KR20040111459A - 가스이온화분리순화장치 - Google Patents

가스이온화분리순화장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20040111459A
KR20040111459A KR10-2004-7015553A KR20047015553A KR20040111459A KR 20040111459 A KR20040111459 A KR 20040111459A KR 20047015553 A KR20047015553 A KR 20047015553A KR 20040111459 A KR20040111459 A KR 20040111459A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gas
flow path
flow
separation
pressure
Prior art date
Application number
KR10-2004-7015553A
Other languages
English (en)
Inventor
타카오 이토
히토시 에미
요시오 오타니
노리카즈 나미키
Original Assignee
다이단 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 다이단 가부시끼가이샤 filed Critical 다이단 가부시끼가이샤
Publication of KR20040111459A publication Critical patent/KR20040111459A/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/32—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by electrical effects other than those provided for in group B01D61/00
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/32—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by electrical effects other than those provided for in group B01D61/00
    • B01D53/323—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by electrical effects other than those provided for in group B01D61/00 by electrostatic effects or by high-voltage electric fields
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/0006—Controlling or regulating processes
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F8/00—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying
    • F24F8/30—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying by ionisation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/10—Single element gases other than halogens
    • B01D2257/104—Oxygen
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/70—Organic compounds not provided for in groups B01D2257/00 - B01D2257/602
    • B01D2257/702—Hydrocarbons
    • B01D2257/7027—Aromatic hydrocarbons

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Elimination Of Static Electricity (AREA)
  • Central Air Conditioning (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Abstract

유입 가스(11)를 이온화하여 가스성분으로 가스를 분리하는 장치에 있어서, 유입 포트로부터 챔버의 유로 안으로 유동하는 가스는 이온화되고, 유로 내에서는 전극(16)(17)에 의해 이온화된 가스 성분에 전계를 제공함으로써 이온화된 가스는 상기 가스 내에 포함된 가스 분자 성분을 분리하기 위해 양이온과 음이온으로 분리된다. 청정 공기와 같은 한 가스 성분은 제1 유출 포트(12)를 통해 유출되고, 분리된 가스성분은 제2 유출 포트(13)를 통해 유출된다. 유입 포트를 통한 유입 가스의 플로우는 기류 조정을 위해 설정시간 또는 그 이상의 시간동안 챔버의 유로내에 가스를 유지시키도록 조정된다.

