KR200442336Y1 - 착탈식 통신모듈을 구비한 칠러장치 - Google Patents

Abstract

착탈식 통신모듈을 구비한 칠러장치가 개시된다. 상기 통신모듈은, 상기 칠러장치의 본체와의 결합을 위한 전면 커버가 형성되며 내부에 수납공간이 마련된 하우징; 상기 전면 커버에 형성된 하나의 출력포트; 및 상기 전면 커버에 형성된 하나의 입력포트를 구비하며, 상기 출력포트는 아날로그 통신포트, 직렬 통신포트, 또는 병렬 통신포트 중 어느 하나의 통신포트이고, 상기 수납공간에는 상기 어느 하나의 통신포트에 관련된 통신부품이 내장되며, 상기 하우징은 상기 칠러장치의 본체에 형성된 삽입구에 슬라이드 삽입되고, 상기 입력포트는 상기 본체에 형성된 통신출력단자에 연결된다.

칠러, 통신포트, 아날로그, 시리얼, 패럴렐, 휴대형

Description

착탈식 통신모듈을 구비한 칠러장치{Chiller having detachable typed communication module}

본 고안은 칠러장치에 관한 것으로, 특히 반도체 공정용 설비와의 통신방식에 매칭되는 통신모듈이 자유롭게 교환할 수 있도록 착탈된 칠러장치에 관련한다.

잘 알려진 바와 같이, 칠러장치는 반도체 소자의 제조공정에서 안정적인 공정제어를 위한 온도조절장치이다. 특히 칠러장치는 여러 공정 중 식각 및 노광 공정에서 주로 사용하는데 공정 중 과도한 열이 발생하는 전극판 및 챔버(chamber)의 온도를 일정하게 유지시켜 줌으로써 고온으로 인한 웨이퍼의 파손 및 생산성의 저하를 막아준다.

칠러장치는 반도체 공정용 설비와 데이터를 교환하기 위해 통신을 하는데, 반도체 공정용 설비의 종류가 제조사마다 다르고 이에 따라 통신 방식도 각각 다르다. 따라서, 하나의 칠러장치에는 이러한 다양한 종류의 통신방식에 대응하기 위해 필요한 통신부품이 모두 장착된다.

도 1을 참조하면, 반도체 공정 설비(10)와 통신하는 칠러장치(20)는 반도체 공정 설비(10)마다 다른 통신방식에 대응하기 위해서, 가령 직렬 통신부(22), 병렬 통신부(23) 및 아날로그 통신부(24)를 모두 구비하며, 이를 위한 통신부품이 칠러장치에 모두 장착된다.

이러한 구조를 갖는 칠러장치는 설치되는 현장에서 반도체 공정 설비가 채택하고 있는 통신방식에 따라 칠러장치(20)의 직렬 통신부(22), 병렬 통신부(23) 및 아날로그 통신부(24) 중 어느 하나와 반도체 공정 설비(10)의 통신부를 연결한다.

따라서, 칠러장치의 통신부에 고장이 발생하는 경우에는 칠러장치를 현장에서 반출하여 통신부를 수리한 다음 다시 설치해야 하기 때문에 그동안에 생산이 중지되어야 한다는 문제점이 있다.

또한, 반도체 공정 설비가 전혀 다른 통신방식을 채택하고 있다면, 이에 대응하여 통신부를 확장하기가 어렵다는 문제점이 있다.

또한, 칠러장치가 실제로 채택되지 않는 통신부품을 모두 구비하고 있어야 하므로 제조원가가 증가한다는 문제점이 있다.

또한, 여러 가지 방식의 통신부를 모두 장착해야 하기 때문에 설치 공간이 늘어나고, 배선 구조가 복잡해진다는 문제점이 있다.

따라서, 본 고안은 이러한 문제점을 해결하기 위해서 제안되는 것으로, 본 고안의 목적은 통신부에 고장이 발생하는 경우에도 칠러장치를 반출하지 않고 현장에서 교환할 수 있는 칠러장치를 제공하는 것이다.

