KR20040068959A - 광 기록매체를 주사하는 광학장치 - Google Patents

광 기록매체를 주사하는 광학장치 Download PDF

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KR20040068959A
KR20040068959A KR10-2004-7009607A KR20047009607A KR20040068959A KR 20040068959 A KR20040068959 A KR 20040068959A KR 20047009607 A KR20047009607 A KR 20047009607A KR 20040068959 A KR20040068959 A KR 20040068959A
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드렌텐로날드알.
쿱스페터
유트페트루스티.
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코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
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Abstract

광 기록매체(20)를 주사하는 광학장치는, 서로 다른 광 경로(28, 29)를 따라 서로 다른 파장을 갖는 2가지 방사빔을 방출하는 방사원(25)을 갖는다. 방출된 방사빔은 기록매체 상에 초점이 맞추어지고, 검출계(40)로 다시 반사된다. 빔 결합기(43)는, 방사원과 검출계 사이의 광 경로에 배치되어, 1개의 광 경로 상에서 2개의 방사빔을 결합하여, 이들 2가지 방사빔에 대해 한 개의 검출계를 사용할 수 있도록 한다. 빔 결합기는, 빔들 중에서 한 개의 빔을 회절되지 않게 통과시키고 나머지 빔을 주로 1차로 회절시키는 격자를 구비한다. 격자선들의 외형은 교번하는 경사 홈들과 경사 랜드들을 나타낸다.

Description

광 기록매체를 주사하는 광학장치{OPTICAL DEVICE FOR SCANNING AN OPTICAL RECORD CARRIER}
저장용량의 요구가 증가함에 따라, 새로운 광학주사장치와 증가된 저장용량을 갖는 이에 부합되는 기록매체의 개발이 진행되어 왔다. 그 결과, 이전의 저용량의 기록매체와 새로운 고용량의 기록매체가 동시에 시판되고 있다. 호환성 문제로 인해, 새로운 기록매체용의 주사자치가 이전의 기록매체와 새로운 기록매체 모두를 주사할 수 있어야 한다. 이것은, 서로 다른 기록매체의 포맷들을 처리하기 위한 장치의 변형을 필요로 한다. 일례로서, DVD 형태를 갖는 더욱 신형의 기록매체와 CD-R 형태를 갖는 오래된 기록형 기록매체 모두를 주사하도록 설계된 주사장치는, DVD를 주사하기 위한 650nm 파장의 방사빔과 CD를 주사하기 위한 780nm 파장의 방사빔을 형성하여야 한다. 이와 같은 플레이어의 광학계는, 650nm의 방사빔에 대한 1개의 레이저 다이오드와 780nm의 방사빔에 대한 1개의 레이저 다이오드의 2개의 레이저 다이오드를 구비한다. 광학계의 비용을 줄이기 위해서는, 가능한한 많은 수의 광학계의 부품들을 이 두가지의 방사빔들이 횡단하여야 한다.
이와 같은 이중 파장 주사장치는 특허 US 5912868에 공지되어 있으며, 도 1에 개략적으로 제시되어 있다. 레이저 3 및 4에서 발생된 2가지 방사빔의 경로 1 및 2는 90°보다 작은 각도로 서로 배향되며, 기록매체(7)에 빔들의 초점을 맞추는 대물계(6)로 들어가기 전에, 입방체 빔 스플리터(5)에서 결합된다. 어떤 방사원을 동작할 것인지의 선택은, 주사되고 있는 기록매체의 형태에 의해 좌우된다. 기록매체에서 되돌아온 방사빔은 빔 스플리터(9)를 통해 광 검출계(8)로 안내된다. 광 검출기는, 부딪친 방사빔을, 기록매체 상에 저장된 정보와, 정보가 기록된 기록매체의 트랙들에의 방사빔의 초점의 위치 정밀도를 나타내는 트랙킹 정보를 표시하는 전기신호들로 변환한다. 트랙킹은, 광축의 방향으로의 트랙킹, 즉 초점맞춤과, 광축과 기록매체에서 주사되는 트랙의 방향 모두에 대해 수직한 방향으로의 트랙킹에 관한 것이다. 후자의 형태의 트랙킹은, 디스크 형태의 광 기록매체들과 관련되는 래디얼 트랙킹으로도 불린다.
