KR20040075562A - 베이크 장치 - Google Patents

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KR20040075562A
KR20040075562A KR1020030011107A KR20030011107A KR20040075562A KR 20040075562 A KR20040075562 A KR 20040075562A KR 1020030011107 A KR1020030011107 A KR 1020030011107A KR 20030011107 A KR20030011107 A KR 20030011107A KR 20040075562 A KR20040075562 A KR 20040075562A
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wafer
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이규명
장성일
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 챔버 커버의 브라켓과 리프트핀의 브라켓의 충돌에 따른 문제를 예방할 수 있는 베이크 장치에 관한 것으로, 포토 레지스터의 용제를 증발시키기 위한 베이크 장치는 베이킹 하기 위한 웨이퍼가 놓여지는 가열 플레이트와; 상기 가열 플레이트에 설치되고, 가열 플레이트에/로부터 웨이퍼를 로딩/언로딩하기 위한 리프트 핀들과; 상기 가열 플레이트를 완전히 커버링하기 위한 챔버 커버와; 상기 리프트 핀들을 업다운시키기 위한 제1승강장치와; 상기 챔버 커버를 업다운시키기 위한 제2승강장치 및; 상기 챔버 커버와 상기 리프트 핀들이 하강하는 과정에서 서로 접촉하는 것을 감지하는 수단을 갖는다. 이 수단은 상기 접촉 감지 수단은 접촉을 감지하는 센서와; 상기 센서의 검출신호에 응답하여 상기 제1 및 제2승강장치의 작동을 제어하는 제어부를 더 포함한다.

