KR200422734Y1 - Integrated type fixing jig for processing of pellicle frame - Google Patents

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KR200422734Y1
KR200422734Y1 KR2020060013424U KR20060013424U KR200422734Y1 KR 200422734 Y1 KR200422734 Y1 KR 200422734Y1 KR 2020060013424 U KR2020060013424 U KR 2020060013424U KR 20060013424 U KR20060013424 U KR 20060013424U KR 200422734 Y1 KR200422734 Y1 KR 200422734Y1
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이장희
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Abstract

본 고안은 페리클 프레임 가공용 지그에 관한 것으로서, 더 상세하게는 가공하고자 하는 페리클 프레임의 사이즈에 따라 페리클 프레임과 접촉하여 지지하는 지지부재가 일체로 된 것을 포함하는 페리클 프레임의 내경 가공을 위한 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그에 관한 것이다.The present invention relates to a jig for processing a pellicle frame, and more particularly, the inner diameter processing of the pellicle frame, including a support member integrally supported in contact with the pellicle frame according to the size of the pellicle frame to be processed. It relates to a fixed jig for processing a ferrule frame for.

본 고안의 페리클 프레임 가공용 고정지그는 페리클 프레임용 박판의 내경 가공용 지그로서, 상부면에 페리클 프레임용 박판을 안착시키기 위한 안착부가 형성된 베이스와, 상기 베이스의 안착부에 안착된 페리클 프레임용 박판의 가장자리면을 따라 일체형으로 형성되어, 일부가 상기 박판의 상부면 일부에 접촉하여 고정하기 위해 착탈가능하게 설치되는 가압 프레임와, 상기 가압 프레임의 상면에 접촉하여 상기 가압 프레임에 하방으로 작용하는 압력을 가하여 가압 프레임이 상기 페리클 프레임용 박판을 고정하도록 하는 복수의 클램프를 포함하는 것을 특징으로 한다.The fixing jig for processing the ferricle frame according to the present invention is a jig for processing the inner diameter of the thin plate for the ferrule frame, and a base having a seating portion for seating the thin plate for the ferricle frame on the upper surface thereof, and a ferrule frame seated on the seating portion of the base. It is formed integrally along the edge surface of the molten plate, the pressing frame is detachably installed to contact a portion of the upper surface of the thin plate, and the lower surface in contact with the upper surface of the pressing frame to act downward It is characterized in that it comprises a plurality of clamps for applying a pressure to the pressing frame to fix the thin plate for the pellicle frame.

페리클 프레임, 고정지그 Pericle frame, fixed jig

Description

페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그{INTEGRATED TYPE FIXING JIG FOR PROCESSING OF PELLICLE FRAME}INTEGRATED TYPE FIXING JIG FOR PROCESSING OF PELLICLE FRAME}

도 1은 본 고안의 일실시예에 따른 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그의 단면도1 is a cross-sectional view of an integrated fixing jig for processing a pericle frame according to an embodiment of the present invention

도 2는 본 고안의 일실시예에 따른 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그의 사시도Figure 2 is a perspective view of an integrated fixing jig for processing a pericle frame according to an embodiment of the present invention

도 3은 본 고안의 일실시예에 따른 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그의 사용상태를 설명하기 위한 도면Figure 3 is a view for explaining the state of use of the integrated jig for processing pericle frame according to an embodiment of the present invention

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 클램프 11 나사수단10 Clamp 11 Screw Means

12 접촉바 13 가압 프레임12 Contact bar 13 Pressurized frame

20 페리클 프레임 박판 30 베이스20 Pericle Frame Lamination 30 Base

100 고정지그100 fixing jig

본 고안은 페리클 프레임 가공용 지그에 관한 것으로서, 더 상세하게는 가공 하고자 하는 페리클 프레임의 사이즈에 따라 페리클 프레임과 접촉하여 지지하는 지지부재가 일체형으로 된 것을 포함하는 페리클 프레임의 내경 가공을 위한 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그에 관한 것이다.The present invention relates to a jig for processing a pellicle frame, and more particularly, the inner diameter processing of the pellicle frame, including a support member that is in contact with the support of the pellicle frame according to the size of the pellicle frame to be processed. It relates to a fixed jig for processing a ferrule frame for.

