KR200423661Y1 - Fixing jig for anodizing of pellicle frame - Google Patents

Fixing jig for anodizing of pellicle frame Download PDF

Info

Publication number
KR200423661Y1
KR200423661Y1 KR2020060014414U KR20060014414U KR200423661Y1 KR 200423661 Y1 KR200423661 Y1 KR 200423661Y1 KR 2020060014414 U KR2020060014414 U KR 2020060014414U KR 20060014414 U KR20060014414 U KR 20060014414U KR 200423661 Y1 KR200423661 Y1 KR 200423661Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pellicle frame
fixing
anodizing
jig
fixed
Prior art date
Application number
KR2020060014414U
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이장희
Original Assignee
주식회사 에프에스티
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에프에스티 filed Critical 주식회사 에프에스티
Priority to KR2020060014414U priority Critical patent/KR200423661Y1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR200423661Y1 publication Critical patent/KR200423661Y1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
    • G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

본 고안은 펠리클 프레임 가공용 지그에 관한 것으로서, 더 상세하게는 펠리클 프레임의 표면처리를 위한 아노다이징 공정시 펠리클 프레임을 용이하게 고정 지지하고자 하는 프레클 프레임 가공용 고정지그에 관한 것이다. The present invention relates to a jig for pellicle frame processing, and more particularly, to a jig for preckle frame processing to easily fix and support a pellicle frame during anodizing process for surface treatment of a pellicle frame.

본 고안의 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그는 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그로서, 펠리클 프레임을 고정하기 위한 복수의 고정살이 길이방향으로 형성되고, 서로 대칭적으로 마주보도록 설치되며, 도체인 제1 및 제2 고정부재와, 상기 제1 및 제2 고정부재가 결합수단에 의해 고정 설치되고, 외부의 전원을 상기 제1 및 제2 고정부재에 전달하도록 하는 전극봉을 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명의 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그에서, 상기 전극봉은, 상기 각각의 제1 및 제2 고정부재를 설치하기 위한 제1 안착바 및 제2 안착바가 상하방향으로 일정간격 이격되어 더 설치되고, 상기 각각의 제1 및 제2 고정부재는 상기 각각의 제1 안착바 및 제2 안착바에 안착되어 결합수단에 의해 고정되며, 상기 펠리클 프레임은 상기 제1 및 제2 고정부재의 상호 마주보는 복수의 고정살이 상호 반대방향으로 가압하여 지지되는 것을 특징으로 한다.The fixed jig for pellicle frame anodizing according to the present invention is a fixed jig for pellicle frame anodizing, and a plurality of fixing teeth for fixing the pellicle frame are formed in the longitudinal direction and are installed to face each other symmetrically, and the first and second conductors The fixing member, and the first and second fixing member is fixed by the coupling means, characterized in that it comprises an electrode rod for transmitting the external power to the first and second fixing member. In addition, in the fixed jig for pellicle frame anodizing of the present invention, the electrode rod, the first seating bar and the second seating bar for installing the respective first and second fixing member are further installed at regular intervals in the vertical direction The first and second fixing members are seated on the first and second mounting bars, respectively, and are fixed by the coupling means, and the pellicle frame is provided with a plurality of mutually facing first and second fixing members. It is characterized in that the fixing teeth are supported by pressing in opposite directions to each other.

펠리클 프레임, 아노다이징, 지그 Pellicle frame, anodizing, jig

Description

펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그{FIXING JIG FOR ANODIZING OF PELLICLE FRAME}Fixing jig for pellicle frame anodizing {FIXING JIG FOR ANODIZING OF PELLICLE FRAME}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그를 보이는 사시도1 is a perspective view showing a fixing jig for pellicle frame anodizing according to an embodiment of the present invention

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그의 부분 분해 사시도Figure 2 is a partially exploded perspective view of the fixing jig for pellicle frame anodizing according to an embodiment of the present invention

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그의 고정부재를 설명하기 위한 도면Figure 3 is a view for explaining a fixing member of the fixed jig for pellicle frame anodizing according to an embodiment of the present invention

