KR20040070778A - 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치 - Google Patents

로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20040070778A
KR20040070778A KR1020030006967A KR20030006967A KR20040070778A KR 20040070778 A KR20040070778 A KR 20040070778A KR 1020030006967 A KR1020030006967 A KR 1020030006967A KR 20030006967 A KR20030006967 A KR 20030006967A KR 20040070778 A KR20040070778 A KR 20040070778A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lead screw
lock chamber
load lock
braking
elevator
Prior art date
Application number
KR1020030006967A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100510747B1 (ko
Inventor
김태훈
Original Assignee
아남반도체 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 아남반도체 주식회사 filed Critical 아남반도체 주식회사
Priority to KR10-2003-0006967A priority Critical patent/KR100510747B1/ko
Publication of KR20040070778A publication Critical patent/KR20040070778A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100510747B1 publication Critical patent/KR100510747B1/ko

Links

Classifications

    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A22—BUTCHERING; MEAT TREATMENT; PROCESSING POULTRY OR FISH
    • A22C—PROCESSING MEAT, POULTRY, OR FISH
    • A22C25/00—Processing fish ; Curing of fish; Stunning of fish by electric current; Investigating fish by optical means
    • A22C25/08—Holding, guiding, or conveying fish before, during or after its preparation ; Devices for sizing fish; Automatically adapting conveyors or processing machines to the measured size
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G15/00—Conveyors having endless load-conveying surfaces, i.e. belts and like continuous members, to which tractive effort is transmitted by means other than endless driving elements of similar configuration
    • B65G15/30—Belts or like endless load-carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G17/00—Conveyors having an endless traction element, e.g. a chain, transmitting movement to a continuous or substantially-continuous load-carrying surface or to a series of individual load-carriers; Endless-chain conveyors in which the chains form the load-carrying surface
    • B65G17/12—Conveyors having an endless traction element, e.g. a chain, transmitting movement to a continuous or substantially-continuous load-carrying surface or to a series of individual load-carriers; Endless-chain conveyors in which the chains form the load-carrying surface comprising a series of individual load-carriers fixed, or normally fixed, relative to traction element
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A23—FOODS OR FOODSTUFFS; TREATMENT THEREOF, NOT COVERED BY OTHER CLASSES
    • A23B—PRESERVING, e.g. BY CANNING, MEAT, FISH, EGGS, FRUIT, VEGETABLES, EDIBLE SEEDS; CHEMICAL RIPENING OF FRUIT OR VEGETABLES; THE PRESERVED, RIPENED, OR CANNED PRODUCTS
    • A23B4/00—General methods for preserving meat, sausages, fish or fish products
    • A23B4/005—Preserving by heating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G31/00—Mechanical throwing machines for articles or solid materials
    • B65G31/02—Mechanical throwing machines for articles or solid materials comprising belts

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Zoology (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전 장치에 관한 것으로, 로드 락 챔버에 웨이퍼 카세트를 수직방향으로 왕복운동시키는 엘리베이터의 모터 하부에 리드 스크류가 설치되는 로드 락 챔버의 엘리베이터에 있어서, 상기 모터의 회전축에 리드 스크류가 회전비틀림 가능한 스페이서를 매개로 설치되고, 상기 리드 스크류의 일단에 리드 스크류의 외주연에 밀착되어 회전을 제동시키는 제동부재가 설치되며, 상기 모터의 동작 여부에 따라 제동부재를 작동시키는 작동부재를 포함한다.
본 발명에 따르면, 로드 락 챔버의 정전이나 모터의 고장 발생 시 자중에 의해 회전되는 리드 스크류를 제동시킬 수 있는 제동장치를 설치하여 로드 락 챔버 내의 웨이퍼카세트가 자체 하중에 의해 아래로 하강하는 것을 방지할 수 있다.

