KR200460400Y1 - preliminary dispensing apparatus of slit coater - Google Patents

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Abstract

본 고안은 슬릿코터의 예비토출장치에 관한 것으로, 세정액을 내부에 수용하는 세정조; 정위치 회전되어 슬릿노즐의 토출단부로부터 토출되는 도포액을 표면에 도포하며, 세정조 내에 수용된 세정액에 일부가 잠기도록 설치되는 회전롤러; 상기 회전롤러의 외주면에 기밀하게 접속되어 상기 회전롤러에 연동회전되는 러버롤러; 도포액의 굳음을 방지하도록 상기 러버롤러와 상기 회전롤러 사이에 설치되어 세정액을 분사하는 세정액분사노즐; 및 상기 러버롤러에 묻은 도포액 및 세정액을 긁어서 상기 러버롤러로부터 이탈시키는 러버롤러 스퀴즈;를 포함하여 구성됨을 기술적 요지로 하여, 도포액의 예비토출이 이루어지는 회전롤러의 외주면을 세정함에 있어서, 스퀴즈와의 직접적인 가압접속에 의한 회전롤러의 수명저하를 감소시킬 수 있는 슬릿코터의 예비토출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a preliminary discharging device of the slit coater, the cleaning tank for accommodating the cleaning liquid therein; A rotating roller which is rotated in position to apply the coating liquid discharged from the discharge end of the slit nozzle to the surface and is partially immersed in the cleaning liquid contained in the cleaning tank; A rubber roller which is hermetically connected to an outer circumferential surface of the rotary roller and is linked with the rotary roller; A cleaning liquid spray nozzle installed between the rubber roller and the rotary roller to spray the cleaning liquid to prevent firmness of the coating liquid; And a rubber roller squeeze which scrapes off the coating liquid and the cleaning liquid from the rubber roller and leaves the rubber roller, and the squeeze and the squeeze in cleaning the outer circumferential surface of the rotary roller which is preliminarily discharged of the coating liquid. The present invention relates to a preliminary discharging device for a slit coater which can reduce the life deterioration of a rotating roller by direct pressure connection.

슬릿코터 예비토출 PD롤러 러버롤러 스퀴즈 Slit Coater Pre-discharge PD Roller Rubber Roller Squeeze

Description

슬릿코터의 예비토출장치{preliminary dispensing apparatus of slit coater}Preliminary dispensing apparatus of slit coater

본 고안은 슬릿코터의 예비토출장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 슬릿코터을 이용하여 도포하기 직전에 슬릿코터의 토출단부에 괴어있던 도포액을 예비토출시키는 데 사용되는 슬릿코터의 예비토출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a preliminary discharging apparatus for a slit coater, and more particularly, to a preliminary discharging apparatus for a slit coater used for preliminary discharging of a coating liquid stuck to the discharging end of the slit coater just before application using the slit coater. will be.

슬릿코터는 슬릿노즐을 이용하여 평판형의 기판에 도포액을 도포하는 장치로, 슬릿노즐 토출단부에 위치하는 도포액은 슬릿노즐을 이용한 도포공정 사이의 대기시간 동안 공기와의 접촉에 의해 농도가 보다 상승하게 되는데, 그대로 다음 도포공정으로 도입되어 기판에 도포액을 공급하게 되면, 도포액의 농도 및 도포막의 두께가 균일하지 못하여 불량이 발생하게 된다.The slit coater is a device for applying a coating liquid to a flat substrate using a slit nozzle. The coating liquid located at the discharge end of the slit nozzle has a concentration due to contact with air during the waiting time between the coating processes using the slit nozzle. When the concentration of the coating liquid and the thickness of the coating film are not uniform, defects may occur.

종래에는 이러한 원인으로 인한 도포막의 불량을 방지하기 위하여, 슬릿노즐에 접속된 상태로 롤러를 회전시킴으로써 도포 직전에 슬릿노즐 내에 괴어있는 도포액을 버리는 예비토출을 행하고 롤러를 세정액으로 세정시키는 작동구조를 가지는 예비토출장치 다수가 개시되어 있다.Conventionally, in order to prevent defects of the coating film due to such a cause, by operating the roller in the state connected to the slit nozzle, a preliminary ejection of discarding the coating liquid stuck in the slit nozzle is performed and the roller is cleaned with a cleaning liquid. Many pre-discharge devices have been disclosed.

이러한 작동구조를 가지는 종래의 슬릿코터의 예비토출장치에 대해 간단히 설명하기로 한다. 도 1은 일반적인 슬릿코터의 예비토출장치를 도시한 개략도이다.The preliminary discharging device of the conventional slit coater having such an operation structure will be briefly described. 1 is a schematic view showing a preliminary discharging device of a general slit coater.

