KR20040111574A - 광 기록 매체 및 광 기억 장치 - Google Patents

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KR20040111574A KR10-2004-7017679A KR20047017679A KR20040111574A KR 20040111574 A KR20040111574 A KR 20040111574A KR 20047017679 A KR20047017679 A KR 20047017679A KR 20040111574 A KR20040111574 A KR 20040111574A
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Abstract

랜드 및 그루브로 이루어지는 기록 트랙을 갖고, 기록 재생에 사용하는 레이저빔의 기록 매체면에서의 빔의 직경이 0.7 μm 이하인 광 기록 매체로서, 교대로 형성된 복수의 랜드 및 복수의 그루브를 갖는 투명 기판과, 이 투명 기판 상에 형성된 광 기록 가능한 기록층을 포함하고 있다. 각 랜드와 각 그루브의 경계의 중심 높이에서의 랜드의 폭을 w1, 랜드의 평탄 정상부의 폭을 w2, 각 그루브의 깊이를 d라고 할 때, 0.4 ≤w2/w1 ≤0.8 또한 25 nm ≤d ≤45 nm이다. 적어도 각 랜드는 곡면 형상의 엣지부를 갖고 있다.

Description

광 기록 매체 및 광 기억 장치{OPTICAL RECORDING MEDIUM, AND OPTICAL STORAGE DEVICE}
광 디스크의 기록 밀도 향상의 한 방법으로서, 데이터를 기록 또는 재생할 때에 사용하는 레이저의 파장을 짧게 하는 방법이 검토되고 있다. 예컨대, 현재 3.5 인치의 광자기 디스크 장치에서 사용되고 있는 레이저 파장은 650 nm이지만, 이것을 파장 405 nm의 청자색 레이저로 함으로써, 빔 스폿 직경이 종래의 약 1.0 μm에서 0.65 μm로 작아져, 고밀도 기록이 가능해진다.
광자기 디스크는 고밀도 기록 매체로서 알려지 있지만, 정보량의 증가에 따라 한층 더 고밀도화가 요망되고 있다. 고밀도화는 기록 마크의 간격을 채움으로써 실현되지만, 그 재생은 매체 상의 광 빔의 크기(빔 스폿)에 의해서 제한된다. 빔 스폿 내에 하나의 기록 마크밖에 존재하지 않도록 설정한 경우, 기록 마크가 있는지의 여부에 따라서, `1', `0'에 대응하는 출력 파형을 재생 신호로서 관측할 수 있다.
그러나, 기록 마크의 간격을 채워 빔 스폿 내에 복수 개 존재하도록 하면,매체 상의 빔 스폿이 이동하더라도 재생 출력에 변화가 생기지 않기 때문에, 출력 파형은 직선으로 되어 기록 마크의 있고 없음을 식별할 수 없게 된다. 이러한 빔 스폿 이하의 주기를 갖는 작은 기록 마크를 재생하려면, 빔 스폿을 작게 좁히면 되지만, 빔 스폿의 크기는 광원의 파장(λ)과 대물 렌즈의 개구수(NA)에 의해 제약되어, 충분히 작게 좁힐 수는 없다.
최근, 현행의 광학계를 그대로 이용하여 빔 스폿 이하의 기록 마크를 재생하는 자기 유도 초고해상도(magnetically induced super resolution : MSR) 기술을 이용한 재생 방법을 채용한 광자기 디스크 장치가 시판되고 있다. MSR은 빔 스폿 내의 하나의 마크를 재생할 때 다른 마크를 마스크함으로써 재생 분해능을 향상시킨 재생 방법이다. 이 때문에, 초고해상도 디스크 매체에는, 마크를 기록하기 위한 기록층 이외에 신호 재생시에 하나의 마크만이 재생되도록 다른 마크를 숨겨 두기 위한 마스크층 또는 재생층이 최소한 필요하게 된다.
예컨대, 재생층과 기록층 사이에 비자성층을 삽입하여, 기록층의 기록 마크를 정전 자기 결합에 의해서 재생층에 전사함으로써, 정보를 재생하는 CAD(center aperture detection) 타입의 MSR 매체가 제안되어 있다. 재생층으로서 실온에서 면내 방향의 자화 용이성을 갖는 면내막을 사용하여, 레이저빔의 조사에 의해 고온으로 된 부분만 기록층의 기록 마크가 재생층에 전사되도록 함으로써, 재생 부분 이외의 것이 재생층에서 마스크되어 초고해상 재생이 가능해진다. CAD 매체에서는 애퍼처(aperture)부 이외의 재생층 자화는 면내이기 때문에 검출되는 일은 없으며, 인접 트랙으로부터의 크로스토크에 강하고 트랙 피치를 좁게 하는 것이 가능하다.
최근, 광 디스크의 고밀도화를 실현하는 수단으로서 단파장 레이저 혹은 고 NA 렌즈 등에 의한 빔 직경 축소화 개발이 활발하게 이루어지고 있다. 예컨대, 현재의 광자기 디스크 장치에 사용되고 있는 파장 650 nm, 개구수(NA) 0.55의 렌즈를 사용하는 광학계에서는 빔 스폿 직경이 약 1.0 μm(1/e2)이지만, 동일한 NA 0.55의 렌즈라도 레이저빔의 파장을 405 nm로 함으로써, 0.65 μm 정도의 빔 스폿 직경을 얻을 수 있다. 빔 스폿 직경을 작게 함으로써 분해능이 향상되기 때문에, 작은 마크를 기록하는 것이 가능하게 되어 기록 밀도가 향상된다. 레이저빔의 파장을 650 nm에서 405 nm로 변경함으로써, 마크 길이 및 트랙 피치 모두 축소되기 때문에, 약 2.5배의 기록 밀도의 향상을 기대할 수 있다.
그런데, 종래의 파장 650 nm의 레이저빔용의 CAD 매체를 파장 405 nm의 레이저빔으로 기록 재생하면, 파장 환산한 마크 길이로 충분한 기록 재생 신호 품질을 얻을 수 없다고 하는 문제가 분명해졌다. 예컨대, 현재 파장 650 nm의 레이저빔을 사용한 CAD 매체가 실용화되어 있는데, 그 최단 마크 길이 0.40 μm에 있어서 45 dB 정도의 CN 비를 얻고 있다. 빔 직경으로 환산하면 405 nm의 레이저빔을 사용하면 0.25 μm의 마크에서 45 dB 정도의 CN 비를 얻을 수 있는 것이지만, 실제로는 0.25 μm의 마크 길이에서는 405 nm의 레이저빔으로 기록 재생하더라도, 42 dB 정도의 CN 비밖에 얻지 못한다고 하는 문제가 있음이 분명해졌다. 이 문제는 랜드 및 그루브를 기록 트랙으로서 사용하는 광자기 기록 매체에서는, 랜드부에서 현저하며, CAD 방식의 광자기 기록 매체에 한하지 않고 일반적인 광자기 기록 매체에서도마찬가지로 파장 405 nm의 청자색 레이저빔을 사용한 경우에는, 랜드의 재생시에 충분한 CN 비를 얻지 못한다고 하는 것이 분명해졌다.
