KR20040084568A - Motor device having perception capacity of motor motion condition - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 모터동작상태 감지기능을 갖는 모터장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 반도체 제조설비의 각 공정에 설치되는 모터에 소음 또는 진동을 감지하는 감지센서를 장착하여 감지된 소음 또는 진동 수치에 따라 모터의 부하 정도를 판단하여 모터가 동작도중 구동이 멈추어 생산공정이 지연되는 것을 방지하는 모터동작상태 감지기능을 갖는 모터장치에 관한 것이다.The present invention relates to a motor device having a motor operating state detection function, and more particularly, to a noise or vibration value detected by mounting a sensor for detecting noise or vibration in a motor installed in each process of a semiconductor manufacturing facility. Accordingly, the present invention relates to a motor device having a motor operation state detection function for determining a load degree of a motor and preventing the production process from being delayed due to the stop of driving during the operation of the motor.
일반적으로, 반도체 제조설비에는 건식식각장비의 상하부챔버의 갭 조정 모터장치, 이온주입기용 직류모터장치, 반도체 웨이퍼 상에 박막형성시 공정부산물을 배기하는 오리피스가 막히는 것을 방지하는 모터장치 등 많은 부분에 모터장치가 사용된다.In general, semiconductor manufacturing equipment has many parts such as a gap adjusting motor device of upper and lower chambers of dry etching equipment, a DC motor device for ion implanter, and a motor device that prevents the orifice that exhausts process byproducts from forming a thin film on a semiconductor wafer. A motor device is used.
상기 모터장치는 전기가 흐르는 코일이 일으키는 자기에 의해 내부의 전자석이 회전함에 따라 발생하는 운동에너지를 이용하는 것으로서, 모터에 과도한 부하가 부과되면 코일에는 과전류가 흘러 온도가 상승하고, 회전하는 자석은 과도한 소음이나 진동을 발생시킨다.The motor device uses kinetic energy generated as the electromagnet inside rotates by a magnet generated by a coil in which electricity flows. When an excessive load is applied to the motor, an overcurrent flows to the coil to increase the temperature, and the rotating magnet is excessive. Generate noise or vibration.
이에, 모터에 부과되는 과전류를 감지하여 모터의 구동을 제어하는 장치로는 한국공개특허 제046392호 모터과열장치, 한국공개특허 제052062호 경보 신호 발생 장치를 구비하는 모터 구동부, 한국등록특허 제07291호 오리피스 경보장치, 미국공개특허 제019185호 주형주입기의 모터구동제어방법 등에 제시되어 있다.Accordingly, a device for controlling the driving of the motor by sensing an overcurrent imposed on the motor is disclosed in Korean Patent Application No. 046392, Motor Overheating Device, and Korean Patent Application Publication No. 052062. Call orifice alarm device, US Patent Publication No. 019185 of the motor drive control method of the injection molding machine.
상기 미국공개특허 제019185호는 주물제조형틀에 주물을 주입하는 인젝터에 설치된 모터 작동시, 코일에 흐르는 전류의 온도를 측정하여 미리 세팅된 온도에 도달하면 모터의 구동이 멈추어 인젝션 동작이 중지되고, 알람이 작동하도록 구성된 것이다.The U.S. Patent Application Publication No. 019185 measures the temperature of a current flowing through a coil when operating a motor installed in an injector for injecting casting into a casting mold. When the temperature reaches a preset temperature, the driving of the motor stops and the injection operation is stopped. The alarm is configured to work.
그런데, 이러한 모터장치의 온도는 모터장치가 설치되는 주변기기에서 발생하는 온도에도 영향을 받으므로 정확한 모터의 온도를 측정하기 어려운 문제점이 있다.However, since the temperature of the motor device is also affected by the temperature generated by the peripheral device in which the motor device is installed, it is difficult to accurately measure the temperature of the motor.
또한, 모터의 구동이 멈추어야 불량상태로 판단하여 실제 공정진행 도중에 모터의 구동이 멈추게 될 경우 공정 에러를 초래하는 문제점이 있다.In addition, when the driving of the motor is stopped when it is determined that it is in a bad state and the driving of the motor is stopped during the actual process, there is a problem that causes a process error.
따라서, 본 발명의 목적은, 모터의 구동상태를 실시간으로 측정하여 미세한 변화를 미리 체크할 수 있는 감지유닛을 마련하여 반도체 제조공정 진행중에 모터의 구동이 멈추는 것을 방지하는 모터동작상태 감지기능을 갖는 모터장치를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a detection unit capable of checking in real time the real state of the motor to check the micro changes in advance, thereby having a motor operation state detection function for preventing the motor from stopping during the semiconductor manufacturing process. It is to provide a motor device.