Description

로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치{A SAFETY APPARATUS OF ELEVATOR FOR LOAD LOCK CHAMBER}
본 발명은 반도체 소자의 제조 공정을 수행하는 장비의 로드 락 챔버에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 로드 락 챔버의 엘리베이터의 동작 정지 시에도 웨이퍼카세트가 아래로 떨어지지 않도록 한 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자의 제조 공정을 수행하기 위하여 공정이 진행될 공정 챔버 내부로 웨이퍼를 로딩하기 전에 고진공과 같은 공정 챔버 내부의 환경으로 인해 웨이퍼에 급격한 변화가 발생하지 않도록 공정 조건에 근접한 조건을 갖는 로드 락 챔버에 웨이퍼를 장착한다.
로드 락 챔버 내에 웨이퍼를 로딩/언로딩시키기 위하여 보통, 일정한 갯수의 웨이퍼를 장착한 웨이퍼카세트를 카세트 이송아암에 의해 로드 락 챔버 내로 로딩/언로딩시키며, 로드 락 챔버 내에 웨이퍼카세트를 그냥 둔 상태에서 웨이퍼만을 웨이퍼 이송아암에 의해 공정 챔버로 로딩/언로딩시킨다.
반도체 소자의 제조공정에 사용되는 로드 락 챔버를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 기술에 따른 로드 락 챔버를 도시한 측단면도이다.
도시된 바와 같이, 로드 락 챔버(10)는 정면에 웨이퍼카세트(1)가 출입하기 위해 도어(20)가 전후로 회동가능하게 설치되며, 하측에 내측으로 장착된 웨이퍼카세트(1)를 수직방향으로 왕복이동시키는 엘리베이터(30)가 구비된다.
엘리베이터(30)는 로드 락 챔버(10)의 내측에 위치하며 상면에 웨이퍼카세트(1)가 안착되는 승강판(31)과, 승강판(31)의 저면에 수직으로 결합되어 로드 락 챔버(10)의 저면을 관통하는 승강축(32)과, 승강축(32) 일단에 수평방향으로 돌출되어 고정 결합되는 승강부재(33)와, 승강부재(33)를 수직방향으로 이송할 수 있도록 그 일단에 나사결합되는 리드스크류(34)와, 승강부재(33)의 하측으로부터 연장 형성되어 리드스크류(34)의 회전을 지지하는 가이드부재(35)와, 리드스크류(34)를 회전시킬 수 있도록 연결되는 모터(37)와, 모터(37)를 제어하는 제어부(38)를 포함한다.
로드 락 챔버(10)의 승강판(31)에 안착된 웨이퍼카세트(1)로부터 웨이퍼이송아암(미도시)에 의해 웨이퍼가 공정 챔버(미도시)로 하나씩 로딩되거나 그와 반대로 언로딩되면 제어부(38)가 모터(37)를 구동시켜 웨이퍼카세트(1)가 안착된 승강판(31)을 일정 간격으로 승하강시킨다.
즉, 제어부(38)가 모터(37)를 구동시킴으로써 벨트(36)에 의해 리드스크류(34)가 회전하고, 리드스크류(34)의 회전에 의해 승강부재(33)가 수직방향으로 이동하며, 승강부재(33)의 이동에 의해 승강축(32)과 함께 승강판(31)이 승하강한다.
한편, 가이드부재(35)는 승강부재(33)가 수직방향으로 이동시 리드스크류(34)를 따라 슬라이딩됨으로써 승강부재(33)를 가이드한다.
제어부(38)는 웨이퍼카세트(1)의 위치제어를 위해 기준위치를 설정해야 하고 그 기준위치로부터 필요한 승하강 거리에 대한 제어를 수행한다.
그러나, 이와 같은 종래의 로드 락 챔버(10)의 엘리베이터(20)는 장비의 정전이나 모터(37)의 이상으로 인해 제어할 수 없는 경우 웨이퍼 카세트는 무게 때문에 로드 락 챔버(10)의 바닥으로 내려 앉는다. 특히, 트랜스퍼 챔버(미도시됨)의 로봇이 로드 락 챔버(10)에 있을 경우 충돌로 인해 파괴되는 등 곧바로 장비의 큰 사고로 이어질 수 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래의 단점을 해소하기 위한 것으로, 로드 락 챔버의 정전이나 모터의 고장 발생 시 자중에 의해 회전되는 리드 스크류를 제동시킬 수 있는 제동장치를 설치하여 로드 락 챔버 내의 웨이퍼카세트가 자체 하중에 의해 아래로 하강하는 것을 방지할 수 있는 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 로드 락 챔버에 웨이퍼 카세트를
수직방향으로 왕복운동시키는 엘리베이터의 모터 하부에 리드 스크류가 설치되는 로드 락 챔버의 엘리베이터에 있어서, 상기 모터의 회전축에 리드 스크류가 회전비틀림 가능한 스페이서를 매개로 설치되고, 상기 리드 스크류의 일단에 리드 스크류의 외주연에 밀착되어 회전을 제동시키는 제동부재가 설치되며, 상기 모터의 동작 여부에 따라 제동부재를 작동시키는 작동부재를 포함한다.
도 1은 종래기술에 따른 로드 락 챔버의 엘리베이터를 도시한 단면도,
도 2는 본 발명에 따른 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치를 도시한 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
40 ; 제동부재 41 ; 제동판
42 ; 제동패드 50 ; 작동부재
51 ; 하우징 52 ; 실린더부
53 ; 전자석 54 ; 가이드
55 ; 탄성부재 60 ; 스페이서
이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치를 도시한 단면도이다. 한편, 종래기술과 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호로서 설명한다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따르면 웨이퍼카세트(1)를 수직방향으로 왕복이동시키는 엘리베이터(30)의 리드 스크류(34) 일단에 회전비틀림이 가능한 스페이서(60)와 비상시에 리드 스크류(34)의 회전을 제동시킬 수 있는 제동부재(40) 및 작동부재(50)를 구비한다.
본 발명에 따른 스페이서(60)는 모터(37)의 회전축과 리드 스크류(34) 사이에 설치되어 리드 스크류(34)가 제동부재(40)에 의해 급격히 제동되면서 모터(37)에 충격이 가해지는 것을 방지한다. 즉, 스페이서(60)는 모터(37)의 회전력과 리드 스크류(34)의 회전력 차이를 순간적으로 완화시킨다.
본 발명에 따른 제동부재(40)는 리드 스크류(34)의 외주연에 밀착되어 리드 스크류(34)의 회전을 제동시키는 것으로, 리드 스크류(34)의 회전방향에 대해 직각방향으로 반원호형상을 갖는 자성재질의 제동판(42)과 제동판(42)의 반원호부에 부착되는 제동패드(41)로 이루어진다. 이와 같은 제동부재(40)는 리드 스크류(34)의 회전방향에 대해 직각방향으로 한쌍을 이루어 서로 대면하도록 위치한다.
본 발명에 따른 작동부재(50)는 제동부재(40)를 리드 스크류(34)의 회전방향에 대해 직각방향으로 왕복운동시키는 것으로, 제동부재(40)의 후면에 일정한 간격을 두고 리드 스크류(34)의 회전방향에 대해 직각방향으로 원통형상의 실린더부(52)가 형성된 하우징(51)이 마련되고, 제동판(42)과 대면하는 방향의 하우징(51) 전면에 전자석(53)이 설치되고, 제동판(42)의 후면으로부터 연장되어 실린더부(52)에 가이드(54)가 슬라이딩가능하게 삽입되고, 실린더부(52) 내부에는 탄성부재(55)가 설치되는 것을 특징으로 한다.
한편, 작동부재(50)의 전자석(53)은 리드 스크류(34)를 회전시키는 모터(37)와 연결되어 모터(37)에 전원이 오프되면 전자석(53)도 함께 오프되도록 연결된다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치는 엘리베이터가 정상적으로 작동할 때에는 모터(37)에 공급되는 전원이 전자석(53)에도 함께 공급되어 전자석(53)에서 발생되는 전자기력에 의해 제동부재(40)가 전자석(53)쪽으로 이끌리어 후퇴된 상태를 유지하고 있어 리드 스크류(34)의 회전이 방해받지 않는다.
엘리베이터에 이상이 발생되어 모터(37)에 전원이 공급되지 않게 되면 전자석(53)에 공급되던 전원도 함께 차단되므로 전자석(53)에서는 더 이상 전자기력을 발생시키지 못하므로 탄성부재(55)에 탄성력에 의해 제동부재(40)는 전진한다. 이때 가이드(54)는 실린더부(52)를 슬라이딩 이송하면서 제동부재(40)가 안정적으로 전진하도록 한다. 제동부재(40)의 제동패드(41)는 탄성부재(55)의 압박에 의해 리드 스크류(34)의 외주연에 밀착된다. 즉, 리드 스크류(34)는 모터(37)의 구동력이 해제된다면 웨이퍼카세트(1) 및 상승축의 무게에 의해 하강하는 구조이지만 본 발명에 따른 제동부재(40)에 의해 그 하강이 정지된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치는 로드 락 챔버의 정전이나 모터의 고장 발생 시에도 로드 락 챔버 내의 웨이퍼카세트가 자체 하중에 의해 아래로 하강하여 바닥면에 부딪혀 웨이퍼가 파괴되는 것을 방지할 수 있다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에한정되지 않고, 이하의 특허등록청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims (3)