본 발명은 일반적으로 광 기록 매체에 관한 것으로, 특히, 랜드·그루브 기록 방식의 광자기 기록 매체에 관한 것이다.
도 1은 랜드·그루브 기록용 광 기록 매체의 일부 파단 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예의 광자기 기록 매체 구성도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예의 광자기 기록 매체 구성도이다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예의 광자기 기록 매체 구성도이다.
도 5는 본 발명의 제4 실시예의 광자기 기록 매체 구성도이다.
도 6은 본 발명의 제5 실시예의 광자기 기록 매체 구성도이다.
도 7은 본 발명의 실험에서 사용한 각진형 그루브(각진형 랜드)를 갖는 기판의 사진이다.
도 8은 본 발명의 실험에서 사용한 둥근형 그루브(둥근형 랜드)를 갖는 기판의 사진이다.
도 9는 도 4에 도시한 제3 실시예의 광자기 기록 매체(CAD 매체)의 CN 비의w2/w1 의존성을 도시한 도면이다.
도 10은 도 4에 도시한 광자기 기록 매체(CAD 매체)의 CN 비의 홈 깊이 의존성을 도시한 도면이다.
도 11은 도 5에 도시한 제4 실시예의 광자기 기록 매체(통상 MO 매체)의 CN 비의 w2/w1 의존성을 도시한 도면이다.
도 12는 도 5에 도시한 제4 실시예의 광자기 기록 매체(통상의 MO 매체)의 홈 깊이 의존성을 도시한 도면이다.
도 13은 도 6에 도시한 제5 실시예의 광자기 기록 매체(2층막 매체)의 CN 비의 w2/w1 의존성을 도시한 도면이다.
도 14는 도 6에 도시한 제5 실시예의 광자기 기록 매체(2층막 매체)의 CN 비의 홈 깊이 의존성을 도시한 도면이다.
도 15는 도 4에 도시한 제3 실시예의 광자기 기록 매체의 CN 비의 제2 재생층의 큐리 온도(Tc) 의존성을 도시한 도면이다.
도 16은 제3 실시예의 광자기 기록 매체의 CN 비의 제1 재생층 막 두께 의존성을 도시한 도면이다.
도 17은 제3 실시예의 광자기 기록 매체의 CN 비의 제2 재생층 막 두께 의존성을 도시한 도면이다.
도 18은 제3 실시예의 광자기 기록 매체의 CN 비의 비자성 차단층 막 두께 의존성을 도시한 도면이다.
도 19는 제3 실시예의 광자기 기록 매체의 CN 비의 오버코트층 막 두께 의존성을 도시한 도면이다.
도 20은 제3 실시예의 광자기 기록 매체의 기록 감도의 오버코트층 막 두께 의존성을 도시한 도면이다.
도 21은 제3 실시예의 광자기 기록 매체의 CN 비의 Al층 막 두께 의존성을 도시한 도면이다.
도 22는 제3 실시예의 광자기 기록 매체의 기록 감도의 Al층 막 두께 의존성을 도시한 도면이다.
도 23은 본 발명에 의한 광 디스크 장치의 블록도이다.
도 24는 MO 카트리지를 로딩한 장치의 내부 구조의 설명도이다.
따라서, 본 발명의 목적은, 단파장 레이저를 사용한 작은 빔 직경에 있어서, 랜드 및 그루브 모두 양호한 기록 재생 특성을 실현할 수 있는 광 기록 매체를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 단파장 레이저를 사용한 작은 빔 직경에 있어서, 랜드 및 그루브 모두 양호한 재생 특성을 실현할 수 있는 광 기억 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 한 측면에 의하면, 랜드 및 그루브로 이루어지는 기록 트랙을 갖고, 기록 재생에 사용하는 레이저빔의 기록 매체면에서의 빔의 직경이 0.7 μm 이하인 광 기록 매체로서, 교대로 형성된 복수의 랜드 및 복수의 그루브를 갖는 투명 기판과, 이 투명 기판 상에 형성된 광 기록 가능한 기록층을 구비하며, 상기 각 랜드와 각 그루브의 경계의 중심 높이에서의 랜드의 폭을 w1, 랜드의 평탄 정상부의 폭을 w2, 각 그루브의 깊이를 d라고 할 때,
0.4 ≤w2/w1 ≤0.8 또 25 nm ≤d ≤45 nm
이고, 적어도 상기 각 랜드는 곡면 형상의 엣지부를 갖는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체가 제공된다.
바람직하게는, 각 그루브는 곡면 형상의 엣지부를 갖고 있으며, 기록층은 희토류 천이 금속 재료로 이루어지는 광자기 기록층으로 구성된다.
본 발명의 다른 측면에 의하면, 랜드 및 그루브로 이루어지는 기록 트랙을 갖고, 기록 재생에 사용하는 레이저빔의 기록 매체면에서의 빔의 직경이 0.7 μm 이하인 광자기 기록 매체로서, 교대로 형성된 복수의 랜드 및 복수의 그루브를 갖는 투명 기판과, 이 투명 기판 상에 형성된, 상대적으로 카 회전각이 크고 실온에서의 보자력이 작은 희토류 천이 금속 재료로 이루어지는 재생층과, 이 재생층 상에 형성된, 상대적으로 카 회전각이 작고 실온에서의 보자력이 큰 희토류 천이 금속 재료로 이루어지는 기록층을 구비하며, 상기 각 랜드와 각 그루브의 경계의 중심 높이에서의 랜드의 폭을 w1, 랜드의 평탄 정상부의 폭을 w2, 각 그루브의 깊이를 d라고 할 때,
0.4 ≤w2/w1 ≤0.8 또 25 nm ≤d ≤45 nm
이고, 적어도 상기 각 랜드는 곡면 형상의 엣지부를 갖는 것을 특징으로 하는 광자기 기록 매체가 제공된다.
본 발명의 또 다른 측면에 의하면, 랜드 및 그루브로 이루어지는 기록 트랙을 갖고, 기록 재생에 사용하는 레이저빔의 기록 매체 면에서의 빔의 직경이 0.7 μm 이하인 광자기 기록 매체로서, 교대로 형성된 복수의 랜드 및 복수의 그루브를 갖는 투명 기판과, 이 투명 기판 상에 형성된, 실온에서 면내 방향의 자화 용이성을 갖는 제1 재생층과, 이 제1 재생층 상에 형성된, 실온에서 면내 방향의 자화 용이성을 갖는 제2 재생층과, 이 제2 재생층 상에 형성된 비자성 차단층과, 이 비자성 차단층 상에 형성된, 단층이며 실온에 있어서 수직 방향의 자화 용이성을 갖는 기록층과, 이 기록층 상에 형성된 비자성 오버코트층과, 이 비자성 오버코트층 상에 형성된 금속층을 구비하며, 상기 각 랜드와 각 그루브의 경계의 중심 높이에서의 랜드의 폭을 w1, 랜드의 평탄 정상부의 폭을 w2, 각 그루브의 깊이를 d라고 할 때,
0.4 ≤w2/w1 ≤0.8 또한 25 nm ≤d ≤45 nm
이고, 적어도 상기 각 랜드는 곡면 형상의 엣지부를 갖는 것을 특징으로 하는 광자기 기록 매체가 제공된다.