상기 종래기술은 토출노즐(20)의 토출구(21)로부터 토출된 도포액(22)을 외주면에 보유하게 되는 회전롤러(11)가 구비되고, 상기 회전롤러(11)의 외주면에 보유되어있는 도포액을 제거하는 스퀴즈(squeeze)(12)가 상기 회전롤러(11)의 외주면에 접촉한 상태로 설치되며, 상기 회전롤러(11)의 외주면에 세정액(14)을 공급하는 세정액공급장치(15)가 상기 스퀴즈(12)의 하측에 설치된 구조를 가진다.The prior art is provided with a rotary roller 11 for retaining the coating liquid 22 discharged from the discharge port 21 of the discharge nozzle 20 on the outer peripheral surface, the coating held on the outer peripheral surface of the rotary roller 11 Squeeze (12) for removing the liquid is installed in contact with the outer peripheral surface of the rotary roller 11, the cleaning liquid supply device 15 for supplying the cleaning liquid 14 to the outer peripheral surface of the rotary roller (11) Has a structure provided below the squeeze (12).

상기 종래기술에 따르면 상기 회전롤러(11)의 회전에 의해 상기 회전롤러(11)의 외주면에 예비토출이 이루어짐과 동시에 상기 스퀴즈(12)와 세정액공급장치(15)에 의한 세정이 이루어지게 되나, 상기 스퀴즈(12)가 상기 회전롤러(11)에 직접적으로 접촉된 상태로 도포액을 긁어내며 제거하게 됨에 따라 상기 회전롤러(11) 외주면을 마모시켜 수명을 저하시키게 된다.According to the prior art, the preliminary discharge is made on the outer circumferential surface of the rotary roller 11 by the rotation of the rotary roller 11, and the cleaning is performed by the squeeze 12 and the cleaning liquid supply device 15. As the squeeze 12 is scraped off by removing the coating liquid in a state of being in direct contact with the rotary roller 11, the outer circumferential surface of the rotary roller 11 is worn down to reduce its lifespan.

상기 회전롤러(11) 외주면에는 상기 회전롤러(11)의 마모강도를 향상시키기 위해 크롬도금 처리를 하기도 하나, 크롬도금 또한 상기 스퀴즈(12)와의 지속적인 가압접속에 의해 크랙이 생기거나 일부가 벗겨지는 손상이 발생되어 그 수명이 단축된다는 문제점이 있었다.The outer circumferential surface of the rotary roller 11 may be subjected to chromium plating to improve the wear strength of the rotary roller 11, but chromium plating may also cause cracks or peel off due to continuous pressure connection with the squeeze 12. There was a problem that damage occurs and its life is shortened.

상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 고안은, 도포액의 예비토출이 이루어지는 회전롤러의 외주면을 세정함에 있어서, 스퀴즈와의 직접적인 가압접속에 의한 회전롤러의 수명저하를 감소시킬 수 있는 슬릿코터의 예비토출장치를 제공하는 데 목적이 있다.The present invention devised to solve the problems described above, in cleaning the outer circumferential surface of the rotary roller is a pre-discharge of the coating liquid, a slit that can reduce the life degradation of the rotary roller by the direct pressure connection with the squeeze It is an object of the present invention to provide a pre-coating unit for the coater.

상술한 바와 같은 목적 달성을 위한 본 고안은, 세정액을 내부에 수용하는 세정조; 정위치 회전되어 슬릿노즐의 토출단부로부터 토출되는 도포액을 표면에 도포하며, 세정조 내에 수용된 세정액에 일부가 잠기도록 설치되는 회전롤러; 상기 회전롤러의 외주면에 기밀하게 접속되어 상기 회전롤러에 연동회전되는 러버롤러; 도포액의 굳음을 방지하도록 상기 러버롤러와 상기 회전롤러 사이에 설치되어 세정액을 분사하는 세정액분사노즐; 및 상기 러버롤러에 묻은 도포액 및 세정액을 긁어서 상기 러버롤러로부터 이탈시키는 러버롤러 스퀴즈;를 포함하여 구성되는 슬릿코터의 예비토출장치를 기술적 요지로 한다.The present invention for achieving the object as described above, the cleaning tank for accommodating the cleaning liquid therein; A rotating roller which is rotated in position to apply the coating liquid discharged from the discharge end of the slit nozzle to the surface and is partially immersed in the cleaning liquid contained in the cleaning tank; A rubber roller which is hermetically connected to an outer circumferential surface of the rotary roller and is linked with the rotary roller; A cleaning liquid spray nozzle installed between the rubber roller and the rotary roller to spray the cleaning liquid to prevent firmness of the coating liquid; And a rubber roller squeeze for scraping off the coating liquid and the cleaning liquid from the rubber roller to remove the rubber roller from the rubber roller.

여기서, 상기 러버롤러가 설치되지 않은 상기 회전롤러의 반대측에는, 상기 회전롤러에 묻은 세정액을 긁어 이탈시키는 회전롤러 스퀴즈, 및/또는 상기 회전롤러측으로 세정액을 분사하는 세정액분사노즐, 및/또는 상기 회전롤러측으로 건조가스를 분사하는 가스분사노즐이 구비되는 것이 바람직하다.Here, on the opposite side of the rotary roller, the rubber roller is not installed, a rotary roller squeeze for scraping off the cleaning liquid attached to the rotary roller, and / or a cleaning liquid spray nozzle for spraying the cleaning liquid to the rotary roller side, and / or the rotation. It is preferable that the gas injection nozzle which injects a dry gas to a roller side is provided.