일반적으로 IC, LSI 등의 직접회로의 제조 및 액정 표시판의 제조에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정 표시용 원판에 패턴을 형성하기 위해 사용되는 포토마스크와 레티클에는 노광되는 패턴 상에 분진 등의 이물질이 부착되거나, 포토마스크와 레티클 상에 이물질이 부착되어 노광 시에 이물질의 그림자가 투영되는 것을 방지하기 위해 펠리클을 장착하여 노광한다.In general, in the manufacture of integrated circuits such as ICs and LSIs, and in the manufacture of liquid crystal displays, foreign substances such as dust are deposited on the exposed patterns on photomasks and reticles used to form patterns on semiconductor wafers or liquid crystal displays. Alternatively, foreign matter is attached on the photomask and the reticle to expose the pellicle to prevent the shadow of the foreign material is projected during exposure.

즉, 펠리클 프레임에 부착된 펠리클막은 일정한 회로 패턴이 형성된 포토마스크의 상하에 부착되어 포토마스크에 형성된 회로 패턴을 보호하며, 먼지 등의 불순물이 부착되어 패턴을 형성할 때 불량을 줄이기 위하여 사용되는 것으로서, 상세하게는 감광성 기판 또는 웨이퍼(wafer) 상에 영상을 형성하는 투시 인쇄 시스템(Projection Printing Systems)은 특히 집적회로의 제조에 있어서 포토레지스트-피복 반도체 웨이퍼를 노출시키는데 적합하다.That is, the pellicle film attached to the pellicle frame is used to protect the circuit pattern formed on the photomask by attaching the upper and lower portions of the photomask on which a certain circuit pattern is formed, and to reduce defects when the pattern is formed by attaching impurities such as dust. Projection Printing Systems, which form images on photosensitive substrates or wafers in detail, are particularly suitable for exposing photoresist-coated semiconductor wafers, particularly in the manufacture of integrated circuits.

이러한 시스템은 통상적으로 표면에 형성되는 불투명 및 투명 영역의 패턴(pattern)이 있는 투명기판을 갖는 포토마스크 또는 초점판(이후, 마스크라 함), 마스크를 통하여 웨이퍼에 가시 광선 또는 UV와 같은 방사에너지의 비임(beam)을 접속시키기 위한 조사(illuminating)장치, 웨이퍼 상 또는 LCD회로나 PDP 회로 상에 마스크 패턴의 초점이 맞은 영상을 형성하는 광학장치 및 마스크의 표면상에 초점이 맞지 않도록 먼지 입자의 영상을 유지시키는 작용을 하는 것이다.Such systems typically have a photomask or focusing plate (hereinafter referred to as a mask) having a transparent substrate having a pattern of opaque and transparent regions formed on the surface, and radiant energy such as visible light or UV on the wafer through the mask. Irradiating devices for connecting beams of light, optical devices that form a focused image of the mask pattern on the wafer or on LCD or PDP circuits, and dust particles so as to be out of focus on the surface of the mask. It is to maintain the image.

펠리클 막은 펠리클 프레임(frame) 상에 지지가 된 얇고, 빛의 투과성이 높은 필름으로서, 통상적으로, 펠리클 프레임은 마스크에 부착되어 있고, 광학 필름은 마스크 표면으로부터 일정거리로 떨어져 펠리클 프레임의 타단에 부착되어 있어, 마스크 상에 부착되어 웨이퍼 상에 투시될 수 있는 먼지 입자 대신에 펠리클 막 상에 부착되어 먼지의 형상이 패턴을 형성시키는 표면상에서 분산될 것이다.A pellicle film is a thin, high-transmissive film supported on a pellicle frame. Typically, the pellicle frame is attached to a mask, and the optical film is attached to the other end of the pellicle frame at a distance from the mask surface. So that the shape of the dust will be dispersed on the surface forming the pattern instead of the dust particles that can be deposited on the mask and projected onto the wafer.

결과적으로 펠리클막을 통상적인 투시 인쇄 시스템에 사용하는 경우에, 하나 이상의 먼지 입자는 주어진 웨이퍼, LCD 회로 패턴, 컬러필터의 패턴 또는 PDP 회로 등의 패턴형성에 영향을 주지 못하게 하는 역할을 하는 것이다.As a result, when the pellicle film is used in a conventional perspective printing system, one or more dust particles serve to prevent the formation of a pattern of a given wafer, LCD circuit pattern, color filter pattern, or PDP circuit.