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그의 고정살의 동작을 설명하기 위한 도면Figure 4 is a view for explaining the operation of the fixing teeth of the fixed jig for pellicle frame anodizing according to an embodiment of the present invention

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그의 사용상태를 설명하기 위한 도면5 is a view for explaining the state of use of the fixed jig for pellicle frame anodizing according to an embodiment of the present invention;

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 전극봉 20 고정부재10 Electrode 20 Fixing member

31 볼트 32 너트31 bolt 32 nut

40 펠리클 프레임40 pellicle frames

본 고안은 펠리클 프레임 가공용 지그에 관한 것으로서, 더 상세하게는 펠리클 프레임의 표면처리를 위한 아노다이징 공정시 펠리클 프레임을 용이하게 고정 지지하고자 하는 프레클 프레임 가공용 고정지그에 관한 것이다. The present invention relates to a jig for pellicle frame processing, and more particularly, to a jig for preckle frame processing to easily fix and support a pellicle frame during anodizing process for surface treatment of a pellicle frame.

일반적으로 IC, LSI 등의 직접회로의 제조 및 액정 표시판의 제조에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정 표시용 원판에 패턴을 형성하기 위해 사용되는 포토마스크와 레티클에는 노광되는 패턴 상에 분진 등의 이물질이 부착되거나, 포토마스크와 레티클 상에 이물질이 부착되어 노광 시에 이물질의 그림자가 투영되는 것을 방지하기 위해 펠리클을 장착하여 노광한다.In general, in the manufacture of integrated circuits such as ICs and LSIs, and in the manufacture of liquid crystal displays, foreign substances such as dust are deposited on the exposed patterns on photomasks and reticles used to form patterns on semiconductor wafers or liquid crystal displays. Alternatively, foreign matter is attached on the photomask and the reticle to expose the pellicle to prevent the shadow of the foreign material is projected during exposure.

즉, 펠리클 프레임에 부착된 펠리클막은 일정한 회로 패턴이 형성된 포토마스크의 상하에 부착되어 포토마스크에 형성된 회로 패턴을 보호하며, 먼지 등의 불순물이 부착되어 패턴을 형성할 때 불량을 줄이기 위하여 사용되는 것으로서, 상세하게는 감광성 기판 또는 웨이퍼(wafer) 상에 영상을 형성하는 투시 인쇄 시스템(Projection Printing Systems)은 특히 집적회로의 제조에 있어서 포토레지스트-피복 반도체 웨이퍼를 노출시키는데 적합하다. 펠리클 막은 펠리클 프레임(frame) 상에 지지가 된 얇고, 빛의 투과성이 높은 필름으로서, 통상적으로, 펠리클 프레임은 마스크에 부착되어 있고, 광학 필름은 마스크 표면으로부터 일정거리로 떨어져 펠리클 프레임의 타단에 부착되어 있어, 마스크 상에 부착되어 웨이퍼 상에 투시될 수 있는 먼지 입자 대신에 펠리클 막 상에 부착되어 먼지의 형상이 패턴을 형성시 키는 표면상에서 분산될 것이다.That is, the pellicle film attached to the pellicle frame is used to protect the circuit pattern formed on the photomask by attaching the upper and lower portions of the photomask on which a certain circuit pattern is formed, and to reduce defects when the pattern is formed by attaching impurities such as dust. Projection Printing Systems, which form images on photosensitive substrates or wafers in detail, are particularly suitable for exposing photoresist-coated semiconductor wafers, particularly in the manufacture of integrated circuits. A pellicle film is a thin, high-transmissive film supported on a pellicle frame. Typically, the pellicle frame is attached to a mask, and the optical film is attached to the other end of the pellicle frame at a distance from the mask surface. So that the shape of the dust will be dispersed on the surface forming the pattern instead of the dust particles that can be deposited on the mask and seen on the wafer.

