KR200463209Y1 - 접지 스트랩 - Google Patents

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Abstract

챔버 내부에서 상하 방향으로 운동하고, 챔버 내의 전극을 챔버 바닥으로 전기적으로 접지하는 접지 스트랩은 제1 고정부, 제2 고정부 및 스프링부를 포함한다. 제1 고정부는 전극에 연결된다. 제2 고정부는 챔버의 바닥과 연결된다. 스프링부는 양 단부에 형성된 홀을 관통하는 리벳에 의해 서로 연결된 복수개의 연결부들을 포함하고, 제1 고정부 및 제2 고정부 사이에 형성된다. 이에 따라, 접지 스트랩은 챔버 내에서 상승 및 하강 운동에도 불구하고 내구성이 향상된다.

Description

접지 스트랩{GROUND STRAP}
본 고안은 접지 스트랩에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 내구성이 강한 접지 스트랩에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD) 등의 표시장치를 제조하는 과정 중 플라즈마 처리공정 등은 공정 챔버에서 이루어진다.
이러한 공정 챔버는 상부전극과 하부전극 사이에 기판을 위치시키고, 양 전극 사이의 공간에 플라즈마를 발생시켜 기판에 소정의 처리를 실시한다. 이때, 양 전극 중 어느 한 전극에는 고주파 전원이 인가되고, 다른 한 전극은 접지된다.
종래의 PE(Plasma Enhanced) 방식의 플라즈마 처리장치에는 상부전극에 고주파 전원이 인가되고, 하부전극은 그라운드에 연결되어 있는 챔버 바닥에 접지수단에 의해 접지된다. 상기 하부전극의 상부에는 기판이 위치하며, 플라즈마 처리를 위해 기판과 상부전극과의 이격 간격을 줄이기 위해 상하 방향으로 연속하여 운동하게 된다.
한편, 하부전극과 챔버 바닥을 전기적으로 연결하는 접지수단은 잘 휘어질 수 있는 연성 재료로 이루어지고, 중간 부분이 휘게 된다. 그러나, 연속되는 상하 운동에 의하여 상기 접지수단의 상기 하부전극과 연결된 부분 또는 중간 부분이 끊어져 자주 교체해야 하는 문제점이 있다.
상기 문제점을 해결하기 위한 본 고안의 목적은 스프링 구조로 형성하여 내구성이 향상된 접지 스트랩을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 접지 스트랩은 챔버 내부에서 상하 방향으로 운동하고, 상기 챔버 내의 전극을 챔버 바닥으로 전기적으로 접지하는 접지 스트랩으로서, 제1 고정부, 제2 고정부 및 스프링부를 포함한다. 상기 제1 고정부는 상기 전극에 연결된다. 상기 제2 고정부는 상기 챔버 바닥과 연결된다. 상기 스프링부는 양 단부에 형성된 홀을 관통하는 리벳에 의해 서로 연결된 복수개의 연결부들을 포함하고, 상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부 사이에 형성된다.
상기 제1 고정부, 제2 고정부 및 복수개의 연결부들은 유연한 금속으로 이루어질 수 있다. 상기 제1 고정부, 제2 고정부 및 복수개의 연결부들은 알루미늄(Al)을 포함할 수 있다.
상기 제1 고정부, 제2 고정부 및 복수개의 연결부들은 각각 폭보다 길이가 긴 바(bar) 형상일 수 있다.
본 고안의 실시예에 따른 접지 스트랩은 복수개의 연결부들을 포함하는 스프링 구조로 형성되므로, 각각의 연결부들의 상하 운동폭이 작아지게 되어, 챔버 내에서 상승 및 하강 운동에도 불구하고 사용 기간이 증가할 수 있다.
도 1은 본 고안에 의한 일 실시예에 따른 접지 스트랩의 단면도이다.
도 2는 도 1의 사시도이다.
도 3은 도 2의 연결부의 평면도이다.
도 4는 본 고안의 접지 스트랩의 사용예를 도시한 도면이다.
도 5는 도 4의 하부전극이 하강한 경우 접지 스트랩의 확대도이다.
도 6은 도 4의 하부전극이 상승한 경우 접지 스트랩의 확대도이다.
본 고안은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예들을 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 고안을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 고안의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 고안을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, “포함한다” 또는 “이루어진다” 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 고안의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 고안에 의한 일 실시예에 따른 접지 스트랩(10)의 단면도이다. 도 2는 도 1의 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 접지 스트랩(10)은 제1 고정부(100), 제2 고정부(200) 및 스프링부(300)를 포함한다.