방사빔들이 검출계 상에 떨어질 때의 정밀도 면에서, 2개의 레이저의 상호위치의 허용오차가 비교적 엄격하다. 검출계 상의 위치의 에러는 트랙킹 정보의 에러를 일으킬 수도 있다. 도 3은 특허출원 JP-A 10326428에 공지된 주사장치를 나타낸 것으로, 한 개의 부품(10)으로 도시된 2개의 레이저가 서로 인접하게 배치되어, 그들의 상호 위치를 허용오차 내에 유지하는 것을 쉽게 하고 있다. 이들 2가지 방사빔의 경로들은 예각을 이루고, 빔들은 격자(11)에 의해 결합된다. 격자는 투과하는 2가지 입사 방사빔들을 회절시킨다. 이들 방사빔들 중에서 한 개의 방사빔의 0차 빔이 격자로부터 대물계를 통과하는 한편, 나머지 방사빔의 1차 빔이 동일한 경로를 통해 대물계로 지나간다.
특허출원 JP-A 10261241에는, 레이저들에서 발생된 방사빔들을 결합하는 격자가 개시되어 있다. 격자는 0차에서 650nm의 파장을 갖는 방사빔과 1차에서 780nm의 파장을 갖는 방사빔의 투과에 대해 최적화되어 있다. 격자의 선들은 일련의 인접한 톱니 형태의 외형을 갖고, 각각의 톱니는 단차가 형성된 외형과 유사하다.
(발명의 개시)
높은 데이터 전송속도에서 기록매체에 있는 정보를 판독하고, 특히 이 정보를 기록하기 위해서는 높은 투과율의 격자가 바람직하므로, 본 발명의 목적은, 더 높은 투과율을 갖는 빔 결합기로서 격자를 구비한 이중 파장 주사장치를 제공함에 있다. 또한, 본 발명의 목적은, 격자의 선의 복잡도를 줄여 격자의 제조를 용이하게 함에 있다.
상기한 목적은, 본 발명에 따르면, 상기 주사장치가 교번하는 경사 홈들과경사 랜드들을 갖는 격자를 구비하는 구성으로 달성된다. 제 1 방사빔의 0차 빔과 제 2 방사빔의 1차 빔 모두에 대해 투과율이 80% 이상이 될 수 있다. 격자의 선들의 복잡성이 줄어들어, 격자의 제조가 간단해진다. 종래의 격자보다 격자의 선이 더 작은 수의 모서리를 가지므로, 격자가 더욱 정밀하게 제조될 수 있다. 향상된 정밀도는 격자에 기인한 표유광의 양을 줄이므로, 격자의 투과율을 증가시킨다.
홈들이 제 1 파장의 정수배와 거의 동일한 동시에, 제 2 파장의 절반의 홀수배와 거의 동일한 광학 깊이를 가질 때, 0차 빔에서의 격자의 투과력이 증가된다. 이때, "거의 동일하다"는 것은 +/- 0.2 파장의 범위에 속한다는 것을 의미한다.
격자가 평면에 설치된 투과 격자인 경우에는, 홈들과 랜드들이, 평면에 대해, 제 2 방사빔으로부터의 회절되지 않은 빔과 선택된 회절 빔 사이의 각도와 대략 동일한 각도로 경사지는 것이 바람직하다. "대략 동일하다"는 것은 +/- 50%, 바람직하게는 15% 내에 속한다는 것을 의미한다. 홈들과 랜드들의 경사는, 제 2 파장 빔으로부터 회절된 1차 빔의 투과율을 증가시킨다.
격자가 평면에 설치된 반사 격자인 경우에는, 홈들과 랜드들이, 평면에 대해, 제 2 방사빔으로부터의 회절되지 않은 빔과 선택된 회절 빔 사이의 각도의 1/4배와 대략 같은 각도로 경사지는 것이 바람직하다.
기록매체에서 나와 검출계에 입사하는 방사빔들의 정렬은, 방사원과 격자를 서로 조정가능하게 배치함으로써 용이하게 수행될 수 있다. 더구나, 격자와 광 검출계가 서로 조정가능하게 배치될 수 있다. 적절한 배치에 필요한 2가지의 자유도는, 광축을 중심으로 하는 격자의 회전과, 광축을 따른 격자의 위치 변화이다.
격자가 방사원 바로 뒤에 배치되면, 이들 2가지 빔은 격자로부터 광 검출계로 동일한 경로를 따른다. 이와 달리, 격자가 광 검출계의 앞에 배치되면, 이들 빔은 광 검출계의 감광 영역 상의 동일한 위치에 스폿들을 형성하는데, 방사원과 격자 사이에서, 비록 거의 평행하기는 하지만, 빔들이 서로 다른 광 경로를 따르게 된다.