바람직하게는, 제1 및 제2 재생층의 큐리 온도를 각각 Tc1, Tc2라고 했을 때,
Tc2 ≤Tc1 또한 165℃ ≤Tc2 ≤190℃
이다.
바람직하게는, 제1 재생층은 25 nm∼35 nm의 막 두께 tr1을 갖고 있고, 제2 재생층의 막 두께를 tr2라고 할 때,
tr1 ×0.3 ≤tr2 ≤tr1 ×0.4
이다.
바람직하게는, 비자성 오버코트층은 5 nm∼15 nm의 막 두께를 갖고 있으며, 금속층은 50 nm∼90 nm의 막 두께를 갖고 있고, 비자성 차단층은 0.5 nm∼2 nm의 막 두께를 갖고 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 의하면, 랜드 및 그루브로 이루어지는 기록 트랙을 갖는 광 기록 매체에 기록된 정보를 적어도 판독할 수 있는 광 기억 장치로서, 기록 매체면에서의 빔의 직경이 0.7 μm 이하인 레이저빔을 상기 광 기록 매체에조사하는 광학 헤드와, 상기 광 기록 매체에서 반사된 반사광으로부터 재생 신호를 생성하는 광 검출기를 구비하며, 상기 광 기록 매체는 교대로 형성된 복수의 랜드 및 복수의 그루브를 갖는 투명 기판과, 이 투명 기판 상에 형성된 광 기록 가능한 기록층을 포함하고 있고, 상기 각 랜드와 각 그루브의 경계의 중심 높이에서의 랜드의 폭을 w1, 랜드의 평탄 정상부의 폭을 w2, 각 그루브의 깊이를 d라고 할 때,
0.4 ≤w2/w1 ≤0.8 또한 25 nm ≤d ≤45 nm
이며, 적어도 상기 각 랜드는 곡면 형상의 엣지부를 갖는 것을 특징으로 하는 광 기억 장치가 제공된다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 랜드·그루브 기록용 광 기록 매체의 일부 파단 단면도가 도시되어 있다. 광 기록 매체(2)는 통상은 디스크 형상을 하고 있다. 유리 또는 폴리카보네이트 등으로 형성된 투명 기판(4)은 교대로 형성된 랜드(8) 및 그루브(10)를 갖고 있다. 기판(4)의 인접한 랜드(8)와 그루브(10)의 중심 간격(트랙 피치)은 예컨대 0.40 μm이며, 기판(4) 상에는 기록층(6)이 적층되어 있다. 기판(4)의 랜드(8)와 그루브(10)의 단차는 예컨대 35 nm이다. 본 발명에 적용할 수 있는 광 기록 매체(2)는 적어도 랜드와 그루브를 기록 트랙으로 하는 광학적 기록 매체면 된다. 기록층(6)으로서는, 예컨대 광자기 기록층, 상변화형 기록층 등을 채용할 수 있다.
기판(4)에 형성한 랜드(8)의 엣지부(8a) 및 그루브(10)의 엣지부(10a)는 모두 소정의 곡율 반경을 갖는 곡면 형상을 하고 있다. 더욱이, 후에 상세히 설명하는 바와 같이, 각 랜드(8)와 각 그루브(10)의 경계의 중심 높이에서의 랜드(8)의 폭을 w1, 랜드(8)의 평탄 정상부의 폭을 w2, 각 그루브(10)의 깊이를 d라고 하면,
0.4 ≤w2/w1 ≤0.8 또한 25 nm ≤d ≤45 nm
인 것이 바람직하다. 광 기록 매체(2)의 제조에 있어서는, 그루브 및 피트가 미리 투명 기판 상에 작성된다. 구체적으로는, 포지티브형 레지스트막을 갖는 스탬퍼를 이용하여, 그루브 및 피트에 상당하는 부분을 제외한 부분에 레이저빔을 노광한다. 이어서, 현상 및 에칭하여, 그루브 및 피트에 상당하는 볼록 위의 부분을 형성한다. 여기서, 랜드의 엣지부나 그루브의 엣지부에 상당하는 부분에 소정의 곡율을 갖게 하기 위해서 이온 밀링, 스퍼터링 등으로 에칭을 한다. 이와 같이 하여 작성된 스탬퍼를 사출 성형기의 금형에 장착하고, 폴리카보네이트 등의 수지를 사출 성형기에 공급하여, 교대로 형성된 랜드(8) 및 그루브(10)를 갖는 투명 기판(4)을 작성한다. 그 후, 투명 기판(4)의 전사면(그루브나 피트가 형성된 면) 상에 기록층, 보호층 및 반사층을 형성하여 광 기록 매체를 완성한다. 이러한 기판의 제조 방법은 예컨대 일본 특허 공개 평11-232707호에 기재되어 있다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예의 광자기 기록 매체(12A)의 구성도를 나타내고 있다. 도 1에 도시한 투명 기판(4) 상에 SiN으로 이루어지는 기초 유전체층(14), GdFeCo로 이루어지는 재생층(16), SiN으로 이루어지는 비자성층(18), TbFeCo로 이루어지는 기록층(20)이 이 순서로 적층되어 있다. 더욱이, 기록층(20) 상에 SiN 오버코트층(22), Al을 포함하는 메탈층(24)이 적층되어 있다. 본 실시예의 광자기 기록 매체(12A)는 기록층(20)의 기록 마크가 정전 자기 결합에 의해 재생층(16)에 전사되는 CAD(center aperture detection) 타입의 자기 유도 초고해상도(MSR) 매체이다. 재생층(16)은 기록층(20)에 비교하여 상대적으로 카 회전각은 크고 실온에서의 보자력이 작다. 한편, 기록층(20)은 재생층(16)에 비교하여 상대적으로 카 회전각은 작고 실온에서의 보자력이 크다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예의 광자기 기록 매체(12B)의 구성도를 나타내고 있다. 도 1에 도시한 투명 기판(4) 상에 SiN으로 이루어지는 기초 유전체층(14), GdFeCo로 이루어지는 제1 재생층(26), GdFe로 이루어지는 제2 재생층(28), SiN으로 이루어지는 비자성층(30), TbFeCo로 이루어지는 기록층(32)이 이 순서로 적층되어 있다. 기록층(32) 상에는, SiN 오버코트층(22), Al을 포함하는 메탈층(24)이 적층되어 있다. 메탈층(24)은 Au, Cu, Ag를 주성분으로 하는 재료로 형성되더라도 좋다. 본 실시예의 광자기 기록 매체(12B)도, 기록층(32)의 기록 마크가 정전 자기 결합에 의해 제2 재생층(28) 및 제1 재생층(26)에 전사되는 CAD 타입의 MSR 매체이다. 제1 재생층(26) 및 제2 재생층(28)은 실온에서 면내 방향의 자화 용이성을 갖고 있다. 한편, 기록층(32)은 단층이며 실온에 있어서 수직 방향의 자화 용이성을 갖고 있다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예의 광자기 기록 매체(12C)의 구성도를 나타내고 있다. 도 1에 도시한 투명 기판(4) 상에 SiN으로 이루어지는 기초 유전체층(14), GdFeCo로 이루어지는 제1 재생층(26), GdFe로 이루어지는 제2 재생층(28), SiN으로 이루어지는 비자성층(30), TbFeCo로 이루어지는 기록층(32)이 이 순서로 적층되어있다. 기록층(32) 상에는 GdFeCo로 이루어지는 기록 보조층(34), SiN 오버코트층(22), Al을 포함하는 메탈층(24)이 적층되어 있다. 본 실시예의 광자기 기록 매체(12C)도 기록층(32)의 기록 마크가 정전 자기 결합에 의해 제2 재생층(28) 및 제1 재생층(26)에 전사되는 CAD 타입의 MSR 매체이다. 제1 재생층(26) 및 제2 재생층(28)은 실온에서 면내 방향의 자화 용이성을 갖고 있다. 한편, 기록층(32)은 단층이며 실온에 있어서 수직 방향의 자화 용이성을 갖고 있다.