상기 접지 스트랩(10)은 공정 챔버 등의 내부에서 상하 운동을 하는 전극과 챔버 바닥을 전기적으로 접지한다. 상기 접지 스트랩(10)의 양 단부 중 일단부는 상기 전극에 연결되고, 타단부는 상기 챔버 바닥에 연결된다. 상기 전극은 상하 운동을 하므로, 상기 전극에 일단부가 연결된 접지 스트랩(10) 역시 상하 운동을 한다.
상기 접지 스트랩(10)은 유연성을 갖기 위해 플렉서블(flexible)한 금속으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 상기 접지 스트랩(10)은 소프트 금속, 바람직하게 알루미늄(Al)을 포함할 수 있다.
상기 제1 고정부(100)의 제1 단부는 공정 챔버 등의 내부에서 상하 운동을 하는 전극에 연결되고, 제2 단부는 상기 스프링부(300)의 일단에 연결된다. 상기 전극에 연결되는 제1 단부에는 제1 고정홈(110)이 형성된다. 상기 제1 고정부(100)는 폭보다 길이가 긴 바(bar)형상일 수 있다.
상기 제1 고정홈(110)은 상기 제1 고정부(100)의 제1 단부로부터 일정간격 이격된 홀 형상을 가지며, 도면에서는 두 개의 제1 고정홈(110)을 도시하였으나, 필요에 따라 하나 또는 두 개 이상이 형성될 수 있다. 상기 제1 고정홈(110)에는 볼트(bolt) 또는 리벳(rivet) 등의 고정수단이 관통하여 상기 접지 스트랩(10)을 상기 전극에 고정시킨다.
상기 제2 고정부(200)의 제1 단부는 공정 챔버 등의 바닥에 연결되고, 제2 단부는 상기 스프링부(300)의 타단에 연결된다. 상기 공정 챔버 등의 바닥에 연결되는 제1 단부에는 제2 고정홈(210)이 형성된다. 상기 제2 고정부(200)는 폭보다 길이가 긴 바(bar)형상일 수 있다.
상기 제2 고정홈(210)은 제1 단부의 일부분을 오픈하는 개구부 형태로 도시하였으나, 상기 제1 고정부(100)와 마찬가지로 제1 단부로부터 일정간격 이격된 홀 형상을 가질 수도 있다. 역시, 필요에 따라 하나 또는 두 개 이상이 형성될 수 있으며, 상기 제2 고정홈(210)에는 볼트 또는 리벳 등의 고정수단이 관통하여 상기 접지 스트랩(10)을 상기 공정 챔버 등의 바닥에 고정시킨다.
상기 스프링부(300)는 상기 제1 고정부(100) 및 상기 제2 고정부(200) 사이에 형성되며, 복수개의 연결부(310)들을 포함한다. 상기 복수개의 연결부(310)들은 동일한 크기와 모양을 가질 수 있다. 상기 복수개의 연결부들(310)은 양 단부에 형성된 홀을 관통하는 리벳(330)에 의해 서로 연결되어 있다.
상기 복수개의 연결부(310)들 중 하나는 상기 제1 고정부(100)의 제2 단부에 연결되고, 상기 복수개의 연결부(310)들 중 다른 하나는 상기 제2 고정부(200)의 제2 단부에 연결된다.
예를 들어, 상기 제1 고정부(100) 및 상기 제2 고정부(200)는 상기 연결부(310)들보다 길이가 더 길 수 있다. 상기 제1 고정부(100), 상기 제2 고정부(200) 및 상기 연결부(310)들은 동일한 두께를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 두께는 약 0.3 mm일 수 있다. 상기 제1 고정부(100), 상기 제2 고정부(200) 및 상기 연결부(310)들은 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
도 3은 도 2의 연결부(310)의 평면도이다.
도 3을 참조하면, 연결부(310)는 몸체(350) 및 상기 몸체(350)의 양 단부로부터 일정간격 이격되어 형성된 연결홀들(320, 340)을 포함한다.
상기 몸체(350)는 폭보다 길이가 긴 바(bar)형상일 수 있다. 예를 들어, 상기 몸체(350)의 길이(L)는 약 100 mm 이고, 상기 몸체(350)의 폭(W)은 약 15 mm 일 수 있다.
상기 연결홀들(320, 340)은 각 연결부(310)와 인접하는 서로 다른 연결부들을 연결시킨다. 상기 연결부(310)들은 상기 연결홀들(320, 340)을 관통하는 리벳(330)에 의하여 연결된다. 다시 말하면, 상기 몸체(350)의 일단에 형성된 연결홀(320)이 제1 연결부와 연결되는 경우, 상기 몸체(350)의 타단에 형성된 연결홀(340)은 상기 제1 연결부와 다른 제2 연결부와 연결된다.
이런 방식으로, 복수개의 연결부(310)들이 서로 연결되어 스프링 형상을 가지며, 상기 접지 스트랩(10)의 상하 운동시 각각의 연결부(310)들은, 종래에 하나의 접지 스트랩으로 형성될 때보다 운동폭이 작아지므로 끊어질 가능성이 낮아지게 된다.
