KR200415595Y1 - A particle inhaling and filtering apparatus of cassette transfer line - Google Patents

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Abstract

본 고안은 카세트 반송장치(CTV)와 결합되어 레일을 따라 이동할 때 상기 레일 하부에서 발생되는 이물질이 쌓여있는 트레이(TRAY)에서 이물질을 흡입하여 필터링하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for suctioning and filtering foreign matters from a tray (TRAY), which is combined with a cassette conveying apparatus (CTV) and moves along a rail, in which foreign matters generated at the bottom of the rail are accumulated.

본 고안에 의한 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치는 레일을 벗어나지 않고 이동하기 위하여 하우징 하단부에 설치되고, 그 내부는 공기흐름이 원활하게 이루어지도록 형성되며, 상기 레일 하부에서 발생하는 미세먼지 등과 같은 이물질을 포함하는 공기를 흡입하는 파티클(particle) 흡입구가 연결되는 레일가이드; 상기 파티클(particle) 흡입구를 통해 흡입하는 동력을 제공하고, 상기 흡입된 이물질을 포함하는 공기를 분출하는 팬모터(FAN MOTER); 상기 팬모터(FAN MOTER)를 통해 상기 이물질을 포함하는 공기를 분출하는 공기분출구; 상기 분출된 이물질을 포함하는 공기를 고르게 분사하는 공기분사판; 및 상기 분사된 이물질을 포함하는 공기 중에서 상기 이물질을 걸러내는 필터;를 포함함을 특징으로 한다.The foreign material suction / filtering device of the cassette conveying line according to the present invention is installed at the lower end of the housing so as to move without leaving the rail, and the inside thereof is formed to smoothly flow the air, such as fine dust generated from the lower rail. A rail guide to which a particle inlet for sucking air containing foreign matter is connected; A fan motor providing power to suck through the particle inlet and ejecting air including the sucked foreign matter; An air outlet port for ejecting air containing the foreign matter through the fan motor; An air spraying plate for injecting air evenly containing the ejected foreign matter; And a filter for filtering the foreign matter from the air including the injected foreign matter.

본 고안에 의하면, 카세트 반송라인의 레일 하부에서 발생하는 미세 먼지 등과 같은 이물질을 흡입/필터링 함으로써 액정표시장치의 생산효율을 높일 수 있다.According to the present invention, it is possible to increase the production efficiency of the liquid crystal display by inhaling / filtering foreign substances such as fine dust generated from the lower rail of the cassette conveying line.

Description

카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치{A particle inhaling and filtering apparatus of cassette transfer line}A particle inhaling and filtering apparatus of cassette transfer line

도 1은 일반적인 카세트 반송라인을 보여주는 평면도를 도시한 것이다.1 is a plan view showing a typical cassette conveying line.

도 2a와 도 2b는 본 고안에 의한 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치를 도시한 것이다.2a and 2b shows a foreign material suction / filtering device of the cassette conveying line according to the present invention.

도 3a와 도 3b는 본 고안에 의한 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치의 레일가이드를 도시한 것이다. Figure 3a and 3b shows a rail guide of the foreign material suction / filtering device of the cassette conveying line according to the present invention.

도 4a 내지 도 4c는 본 고안에 의한 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치의 레일가이드의 제1 평면가이드와 제2 평면가이드의 결합상태를 도시한 것이다.4a to 4c illustrate a coupling state of the first planar guide and the second planar guide of the rail guide of the foreign matter suction / filtering apparatus of the cassette conveying line according to the present invention.

도 5a와 도 5b는 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치가 레일을 따라 진행하는 상태를 도시한 것이다.5A and 5B illustrate a state in which the foreign substance suction / filtering device of the cassette conveying line runs along the rail.

본 고안은 카세트 반송라인(Cassette Transfer Line)에 관한 것으로, 특히 카세트 반송대차(Cassette Transfer Vehicle: CTV)를 사용 시 발생하는 미세 먼지 등과 같은 이물질을 흡입하여 필터링하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette transfer line, and more particularly, to an apparatus for sucking and filtering foreign substances such as fine dust generated when using a cassette transfer vehicle (CTV).

