KR200442153Y1 - Automated clean stock room - Google Patents

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Abstract

본 고안의 자동화 청정저장실은 여과된 청정 공기를 저장실로 공급하기 위한 복수의 팬 필터 유닛을 갖는 외부 공기 공급 시스템; 공기 도관 및 복수의 필터 스크린과 협력하여 저장실 내로 공급된 공기로부터 오염 입자를 반복적으로 제거하고 순환시키는 팬을 구비하는 내부 공기 순환 시스템;을 구비한다. 내부 공기 순환 시스템의 팬은 저장실 내의 저장 랙에 의해 제공되는 복수의 저장 선반 내로 흐르는 공기의 속도를 증가시키고, 따라서 공기 내의 오염 입자가 더욱 신속하게 제거되어 저장실 내의 공기의 청정도를 향상시킨다.The automated clean storage room of the present invention includes an external air supply system having a plurality of fan filter units for supplying filtered clean air to the storage room; And an internal air circulation system having a fan cooperating with the air conduit and the plurality of filter screens to repeatedly remove and circulate contaminant particles from the air supplied into the reservoir. The fan of the internal air circulation system increases the speed of the air flowing into the plurality of storage shelves provided by the storage racks in the storage compartment, thus removing contaminants in the air more quickly to improve the cleanliness of the air in the storage compartment.

공기 여과, 순환 시스템, 청정저장실, 필터 스크린 Air Filtration, Circulation System, Clean Storage Room, Filter Screen

Description

자동화 청정저장실{Automated clean stock room}Automated clean stock room

도 1은 제 1의 종래 저장실 구조의 개략도이고,1 is a schematic diagram of a first conventional storage compartment structure,

도 2는 제 2의 종래 저장실 구조의 개략도이고,2 is a schematic diagram of a second conventional storage compartment structure,

도 3은 본 발명에 따른 자동화 청정저장실의 개략도이다.3 is a schematic diagram of an automated clean storage room in accordance with the present invention.

본 고안은 저장실에 관한 것이며, 더욱 상세하게는 저장실 내의 저장 선반(shelves)의 청정도를 향상시키도록 형성된 자동화 청정저장실에 관한 것이다.The present invention relates to a storage compartment, and more particularly, to an automated clean storage compartment formed to improve the cleanliness of storage shelves in a storage compartment.

현재 저장실의 두 가지 형태가 제약 산업 및 웨이퍼, 박막 트랜지스터(TFT), 및 액정 디스플레이(LCD)의 제조업계에서 통상 사용된다. 도 1에 도시된 바와 같이, 제 1 형태의 저장실은 청정실의 천장 위쪽에 위치된 외부 공기 공급 시스템을 경유하여 청정 공기가 공급되고, 공급된 청정 공기는 공기 도관에 의해 저장실의 측벽으로 안내되어 방출된다. 제 1 형태의 저장실은, 저장실의 대향하는 양측에 위치된 2 열의 공기 도관(204), 보유하는 저장 물품을 수용하기 위한 복수의 저장 선반(203)을 제공하는 제 1 저장 랙(rack)(201) 및 제 2 저장 랙(202), 및 저장실 내에 저장되어 있거나 저장될 물품의 이동을 위한 크레인 유닛(30)을 포함한다. 이러한 제 1 형태의 저장실은 단순한 구조를 갖는다. 외부 공기 공급 시스템(10)은 복수의 팬 필터 유닛(FFU)(101)을 포함하고, 이는 청정 공기를 저장실의 대향하는 양 측벽에 위치된 공기 도관(204) 및 저장 선반(203)을 통과하여 불게 하고, 이어서 저장실의 외부로 공기를 배출시킨다. 상기 팬 필터 유닛(101)은 그 출구에 큰 방해물(impedance)을 가지므로 저장 선반(203)을 통하여 흐르는 공기의 속도(기류)가 상대적으로 느리게 된다. 따라서, 저장 선반(203) 내의 오염 입자는 저장 선반으로부터 효과적으로 기류에 의해서 제거되지 않는다.Currently two forms of storage are commonly used in the pharmaceutical industry and in the manufacture of wafers, thin film transistors (TFTs), and liquid crystal displays (LCDs). As shown in FIG. 1, the first type of storage compartment is supplied with clean air via an external air supply system located above the ceiling of the cleanroom, and the supplied clean air is guided to the sidewall of the storage compartment by an air conduit and discharged. do. The first type of storage compartment includes a first storage rack 201 that provides two rows of air conduits 204 located on opposite sides of the storage compartment, and a plurality of storage shelves 203 for receiving storage items therein. ) And a second storage rack 202, and a crane unit 30 for movement of articles stored or to be stored in the storage compartment. The first type of storage compartment has a simple structure. The external air supply system 10 includes a plurality of fan filter units (FFUs) 101, which pass clean air through the air conduits 204 and storage shelves 203 located on opposite sides of the storage compartment. Blow, and then vent the air out of the reservoir. The fan filter unit 101 has a large impedance at its outlet, so that the speed (air flow) of air flowing through the storage shelf 203 is relatively slow. Thus, contaminant particles in the storage shelf 203 are not effectively removed by the airflow from the storage shelf.