그리고, 상기 러버롤러 스퀴즈의 상면을 타고 흘러내리는 도포액 및 세정액 이 수집되는 세정액수집조;를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.And, the washing liquid collecting tank for collecting the coating liquid and the washing liquid flowing down the upper surface of the rubber roller squeeze; is preferably configured to further include.

또한, 상기 세정조에 담겨진 세정액에 침지되도록 설치되며, 상기 회전롤러의 하부를 좌, 우 양측에서 받쳐 지지하는 브러쉬롤러;를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.In addition, it is installed so as to be immersed in the cleaning liquid contained in the cleaning tank, it is preferable to further comprise a brush roller for supporting the lower portion of the rotary roller from the left and right sides.

그리고, 상기 브러쉬롤러는, 상기 회전롤러의 중심부측을 향하는 방향으로 상기 회전롤러를 경사지게 받쳐 지지하는 것이 바람직하다.And, the brush roller, it is preferable to support the rotating roller inclined in the direction toward the central side of the rotating roller.

상술한 바와 같은 구성에 의한 본 고안은, 러버롤러와의 가압접속에 의해 회전롤러의 외주면에 예비토출된 도포액의 제거가 이루어지게 되어, 스퀴즈가 회전롤러의 외주면상에 직접적으로 가압접속됨에 따라 회전롤러의 수명이 급격히 저하되던 것을 방지할 수 있다는 효과가 있다.According to the present invention by the above-described configuration, the application liquid preliminarily ejected to the outer circumferential surface of the rotary roller is removed by the pressure connection with the rubber roller, so that the squeeze is pressurized directly on the outer circumferential surface of the rotary roller. There is an effect that it is possible to prevent the life of the rotating roller is sharply reduced.

또한, 러버롤러에 묻은 도포액 및 세정액을 제거하는 러버롤러 스퀴즈를 구비함으로써, 회전롤러의 마모가 주요하게 이루어져 회전롤러를 교체시키던 것을, 보다 소형 및 저가로 제작되어 교체작업이 용이하고 교체비용이 보다 저렴하게 소요되는 러버롤러를 교체시키는 것으로 대체할 수 있다는 다른 효과가 있다.In addition, by providing a rubber roller squeeze to remove the coating liquid and the cleaning liquid on the rubber roller, the wear of the rotary roller is mainly made to replace the rotary roller, it is made smaller and cheaper, the replacement operation is easy and replacement cost Another effect is that it can be replaced by replacing the rubber roller which is cheaper.

그리고, 러버롤러 스퀴즈 및 세정액수집조에 의해 도포액 및 세정액의 1차제거가 이루어지게 되므로, 세정조에 수용된 세정액의 오염속도를 늦출 수 있다는 다른 효가가 있다.Further, since the first removal of the coating liquid and the cleaning liquid is performed by the rubber roller squeeze and the cleaning liquid collection tank, there is another effect that the contamination rate of the cleaning liquid contained in the cleaning tank can be slowed down.

또한, 한쌍의 브러시롤러가 회전롤러를 축방향으로 받쳐 지지함에 따라 회전롤러의 휨을 방지시킬 수 있으며, 세정액 내부에서 브러시롤러에 마찰접속된 채로 회전롤러가 회전구동됨에 따라 회전롤러 표면에 잔류된 도포액을 문질러 이탈시킴으로써 세정성능을 보다 향상시킬 수 있다는 다른 효과가 있다.In addition, the pair of brush rollers support the rotating roller in the axial direction to prevent the bending of the rotating roller, and the coating remaining on the surface of the rotating roller as the rotating roller is rotated while being frictionally connected to the brush roller in the cleaning liquid. There is another effect that the cleaning performance can be further improved by rubbing off the liquid.

상기와 같은 구성을 가지는 본 고안을 다음의 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 도 2는 본 고안에 따른 슬릿코터의 예비토출장치의 제1실시예를 도시한 개략도이고, 도 3은 슬릿노즐에서 세정액수집조까지의 도포액 및 세정액의 유동형태를 보인 요부단면도이다.The present invention having the configuration as described above will be described in detail with reference to the following drawings. Figure 2 is a schematic diagram showing a first embodiment of the preliminary discharging device of the slit coater according to the present invention, Figure 3 is a sectional view of the main part showing the flow of the coating liquid and the cleaning liquid from the slit nozzle to the cleaning liquid collection tank.