Description

가스이온화분리순화장치{APPARATUS FOR SEPARATING GAS INTO GAS COMPONENTS USING IONIZATION}
고순도의 수소 가스를 정제하는 방법으로서, 수소 가스가 팔라디움(palladium) 합금의 막을 통과하게 되는 막투과식 정제법이 있다. 막투과식 정제법에서는 초고순도의 분리된 가스 성분이 얻어진다. 그러나, 대량의 정제된 고순도 가스를 얻기 위해서는 막으로 분리된 가스 공간들 간에 압력차가 고온에서 커질 필요가 있다. 그러므로, 막투과 정제법은 많은 에너지를 필요로 하게 된다.
많은 형태의 가스에 대해 이용될 수 있는 가스 정제법으로서, 흡착제로 가스를 흡착하는 흡착 정제법이 있다. 흡착 정제법에서는 가스 내의 불순물들이 상온에서 접착될 수 있다. 불순물을 흡착하는 흡착제는 흡착성을 향상시키거나 재생하는 등의 처리에 의해 재활성화될 수 있다. 가스가 계속 정제될 경우, 둘 이상의 흡착 칼럼을 준비하고 흡착/제거 모드로 이들을 선택적으로 가동시킬 필요가 있다.
아르곤, 헬륨 또는 수소 가스와 같은 희박한 가스에 대한 가스 정제법으로서, 게터(getter) 정제법이 있다. 게터 정제법에서는 가스 내의 불순물을 가지는 게터 물질을 고온에서 반응시킬 필요가 있다. 그러므로, 게터 정제법은 많은 에너지를 필요로 한다. 불순물과 동시에 반응된 게터 물질은 재생될 수 없으며, 불리하게도 버려진다.
한편, 일본 특허출원공개 제2001-70743호에는 낮은 에너지로 가스를 지속적으로 정제하는 방법이 개시되어 있다. 이 방법은, 가스를 정제하기 위해 전계(electrical field)에 의해 양이온 및 음이온으로 가스를 분리하는 단계를 포함한다. 이 제안 장치는 가스 출구를 가지는 평행한 평판 전극이 2개의 지류를 형성하도록 챔버의 대응측에 배치되는 구조를 포함한다. 이러한 수단으로 구성된 분리장치에서, 한 지류부(flow branch section)는 이온분리 구역과 같고, 이온화된 불순물은 전계에 의해 최소 이온 이동거리에서 분리된다. 한 지선 플로우(branching flow)에서 다른 지선 플로우로 한 번 이동한 이온화된 불순물이 중화되더라도, 그 불순물은 플로우를 따라 추출될 수 있다. 그러므로, 상기 장치는 고순도를 갖는 가스를 정제하는데 뛰어난 것이다. 그러나, 출구를 가지는 평행한 평판 전극의 구조에서 정체 영역(stagnant region)은 챔버의 코너 부근에 존재한다. 따라서, 대유량의 유입된 가스는 매끄럽게 배출되지 않고, 불순물의 분리효율은 가스 유량과함께 변화한다. 더욱이, 분리에서는 불순물이 효율적으로 분리될 때까지 유지 기간을 확보할 필요가 있다. 그러나, 전술한 분리기와 함께 분리챔버 내 유입 가스의 출구측으로의 숏-컷 플로우(short-cut flow)는 변함이 없다. 그러므로, 챔버의 안정된 큰 직경으로도 유지시간을 안정화하는 데는 어려움이 있다. 더욱이, 분리 유량(separation flow volume)은 동일한 체적으로 분리되어질 필요가 있다. 따라서, 유량계와 밸브는 유량이 동일한 체적으로 조정되도록 출구에 배치되어야만 한다. 그러나, 유량계는 가스 플로우의 입구 또는 케이스 내 분기된 가스의 출구에 배치될 수 없다. 유량계가 설치될 수 없을 경우, 유량이 조정될 수 없는 문제점이 있다.
더욱이, 두 지선으로 가스 이온을 분리함에 있어서, 공급된 분리 전압은 가스의 유량, 이온의 전기적 이동성, 그리고 이온의 발생 및 소모율에 따라 결정된 최적값을 가진다. 여기서, 이온의 전기적 이동성 및 발생/소모율은 가스의 압력 또는 온도에 따라 다양하다. 그러므로, 분리 효율은 압력 또는 온도 상태에 따라 영향을 받게 되는 문제점이 있다.
본 발명은 유입 가스를 이온화하여 가스성분으로 가스를 분리하는 장치에 관한 것으로, 특히 나노미터 내지 마이크로미터의 범위에서 미세 가공을 수행하는 공정에 이용하기 위한, 정제된 가스 성분 및 다른 성분들로 가스를 분리하는 가스분리장치, 또는 공기중에서 미량의 불순물을 제거하기 위한 공기정제장치로서 사용함에 적합한 가스이온화분리순화장치에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 2개의 지류를 개략적으로 도시한 사시도;
도 2는 도 1의 이오나이져를 개략적으로 도시한 횡단면도;
도 3은 도 1의 분리장치 내에서 고순도의 질소가스로부터 미량의 산소를 분리함으로써 달성된 실험결과의 일례를 도시한 특성 다이어그램;
도 4는 질소, 산소 및 톨루엔의 이온화 포텐셜과 프로톤 친화도를 나타낸 도표;
도 5는 도 1의 분리 전극을 개략적으로 도시한 횡단면도;
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 가스이온화분리순화장치를 개략적으로 도시한 횡단면도;
도 7은 도 6의 가스이온화분리순화장치에 의해 유기물 중 톨루엔을 분리하여 달성된 결과에 관한 일 례를 도시한 특성 다이어그램;
도 8은 관련 기술의 분리 효율 비교예와 함께 본 발명의 실시예에 따른 가스이온화분리순화장치에서의 분리 효율을 도시한 특성 다이어그램;
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 가스 유량 조정시의 미차 압력 검지 방법을 도시한 횡단면도;
도 10은 본 발명의 실시예에 따른, 서로 대향하여 배치된 출구의 유량 간에 관계 및 압력 차이를 도시한 특성 다이어그램;
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 가스이온화분리순화장치의 배치에 관한 사용례를 도시한 설명도;
도 12는 본 발명의 실시예에 따른, 가스의 압력을 측정하는 압력 측정부를 포함하는 가스이온화분리순화장치를 도시한 횡단면도;
도 13은 본 발명의 실시예에 따른, 이온화에서의 분리효율 및 두 지류 전계에서의 미량 가스 성분의 전기적 이동을 계산하기 위해 분자 성분 및 이온에 대해 대류 확산 방정식을 풀어서 얻어진 결과의 일 례를 도시한 특성 다이어그램이다.
본 발명의 목적은 유입 가스내에서 가스를 이온화하여 분리하기 위한, 에너지 소모가 적고 효율이 높은 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 양태에 따르면, 유입 가스 내에서 가스를 이온화하여 분리하기 위한, 아래의 구성을 포함하는, 장치가 제공된다.