본 고안의 다른 목적은 통신방식의 확장이 용이한 칠러장치를 제공하는 것이다.

본 고안의 다른 목적은 제조원가를 절감하고, 통신부의 설치 공간이 줄일 수 있으며, 통신 배선 구조가 간단한 칠러장치를 제공하는 것이다.

상기의 목적은, 반도체 공정 설비와의 통신을 수행하는 통신모듈을 구비한 칠러장치에 있어서, 상기 통신모듈이, 상기 칠러장치의 본체와의 결합을 위한 전면 커버가 형성되며 내부에 수납공간이 마련된 하우징; 상기 전면 커버에 형성된 하나의 출력포트; 및 상기 전면 커버에 형성된 하나의 입력포트를 구비하며, 상기 출력포트는 아날로그 통신포트, 직렬 통신포트, 또는 병렬 통신포트 중 어느 하나의 통신포트이고, 상기 수납공간에는 상기 어느 하나의 통신포트에 관련된 통신부품이 내장되며, 상기 하우징은 상기 칠러장치의 본체에 형성된 삽입구에 슬라이드 삽입되고, 상기 입력포트는 상기 본체에 형성된 통신출력단자에 연결되는 착탈식 통신모듈을 구비한 칠러장치에 의해 달성된다.

바람직하게, 상기 하우징의 하면에는 슬라이드 홈이 형성되어 상기 본체에 형성된 슬라이드 가이드에 결합하여 상기 하우징이 슬라이드될 수 있다.

바람직하게, 상기 전면 커버에는 상기 통신포트와 동일한 종류의 보조 통신포트가 더 설치될 수 있다.

상기의 구성에 의하면, 통신부에 고장이 발생하는 경우에도 칠러장치를 반출하지 않고 현장에서 교환할 수 있다.

또한, 통신모듈 자체를 교환할 수 있어 통신방식의 확장이 용이하다.

또한, 제조원가를 절감할 수 있고, 통신부의 설치 공간이 줄일 수 있으며, 통신 배선 구조가 간단하다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 실시 예를 상세히 설명한다.

도 2는 본 고안에 따른 통신모듈을 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 고안의 통신모듈을 설치하는 상태를 나타내는 도면이다.

도 2를 참조하면, 본 고안의 통신모듈(100)은 본체(200)에 착탈 가능하게 기구적으로 결합한다.

통신모듈(100)은 하우징(110)을 구비하는데, 하우징(110)은 박스 형상으로 전면에 전면 커버(112)가 형성되며 내부에 수납공간이 마련된다. 바람직하게, 하우징(110)의 측벽에는 방열을 위한 방열 슬롯(102)가 형성될 수 있다.

전면 커버(112)의 각 모서리에 나사공(114)이 형성되어 본체(200)의 삽입구(210)의 각 모서리에 형성된 나사공(214)과 정합하여 나사에 의해 결합한다. 전 면 커버(112)와 본체(200)가 결합하는 구조는 나사 결합 이외에 후크를 이용한 잠금장치일 수 있다.

전면 커버(112)에는 지지 플레이트(120)가 분리 가능하게 결합하고, 이 지지 플레이트(120)에 아날로그(analog) 통신포트, 직렬(serial) 통신포트, 또는 병렬(parallel) 통신포트 중 어느 하나의 통신포트(130)가 설치되고, 수납공간에는 설치된 통신포트(130)에 관련된 통신부품(170)이 내장된다.

가령, 통신포트(130)가 아날로그 통신포트라면, 아날로그 통신을 위한 릴레이가 하우징(110)의 수납공간에 설치될 수 있다. 도면부호 180은 배선 보호를 위한 케이블 랙을 나타낸다.

바람직하게, 지지 플레이트(120)에는 보조 통신포트(140)가 설치될 수 있으며, 사용중인 통신포트(130) 자체가 고장인 경우에는 현장에서 보조 통신포트(140)로 전환 연결하여 사용할 수 있다.