본 고안에 따른 슬릿코터의 예비토출장치는 크게 세정조(100), 회전롤러(200), 러버롤러(300), 세정액분사노즐(400), 러버롤러 스퀴즈(500)로 이루어지며, 상기 회전롤러(200)가 상기 세정조(100)에 담긴 세정액에 일부가 잠기도록 설치되어 회전되고, 상기 러버롤러(300)가 상기 회전롤러(200)와 가압접속되어 연동회전되면서 상기 러버롤러 스퀴즈(500)에 의해 도포액 및 세정액이 제거되고, 상기 세정액분사노즐(400)이 상기 회전롤러(200)에 토출된 도포액의 굳음을 방지하도록 세정액을 분사하는 작동구조를 가진다.The preliminary discharging device of the slit coater according to the present invention comprises a washing tank 100, a rotating roller 200, a rubber roller 300, a cleaning liquid spray nozzle 400, a rubber roller squeeze 500, the rotating roller (200) is installed and rotated so as to be partially immersed in the cleaning liquid contained in the cleaning tank (100), the rubber roller 300 is connected to the rotary roller 200 by pressure rotation while the rubber roller squeeze (500) The coating liquid and the cleaning liquid are removed, and the cleaning liquid spray nozzle 400 has an operation structure for spraying the cleaning liquid to prevent firmness of the coating liquid discharged to the rotary roller 200.

상기 세정조(100)는 상기 회전롤러(200)의 외주면 일부가 세정액에 잠겨진 상태로 설치될 수 있도록 상기 회전롤러(200)의 도입이 이루어지는 개방부와, 지정용량의 세정액을 내부에 수용할 수 있는 수용공간부를 구비하여 상기 회전롤러(200) 하측에 설치된다.The cleaning tank 100 may accommodate an opening portion through which the rotary roller 200 is introduced so that a part of the outer circumferential surface of the rotary roller 200 is immersed in the cleaning liquid, and a cleaning liquid having a predetermined capacity therein. It is provided on the lower side of the rotary roller 200 having a receiving space.

상기 회전롤러(200)는 상기 슬릿노즐(10)의 길이방향을 따라 연장되는 롤러형상으로 형성되어 상기 슬릿노즐(10)의 토출단부가 외주면 상단에 접속된 상태에 서 정위치 회전되는 작동구조에 의해 외주면상에 슬릿노즐(10)의 토출단부로부터 도포액의 예비토출이 이루어질 수 있는 접속면을 제공하게 되며, 상기 세정조(100) 내에 수용된 세정액에 하부가 잠기도록 설치된다.The rotary roller 200 is formed in a roller shape extending in the longitudinal direction of the slit nozzle 10 to the operating structure in which the discharge end of the slit nozzle 10 is rotated in position in the state connected to the upper end of the outer peripheral surface As a result, a connection surface for preliminary discharging of the coating liquid from the discharge end of the slit nozzle 10 may be provided on the outer circumferential surface, and the lower portion is installed to be submerged in the cleaning liquid contained in the cleaning tank 100.

상기 러버롤러(300)는 상기 슬릿노즐(10)과의 접속부를 기준으로 회전롤러(200)의 회전방향 및 상기 회전롤러(200)에 예비토출된 도포액의 유동방향이 되는 상기 회전롤러(200)의 측부에서 상기 회전롤러(200)에 밀착되게 접속되어, 상기 회전롤러(200)의 상단부로부터 상기 러버롤러(300)측으로 이송되는 도포액을 상기 회전롤러(200)와의 접속부 상측에 정체시킴으로써 상기 회전롤러(200)의 외주면에 예비토출된 도포액이 상기 러버롤러(300) 하측으로 이동되는 것을 방지시키게 된다. 즉, 도3에 도시된 바와 같이 러버롤러(300)는 회전롤러(200)와 맞닿은 접속부에서 하방을 향하는 방향으로 회전된다. The rubber roller 300 is the rotary roller 200 which is a rotational direction of the rotary roller 200 and a flow direction of the coating liquid pre-discharged to the rotary roller 200 based on the connection portion with the slit nozzle 10. Is closely connected to the rotary roller 200 at the side of the side, and the liquid is transferred from the upper end of the rotary roller 200 to the rubber roller 300 side by stagnation on the upper side of the connection with the rotary roller 200. The coating liquid preliminarily discharged on the outer circumferential surface of the rotary roller 200 is prevented from being moved to the lower side of the rubber roller 300. That is, as shown in FIG. 3, the rubber roller 300 is rotated in a downward direction at the contact portion which is in contact with the rotary roller 200.

상기 세정액분사노즐(400)은, 상기 슬릿노즐(10)로부터 토출된 도포액이 상기 회전롤러(200)의 상단에서 상기 러버롤러(300)까지 이동되는 동안 굳는 것을 방지하기 위해, 상기 러버롤러(300)와 상기 회전롤러(200) 사이에 설치되어 상기 회전롤러(200)측으로 세정액을 분사한다.The cleaning liquid spray nozzle 400 may prevent the coating liquid discharged from the slit nozzle 10 from being hardened while moving from the upper end of the rotary roller 200 to the rubber roller 300. It is installed between the 300 and the rotary roller 200 to spray the cleaning liquid to the rotary roller 200 side.