유로를 한정하는 형상으로 이루어지고, 유입 포트(inlet port)와 제1 및 제2 유출 포트(outlet ports)를 가지는 챔버 구조체;
유입 포트를 통해 유로 안으로 유입되는 가스 내에서 가스 성분을 이온화하기 위한 이오나이져;
가스 성분을 양이온과 음이온으로 분리하기 위해 유로 내 이온화된 가스 성분에 전계를 제공하고, 그로 인해 가스 내에 포함된 가스 분자를 분리하기 위한 수단;
제1 유출 포트로부터 한 가스 성분을 추출하기 위한, 제2 유출 포트로부터 또다른 가스 성분을 추출하기 위한 수단; 및
유입 포트로부터 유입 가스의 플로우를 제어하고, 설정시간 이상으로 유로 내에 가스를 유지하기 위한 수단.
본 발명의 또다른 목적 및 장점은 이하의 상세한 설명부의 앞부분에서 설명되며, 그 중 일부는 상세한 설명으로부터, 또는 바람직한 실시예를 통해 명확하게 이해될 수 있다.
본 발명의 목적 및 장점은 특별히 아래에 언급된 여러 수단들 및 이들간의 조합에 의해 이해되며 달성될 수가 있다.
첨부된 도면들은 상세한 설명의 일부분을 결합하여 구성하는 것으로 본 발명의 실시예를 도시한 것이고, 상술한 전반적인 설명 및 아래에 주어진 실시예에 관한 상세한 설명과 함께 본 발명의 요지를 설명하기 위해 제공된 것이다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 가스이온화분리순화장치에 대한 바람직한 실시예를 설명한다.
도 1은 본 발명의 시시예에 따른 2개 지류 형태로 된 가스이온화분리순화장치가 도시하고 있다. 가스이온화분리순화장치에서는 이온의 발생과 전계에 의한 상기 이온의 분리가 동시에 수행되며, 전계를 제공하는 전극은 가스 유출 포트로서 제공하기 위한 소정의 형상을 가진다. 도 1에서, 참조부호 11은 가스의 혼합물, 예를 들어 공기와 가스의 혼합물이 장치 안으로 유입되는 유입 포트를 가리키는 것이고, 참조부호 12,13은 분리된 가스가 유출되는 가스 유출 포트를 가리키는 것이며, 참조부호 14는 유로를 한정하게 되는 분리챔버를 가리킨다. 분리챔버(14)에서, 이온나이져(15)는 유로 내 가스 성분을 이온화하기 위해 배치된다. 챔버(14)에 착탈가능하게 구비된 분리전극(16,17)은 챔버(14)를 폐쇄하고, 가스 성분을 배출하는 유출 포트(12,13)는 분리전극(16,17) 내에 배치된다. 챔버(14)는 다공질전극(18) 및, 다공질(삼투성) 부재를 통과하여 유출 포트(12,13)을 향해 유동하도록 하는 방법으로 상기 다공질 부재로 구성된 유리섬유 필터(19; 플로우 저항부)를 가진다. 유입 포트(11), 이오나이져(15), 분리전극(16,17) 및 다공질 전극(18)은 SUS와 같은 금속으로 구성된다. 상기 분리 챔버(14)와 관련하여, 유입 포트(11)에 연결된 부분들을 포함하는 환상의 스트립 형상부 및 이오나이져(15)는 SUS와 같은 금속으로 구성되고, 다른 부분들은 석영유리(quartz glass)와 같은 절연재로 구성된다.
분리챔버(14)는 내경이 40mm인 원통형상으로 이루어지고, 원통형 유동채멀을 구비하며, 축방향을 따라 대체로 수평방향으로 설치된다. 분리챔버(14)의 대응 단부에 위치한 좌,우 개구에 있어서, 분리전극(16,17)은 분리챔버(14)의 개구를 폐쇄하기 위하여 대체로 나란하게 그리고 서로 반대방향으로 배치된다. 분리전극(16)의 중간부에는 6.2mm의 내경을 가지는 원통 형상의 제1 유출 포트(12)가 배치된다. 분리챔버(14)의 외주면의 중간부에는 분리챔버(14)의 내면의 주연 방향으로 가스를 공급하고 원형 플로우(circular flow)를 발생시키기 위해 6.2mm의 내경을 가지는 원통 형상의 유입 포트(11)가 배치된다. 분리챔버(14) 내의 각각의 분리전극(16,17)의 내부에는 원통형의 유로를 차폐하기 위해 유리섬유 필터(19; 플로우 저항부)가 배치된다.
분리챔버(14) 내의 각각의 유리섬유 필터(19)의 내부에는 원통형 유로를 차폐하기 위해 다공질 전극(18)이 배치된다. 다공질 전극(18)은 50mm 간극으로 상호 대응하여, 그리고 대체로 서로 나란하게 배치된다. 이오나이져(15)는 분리챔버(14) 내의 다공질 전극(18) 사이에 배치된다. 분리전극(16,17)은 직류 전원(25)에 연결되어 한 전극(16)이 양극으로, 다른 전극(17)은 음극 이 된다.
이러한 장치에서, 가스 성분은 아래에 설명하는 바와 같이 유입 포트(11)에서 유출 포트(12,13)로 유동한다. 이는 분리챔버(14)로 유입된 가스가 접선(주연)방향으로부터 원통형 유로의 내면을 따라 유동하기 때문이다. 더욱이, 각각의 가스 유출 포트(12,13)는 동일한 극성을 가지는 2가지 형태의 전극을 포함한다. 즉, 유출 포트(12), 전극(16) 및 상기 유출 포트(12)의 측면에 위치된 다공질 전극(18)은 어느 하나의 극성을 가지고, 유출 포트(13), 전극(17) 및 상기 유출 포트(13)의 측면에 위치된 다공질 전극(18)은 다른 극성을 가진다. 공동(hollow)의 분리전극(16,17)의 내부 공간에서는, 다공질 전극(18) 및, 높은 압력 손실을 가지는 유리섬유 필터(19;플로우 저항부)가 서로 연속하여 배치된다. 분리챔버(14) 내의 유로 안으로 유입된 가스는 다공질 전극(18)과 유리섬유 필터(19;플로우 저항부)을 통과하여 가스 유출 포트(12(13))를 통해 유출된다. 즉, 40mm의 내경을 가지는 원통형 챔버(14)의 측면 중간부로부터 유로 안으로 유입되는 가스는 상호 대응하여 배치된 두 유출 포트(12,13)를 향해 분기되고, 각각의 출구를 통해 본 발명 장치의 외부로 배출된다.