최근 들어 급속한 발전을 거듭하고 있는 반도체 산업의 기술 개발에 의하여 액정표시장치는 일반적으로 액정의 특정한 분자배열에 전압을 인가하여 다른 분자배열로 변환시키고, 이러한 분자배열에 의해 발광하는 액정 셀의 복굴절성, 선광성, 2색성 및 광산란 특성 등의 광학적 성질의 변화를 시각 변화로 변환하는 것으로, 액정 셀에 의한 빛의 변조를 이용한 디스플레이 장치이다.Recently, due to the rapid development of technology in the semiconductor industry, liquid crystal displays generally apply voltage to specific molecular arrays of liquid crystals and convert them into other molecular arrays, and the birefringence of the liquid crystal cells emitting light by such molecular arrays It is a display device which uses the modulation of the light by the liquid crystal cell by converting changes in optical properties such as optical lightness, dichroism and light scattering properties into visual changes.

상기 액정표시장치는 화소 단위를 이루는 액정 셀의 형성 공정을 동반하는 패널 상판 및 하판의 제조공정과, 액정 배향을 위한 배향막의 형성 및 러빙(Rubbing) 공정과, 상판 및 하판의 합착 공정과, 합착된 상판 및 하판 사이에 액정을 주입하고 봉지하는 공정 등의 여러 과정을 거쳐 완성된다. The liquid crystal display device includes a process of manufacturing a top and a bottom panel, a process of forming and rubbing an alignment layer for liquid crystal alignment, a bonding process of a top and a bottom plate, and a bonding process, together with a process of forming a liquid crystal cell forming a pixel unit. It is completed through a number of processes, such as the process of injecting and encapsulating liquid crystal between the upper and lower plates.

상기와 같이 기판 합착 공정, 액정 주입 공정에서는 하부 기판 상에 배향막을 도포하고 러빙하는 공정에 이어서, 실(seal)을 이용한 상/하부 기판 합착 공정, 액정 주입, 주입구 봉지 공정이 순차적으로 이루어진다. As described above, in the substrate bonding process and the liquid crystal injection process, the alignment film is applied and rubbed on the lower substrate, followed by the upper / lower substrate bonding process using a seal, the liquid crystal injection, and the injection hole sealing process.

이러한 여러 가지 공정에 의하여 액정표시장치가 완성되며, 각 공정간 원활한 이동을 위한 카세트 반송대차(Cassette Transfer Vehicle: 이하 CTV라 함)가 필요하게 된다.A liquid crystal display device is completed by such various processes, and a cassette transfer vehicle (hereinafter referred to as a CTV) is required for smooth movement between processes.

상기와 같이 액정표시장치 제조공정에서 사용되는 카세트 반송대차(CTV)는 기존의 컨베이어 시스템에 비해 부품 공급이 쉽고, 작업 환경의 변화에 빠르게 대처할 수 있어서, 제품의 입출고, 공작물의 운반, 부품의 공급 등의 자동화를 이루는데 이점이 있다.As described above, the cassette conveyance trolley (CTV) used in the manufacturing process of the liquid crystal display device is easier to supply parts than the conventional conveyor system, and can quickly cope with changes in the working environment. There is an advantage in achieving automation.

도 1은 일반적인 카세트 반송라인을 보여주는 평면도를 도시한 것이다.1 is a plan view showing a typical cassette conveying line.

도 1에 도시된 바와 같이, 상기 액정표시장치를 각 공정을 수행하는 장비(21, 22)들에 운반하기 위해서 카세트 반송대차(31,32)가 사용된다. 이때, 상기 카세트 반송대차(31,32)의 반송 효율을 높이기 위해 상기 액정표시장치들을 다수 개 수납할 수 있는 카세트(10)에 수납한 뒤, 상기 카세트(10)를 상기 카세트 반송대차(31,32)가 반송하게 된다.As shown in FIG. 1, cassette transport carts 31 and 32 are used to transport the liquid crystal display device to the equipment 21 and 22 for performing each process. In this case, in order to increase the conveyance efficiency of the cassette conveyance carts 31 and 32, the cassette 10 is stored in a cassette 10 that can accommodate a plurality of liquid crystal display devices, and then the cassette 10 is conveyed to the cassette conveyance carts 31, 32. 32) will return.

따라서 상기 카세트 반송대차(31,32)는 카세트(10)가 임시로 저장된 스토커(40)와 각 공정을 수행하는 장비(21,22)들 사이를 왕복하면서 상기 카세트(10)를 상기 스토커(40)에서 각 장비(21,22)들로, 그리고 각 장비(21,22)들에서 상기 스토커(40)로 각각 반송하게 된다. Accordingly, the cassette carriers 31 and 32 move the cassette 10 to the stocker 40 while reciprocating between the stocker 40 temporarily stored in the cassette 10 and the equipment 21 and 22 performing the respective processes. ) To each of the equipment 21, 22 and from each of the equipment 21, 22 to the stocker 40, respectively.