상기 러버롤러 스퀴즈(500)는, 롤러부재의 표면을 긁어서 도포액 및 세정액을 롤러부재로부터 이탈시키는 작동구조를 가지는 점에서 기존의 예비토출장치에 사용되는 스퀴즈와 기본구조가 동일`유사하나, 상기 회전롤러(200)에 직접적으로 접속되는 것이 아니라, 상기 러버롤러(300)를 상기 회전롤러(200)와의 사이에 접속매개로써 두고 상기 러버롤러(300)의 외면상에 접속되도록 설치되는 차이점을 가진다.The rubber roller squeeze 500 is similar to the squeeze used in the preliminary discharging device in that the rubber roller squeeze 500 has an operation structure for scraping the surface of the roller member to separate the coating liquid and the cleaning liquid from the roller member. Rather than being directly connected to the rotary roller 200, the rubber roller 300 is installed to be connected to the outer surface of the rubber roller 300 while leaving the rubber roller 300 as a connection medium between the rotary roller 200. .

상기 러버롤러(300)는 상기 회전롤러(200)에 밀착접속된 상태를 유지하게 됨에 따라 상기 회전롤러(200)에 연동회전되는데, 상기 러버롤러 스퀴즈(500)가 정위치에서 상기 러버롤러(300)의 표면에 가압접속된 상태를 유지하면, 상기 회전롤러(200)가 회전될 시, 상기 러버롤러 스퀴즈(500)가 자연히 상기 회전롤러(200) 및 러버롤러(300)의 회전변위에 해당하는 면적으로 상기 러버롤러(300) 표면으로부터 도포액 및 세정액을 긁어서 이탈시키게 된다.The rubber roller 300 is interlocked with the rotary roller 200 as the rubber roller 300 is closely connected to the rotary roller 200, and the rubber roller squeeze 500 is fixed at the rubber roller 300. Maintaining a pressure-connected state to the surface of the), when the rotary roller 200 is rotated, the rubber roller squeeze 500 naturally corresponds to the rotational displacement of the rotary roller 200 and the rubber roller 300 The coating liquid and the cleaning liquid are scraped off from the surface of the rubber roller 300 by the area.

본 고안에 따르면 상기 슬릿노즐(10)로 부터 상기 회전롤러(200) 상단에 연속토출되는 도포액은 도 3에 도시된 바와 같이 상기 세정액분사노즐(400)에서 분사된 세정액에 의해 녹거나 희석되고, 상기 러버롤러(300)와의 접속부 상측에 형성된 골에 정체되다가 상기 러버롤러(300)의 상면과 러버롤러 스퀴즈(500)의 상면을 차례로 타고 흐르며 이동하게되며, 상기 회전롤러(200)와 러버롤러(300)간의 접속부 및 상기 러버롤러(300)와 러버롤러 스퀴즈(500)간의 접속부 아래로의 이동이 방지된다.According to the present invention, the coating liquid continuously discharged from the slit nozzle 10 to the top of the rotary roller 200 is melted or diluted by the cleaning liquid sprayed from the cleaning liquid spray nozzle 400 as shown in FIG. 3. , Stagnated in the valley formed at the upper side of the connection with the rubber roller 300, and then flows and moves along the top surface of the rubber roller 300 and the top surface of the rubber roller squeeze 500, and the rotary roller 200 and the rubber roller The connection between 300 and the movement below the connection between the rubber roller 300 and the rubber roller squeeze 500 are prevented.

상기 러버롤러(300)의 사이즈가 클수록 상기 회전롤러(200)와의 접속부 상측에 형성되는 골의 사이즈가 커지게 되어 도포액 및 세정액의 정체시간이 길어지게 되며, 또한 상기 러버롤러(300)의 위치가 보다 상측에 위치할수록 상기 회전롤러(200)와의 접속부 상측에 형성되는 골의 사이즈가 커지게 되므로, 이를 고려하여 상기 러버롤러(300)의 직경사이즈와 설치위치를 적정하게 선정하는 것이 바람직하다.The larger the size of the rubber roller 300, the larger the size of the bone formed on the upper side of the connection portion with the rotary roller 200, so that the stagnation time of the coating liquid and the cleaning liquid is longer, and the position of the rubber roller 300 is also increased. Since the larger the is located on the upper side of the valley formed on the upper side of the connection with the rotary roller 200, it is preferable to properly select the diameter size and the installation position of the rubber roller 300 in consideration of this.

본 고안에서는 상기 회전롤러(200)와 러버롤러(300)간의 가압접속에 의해 상 기 회전롤러(200)의 외주면에 예비토출된 도포액의 제거가 이루어지게 되어, 기존의 예비토출장치에서 스퀴즈부재가 상기 회전롤러(200)의 외주면상에 직접적으로 가압접속됨에 따라 상기 회전롤러(200)의 수명이 급격히 저하되던 것을 방지할 수 있다.In the present invention, by the pressure connection between the rotary roller 200 and the rubber roller 300 is to remove the coating liquid pre-discharged on the outer peripheral surface of the rotary roller 200, the squeeze member in the existing pre-discharge device As the pressure roller is directly connected to the outer circumferential surface of the rotary roller 200, it is possible to prevent the life of the rotary roller 200 from being sharply reduced.

