KR20040079770A - 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치 및 그의구동방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치 및 그의 구동방법에 관한 것으로, 회전 가능한 디스크형 기록 매체와; 상기 디스크형 기록 매체의 복수 트랙들에 정보를 저장시키거나 저장된 정보를 판독할 수 있도록 각각 탐침을 갖는 캔틸레버들이 어레이된 탐침 어레이와; 상기 탐침 어레이로 정보를 기록하게 하고, 상기 탐침 어레이를 이용하여 정보를 판독하는 정보 기록 및 판독부와; 상기 탐침 어레이의 탐침과 상기 디스크형 기록 매체의 간격을 조절하는 간격조절부와; 상기 선단에 상기 탐침 어레이가 장착되며, 상기 디스크형 기록 매체의 상부에 올려져 상기 복수의 트랙들 각각으로 상기 탐침 어레이의 탐침이 위치될 수 있도록 이동할 수 있는 슬라이더를 포함하여 구성함으로써, 탐침과 디스크 사이의 간격을 용이하게 조절할 수 있어 기록/재생시 신뢰성을 더 확보할 수 있으며, 캔틸레버에 일정한 힘만이 인가되므로 팁의 마모를 최소화할 수 있는 효과가 발생한다.
Description
본 발명은 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치 및 그의 구동방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 에어베어링의 원리를 이용하거나, 또는 캔틸레버의 휘어짐을 압전센서에서 감지하고 이 감지신호로 캔틸레버의 휘어짐을 제어함으로써, 탐침과 디스크 사이의 간격을 용이하게 조절할 수 있어 기록/재생시 신뢰성을 더 확보할 수 있으며, 캔틸레버에 일정한 힘만이 인가되므로 팁의 마모를 최소화할 수 있는 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치 및 그의 구동방법에 관한 것이다.
최근, 원자현미경(AFM)은 캔틸레버라 불리는 미소한 막대를 이용하여 표면형상 등을 측정하는 장치로 캔틸레버 끝에 수 ㎚의 해상도로 시편의 표면형상, 전기 또는 자기적인 성질 등을 알 수 있다.
이러한 원자현미경의 원리를 이용하면, 수 ㎚ 크기의 탐침을 이용하여 정보를 저장 할 수 있으므로, Tbit/in2이상의 저장밀도를 갖는 데이터 저장장치를 개발할 수 있다.
IBM에서는 원자현미경의 원리를 응용하여 PMMA(Poly-(Methyl Methacrylate))와 같은 폴리머(Polymer) 물질을 기록매체로 사용한 정보저장장치를 수 년 전부터 연구해왔다.
Tohoku 대학 등에서는 광 스토리지에서 기억매체로 사용되고 있는 상전이 물질의 결정 및 비정질 상태에 따른 저항 변화를 이용하여 정보를 기록/재생하는 연구를 하였다.
IBM에서는 HDD에서와 같은 회전 디스크 형태의 정보저장장치 대신에 2차원적으로 구성된 캔틸레버 어레이 헤드부와 마이크로머시닝 공정으로 제작된 X/Y 스캐너를 이용한 트랙킹 방법을 제안하였다.
그러나, 이러한 형태의 정보저장장치는 휴대 기기에 필요한 소형 정보저장장치로는 적절하나 컴퓨터나 대규모 서보용으로 사용되는 대용량 정보저장장치로는 적절하지 않다.
그리고, 전술된 종래 기술과 같이 AFM 원리에 의하여 정보를 기록 재생하게 되면, 각 데이터 비트를 기록/재생할 때마다 캔틸레버를 움직여야 하므로, 캔틸레버의 공진주파수에 의하여 속도가 제한되어 고속으로 정보를 기록/재생할 수 없는 문제점이 있다.