도 4는 본 고안의 접지 스트랩(10)의 사용예를 도시한 도면이다. 도 5는 도 4의 하부전극(20)이 하강한 경우 접지 스트랩(10)의 확대도이다. 도 6은 도 4의 하부전극(20)이 상승한 경우 접지 스트랩(10)의 확대도이다.
도 4를 참조하면, 상기 접지 스트랩(10)이 플라즈마 처리장치(1)에 사용되는 예를 보여준다. 상기 플라즈마 처리장치(1)에서, 상부전극(30)에 고주파 전원이 인가되고, 하부전극(20)은 그라운드에 연결되어 있는 챔버 바닥(40)에 상기 접지 스트랩(10)에 의해 접지된다.
상기 하부전극(20)은 그 상부 영역에 기판(50)이 위치되는 적재대의 역할도 수행한다. 따라서, 상기 플라즈마 처리장치(1)의 외부에서 기판(50)이 공급된 후 상부전극(30)과의 이격 간격을 줄이기 위하여 상측으로 상승한 기판(50)에 대하여 플라즈마 처리하고, 처리가 완료되면 하부전극(20)은 다시 하강한 후 기판(50)을 외부로 반출한다. 따라서, 하부전극(20)은 계속적으로 상하 방향으로 운동하게 된다.
한편, 상기 하부전극(20)과 챔버 바닥(40)을 전기적으로 연결하는 접지 스트랩(10)은 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한 바와 같이, 각각 상하 운동을 하는 복수개의 연결부(310)들을 포함한다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 도 5에 도시된 바와 같이 하부전극(20)이 하강한 경우의 상기 연결부(310)들의 간격(d1)은 좁다. 또한, 도 6에 도시된 바와 같이 하부전극(20)이 상승한 경우의 상기 연결부(310)들의 간격(d2)은 상기 간격(d1)보다 넓어진다.
이와 같이, 본 실시예에 의한 접지 스트랩(10)은 복수개의 연결부(310)들을 포함하므로 각각의 연결부(310)들의 상하 운동폭이 작아지게 되어, 상하 운동으로 인한 끊어짐 현상을 해결할 수 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 실용신안등록 청구의 범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
상술한 바와 같이 본 고안은 스프링 구조로 형성된 접지 스트랩은 복수개의 연결부들에 의해 연결되므로, 챔버 내에서 상승 및 하강 운동에도 불구하고 내구성이 향상된다.
이에 따라, 챔버 내부의 접지 스트랩의 교체 기간을 연장할 수 있어 작업 효율을 향상시키고, 수선 비용을 절감할 수 있다. 본 고안의 접지 스트랩은 플라즈마 처리장치뿐 아니라 반도체나 액정표시장치를 제조하는데 사용되는 진공장치 등에 널리 적용될 수 있다.
10: 접지 스트랩 100: 제1 고정부
200: 제2 고정부 300: 스프링부
110: 제1 고정홈 210: 제2 고정홈
310: 연결부 320, 340: 연결홀
330: 리벳 350: 몸체
1: 플라즈마 처리장치 20: 하부전극
40: 챔버 바닥 30: 상부전극

Claims (4)

  1. 챔버 내부에서 상하 방향으로 운동하고, 상기 챔버 내의 전극을 챔버 바닥으로 전기적으로 접지하는 접지 스트랩으로서,
    상기 전극에 연결되는 제1 고정부;
    상기 챔버 바닥과 연결되는 제2 고정부; 및
    상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부 사이에 형성되고, 복수개의 연결부들을 포함하는 스프링부를 포함하고,
    상기 연결부들은 각 연결부의 양 단부에 형성된 홀을 관통하는 리벳에 의해 상기 각 연결부와 인접하는 서로 다른 연결부들과 연결되어, 상기 접지 스트랩의 상하 방향의 운동에 따라 상기 연결부들의 간격이 변하는 것을 특징으로 하는 접지 스트랩.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 고정부, 제2 고정부 및 복수개의 연결부들은 유연한 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 접지 스트랩.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1 고정부, 제2 고정부 및 복수개의 연결부들은 알루미늄(Al)을 포함하는 것을 특징으로 하는 접지 스트랩.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 고정부, 제2 고정부 및 복수개의 연결부들은 각각 폭보다 길이가 긴 바(bar) 형상인 것을 특징으로 하는 접지 스트랩.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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