도 1은 본 발명에 따른 모터동작상태 감지기능을 갖는 모터장치의 개략도이다.1 is a schematic diagram of a motor device having a motor operating state detection function according to the present invention.
* 도면의 주요부호에 대한 간단한 설명 *Brief description of the main symbols in the drawing
10 : 모터 20 : 구동부10: motor 20: drive part
30 : 감지유닛 40 : 제어부30: detection unit 40: control unit
50 : 경고발생부50: warning unit
상기 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 모터동작상태 감지기능을 갖는 모터장치는 모터; 상기 모터를 구동시키기 위한 구동부; 상기 모터에 설치되어 그 구동상태를 실시간으로 감지하는 감지유닛; 상기 감지유닛으로부터 전달되는 감지신호를 기준데이터와 비교 판단하여 상기 구동부로 그 판단결과에 따른 구동신호를 출력하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a motor device having a motor operating state detection function according to the present invention includes a motor; A driving unit for driving the motor; A sensing unit installed in the motor to sense a driving state of the motor in real time; And a control unit which compares the detection signal transmitted from the detection unit with reference data and outputs the driving signal according to the determination result to the driving unit.
나아가, 상기 감지유닛은 모터의 소음을 감지하는 소음감지센서인 것을 특징으로 한다.Further, the detection unit is characterized in that the noise sensor for detecting the noise of the motor.
더 나아가, 상기 감지유닛은 모터의 진동을 감지하는 진동감지센서인 것을 특징으로 한다.Further, the detection unit is characterized in that the vibration detection sensor for detecting the vibration of the motor.
그리고, 상기 제어부에 연결되어 상기 모터의 이상구동상태를 알리는 경보발생부가 추가로 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the alarm generating unit connected to the control unit for notifying the abnormal driving state of the motor is characterized in that it is further provided.
또한, 상기 모터장치는 반도체 제조설비에 적용되는 것을 특징으로 한다.In addition, the motor device is characterized in that it is applied to semiconductor manufacturing equipment.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 모터동작상태 감지기능을 갖는 모터장치의 개략도로써, 이 도면에 도시된 바와 같이, 반도체 제조설비에 설치된 모터장치는 크게, 감지유닛(30)이 설치된 모터(10)와 제어부(40)로 구성된다.1 is a schematic diagram of a motor apparatus having a motor operating state sensing function according to the present invention. As shown in this figure, a motor apparatus installed in a semiconductor manufacturing facility is largely provided with a motor 10 having a sensing unit 30 installed therein. It consists of the control part 40.
모터(10)는 그 내부에 위치한 자석을 감고 있는 코일에 흐르는 전류에 의해 발생한 자기장에 의해 자석이 회전함에 따라 발생하는 운동에너지가 반도체 제조설비에 사용되도록 설치되고, 구동부(20)에서 구동신호를 입력받아 구동된다.The motor 10 is installed so that the kinetic energy generated as the magnet rotates by the magnetic field generated by the current flowing through the coil wound around the magnet is used in the semiconductor manufacturing equipment, and the driving unit 20 receives the driving signal. It is driven by input.
상기 모터(10)의 일측에 설치되는 감지유닛(30)은 소음감지센서 또는 진동감지센서로 구성되어 상기 모터(10)의 내부에서 회전하는 자석에 의해 발생하는 소음과 진동을 감지하도록 구현된다.The sensing unit 30 installed on one side of the motor 10 is configured as a noise sensor or a vibration sensor to sense noise and vibration generated by a magnet rotating inside the motor 10.
여기서, 상기 감지유닛(30)은 소음감지센서와 진동감지센서를 함께 설치하여 구성되어도 무방하다.Here, the detection unit 30 may be configured by installing a noise sensor and a vibration sensor together.
제어부(40)는 상기 모터(10)가 정상적으로 작동할 때 발생하는 소음 또는 진동에 대한 기준값을 기초로 하여 상기 감지유닛(30)에서 측정된 소음 또는 진동에 대한 측정값을 비교하여 소정 오차범위를 벗어나는지 여부를 판단한다.The control unit 40 compares the measured value for the noise or vibration measured by the sensing unit 30 based on the reference value for the noise or vibration generated when the motor 10 operates normally to determine a predetermined error range. Judge whether it is out.