상기와 같은 페리클의 프레임은 알루미늄 소재의 박판을 소정 두께로 정밀하게 양면을 가공하고 박판의 외측면(외경)을 먼저 밀링 머신에서 일정크기로 가공한 후, 머시닝 센터에서 정밀가공하며, 외경을 가공한 후 내측면(내경)을 절단가공하여 펠리클 프레임을 얻게 되는 것이다. The frame of the above-mentioned pellicle is precisely processed on both sides of a thin sheet of aluminum material with a predetermined thickness, and the outer surface (outer diameter) of the thin sheet is first machined to a certain size in a milling machine, and then precisely processed in a machining center, and the outer diameter is After processing, the inner surface (inner diameter) is cut to obtain a pellicle frame.

상기 내경가공에 있어서, 페리클 프레임용 박판을 작업 테이블에 고정하고, 상기 박판의 외부 모서리측면 일부를 고정한 후 가공되는데, 이때 페리클 프레임용 박판을 작업대에 고정하는 부재를 필요로 한다. In the inner diameter processing, the thin plate for the pellicle frame is fixed to the work table, and fixed after fixing a portion of the outer edge side of the thin plate, this time requires a member for fixing the thin plate for the pellicle frame to the work table.

본 고안은 상기와 같은 필요성에 의해 고안된 것으로서, 페리클 프레임의 내경을 가공하기 위해 페리클 프레임용 박판을 고정하기 위한 페리클 프레임 가공용 일체형 지그를 제공하는 것에 그 목적이 있다.The present invention has been devised by the necessity as described above, and an object thereof is to provide an integrated jig for processing a pellicle frame for fixing a thin plate for a pellicle frame in order to process the inner diameter of the pellicle frame.

특히, 사각형상의 페리클 프레임을 가공하기 위해 각각의 긴변 및 짧은변에 접촉하여 고정하도록 하는 가압 프레임재가 일체형으로 구비되어 고정력이 향상된 페리클 프레임 가공용 일체형 지그를 제공하는 것에 그 목적이 있다. In particular, it is an object of the present invention to provide an integral jig for processing a ferricle frame, which is provided with a pressurized frame member integrally provided to contact and fix each of the long side and the short side in order to process a rectangular ferrule frame.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 페리클 프레임 가공용 고정지그는 페리클 프레임용 박판의 내경 가공용 지그로서, 상부면에 페리클 프레임용 박판을 안착시키기 위한 안착부가 형성된 베이스와, 상기 베이스의 안착부에 안착된 페리클 프레임용 박판의 가장자리면을 따라 일체형으로 형성되어, 일부가 상기 박판의 상부면 일부에 접촉하여 고정하기 위해 착탈가능하게 설치되는 가압 프레임와, 상기 가압 프레임의 상면에 접촉하여 상기 가압 프레임에 하방으로 작용하는 압력을 가하여 가압 프레임이 상기 페리클 프레임용 박판을 고정하도록 하는 복수의 클램프를 포함하는 것을 특징으로 한다.Fixing jig for processing the pellicle frame of the present invention for achieving the above object is a base jig for processing the inner diameter of the thin plate for the pellicle frame, the base is formed on the upper surface and the mounting portion for seating the thin plate for the pellicle frame, the seating portion of the base It is formed integrally along the edge surface of the thin plate for the pellicle frame seated on, the pressing frame is detachably installed to contact a portion of the upper surface of the thin plate, and the pressing in contact with the upper surface of the pressing frame It is characterized in that it comprises a plurality of clamps for applying a pressure acting downward to the frame to hold the pressing frame to the thin plate for the pellicle frame.

또한, 본 고안의 페리클 프레임 가공용 고정지그에서 상기 복수의 클램프는, 상기 가압 프레임의 상면에 접촉하는 접촉바와, 상기 접촉바의 상부에서 접촉바를 관통하여 베이스에 체결되는 나사부재를 포함하며, 상기 나사부재를 이용하여 접촉바가 가압 프레임에 압력을 가하도록 하는 특징을 포함한다.In addition, the plurality of clamps in the fixing jig for processing a ferrule frame of the present invention, the contact bar in contact with the upper surface of the pressing frame, and the screw member is fastened to the base through the contact bar at the upper portion of the contact bar, It includes a feature that the contact bar to apply pressure to the pressing frame by using a screw member.