이에 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 탐침형 어레이가 장착된 슬라이더를 평탄한 디스크형 기록매체에 올려놓고, 디스크형 기록매체를 회전시켜, 에어베어링의 원리에 의해 디스크형 기록매체로부터 탐침을 부상시킴으로써, 정보의 기록 및 재생할 수 있는 새로운 발명인 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치 및 그의 구동방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 캔틸레버의 휘어짐을 압전센서에서 감지하고, 이 감지신호로 캔틸레버의 휘어짐을 제어함으로써, 탐침과 디스크형 기록매체 사이의 간격을 용이하게 조절할 수 있어 기록/재생시 신뢰성을 더 확보할 수 있으며, 캔틸레버에 일정한 힘만이 인가되므로 팁의 마모를 최소화할 수 있는 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치 및 그의 구동방법을 제공하는 데 있다.
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 바람직한 양태(樣態)는, 회전 가능한 디스크형 기록 매체와;
상기 디스크형 기록 매체의 복수 트랙들에 정보를 저장시키거나 저장된 정보를 판독할 수 있도록 각각 탐침을 갖는 캔틸레버들이 어레이된 탐침 어레이와;
상기 탐침 어레이로 정보를 기록하게 하고, 상기 탐침 어레이를 이용하여 정보를 판독하는 정보 기록 및 판독부와;
상기 탐침 어레이의 탐침과 상기 디스크형 기록 매체의 간격을 조절하는 간격조절부와;
상기 선단에 상기 탐침 어레이가 장착되며, 상기 디스크형 기록 매체의 상부에 올려져 상기 복수의 트랙들 각각으로 상기 탐침 어레이의 탐침이 위치될 수 있도록 이동할 수 있는 슬라이더를 포함하여 구성된 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치가 제공된다.
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 바람직한 다른 양태(樣態)는, 선단에 탐침을 갖는 캔틸레버들이 어레이된 탐침 어레이가 장착된 슬라이더를 상기 디스크형 기록 매체의 상부에 올려놓는 제 1 단계와;
상기 디스크형 기록 매체의 트랙들에 상기 탐침 어레이의 탐침이 위치되도록 상기 슬라이더를 이동시키는 제 2 단계와;
상기 디스크형 기록 매체와 탐침의 간격이 일정하도록 유지시키는 제 3 단계와;
상기 탐침으로 상기 디스크형 기록 매체에 정보를 기록하거나 또는 상기 디스크형 기록 매체의 정보를 판독하는 제 4 단계로 구성된 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치의 구동방법이 제공된다.
도 1은 본 발명에 따른 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치의 사시도
도 2는 본 발명에 따른 슬라이더와 탐침 어레이의 사시도
도 3은 본 발명에 따른 단일 캔틸레버의 사시도
도 4는 본 발명에 따라 에어 베어링(Air bearing)효과를 이용하여 탐침과 디스크형 기록매체의 간격을 조절하는 상태를 도시한 도면
도 5는 본 발명에 따른 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치에서 탐침과 디스크형 기록매체의 간격을 정밀하게 조절하기 위한 구성도 도 6a와 6b는 SPM 정보저장장치의 상변환형 기록매체로 기록 및 재생과정을 도시한 도면
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 디스크형 기록매체 20 : 슬라이더
30 : 탐침 어레이 31 : 탐침
35 : 캔틸레버 36 : 압전 엑츄에이터
37 : 압저항 센서 100 : 정보 기록 및 판독부
200 : 간격 조절부 210 : 증폭기
220 : 역되먹임(Feedback) 회로부
본 발명은 종래의 탐침형 정보저장기가 X, Y 스캔 방식으로 되어 있어서 대용량의 정보저장기기를 제작하기 어려운 문제점을 해결하기 위하여 회전 디스크 형태의 기록매체를 사용한다.
이때, 기록매체가 있는 디스크형 기록매체와 탐침 사이의 간격을 정확히 조절하기 위하여, 하드디스크에서 사용하는 에어베어링(Air bearing)의 원리를 이용한 간격 조절 방법뿐만 아니라, 탐침 어레이에 내장된 압전 엑튜에이터와 압저항센서를 이용한 되먹임 제어에 의한 간격조절 방법을 사용한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치의 사시도로서, 회전 가능한 디스크형 기록 매체(10)와; 상기 디스크형 기록 매체(10)의 복수 트랙들에 정보를 저장시키거나 저장된 정보를 판독할 수 있도록 각각 탐침을 갖는 캔틸레버들이 어레이된 탐침 어레이(30)와; 상기 탐침 어레이(30)가 선단에 장착되고, 디스크형 기록 매체(10)의 상부에 올려져 상기 디스크형 기록 매체(10)의 트랙들 각각으로 상기 탐침 어레이(30)를 이동할 수 있도록 서스펜션(Suspension)에 연결된 슬라이더(20)로 구성된다.