오염 입자를 제거하고 차단하는 능력이 향상된 저장실을 제공하기 위하여, 도 2에 도시된 바와 같은 제 2 형태의 저장실이 개발되었다. 제 2 형태의 저장실에서는, 저장실의 대향하는 양 측벽의 측벽 내에 복수의 팬 필터 유닛(101)이 더 설치되어 옆으로 이동하는 수평 기류를 생산하고, 따라서 제 1 저장 랙(201) 및 제 2 저장 랙(202) 상의 저장 선반(203)을 통하여 흐른 수평 기류의 속도를 향상시킨다. 그러나, 이러한 형태의 저장실은 대량의 박형 팬 필터 유닛(101)이 필요하고 따라서 저장실의 제조 및 유지 비용이 증가하게 된다.In order to provide a storage compartment with improved ability to remove and block contaminating particles, a second form of storage compartment as shown in FIG. 2 has been developed. In the second type of storage compartment, a plurality of fan filter units 101 are further installed in the sidewalls of opposite sidewalls of the storage compartment to produce a laterally moving horizontal airflow, and thus the first storage rack 201 and the second storage. The speed of the horizontal airflow flowing through the storage shelf 203 on the rack 202 is improved. However, this type of storage compartment requires a large amount of thin fan filter unit 101, thus increasing the manufacturing and maintenance costs of the storage compartment.

전술한 제 1 및 제 2 형태의 저장실은 어떤 내부 공기 순환 메카니즘 없이 외부 공기 공급 시스템(10)을 사용하여 저장실 내로 공기를 공급하고 또 이로부터 공기를 배출한다. 그리고, 저장실의 청정도를 향상시키고자 하는 목적으로, 대량의 팬 필터 유닛(101)을 측벽 내에 설치하여, 저장 선반(203) 내로 옆으로 흐르는 수평 기류를 공급하고 가속하여 저장실로부터 오염 입자의 제거를 향상시킨다. 추가적인 팬 필터 유닛(101)이 저장실의 청정도를 향상시키기는 하나, 이는 저장실의 제조 및 유지 비용을 불가피하게 향상시킨다.The first and second types of storage chambers described above use the external air supply system 10 to supply air into and out of the storage chamber without any internal air circulation mechanisms. In order to improve the cleanliness of the storage compartment, a large amount of fan filter unit 101 is installed in the side wall to supply and accelerate horizontal airflow flowing sideways into the storage shelf 203 to remove contaminants from the storage compartment. Improve. Although an additional fan filter unit 101 improves the cleanliness of the storage compartment, this inevitably improves the manufacturing and maintenance costs of the storage compartment.

따라서, 저장실의 청정도 및 비용을 모두 고려하는 동시에 종래의 저장실 설계 내에 존재하는 단점을 극복하는 새로운 형태의 저장실의 개발이 요구된다.Accordingly, there is a need for the development of a new type of storage compartment that takes into account both the cleanliness and cost of the storage compartment and at the same time overcomes the disadvantages present in conventional storage compartment designs.

본 고안의 제 1 목적은 저장실의 저장 선반의 청정도를 향상시키도록 저장실 내의 공기 순환을 강화할 수 있는 자동화 청정저장실을 제공하는 것이다.A first object of the present invention is to provide an automated clean storage room that can enhance air circulation in the storage room to improve the cleanliness of the storage shelf of the storage room.