본 발명의 또 다른 국면에서는, 제 1 방사빔으로부터의 회절되지 않은 빔과 제 2 방사빔으로부터의 회절 빔이 일치하도록, 제 1 경로를 따라 입사한 제 1 파장을 갖는 제 1 방사빔과, 이와 다른 제 2 경로를 따라 입사한 이와 다른 제 2 파장을 갖는 제 2 방사빔의 경로들을 하나로 하는 광학 격자는, 상기 격자가 교번하는 경사 홈들과 경사 랜드들을 갖는 것을 특징으로 한다. 바람직하게는, 홈들은 제 1 파장의 정수배와 거의 동일한 광학 깊이를 갖는다. 더욱 바람직하게는, 홈들은 이와 동시에 제 2 파장의 절반의 홀수배와 거의 동일한 광학 깊이를 갖는다. 이와 가튼 조건은 원하는 방향으로의 이들 두가지 파장에 대한 회절 효율을 최적화한다.
본 발명은, 광 기록매체를 주사하는 광학장치와, 이 장치에 사용되는 광학 격자에 관한 것이다. 특히, 이 장치는, 제 1 경로를 따라 주행하는 제 1 파장의 제 1 방사빔과, 이와 다른 제 2 경로를 따라 주행하는 이와 다른 제 2 파장의 제 2 방사빔을 방출하는 방사원과, 광 검출계와, 방사빔들을 광 기록매체를 통해 광 검출계로 안내하는 광학계와, 제 1 및 제 2 빔을 광 검출계 상에서 거의 일치하도록 결합하는 격자를 구비한다. 주사란, 기록매체에 대한 정보의 판독, 기록 및 소거를 의미한다.
본 발명의 특징부와 이점은, 다음의 첨부도면을 참조하여 예를 들기 위해 주어진 이하의 본 발명의 바람직한 실시예의 상세한 설명으로부터 더욱 더 명백해질 것이다:
도 1 및 도 2는 종래의 주사장치를 개략적으로 나타낸 것이고,
도 3은 본 발명에 따른 주사장치를 나타낸 것이며,
도 4는 본 발명에 따른 빔 결합 격자의 외형을 나타낸 것이고,
도 5는 주사장치의 또 다른 실시예를 나타낸 것이다.
도 3은 광 기록매체(20)를 주사하는 본 발명에 따른 주사장치를 나타낸 것이다. 기록매체는 투명층(21)을 구비하며, 이 투명층의 일면에는 정보층(22)이 배치된다. 투명층의 반대측에 있는 정보층의 면은 보호층(23)에 의해 외부의 영향으로부터 보호된다. 장치를 마주보는 투명층의 면은 입사면(24)으로 불린다. 투명층(21)은 정보층에 대한 기계적인 지지를 제공하여 기록매체에 대한 기판으로서의 역할을 한다. 이와 달리, 투명층은 정보층을 보호하는 유일한 기능을 갖는 한편, 기계적인 지지가 정보층의 타면에 있는 층, 예를 들면 보호층(23) 또는 또 다른 정보층과 정보층(22)에 연결된 투명층에 의해 제공될 수도 있다. 정보는, 도면에 미도시된 거의 평행하거나 동심을 이루거나 나선형의 트랙들로 배치된 광학적으로 검출가능한 마크들의 형태로 기록매체의 정보층(22)에 저장될 수도 있다. 이들 마크들은, 임의의 광학적으로 판독가능한 형태, 예를 들면 피트들의 형태, 또는 그것의 주변부와 다른 반사계수 또는 자화 방향을 갖는 영역들의 형태, 또는 이들 형태의 조합으로 형성될 수도 있다.
주사장치는, 제 1 파장을 갖는 제 1 방사빔(26)과 제 2 파장을 갖는 제 2 방사빔(27)을 방출할 수 있는 방사원(25)을 구비한다. 점선 28 및 29는 방사빔들 26 및 27의 주 광속을 각각 표시한다. 이들 방사빔이 방사원으로부터 검출계로 동일한광학부품들 30, 31, 34, 34, 43을 통과하기는 하지만, 이들 방사빔은 그들의 주 광속이 일치하지 않기 때문에 서로 다른 경로를 따르는 것으로 말할 수 잇다. 방사빔 26은 광학부재들을 통해 제 1 경로를 따르고 방사빔 27은 제 2 경로를 따른다.