가스는 가스 유입 포트(11)로부터 분리챔버(14) 내부로 유입디고, 소프트 X선(soft X-rays)은 분리챔버(14)에 고정된 이오나이져(15)로부터 가스에 조사되며, 가스 성분은 분리챔버(14) 내에서 이온화된다. 불순물로 간주되는 소정의 분자성 가스 성분은 이온 분자 반응으로 양이온(cations)으로서 주어진다. 더욱이, 유입된 가스는 그 가스가 접선(주연) 방향으로부터 원통형의 분리챔버(14)의 유로 내면을 따라 유동하고 이 유동하는 가스는 유로 내에서 원형의 스트림(circular stream)을 형성하도록 제어된다. 이러한 원형 플로우는 가스 유동이 유입 포트(11)로부터 유출 포트(11)를 향해 유동하면서 숏-컷 가스 스트림(short-cut gas stream)을 형성하는 것을 방지한다. 가스는 유로 내에서 장시간 동안 유지되도록 고정할 수 있다. 즉, 소프트 X선의 조사 시간(irradiation time)이 가스에 대하여 연장하고, 분자 성분은 충분히 이온화될 수가 있다. 두 유출 포트(12,13)에 배치된 각각의 전극(분리전극(16,17) 및 다공질 전극(18))과 관련하여, 직류 전압은 양극측에 한 유출 포트(12)를, 그리고 음극측에 다른 유출 포트(13)를 배치하여 공급된다. 전계는 유로 내에 형성된다. 양전극으로서 이온화된 분자 성분은 음극측의 유출 포트(13)로 이동한다. 고순도의 가스 성분은 가스로부터 분리되어 양극측의 유출 포트(12)로부터 추출된다.
도 2는 도 1의 횡단면도이다. 이오나이져(15)는 지면에 연결된 SUS 도관과 같은 금속 도관에 위치되는 소프트 X선 튜브(20)와 같은 구조를 갖는다. 예를 들어, 이오나이져(15)는 외부로부터 스크류(21)를 가지는 분리 챔버(14)의 측면부에 고정된다. 소프트 X선 튜브(20)는 고전압이 공급되고, 소프트 X선 제어장치(미도시)에 의해 제어되며, 분리챔버(14)의 유로 안으로 소프트 X선을 방출한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 참조부호 22는 플루오르화 탄소 섬유(fluorocarbon resin)와 같은 절연재를 나타낸다. 더욱이, 가스 유입 포트(11)는 가스가 접선 방향으로부터 원통 형상인 분리챔버(14)의 유로 내면을 따라 유동하도록 구성되며, 그에 따라분리챔버(14) 안으로 유입된 가스의 유동 스트림은 원통형 유동채널의 내부에 원형 플로우(10)를 형성한다. 이러한 원형 유동에 의해, 분리챔버(14) 안으로 유입된 가스는 원통형 유동채널의 내면을 따라 유동하며, 충분한 양의 소프트 X선이 조사될 수가 있다.
도 3은 도 1에 도시된 분리장치 내의 고순도 질소가스에서 미량의 산소를 분리하여 얻어진 실험결과에 관한 일 례를 도시한 특성 다이어그램이다. 이 특성 다이어그램에서, 횡좌표는 전계강도를 나타내며, 세로좌표는 입구를 통해 유입된 산소 분자의 유량(flux) 대비 분리된 산소 분자의 유량, 즉 분리효율을 나타낸다. 도 3은 1 L/min의 유입 유량에서 7 ppb, 28 ppb 및 43 ppb의 유입 농도를 가지는 질소 가스로부터 소정의 산소를 분리한 결과를 보여주고 있다. 산소의 분리 효율은 낮은 농도일수록 증가한다. 2kV의 전계 강도에서 7 ppb의 산소로는 최대 60%의 분리효율이 달성된다. 소정의 분자 성분을 선택적으로 이온화하기 위해서는 이온화 에너지가 캐리어(carrier) 가스 분자의 그것보다 작을 것이 요구된다. 반면, 프로톤 친화력(proton affinity)은 캐리어 가스 분자의 그것보다 클 것이 요구된다.
도 4는 이온화 포텐셜과, 질소, 산소 및 톨루엔의 프로톤 친화력을 보여주고 있다. 질소 및 산소와 관련하여, 산소는 더 작은 이온화 포텐셜을 가지며 더 쉽게 채워지나, 프로톤 친화력의 차이는 톨루엔과 같은 유기물에 비해 작으며 분리 효율은 낮다. 그러나, 그럼에도 불구하고 산소 분자는 도 1의 분리장치를 이용하여 분리될 수 있음을 볼 수 있다.
도 5는 유출 포트에 배치된 분리 전극의 구조를 도시하고 있다. 분리 전극(16,17)은 금속으로 이루어진 공동(hollow)의 전극부(6A,6B)로 구성된다. 유리섬유 필터(19; 플로우 저항부)는 O링(24)을 통해 전극부(6A,6B) 사이에 고정되고, 두 전극부(6A,6B)는 스크류(23)로 고정된다. 더욱이, 분리전극(16,17)은 O링(44)과 같은 기밀 고정부재를 통해 원통형 분리챔버(14)에 연결된다. 유리섬유 필터(19)는 헤파필터와 같은 마이크로 유리섬유일 수 있으며, 전체 유로 내에 일정하게 분포된 유체 저항을 갖는 한 어떠한 물질도 사용될 수가 있다. 전극부(6A,6B) 사이에 고정된 필터(19)의 장점과 관련하여, 유리섬유 필터(19; 플로우 저항부)는 미세 구조로 이루어져 입자 형태의 오염물이 쉽게 침전되나, 필터는 전극부(6A,6B)의 분리가능한 구조로 인해 쉽게 변화될 수 있다. 금속의 다공질 전극(18)은 전극부(6A)의 정면(6A), 즉 상류측 단부에 부착되고, 전극부(6a)의 외면은 직류 전원(25)에 연결된다. 따라서, 분리 전극(16,17)뿐 아니라 다공질 전극(18)도 동시에 충전된다. 분리 전극(16,17)이 설치되지 않고 단지 다공질 전극(18)만이 구비된 경우, 원통형 분리챔버(14)의 내부에 구비된 다공질 전극(18)과 상기 원통형 분리챔버(14)의 외부에 위치된 직류 전원(25) 사이를 연결하기 위해서는 분리챔버(14) 내에 홀(hole)을 형성하고 이 홀을 통해 전선을 통과시킬 필요가 있다. 그러나, 다공질 전극(18)과 전극부(6a)는 모두 금속으로 이루어지고 일체로 주조 또는 결합되도록 부착되며, 그로부터 외부에서 전극부(6A)에 와이어를 연결시켜 다공질 전극(18)에 전압이 공급될 수 있는 것이다. 다공질 전극(18)에는 미세 금속 그물망(mesh)이 이용될 수 있으며, 분리챔버(14) 내의 또다른 다공질 전극(18)과 동시에 전계가 형성되고 가스가 균일하게 배출될 수 있는 한 어떠한 형상 또는 물질도 사용될 수 있다. 본 발명 장치에서 절연재는 석영 유리에만 한정하지 않고 세라믹이나 합성수지와 같은 물질들을 이용하여 구성할 수도 있음이 자명하게 파악된다. 더욱이, 전극이나 이오나이져에 절연재로 채용하는 물질은 단지 O링에만 한정하지 않고, 은도금된 니켈로 이루어진 금속 씰(metal seal) 및 실리콘 러버(silicon rubber) 등의 시트형(sheet-shaped materials) 부재가 이용될 수 있다.