도 5는 본 발명의 제4 실시예의 광자기 기록 매체(12D)의 구성도를 나타내고 있다. 도 1에 도시한 투명 기판(4) 상에 SiN으로 이루어지는 기초 유전체층(14), TbFeCo로 이루어지는 기록층(36), GdFeCo로 이루어지는 기록 보조층(38), SiN 오버코트층(22), Al을 포함하는 메탈층(24)이 이 순서로 적층되어 있다. 본 실시예의 광자기 기록 매체(12D)는 통상 타입의 광자기 기록 매체이다.
도 6은 본 발명의 제5 실시예의 광자기 기록 매체(12E)의 구성도를 나타내고 있다. 도 1에 도시한 투명 기판(4) 상에 SiN으로 이루어지는 기초 유전체층(14), GdFeCo로 이루어지는 재생층(39), TbFeCo로 이루어지는 기록층(36), GdFeCo로 이루어지는 기록 보조층(38)이 이 순서로 적층되어 있다. 기록 보조층(38) 상에는 SiN 오버코트층(22), Al을 포함하는 메탈층(24)이 적층되어 있다. 본 실시예의 광자기 기록 매체(12E)는 재생층(39)과 기록층(36)을 갖는 2층막 매체이다.
이어서, 도 4에 나타내는 제3 실시예의 광자기 기록 매체(12C)의 제조 방법에 관해서 상세히 설명한다. 인접하는 랜드(8)와 그루브(10)의 간격(트랙 피치)이 0.40 μm이고 도 1의 w2/w1의 값과 그루브(10)의 깊이(d)를 변경한 복수의 기판(4)을 준비했다. 기판을 진공 도달도 5 ×10-5Pa 이하의 성막 챔버(스퍼터 챔버)를 갖는 정지 대향형의 스퍼터 장치에 삽입했다. 우선, Si 타깃을 장착한 제1 챔버에 상기 기판을 반송하고, Ar 가스와 N2가스를 도입하여, 반응성 스퍼터링에 의해 40 nm의 SiN층을 성막했다.
이어서, 기판을 Gd30Fe56Co14합금 타깃을 장착한 제2 챔버로 이동하고, Ar 가스를 도입하여 DC 스퍼터링에 의해 실온에서 RE 리치 조성(보상 온도가 실온 이상)의 Gd30Fe56Co14로 이루어지는 제1 재생층(26)을 성막했다. 제1 재생층(26)의 큐리 온도는 300℃이다. 다음에, 기판을 Gd 타깃과 Fe 타깃을 장착한 제3 챔버로 이동하고, Ar 가스를 도입하여 DC 스퍼터링에 의해 GdFe로 이루어지는 제2 재생층(28)을 성막했다. 제1 재생층(26)은 스퍼터 시간을 조정함으로써 막 두께를 조정했다. 또한, 제2 재생층(28)의 성막에서는, Gd 타깃과 Fe 타깃의 투입 전력과 성막 시간을 변경함으로써, 조성과 막 두께를 조정했다. 제2 재생층(28)은 Gd와 Fe의 조성을 조정함으로써 큐리 온도를 변화시켰다. 즉, 제2 재생층(28)의 Gd 조성을 13 at%∼21 at%의 범위에서 변화시켰다. Gd 13%에서의 큐리 온도는 150℃, Gd 21%에서의 큐리 온도는 200℃이다.
다음에, 기판을 제1 챔버로 되돌려, SiN 비자성 차단층(30)을 성막했다. SiN 비자성 차단층(30)은 성막 시간을 변경함으로써 막 두께를 조정했다. 이어서, 기판을 Tb19Fe70Co11합금 타깃을 장착한 제4 챔버로 이동하고, Ar 가스를 도입하여 DC 스퍼터링에 의해 Tb19Fe70Co11로 이루어지는 기록층(32)을 50 nm의 두께로 성막했다. 기록층(32)의 큐리 온도는 210℃이다. 이어서, 기판을 Gd20Fe64Co16합금 타깃을 장착한 제5 챔버로 이동하고, Ar 가스를 도입하여 DC 스퍼터링에 의해 Gd20Fe64Co16으로 이루어지는 기록 보조층(34)을 6 nm의 두께로 성막했다.
다음에, 기판을 제1 챔버로 이동하여 SiN 오버코트층(22)을 성막했다. 또한, 기판을 Ti를 1.5 wt% 포함하는 AlTi 합금 타깃을 장착한 제6 챔버로 이동하여, AlTi 메탈층(24)을 성막했다. 오버코트층(2)과 메탈층(24)은 성막 시간을 변경함으로써 그 막 두께를 조정했다. 메탈층(24) 위에 자외선 경화 수지 코팅을 하여, 도 4에 도시하는 광자기 기록 매체(12C)를 작성했다.
이상의 방법으로 작성한 광자기 기록 매체(12C)의 본 발명의 성막 기준 조건과 그 CN 비를, 2개의 기판 홈을 가지고 비교한 결과를 각각 표 1 및 표 2에 나타낸다. 또한, 홈 형상 사진을 도 7 및 도 8에 도시한다.
매체 설계 인자 성막 기준 조건
제2 재생층 큐리 온도(℃) 170
제1 재생층 막 두께(nm) 30
제2 재생층 막 두께(nm) 10
비자성 차단층 막 두께(nm) 1
오버코트층 막 두께(nm) 10
Al층 막 두께(nm) 70
도 8 도 7
홈 형태홈 깊이(nm) 6.0/1029 8.5/1049
CN 비(랜드) 45.8 42.2
CN 비(그루브) 46.2 45.3
작성한 광자기 기록 매체(12C)에 기록 마크의 길이 0.25 μm, 선속 7.5 m/s의 조건에서 405 nm의 레이저빔(대물 렌즈의 NA=0.55)을 이용하여 광 변조 기록을 하고, 스펙트럼 애널라이저로 C/N을 측정했다. 표 2로부터 분명한 바와 같이, 도 7의 각진형 홈에서는 랜드의 CN 비가 낮아, 42 dB 정도밖에 얻지 못하고 있지만, 도 8의 둥근형 홈 또는 곡면 홈에서는 랜드라도 46 dB 가까운 CN 비를 얻고 있다. 한편, 여기서 홈 형상은 기판 표면에 자외선을 조사하는 시간에 따라 조정했다.