결과적으로 펠리클막을 통상적인 투시 인쇄 시스템에 사용하는 경우에, 하나 이상의 먼지 입자는 주어진 웨이퍼, LCD 회로 패턴, 컬러필터의 패턴 또는 PDP 회로 등의 패턴형성에 영향을 주지 못하게 하는 역할을 하는 것이다.As a result, when the pellicle film is used in a conventional perspective printing system, one or more dust particles serve to prevent the formation of a pattern of a given wafer, LCD circuit pattern, color filter pattern, or PDP circuit.

상기와 같은 펠리클 프레임은 알루미늄합금 및 스테인리스강과 같은 금속재료와 폴리에틸렌과 같은 플라스틱 수지를 포함하여 견고한 재료로부터 제조되기는 하지만, 저분자량임에도 불구하고 기계적 강도가 높은 점에서 알루미늄 합금이 가장 통상적인 펠리클 프레임의 재료로 이용된다. 상기와 같은 펠리클 프레임은 형상 가공 후의 표면에 형성되는 스크래치(흠집)는 포토마스크 공정에서 난반사 현상이나 빛의 굴절 현상 등을 유발하여, 추후 반도체나 LCD 제조 공정 등에 영향을 주기 때문에 알루미늄 합금으로 제조한 펠리클 프레임의 표면에는 통상 양극 산화(anodization : 이하 아노다이징이라 함)에 의해 산화 필름이 제공되어 표면의 경도를 증대시키고, 산란광을 방지하기 위해 산화필름을 검게 착색시킨다. Although the pellicle frame is made from a rigid material including metal materials such as aluminum alloy and stainless steel and plastic resin such as polyethylene, aluminum alloy is the most common pellicle frame in view of high mechanical strength despite low molecular weight. Used as a material. The pellicle frame as described above is made of aluminum alloy because scratches (scratches) formed on the surface after the shape processing cause diffuse reflection phenomenon or refraction of light in the photomask process, and thus affect the semiconductor or LCD manufacturing process later. The surface of the pellicle frame is usually provided with an oxide film by anodization (hereinafter referred to as anodizing) to increase the hardness of the surface and to blacken the oxide film to prevent scattered light.

상기 아노다이징 공정은 형상가공이 완료된 펠리클 프레임을 고정수단을 이용하여 고정하고, 전해액에 침수시킨 후 펠리클 프레임을 양극(+)으로 하여 통전하면 양극, 즉 펠리클 프레임에 발생하는 산소에 의해 그 표면이 산화되어 일정 피막이 형성되어 표면처리가 되는 것이다. In the anodizing process, the pellicle frame, which has been processed in shape, is fixed using a fixing means, and the surface is oxidized by oxygen generated in the anode, that is, the pellicle frame when the pellicle frame is positively energized after being immersed in the electrolyte solution. As a result, a certain film is formed to be surface treated.

이때, 상기 고정수단이 접촉하는 부위는 아노다이징 처리가 되지 않아 스크래치 발생의 원인이 되기도 하는데, 펠리클 프레임의 아노다이징 공정시 접촉부위가 최소화 되는 고정수단의 필요성이 대두된다.At this time, the contact portion is in contact with the fixing means is not anodizing it may cause a scratch, there is a need for a fixing means to minimize the contact area during the anodizing process of the pellicle frame.

본 고안은 상기와 같은 필요성에 의해 고안된 것으로서, 형상 가공이 완료된 펠리클 프레임의 표면처리를 위해 아노다이징 공정시 펠리클 프레임을 지지하기 위한 고정 지그로서, 접촉부위를 최소화 하고, 용이하게 펠리클 프레임을 지지할 수 있는 펠리클 프레임 가공용 고정지그를 제공함에 그 목적이 있다. The present invention has been devised by the necessity as described above, as a fixing jig for supporting the pellicle frame during the anodizing process for the surface treatment of the pellicle frame, the shape processing is completed, the contact area can be minimized, and the pellicle frame can be easily supported. The object is to provide a fixed jig for processing a pellicle frame.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그는 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그로서, 펠리클 프레임을 고정하기 위한 복수의 고정살이 길이방향으로 형성되고, 서로 대칭적으로 마주보도록 설치되며, 도체인 제1 및 제2 고정부재와, 상기 제1 및 제2 고정부재가 결합수단에 의해 고정 설치되고, 외부의 전원을 상기 제1 및 제2 고정부재에 전달하도록 하는 전극봉을 포함하는 것을 특징으로 한다.Fixing jig for pellicle frame anodizing of the present invention for achieving the above object is a fixed jig for pellicle frame anodizing, a plurality of fixing teeth for fixing the pellicle frame is formed in the longitudinal direction, installed to face each other symmetrically, the conductor And first and second fixing members, and the first and second fixing members are fixedly installed by the coupling means, and including an electrode rod for transmitting external power to the first and second fixing members. do.