상기 및 기타 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 자동화 청정저장실은 저장실 내로의 여과된 청정 공기를 공급하기 위한 외부 공기 공급 시스템, 및 공기 도관과 복수의 필터 스크린과 협력하여 저장실 내로 공급된 청정 공기를 순환시키는 팬을 갖는 내부 공기 순환 시스템을 포함한다. 내부 공기 순환 시스템의 팬은 외부 공기 공급 시스템에 의해 공급된 청정 공기를 빨아들이고, 청정 공기를 공기 도관으로 이동시켜서, 상기 청정 공기가 저장실 내의 공기 도관과 복수의 저장 선반 사이에 제공된 필터 스크린에 의해 더 여과되어 공기로부터 오염 입자가 제거되도록 한다. 저장 선반으로 들어온 여과된 청정 공기는 이어서 팬의 출구로 다시 흐름으로써 저장실 내의 한 사이클의 공기 순환이 완성된다. 이렇게 형성된 저장실은 저장 선반 내로 흐르는 공기의 부피와 속도를 증가시킬 수 있으며, 따라서 공기로부터 오염 입자를 신속히 제거하며, 오염 입자가 저장 선반 내로 들어오는 것을 효과적으로 방지하여 저장실 내의 저장 선반 상의 저장 물품의 청정도를 향상시킨다. 더욱이, 자동화 청정저장실은 저장실의 청정도를 희생시키지 않고도 경감된 비용으로 구성하고 유지할 수 있다.In order to achieve the above and other objects, the automated clean storage room according to the present invention is an external air supply system for supplying filtered clean air into the storage room, and clean air supplied into the storage room in cooperation with an air conduit and a plurality of filter screens. It includes an internal air circulation system having a fan for circulating the. The fan of the internal air circulation system draws clean air supplied by the external air supply system and moves the clean air into the air conduit so that the clean air is provided by a filter screen provided between the air conduit in the storage compartment and the plurality of storage shelves. It is further filtered to remove contaminant particles from the air. The filtered clean air entering the storage shelf then flows back to the outlet of the fan to complete a cycle of air circulation in the storage compartment. The storage compartment thus formed can increase the volume and velocity of air flowing into the storage shelf, thus quickly removing contaminants from the air and effectively preventing contaminant particles from entering the storage shelf, thereby improving the cleanliness of the storage items on the storage shelf in the storage compartment. Improve. Moreover, automated clean storage rooms can be constructed and maintained at reduced costs without sacrificing cleanliness of the storage room.

상기 및 기타의 목적을 달성하고자 본 발명에서 채용된 구성과 기술 수단은 바람직한 실시예의 하기한 상세한 설명과 첨부된 도면을 참조함으로써 가장 잘 이해될 것이다.The construction and technical means employed in the present invention to achieve the above and other objects will be best understood by reference to the following detailed description of the preferred embodiment and the accompanying drawings.

도 3은, 본 발명의 일 실시예에 따른 자동화 청정저장실의 개략도이다. 도시한 바와 같이, 본 발명의 자동화 청정저장실은 외부 공기 공급 시스템(10), 내부 공기 순환 시스템(20), 및 크레인 유닛(30)을 포함한다.3 is a schematic diagram of an automated clean storage room in accordance with one embodiment of the present invention. As shown, the automated clean storage room of the present invention includes an external air supply system 10, an internal air circulation system 20, and a crane unit 30.

외부 공기 공급 시스템(10)은 여과된 공기를 여과하고 저장실 내로 보내기 위한 복수의 팬 필터 유닛(101)을 포함한다.The external air supply system 10 includes a plurality of fan filter units 101 for filtering the filtered air and sending it into the storage compartment.

내부 공기 순환 시스템(20)은 제 1 저장 랙(201), 제 2 저장 랙(202), 2 열의 공기 도관(204), 복수의 필터 스크린(205), 및 2 열의 팬(206)을 포함한다. 제 1 저장 랙(201) 및 제 2 저장 랙(202)은 저장실 내에 설치되며 저장된 물질과 생산물을 수용하기 위한 복수의 각 저장 선반(203)을 제공한다. 저장 선반(203)을 위한 주위 공간은 고도로 청정하여 저장 물품을 수용할 수 있어야 한다. 2 열의 공기 도관(204)은 저장실의 내부 벽면과 제 1 저장 랙(201) 및 제 2 저장 랙(202)의 외측면 사이에 분리되어 위치하고, 저장 선반(203)과 연락(communicate)한다. 필터 스크린(205)은 저장 선반(203)과 공기 도관(204) 사이의 연락 위치에 설치되어, 공기가 저장 선반(203) 내로 흐르기 전에 공기를 여과하여 오염 입자가 제거되도록 한다. 또한 필터 스크린(205)은 공기가 일정 속도로 저장 선반(203) 내로 흐르도록 허용한다. 팬(206)은 저장실 내에 설치된다. 바람직하게는, 2 열의 팬(206)은 저장실의 두 하부 측면 코너에 분리되어 설치되어 2 열의 공기 도관(204)과 연락한다. 즉, 각각의 팬(206)은 외부 공기 공급 시스템(10)에 의해 저장실 내로 공급된 청정 공기와 저장실 내부의 공기의 일부를 빨아들이는 입구, 및 공기 도관(204) 중 하나와 연락하는 출구를 갖는다.The internal air circulation system 20 includes a first storage rack 201, a second storage rack 202, two rows of air conduits 204, a plurality of filter screens 205, and two rows of fans 206. . The first storage rack 201 and the second storage rack 202 are installed in a storage compartment and provide a plurality of respective storage shelves 203 for receiving stored materials and products. The ambient space for storage shelf 203 should be highly clean to accommodate storage items. The two rows of air conduits 204 are located separately between the interior wall of the storage compartment and the outer surfaces of the first storage rack 201 and the second storage rack 202 and communicate with the storage shelf 203. The filter screen 205 is installed at a contact location between the storage shelf 203 and the air conduit 204 to filter the air before the air flows into the storage shelf 203 to remove contaminant particles. The filter screen 205 also allows air to flow into the storage shelf 203 at a constant rate. The fan 206 is installed in the storage compartment. Preferably, two rows of fans 206 are installed separately at two lower side corners of the reservoir to communicate with two rows of air conduits 204. That is, each fan 206 has an inlet for sucking clean air supplied into the storage compartment by the external air supply system 10 and a portion of the air inside the storage compartment, and an outlet contacting one of the air conduits 204. Have

크레인 유닛(30)은 저장실 내의 제 1 저장 랙(201) 및 제 2 저장 랙(202) 사이에 제공되고, 기계팔과 같은, 적어도 하나의 접근툴(access tool)을 포함하여 저장 선반(203) 상에 저장되어 있는 또는 저장될 물품을 조작하고 이동시킨다.The crane unit 30 is provided between the first storage rack 201 and the second storage rack 202 in the storage compartment and includes at least one access tool, such as a mechanical arm, for the storage shelf 203. Manipulate and move items stored on or to be stored on the floor.

본 발명의 자동화 청정저장실의 실제 작동에 있어서, 외부 공기 공급 시스템(10)의 팬 필터 유닛(101)은 이를 통과하여 흐르는 외부 공기를 여과하여, 외부 공기로부터 오염 입자를 제거한다. 여과된 청정 기류는 저장실의 대형 중앙 공기 입구(air inlet) 내에 집중되고 이어서 저장실의 외부 공기 소스로서의 사용을 위하여 저장실로 들어가서 저장실을 양의 내압(positive internal pressure) 상태로 유지하고, 저장실 내에 존재하는 축적된 열과 오염 입자를 운반해 간다. 청정 공기가 팬(206)의 입구 쪽으로 흐를 때, 팬 입구에 설치된 2 열의 필터 스크린(205)이 공기를 더 여과하여 공기로부터 오염 입자를 제거한다. 이어서 여과된 공기는 필터 스크린(205)을 경유하여 다시 여과되어 저장 선반(203)으로 분배된다. 그 결과 저장 선반(203) 내로 흐른 공기는 수회 여과되어 예정된 정도의 청정도에 도달한다. 최종적으로 청정 공기는 저장 선반(203)으로부터 저장실 내로 흘러 한 사이클의 내부 순환이 완성된다.In the actual operation of the automated clean storage room of the present invention, the fan filter unit 101 of the external air supply system 10 filters the external air flowing therethrough to remove contaminant particles from the external air. The filtered clean air stream is concentrated in the large central air inlet of the reservoir and then enters the reservoir for use as an external air source of the reservoir to maintain the reservoir at positive internal pressure and is present in the reservoir. It carries the accumulated heat and contaminant particles. As clean air flows toward the inlet of the fan 206, two rows of filter screens 205 installed at the fan inlet further filter the air to remove contaminant particles from the air. The filtered air is then filtered again via filter screen 205 and distributed to storage shelf 203. As a result, the air flowing into the storage shelf 203 is filtered several times to reach a predetermined degree of cleanliness. Finally, clean air flows from the storage shelf 203 into the storage compartment, completing a cycle of internal circulation.

저장실 내의 저장 선반(203)에서의 공기 청정도를 더욱 효과적으로 향상시키 기 위하여, 저장실 내의 적절한 위치에 설치하기 위한 적합한 형태의 팬과 모터를 선택하는 것이 바람직하다. 팬은 회전 속도를 증가시켜, 모터의 회전 속도를 변경함으로써 공기 순환량을 증가시킬 수 있다. 이러한 방식으로, 공기는 상승된 속도로 저장 선반(203) 내로 흘러, 오염 입자가 저장 선반(203) 내로 들어가는 것과 머무르는 것을 효과적으로 방지한다. 필터 스크린(205)으로 인하여, 공기 내의 오염 입자는 저장실로부터 더욱 신속하게 제거될 수 있다.In order to more effectively improve the air cleanliness of the storage shelf 203 in the storage compartment, it is desirable to select a suitable type of fan and motor for installation at the appropriate location in the storage compartment. The fan can increase the rotational speed, thereby increasing the amount of air circulation by changing the rotational speed of the motor. In this way, air flows into storage shelf 203 at an elevated rate, effectively preventing contaminant particles from entering and staying in storage shelf 203. Due to the filter screen 205, contaminant particles in the air can be removed more quickly from the reservoir.