이를 위해, 생산라인의 바닥에는 상기 카세트 반송대차(31,32)가 정해진 경로를 따라 이동할 수 있도록 안내해주는 반송라인(11)이 제공된다. 이러한 반송라인(11)에는 상기 카세트 반송대차(31,32)의 주행 방향을 안내하는 레일(rail)이 구비되므로, 상기 카세트 반송대차(31,32)는 상기 레일을 따라 정해진 궤도를 주행하게 된다. 따라서 상기 카세트 반송대차(31,32)를 RGV(rail guided vehicle)라고 부르기도 한다. To this end, a transport line 11 is provided at the bottom of the production line to guide the cassette transport carts 31 and 32 to move along a predetermined path. Since the conveying line 11 is provided with a rail for guiding the driving direction of the cassette conveying carts 31 and 32, the cassette conveying carts 31 and 32 travel on a predetermined track along the rail. . Accordingly, the cassette carriers 31 and 32 may also be referred to as rail guided vehicles (RGVs).

한편, 일반적으로 하나의 반송라인(11)은 도 1에 도시된 바와 같이 닫힌곡선 형태로 이루어지며, 상기 반송라인(11)에 인접하게 다수 개의 장비(21, 22)들과 스토커(40)가 배치된다. 그리고 다수 대의 카세트 반송대차(31, 32)가 상기 반송라인(11)을 따라 일 방향으로 주행하면서 카세트(10)를 스토커(40) 또는 장비(21, 22) 에 전달한다.On the other hand, generally one conveying line 11 is made of a closed curve shape as shown in Figure 1, a plurality of equipment (21, 22) and the stocker 40 adjacent to the conveying line 11 Is placed. A plurality of cassette transport carts 31 and 32 travel in one direction along the transport line 11 to transfer the cassette 10 to the stocker 40 or the equipment 21, 22.

이러한 레일을 따라 이동하는 카세트 반송대차(CTV)를 사용하는 사업장의 생산라인은 레일 아래에서 이물질이 발생하여 공정 간의 이동시에 상기 카세트(10)내의 액정표시장치에 이물질이 들어가지 않도록 주의가 요구되고 있는 실정이며, 상기 이물질을 제거하기 위한 장치가 개발되고 있다. The production line of a workplace using a cassette conveyance trolley (CTV) moving along the rail is required to be careful not to enter the foreign matter in the liquid crystal display device in the cassette 10 when the foreign matter occurs under the rail to move between processes. There is a situation, and a device for removing the foreign matter has been developed.

본 고안이 이루고자 하는 기술적 과제는 공정 간의 이동시에 액정표시장치에 이물질이 들어가지 않도록 레일 하부에서 발생하는 이물질을 흡입하여 필터링을 통해 제거하는 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치를 제공하는 것이다. The present invention has been made in an effort to provide a foreign material suction / filtering apparatus of a cassette conveying line that sucks and removes foreign substances generated at a lower portion of a rail so as to prevent foreign substances from entering a liquid crystal display when moving between processes.

상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 고안에 의한 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치는 카세트 반송장치와 결합되어 레일을 따라 이동할 때 상기 레일을 벗어나지 않고 이동하기 위하여 하우징 하단부에 설치되고, 그 내부는 공기흐름이 원활하게 이루어지도록 형성되며, 상기 레일 하부에서 발생하는 미세먼지 등과 같은 이물질을 포함하는 공기를 흡입하는 파티클(particle) 흡입구가 연결되는 레일가이드; 상기 파티클(particle) 흡입구를 통해 흡입하는 동력을 제공하고, 상기 흡입된 이물질을 포함하는 공기를 분출하는 팬모터; 상기 팬모터를 통해 상기 이물질을 포함하는 공기를 분출하는 공기분출구; 상기 분출된 이물질을 포함하는 공기를 고르게 분사하는 공기분사판; 및 상기 분사된 이물질을 포함하는 공기중에서 상기 이물질을 걸러내는 필터;를 포함함을 특징으로 한다.The foreign material suction / filtering device of the cassette conveying line according to the present invention for solving the above technical problem is installed in the lower end of the housing to move without leaving the rail when combined with the cassette conveying apparatus moves along the rail, the inside of the air A rail guide is formed to smoothly flow, and is connected to a particle inlet for sucking air containing foreign substances such as fine dust generated from the bottom of the rail. A fan motor which provides power to suck through the particle inlet and ejects air including the sucked foreign matter; An air outlet port for ejecting air containing the foreign matter through the fan motor; An air spraying plate for injecting air evenly containing the ejected foreign matter; And a filter for filtering the foreign matter in the air including the injected foreign matter.