도 6은 본 발명의 또다른 실시예에 따른 가스이온화분리순화장치를 도시한 횡단면도이다. 이온원(ion sources)으로서, 원통형 유동채널 내면에 고정된 방사성 동위원소(radioactive isotope)241AM 가 이용된다. 도 6에서는 도 1과 동일한 구성에 대해 동일한 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략한다. 분리챔버(14)의 외주면의 중간 상부(middle upper portion)에는 상기 분리챔버(14)를 외부에 개방하기 위해 원통 형상의 가스 유입 포트(26)가 구비된다. 분리챔버(14)의 내부의 중간 바닥부에는 방사성 동위원소241AM와 같은 방사선원(27)이 가스 유입 포트(26)에 대향되게 위치하여 에폭시 수지(28)로 고정된다. 본 실시예에서 상술한 원형 유동이 이용될 경우, 그리고 유량이 클 경우, 이온화가 가능한 미소 가스 성분의 양에는 한계가 있다. 그러나, 유출 포트(12,13)의 분리 전극(16,17)의 내부 공간에 배치된 유리섬유 필터(19; 플로우 저항부)가 지류를 정류하기 위해 이용될 경우, 미량의 가스 성분이 지속적으로 이온화 및 분리될 수 있다. 더욱이, 전환스위치(29,30)를 채용함으로써 직류 전원(31,32)은 전극(16,17)의 극성을 변환할수 있다. 그에 따라, 유출 포트(12 또는 13)를 통해 임의로 청정 공기 또는 분리된 가스가 취출될 수 있다. 이온원으로서 방사성 동위원소241AM 및 소프트 X선을 이용하게 되면 유로내의 이온 생성량이 추가로 증가됨을 알게 된다. 아울러, 방전 유닛 등의 다른 이오나이져는 이온이 생성가능하다면 본 발명 장치의 이온원과 결합되거나 단일체로 이용될 수 있다.
도 7은 도 6의 가스이온화분리순화장치에 의해 유기 화합물의 톨루엔을 분리하여 얻어진 결과 중 일 례를 도시한 특성 다이어그램이다. 세로좌표는 축은 입구로부터의 유입 톨루엔의 수 대비 분리된 톨루엔의 수를 분리효율로 나타낸 것이고, 횡좌표는 각각의 분리 전압을 나타낸다. 톨루엔은 유입 체적 농도 90ppb, 190ppb, 230ppb 로 분리된다. 결과에서와 같이, 공급전압의 상승과 함께 톨루엔의 분리효율은 상승하고, 600V 이상의 전압에서 분리효율은 약간 감소한다. 낮은 체적 농도일수록 분리효율이 높게 나타난다. 90ppb의 톨루엔은 78% 분리될 수 있음을 알 수 있다.
도 8은 일본 특허출원공개 제2001-70743호에 따른 분리챔버 내 2개의 지류를 이용하여 가스분리장치 내 출구부재의 전극에 평판 전극을 이용하는 방법과 도 6의 가스이온화분리순화장치의 방법의 분리효율을 비교하여 얻은 실험결과를 도시한 것이다. 가스 유입 포트 내부에 유입될 시료로서 질소 운반가스 내에 0.23ppm의 농도를 가지는 톨루엔이 사용된다. 도 8에서, 세로좌표는 입구로부터의 유입 톨루엔 수 대비 분리된 톨루엔의 수를 분리효율로 나타낸 것이고, 횡좌표는 각각의 분리전압을 나타낸다. 종래의 평판 전극을 이용하는 방법에서, 톨루엔은 어떠한 전압으로도 2L/min의 유량으로 분리될 수가 없음을 알 수 있다. 이것은 챔버의 가장자리에 정체구역이 존재하고, 대유량일수록 플로우의 방해 영향이 두드러지며, 톨루엔을 효과적으로 분리할 수 없기 때문인 것이다. 그러나, 분리 전극(16,17)과 다공질 전극들(18)이 도 6의 유출 포트(12,13)에서 전극으로서 사용되고, 유리섬유 필터(19;플로우 저항부)가 더 구비될 경우, 톨루엔의 분리는 분리 전압에 따라 이루어진다. 전압 600V에서 0.23ppm의 톨루엔은 최대 24% 까지 분리될 수 있다. 이로부터, 분리전극(16,17)은 도 5에 도시된 바와 같이 구조를 개량함으로써 어떠한 전압에서도 분리효율이 상승함을 알 수 있는 것이다.
본 실시예에서, 전체 분리챔버(14)의 내부는 가스 유로로서의 기능을 효율적으로 수행하고 있음을 할 수 있으며, 유로 체적은 62.8mL(유료 내경 = 40mm, 유로 길이 = 50mm) 이고, 유입 가스 유량은 2L/min 이며, 본 발명 장치에서 유동 가스의 평균 유지시간은 1.8초이다. 이러한 조건하에서, 유로 내에 유입된 가스 유선(flow stream)이 유로 내에서 원형 플로우를 형성하도록 제어될 경우, 유입 가스의 평균 유지시간은 더 늘어나고 큰 분리효율을 얻을 수 있게 된다.
도 9는 양 유출 포트 간에 가스 압력차를 미차 압력 게이지(differential pressure gauge)를 통해 검지하여 유출 유량을 조정하게 되는 가스이온화분리순화장치를 도시한 것이다. 도 9에서는, 도 6과 동일한 구성에 대해 동일한 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략한다. 양극으로부터 유출하는 가스를 사용하면서 본 발명 장치의 유출 유량을 쉽게 조정하기 위해서는, 홀(33)이 가스 파이프(34; 내경 6mm)에 도달하기까지 내경 6mm의 홀이 대향측 유출 포트(12,13)의 전극(16,17)에 만들어지게 된다. 이러한 방법은, 미차 압력 게이지(35)로 대향 유출가스 간에 압력차를 측정하는 단계; 그리고 미차압 제로(0)를 얻기 위해 유출 포트 내에 배치된 유량조절밸브(36)를 개폐하는 단계;를 포함한다. 이 방법에서, 가스이온화분리순화장치는 유량계로 유입 포트(11) 및 유출 포트(12,13)의 유량을 측정함이 없이 설정 유량을 얻도록 제어될 수 있다. 이는 장치 비용 절감과 제어의 안정성을 제공한다. 미차 압력 측정을 위한 홀(33)은 유리섬유 필터(19;플로우 저항부)의 상류 또는 하류측에 배치될 수 있으며, 좌측 또는 우측 부분이 개방될 필요가 있다. 유량 및 압력값은 사용전 미리 조정될 필요가 있다.
도 10은 대향측 출구의 가스 파이프(내경 6mm)에 수직으로 각각 0.6mm의 직경을 가지는 홀(33)을 형성하여 달성된 것으로서, 각 출구의 가스 파이프(34) 내의 압력차 통계치와 유량비 간에 관계를 점검하여 얻어진 결과를 보여주고 있다. 횡좌표는 입구(26)의 유량(Cin) 대비 어느 한 출구(12)의 유량(Cout1)의 비를 나타내며, 세로좌표는 정적인 압력차(static pressure difference; ΔP) 의 측정 결과를 나타낸다. 도 10에서는 출구 유량들 간에 차이가 정적 압력차(ΔP)로 나타날 수 있음을 보여준다. 이것은 정적 압력차의 측정 결과이지만, 동적인 압력차나 전체적인 압력차가 또한 측정될 수도 있다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 다수의 가스이온화분리순화장치가 하나의 평행한 상태 및 일련의 연속 상태로 사용된 일 례를 보여주고 있다.