방사원은, 650 및 780 nm의 공칭 파장에서 각각 방출하는 제 1 및 제 2 반도체 레이저를 구비한다. 제 1 레이저는, 주사되고 있는 기록매체가 DVD 형태를 가질 때 동작하며, 제 2 레이저는 기록매체가 CD 형태를 가질 때 동작한다. 이들 2개의 레이저는 동일한 1개의 반도체 칩에 집적되어, 레이저들의 방출 지점의 거리를 100 ㎛ 정도로 할 수 있다.
빔 스플리터(30)는 발산하는 방사빔들 26 및 27을 시준렌즈(31)를 향해 반사시키고, 시준렌즈는 발산하는 빔들 26 및 27을 평행광으로 변환된 빔들 32 및 33으로 변환시킨다. 거울(34)에 의해 반사된 후, 평행광으로 변환된 빔들이 대물계(35)에 입사한다. 대물계는 1개 이상의 렌즈 및/또는 격자를 구비할 수도 있다. 대물계(35)는 빔들 32 및 33은 기록매체(20)의 입사면(24)에 입사하는 수렴 빔들로 변환한다. 대물계는, 투명층(21)의 두께를 통한 방사빔의 통과를 위해 적합화된 구면수차 교정값을 갖는다. 수렴빔들은 정보층(22) 상에 스폿들 36 및 37을 형성한다. 정보층(22)에 의해 반사된 방사빔은 발산하는 빔들을 형성하고, 이들 빔들은 대물계(35)에 의해 거의 평행광으로 변환된 빔으로 변형된 후, 시준렌즈(31)에 의해 수렴 빔들 38 및 29로 변환된다. 빔 스플리터(30)는, 기록매체로부터의 수렴 빔들의 적어도 일부를 검출계(40)를 향해 투과시킴으로써, 전방 빔과 반사 빔들을 분리한다. 검출계는 방사빔을 포착하여, 그것을 전기 출력신호(41)로 변환한다.
신호 처리기(42)는 이들 출력신호를 다양한 다른 신호들로 변환한다. 이들 신호 중에서 한가지는 정보신호로서, 이 신호의 값은 정보층(22)에서 판독된 정보를 표시한다. 정보신호는 오류정정을 위해 정보 처리부에 의해 처리된다. 또한, 신호 처리기(42)는 초점 에러신호와 래디얼 에러신호 등의 다른 신호들을 출력한다. 초점 에러신호는 스폿들 36 또는 37과 정보층(22) 사이의 축방향 높이차를 표시한다. 래디얼 에러신호는, 스폿 36 또는 37과 스폿이 뒤따르는 정보층 내부의 트랙 중심 사이의 정보층(22)의 평면에서의 거리를 표시한다. 초점 에러신호와 래디얼 에러신호는 서보회로에 공급되어, 초점 액추에이터와 래디얼 액추에이터를 각각 제어한다. 이들 액추에이터는 도면에 도시하지 않았다. 초점 액추에이터는, 초점 방향으로 대물계(35)의 위치를 제어하여, 스폿 36 또는 37의 실제 위치가 정보층(22)의 평면과 거의 일치하도록 이 실제 위치를 제어한다. 래디얼 액추에이터는, 반경방향으로 대물계(35)의 위치를 제어하여, 스폿 36 또는 37의 반경방향의 위치가 정보층(22) 내에서 뒤따르는 트랙의 중심선과 거의 일치하도록 이 반경방향의 위치를 제어한다.
격자의 형태를 갖고 검출계(40) 앞의 빔들의 광 경로에 배치된 빔 결합기(43)는, 빔 38로부터 회절되지 않은 빔(44)을 형성하고 빔 39로부터 1차 회절된 빔(45)을 형성한다. 빔들 44 및 45는 검출계(40)의 감광 표면 상의 거의 동일한 위치에 수렴한다. 따라서, 2가지 서로 다른 방사빔에 대해 단지 한 개의 검출계와 이에 수반하는 전자회로가 필요하게 된다.