요약하자면, 본 발명의 자동화 청정저장실은 외부 공기 공급 시스템(10) 및 내부 공기 순환 시스템(20)을 사용하여 저장실 내의 공기를 일회 이상 여과하여 공기로부터 가능한 오염 입자를 제거할 뿐만 아니라, 팬(206)을 이용하여 저장 선반(203) 내로 흐르는 공기의 속도를 증가시킨다. 팬(206)은 필터 스크린(205)과 협력하여 저장실 내의 오염 입자를 더욱 신속하게 여과하고, 오염 입자가 저장 선반(203) 내로 들어오는 것을 효과적으로 방지하여, 저장실 내의 공기 청정도를 향상시킨다.In summary, the automated clean room of the present invention utilizes an external air supply system 10 and an internal air circulation system 20 to filter the air in the storage room one or more times to remove possible contaminant particles from the air, as well as the fan 206. Increase the speed of air flowing into storage shelf 203. The fan 206 cooperates with the filter screen 205 to more quickly filter contaminant particles in the storage compartment and effectively prevent contaminant particles from entering the storage shelf 203 to improve air cleanliness in the storage compartment.

본 발명의 자동화 청정저장실은 저장 선반 내로 흐르는 공기의 부피와 속도를 증가시킬 수 있으며, 따라서 공기로부터 오염 입자를 신속히 제거하며, 오염 입자가 저장 선반 내로 들어오는 것을 효과적으로 방지하여 저장실 내의 저장 선반 상의 저장물의 청정도를 향상시킨다. 더욱이, 본 발명의 자동화 청정저장실은 저장실의 청정도를 희생시키지 않고도 경감된 비용으로 구성하고 유지할 수 있다.The automated clean storage room of the present invention can increase the volume and speed of air flowing into the storage shelf, thus quickly removing contaminant particles from the air and effectively preventing contaminant particles from entering the storage shelf, thereby reducing the amount of storage on the storage shelf in the storage compartment. Improve cleanliness. Moreover, the automated clean storage room of the present invention can be configured and maintained at reduced cost without sacrificing the cleanliness of the storage room.

Claims (4)

여과된 청정 공기를 저장실로 공급하기 위한 복수의 팬 필터 유닛을 포함하는 외부 공기 공급 시스템;An external air supply system including a plurality of fan filter units for supplying filtered clean air to the storage compartment; 복수의 저장 선반을 제공하는 제 1 저장 랙,A first storage rack providing a plurality of storage shelves, 복수의 저장 선반을 제공하는 제 2 저장 랙,A second storage rack providing a plurality of storage shelves, 저장실의 내부 측벽에 제공되어 상기 제 1 및 제 2 저장 랙의 상기 저장 선반과 연락하는 2 열의 공기 도관, 및Two rows of air conduits provided on the inner sidewalls of the storage compartment and in communication with the storage shelves of the first and second storage racks, and 상기 모든 저장 선반과 상기 공기 도관 사이에 설치되는 복수의 필터 스크린, 및 저장실 내의 2곳의 하부 측면 코너에 설치되고, 상기 공기 도관과 연락하는 2 열의 팬을 포함하는 내부 공기 순환 시스템; 및An internal air circulation system comprising a plurality of filter screens installed between all of the storage shelves and the air conduits, and two rows of fans installed at two lower side corners in the storage compartment and in contact with the air conduits; And 상기 제 1 저장 랙과 상기 제 2 저장 랙 사이에 제공되는 크레인 유닛을 포함하는, A crane unit provided between the first storage rack and the second storage rack, 자동화 청정저장실.Automated Clean Storage Room. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 외부 공기 공급 시스템에 의해 공급된 여과된 청정 공기가 저장실의 대형 상부 중앙 공기 입구 내에 집중되고 이어 사용을 위하여 저장실로 들어가는 자동화 청정저장실.Filtered clean air supplied by the external air supply system is concentrated within the large upper central air inlet of the storage compartment and then enters the storage compartment for use. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 크레인 유닛이 기계팔을 포함하는 자동화 청정저장실.Automated clean storage room wherein the crane unit comprises a mechanical arm.
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