그러므로, 본 발명의 정보 저장 장치는 슬라이더(20)를 디스크형 기록 매체(10) 상부에 올려놓고, 상기 디스크형 기록 매체의 트랙들에 상기 탐침 어레이의 탐침이 위치되도록 상기 슬라이더를 이동시킨다.
그 후, 상기 디스크형 기록 매체(10)를 회전시키면, 상기 슬라이더(20)는 상기 디스크형 기록 매체(10)로부터 부상된다.
마지막으로, 상기 탐침으로 상기 디스크형 기록 매체에 정보를 기록하거나 또는 상기 디스크형 기록 매체의 정보를 판독하여 동작시키게 된다.
도 2는 본 발명에 따른 슬라이더와 탐침 어레이의 사시도로서, 슬라이더(20)의 선단에는 탐침(31)을 각각 갖는 캔틸레버들이 어레이된 탐침 어레이(30)가 장착되어 있다.
도 3은 본 발명에 따른 단일 캔틸레버의 사시도로서, 슬라이더에 연결된 캔틸레버(35)와; 상기 캔틸레버(35)의 선단에 형성된 탐침(31)으로 구성된다.
그리고, 상기 캔틸레버(35)에는 상기 탐침(31)이 디스크형 기록 매체에 접근되었을 때, 원자력으로 캔틸레버(35)의 휘어짐을 감지할 수 있는 압저항(Piezoresitive) 센서(37)와; 상기 캔틸레버(35)의 탐침(31)이 디스크형 기록 매체에 ㎛ 단위로 일정하게 근접되도록, 상기 압저항 센서(37)에서 감지된 휘어진 값으로, 상기 캔틸레버(35)의 휘어짐을 제어할 수 있는 압전 엑츄에이터(36)가 더 형성될 수 있다.
상기 압전 엑츄에이터(36)는 하부전극(36a), 압저항막(36b)과 상부전극(36c)으로 구성된다.
도 4는 본 발명에 따라 에어 베어링(Air bearing)효과를 이용하여 탐침과 디스크형 기록매체의 간격을 조절하는 상태를 도시한 도면으로서, 디스크형 기록매체(10)의 상부에 슬라이더(20)를 올려놓고, 상기 디스크형 기록매체(10)를 고속으로 회전시키면, 슬라이더(20)와 디스크형 기록매체(10)의 사이에는 공기가 고속으로 흐르게 되고, 이로 인하여 슬라이더(20)에 양력이 작용하여 슬라이더(20)는 상기 디스크형 기록매체(10) 표면에서 수십 ㎚ 높이로 부상하게 된다.
이 때, 상기 슬라이더(20)의 선단에 있는 탐침 어레이(30)의 각각의 탐침(31)도 역시, 상기 디스크형 기록매체(10)로부터 부상되어, 상기 탐침(31)과 상기 디스크형 기록매체(10)는 간격(d)을 가지고 상호 이격되게 된다.
그러나, 이와 같은 에어베어링 효과만으로는 탐침헤드와 매체 사이의 간격을 정밀하게 조절할 수 없으므로 도 5에 도시된 자체 구동형 캔틸레버를 이용한 되먹임 제어 방법을 사용하여 탐침헤드와 매체 사이의 간격을 정밀하게 조절할 수 있도록 한다.