Description

베이크 장치{A BAKE APPARATUS}
본 발명은 반도체 제조 장치인 베이크 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 챔버 커버의 브라켓과 리프트핀의 브라켓의 충돌에 따른 문제를 예방할 수 있는 베이크 장치에 관한 것이다.
최근에, 반도체소자가 64MDRAM, 256MDRAM 및 1GDRAM으로 고집적화되어 칩(Chip) 단위면적이 작아지고, 회로선폭(Critical dimension)이 축소됨에 따라 웨이퍼 상에 패턴(Pattern)을 구현하는 포토리소그라피(Photolithography)공정의 중요성이 대두되고 있다.
일반적으로, 상기 포토리소그라피공정은 일련의 반도체 제조공정이 선행된 웨이퍼를 프리-베이킹(Pre-baking)한 후 포토레지스트(Photoresist)를 코팅(Coating)한다. 다음으로, 상기 포토레지스트가 코팅된 웨이퍼를 소프트-베이킹(Soft-baking)한 후 노광공정을 통해서 레티클(Reticle)의 패턴을 포토레지스트에 전사시킨다. 이어서, 상기 노광된 웨이퍼를 PEB-베이킹(Post-Exposure Baking)한 후 현상액을 이용하여 현상하여 웨이퍼 상에 실질적인 패턴을 형성하고 하드-베이킹(Hard-baking)하는 공정이다.
전술한 바와 같은 포토리소그라피공정의 베이킹 공정은 도 1에 도시된 바와 같은 베이크 오븐 내부에서 진행된다.
웨이퍼의 베이크 처리를 위해서는, 웨이퍼(w)를 리프트 핀(12)위에 올려놓은 상태에서 실린더를 이용하여 가열 플레이트(14)로 다운시키는데, 이와 동시에 챔버 커버(16)도 다운을 하게 된다. 이때, 챔버 커버(16)의 다운속도가 리프트 핀(12)의 다운속도보다 빠르게 되면, 챔버 커버(16)의 브라켓이 리프트핀(12)의 브라켓과 접촉(충돌)이 되면서 리프트 핀(12)위에 놓여진 웨이퍼의 위치를 변동시키게 된다. 이러한 웨이퍼의 위치변경으로 웨이퍼는 도 2에서와 같이 웨이퍼 일부가 웨이퍼 가이드(18)위에 얹히게 되는 문제가 발생된다.
이로 인해 웨이퍼가 전면적으로 일정한 열을 받지 못해 TPR(Thickness Photo Resist)의 허용폭(range)이 커지는 경우가 발생되거나, 웨이퍼 내에서 CD차이가 생기게 되고 심한 경우에는 패턴 브릿지(pattern bridge) 또는 웨이퍼 일부의 국부적인 NO 패턴이 발생하게 된다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 챔버 커버가 다운되면서 리프트핀의 브라켓과 충돌하는 것을 예방할 수 있는 새로운 형태의 새로운 형태의 베이크 장치를 제공하는데 있다.
도 1은 일반적인 베이크 장치를 개략적으로 보여주는 도면;
도 2는 웨이퍼 일부가 웨이퍼 가이드위에 얹혀진 상태를 보여주는 도면;
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 베이크 장치를 개략적으로 보여주는 도면;
도 4는 챔버 커버의 브라켓이 리프트 핀의 브라켓과 접촉되는 위치에 설치된 리미트 스위치를 보여주는 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
110 : 가열 플레이트
122 : 리프트 핀
124 : 리프트 핀 브라켓
132 : 챔버 커버
134 : 챔버 커버 브라켓
142 : 리미트 스위치
144 : 제어부
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 포토 레지스터의 용제를 증발시키기 위한 베이크 장치는 베이킹 하기 위한 웨이퍼가 놓여지는 가열 플레이트와; 상기 가열 플레이트에 설치되고, 가열 플레이트에/로부터 웨이퍼를 로딩/언로딩하기 위한 리프트 핀들과; 상기 가열 플레이트를 완전히 커버링하기 위한 챔버 커버와; 상기 리프트 핀들을 업다운시키기 위한 제1승강장치와; 상기 챔버 커버를 업다운시키기 위한 제2승강장치 및; 상기 챔버 커버와 상기 리프트 핀들이 하강하는 과정에서 서로 접촉하는 것을 감지하는 수단을 갖는다. 상기 접촉 감지 수단은 접촉을 감지하는 센서와; 상기 센서의 검출신호에 응답하여 상기 제1 및제2승강장치의 작동을 제어하는 제어부를 갖는다. 상기 제어부는 센서에서 접촉 감지 신호가 발생될 경우 이를 작업자에게 경고 메시지를 디스플레이 하거나 경고음을 발생시킬 수 있다. 여기서 상기 센서는 근접센서 또는 리미트 스위치일 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면 상기 챔버 커버와 상기 리프트 핀들이 하강하는 과정에서 서로 접촉되면서 발생되는 충격을 완화시키기 위한 충격완화 부재를 갖는다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 3 내지 도 4에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 베이크 장치를 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 4는 챔버 커버의 브라켓이 리프트 핀의 브라켓과 접촉되는 위치에 설치된 리미트 스위치를 보여주는 도면이다.
본 발명에 따른 베이크 장치(100)는 히터(Heater) 등의 가열수단에 의해서 표면에 안착된 웨이퍼(w)를 소정온도로 가열하는 가열 플레이트(110)를 갖는다. 이 가열 플레이트(110) 소정부에는 가열 플레이트(110) 내부에 매설되어 제1실린더(126)에 의해서 상하이동하여 가열 플레이트(110) 표면으로 돌출 및 함몰되는 복수의 리프트 핀(122)이 설치되어 있다. 그리고 상기 가열 플레이트(110)의 상면에는 가열 플레이트 표면에 안착된 웨이퍼의 슬라이딩 현상을 방지하는 웨이퍼 가이드(112)들이 형성되어 있다.
상기 가열 플레이트(110)의 상부에는 제2실린더(136)에 의해서 상하 이동하여 가열 플레이트(110)를 개폐하는 챔버 커버(132)가 설치되어 있다.
한편, 상기 베이크 장치(100)는 상기 챔버 커버(132)와 상기 리프트 핀(122)들이 하강하는 과정에서 챔버 커버(132)의 브라켓(134)이 상기 리프트 핀의 브라켓(124)과 서로 접촉되는 것을 감지하는 수단을 갖는다.
상기 접촉 감지 수단(140)은 접촉을 감지하는 리미트 스위치(142)와, 상기 리미트 스위치(142)의 검출신호에 응답하여 상기 제1 및 제2 실린더(126,136)의 작동을 제어하는 제어부(144)를 갖는다. 상기 리미트 스위치(142)는 상기 챔버 커버의 브라켓(134)과 상기 리프트 핀의 브라켓(124)이 접촉되는 지점에 설치된다.
한편, 상기 챔버 커버의 브라켓(134)에는 상기 리프트 핀의 브라켓(124)과의 접촉으로 발생되는 충격을 완화시키기 위한 고무소재의 완충부재(150)가 설치되어 있다.
예컨대, 도 4는 상기 챔버 커버(132)의 다운 속도가 리프트 핀(122)의 다운속도보다 빠르게 되어, 상기 챔버 커버의 브라켓(134)이 상기 리프트 핀의 브라켓(124)에 접촉되게 되면, 상기 리미트 스위치(142)가 스위칭되고, 이 리미트 스위치(142)에서 접촉 감지 신호를 접수받은 제어부(144)는 이를 작업자에게 경고 메시지를 디스플레이 하거나 경고음을 발생시킨다. 그리고 상기 제1 및 제2실린더(126,136)의 작동을 중지시킨다.
예컨대, 상기 리미트 스위치 대신 근접센서 또는 다른 종류의 센서가 사용될 수 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 베이크 장치는 챔버 커버가 리프트 핀보다 다운 속도가 빠른 경우 발생될 수 있는 챔버 커버의 브라켓과 리프트 핀의 브라켓의 충돌을 사전에 차단시킨다.
이상에서, 본 발명에 따른 베이크 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.
이와 같은 본 발명의 베이크 장치에 의하면, 챔버 커버가 다운되면서 리프트핀의 브라켓과 충돌하는 것을 예방함으로써, 가열 플레이트에 부정확하게 놓여진 웨이퍼로 인한 공정 결함을 미연에 방지할 수 있다.

Claims (5)

  1. 포토 레지스터의 용제를 증발시키기 위한 베이크 장치에 있어서:
    베이킹 하기 위한 웨이퍼가 놓여지는 가열 플레이트와;
    상기 가열 플레이트에 설치되고, 가열 플레이트에/로부터 웨이퍼를 로딩/언로딩하기 위한 리프트 핀들과;
    상기 가열 플레이트를 완전히 커버링하기 위한 챔버 커버와;
    상기 리프트 핀들을 업다운시키기 위한 제1승강장치와;
    상기 챔버 커버를 업다운시키기 위한 제2승강장치 및;
    상기 챔버 커버와 상기 리프트 핀들이 하강하는 과정에서 서로 접촉하는 것을 감지하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 베이크 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 접촉 감지 수단은
    접촉을 감지하는 센서와;
    상기 센서의 검출신호에 응답하여 상기 제1 및 제2승강장치의 작동을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 베이크 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제어부는 센서에서 접촉 감지 신호가 발생될 경우 이를 작업자에게 경고 메시지를 디스플레이 하거나 경고음을 발생시키는 것을 특징으로 하는 베이크 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 센서는 근접센서 또는 리미트 스위치 인 것을 특징으로 하는 베이크 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버 커버와 상기 리프트 핀들이 하강하는 과정에서 서로 접촉되면서 발생되는 충격을 완화시키기 위한 충격완화 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 베이크 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100867876B1 (ko) * 2005-12-28 2008-11-10 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 합착기

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