본 발명 장치가 서로 평행하게 배열될 경우, 하나의 장치로 보상될 수 없는 대유량의 유입 가스를 처리할 수 있다. 더욱이, 본 발명 장치가 서로 연속하여 배치된 경우에는 고효율의 분리 가스가 재생될 수 있다. 이는 하나의 장치로 달성될 수 없다.
도 12는 가스의 압력을 측정하는 압력측정부 및 가스의 온도를 측정하는 온도측정부를 포함하는 본 발명의 실시예에 따른 가스이온화분리순화장치를 보여주고 있다. 도 12에서는 도 6과 동일한 구성에 대해 동일한 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략한다. 홀(33)이 가스 파이프(내경 6mm; 34)에 도달하기까지 직경 0.6mm의 홀이 유출 포트(12,13)의 분리전극(16,17)에 만들어지게 된다. 유압은 압력게이지(37)로 측정되고, 온도는 온도계(38)로 측정된다. 유출 포트(13)는 유량조절밸브(39)를 포함한다. 분리 전압을 공급하는 회로에는 전압조정수단인 가변 저항(41)이 직류전원(40)에 직렬로 부착된다. 본 발명 장치의 유압이 상승하거나 또는 본 발명 장치에 연결된 배관 시스템(piping system)의 압력 저항으로 인해 유동 가스의 온도가 강하할 경우, 가변 저항(41)이 조정되고 더 높은 분리 전압이 공급되며, 그로 인해 분리효율이 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 압력게이지(37) 또는 온도계(38)가 부착될 홀(33)은 본 발명 장치의 유로 중 어느 위치에나 배치될 수 있음을 알 수 있다. 본 발명 장치에서 압력 또는 온도계가 측정/인지되는 한, 홀은 본 발명 장치의 유로 외부에 만들어지게 된다. 더욱이, 동일한 홀은 동일 위치에 압력게이지 및 온도계를 배치하여 사용될 수 있다.
도 13은 이온화에서의 분리효율 및 두 지류 전계에서의 미량 가스 성분의 전기적 이동을 계산하기 위해 분자 성분 및 이온에 대해 대류 확산 방정식을 풀어서 얻어진 결과의 일 례를 도시한 특성 다이어그램이다. 톨루엔의 생성은 톨루엔 분자의 농도에 비례하여 제1차 반응으로 한정되고, 톨루엔의 소모는 계산을 수행하기 위해 톨루엔 이온의 농도에 비례하여 제1차 반응으로 한정된다. 여기서, Z는 이온의 전기적 이동성을 나타내고, u는 가스의 유속을 나타내며, α는 이온의 소모율 상수를 나타내고, β는 이온의 생성률 상수를 나타낸다. 미량의 가스 성분을 분리하기 위한 적정 전압은 대부분 이온의 전기적 이동성 변화에 따라 대부분 변화하는 것을 알 수 있다. 전기적 이동성과, 상기 이온 소모율 상수 및 이온 생성률 상수와 같은 변수들은 온도, 압력, 또는 가스의 형태에 따라 변화한다. 따라서, 이 경우에 압력게이지(37) 또는 온도계(38)를 이용하여 측정된 가스의 압력 또는 온도를 위한 적정 분리 전압이 얻어질 수 있고, 공급된 전압은 전압조정수단에 의해 조정되며, 그로 인해 적정한 분리가 일정하게 수행됨을 알 수 있다.
전압을 조정하는 대신, 예를 들어 입구(26)에 배치된 온도 또는 압력 조정수단에 의해 온도나 압력이 또한 조정될 수 있으며, 또는 전압/온도/압력이 함께 조정될 수 있음을 알 수 있다.
본 발명은 위에서 여러 실시예들에 기초하여 설명되었으나, 상기 실시예에만 한정하지 않고 본 발명의 영역으로부터 분리됨이 없이 다양하게 변형할 수 있다. 예를 들어, 분리챔버 내에서 유로는 원통형 유로에 한정하지 않는다. 유로 내부의 유입 가스에 의해 원형 플로우를 형성하도록 상기 유로가 관 형상으로 주조될 경우, 충분한 가스 유지시간이 보장될 수 있으며, 유로 내에서 이온을 효과적으로 생성시킬 수 있게 된다. 더욱이, 설정 시간 또는 그 이상의 시간동안 유로 내에 가스를 유지시키기 위한 수단은 원형 플로우를 형성하는 방법에 한정되지 않는다. 유로내 배플 플레이트 및 가이드 부재와 같은 제어수단을 배치하는, 그리고 유로 내에서 유입가스가 유동가능하도록 하는 방법이 또한 이용될 수 있다. 이때, 이러한 구조의 유입 포트에서는 가스가 접선 방향으로부터 내면을 따라 유입되어야만 하는 것은 아니다. 더욱이, 전계를 형성하는 직류전원은 설정 전압이 공급되는 한, 양전압 및/또는 음전압을 공급하는 어떠한 형태의 직류전원 도 이용할 수 있다. 아울러, 전압, 온도, 또는 압력은 수동 또는 자동으로 제어될 수 있다. 몇몇 가스 성분은 음이온에서 변환된다. 이러한 가스 성분들이 다수일 경우, 상기 가스 성분은 양극에서 또한 분리될 수 있다.
상술한 바와 같이, 대향된 두 분리챔버의 중간으로 유입된 가스를 분기하고, 다공질 분리 전극에 의해 각각의 출구를 형성하며, 상기 전극들 사이에 챔버를 고정하는 방법에서는 플로우의 정체 부분이 제거된다. 다공질 부재(다공질 전극) 뒤에 고압 손실 부재(헤파(HEPA)필터)를 배치할 경우, 분리챔버에 유입된 가스는 전체 챔버를 따라 유동하도록 조정된다. 아울러, 챔버 안으로 유입된 가스의 유지시간을 확보하기 위해 원형 플로우가 챔버 내에 형성되는 경우, 이온화 및 이온을 분리하기 위한 유지시간이 확보될 수 있다. 따라서, 고효율이고 에너지 소모율이 낮은 가스이온화분리순화장치를 제공할 수 있는 것이다.
게다가, 각각의 출구에서 가스의 정압으로부터 미차 압력이 측정될 경우, 출구 유량을 측정하지 않고도 미차 압력은 조정될 수 있으며, 유량 또한 조정될 수있다. 전극의 극성이 바뀔 경우, 분리된 가스는 어느 한 출구를 통해 취출될 수 있다. 더욱이, 본 발명의 분리장치를 다수 개 사용하는 경우, 하나의 장치로는 보상될 수 없는 대유량이 조정될 수 있다. 하나의 장치로 달성될 수 없는 고효율의 분리된 가스일지라도 분리할 수가 있다.
또다른 장점 및 변형들은 본 발명의 기술분야에서 숙련된 가진 자들에 의해 쉽게 얻어질 수 있다. 그러므로, 본 발명의 확장된 형태는 본 발명의 상세한 설명 및 도면에서 설명되고 도시된 바에 한정하지 않는다. 따라서, 이하 첨부된 특허청구범위와 그 상당부분에 의해 한정된 바와 같은 본 발명의 전체 개념 중 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다.