이하 도면을 참조하여 본 고안을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2a와 도 2b는 본 고안에 의한 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치를 도시한 것으로, 하우징(200), 레일가이드(210), 팬모터(220), 공기 분출구(230), 공기 분사판(240), 필터(250) 및 카세트 반송대차 연결수단(260)으로 구성된다. 2A and 2B illustrate a foreign material suction / filtering device of the cassette conveying line according to the present invention, and includes a housing 200, a rail guide 210, a fan motor 220, an air blower 230, and an air jet plate. 240, the filter 250 and the cassette conveyance cart connection means 260.

하우징(200)은 흡입장치를 구성하는 본체로서, 그 내부에 팬모터(FAN MOTER)(220), 공기 분출구(230), 공기 분사판(240) 및 필터(250)가 삽입된다. The housing 200 is a main body constituting the suction device, and a fan motor 220, an air blower 230, an air jet plate 240, and a filter 250 are inserted therein.

레일가이드(210)는 흡입장치가 레일(100)을 벗어나지 않고 이동하기 위하여 하우징(200) 하단부에 설치되고, 그 내부는 공기흐름이 원활하게 이루어지도록 형성하고, 상기 레일 하부에서 발생하는 미세먼지 등과 같은 이물질을 포함하는 공기를 흡입하는 파티클 흡입구가 연결된다. The rail guide 210 is installed at the lower end of the housing 200 in order to move the suction device without leaving the rail 100, and the inside of the rail guide 210 is formed to smoothly flow the air, and fine dust generated from the bottom of the rail. Particle inlets for sucking air containing the same foreign matter are connected.

팬모터(220)는 레일가이드(210)에 연결된 파티클 흡입구에 의해 이물질을 흡입하도록 하고 상기 흡입된 이물질이 포함된 공기를 분출한다.The fan motor 220 sucks the foreign matter by the particle inlet connected to the rail guide 210 and ejects the air containing the sucked foreign matter.

공기분출구(230)는 팬모터(220)를 통해 상기 이물질이 포함된 공기를 분출한다.The air ejection port 230 ejects the air containing the foreign matter through the fan motor 220.

공기분사판(240)은 공기분출구(230)를 통해 분출된 이물질을 포함하는 공기를 고르게 분포시켜 분사한다.The air jet plate 240 distributes and evenly distributes the air including the foreign matter jetted through the air jet port 230.

필터(250)는 공기분사판(240)을 통해 고르게 분포되어 분사된 상기 이물질을 포함하는 공기 중에서 이물질을 0.1㎛까지 걸러주는 역할을 한다. The filter 250 filters the foreign matters up to 0.1 μm from the air including the foreign matters injected and distributed evenly through the air spray plate 240.

카세트 반송대차 연결수단(260)은 카세트반송대차와 연결하는 수단이다. Cassette transport cart connection means 260 is a means for connecting with the cassette transport cart.

도 3a와 도 3b는 본 고안에 의한 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치의 레일가이드를 도시한 것이다. Figure 3a and 3b shows a rail guide of the foreign material suction / filtering device of the cassette conveying line according to the present invention.

연결가이드(211)는 흡입장치의 팬모터(220)와 연결되어 흡입된 공기의 이동통로가 되며, 레일덮개에 삽입된다. The connection guide 211 is connected to the fan motor 220 of the suction device and becomes a moving passage of the sucked air, and is inserted into the rail cover.

제1 평면가이드(213)는 연결가이드(211)와 연결되고, 상기 레일 하부에서 발생하는 미세먼지 등과 같은 이물질을 포함하는 공기를 흡입하는 파티클 흡입구(219)가 연결된다.The first planar guide 213 is connected to the connection guide 211, and is connected to a particle inlet 219 that sucks air containing foreign substances such as fine dust generated from the bottom of the rail.

제2 평면가이드(215)는 제1 평면가이드(213)와 결합핀(217)에 의해 결합된다. The second planar guide 215 is coupled to the first planar guide 213 by a coupling pin 217.

제1, 제2 평면가이드(213,215)는 하부에 우레탄을 입힌 베어링이 결합되어 이물질 흡입/필터링장치가 이송시 레일이탈을 방지한다. The first and second planar guides 213 and 215 are combined with bearings coated with urethane at the bottom to prevent the rail from being separated when the foreign substance suction / filtering device is transferred.