상기 회전롤러(200)에 묻은 도포액 및 세정액을 직접적으로 제거하는 스퀴즈부재를 구비하는 대신, 상기 러버롤러(300)에 묻은 도포액 및 세정액을 제거하는 상기 러버롤러 스퀴즈(500)를 구비함으로써, 상기 회전롤러(200)에 해당되는 구성요소가 주요하게 마모되고 교체가 이루어져야하던 기존의 문제점을 방지하고, 상기 회전롤러(200)에 비해 보다 소형 및 저가로 제작가능한 상기 러버롤러(300)를 교체시키는 것으로 대체할 수 있다.By providing the rubber roller squeeze 500 for removing the coating liquid and the cleaning liquid on the rubber roller 300, instead of having a squeeze member for directly removing the coating liquid and the cleaning liquid on the rotary roller 200, The components corresponding to the rotary roller 200 are mainly worn out to prevent the existing problems that need to be replaced, and replace the rubber roller 300 that can be manufactured more compact and cheaper than the rotary roller 200 Can be replaced by

상기 러버롤러(300) 및 러버롤러 스퀴즈(500), 세정액분사노즐(400)은 상기 회전롤러(200)의 외주면에 도포된 도포액이 상기 세정조(100)에 담겨진 세정액측으로 도입되기 전에 1차적으로 도포액을 제거시킬 수 있도록 하는 구성요소로, 본 고안의 기본구성에 상기 회전롤러(200)의 표면을 세정 및 건조시키기 위한 회전롤러 스퀴즈, 세정액분사노즐, 가스분사노즐과 같은 기존의 구성요소들을 추가로 구비하여도 무방하다.The rubber roller 300, the rubber roller squeeze 500, and the cleaning liquid spray nozzle 400 may be formed before the coating liquid applied to the outer circumferential surface of the rotary roller 200 is introduced into the cleaning liquid contained in the cleaning tank 100. As a component to remove the coating liquid, the existing components such as rotary roller squeeze, cleaning liquid spray nozzle, gas spray nozzle for cleaning and drying the surface of the rotary roller 200 in the basic configuration of the present invention These may be provided additionally.

본 고안의 제1실시예는, 상기 러버롤러(300)가 설치되지 않은 상기 회전롤러(200)의 반대측에, 상기 세정조(100) 내에서 상기 회전롤러(200)의 표면에 묻어 상기 슬릿노즐(10)측으로 상향이동되는 세정액을 긁어 이탈시키는 회전롤러 스퀴즈(910)를 구비한 구조를 가진다.The first embodiment of the present invention, the slit nozzle buried on the surface of the rotary roller 200 in the cleaning tank 100 on the opposite side of the rotary roller 200 is not installed the rubber roller 300 It has a structure having a rotary roller squeeze 910 for scraping off the cleaning liquid moved upward (10) side.

상기 러버롤러(300)에 의한 도포액의 1차제거상태나 상기 세정조(100)에 수용된 세정액의 오염상태에 따라 상기 회전롤러(200)측으로 세정액을 분사하는 세정액분사노즐을 적정위치에 추가적으로 설치하거나, 세정액이 완전히 건조된 표면상태로 상기 슬릿노즐(10)과의 접속이 이루어질 수 있도록 상기 회전롤러(200)측으로 건조가스를 분사하는 가스분사노즐을 추가적으로 설치하는 것이 바람직하다.According to the first removal state of the coating liquid by the rubber roller 300 or the contamination state of the cleaning liquid contained in the cleaning tank 100, an additional cleaning liquid spray nozzle for injecting the cleaning liquid toward the rotary roller 200 is installed at an appropriate position. Alternatively, it is preferable to additionally install a gas injection nozzle for injecting dry gas toward the rotary roller 200 so that the connection with the slit nozzle 10 can be made in a state where the cleaning liquid is completely dried.

상기 러버롤러 스퀴즈(500)의 상면을 타고 흘러내리며 1차적으로 제거가 이루어지게 되는 도포액 및 세정액은 오염농도가 가장 짙으므로, 상기 러버롤러 스퀴즈(500)의 상면을 타고 흘러내리는 도포액 및 세정액만을 별도로 수집하는 세정액수집조(600)를 구비하면, 상기 세정조(100)에 담겨진 세정액으로 도입되는 도포액의 양을 최소화시킬 수 있어 세정액의 오염속도 및 교환주기를 연장시키고, 다른 주변기기의 오염을 방지시킬 수 있다.The coating liquid and the cleaning liquid flowing down the upper surface of the rubber roller squeeze 500 and the removal of the rubber roller squeeze 500 have the highest contamination concentration, and thus the coating liquid and the cleaning liquid flowing down the upper surface of the rubber roller squeeze 500. If the cleaning solution collection tank 600 is collected separately, it is possible to minimize the amount of the coating liquid introduced into the cleaning liquid contained in the cleaning tank 100 to prolong the contamination rate and exchange cycle of the cleaning liquid, and contamination of other peripheral devices. Can be prevented.