  1. 로드 락 챔버에 웨이퍼 카세트를 수직방향으로 왕복운동시키는 엘리베이터의 모터 하부에 리드 스크류가 설치되는 로드 락 챔버의 엘리베이터에 있어서,
    상기 모터의 회전축에 리드 스크류가 회전비틀림 가능한 스페이서를 매개로 설치되고,
    상기 리드 스크류의 일단에 리드 스크류의 외주연에 밀착되어 회전을 제동시키는 제동부재가 설치되며,
    상기 모터의 동작 여부에 따라 제동부재를 작동시키는 작동부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제동부재는 상기 리드 스크류의 회전방향에 대해 직각방향으로 반원호형상을 갖는 자성재질의 제동판과 상기 제동판의 반원호부에 부착되는 제동패드로 이루어지는 것을 특징으로 하는 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 작동부재는 상기 제동부재의 후면에 일정한 간격을 두고 리드 스크류의 회전방향에 대해 직각방향으로 원통형상의 실린더부가 형성된 하우징이 마련되고, 상기 제동판과 대면하는 방향의 하우징 전면에 전자석이 설치되고, 상기 제동판의 후면으로부터 연장되어 상기 실린더부에 가이드가 슬라이딩가능하게삽입되고, 상기 실린더부 내부에는 탄성부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치.
KR10-2003-0006967A 2003-02-04 2003-02-04 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치 KR100510747B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2003-0006967A KR100510747B1 (ko) 2003-02-04 2003-02-04 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2003-0006967A KR100510747B1 (ko) 2003-02-04 2003-02-04 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040070778A true KR20040070778A (ko) 2004-08-11
KR100510747B1 KR100510747B1 (ko) 2005-08-30