또한, 본 발명의 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그에서, 상기 전극봉은, 상기 각각의 제1 및 제2 고정부재를 설치하기 위한 제1 안착바 및 제2 안착바가 상하방향으로 일정간격 이격되어 더 설치되고, 상기 각각의 제1 및 제2 고정부재는 상기 각각의 제1 안착바 및 제2 안착바에 안착되어 결합수단에 의해 고정되며, 상기 펠리클 프레임은 상기 제1 및 제2 고정부재의 상호 마주보는 복수의 고정살이 상호 반대방향으로 가압하여 지지되는 것을 특징으로 한다.In addition, in the fixed jig for pellicle frame anodizing of the present invention, the electrode rod, the first seating bar and the second seating bar for installing the respective first and second fixing member are further installed at regular intervals in the vertical direction The first and second fixing members are seated on the first and second mounting bars, respectively, and are fixed by the coupling means, and the pellicle frame is provided with a plurality of mutually facing first and second fixing members. It is characterized in that the fixing teeth are supported by pressing in opposite directions to each other.

또한, 본 발명의 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그에서 상기 복수의 고정살은, 상기 각각의 안착바에 고정된 부위에서 폭방향으로 연장되어, 그 선단에는 펠리클 프레임의 외면과 접촉하기 위해 쐐기형 요입부가 형성되고, 단부가 하방으로 절곡되어 있으며, 상기 요입부에 접촉된 펠리클 프레임을 탄성으로 가압하기 위하여 일정 부분 꺽임면이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In addition, in the fixing jig for pellicle frame anodizing of the present invention, the plurality of fixing teeth extend in the width direction at the portions fixed to the respective seating bars, and the wedge-shaped indents are formed at the front end thereof so as to contact the outer surface of the pellicle frame. It is characterized in that the end is bent downward, a certain portion of the bent surface is formed to elastically press the pellicle frame in contact with the concave inlet.

또한, 본 발명의 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그에서 상기 각각의 제1 및 제2 고정부재의 복수의 고정살은, 상기 제1 안착바 및 제2 안착바의 고정부위를 중심으로 좌우 대칭형으로 더 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, in the fixing jig for pellicle frame anodizing of the present invention, the plurality of fixing teeth of each of the first and second fixing members may be further symmetrically formed about the fixing portions of the first seating bar and the second seating bar. It is characterized by.

이하에서는 첨부된 도면 1 내지 도면 5를 참조하여 본 고안의 일 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings 1 to 5 will be described an embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그를 보이는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그의 부분 분해 사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그의 고정부재를 설명하기 위한 도면이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그의 고정살의 동작을 설명하기 위한 도면이며, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그의 사용상태를 설명하기 위한 도면이다.1 is a perspective view showing a fixing jig for pellicle frame anodizing according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a partially exploded perspective view of a fixing jig for pellicle frame anodizing according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is an embodiment of the present invention 4 is a view for explaining a fixing member of the pellicle frame anodizing fixing jig according to an embodiment, Figure 4 is a view for explaining the operation of the fixing blade of the pellicle frame anodizing fixing jig according to an embodiment of the present invention, Figure 5 It is a view for explaining the state of use of the fixing jig for pellicle frame anodizing according to an embodiment of the present invention.

먼저, 도 1을 참조하여 그 구조에 대해서 설명하면 다음과 같다.First, the structure will be described with reference to FIG. 1.