도 5는 본 발명에 따른 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치에서 탐침과 디스크형 기록매체의 간격을 정밀하게 조절하기 위한 구성도로서, 먼저, 본 발명의 정보 저장 장치는 회전 가능한 디스크형 기록 매체(10)와; 상기 디스크형 기록 매체(10)의 복수 트랙들에 정보를 저장시키거나 저장된 정보를 판독할 수 있도록 각각 탐침을 갖는 캔틸레버들이 어레이된 탐침 어레이(30)와; 상기 탐침 어레이(30)로 정보를 기록하게 하고, 상기 탐침 어레이(30)를 이용하여 정보를 판독하는 정보 기록 및 판독부(100)와; 상기 탐침 어레이(30)의 탐침과 상기 디스크형 기록 매체의 간격을 조절하는 간격조절부(200)와; 상기 선단에 상기 탐침 어레이(30)가 장착되며, 상기 디스크형 기록 매체의 상부에 올려져 상기 복수의 트랙들 각각으로 상기 탐침 어레이의 탐침이 위치될 수 있도록 이동할 수 있는 슬라이더(20)를 포함하여 구성된다.
이렇게 구성된 정보 저장 장치는 상기 정보 기록 및 판독부(100)에서 탐침 어레이(30)를 이용하여 정보를 기록하거나 판독하게 된다.
여기서, 전술된 바와 같이, 상기 디스크형 기록매체(10)에 슬라이더(20)를 올려놓고, 상기 디스크형 기록매체(10)를 회전시키면, 상기 슬라이더(20)는 디스크형 기록매체(10)로부터 부상되고, 탐침(31)과 디스크형 기록매체(10)의 사이에는 간격이 형성된다.
이 때, 탐침(31)과 디스크형 기록매체(10) 사이에는 간격이 일정하게 유지되지 않게 될 수도 있어, 기록/재생시 신뢰성 확보에 문제가 발생할 수도 있다.
따라서, 본 발명은 압저항 센서(37)로 탐침(31)과 디스크형 기록매체(10) 사이의 간격이 가까워져 탐침 어레이(30)의 캔틸레버(35)가 원자력에 의하여 휘어지는 값을 감지하고, 이 감지된 신호를 간격조절부(200)의 증폭기(210)로 증폭하고, 역되먹임 회로(Feedback circuit)부(220)에서 설정치(Set point)와 비교하여 출력을 압전 엑츄에이터(36)에 인가하여 압전 엑츄에이터(36)로 탐침(31)이 상기 디스크형 기록매체(10)와 일정한 간격을 유지하도록 캔틸레버(35)의 휘어짐을 제어한다.
이 때, 상기 압전 엑츄에이터(36)가 동작되어 발생하는 힘(Force)은 역되먹임 회로부(220)에 인가된 설정치에 의하여 결정된다.
그러므로, 원자력은 nm 이하로 조절될 수 있음으로 디스크형 기록매체(10)와 탐침(31) 사이의 간격은 nm 이하로 정밀하게 조절될 수 있다.
결과적으로, 본 발명의 정보 저장 장치는 탐침과 디스크형 기록매체 사이의 간격이 일정하게 유지된 상태에서 탐침을 이용하여 정보(Data)를 기록하고 재생할 수 있다.
더불어, 탐침을 이용한 정보의 기록하고 재생할 때 본 발명에서와 같은 방법으로 팁과 디스크 사이의 간격을 일정하게 유지하면 기록/재생시 신뢰성을 확보할 수 있을 뿐만 아니라 캔틸레버에 일정한 힘만이 인가되므로 팁의 마모를 최소화할 수 있는 장점이 있다.
그러나, 종래 기술과 같이 AFM 원리에 의하여 정보를 기록 재생하게 되면, 각 데이터 비트를 기록/재생할 때마다 캔틸레버를 움직여야 하므로, 캔틸레버의 공진주파수에 의하여 속도가 제한되어 고속으로 정보를 기록/재생할 수 없는데, 본발명은 평탄한 기록매체를 이용함으로써, AFM과는 다른 원리에 의하여 정보를 기록하고 재생하는 방법을 사용하는 것이다.
이와 같은, 평탄한 기록매체는 즉, 디스크형 기록매체는 전기전도도 변화를 이용하는 기록매체, 자성재료의 자기력(Magnetic force)을 이용하는 기록매체, 그리고 강유전 물질의 자발분극을 이용하여 정보를 기록하고 재생하는 기록매체, 도 6a와 6b에 도시된 상변환형 기록매체 등을 사용할 수 있다.