도 3에 도시된 주사장치는 빔 39로부터 회절된 1차 빔과 빔 38로부터의 회절되지 않은 빔을 사용하지만, 회절 차수들의 다른 조합, 예를 들면 이들 2가지 빔 38 및 39로부터의 1차 빔도 가능하다. 회절되지 않은 빔의 사용은, 기로개체 상에 정보를 기록할 수 있는 장치에서 이점을 갖는다. 반도체 레이저가 방사원으로 사용되는 경우에, 방사 파워를 판독 레벨로부터 이보다 더 높은 기록 레벨로 변경할 때, 방사빔의 파장이 수 나노미터 정보의 작은 시프트를 나타낸다. 이와 같은 방사빔이 빔 결합기(43) 등의 격자에 의해 1차 회절되면, 회절각의 변화가 발생하여, 기록매체 및/또는 검출계 상의 스폿의 위치에 변화를 일으킨다. 따라서, 판독 및 기록 레벨 사이에서 파워가 전환되는 빔은, 빔 결합기 격자에 의해 회절되지 않고 투과되거나 반사되는 것이 바람직하다. 따라서, CD 포맷에서 판독 및 기록이 가능하고 DVD 포맷에서는 판독만이 가능한 주사장치에서는, CD용의 785nm 빔이 회절되지 않아야 하며, DVD용의 650nm의 빔이, 바람직하게는 1차로 회절되어야 한다.
도 4는 격자선들에 수직한 방향으로의 본 발명에 따른 격자(43)의 일 실시예의 외형을 통한 단면을 나타낸 것이다. 격자선은 홈(50)과 랜드(51)의 총안을 낸(crenellated) 외형을 갖는다. 홈의 평탄한 저면과 평탄한 랜드는 격자가 배치되는 빔 결합기(43)의 면에 대해 각도 α만큼 경사진다. 각도 α는, 회절된 빔과 회절되지 않은 빔의 강도가 동일하게 되도록 선택된다. 투과 격자에 대해서, 각도 α는 회절된 빔과 회절되지 않은 빔 사이의 각도 Θ와 거의 동일하게 선택된다. 투과시에 회절된 1차 빔에 대한 각도 Θ의 사인값은 λ/(2(n-1)p)와 같은데, 이때 λ는 빔의 파장이고, n은 격자의 물질의 굴절률이며, p는 격자의 피치이다. n≒1.5를 갖는 대부분의 유리 및 플라스틱에 대해 이 식은 sinΘ≒λ/p가 된다. 도면에 도시된것과 같이, 격자선들은 피치 "p"와 깊이 "d"를 갖는다. 회절되지 않은 빔(43)에 대한 격자의 투과율은, 깊이 "d"가 방사빔(38)의 파장에 대해 2π이 배수와 동일한 위상 깊이와 일치하도록, 이 깊이를 선택함으로써 최적화된다. 공기 입사 투과 격에 대한 위상 깊이는 2πd(n-1)/λ와 거의 같은데, 이때 n은 격자 물질의 굴절률이고, λ는 입사 방사빔의 파장이, 투과 격자 대신에, 상기 장치에서는 반사 격자가 사용될 수도 있다. 공기 입사 반사 격자는 4πd/λ와 거의 동일한 위상 깊이를 갖는다. 이와 같은 경우에, 각도 α는 Θ/4와 거의 같게 선택되어야 하는데, 이 값은 1차 회절된 빔에 대해서는 λ/(4p)이다.
주사장치의 특정한 실시예에서, 파라미터들은 다음과 같은 값을 갖는다: 제 1 파장, 즉 방사빔 38에 대한 파장은 650nm이고, 제 2 파장, 즉 방사빔 39의 파장은 785nm이며, 격자 물질의 굴절률은 1.5이고, 제 2 파장에 대한 회절각 Θ는 1.7°이며, 격자(43)가 없는 검출계(40) 상의 방사빔들 44 및 45의 스폿들 사이의 간격은 120㎛이다. 이때, λ2/sinΘ인 피치 "p"는 26.5㎛이다. 제 1 파장에 대한 격자의 위상 깊이는, 3.9㎛인 깊이 "d"와 일치하게 6π와 같게 취해진다. 제 2 파장에 대한 격자의 위상 깊이는 4.95π이다. 이것은 대략 역상에 해당하므로, 제 2 파장의 방사빔은 낮은 강도의 회절되지 않은 빔과 높은 강도의 회절된 빔을 형성하게 된다.