이어서, 표 1의 성막 조건을 고정하고, 기판의 w2/w1과 홈 깊이를 변경한 샘플을 작성하여, 랜드의 CN 비를 측정한 결과를 도 9 및 도 10에 도시한다. 도 9의 w2/w1을 변경한 기판의 홈 깊이는 30 nm로 하고, 도 10의 홈 깊이를 변경한 기판의 w2/w1은 0.6으로 했다. 도 9로부터, CN 비는 w2/w1을 크게 한 각진형에 가까운 홈 형상에서 급격히 저하된다. 또한 반대로, w2/w1을 작게 하면 인접 트랙을 소거했을 때에 열적인 영향을 받아 기록 마크가 소거됨으로써 CN 비가 저하된다. 여기서, 인접 트랙의 소거 파워는 기록한 마크를 완전히 소거할 수 있는 파워보다도 15% 높은 파워로 설정했다. 도 9로부터, w2/w1은 CN 비가 45 dB 이상인 0.4∼0.8의 범위가 바람직하다. 또한, 도 10으로부터 홈 깊이는 CN 비가 45 dB 이상인 25 nm∼45 nm의 범위가 바람직하다.
같은 식의 실험을 도 5에 도시하는 기록층 단층의 통상의 광자기 기록 매체(12D)와, 도 6에 도시하는 재생층(39)과 기록층(36)을 갖는 2층막 광자기 기록 매체(12E)에서도 실시했다. 도 5 및 도 6에 도시하는 매체의 각 층의 조건은 도 4에 도시한 CAD 매체와 마찬가지다. 기록 마크 길이는 0.45 μm로 하여, 같은 식의 측정을 실시한 결과가 도 11∼도 14에 도시되어 있다. 도 11은 통상 MO 매체의 CN 비의 w2/w1 의존성이며, 도 12는 통상의 MO 매체의 CN 비의 홈 깊이 의존성이다. 도 13은 2층막 매체의 CN 비의 w2/w1 의존성이며, 도 14는 2층막 매체의 CN 비의 홈 깊이 의존성을 나타내고 있다. 이들 결과로부터, 기록층 단층의 통상 MO 매체 및 2층막 MO 매체에 있어서도, 도 4에 도시한 CAD 매체와 거의 같은 결과를 얻을 수 있음을 알 수 있다. 즉, w2/w1은 CN 비가 45 dB 이상인 0.4∼0.8의 범위가 바람직하고, 홈 깊이는 CN 비가 45 dB 이상인 25 nm∼45 nm의 범위가 바람직하다. 랜드 및 그루브의 엣지부의 곡율 반경은 그다지 크지 않은 쪽이 바람직하다. 각이 원만해지고 있는 모따기 정도라도 충분히 크로스토크를 억제하여, CN 비를 개선할 수 있다.
다음에, 표 1의 본 발명의 기준 조건을 중심으로 하고, 홈 깊이 30 nm, w2/w1=6/10의 기판을 이용하여 막의 각 설계 인자의 파라메터를 변경한 샘플을 여러 장 작성하여, 랜드를 가지고 측정했다. 표 3에 본 발명의 기준 조건과 종래 조건의 비교를 나타낸다.
매체 설계 인자 성막 기준 조건 종래 조건
제2 재생층 큐리 온도(℃) 170 140
제1 재생층 막 두께(nm) 30 30
제2 재생층 막 두께(nm) 10 6
비자성 차단층 막 두께(nm) 1 2
오버코트층 막 두께(nm) 10 20
Al층 막 두께(nm) 70 40
도 15에 제2 재생층(28)의 Gd 조성을 변경하여, 큐리 온도(Tc)를 바꿨을 때의 CN 비를 도시한다. 도 15로부터, 제2 재생층(28)의 큐리 온도가 160℃∼190℃의 범위에서 44 dB 이상의 양호한 CN 비를 얻을 수 있음을 알 수 있다. 도 16에 제1재생층(26)의 막 두께의 변화에 대한 CN 비의 변화를 도시한다. 도 17에 제2 재생층 막 두께비(%)(제2 재생층(28)의 막 두께/제1 재생층(26)의 막 두께)에 대한 CN 비의 변화를 도시한다. 도 16으로부터, 제1 재생층(26)의 막 두께가 25 nm 미만이면 CN 비가 급격히 저하되고, 30 nm보다 크면 CN 비가 완만하게 저하된다. 44 dB 이상의 CN 비를 얻기 위해서는 35 nm 이하의 막 두께가 바람직하다. 또한, 제2 재생층(28)의 막 두께는 제1 재생층(26)의 막 두께에 의존하며, 도 17에 도시하는 바와 같이 제2 재생층(28)의 막 두께가 제1 재생층(26)의 막 두께에 대하여 30%∼40%인 범위에서 양호한 CN 비를 얻을 수 있다.
도 18에 CN 비의 비자성 차단층(30)의 막 두께 의존성을 도시한다. 차단층(30)의 막 두께가 0.5 nm 미만이면 기록층(32)과 재생층(26, 28) 사이의 교환 결합력이 급격히 증가하여, 기록층(32)과 재생층(26, 28) 사이의 정전 자기 결합력을 방해하기 때문에 급격한 CN 비의 저하가 발생한다. 한편, 비자성 차단층(30)을 두껍게 하면 정전 자기 결합력이 저하되기 때문에, 기록 마크의 전사성이 저하되어, CN 비가 저하된다. 따라서, 양호한 CN 비를 얻기 위해서는 비자성 차단층(30)의 막 두께는 0.5 nm∼2.0 nm의 범위가 바람직하다.
도 19는 CN 비의 오버코트층(22)의 막 두께 의존성을 나타낸다. 도 20은 기록 감도의 오버코트층(22)의 막 두께 의존성을 나타낸다. 오버코트층(22)을 두껍게 하면 CN 비가 저하되어, 기록 파워(Pw)가 저하된다. 일반적으로 광 기록에 있어서는, 전송 레이트를 높게 하기 위해서 고속 회전화가 필요하게 되지만, 회전수를 높게 설정하여 선속도가 높아지면, 기록에 필요한 레이저 파워가 높아져 버린다. 특히, 고밀도 기록에 알맞은 청자색 레이저는 적색 레이저에 비해서 출력이 낮기 때문에, 고선속화하기 위해서는 매체의 기록 파워(Pw)를 가능한 한 낮게 억제할 것이 요구된다. 도 19 및 도 20으로부터, 낮은 기록 파워로 게다가 양호한 CN 비를 얻기 위해서는 오버코트층(22)의 막 두께는 5 nm∼15 nm의 범위가 바람직하다.