본 실시예의 아노다이징 공정시 펠리클 프레임을 고정하고, 외부의 전원을 펠리클 프레임에 전달하기 위한 고정지그(100)는 펠리클 프레임을 고정하기 위한 고정살(21)이 길이방향으로 복수개 형성되고, 서로 대칭적으로 상하방향 마주보도록 설치되며, 도체인 제1 및 제2 고정부재(20a,20b)와, 상기 제1 및 제2 고정부 재(20a,20b)가 상하방향으로 설치되고, 외부의 전원을 상기 제1 및 제2 고정부재(20a,20b)에 전달하도록 하는 전극봉(10)을 포함한다. In the anodizing process of the present embodiment, the fixing jig 100 for fixing the pellicle frame and transmitting external power to the pellicle frame has a plurality of fixing teeth 21 for fixing the pellicle frame in the longitudinal direction, and are symmetric with each other. The first and second fixing members 20a and 20b and the first and second fixing members 20a and 20b which are conductors are installed in the vertical direction, and the external power source is And an electrode rod 10 to be delivered to the first and second fixing members 20a and 20b.

상기 전극봉(10)은 일단이 외부의 전원부와 연결되도록 절곡된 절곡부(11)를 포함한다. 상기 전극봉(10)의 중앙부위와 절곡부(11)의 반대측부에는 상기 각각의 제1 및 제2 고정부재(20a,20b)를 설치하기 위한 제1 안착바 및 제2 안착바(13a,13b)가 상하방향으로 일정간격 이격되어 더 설치되고, 상기 각각의 제1 및 제2 고정부재(20a,20b)는 상기 각각의 제1 안착바 및 제2 안착바(13a,13b)에 안착되어 결합수단(31,32)에 의해 고정된다. 따라서, 상기 펠리클 프레임(40)은 상기 제1 및 제2 고정부재(20a,20b)의 상호 마주보는 복수의 고정살(21)이 상호 반대방향으로 가압하여 지지되는 것이다. 상기 복수의 고정살(21)은 상기 각각의 안착바(13a,13b)에 고정된 부위에서 폭방향으로 연장되고, 그 선단에는 펠리클 프레임(40)의 외면을 접촉하기 위한 쐐기형 요입부(24)가 형성되며, 그 단부가 하방으로 절곡되도록 형성되고, 상기 요입부(24)에 접촉되는 펠리클 프레임(40)에 탄성을 가하여 지지하기 위해 형성된 꺽임면(23)을 포함한다.The electrode rod 10 includes a bent portion 11 bent so that one end is connected to an external power supply portion. First and second mounting bars 13a and 13b for installing the first and second fixing members 20a and 20b on opposite sides of the center portion and the bent portion 11 of the electrode 10, respectively. ) Is further spaced apart by a predetermined interval in the vertical direction, and the respective first and second fixing members 20a and 20b are seated and coupled to the respective first seating bars and the second seating bars 13a and 13b. It is fixed by means 31 and 32. Therefore, the pellicle frame 40 is supported by a plurality of fixing teeth 21 facing each other of the first and second fixing members 20a, 20b are pressed in opposite directions. The plurality of fixing teeth 21 extend in the width direction at the portions fixed to the respective mounting bars 13a and 13b, and the wedge-shaped indents 24 for contacting the outer surface of the pellicle frame 40 at the front end thereof. ) Is formed, and the end portion thereof is bent downward, and includes a bent surface 23 formed to elastically support the pellicle frame 40 in contact with the recess 24.