또한, 본 고안의 페리클 프레임 가공용 고정지그에서 상기 베이스에는 상기 접촉바의 설치위치를 가이드 하고, 상기 나사부재에 의해 접촉바가 가압 프레임에 압력을 가할 때 접촉바의 기울어짐을 방지하기 위한 가이드 핀이 더 설치된 것을 특징으로 한다.In addition, the guide jig for guiding the installation position of the contact bar to the base in the fixing jig for processing a ferrule frame of the present invention, and to prevent the contact bar from tilting when the contact bar pressurizes the pressure frame by the screw member. It is characterized by more installed.

또한, 본 고안의 페리클 프레임 가공용 고정지그에서 상기 안착부는, 관통구 멍과, 상기 구멍의 상단부에 형성된 안착턱을 포함하고, 상기 페리클 프레임용 박판은 상기 안착턱에 안착되는 것을 특징으로 한다.In addition, the seating portion in the jig for processing the pericle frame of the present invention, the through-hole yoke, and the seating jaw formed in the upper end of the hole, the thin plate for the pericle frame is characterized in that seated on the seating jaw .

이하에서는 첨부된 도면 1 내지 도면 3을 참조하여 본 고안의 일 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings 1 to 3 will be described an embodiment of the present invention.

도 1은 본 고안의 일실시예에 따른 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그의 단면도이고, 도 2는 본 고안의 일실시예에 따른 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그의 사시도이며, 도 3은 본 고안의 일실시예에 따른 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그의 사용상태를 설명하기 위한 도면이다.1 is a cross-sectional view of an integrated fixing jig for processing a pericle frame according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view of an integrated fixing jig for processing a pericle frame according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is 1 is a view for explaining the state of use of the fixed jig for machining the frame frame in accordance with one embodiment.

먼저, 도 1을 참조하여 그 구조에 대해서 설명하면 다음과 같다.First, the structure will be described with reference to FIG. 1.

본 실시예의 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그(100)는 페리클 프레임용 박판을 안착시키기 위한 베이스(30)와, 상기 베이스(30)에 안착된 페리클 프레임용 박판(20)의 일부와 접촉하여 외부의 압력에 의해 상기 페리클 프레임용 박판(20)을 고정하기 위한 일체형 가압 프레임(13)와, 상기 일체형 가압 프레임(13)에 압력을 가하기 위한 복수의 클램프(10)를 포함한다.The fixed jig for fixing the frame 100 of the embodiment of the present embodiment is in contact with the base 30 for seating the thin plate for the pellicle frame, and a part of the thin plate 20 for the pellicle frame seated on the base 30 It includes an integral pressure frame 13 for fixing the thin plate 20 for the pericle frame by an external pressure, and a plurality of clamps 10 for applying pressure to the integral pressure frame 13.

상기 베이스(30)는 중앙부분에 구멍(31)이 형성되고, 상기 구멍(31)의 상단부에는 페리클 프레임용 박판(20)을 안착하기 위한 안착턱(32)이 더 형성되어 있다. 상기 구멍(31)은 안착턱(32)에 안착된 페리클 프레임용 박판(20)의 내경의 가공시 별도의 공구가 원활히 이동하기 위해 형성된 것이다. 본 실시예에서는 구멍을 예로 하여 설명하나 상기 별도의 공구의 이동에 제한을 미치지 않을 정도의 홈이 형성되어도 무방하다. The base 30 has a hole 31 formed in a central portion thereof, and a seating jaw 32 for seating the thin plate 20 for a ferrule frame is further formed at an upper end of the hole 31. The hole 31 is formed to smoothly move a separate tool during the processing of the inner diameter of the thin plate 20 for the pellicle frame seated on the seating jaw (32). In the present embodiment, a hole is described as an example, but a groove may be formed so as not to limit the movement of the separate tool.

또한, 상기 베이스(30)에는 상기 접촉바(12)의 설치위치를 가이드 하고, 상기 나사부재(11)에 의해 접촉바(12)가 가압 프레임(13)에 압력을 가할 때 접촉바(12)의 기울어짐을 방지하기 위한 가이드 핀(14)이 더 설치된다. In addition, the base 30 guides the installation position of the contact bar 12, and the contact bar 12 when the contact bar 12 pressurizes the pressure frame 13 by the screw member 11. Guide pins 14 for preventing the inclination of the further is installed.