Claims (16)

  1. 유입 가스를 이온화하여 가스성분으로 분리하는 장치로서,
    유입 포트와 제1 및 제2 유출 포트를 가지는, 유로를 한정하여 형성한 챔버 구조체;
    유입 포트를 거쳐 유로 안으로 유동하는 가스 내 가스 성분을 이온화하는 이오나이져;
    가스 성분을 양이온과 음이온으로 분리하기 위해 유로 내 이온화된 가스 성분에 전계를 공급하고, 그로부터 가스 내에 포함된 가스 분자 성분을 분리하는 수단;
    제1 유출 포트로부터 한 가스 성분을 추출하고, 제2 유출 포트로부터 또다른 가스 성분을 추출하는 수단; 및
    유입 포트로부터 유입 가스의 플로우를 제어하고, 설정 시간 및 그 이상의 시간동안 유로 내에 가스를 유지시키는 제어수단; 을 포함하는 가스이온화분리순화장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제어수단은 각각의 제1 및 제2 유출 포트에 배치된 플로우 저항부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스이온화분리순화장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제어수단은 가스 성분이 유로 밖으로 유출되도록 플로우 저항부를 포함하고, 상기 공급수단은 제1 및 제2 유출 포트에 각각 배치되며, 가스 내에 포함된 가스 분자 성분이 분리되도록 가스 성분을 양이온과 음이온으로 분리하기 위해 서로 대향하여 배치된 제1 및 제2 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스이온화분리순화장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 유출 포트는 제1 및 제2 전극의 일부로서 각각 다공질 부재로 구성된 제1 및 제2 다공질 전극을 구비하고, 한 가스 성분과 나머지 가스 성분은 각각 제1 및 제2 다공질 전극과 플로우 저항부를 통과하여 제1 및 제2 유출 포트를 통해 추출되는 것을 특징으로 하는 가스이온화분리순화장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 저항부는 유출 포트의 정면에 각각 분리가능하게 제공되는 것을 특징으로 하는 가스이온화분리순화장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 제어수단은 가스 성분이 유입 포트로부터 유로의 내주면을 따라 유동하도록 하고, 상기 유로내에 원형 플로우를 형성하여서, 유입 가스의 플로우가 유로내에 유지되는 것을 특징으로 하는 가스이온화분리순화장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 유로는 원통형으로 주조되고, 상기 유입 포트는 원통형 유로의 측면부에 배치되며, 상기 제1 및 제2 유출 포트는 원통형 유로의 대응 단부에 서로 대향하여 배치된 것을 특징으로 하는 가스이온화분리순화장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 이오나이져는 가스 성분을 이온화하기 위한 다수의 이온원을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스이온화분리순화장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 제어수단은 유출 가스의 압력을 측정하기 위해 구비된 압력측정수단과, 상기 제1 및 제2 유출 포트에서 측정된 가스 성분들간에 압력차에 따라 제1 및 제2 유출 포트에서 각각 취출된 가스 유량을 조정하기 위해 구비된 유량 조정기를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스이온화분리순화장치.
  10. 제 1항에 있어서,
    전계를 제공하는 전극의 극성을 변경하는 수단과, 상기 전극의 전계 강도를 변경하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스이온화분리순화장치.
  11. 제 1항에 있어서,
    전계를 제공하는 전극의 극성을 변경하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스이온화분리순화장치.
  12. 제 1항에 있어서,
    전극의 전계 강도를 변경하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스이온화분리순화장치.
  13. 제 1항에 있어서,
    측정 가스에 상응하는 적정 분리 전압이 공급되도록, 유로 내 가스의 온도를 측정하는 온도측정수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스이온화분리순화장치.
  14. 제 1항에 있어서,
    측정된 가스 성분에 상응하는 적정 분리 전압이 공급되도록, 유로 내 가스상태로서의 가스 압력을 측정하는 압력측정수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스이온화분리순화장치.
  15. 제 1항에 있어서,
    공급된 분리 전압에 상응하는 적정 온도를 갖도록 가스 상태를 조정하기 위해, 유로 내 가스의 온도를 측정하는 온도측정수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스이온화분리순화장치.
  16. 제 1항에 있어서,
    공급된 분리 전압에 상응하는 적정 압력을 갖도록 가스 상태를 조정하기 위해, 가스 상태로서의 가스 압력을 측정하는 압력 측정수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스이온화분리순화장치.
KR10-2004-7015553A 2002-03-28 2003-03-26 가스이온화분리순화장치 KR20040111459A (ko)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002093122 2002-03-28
JPJP-P-2002-00093122 2002-03-28
JP2002258991A JP3708917B2 (ja) 2002-03-28 2002-09-04 ガスイオン化分離純化装置
JPJP-P-2002-00258991 2002-09-04
PCT/JP2003/003730 WO2003082443A1 (en) 2002-03-28 2003-03-26 Apparatus for separating gas into gas components using ionization