또한, 본 고안의 제1실시예는 한쌍의 브러쉬롤러(700)를 추가로 구비한 구조를 가지며, 상기 브러쉬롤러(700)는 상기 회전롤러(200)의 길이방향을 따라 연장형성되고 외주면 전반에 걸쳐 다수의 브러쉬부재를 구비한 형상을 가지고, 상기 세정조(100)에 담겨진 세정액에 침지된 상태에서 상기 회전롤러(200)의 하부를 좌, 우 양측에서 받쳐 지지하도록 설치된다.In addition, the first embodiment of the present invention has a structure further comprising a pair of brush rollers 700, the brush roller 700 is formed along the longitudinal direction of the rotary roller 200 and the entire outer peripheral surface It has a shape with a plurality of brush members over, it is installed to support the lower side of the rotary roller 200 in both the left and right in the state immersed in the cleaning liquid contained in the cleaning tank (100).

상기 슬릿노즐(10)이 대형사이즈의 도포대상물을 도포처리하기 위해 길이가 길어지게 되면 상기 회전롤러(200) 또한 이에 비례하여 축방향으로 길이가 길어지게 되며, 길이가 길어질수록 상기 회전롤러(200)는 자체하중에 의해 휘어지기 쉬운데, 상기 회전롤러(200)가 조금이라도 휘게 되는 경우 상기 회전롤러(200)의 외주 면 전반에 걸쳐 예비토출이 고르게 이루어질 수 없다.When the length of the slit nozzle 10 is increased in order to apply a large size of the coating object, the rotary roller 200 also increases in length in the axial direction in proportion to this, the longer the length of the rotary roller 200 ) Is easy to be bent by its own load, if the rotary roller 200 is bent even a little preliminary discharge can not be made evenly throughout the outer peripheral surface of the rotary roller (200).

상기 브러쉬롤러(700)는 세정액에 침지된 상태에서 상기 회전롤러(200)와 마찰접속됨에 따라 상기 회전롤러(200)의 회전에 의해 자연적으로 상기 회전롤러(200) 표면에 잔류된 도포액을 문질러 이탈시키게 되며, 실린더(710)와 같은 지지부재에 의해 상기 회전롤러(200)의 중심부측을 향하는 방향으로 상기 회전롤러(200)를 경사지게 받쳐 지지하면, 상기 러버롤러(300)에 의한 측방향으로의 가압력과 자체하중에 따른 가압력에 의해 상기 회전롤러(200)가 휘게 되는 것을 방지시킬 수 있다.The brush roller 700 is rubbed with the coating liquid remaining on the surface of the rotary roller 200 by the rotation of the rotary roller 200 as it is frictionally connected to the rotary roller 200 in the state immersed in the cleaning liquid. When it is separated and supported by the support roller, such as the cylinder 710 inclined to support the rotary roller 200 in the direction toward the central side of the rotary roller 200, in the lateral direction by the rubber roller 300 It is possible to prevent the rotary roller 200 from being bent by the pressing force according to the pressing force and the self load.

이상에서는 본 고안의 바람직한 실시예를 들어 설명한 것으로, 본 고안은 이러한 실시예에 한정되는 것이 아니고 상기 실시예들을 기존의 공지기술과 단순히 조합적용한 실시예와 함께 본 고안의 실용청구범위와 상세한 설명에서 본 고안이 속하는 기술분야의 당업자가 변형하여 이용할 수 있는 균등한 기술범위를 당연히 포함한다고 보아야 할 것이다.In the above described as a preferred embodiment of the present invention, the present invention is not limited to this embodiment and the above embodiments in combination with the existing well-known technology and the embodiments of the present invention in the practical claims and detailed description Naturally, it should be seen that the scope of the present invention includes the equivalent technical scope that can be modified and used by those skilled in the art.

도 1 - 일반적인 슬릿코터의 예비토출장치를 도시한 개략도Figure 1-schematic diagram showing a preliminary ejection device of a typical slit coater

도 2 - 본 고안에 따른 슬릿코터의 예비토출장치의 제1실시예를 도시한 개략도Figure 2-Schematic diagram showing a first embodiment of the preliminary discharging device of the slit coater according to the present invention

도 3 - 슬릿노즐에서 세정액수집조까지의 도포액 및 세정액의 유동형태를 보인 요부단면도Fig. 3-A sectional view showing main flows of the coating liquid and the cleaning liquid from the slit nozzle to the cleaning liquid collection tank.