도 4a 내지 도 4c는 본 고안에 의한 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치의 레일가이드의 제1 평면가이드와 제2 평면가이드의 결합상태를 도시한 것이다.4a to 4c illustrate a coupling state of the first planar guide and the second planar guide of the rail guide of the foreign matter suction / filtering apparatus of the cassette conveying line according to the present invention.

제1 평면가이드(213)와 제2 평면가이드(215)는 결합핀(217)에 의해 결합된 제2 평면가이드(215)는 좌/우회전이 되도록 결합핀(217)이 결합되는 부위가 좌/우 회전시 제1평면가이드(213)의 끝단이 부딪치지 않도록 소정부분 홈이 형성되고, 이물질흡입/필터링장치가 레일을 따라 라운드를 돌때 과도한 마찰과 저항이 생기지 않도록 라운딩하는 방향으로 움직여 마찰과 저항을 최소화 하는 것을 특징으로 한다. The first planar guide 213 and the second planar guide 215 are coupled to each other by the coupling pin 217. A right groove is formed so that the end of the first flat guide 213 does not hit during the right rotation, and the foreign matter suction / filtering device moves in the rounding direction so that excessive friction and resistance does not occur when the foreign matter suction / filtering device is rounded along the rail, thereby reducing friction and resistance. It is characterized by minimizing.

도 4a는 카세트 반송라인에서 이물질 흡입/필터링 장치의 레일가이드가 직선레일을 진행할 때, 제1 평면가이드(213)와 제2 평면가이드(215)의 일직선 상태를 도시한 것이고, 도 4b와 도 4c는 카세트 반송라인에서 이물질 흡입/필터링 장치의 레일가이드가 곡선레일을 진행할 때, 제2 평면가이드(215)가 좌/우로 회전된 상태를 도시한 것이다. FIG. 4A illustrates a straight state of the first planar guide 213 and the second planar guide 215 when the rail guide of the foreign substance suction / filtering apparatus runs in a straight rail in the cassette conveying line. FIGS. 4B and 4C. FIG. 2 illustrates a state in which the second planar guide 215 is rotated left and right when the rail guide of the foreign matter suction / filtering device moves through the curved rail in the cassette conveying line.

도 5a와 도 5b는 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치가 레일을 따라 진행하는 상태를 도시한 것으로, 도 5a는 종래기술에 의한 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치가 곡선레일을 진행하는 상태를 나타내고, 도 5b는 본 고안에 의한 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치가 곡선레일을 진행하는 상태를 도시한 것이다. 5A and 5B illustrate a state in which the foreign substance suction / filtering apparatus of the cassette conveying line proceeds along the rail, and FIG. 5A shows a state in which the foreign substance suction / filtering apparatus of the cassette conveying line progresses the curved rail according to the prior art. 5b shows a state in which the foreign matter suction / filtering apparatus of the cassette conveying line according to the present invention proceeds with a curved rail.

즉, 도 5a는 종래 기술에 의한 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치가 곡선레일을 진행할 때, A-1 내지 A-9 상태로 레일과 접촉되는 뒷바퀴가 레일과 너무 밀착되어(바퀴가 레일에 끼여있는 현상) 큰 마찰력이 발생함으로 곡선레일을 진행하기가 어려운 단점이 있으며, 또한 곡선레일을 진행하는 시간이 더 소요된다.That is, Figure 5a is a rear wheel contacting the rail in the state A-1 to A-9 when the foreign material suction / filtering device of the cassette conveying line according to the prior art proceeds the curved rail is too close to the rail (wheel is on the rail Stuck phenomenon) It is difficult to proceed the curved rail because of the large frictional force, and it takes more time to proceed the curved rail.

하지만 도 5b는 본 고안에 의한 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치의 제2 평면가이드(215)가 좌/우로 회전됨으로써 곡선레일을 B-1 내지 B-9와 같은 상태로 손쉽게 곡선레일을 진행할 수 있다. However, Figure 5b is the second planar guide 215 of the foreign material suction / filtering device of the cassette conveying line according to the present invention is rotated to the left / right to easily proceed the curved rail in a state such as B-1 to B-9 Can be.

이상으로, 본 고안은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 고안의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, which are merely exemplary, and those skilled in the art may understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. will be. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be defined by the technical spirit of the appended claims.