도 6a와 6b는 SPM 정보저장장치의 상변환형 기록매체로 기록 및 재생과정을 도시한 도면으로써, 기록과정은 광 정보저장장치의 기록과정과 매우 유사하다.
먼저, 도 6a는 상변환형 기록매체의 기록과정을 나타낸 것으로, 일반적인 광 정보저장장치에서는 레이저를 이용하여 매체를 가열하고, 정보를 기록하는 것과는 달리 상변환형 기록매체를 이용한 경우에는 캔틸레버(320)에 연결된 탐침(321)을 가열시켜 정보를 기록한다.
즉, 탐침(321)이 상변환 기록매체(313)의 상부를 지나가면서 캔틸레버(320)의 저항형 히터(Heater)에 전압을 인가하면 팁(321)이 가열되고, 이 열이 상기 상변환 기록매체(313)로 전달되어 매체의 온도가 약 200 ~ 300℃ 정도로 일정한 시간을 유지하게 되면 비정질 상태(313a)가 결정질 상태(313b)로 바뀌게 된다.
따라서, 결정질 상태(313b)를 '1' 라 정의하면, 상기 상변환 기록매체(313)에 열이 전달되지 않은 비정질 상태(313a)는 '0'으로 정의하여, 상기 상변환 기록매체(313)에 정보를 기록할 수 있게 된다.
이와 반대로, 결정질 상태(313b)를 비정질 상태(313a)로 바꾸기 위해서는팁(321)에 더욱 높은 전압을 가하여 매체의 온도를 500℃ 이상으로 가열하면 상기 상변환 기록매체(313)가 액체상태로 바뀌게 되고 이것을 급격히 냉각하면 비정질 상태(313a)로 바뀌게 된다.
도 6b는 상변환형 기록매체의 재생과정을 나타낸 것으로, 상변환형 기록매체에 기록된 정보는 상변환 기록매체(313)의 전기전도도를 측정함으로써 재생할 수 있다.
즉, 상변환 기록매체(313)의 결정질 상태(313b)는 비정질 상태(313a)에 비해서 전기전도도가 100배 이상 높다.
따라서, 팁(321)을 상변환 기록매체(313)에 접촉하여 전기전도도를 측정하면 결정질 상태(313b)인지 비정질 상태(313a)인지 알 수 있고, 이것은 각각 '1'과 '0'에 해당하는 정보가 된다.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명은 에어베어링의 원리를 이용하거나 또는 캔틸레버의 휘어짐을 압전센서에서 감지하고, 이 감지신호로 캔틸레버의 휘어짐을 제어함으로써, 탐침과 디스크 사이의 간격을 용이하게 조절할 수 있어 기록/재생시 신뢰성을 더 확보할 수 있는 효과가 발생한다.
더불어, 캔틸레버에 일정한 힘만이 인가되므로 팁의 마모를 최소화할 수 있는 효과가 발생한다.