<도면에 사용된 주요 부호에 대한 설명><Description of Major Symbols Used in Drawings>

10 : 슬릿노즐 100 : 세정조 10: slit nozzle 100: cleaning tank

200 : 회전롤러 300 : 러버롤러 200: rotating roller 300: rubber roller

400 : 세정액분사노즐 500 : 러버롤러 스퀴즈 400: washing liquid spray nozzle 500: rubber roller squeeze

600 : 세정액수집조 700 : 브러쉬롤러 600: washing liquid collection tank 700: brush roller

710 : 실린더 910 : 회전롤러 스퀴즈 710: cylinder 910: rotary roller squeeze

Claims (5)

세정액을 내부에 수용하는 세정조;A washing tank accommodating the washing liquid therein; 슬릿노즐의 토출단부로부터 토출되는 도포액이 외주면에 도포되면서 정위치 회전되며, 세정조 내에 수용된 세정액에 일부가 잠기도록 설치되는 회전롤러;A rotating roller which is rotated in position while the coating liquid discharged from the discharge end of the slit nozzle is applied to the outer circumferential surface, and is partially immersed in the cleaning liquid contained in the cleaning tank; 상기 회전롤러의 외주면에 맞닿아 상기 회전롤러에 연동 회전되되, 상기 회전 롤러와 맞닿은 위치에서 하방을 향하는 방향으로 회전하는 러버롤러;A rubber roller that is in contact with an outer circumferential surface of the rotary roller and rotates in coordination with the rotary roller, and rotates in a downward direction at a position in contact with the rotary roller; 도포액의 굳음을 방지하도록 상기 러버롤러와 상기 회전롤러 사이에 설치되어 세정액을 분사하는 세정액분사노즐; A cleaning liquid spray nozzle installed between the rubber roller and the rotary roller to spray the cleaning liquid to prevent firmness of the coating liquid; 상기 러버롤러에 묻은 도포액 및 세정액을 긁어서 상기 러버롤러로부터 이탈시키는 러버롤러 스퀴즈; 및A rubber roller squeeze to scrape off the coating liquid and the cleaning liquid from the rubber roller and move away from the rubber roller; And 상기 러버롤러 스퀴즈의 상면을 타고 흘러내리는 도포액 및 세정액이 수집되는 세정액수집조;A cleaning liquid collection tank for collecting the coating liquid and the cleaning liquid flowing down the upper surface of the rubber roller squeeze; 를 포함하여 구성되어, 상기 회전 롤러와 상기 러버 롤러의 접속부 상측에 상기 세정액과 상기 도포액이 정체되다가 상기 러버 롤러의 상면과 상기 러버롤러 스퀴즈의 상면을 차례로 타고 흐르며 이동하는 것을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치The slit coater is configured to include, wherein the cleaning liquid and the coating liquid are stagnated above the connection portion of the rotary roller and the rubber roller, and are moved in a flow through the upper surface of the rubber roller and the upper surface of the rubber roller squeeze. Preliminary Discharge Device 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 러버롤러가 설치되지 않은 상기 회전롤러의 반대측에는, 상기 회전롤러에 묻은 세정액을 긁어 이탈시키는 회전롤러 스퀴즈와, 상기 회전롤러측으로 세정액을 분사하는 세정액분사노즐과, 상기 회전롤러측으로 건조가스를 분사하는 가스분사노즐이 구비됨을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치On the opposite side of the rotary roller, in which the rubber roller is not installed, a rotary roller squeeze for scraping off the cleaning liquid attached to the rotary roller, a cleaning liquid spray nozzle for spraying the cleaning liquid to the rotating roller side, and a drying gas to the rotating roller side Preliminary discharge device of the slit coater characterized in that the gas injection nozzle is provided 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 세정조에 담겨진 세정액에 침지되도록 설치되며, 상기 회전롤러의 하부를 좌, 우 양측에서 받쳐 지지하는 브러쉬롤러;A brush roller installed to be immersed in the cleaning liquid contained in the cleaning tank and supporting the lower portion of the rotary roller on both left and right sides thereof; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치Preliminary discharge device of the slit coater characterized in that it further comprises 제3항에 있어서, 상기 브러쉬롤러는,The method of claim 3, wherein the brush roller, 상기 회전롤러의 중심부측을 향하는 방향으로 상기 회전롤러를 경사지게 받쳐 지지함을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치Preliminary discharging device of the slit coater, characterized in that for supporting the rotating roller inclined in the direction toward the central side of the rotating roller 삭제delete
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000326480A (en) * 1999-05-21 2000-11-28 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Developing treating apparatus for printer
JP2003057844A (en) * 2001-08-21 2003-02-28 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Printing plate developing device
KR20060047990A (en) * 2004-05-20 2006-05-18 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 Preliminary spout apparatus for slit coater
KR100687505B1 (en) * 2005-11-04 2007-02-27 세메스 주식회사 Preliminary dispensing apparatus of slit coater

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000326480A (en) * 1999-05-21 2000-11-28 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Developing treating apparatus for printer
JP2003057844A (en) * 2001-08-21 2003-02-28 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Printing plate developing device
KR20060047990A (en) * 2004-05-20 2006-05-18 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 Preliminary spout apparatus for slit coater
KR100687505B1 (en) * 2005-11-04 2007-02-27 세메스 주식회사 Preliminary dispensing apparatus of slit coater

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