도 21은 CN 비의 AlTi층(24)의 막 두께 의존성을 나타내며, 도 22는 기록 감도의 AlTi층(24)의 막 두께 의존성을 나타낸다. AlTi층(24)의 막 두께가 두꺼운 쪽이 CN 비는 커지지만, 기록 파워(Pw)도 상승하여 버린다. 낮은 기록 파워에서 게다가 양호한 CN 비를 얻기 위해서는 AlTi층(24)의 막 두께는 50 nm∼90 nm의 범위가 바람직하다.
도 23을 참조하면, 본 발명에 의한 광 디스크 장치의 회로 블럭도가 도시되어 있다. 본 발명의 광 디스크 장치는 제어 유닛(40)과 인클로저(41)로 구성된다. 제어 유닛(40)에는 광 디스크 장치의 전체적인 제어를 행하는 MPU(42), 상위 장치와의 사이에서 커맨드 및 데이터의 교환을 행하는 인터페이스(47), 광 디스크 매체에 대한 데이터의 리드·라이트에 필요한 처리를 행하는 광 디스크 컨트롤러(ODC)(44), 디지털 시그널 프로세서(DSP)(46), 버퍼 메모리(48)가 설치되어 있다. 버퍼 메모리(48)는 MPU(42), 광 디스크 컨트롤러(44) 및 상위 인터페이스(47)에서 공용된다.
광 디스크 컨트롤러(44)에는 포맷터(44a)와 ECC 처리부(44b)가 설치되어 있다. 라이트 액세스시에는, 포맷터(44a)가 NRZ 라이트 데이터를 매체의 섹터 단위로 분할하여 기록 포맷을 생성한다. ECC 처리부(44b)가 섹터 라이트 데이터 단위로ECC 코드를 생성하여 기록 포맷에 부가하고, 더욱 필요하면 CRC 코드를 생성하여 부가한다. 더욱이, ECC 인코드가 끝난 섹터 데이터를 예컨대 1-7RLL 부호로 변환한다.
포맷터(44a)가 OS 상에서 액세스할 때에 이용되는 논리 블록 어드레스(LBA)를 생성한다. 이 LBA는 광 디스크 매체의 기록 용량에 따라서 미리 프로그램되어, 이 프로그램이 펌웨어 형태로 포맷터(44a)에 저장되어 있다. 포맷터(44a)에는 LBA를 트랙 어드레스 및 섹터 어드레스로 변환하는 프로그램이 저장되어 있다. 더욱이, 광 디스크 매체의 물리 포맷시에 발견된 결함 섹터 번호도 포맷터(44a)에 저장되어 있다.
리드 액세스시에는, 복조된 섹터 리드 데이터를 1-7RLL 역변환하여, ECC 처리부(44b)에서 CRC 체크를 한 후에 에러 검출 정정을 하고, 또한 포맷터(44a)에서 섹터 단위의 NRZ 데이터를 연결하여 NRZ 리드 데이터의 스트림으로서 상위 장치에 전송한다. 라이트 LSI 회로(50)는 광 디스크 컨트롤러(44)에 의해 제어된다. LSI 회로(50)는 라이트 변조부(51)와 레이저 다이오드 제어 회로(52)를 갖고 있다. 레이저 다이오드 제어 회로(52)의 출력은 인클로저(41)측의 광학 유닛에 설치한 레이저 다이오드 유닛(60)에 공급된다.
레이저 다이오드 유닛(60)은 레이저 다이오드(60a)와 모니터용 포토디텍터(60b)를 갖고 있다. 라이트 변조부(51)는 라이트 데이터를 PPM 기록 또는 PWM 기록의 데이터 형식으로 변환한다. 레이저 다이오드 유닛(60)을 사용하여 기록 재생을 하는 광 디스크, 즉 재기록 가능한 광자기(MO) 카트리지 매체로서, 본 발명의 광디스크 장치는 128 MB, 230 MB, 540 MB, 640 MB, 1.3 GB 및 본 발명의 광 기록 매체의 어느 것을 사용할 수 있다. 대물 렌즈의 개구수(NA)가 0.55 이상이면, 파장 405 nm의 청자색 레이저를 사용하며, 본 발명의 광 기록 매체와 하위 호환 가능하다.
이 중, 128 MB, 230 MB의 MO 카트리지 매체에는, 매체 상의 마크의 유무에 대응하여 데이터를 기록하는 피트 포지션 기록(PPM 기록)을 채용하고 있다. 또한, 매체의 기록 포맷은 CAV(constant Angular Velocity)이다. 또한, 고밀도 기록 가능한 540 MB, 640 MB 및 1.3 GB의 MO 카트리지 매체에는, 마크의 엣지 부분, 즉 마크의 전연(前緣)과 후연(後緣)을 데이터에 대응시키는 펄스 폭 기록(PWM 기록)을 채용하고 있다. 또한, 존 CAV를 채용하고 있다.
이와 같이 본 발명의 광 디스크 장치는 128 MB, 230 MB, 540 MB, 640 MB 또는 1.3 GB의 각 기록 용량의 MO 카트리지 매체에 대응 가능하다. 따라서, 광 디스크 장치에 MO 카트리지를 로딩했을 때에는, 우선 매체의 헤더부에 복수의 프리피트로 형성된 ID부를 리드하여, 그 피트 간격으로부터 MPU(42)가 매체의 종별을 인식하고, 인식 결과를 라이트 LSI(50)에 통지한다. 또, 광 디스크 장치에 CAD 타입의 MO 카트리지를 로딩했을 때에는, MPU(42)에 의해 소정의 설정치가 이 매체용으로 설정되며, 이 설정치를 라이트 LSI(50)에 통지한다.
광 디스크 컨트롤러(44)로부터의 섹터 라이트 데이터는 128 MB, 230 MB 매체라면 라이트 변조부(51)에서 PPM 기록 데이터로 변환되고, 540 MB, 640 MB, 1.3 GB 매체 또는 본 발명의 광 기록 매체라면 PWM 기록 데이터로 변환된다. 라이트 변조부(51)에서 변환된 PPM 기록 데이터 또는 PWM 기록 데이터는 레이저 다이오드 제어 회로(52)에 공급되어, 레이저 다이오드(60a)를 구동하여 매체에 데이터가 기록된다.
리드 LSI 회로(54)는 리드 복조부(55)와 주파수 신디사이저(56)를 갖고 있다. 레이저 다이오드(60a)로부터 출사된 레이저빔의 복귀 광은 ID/MO용 디텍터(620)에 의해 검출되어, 헤드 앰프(64)를 통해 ID 신호 및 MO 신호로서 리드 LSI 회로(54)에 입력된다. 헤더의 어드레스 정보 등은 ID 신호로서 검출되어, 식별자와 트랙 어드레스, 섹터 어드레스의 연속 데이터의 재생에 의해, 광 빔의 매체 상의 위치를 인식할 수 있다.