본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며,이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (8)
- 회전 가능한 디스크형 기록 매체와;상기 디스크형 기록 매체의 복수 트랙들에 정보를 저장시키거나 저장된 정보를 판독할 수 있도록 각각 탐침을 갖는 캔틸레버들이 어레이된 탐침 어레이와;상기 탐침 어레이로 정보를 기록하게 하고, 상기 탐침 어레이를 이용하여 정보를 판독하는 정보 기록 및 판독부와;상기 탐침 어레이의 탐침과 상기 디스크형 기록 매체의 간격을 조절하는 간격조절부와;선단에 상기 탐침 어레이가 장착되며, 상기 디스크형 기록 매체의 상부에 올려져 상기 복수의 트랙들 각각으로 상기 탐침 어레이의 탐침이 위치될 수 있도록 이동할 수 있는 슬라이더를 포함하여 구성된 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 디스크형 기록매체는,전기전도도 변화를 이용하는 기록매체, 자성재료의 자기력(Magnetic force)을 이용하는 기록매체, 강유전 물질의 자발분극을 이용하는 기록매체, 상변환형 기록매체 중 선택된 어느 하나 인 것을 특징으로 하는 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 탐침 어레이는,상기 슬라이더에 연결된 캔틸레버와,상기 캔틸레버의 선단에 형성된 탐침으로 구성된 것을 특징으로 하는 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 탐침 어레이에는,상기 탐침이 상기 디스크형 기록 매체에 접근되었을 때, 원자력으로 캔틸레버가 휘어지는 것을 감지할 수 있는 압저항(Piezoresitive) 센서와,상기 캔틸레버의 탐침이 상기 디스크형 기록 매체에 일정하게 간격으로 유지되도록, 상기 압저항 센서에서 감지된 휘어진 값으로, 상기 캔틸레버의 휘어짐을 제어할 수 있는 압전 엑츄에이터가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 데이터 기록 및 판독부는,상기 압저항 센서에서 감지된 신호를 증폭하는 증폭기와,상기 증폭기에서 증폭된 신호와 설정치(Set point)를 비교하여 상기 압전 엑츄에이터에 출력하여 상기 탐침이 상기 디스크형 기록매체와 일정한 간격을 유지하도록 캔틸레버의 휘어짐을 제어할 수 있는 역되먹임 회로(Feedback circuit)부로 구성된 것을 특징으로 하는 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치.
- 선단에 탐침을 갖는 캔틸레버들이 어레이된 탐침 어레이가 장착된 슬라이더를 상기 디스크형 기록 매체의 상부에 올려놓는 제 1 단계와;상기 디스크형 기록 매체의 트랙들에 상기 탐침 어레이의 탐침이 위치되도록 상기 슬라이더를 이동시키는 제 2 단계와;상기 디스크형 기록 매체와 탐침의 간격이 일정하도록 유지시키는 제 3 단계와;상기 탐침으로 상기 디스크형 기록 매체에 정보를 기록하거나 또는 상기 디스크형 기록 매체의 정보를 판독하는 제 4 단계로 구성된 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치의 구동방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 제 3 단계는,상기 디스크형 기록 매체를 회전시켜, 상기 디스크형 기록 매체로부터 슬라이더를 부상시킴으로써, 상기 디스크형 기록 매체와 탐침의 간격이 일정하도록 유지시키는 단계인 것을 특징으로 하는 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치의 구동방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 제 3 단계에는,상기 탐침 어레이 각각의 캔틸레버에 형성된 압저항센서들에서 상기 디스크형 기록 매체와 탐침들 사이에 발생된 원자력으로 캔틸레버들이 휘어지는 것을 감지하고, 이 감지된 값을 기준값과 비교하여 차이가 있으면, 상기 탐침 어레이 각각의 캔틸레버들에 형성된 압전 엑츄에이터들을 동작시켜 상기 디스크형 기록 매체로부터 슬라이더가 부상된 간격을 일정하게 유지시키는 단계가 더 구비된 것을 것을 특징으로 하는 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치.
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| KR10-2003-0014810A KR100508530B1 (ko) | 2003-03-10 | 2003-03-10 | 에어베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치 및 그의구동방법 |
Applications Claiming Priority (1)
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Country Status (1)
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| KR (1) | KR100508530B1 (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100720974B1 (ko) * | 2005-01-20 | 2007-05-22 | 정남승 | 약액주입후 주입구의 완전한 융착을 유도한 플라스틱주사약 부품용기 |
| KR100720456B1 (ko) * | 2004-12-30 | 2007-05-22 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | Ａｆｍ 장치의 레이저 광선의 자동 조준 방법 및 그 장치 |
| CN117428738A (zh) * | 2023-11-28 | 2024-01-23 | 长春理工大学中山研究院 | 一种用于微纳操作的电控微型夹持器 |
-
2003
- 2003-03-10 KR KR10-2003-0014810A patent/KR100508530B1/ko not_active IP Right Cessation
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| CN117428738A (zh) * | 2023-11-28 | 2024-01-23 | 长春理工大学中山研究院 | 一种用于微纳操作的电控微型夹持器 |
| CN117428738B (zh) * | 2023-11-28 | 2024-08-09 | 长春理工大学中山研究院 | 一种用于微纳操作的电控微型夹持器 |
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