본 고안에 의하면, 카세트 반송라인의 레일 하부에서 발생하는 미세 먼지 등과 같은 이물질을 흡입/필터링 함으로써 액정표시장치의 생산효율을 높일 수 있다.According to the present invention, it is possible to increase the production efficiency of the liquid crystal display by inhaling / filtering foreign substances such as fine dust generated from the lower rail of the cassette conveying line.

Claims (4)

카세트 반송장치와 결합되어 레일을 따라 이동할 때 상기 레일 하부에서 발생되는 이물질을 흡입 및 필터링하는 장치에 있어서, In the apparatus for suction and filtering the foreign matter generated in the lower rail when combined with the cassette conveying device moves along the rail, 상기 레일을 벗어나지 않고 이동하기 위하여 하우징 하단부에 설치되고, 그 내부는 공기흐름이 원활하게 이루어지도록 형성되며, 상기 레일 하부에서 발생하는 미세먼지 등과 같은 이물질을 포함하는 공기를 흡입하는 파티클(particle) 흡입구가 연결되는 레일가이드;Particle inlet is installed at the lower end of the housing to move without leaving the rail, the inside is formed so that the air flows smoothly, the particle inlet for inhaling air containing foreign substances such as fine dust generated from the lower rail Rail guide is connected; 상기 파티클(particle) 흡입구를 통해 흡입하는 동력을 제공하고, 상기 흡입된 이물질을 포함하는 공기를 분출하는 팬모터(FAN MOTER);A fan motor providing power to suck through the particle inlet and ejecting air including the sucked foreign matter; 상기 팬모터를 통해 상기 이물질을 포함하는 공기를 분출하는 공기분출구;An air outlet port for ejecting air containing the foreign matter through the fan motor; 상기 분출된 이물질을 포함하는 공기를 고르게 분사하는 공기분사판; 및 An air spraying plate for injecting air evenly containing the ejected foreign matter; And 상기 분사된 이물질을 포함하는 공기 중에서 상기 이물질을 걸러내는 필터;를 포함함을 특징으로 하는 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치. And a filter for filtering the foreign matter from the air containing the injected foreign matter. 제1항에 있어서, 상기 레일가이드는 The method of claim 1, wherein the rail guide 상기 흡입장치의 플레이트와 연결되어 흡입된 공기의 이동통로가 되며, 레일 덮개에 삽입되어 이송되고, 레일 하부에서 발생하는 미세먼지 등과 같은 이물질을 포함하는 공기를 흡입하는 파티클(particle) 흡입구가 연결되는 제1 평면가이드;It is connected to the plate of the suction device is a moving passage of the sucked air, is inserted into the rail cover and transported, the particle inlet (particle) for sucking the air containing foreign substances such as fine dust generated from the rail lower is connected A first flat guide; 상기 제1 평면가이드와 결합되어 좌/우 회전이 되는 제2 평면가이드; 및 A second planar guide which is coupled to the first planar guide and rotates left and right; And 상기 제1 평면가이드와 상기 제2 평면가이드가 결합되어 좌/우회전되도록 하는 결합핀;를 포함함을 특징으로 하는 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치.And foreign material suction / filtering apparatus for a cassette conveying line, comprising: a coupling pin configured to couple the first planar guide and the second planar guide to rotate left / right. 제2항에 있어서, 상기 제2 평면가이드는The method of claim 2, wherein the second planar guide 좌/우회전이 용이하도록 상기 결합핀과 결합되는 부위가 좌/우 회전시 제1평면가이드의 끝단이 부딪치지 않도록 소정부분 홈이 형성되고, 이물질 흡입/필터링장치가 레일을 따라 라운드를 돌때 과도한 마찰과 저항이 생기지 않도록 라운딩하는 방향으로 움직여 마찰과 저항을 최소화 하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치. In order to facilitate left / right rotation, a predetermined groove is formed so that the end portion of the first planar guide does not collide when the coupling pin is coupled to the left / right rotation, and the foreign material suction / filtering device rotates along the rails. A foreign material suction / filtering device for a cassette conveying line, characterized by minimizing friction and resistance by moving in a rounding direction to prevent resistance. 제2항에 있어서, 상기 제1, 제2 평면가이드는The method of claim 2, wherein the first and second planar guides 우레탄을 입힌 베어링이 하부에 결합되어 이물질흡입/필터링장치가 레일에서 이탈하지 않도록 가이드역할을 하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송라인의 이물질 흡입/필터링 장치.The foreign material suction / filtering device of the cassette conveying line, characterized in that the urethane-coated bearing is coupled to the lower part to serve as a guide so that the foreign material suction / filtering device does not depart from the rail.
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