또한, 전면 커버(112)에는 칠러장치 본체(200)의 통신출력단자(260)와 연결되는 입력포트(160)가 설치된다.

또한, 하우징(110)의 하면에는 슬라이드 홈(104, 106)이 형성되고, 이에 대응하는 본체(200)에는 슬라이드 바(204, 206)가 형성되어 슬라이드 바(204, 206)가 슬라이드 홈(104, 106)에 결합하여 하우징(110)이 삽입구(210) 내부로 슬라이드된다.

상기의 구조를 갖는 통신모듈을 장착하는 방법에 대해 설명한다.

도 3을 참조하면, 반도체 공정 설비가 채택하는 통신 방식에 대응하는 통신 방식을 적용한 통신모듈(100)을 준비한다.

통신모듈(100)의 하우징(110)은 본체(200)에 형성된 삽입구(210)에 삽입하는데, 이때 하우징(110)의 슬라이드 홈(104, 106)과 삽입구(210)의 슬라이드 바(204, 206)가 결합되도록 하여 부드럽게 삽입되도록 할 수 있다.

이어, 전면 커버(112)의 나사공(114)과 본체(200)의 나사공(214)을 맞추어 나사로 고정시킨다.

본체(200)에 설치된 통신출력단자(260)와 통신모듈(100)의 입력포트(160)를 통신 케이블을 이용하여 연결함으로써 장착을 완료한다.

한편, 통신모듈(100)이 고장인 경우에는 동일한 종류의 통신모듈(100)을 준비하여 상기의 과정과 역순으로 기 설치된 통신모듈(100)을 분리해낸 다음, 새로운 통신모듈(100)로 교체하면 된다. 따라서, 교체에 따른 시간을 줄일 수 있어 결과적으로 전체적인 생산 중지시간을 줄일 수 있다. 또한, 떼어낸 기존의 통신모듈은 회수하여 수리하면 된다.

이상에서는 본 고안의 실시예를 중심으로 설명하였지만, 당업자의 수준에서 다양한 변경을 가할 수 있음은 물론이다. 가령, 지지 플레이트(120)를 없애고 전면 커버(112) 자체에 통신포트(130)를 설치할 수 있다.

따라서, 본 고안의 권리범위는 상기한 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 되며, 이하에 기재되는 실용신안등록청구범위에 기초하여 해석되어야 한다.

도 1은 종래의 칠러장치의 통신구조를 나타내는 도면이다.

도 2는 본 고안에 따른 통신모듈을 나타내는 사시도이다.

도 3은 본 고안의 통신모듈을 설치하는 상태를 나타내는 도면이다.

Claims (3)

1. 반도체 공정 설비와의 통신을 수행하는 통신모듈은 구비한 칠러장치에 있어서,

   상기 통신모듈은,

   상기 칠러장치의 본체와의 결합을 위한 전면 커버가 형성되며 내부에 수납공간이 마련된 하우징;

   상기 전면 커버에 형성된 하나의 출력포트; 및

   상기 전면 커버에 형성된 하나의 입력포트를 구비하며,

   상기 출력포트는 아날로그 통신포트, 직렬 통신포트, 또는 병렬 통신포트 중 어느 하나의 통신포트이고, 상기 수납공간에는 상기 어느 하나의 통신포트에 관련된 통신부품이 내장되며,

   상기 하우징은 상기 칠러장치의 본체에 형성된 삽입구에 슬라이드 삽입되고, 상기 입력포트는 상기 본체에 형성된 통신출력단자에 연결되는 것을 특징으로 하는 착탈식 통신모듈을 구비한 칠러장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 하우징의 하면에는 슬라이드 홈이 형성되어 상기 본체에 형성된 슬라이드 가이드에 결합하여 상기 하우징이 슬라이드되는 것을 특징으로 하는 착탈식 통신모듈을 구비한 칠러장치.
3. 청구항 1 또는 2에 있어서,

   상기 전면 커버에 상기 통신포트와 동일한 종류의 보조 통신포트가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 착탈식 통신모듈을 구비한 칠러장치.

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