Family

ID=37358998

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2003-0006967A KR100510747B1 (ko) 2003-02-04 2003-02-04 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100510747B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102634844A (zh) * 2012-04-28 2012-08-15 浙江昀丰新能源科技有限公司 一种提升旋转装置
WO2020219241A1 (en) * 2019-04-26 2020-10-29 Applied Materials, Inc. Pedestal lift for semiconductor processing chambers

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102634844A (zh) * 2012-04-28 2012-08-15 浙江昀丰新能源科技有限公司 一种提升旋转装置
WO2020219241A1 (en) * 2019-04-26 2020-10-29 Applied Materials, Inc. Pedestal lift for semiconductor processing chambers
CN113795608A (zh) * 2019-04-26 2021-12-14 应用材料公司 用于半导体处理腔室的基座提升
US11251067B2 (en) 2019-04-26 2022-02-15 Applied Materials, Inc. Pedestal lift for semiconductor processing chambers
CN113795608B (zh) * 2019-04-26 2024-02-20 应用材料公司 用于半导体处理腔室的基座提升

Also Published As

Publication number Publication date
KR100510747B1 (ko) 2005-08-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8186483B2 (en) Elevator braking device
JP4607103B2 (ja) 操縦可能且つ後退可能な貨物用動力駆動ユニット
JP5191907B2 (ja) エレベータ装置
WO2005102899A1 (ja) エレベータの非常止めシステム
US6021872A (en) Remote brake release mechanism for an elevator machine
JP5449382B2 (ja) 触覚ウェハ昇降装置とその操作方法
KR20040070778A (ko) 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치
JP2011179531A (ja) 蓋開閉装置及び真空装置
JP2013010604A (ja) エレベータ装置
EP3318357A1 (en) Cutting machine tool comprising a safety apparatus
KR100689838B1 (ko) 웨이퍼 카세트 엘리베이터 시스템
KR100503285B1 (ko) 로드 락 챔버의 엘리베이터 안전장치
KR20040070773A (ko) 로드 락 챔버의 승강축 균형유지장치
KR950000538Y1 (ko) 공작기기의 공구포트 90˚ 회전장치
CN107618964B (zh) 电梯用卷扬机以及电梯装置
CN115702113A (zh) 电梯装置
CN115893146B (en) Elevator speed limiting device capable of switching two rated speeds at any time and elevator speed increasing method
KR101541836B1 (ko) 다방향 웨이퍼 이송 시스템
CN115074687B (zh) 磁控管运动装置、磁控管组件及半导体工艺设备
JP2003300681A (ja) 往復移動体装置
KR100565471B1 (ko) 승강기구와캐리어반송장치및열처리장치
CN220647589U (zh) 水闸检修门门机自动定位系统装置
US20240150157A1 (en) Lifting Device
JP6823834B2 (ja) エレベータ
JPH10202565A (ja) ワーク昇降装置およびワーク把持装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20080630

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee