치 내에서 열에 의한 파손을 방지할 수 있다.
또한, 각종 공정가스로부터 커넥터 내의 금속단자들을 보호할 수 있으며, 고압 전원 인가 시에도 전류가 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에 의해, 고온 환경의 열처리 장치 내에서 열에 의한 파손을 방지할 수 있다.
또한, 각종 공정가스로부터 커넥터 내의 금속단자들을 보호할 수 있으며, 고압 전원 인가 시에도 전류가 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있다.
Description
본 발명은 열처리장치용 커넥터에 관한 발명으로서, 보다 상세하게는 고온 환경의 열처리장치 내에서 열충격에 의한 파손 및 전류의 누설을 방지할 수 있도록 구성되는 열처리장치용 커넥터에 관한 발명이다.
일반적으로 열처리장치는, 고속열처리(Rapid Thermal Anealing), 고속 열세정(Rapid Thermal Cleaning), 고속 열화학 증착(Rapid Thermal Chemical Vap. or Deposition)등의 열처리를 위한 장비이다.
유리기판의 열처리 공정 중 하나인 어닐링 공정은 유리기판 상에 증착된 비정질 실리콘을 폴리실리콘으로 결정화시키는 공정이다.
상기 열처리 공정을 위한 장치는, 유리기판을 지지하기 위한 기판지지부재와 유리기판을 향해 복사열을 조사하는 다수의 히터를 포함한다.
이러한 열처리장치는 유리기판의 승온 및 감온이 되도록 짧은 시간에 넓은 온도범위에서 이루어지도록 구성되는 것이 바람직하며, 유리기판의 각 부분에서의 고른 가열과 정밀한 온도제어가 매우 중요한 문제가 된다.
상기와 같은 유리기판의 승온 및 감온과 정밀한 온도제어에 앞서 필수적으로 선행되어야 하는 것은 바로 고온에서도 견딜 수 있는 전원공급 커넥터의 설계이다.
또한, 각종 공정가스에 의한 화학적 부식으로부터 전원공급 커넥터를 보호할 수 있어야 한다.
본 발명의 목적은, 고온 환경의 열처리 장치 내에서 열에 의한 파손을 방지할 수 있는 열처리장치용 커넥터를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 각종 공정가스로부터 커넥터 내의 금속단자들을 보호할 수 있는 열처리장치용 커넥터를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 고압 전원 인가 시에도 전류가 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있는 열처리장치용 커넥터를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터는 열처리장치의 하우징 벽에 설치되며 복수 개의 제 1 커넥터핀을 포함하는 제 1 커넥터부재와, 상기 제 1 커넥터부재와 결합되도록 상기 복수 개의 제 1 커넥터핀을 수용하는 제 1 수용홈이 형성되며, 상기 수용홈의 반대편으로 돌출되는 복수 개의 제 2 커넥터핀을 포함하는 제 2 커넥터부재와, 상기 제 2 커넥터부재와 결합되도록 상기 복수 개의 제 2 커넥터핀을 수용하는 제 2 수용홈이 형성되며, 상기 제 2 수용홈의 반대편에는 전원선의 커넥터부를 수용하는 제 3 수용홈이 형성되는 제 3 커넥터부재를 포함하며, 상기 제 1 커넥터부재는 금속재로 구성되고, 제 2 커넥터부재와 제 3 커넥터부재는 세라믹재질로 구성된다.
바람직하게는, 상기 제 1 수용홈의 전방에는 중공원기둥형상으로 돌출되는 제 1 수용홈전방돌출부가 형성된다.
또한, 상기 제 2 커넥터핀은 원형단면의 제 2 커넥터핀홈에 수용되며, 상기 제 2 수용홈의 전방에는 중공원기둥형상으로 돌출되는 제 2 수용홈전방돌출부가 형성될 수 있다.
여기서, 상기 제 2 수용홈전방돌출부는 상기 제 2 커넥터부재와 일체로 형성될 수 있다.
바람직하게는, 상기 제 2 커넥터핀은 금속재로 구성된다.
더욱 바람직하게는, 상기 제 2 커넥터핀은 은 또는 은합금으로 구성된다.
한편, 상기 제 3 수용홈에 결합되는 전원선을 추가적으로 포함하며, 상기 전원선은 중공원기둥형상의 세라믹보호부재 내에 배치될 수 있다.
본 발명에 의해, 고온 환경의 열처리 장치 내에서 열에 의한 파손을 방지할 수 있다.
또한, 각종 공정가스로부터 커넥터 내의 금속단자들을 보호할 수 있다.
또한, 고압 전원 인가 시에도 전류가 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있다.
첨부의 하기 도면들은, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 이해시키기 위한 것이므로, 본 발명은 하기 도면에 도시된 사항에 한정 해석되어서는 아니 된다.
도 1 은 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터가 설치된 열처리장치의 사시도이며,
도 2 는 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터의 단면사시도이며,
도 3 은 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터의 사시도이며,
도 4 는 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터의 단면도이며,
도 5 는 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터와 전원선이 연결된 상태를 도시하는 사시도이다.
도 1 은 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터가 설치된 열처리장치의 사시도이며,
도 2 는 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터의 단면사시도이며,
도 3 은 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터의 사시도이며,
도 4 는 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터의 단면도이며,
도 5 는 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터와 전원선이 연결된 상태를 도시하는 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1 은 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터가 설치된 열처리장치의 사시도이며, 도 2 는 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터의 단면사시도이며, 도 3 은 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터의 사시도이며, 도 4 는 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터의 단면도이며, 도 5 는 본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터와 전원선이 연결된 상태를 도시하는 사시도이다.
본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터는 열처리장치(100)의 하우징 벽(110)에 설치되며 복수 개의 제 1 커넥터핀(12)을 포함하는 제 1 커넥터부재(10)와, 상기 제 1 커넥터부재(10)와 결합되도록 상기 복수 개의 제 1 커넥터핀(12)을 수용하는 제 1 수용홈(22)이 형성되며, 상기 수용홈(22)의 반대편으로 돌출되는 복수 개의 제 2 커넥터핀(24)을 포함하는 제 2 커넥터부재(20)와, 상기 제 2 커넥터부재(20)와 결합되도록 상기 복수 개의 제 2 커넥터핀(24)을 수용하는 제 2 수용홈(32)이 형성되며, 상기 제 2 수용홈(32)의 반대편에는 전원선(40)의 커넥터부(42)를 수용하는 제 3 수용홈(34)이 형성되는 제 3 커넥터부재(30)를 포함하며, 상기 제 1 커넥터부재(10)는 금속재로 구성되고, 제 2 커넥터부재(20)와 제 3 커넥터부재(30)는 세라믹재질로 구성된다.
상기 열처리장치(100)는 내부에 유리기판을 지지하기 위한 지지부재(105)와 그 위에 배치되는 유리기판(미도시)을 수용하며, 내부에 수용된 유리기판을 가열하면서 각종의 공정가스를 공급하도록 구성된다.
본 발명에 따른 열처리장치용 커넥터는 상기 열처리장치(100)의 하우징벽(110)에 설치되어, 상기 지지부재(105)로 전력을 공급하도록 구성된다.
상기 하우징벽(110)의 외부에는 상기 제 1 커넥터부재(10)가 설치되어, 외부의 전원과 연결된다.
상기 제 1 커넥터부재(10)에는 상기 제 2 커넥터부재(20)와 전기적으로 연결되기 위한 복수 개의 제 1 커넥터핀(12)과 함께 그 반대편에는 외부전원과 전기적으로 연결되기 위한 복수 개의 외부전원연결핀(14)이 설치된다.
여기서, 상기 제 1 커넥터부재(10)는 금속재로 구성되어, 외부로부터의 충격에 용이하게 파손되지 않도록 구성된다.
상기 제 1 커넥터부재(10)는 상기 제 1 커넥터핀(12)을 매개로 상기 제 2 커넥터부재(20)와 연결된다.
상기 제 2 커넥터부재(20)는 전체적으로 세라믹 재질로 구성되며, 상기 제 1 커넥터핀(12)을 수용하기 위한 제 1 수용홈(22) 내부에는 상기 제 1 커넥터핀(12)과 전기적으로 접속되기 위한 금속재의 암커넥터가 설치된다.
또한, 상기 제 1 수용홈(22)의 전방에는 중공원기둥형상으로 돌출되는 제 1 수용홈전방돌출부(26)가 형성된다.
그리하여, 상기 제 1 커넥터핀(12)과 상기 금속재의 암커넥터 등은 세라믹재질의 몸체 및 상기 제 1 수용홈전방돌출부(26)에 의해 고온의 열기 및 공정가스로부터 보호될 수 있다.
한편, 상기 제 1 커넥터부재(10)와 제 2 커넥터부재(20) 사이에는 금속재의 실링부재(14)가 배치되어, 상기 열처리장치 내의 공정가스가 새어나오지 않도록 구성된다.
상기 제 2 커넥터부재(20)에서 상기 제 1 수용홈(22)의 반대편에는 제 2 커넥터핀(24)이 설치된다.
상기 제 2 커넥터핀은 은, 또는 은합금의 금속재로 구성되어 저항값을 최소화하여 전원 인가 시 가급적 발열이 적도록 구성된다.
여기서, 상기 제 2 커넥터핀(24)은 원형단면의 제 2 커넥터핀홈(28)에 수용된다.
상기 제 3 커넥터부재(30)에는 상기 제 2 커넥터핀(24)을 수용하기 위한 제 2 수용홈(32)이 형성되며, 상기 제 2 수용홈(32) 내에는 금속재의 암커넥터가 설치된다.
여기서, 상기 제 2 수용홈(32)의 전방에는 중공원기둥형상으로 돌출되는 제 2 수용홈전방돌출부(36)가 일체로 형성된다.
그리하여, 상기 제 2 커넥터핀홈(28)에 상기 제 2 수용홈전방돌출부(36)가 삽입되도록 함으로써, 상기 제 2 커넥터부재(20)와 제 3 커넥터부재(30)간의 경계면이 직선이 아닌 요철형상으로 형성되어, 고압 전원 인가시에도 전류가 외부로 유출되지 않도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 제 2 커넥터핀(24) 및 금속재의 암커넥터를 고온의 열기로부터 보호할 수 있다.
상기 제 2 수용홈(32)의 반대편에는 전원선(40)의 커넥터부를 수용하기 위한 제 3 수용홈(34)이 형성되어, 그 내부에는 금속재의 암커넥터가 배치된다.
그리하여, 상기 제 3 수용홈(34)에는 전원선(40)이 연결되어 열처리장치 내의 유리기판 지지부재(105)의 커넥터부(107)에 연결된다.
여기서, 상기 전원선(40)은 세라믹 재질로써 중공원기둥형상으로 형성되는 세라믹보호부재(50) 내에 배치됨으로써, 고온의 열기 및 공정가스로 인한 부식으로부터 보호되도록 구성된다.
이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.
10: 제 1 커넥터부재 20: 제 2 커넥터부재
30: 제 3 커넥터부재 40: 전원선
50: 세라믹보호부재 100: 열처리장치
30: 제 3 커넥터부재 40: 전원선
50: 세라믹보호부재 100: 열처리장치
Claims (7)
- 열처리장치의 하우징 벽에 설치되며 복수 개의 제 1 커넥터핀을 포함하는 제 1 커넥터부재와;
상기 제 1 커넥터부재와 결합되도록 상기 복수 개의 제 1 커넥터핀을 수용하는 제 1 수용홈이 형성되며, 상기 수용홈의 반대편으로 돌출되는 복수 개의 제 2 커넥터핀을 포함하는 제 2 커넥터부재와;
상기 제 2 커넥터부재와 결합되도록 상기 복수 개의 제 2 커넥터핀을 수용하는 제 2 수용홈이 형성되며, 상기 제 2 수용홈의 반대편에는 전원선의 커넥터부를 수용하는 제 3 수용홈이 형성되는 제 3 커넥터부재를 포함하며,
상기 제 1 커넥터부재는 금속재로 구성되고, 제 2 커넥터부재와 제 3 커넥터부재는 세라믹재질로 구성되는 열처리장치용 커넥터. - 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 수용홈의 전방에는 중공원기둥형상으로 돌출되는 제 1 수용홈전방돌출부가 형성되는 것을 특징으로 하는 열처리장치용 커넥터. - 제 2 항에 있어서,
상기 제 2 커넥터핀은 원형단면의 제 2 커넥터핀홈에 수용되며, 상기 제 2 수용홈의 전방에는 중공원기둥형상으로 돌출되는 제 2 수용홈전방돌출부가 형성되는 것을 특징으로 하는 열처리장치용 커넥터. - 제 3 항에 있어서,
상기 제 2 수용홈전방돌출부는 상기 제 2 커넥터부재와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 열처리장치용 커넥터. - 제 4 항에 있어서,
상기 제 2 커넥터핀은 금속재로 구성되는 것을 특징으로 하는 열처리장치용 커넥터. - 제 5 항에 있어서,
상기 제 2 커넥터핀은 은 또는 은합금으로 구성되는 것을 특징으로 하는 열처리장치용 커넥터. - 제 6 항에 있어서,
상기 제 3 수용홈에 결합되는 전원선을 추가적으로 포함하며, 상기 전원선은 중공원기둥형상의 세라믹보호부재 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 열처리장치용 커넥터.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120086158A KR101297984B1 (ko) | 2012-08-07 | 2012-08-07 | 열처리장치용 커넥터 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020120086158A KR101297984B1 (ko) | 2012-08-07 | 2012-08-07 | 열처리장치용 커넥터 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101297984B1 true KR101297984B1 (ko) | 2013-08-23 |
Family
ID=49220846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020120086158A KR101297984B1 (ko) | 2012-08-07 | 2012-08-07 | 열처리장치용 커넥터 |
Country Status (1)
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|---|---|
| KR (1) | KR101297984B1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101569784B1 (ko) | 2014-02-07 | 2015-11-17 | (주)예스티 | 열처리장치용 램프장치 |
| KR101569785B1 (ko) | 2014-02-07 | 2015-11-17 | (주)예스티 | 램프 커넥터부 보호장치 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH062576U (ja) * | 1992-06-12 | 1994-01-14 | 石川島播磨重工業株式会社 | 電気コネクタ |
| KR20040044049A (ko) * | 2002-11-20 | 2004-05-27 | 엘지전자 주식회사 | 전원코드 어셈블리 |
| KR200428003Y1 (ko) * | 2006-07-04 | 2006-10-04 | 한국단자공업 주식회사 | 커넥터어셈블리 |
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2012
- 2012-08-07 KR KR1020120086158A patent/KR101297984B1/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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