상기 가압 프레임(13)는 도 2에 도시된 바와 같이 일정 형상의 프레임 형상으로서 하부의 일부에 걸림턱(13b)이 형성되어 있고, 상부면의 일부는 경사면(13a)이 형성되어 있다. 도 2에 도시된 바와 같이 가압 프레임(13)는 베이스(30)의 상부면에 위치하여 상기 베이스(30)의 안착턱(32)에 안착된 페리클 프레임용 박판(20)의 외부측을 따라 상기 걸림턱(13b)이 접촉하는 것이다. 또한, 상기 경사면(13a)에 의하여 내경 가공을 위한 별도의 공구의 삽입 시 간섭을 받지 않는다. As shown in FIG. 2, the pressing frame 13 has a predetermined frame shape, and a locking jaw 13b is formed at a portion of the lower portion, and a slope 13a is formed at a portion of the upper surface. As shown in FIG. 2, the pressing frame 13 is located on the upper surface of the base 30 and is located along the outer side of the thin plate 20 for the pellicle frame seated on the seating jaw 32 of the base 30. The locking step 13b is in contact. In addition, the inclined surface (13a) does not interfere when the insertion of a separate tool for the inner diameter machining.

상기 클램프(10)는 상기 가압 프레임(13)의 상부면에 접촉하는 접촉바(12)와, 상기 접촉바(12)의 상부에서 관통하여 베이스(30)에 체결되는 나사부재(11)를 포함한다. 따라서, 상기 복수의 나사부재(11)를 조임으로서 접촉바(12)가 가압 프레임(13)를 강하게 누르도록 하여 가압 프레임(13)에 의해 베이스(30)의 안착턱(32)에 안착된 페리클 프레임용 박판(20)을 고정하게 된다.The clamp 10 includes a contact bar 12 contacting the upper surface of the pressing frame 13, and a screw member 11 penetrating through the upper portion of the contact bar 12 and fastened to the base 30. do. Accordingly, the ferry seated on the seating jaw 32 of the base 30 by the pressing frame 13 by pressing the plurality of screw members 11 so that the contact bar 12 presses the pressing frame 13 strongly. The thin plate 20 for the clam frame is fixed.

이때, 상기 가이드핀(14)에 의해 접촉바(12)의 기울어짐이 방지된다. 즉, 나사부재(11)의 조임력에 의해 접촉바(12)가 기울어짐이 발생할 수 있으나, 상기 가이드핀(14)에 의해 기울어짐이 방지되는 것이다. At this time, the inclination of the contact bar 12 is prevented by the guide pin 14. That is, the contact bar 12 may be inclined due to the tightening force of the screw member 11, but the inclination may be prevented by the guide pin 14.

또한, 상기 가이드핀(14)은 상기 베이스(30)에 미리 설치되어 있는 것으로서, 상기 접촉바(12)의 설치위치를 안내한다.In addition, the guide pin 14 is previously installed in the base 30, and guides the installation position of the contact bar 12.

본 실시예에서 사각형상의 페리클 프레임을 가공함을 일예로 하여 설명하였 으나 이에 한정되는 것은 아니다. 특히 상기 각각의 가압 프레임(13)가 분리형이 아닌 일체형으로 구비되어 있어, 가압 프레임이 페리클 프레임 박판에 균일한 압력을 가하여 지지함으로서 내경 가공시 별도의 공구에 의해 작용되는 압력에도 페리클 프레임 박판의 위치가 변하지 않는 장점이 있다.In the present embodiment, but described as an example of processing a rectangular pericle frame, but is not limited thereto. In particular, since each of the pressing frame 13 is provided as an integral type rather than a separate type, the pressing frame is supported by applying a uniform pressure to the thin frame of the pellicle frame, even when the pressure is applied by a separate tool during internal diameter machining There is an advantage that the position of does not change.

상기와 같은 본 고안의 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그는 페리클 프레임용 박판을 작업대에 견고하게 고정시켜 내경을 가공하려 할 때 견고한 지지에 의한 내경가공작업의 효율성을 향상시키는 장점이 있다.Integral fixing jig for processing the pellicle frame of the present invention as described above has the advantage of improving the efficiency of the inner diameter processing by a solid support when trying to process the inner diameter by firmly fixing the thin plate for the pellicle frame on the workbench.