즉, 상기 제1 고정부재(20a)의 고정살(21)과 상하방향으로 마주보는 제2 고정부재(20b)의 고정살(21)의 사이에 펠리클 프레임(40)을 삽입하여 지지하도록 하는데, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 고정살(21)에는 꺽임면(23)이 형성되어 있어서 상하방향으로 탄성이 작용되므로, 상하방향으로 서로 마주보는 제 1고정부재 및 제2 고정부재(20a,20b)의 고정살(21)은 서로 반대방향으로 탄성력을 발생하게 된다. 따라서, 상하방향으로 서로 마주보는 제 1고정부재 및 제2 고정부재(20a,20b) 의 고정살(21)의 요입부(24)에 접촉한 펠리클 프레임(40)은 상기 탄성력에 의해 강하게 고정되는 것이다. That is, the pellicle frame 40 is inserted and supported between the fixing teeth 21 of the first fixing member 20a and the fixing teeth 21 of the second fixing member 20b facing in the vertical direction. As shown in FIG. 4, since the bent surface 23 is formed on the fixing bar 21 and elasticity is applied in the vertical direction, the first fixing member and the second fixing member 20a and 20b facing each other in the vertical direction are provided. The fixing teeth 21 of) generate elastic forces in opposite directions to each other. Therefore, the pellicle frame 40 in contact with the recess 24 of the fixing teeth 21 of the first fixing member and the second fixing member 20a, 20b facing each other in the vertical direction is strongly fixed by the elastic force. will be.

한편, 상기 요입부(24)는 쐐기형으로 형성함이 바람직 하다. 통상의 아노다이징 공정이 일정 성분의 전해액 내에 상기 펠리클 프레임을 침수 시킨 후 상기 전극봉(10)을 통해 전원을 상기 펠리클 프레임(40)에 전달하여 펠리클 프레임(40)의 표면에 산화 알미늄 막이 씌워지도록 하는바, 상기 펠리클 프레임(40)을 고정하기 위해 고정부재와 접촉하는 부분에는 아노다이징 처리가 되지 않는 문제가 있다. 또한, 고정부재와 접촉하는 부분이 헐거우면 전원의 누설로 인해 스파크가 발생하게 되는 문제가 있다. 따라서, 본 실시예에서는 상기 펠리클 프레임(40)을 고정하기 위한 요입부(24)를 쐐기형으로 형성하여 그 접촉부위가 최소화 되도록 하며, 상기 꺽임면(23)에 의한 탄성 가압력으로 가압함으로서 헐거워 지는 현상을 미리 방지한다.On the other hand, the concave portion 24 is preferably formed in a wedge shape. Conventional anodizing process is to immerse the pellicle frame in the electrolyte of a certain component and then transfer the power to the pellicle frame 40 through the electrode rod 10 so that the aluminum oxide film is covered on the surface of the pellicle frame 40 In order to fix the pellicle frame 40, there is a problem that the anodizing treatment is not performed at the portion in contact with the fixing member. In addition, there is a problem that a spark occurs due to leakage of power when the part in contact with the fixing member is loose. Therefore, in the present embodiment, the concave inlet portion 24 for fixing the pellicle frame 40 is formed in a wedge shape so that the contact portion thereof is minimized, and is loosened by pressing the elastic force by the bending surface 23. Prevent the phenomenon in advance.

또한, 상기 고정부재(20a,20b)의 재질은 펠리클 프레임(40)의 재질과 동일하게 알루미늄으로 함이 바람직 하다. 이는 탄성 가압력으로 가압할 때, 재질차이로 인해 발생하는 펠리클 프레임(40)에 흠집이 발생하는 것을 방지하기 위함이다. In addition, the material of the fixing member (20a, 20b) is preferably made of aluminum, the same as the material of the pellicle frame (40). This is to prevent scratches in the pellicle frame 40 generated due to the material difference when pressed by the elastic pressing force.

또한, 도 5에 도시된 바와 같이 본 실시예의 각각의 고정부재(20a,20b)의 고정살(21)은 상기 제1 안착바 및 제2 안착바(13a,13b)의 고정부위를 중심으로 좌우 대칭형으로 형성하여 많은 개수의 펠리클 프레임(40)의 아노다이징 공정이 가능하도록 하여 작업의 효율성이 향상되도록 한다.In addition, as shown in FIG. 5, the fixing teeth 21 of the fixing members 20a and 20b of the present embodiment are left and right around the fixing portions of the first and second seating bars 13a and 13b. Formed symmetrically to enable the anodizing process of a large number of pellicle frame 40 to improve the efficiency of the work.