도 5는, 빔들이, 도 3에 도시된 것과 같이 검출계에 근접하는 대신에, 방사원에 근접하여 결합되는 본 발명에 따른 주사장치의 또 다른 실시예를 나타낸 것이다. 방사원(60)은 서로 다른 파장을 갖는 2가지 방사빔들 61 및 62를 방출할 수 있다. 이들 빔들은 본 발명에 따란 빔 결합기(63)에 입사된다. 빔 결합기는 도 4에 도시된 것과 가튼 외형을 갖는 격자를 구비한다. 빔 결합기에서 나온 빔(64)은, 입사빔 61로부터의 회절되지 않은 빔이거나, 및/또는 입사빔 62로부터의 1차 회절된 빔이다. 빔 64는 빔 스플리터(65)아 대물계(66)를 통해 기록매체(20)의 정보층(22)에 초점이 맞추어진다. 기록매체에 의해 반사된 방사빔은 빔 스플리터(65)에 의해 투과되어 검출계(67)에 의해 가로채진다. 도 5에 도시된 주사장치의 광학계는 도 3에 도시된 광학계에 비해 유리한데, 그것은 전자의 광학계가 j로 다른 파장을 갖는 방사빔들에 대해 대물렌즈를 통과하는 1개의 광 경로를 가지므로, 대물렌즈의 시야(field)의 사용을 줄일 수 있기 때문이다.
본 발명에 따른 광학 격자는, 국제특허출원 EP01/10737에 개시된 것과 같은 광학주사장치에 유리하게 사용될 수도 있다. 이 장치는, 평판의 각 면에 1개씩의 2개의 격자를 갖는 빔 결합기를 사용한다. 이들 중 1개 또는 2개의 겨자가 경사진 홈들과 경사진 랜드들을 가질 수 있다.

Claims (8)

  1. 광 기록매체를 주사하고, 제 1 경로를 따라 주행하는 제 1 파장의 제 1 방사빔과, 이와 다른 제 2 경로를 따라 주행하는 이와 다른 제 2 파장의 제 2 방사빔을 방출하는 방사원과, 광 검출계와, 방사빔들을 광 기록매체를 통해 광 검출계로 안내하는 광학계와, 제 1 및 제 2 빔을 광 검출계 상에서 거의 일치하도록 결합하는 격자를 구비한 광학장치에 있어서,
    상기 격자가 교번하는 경사 홈들과 경사 랜드들을 갖는 것을 특징으로 하는 광학장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 홈들이 제 1 파장의 정수배와 거의 동일한 동시에, 제 2 파장의 절반의 홀수배와 거의 동일한 광학 깊이를 갖는 것을 특징으로 하는 광학장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 격자는 평면에 설치된 투과 격자이고, 홈들과 랜드들이, 평면에 대해, 제 2 방사빔으로부터의 회절되지 않은 빔과 선택된 회절 빔 사이의 각도와 대략 동일한 각도로 경사진 것을 특징으로 하는 광학장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 격자는 평면에 설치된 반사 격자이고, 홈들과 랜드들이, 평면에 대해, 제 2 방사빔으로부터의 회절되지 않은 빔과 선택된 회절 빔 사이의 각도의 1/4배와 대략 같은 각도로 경사진 것을 특징으로 하는 광학장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 격자와 방사원 및/또는 광 검출계는 서로 조정가능하게 배치된 것을 특징으로 하는 광학장치.
  6. 격자에 의해 형성된 빔들이 거의 일치하도록, 제 1 경로를 따라 입사한 제 1 파장을 갖는 제 1 방사빔과, 이와 다른 제 2 경로를 따라 입사한 이와 다른 제 2 파장을 갖는 제 2 방사빔을 결합하는 광학 격자에 있어서,
    상기 격자가 교번하는 경사 홈들과 경사 랜드들을 갖고, 상기 홈들이 제 1 파장의 정수배와 거의 동일한 광학 깊이를 갖는 것을 특징으로 하는 광학 격자.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 격자는 평면에 설치된 투과 격자이고, 홈들과 랜드들이, 평면에 대해, 제 2 방사빔으로부터의 회절되지 않은 빔과 선택된 회절 빔 사이의 각도와 대략 동일한 각도로 경사진 것을 특징으로 하는 광학 격자.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 격자는 평면에 설치된 반사 격자이고, 홈들과 랜드들이, 평면에 대해, 제 2 방사빔으로부터의 회절되지 않은 빔과 선택된 회절 빔 사이의 각도의 1/4배와 대략 같은 각도로 경사진 것을 특징으로 하는 광학 격자.
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