또한, 본 고안의 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그는 가압 프레임이 분리형이 아닌 일체형으로 구비되어 있어, 가압 프레임에 의해 지지되는 페리클 프레임 박판에 균일한 압력을 인가하여 고정력이 향상되는 장점이 있다.In addition, the fixed jig for processing the pericle frame of the present invention is provided with a pressure frame is not a separate type, it is an advantage that the fixed force is improved by applying a uniform pressure to the thin plate of the ferrule frame supported by the pressure frame.

또한, 상기 일체형 가압 프레임은 분리 가능한 것으로서, 다양한 사이즈의 페리클 프레임을 제조하기 위한 페리클 프레임용 박판 및 베이스에 호환이 가능한 장점이 있다.In addition, the integrated pressure frame is removable, there is an advantage that is compatible with the thin plate and base for the pellicle frame for manufacturing a pellicle frame of various sizes.

앞에서 설명된 본 고안의 일실시예는 본 고안의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 고안의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 고안의 기술분야에서 통상의 지식을 가진자는 본 고안의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서, 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진자에게 자명한 것인 한 본 고안의 보호범위에 속하게 될 것이다.One embodiment of the present invention described above should not be construed as limiting the technical spirit of the present invention. The scope of protection of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art may change and change the technical idea of the present invention in various forms. Therefore, such improvements and modifications will fall within the protection scope of the present invention as long as it will be apparent to those skilled in the art.

Claims (4)

페리클 프레임용 박판의 내경 가공용 지그로서,As a jig for inner diameter processing of a thin plate for a pellicle frame, 상부면에 페리클 프레임용 박판을 안착시키기 위한 안착부가 형성된 베이스와, A base having a seating portion for seating the thin plate for the pellicle frame on the upper surface; 상기 베이스의 안착부에 안착된 페리클 프레임용 박판의 가장자리면을 따라 일체형으로 형성되어, 일부가 상기 박판의 상부면 일부에 접촉하여 고정하기 위해 착탈가능하게 설치되는 가압 프레임와,A pressing frame which is integrally formed along the edge surface of the thin plate for the pellicle frame seated on the seating portion of the base, and is detachably installed to contact and fix a portion of the upper surface of the thin plate; 상기 가압 프레임의 상면에 접촉하여 상기 가압 프레임에 하방으로 작용하는 압력을 가하여 가압 프레임이 상기 페리클 프레임용 박판을 고정하도록 하는 복수의 클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그.And a plurality of clamps for contacting the upper surface of the pressing frame to apply pressure acting downward to the pressing frame to fix the pressing frame to the thin plate for the pellicle frame. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 복수의 클램프는,The plurality of clamps, 상기 가압 프레임의 상면에 접촉하는 접촉바와,A contact bar contacting the upper surface of the pressing frame; 상기 접촉바의 상부에서 접촉바를 관통하여 베이스에 체결되는 나사부재를 포함하며,A screw member which is fastened to the base by penetrating the contact bar at an upper portion of the contact bar, 상기 나사부재를 이용하여 접촉바가 가압 프레임에 압력을 가하도록 하는 특징을 포함하는 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그.The fixed jig for processing a pericle frame comprising a feature that the contact bar to apply pressure to the pressing frame by using the screw member. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 베이스에는 상기 접촉바의 설치위치를 가이드 하고, 상기 나사부재에 의해 접촉바가 가압 프레임에 압력을 가할 때 접촉바의 기울어짐을 방지하기 위한 가이드 핀이 더 설치된 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그.The base guides the installation position of the contact bar, and a guide pin is installed to prevent the contact bar from tilting when the contact bar pressurizes the pressure frame by the screw member. Jig. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 안착부는,The seating portion, 관통구멍과, 상기 구멍의 상단부에 형성된 안착턱을 포함하고, A through hole and a seating jaw formed at an upper end of the hole; 상기 페리클 프레임용 박판은 상기 안착턱에 안착되는 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 가공용 일체형 고정지그.The thin plate for the pellicle frame is fixed integral jig for processing pellicle frame, characterized in that seated on the seating jaw.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200451555Y1 (en) * 2008-06-26 2010-12-21 현대제철 주식회사 A jig for clamping of shear knife
KR101085484B1 (en) 2011-08-25 2011-11-22 (주) 티오피에스 Fixing jig for water-jet
KR101137956B1 (en) * 2009-10-06 2012-05-10 유한회사 옵티칼 Eye-glasses lens fixation jig

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