상기와 같은 본 고안의 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그는 그 고정부재와 펠리클 프레임과의 접촉점을 최소화 하여 펠리클 프레임의 표면처리의 신뢰성을 향상시키는 장점이 있다.The fixed jig for pellicle frame anodizing of the present invention as described above has an advantage of improving the reliability of the surface treatment of the pellicle frame by minimizing a contact point between the fixing member and the pellicle frame.

또한, 펠리클 프레임을 탄성 가압력으로 가압하여 고정하게 됨으로서, 고정부재와 펠리클 프레임의 사이에 스파크 발생이 방지되는 장점이 있다. In addition, the pellicle frame is fixed by pressing the elastic force, there is an advantage that the spark is prevented between the fixing member and the pellicle frame.

또한, 상기 고정부재를 펠리클 프레임의 재질과 동일한 재질로 형성함으로서, 탄성 가압력이 펠리클 프레임에 가해질 때, 그 접촉부위에 재질차이로 인해 발생하는 스크래치등이 방지되는 장점이 있다. In addition, by forming the fixing member of the same material as the material of the pellicle frame, when the elastic pressing force is applied to the pellicle frame, there is an advantage that the scratches, etc. generated due to the material difference in the contact portion is prevented.

앞에서 설명된 본 고안의 일실시예는 본 고안의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 고안의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 고안의 기술분야에서 통상의 지식을 가진자는 본 고안의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서, 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진자에게 자명한 것인 한 본 고안의 보호범위에 속하게 될 것이다.One embodiment of the present invention described above should not be construed as limiting the technical spirit of the present invention. The scope of protection of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art may change and change the technical idea of the present invention in various forms. Therefore, such improvements and modifications will fall within the protection scope of the present invention as long as it will be apparent to those skilled in the art.

Claims (4)

펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그로서,As a fixed jig for pellicle frame anodizing, 펠리클 프레임을 고정하기 위한 고정살이 길이방향으로 복수로 형성되고, 서로 대칭적으로 마주보도록 설치되며, 도체인 제1 및 제2 고정부재와,A plurality of fixing teeth for fixing the pellicle frame are formed in the longitudinal direction, and are installed to face each other symmetrically, the first and second fixing members which are conductors, 상기 제1 및 제2 고정부재가 결합수단에 의해 고정 설치되고, 외부의 전원을 상기 제1 및 제2 고정부재에 전달하도록 하는 전극봉을 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그.The fixing jig for pellicle frame anodizing, characterized in that the first and second fixing member is fixedly installed by the coupling means, the electrode rod for transmitting external power to the first and second fixing member. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전극봉은,The electrode rod, 상기 각각의 제1 및 제2 고정부재를 설치하기 위한 제1 안착바 및 제2 안착바가 상하방향으로 일정간격 이격되어 더 설치되고,The first seating bar and the second seating bar for installing the respective first and second fixing members are further installed at regular intervals in the vertical direction, 상기 각각의 제1 및 제2 고정부재는 상기 각각의 제1 안착바 및 제2 안착바에 안착되어 결합수단에 의해 고정되며,Each of the first and second fixing members is seated on the respective first seating bar and the second seating bar and fixed by the coupling means, 상기 펠리클 프레임은 상기 제1 및 제2 고정부재의 상호 마주보는 복수의 고정살이 상호 반대방향으로 가압하여 지지되는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그.The pellicle frame is fixed jig for pellicle frame anodizing, characterized in that a plurality of fixing teeth facing each other of the first and the second fixing member is pressed in the opposite direction. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 복수의 고정살은,The plurality of fixed teeth, 상기 각각의 안착바에 고정된 부위에서 폭방향으로 연장되어, 그 선단에는 펠리클 프레임의 외면과 접촉하기 위해 쐐기형 요입부가 형성되고, 단부가 하방으로 절곡되어 있으며, 상기 요입부에 접촉된 펠리클 프레임을 탄성으로 가압하기 위하여 일정 부분 꺽임면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그.Extends in the width direction at a portion fixed to each of the seating bars, and a wedge-shaped recess is formed at its tip to contact the outer surface of the pellicle frame, the end is bent downward, and the pellicle frame is in contact with the recess A fixed jig for pellicle frame anodizing, characterized in that a certain portion of the bent surface is formed to press elastically. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 각각의 제1 및 제2 고정부재의 복수의 고정살은,The plurality of fixing teeth of each of the first and second fixing members, 상기 제1 안착바 및 제2 안착바의 고정부위를 중심으로 좌우 대칭형으로 더 형성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징용 고정지그.Fixing jig for pellicle frame anodizing, characterized in that further formed in the left and right symmetrical around the fixing portion of the first seating bar and the second seating bar.
KR2020060014414U 2006-05-29 2006-05-29 Fixing jig for anodizing of pellicle frame KR200423661Y1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020060014414U KR200423661Y1 (en) 2006-05-29 2006-05-29 Fixing jig for anodizing of pellicle frame