리드 LSI 회로(54)의 리드 복조부(55)에는 AGC 회로, 필터, 섹터 마크 검출 회로 등의 회로 기능이 설치되고, 입력한 ID 신호 및 MO 신호로부터 리드 클록과 리드 데이터를 작성하여, PPM 기록 데이터 또는 PWM 기록 데이터를 원래의 NRZ 데이터로 복조한다. 스핀들 모터(70)의 제어로서 존 CAV를 채용하고 있으므로, MPU(42)로부터 리드 LSI 회로(54)에 내장한 주파수 신디사이저(56)에 대하여, 존 대응의 클록 주파수를 발생시키기 위한 분주비의 설정 제어가 이루어지고 있다.
주파수 신디사이저(56)는 프로그래머블 분주기를 갖춘 PLL 회로이며, 매체의 존(밴드) 위치에 따라서 미리 정한 고유의 주파수를 갖는 기준 클록을 리드 클록으로서 발생한다. 즉, 주파수 신디사이저(56)는 프로그래머블 분주기를 갖춘 PLL 회로로 구성되어, MPU(42)가 존 번호에 따라서 셋트한 분주비(m/n)에 따른 주파수(fo)의 기준 클록을,
fo=(m/n)·fi
에 따라서 발생한다. 여기서, 분주비(m/n)의 분모인 분주치 n은 128 MB, 230 MB, 540 MB, 640 MB, 1.3 GB 매체 또는 본 발명의 광 기록 매체의 종별에 따른 고유의 값이다. 분자인 분주치 m은 매체의 존 위치에 따라서 변화되는 값이며, 각 매체에 대해 존 번호에 대응한 값의 테이블 정보로서 미리 준비되어 있다.
리드 LSI 회로(54)는 또한, DSP(46)에 대하여 MOXID 신호(E4)를 출력한다. MOXID 신호(E4)는 데이터 영역이 되는 MO 영역에서 H 레벨(비트 1)로 되고, 프리피트를 형성한 ID 영역에서 L 레벨(비트 0)로 떨어지는 신호이며, 매체의 기록 트랙상의 MO 영역과 ID 영역의 물리적인 위치를 나타내는 신호이다. 리드 LSI(54)에서 복조된 리드 데이터는 광 디스크 컨트롤러(44)에 공급되어, 1-7RLL의 역변환 후에 ECC 처리부(44b)의 인코드 기능에 의해서 CRC 체크와 ECC 처리를 받아 NRZ 섹터 데이터로 복원된다. 더욱이, 포맷터(44a)에서 NRZ 리드 데이터의 스트림에 연결시킨 후에, 버퍼 메모리(48)를 경유하여 상위 인터페이스(47)에 의해 상위 장치로 전송된다.
MPU(42)에 대해서는, DSP(46)를 경유하여 인클로저(41)측에 설치한 온도 센서(66)의 검출 신호가 공급되고 있다. MPU(42)는 온도 센서(66)에서 검출한 장치 내부의 환경 온도에 기초하여, 레이저 다이오드 제어 회로(52)에 있어서의 리드, 라이트, 이레이즈의 각 발광 파워를 최적치로 제어한다. 레이저 다이오드 제어 회로(52)는, 예컨대 라이트 파워를 6.0 mW로 제어하고, 리드 파워를 2.0 mW로 제어한다. 128 MB 매체에서부터 1.3 GB 매체는 광 변조 기록을 행한다. 본 발명의 광자기기록 매체에서는, 광 변조 기록 및 자계 변조 기록의 어느 것도 채용할 수 있다. MPU(42)는 또한, DSP(46)를 경유하여 드라이버(68)에 의해 인클로저(41)측에 설치한 스핀들 모터(70)를 제어한다. MO 카트리지의 기록 포맷은 존 CAV이므로, 스핀들 모터(70)를 예컨대 4500 rpm의 일정 속도로 회전시킨다. 데이터의 기록시 및 재생시 모두 매체의 선속도는 7.5 m/s이다.
MPU(42)는 또한, DSP(46)를 경유하여 드라이버(72)를 통해 인클로저(41)측에 설치한 전자석(74)을 제어한다. 전자석(74)은 장치 내에 로딩된 MO 카트리지의 빔 조사측과 반대측에 배치되어 있으며, 매체에 외부 자계를 공급한다. DSP(46)는 매체에 대하여 레이저 다이오드(60a)로부터의 레이저빔의 위치 결정을 행하기 위한 서보 기능을 갖추고, 목적 트랙에 시크하여 온트랙하기 위한 시크 제어부(57)와, 목적 트랙에 빔을 끌어 들인 후에 트랙 센터에 따라가게 하는 온트랙 제어부(58)를 갖추고 있다.
DSP(46)의 서보 기능을 실현하기 위해서, 인클로저(41)측의 광학 유닛에 매체로부터의 빔 복귀 광을 수광하는 FES용 디텍터(75)를 설치하고, FES 검출 회로(76)가 FES용 디텍터(75)의 수광 출력으로부터 포커스 에러 신호를 작성하여 DSP(46)에 입력하고 있다. 인클로저(41)측의 광학 유닛에는 매체로부터의 빔 복귀 광을 수광하는 TES용 디텍터(77)가 설치되어 있고, TES 검출 회로(78)가 TES용 디텍터(77)의 수광 출력으로부터 트랙킹 에러 신호(E1)를 작성하여, DSP(46)에 입력하고 있다.
트랙킹 에러 신호(E1)는 TZC 검출 회로(트랙 제로 크로스 검출 회로)(80)에입력되어, 트랙 제로 크로스 펄스(E2)를 작성하여 DSP(46)에 입력하고 있다. DSP(46)는 또한, 매체 상의 빔 스폿의 위치를 제어하기 위해서, 드라이버(88, 92, 96)를 통해 포커스 액츄에이터(90), 트랙 액츄에이터(94) 및 VCM(98)의 구동을 제어한다.
도 24를 참조하면, 광 디스크 장치의 인클로저(41)의 개략 구성이 도시되어 있다. 하우징(100) 내에는 스핀들 모터(70)가 설치되어 있고, 인레트 도어(104)를 통해 MO 카트리지(106)를 장치 내에 삽입하면, 내부의 MO 매체(12)가 스핀들 모터(70)의 회전축의 허브에 처킹되어, MO 매체(12)의 로딩이 이루어진다. 로딩된 MO 매체(12)의 하측에는 VCM(98)에 의해 매체의 트랙을 가로지르는 방향으로 이동이 자유로운 캐리지(108)가 설치되어 있다. 캐리지(108) 상에는 대물 렌즈(110) 및 빔 기동 프리즘(114)이 탑재되어 있다.
고정 광학계(112)에 설치되어 있는 레이저 다이오드(60a)로부터의 레이저빔을 빔 기동 프리즘(114)에 의해 반사하여 대물 렌즈(110)에 입사하고, MO 매체(12)의 기록면에 빔 스폿을 포커스하고 있다. 대물 렌즈(110)는 도 23의 인클로저(41)에 도시한 포커스 액츄에이터(90)에 의해·광축 방향으로 이동 제어되고, 또 트랙 액츄에이터(94)에 의해 매체 트랙을 가로지르는 반경 방향으로 예컨대 수십 트랙의 범위 내에서 이동할 수 있다. 로딩된 MO 매체(12)의 상측에는 매체에 외부 자계를 공급하는 전자석(102)이 설치되어 있다.