그 후, 그 판단결과에 따라 구동부(20)로 모터구동 또는 정지에 관련된 신호를 출력하도록 구성한다.Thereafter, according to the determination result, the driving unit 20 is configured to output a signal related to driving or stopping the motor.
한편, 상기 제어부(40)에는 이상상태 발생시, 그 이상상태를 알리는 경고발생부(50)가 추가로 구성된다.On the other hand, the control unit 40, when an abnormal state occurs, the warning generating unit 50 for notifying the abnormal state is further configured.
이하에서는 이러한 구성에 의하여 본 발명에 따른 모터동작상태 감지기능을 갖는 모터장치의 작동을 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the operation of the motor device having a motor operating state detection function according to the present invention by such a configuration will be described in detail.
먼저, 구동부(20)의 구동신호가 입력된 모터(10)가 작동함에 따라 모터(10)의 일측에 설치된 감지유닛(30)은 소음감지센서 또는 진동감지센서에 의해 모터(10)의 소음 또는 진동을 측정한다.First, as the motor 10, in which the driving signal of the driving unit 20 is input, operates, the sensing unit 30 installed on one side of the motor 10 may generate noise or noise of the motor 10 by a noise sensor or a vibration sensor. Measure the vibration.
상기 측정된 소음 또는 진동의 측정값은 제어부(40)로 전송되고, 제어부(40)는 프리세팅된 기준값과 상기 감지유닛(30)으로부터 전달된 측정값을 비교하여 소정의 오차범위를 벗어나는지 여부를 판단한다.The measured value of the noise or vibration is transmitted to the control unit 40, and the control unit 40 compares the preset reference value with the measured value transmitted from the sensing unit 30 to determine whether it is out of a predetermined error range. Judge.
상기 측정값이 기준값의 오차범위를 벗어나면, 상기 제어부(40)는 경고발생부(50)에 경고발생신호를 전송하여 알람과 경고램프를 작동시킴과 아울러, 구동부(20)에 구동정지신호를 전송한다.When the measured value is out of the error range of the reference value, the control unit 40 transmits a warning generation signal to the warning generating unit 50 to operate an alarm and a warning lamp, and to provide a driving stop signal to the driving unit 20. send.
상기 구동정지신호를 전송받은 구동부(10)는 진행중이던 공정이 끝나면 모터(10)의 작동을 멈추고, 작업자는 모터(10)를 수리하거나 교체한다.The driver 10 receiving the driving stop signal stops the operation of the motor 10 when the process is in progress, and the worker repairs or replaces the motor 10.
그리고, 상기 측정값이 기준값의 오차범위를 벗어나지 않으면, 모터(10)는 계속 작동한다.And, if the measured value does not deviate from the error range of the reference value, the motor 10 continues to operate.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 모터에 감지유닛을 설치하여 모터의 진동 또는 소음을 측정함에 따라 종래의 온도와 같이 주변기기의 영향을 받지 않아 모터의 변화를 정확하게 측정할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, by installing a sensing unit in the motor to measure the vibration or noise of the motor, there is an effect that can accurately measure the change of the motor is not affected by the peripheral devices as in the conventional temperature.
또한, 모터의 작동시 발생하는 소음 또는 진동의 측정값을 실시간으로 기준값과 비교하여 오차범위를 벗어나면 모터를 점검하므로 반도체 제조공정이 진행되는 중에 모터의 구동이 멈추는 것을 방지하는 효과가 있다.In addition, by comparing the measured value of the noise or vibration generated during operation of the motor with the reference value in real time and checking the motor outside the error range, there is an effect of preventing the motor from being stopped during the semiconductor manufacturing process.
그리고, 반도체 제조공정이 중단되는 것을 방지함에 따라, 반도체 제조공정이 안정적으로 진행되어 생산성이 증가되는 효과가 있다.In addition, as the semiconductor manufacturing process is prevented from being interrupted, the semiconductor manufacturing process may be stably performed to increase productivity.
이상에서는 본 발명에 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술 사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.In the above description, only the embodiments described in detail in the present invention, but various changes and modifications within the technical scope of the present invention is apparent to those skilled in the art, it is obvious that such modifications and modifications belong to the appended claims.
Claims (5)
Priority Applications (1)
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| KR1020030019722A KR20040084568A (en) | 2003-03-28 | 2003-03-28 | Motor device having perception capacity of motor motion condition |
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Publications (1)
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| KR20040084568A true KR20040084568A (en) | 2004-10-06 |
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Cited By (2)
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| KR102565797B1 (en) * | 2022-11-22 | 2023-08-16 | (주)에스제이오토메이션 | Ai-based chamber door monitoring device |
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