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020060014414U KR200423661Y1 (en) 2006-05-29 2006-05-29 Fixing jig for anodizing of pellicle frame

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR200423661Y1 true KR200423661Y1 (en) 2006-08-09

Family

ID=41772271

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020060014414U KR200423661Y1 (en) 2006-05-29 2006-05-29 Fixing jig for anodizing of pellicle frame

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200423661Y1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101332356B1 (en) * 2012-02-28 2013-11-22 주식회사 동원하이텍 Pellicle frame coating jig
KR102236262B1 (en) 2020-08-10 2021-04-05 주식회사 삼원알텍 Jig for surface treatment

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101332356B1 (en) * 2012-02-28 2013-11-22 주식회사 동원하이텍 Pellicle frame coating jig
KR102236262B1 (en) 2020-08-10 2021-04-05 주식회사 삼원알텍 Jig for surface treatment

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8174669B2 (en) Liquid immersion optical tool, method for cleaning liquid immersion optical tool, liquid immersion exposure method and method for manufacturing semiconductor device
JP2007088328A (en) Method for washing immersion exposure device
KR20130024878A (en) Photomask unit and method of manufacturing same
KR100935763B1 (en) Method of removing particle of pellicle
KR200423661Y1 (en) Fixing jig for anodizing of pellicle frame
JP3977377B2 (en) Exposure apparatus and device manufacturing method
CN101625528B (en) Mask clamp
US6190743B1 (en) Photomask protection system
KR200422734Y1 (en) Integrated type fixing jig for processing of pellicle frame
JP5601329B2 (en) Cleaning method, exposure method, and device manufacturing method
CN112445063A (en) Protective film frame, preparation method thereof and protective film assembly
KR200422733Y1 (en) Separate type fixing jig for processing of pellicle frame
US7029800B2 (en) Reticle with antistatic coating
KR20090068167A (en) Photomask mounting/housing device and resist inspection method and resist inspection apparatus using same
JP2005202135A (en) Method for cleaning photomask, method for manufacturing photomask, and method for handling photomask
JP2555783B2 (en) Dust prevention method for reticles and masks
CN112835266B (en) Photomask carrying platform and exposure device
EP4095601A1 (en) Pellicle frame, pellicle, method for inspecting pellicle, pellicle-attached exposure original plate and exposure method, and method for manufacturing semiconductor or liquid crystal display board
JP6975702B2 (en) Pellicle frame and pellicle
JP2012009668A (en) Method for manufacturing titanium-containing member, titanium-containing member, exposure device, and method for manufacturing device
US20020066463A1 (en) Methods and apparatus for cleaning reticles
JPH0385719A (en) Exposure method
KR20150055558A (en) Foreign substance detection method, foreign substance detection apparatus, exposure method, and method of manufacturing device
KR100439573B1 (en) Wafer holder for stepper
JP2898114B2 (en) Lithography mask defect repair method

Legal Events

Date Code Title Description
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120806

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130805

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140805

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150804

Year of fee payment: 10