이상 상세하게 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 데이터의 기록 재생에빔 스폿이 작은 청자색 레이저를 이용한 경우라도, 양호한 CN 비와 충분히 작은 크로스토크 특성을 갖는 랜드 및 그루브를 기록 트랙으로 하는 광 기록 매체를 제공하는 것이 가능해진다. 더욱이, 이러한 광 기록 매체에 대하여 데이터의 기록/재생을 하는 데에 알맞은 광 디스크 장치를 제공할 수 있다.

Claims (16)

  1. 랜드 및 그루브로 이루어지는 기록 트랙을 갖고, 기록 재생에 사용하는 레이저빔의 기록 매체면에서의 빔의 직경이 0.7 μm 이하인 광 기록 매체로서,
    교대로 형성된 복수의 랜드 및 복수의 그루브를 갖는 투명 기판과,
    이 투명 기판 상에 설치된 광 기록 가능한 기록층
    을 구비하며,
    상기 각 랜드와 각 그루브의 경계의 중심 높이에서의 랜드의 폭을 w1, 랜드의 평탄 정상부의 폭을 w2, 각 그루브의 깊이를 d라고 할 때,
    0.4 ≤w2/w1 ≤0.8 또한 25 nm ≤d ≤45 nm
    이고,
    적어도 상기 각 랜드는 곡면 형상의 엣지부를 갖는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 각 그루브는 곡면 형상의 엣지부를 갖고 있는 것인 광 기록 매체.
  3. 제1항에 있어서, 상기 기록층은 희토류 천이 금속 재료로 이루어지는 광자기 기록층으로 구성되는 것인 광 기록 매체.
  4. 랜드 및 그루브로 이루어지는 기록 트랙을 갖고, 기록 재생에 사용하는 레이저빔의 기록 매체면에서의 빔의 직경이 0.7 μm 이하인 광자기 기록 매체로서,
    교대로 형성된 복수의 랜드 및 복수의 그루브를 갖는 투명 기판과,
    이 투명 기판 상에 형성된, 상대적으로 카 회전각이 크고 실온에서의 보자력이 작은 희토류 천이 금속 재료로 이루어지는 재생층과,
    이 재생층 상에 형성된, 상대적으로 카 회전각이 작고 실온에서의 보자력이 큰 희토류 천이 금속 재료로 이루어지는 기록층
    을 구비하며,
    상기 각 랜드와 각 그루브의 경계의 중심 높이에서의 랜드의 폭을 w1, 랜드의 평탄 정상부의 폭을 w2, 각 그루브의 깊이를 d라고 할 때,
    0.4 ≤w2/w1 ≤0.8 또한 25 nm ≤d ≤45 nm
    이고,
    적어도 상기 각 랜드는 곡면 형상의 엣지부를 갖는 것을 특징으로 하는 광자기 기록 매체.
  5. 제4항에 있어서, 상기 재생층과 상기 기록층 사이에 삽입된 비자성층을 더 구비한 광자기 기록 매체.
  6. 제4항에 있어서, 상기 재생층과 상기 기록층 사이에 삽입된 자성 중간층을 더 구비한 광자기 기록 매체.
  7. 랜드 및 그루브로 이루어지는 기록 트랙을 갖고, 기록 재생에 사용하는 레이저빔의 기록 매체면에서의 빔의 직경이 0.7 μm 이하인 광자기 기록 매체로서,
    교대로 형성된 복수의 랜드 및 복수의 그루브를 갖는 투명 기판과,
    이 투명 기판 상에 형성된, 실온에서 면내 방향의 자화 용이성을 갖는 제1 재생층과,
    이 제1 재생층 상에 형성된, 실온에서 면내 방향의 자화 용이성을 갖는 제2 재생층과,
    이 제2 재생층 상에 형성된 비자성 차단층과,
    이 비자성 차단층 상에 형성된, 단층이며 실온에 있어서 수직 방향의 자화 용이성을 갖는 기록층과,
    이 기록층 상에 형성된 비자성 오버코트층과,
    이 비자성 오버코트층 상에 형성된 금속층
    을 구비하며,
    상기 각 랜드와 각 그루브의 경계의 중심 높이에서의 랜드의 폭을 w1, 랜드의 평탄 정상부의 폭을 w2, 각 그루브의 깊이를 d라고 할 때,
    0.4 ≤w2/w1 ≤0.8 또한 25 nm ≤d ≤45 nm
    이고,
    적어도 상기 각 랜드는 곡면 형상의 엣지부를 갖는 것을 특징으로 하는 광자기 기록 매체.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1 및 제2 재생층의 큐리 온도를 각각 Tc1, Tc2라고 했을 때,
    Tc2 ≤Tc1 또한 160℃ ≤Tc2 ≤190℃
    인 것인 광자기 기록 매체.
  9. 제7항에 있어서, 상기 제1 재생층은 25 nm∼35 nm의 막 두께 tr1을 갖고 있는 것인 광자기 기록 매체.
  10. 제7항에 있어서, 상기 제2 재생층의 막 두께를 tr2라고 할 때,
    tr1 ×0.3 ≤tr2 ≤tr1 ×0.4
    인 것인 광자기 기록 매체.
  11. 제7항에 있어서, 상기 비자성 오버코트층은 5 nm∼15 nm의 막 두께를 갖고 있는 것인 광자기 기록 매체.
  12. 제7항에 있어서, 상기 금속층은 50 nm∼90 nm의 막 두께를 갖고 있는 것인 광자기 기록 매체.
  13. 제7항에 있어서, 상기 비자성 오버코트층은 SiN으로 구성되는 것인 광자기기록 매체.
  14. 제7항에 있어서, 상기 금속층은 Al을 주성분으로 하여 포함하고 있는 것인 광자기 기록 매체.
  15. 제7항에 있어서, 상기 비자성 차단층은 0.5 nm∼2 nm의 막 두께를 갖고 있는 것인 광자기 기록 매체.
  16. 랜드 및 그루브로 이루어지는 기록 트랙을 갖는 광 기록 매체에 기록된 정보를 적어도 판독할 수 있는 광 기억 장치로서,
    기록 매체면에서의 빔의 직경이 0.7 μm 이하인 레이저빔을 상기 광 기록 매체에 조사하는 광학 헤드와,
    상기 광 기록 매체에서 반사된 반사광으로부터 재생 신호를 생성하는 광 검출기
    를 구비하며,
    상기 광 기록 매체는, 교대로 형성된 복수의 랜드 및 복수의 그루브를 갖는 투명 기판과, 이 투명 기판 상에 형성된 광 기록 가능한 기록층을 포함하고 있고,
    상기 각 랜드와 각 그루브의 경계의 중심 높이에서의 랜드의 폭을 w1, 랜드의 평탄 정상부의 폭을 w2, 각 그루브의 깊이를 d라고 할 때,
    0.4 ≤w2/w1 ≤0.8 또한 25 nm ≤d ≤45 nm
    이며,
    적어도 상기 각 랜드는 곡면 형상의 엣지부를 갖는 것을 특징으로 하는 광 기억 장치.
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