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20040111459A true KR20040111459A (ko) 2004-12-31

Family

ID=28677567

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2004-7015553A KR20040111459A (ko) 2002-03-28 2003-03-26 가스이온화분리순화장치

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20050178270A1 (ko)
EP (1) EP1487564A1 (ko)
JP (1) JP3708917B2 (ko)
KR (1) KR20040111459A (ko)
CN (1) CN1642619A (ko)
TW (1) TW200305455A (ko)
WO (1) WO2003082443A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170059929A (ko) * 2013-11-06 2017-05-31 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 용매 분리 방법 및 장치

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7252810B2 (en) * 2002-07-12 2007-08-07 Parsa Investments, L.P. Multi-sectional system for continuous gas separation
US7318858B2 (en) 2002-07-12 2008-01-15 Parsa Investment, L.P. Gas separator for providing an oxygen-enriched stream
US6585809B1 (en) * 2002-07-12 2003-07-01 Komad Parsa Continuous gas separation in an open system
US20090139497A1 (en) * 2007-11-30 2009-06-04 Bo Shi Engine having thin film oxygen separation system
KR20120114576A (ko) * 2011-04-07 2012-10-17 엘지전자 주식회사 공기 조화기
US20140166499A1 (en) * 2011-04-20 2014-06-19 Lehigh University Supercapacitive swing adsorption
CN102507534A (zh) * 2011-10-29 2012-06-20 重庆川仪分析仪器有限公司 基于等离子发射光谱法的在线微量氮气检测器
ES2492365B1 (es) * 2013-03-06 2015-07-15 Iberdrola Ingeniería Y Construcción, S.A.U. Sistema y procedimiento para recuperar sustancias gaseosas a partir de corrientes gaseosas
JP6268609B2 (ja) * 2015-04-24 2018-01-31 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 溶媒分離装置及び熱処理装置
CN112798703B (zh) * 2020-12-28 2022-01-25 南昌大学 一种具有远程控制功能的工业废气检测设置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3154682A (en) * 1960-07-21 1964-10-27 Mine Safety Appliances Co Removal of contaminants from gases
JPH0751215B2 (ja) * 1990-05-18 1995-06-05 株式会社荏原製作所 一酸化炭素又は二酸化炭素分解除去方法及び除去装置
JPH09248417A (ja) * 1996-03-15 1997-09-22 Nippon A P I:Kk ガス純化方法及びガス純化装置
US5961693A (en) * 1997-04-10 1999-10-05 Electric Power Research Institute, Incorporated Electrostatic separator for separating solid particles from a gas stream
JP3679280B2 (ja) * 1999-09-01 2005-08-03 ダイダン株式会社 ガス分離装置
US6585809B1 (en) * 2002-07-12 2003-07-01 Komad Parsa Continuous gas separation in an open system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170059929A (ko) * 2013-11-06 2017-05-31 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 용매 분리 방법 및 장치

Also Published As

Publication number Publication date
TW200305455A (en) 2003-11-01
EP1487564A1 (en) 2004-12-22
WO2003082443A1 (en) 2003-10-09
JP3708917B2 (ja) 2005-10-19
CN1642619A (zh) 2005-07-20
US20050178270A1 (en) 2005-08-18
JP2004000884A (ja) 2004-01-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20040111459A (ko) 가스이온화분리순화장치
AU636270B2 (en) Method and apparatus for generating a high purity chromatography eluent
US5730181A (en) Mass flow controller with vertical purifier
CN113165918B (zh) 过滤器外壳以及利用过滤器外壳的净水和软水机
US9310308B2 (en) Micro-plasma emission detector unit and method
CN218036613U (zh) 一种气相色谱仪用防污装置
KR101982406B1 (ko) 다중평행 모세관 유전장벽방전 플라즈마 발생 장치를 이용한 수 처리 시스템
KR100381996B1 (ko) 가스중의 미량 불순물의 분석방법 및 장치
JPS62244421A (ja) ヘリウムガスおよび／またはネオンガスの精製方法
JPH01145302A (ja) 水素の精製方法および装置
RU2503083C1 (ru) Дифференциальный спектрометр ионной подвижности
JP3679280B2 (ja) ガス分離装置
JP4262709B2 (ja) Ｘ線用ガスフロー型比例計数管を備えるｘ線分析装置およびｘ線用ガスフロー型比例計数管の使用方法。
WO2011075992A1 (zh) 过滤装置、过滤方法以及痕量检测仪器
US3479798A (en) Method in the analysis of gases
JP7133415B2 (ja) ガスコンディショナ
JPH0859214A (ja) オゾン発生装置
RU2000101916A (ru) Спектрометр нелинейности дрейфа ионов
CN112305087B (zh) 气相色谱-离子迁移谱仪联用系统
CN108105870B (zh) 净化腔和室内净化器
JPH09248417A (ja) ガス純化方法及びガス純化装置
TW202313188A (zh) 水質測定裝置以及膜過濾系統
JP3731093B2 (ja) 浄水方法
JP2015171979A (ja) オゾン製造装置
JPH09131585A (ja) 水浄化方法及び装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application